CN1481006A - 可避免量测计燃烧的量测计固定装置 - Google Patents

Abstract

本发明关于一种量测计固定装置，用以固定一量测计至一覆盖有外壳体的反应室上，该量测计固定装置包括：一固定板，其固定于该外壳体上；一固定座，其可移动地设置于该固定板上，用以固定该量测计，使该量测计的一端得以设置于该外壳体与该反应室之间；以及一第一弹性元件，其设置于该外壳体与该固定座之间，用以抵顶该固定座，藉以避免该量测计向该反应室方向移动。

Description

可避免量测计燃烧的量测计固定装置

技术领域

本发明关于一种量测计固定装置，尤指一种半导体制程设备中可避免量测计燃烧的量测计固定装置。

背景技术

在半导体制程中，通常会使用各式各样的量测计量测制程反应室(chamber)的特定物理参数变化情形，以监视与控制制程的进行。以一可于高温环境下进行晶圆退火(anneal)的石英反应室为例，为了解反应室的温度变化情形，通常会设置许多温度计以量测该反应室的温度变化，进而监视与控制制程的进行。

请参阅图1，其为一传统温度计固定装置的结构示意图。如图1所示，该反应室11外覆盖有一外盖体12，而温度计固定装置则可使一温度计13固定于外壳体12上。该温度计固定装置包括一固定板21、一固定座22与一螺丝23。其中，固定板21固定于外壳体12上，固定座22则可移动地设置于固定板21上，用以固定温度计13而使温度计13的量测端得以置于外壳体12与反应室11之间。

请参阅图2，其为图1所示的固定板21顶视图。如图2所示，固定板21于邻近其自由端的部分具有一沟槽211，可供螺丝23滑动于其间。固定座22可移动地设置于固定板21上，且可藉由螺丝23而定位于固定板21。因此，当温度计13的量测端移动至一适当的量测位置时，将螺丝23锁固则可使固定座22固定于固定板21上，进而使温度计13定位。

对于一高温反应室而言，当温度计13藉由该温度计固定装置定位时，通常需将温度计13的量测端与该反应室保持4-5mm以上的距离，这是因为温度计13如太接近该高温反应室11的话，温度计13的量测端将会因高温而燃烧损毁，无法再为使用。此外，若温度计13的量测端离反应室11太远时，温度计13所量测的温度将不正确，因此如何将温度计13保持固定于一适当位置对制程设备而言十分重要。

对传统的温度计固定装置而言，由于长时间的使用或温度计13的不正确安装，通常会造成螺丝23松脱而使温度计13移位，进而使温度计13燃烧损毁或量测不准确的情形发生。此外，如图3所示，当一外力F施加于固定座22或温度计13时，将会使温度计13往反应室11方向移位而造成温度计13燃烧损毁。这些现象对高温反应室而言常常发生，且对操作者而言无法知道螺丝何时会松脱，直到温度计燃烧损毁为止，因此如何设计一可避免温度计燃烧的温度计固定装置实为本发明的一研究课题。

发明内容

本发明的主要目的为提供一种温度计固定装置，可避免温度计燃烧损毁与量测不准确的情形发生。

本发明的另一目的为提供一种量测计固定装置，用以固定一量测计至一覆盖有外壳体的反应室上。该量测计固定装置包括：一固定板，其固定于该外壳体上；一固定座，其可移动地设置于该固定板上，用以固定该量测计，使该量测计的一端得以设置于该外壳体与该反应室之间；以及第一弹性元件，其设置于该外壳体与该固定座之间，用以抵顶该固定座，藉以避免该量测计向该反应室方向移动。

根据本发明的构想，其中该量测计为一温度计。

根据本发明的构想，其中该量测计为一压力计。

根据本发明的构想，其中该第一弹性元件为弹簧。

根据本发明的构想，其中该第一弹性元件的一端固定于该外壳体，另一端则抵顶该固定座。

根据本发明的构想，其中该量测计固定装置更包括第二弹性元件，其设置于该外壳体与该固定座的之间，用以提供一回复力予该固定座，藉以避免该量测计向该反应室方向移动。

根据本发明的构想，其中该第二弹性元件的长度短于该第一弹性元件的长度。

根据本发明的构想，其中该第二弹性元件的刚性硬于该第一弹性元件的刚性。

根据本发明的构想，其中该第二弹性元件的一端固定于该外壳体，另一端则当该固定座向该反应室方向移动而接触该另一端时，用以抵顶该固定座。

根据本发明的构想，其中该第二弹性元件为弹簧。

根据本发明的构想，其中该固定板具有一沟槽。

根据本发明的构想，其中该量测计固定装置更具有一锁固元件，其穿过该固定板的该沟槽而与该固定座相锁固，用以使固定座内的该量测计固定于一特定位置。

本发明的又一目的为提供一种量测计结构，应用于一覆盖有外壳体的反应室，该量测计结构包括：一固定板，其固定于该外壳体上；一固定座，具有一容置空间且可移动地设置于该固定板上；一量测计，其一端容置于该固定座的该容置空间内，另一端则置于该外壳体与该反应室之间，用以量测该反应室之一物理参数；以及一第一弹性元件，其设置于该外壳体与该固定座之间，用以抵顶该固定座，藉以避免该量测计向该反应室方向移动。

本发明的再一目的为提供一种避免量测计燃烧的反应室结构，其包括：一反应室；一外壳体，其覆盖于该反应室外；一固定板，其连接于该外壳体；一固定座，具有一容置空间且可移动地设置于该固定板上；一量测器，其一端容置于该固定座的该容置空间内，另一端则置于该外壳体与该反应室之间，用以量测该反应室的一物理参数；以及第一弹性元件，其设置于该外壳体与该固定座之间，用以抵顶该固定座，藉以避免该量测计向该反应室方向移动而燃烧。

根据本发明的构想，其中该固定板是一体成型于该外壳体。

根据本发明的构想，其中该固定板藉由一连接装置而固定于该外壳体。

附图说明

本发明得藉由下列附图及详细说明，俾得一更深入的了解：

图1：其为一传统温度计固定装置的结构示意图。

图2：其为图1所示的固定板顶视图。

图3：其说明一外力施加于图1所示的温度计固定装置的结构示意图。

图4：其是本发明较佳实施例的温度计固定装置结构示意图。

具体实施方式

请参阅图4，其为本发明较佳实施例的温度计固定装置结构示意图。如图4所示，本发明的温度计与温度计固定装置应用于一半导体制程所使用的高温反应室41中，用以量测与监视该反应室41的温度变化情形，其中该高温反应室41由一外壳体42所覆盖。

本发明的可避免温度计燃烧的温度计固定装置至少包括一固定板51、一固定座52与第一弹性元件54。其中，固定板51系固定于外壳体42上，固定座52则可移动地设置于固定板51上，用以固定温度计43而使温度计43的量测端得以置于外壳体42与反应室41的之间，而第一弹性元件54则设置于外壳体42与固定座52之间，用以抵顶固定座52，藉以避免温度计43的量测端向反应室41方向移动。以下就上述较佳实施例的各细部元件逐一说明：

固定板51藉由一连接元件(未图示)将其一端固定于外壳体42上。当然，于另一实施例中，固定板51亦可一体成型地与该外壳体42相连接。另外，固定板51于邻近其自由端的部分则具有一沟槽(未图示)，可供一锁固元件53，最佳为螺丝，滑动于其间。

固定座52则具有一容置空间(未图示)可将温度计43的一端固定，且可使温度计43的另一端(亦即量测端)置于外壳体42与反应室41之间，用以量测反应室41的温度变化情形。此外，固定座52系可移动地设置于该固定板51上，且可藉由锁固元件53而定位于固定板51。因此，当温度计43之量测端移动至一适当的量测位置时，将该锁固元件53锁固则可使固定座52固定于固定板53上，进而使温度计43定位。

第一弹性元件54的一端固定于外壳体42，另一端则抵顶固定座52。藉此，当锁固元件53因长期使用或外力介入而松脱时，第一弹性元件将提供一弹力予固定座52，以避免温度计43的量测端向反应室41方向移位而燃烧损毁。此外，更由于第一弹性元件54的弹力作用，温度计43将往与反应室41相对的方向移位，观察者可以明显地察觉出温度突然变化，进而可察觉到锁固元件53松脱。因此藉由第一弹性元件54的设计不只可以避免温度计43燃烧损毁，亦可容易地察觉出螺丝松脱的情形，可避免量测温度不准确的情形发生。

另外，当固定座52受一外力冲击时，第一弹性元件54可提供一弹性回复力予固定座52，藉以避免该温度计43的量测端向反应室41方向移位，而造成温度计43接触高温反应室41而燃烧损毁。因此，该第一弹性元件54的设计亦可避免外力冲击所产生的影响。当然，上述的第一弹性元件53以弹簧为最佳。

于另一较佳实施例中，本发明的温度计固定装置更可藉由第二弹性元件55的设计而强化该温度计固定装置对外力的冲击。如图4所示，该第二弹性元件55设置于外壳体42与固定座52之间，且该第二弹性元件55的一端固定于外壳体42，另一自由端则当固定座52因一外力作用而向反应室41方向移位时，可用以抵顶该固定座52并提供一弹性回复力使该固定座弹回。如此将可避免外力冲击而导致温度计43接触该高温反应室41而燃烧损毁。另外，为强化该温度计固定装置对外力的冲击，第二弹性元件55的长度系短于第一弹性元件54的长度，且第二弹性元件55的刚性更硬于第一弹性元件54的刚性。当然，上述第二弹性元件亦以弹簧为佳。

本发明的量测计固定装置并不限于上述最佳实施例所述的温度计固定装置而已，对熟知此技术的人士而言，任何制程设备中所需使用的量测计固定装置，例如压力计固定装置等，在此亦可并入参考。

纵上所述，本发明的温度计固定装置藉由弹性元件的设计不只可以避免温度计燃烧损毁，亦可容易地察觉出螺丝松脱的情形，以避免量测温度不准确的情形发生。此外，当固定座受一外力冲击时，弹性元件亦可提供一弹性回复力予固定座，藉以避免温度计的量测端向反应室方向移位，而造成温度计接触高温反应室而燃烧损毁。因此本发明实具产业的价值。

本发明对于熟悉本技术者来说，可以作出各种修饰，这些修饰都应不脱离如下的权利要求范围。

Claims (24)

1、一种量测计固定装置，用以固定一量测计至一覆盖有外壳体的反应室上，该量测计固定装置包括：

一固定板，其系固定于该外壳体上；

一固定座，其系可移动地设置于该固定板上，用以固定该量测计，使该量测计的一端得以设置于该外壳体与该反应室之间；以及

第一弹性元件，其系设置于该外壳体与该固定座之间，用以抵顶该固定座，藉以避免该量测计向该反应室方向移动。

2、如权利要求1所述的量测计固定装置，其特征在于，该量测计为一温度计。

3、如权利要求1所述的量测计固定装置，其特征在于，该量测计为一压力计。

4、如权利要求1所述的量测计固定装置，其特征在于，该第一弹性元件为弹簧。

5、如权利要求1所述的量测计固定装置，其特征在于，该第一弹性元件的一端固定于该外壳体，另一端则抵顶该固定座。

6、如权利要求1所述的量测计固定装置，其特征在于，该量测计固定装置还包括第二弹性元件，其设置于该外壳体与该固定座之间，用以提供一回复力予该固定座，藉以避免该量测计向该反应室方向移动。

7、如权利要求6所述的量测计固定装置，其特征在于，该第二弹性元件的长度系于该第一弹性元件的长度。

8、如权利要求6所述的量测计固定装置，其特征在于，该第二弹性元件的刚性硬于该第一弹性元件的刚性。

9、如权利要求6所述的量测计固定装置，其特征在于，该第二弹性元件的一端固定于该外壳体，另一端则当该固定座向该反应室方向移动而接触该另一端时，用以抵顶该固定座。

10、如权利要求6所述的量测计固定装置，其特征在于，该第二弹性元件为弹簧。

11、如权利要求1所述的量测计固定装置，其特征在于，该固定板具有一沟槽。

12、如权利要求11所述的量测计固定装置，其特征在于，该量测计固定装置还具有一锁固元件，其穿过该固定板的该沟槽而与该固定座相锁固，用以使固定座内的该量测计固定于一特定位置。

13、一种量测计结构，应用于一覆盖有外壳体的反应室，该量测计结构包括：

一固定板，其系固定于该外壳体上；

一固定座，具有一容置空间且可移动地设置于该固定板上；

一量测计，其一端容置于该固定座的该容置空间内，另一端则置于该外壳体与该反应室之间，用以量测该反应室之一物理参数；以及

第一弹性元件，其设置于该外壳体与该固定座之间，用以抵顶该固定座，藉以避免该量测计向该反应室方向移动。

14、如权利要求13所述的量测计结构，其特征在于，该量测计结构还包括第二弹性元件，其设置于该外壳体与该固定座之间，用以提供一回复力予该固定座，藉以避免该量测计向该反应室方向移动。

15、如权利要求14所述的量测计结构，其特征在于，该第二弹性元件的长度短于该第一弹性元件的长度。

16、如权利要求14所述的量测计结构，其特征在于，该第二弹性元件的刚性硬于该第一弹性元件的刚性。

17、如权利要求6所述的量测计结构，其特征在于，该第二弹性元件的一端固定于该外壳体，另一端则当该固定座向该反应室方向移动而接触该另一端时，用以抵顶该固定座。

18、一种避免量测计燃烧的反应室结构，其包括：

一反应室；

一外壳体，其系覆盖于该反应室外；

一固定板，其系连接于该外壳体；

一固定座，具有一容置空间且可移动地设置于该固定板上；

一量测计，其一端容置于该固定座的该容置空间内，另一端则置于该外壳体与该反应室之间，用以量测该反应室的一物理参数；以及

第一弹性元件，其设置于该外壳体与该固定座之间，用以抵顶该固定座，藉以避免该量测计向该反应室方向移动而燃烧。

19、如权利要求18所述的避免量测计燃烧的反应室结构，其特征在于，该固定板是一体成型于该外壳体。

20、如权利要求18所述的避免量测计燃烧的反应室结构，其特征在于，该固定板藉由一连接装置而固定于该外壳体。

21、如权利要求18所述的避免量测计燃烧的反应室结构，其特征在于，该避免量测计燃烧的反应室结构还包括第二弹性元件，其设置于该外壳体与该固定座之间，用以提供一回复力予该固定座，藉以避免该量测计向该反应室方向移动。

22、如权利要求21所述的避免量测计燃烧的反应室结构，其特征在于，该第二弹性元件的长度短于该第一弹性元件的长度。

23、如权利要求21所述的避免量测计燃烧的反应室结构，其特征在于，该第二弹性元件的刚性硬于该第一弹性元件的刚性。

24、如权利要求21所述的避免量测计燃烧的反应室结构，其特征在于，该第二弹性元件的一端固定于该外壳体，另一端则当该固定座向该反应室方向移动而接触该另一端时，用以抵顶该固定座。

Images