CN1455134A - 一种自适应自抱紧式密封装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种自适应自抱紧式密封装置，包括圆柱管，圆柱管两端连接法兰盘，法兰盘内侧与圆柱管的端面之间设有缓冲垫，其中右法兰盘还连接有金属过渡室，金属过渡室中部一侧连接真空传感器，另一侧设真空抽气口，金属过渡室端面设密封圈，通过螺钉用盖板压紧，圆柱管外径上设感应加热线圈，真空室内置有工件，本发明的贡献在于两端法兰盘的左、右面设计为锥形密封槽，锥形密封槽底部与圆柱管外径处置有密封圈，用锥形压紧环并通过螺钉将密封圈连接为一体。本发明具有结构简单，制造安装方便，不易损害石英管，安全可靠，广泛应用于新型电子薄膜材料生长系统的真空密封，也可应用于高压密封系统的密封，此时只需改变锥形密封槽的方向即可。

Description

一种自适应自抱紧式密封装置
一、技术领域
本发明涉及一种自适应自抱紧式密封装置，适用于薄壁筒形密封面和圆柱形密封面的密封，特别适用于大直径石英管与金属法兰之间的真空密封。
二、背景技术
现有技术中薄壁筒形密封面、圆柱形密封面的密封结构或大直径石英管与金属法兰之间的真空密封结构常采用将薄壁筒、圆柱形或石英管端部制作成法兰结构而与金属法兰进行端面密封，密封槽结构则为矩形、燕尾形等形式等(真空设计手册P252-P262)。
三、发明内容
本发明的发明目的在于提供一种结构简单，制造安装方便，安全可靠，可以自适应自抱紧式密封装置。
实现本发明目的的技术方案是这样解决的，包括圆柱管，在圆柱管的两端连接有法兰盘，法兰盘的内侧与圆柱管的端面之间设有缓冲垫，其中右法兰盘还连接有金属过渡室，金属过渡室中部的一侧连接有真空传感器，另一侧设有真空抽气口，金属过渡室的端面设密封圈，通过螺钉用盖板压紧，在圆柱管的外径上设有感应加热线圈，真空室内置有工件，其本发明的贡献在于两端法兰盘的左、右面设计为锥形密封槽，在锥形密封槽的底部与圆柱管外径处置有密封圈，用锥形压紧环并通过紧固螺钉将密封圈连接为一体。
其金属法兰设计成套筒式，套在薄壁筒、圆柱形或大直径石英管上，金属法兰与薄壁筒、圆柱形或大直径石英管之间设计出一个锥形密封槽(截面形式为楔形)，“O”形密封圈安装在锥形密封槽内，并环抱在薄壁筒、圆柱形或大直径石英管的外园上，金属法兰的锥形密封槽外设置有锥形压紧环，对密封圈进行辅助压紧，以满足不同的密封要求。
本发明与现有技术相比，具有结构简单，制造安装方便，不易损害石英管，安全可靠，可以自适应自抱紧式的密封结构，广泛应用于新型电子薄膜材料生长的系统的真空密封，也可应用于高压密封系统的密封，此时只需改变锥形密封槽的方向即可。
四、附图说明
图1为本发明普通密封的结构示意图；
图2为图1在真空环境下的密封结构示意图；也是本发明专利的一个具体
实施例；
图3为图2中的A出局部放大图。
五、具体实施方式
下面结合附图对本发明的内容作进一步说明。
参照图1、图2所示，本发明包括圆柱管3，在圆柱管3的两端连接有法兰盘1，法兰盘1的内侧与圆柱管3的端面之间设有缓冲垫2，其中右法兰盘1还连接有金属过渡室7，金属过渡室7中部的一侧连接有真空传感器8，另一侧设有真空抽气口11，金属过渡室7的端面设密封圈9，通过螺钉用盖板10压紧，在圆柱管3的外径上设有感应加热线圈12，真空室内置有工件13，其特征在于两端法兰盘1的左、右面设计为锥形密封槽断面，在锥形密封槽断面的底部与圆柱管3外径处置有密封圈6，用锥形压紧环4并通过紧固螺钉5将密封圈6连接为一体。
有锥形密封槽的法兰1、金属过渡室7，通过缓冲垫2、锥形压紧环4、紧固螺钉5、“O”形密封圈6与薄壁筒、圆柱形或大直径石英管3相连，在对薄壁筒、圆柱形或大直径石英管3内抽真空时，依靠大气的压力使“O”形密封圈6向真空一方移动，由于密封槽为锥形结构，“O”形密封圈就会越来越紧的抱在薄壁筒、圆柱形或大直径石英管的外壁上，并使薄壁筒、圆柱形或大直径石英管自动保持与金属法兰的锥形密封面同心，实现自适应自抱紧式密封。通过紧固螺钉5对锥形压紧环4进行调整，实现对“O”形密封圈的辅助压紧，以满足不同的密封要求。
图3为图2中的A处局部放大图，给出了本发明的具体结构形式。锥形密封槽与锥形压紧环底部与圆柱管外径处的间隙不大于圆柱管外径的0.005倍。法兰盘锥形密封槽与锥形压紧环的纵向截面为楔形。

Claims (4)

1、一种自适应自抱紧式密封装置，包括圆柱管(3)，在圆柱管(3)的两端连接有法兰盘(1)，法兰盘(1)的内侧与圆柱管(3)的端面之间设有缓冲垫(2)，其中右法兰盘(1)还连接有金属过渡室(7)，金属过渡室(7)中部的一侧连接有真空传感器(8)，另一侧设有真空抽气口(11)，金属过渡室(7)的端面设密封圈(9)，通过螺钉用盖板(10)压紧，在圆柱管(3)的外径上设有感应加热线圈(12)，真空室内置有工件(13)，其特征在于两端法兰盘(1)的左、右面设计为锥形密封槽断面，在锥形密封槽断面的底部与圆柱管(3)外径处置有密封圈(6)，用锥形压紧环(4)并通过紧固螺钉(5)将密封圈(6)连接为一体。
2、根据权利要求1所述的一种自适应自抱紧式密封装置，其特征在于所述的密封圈(6)可以沿锥形密封槽断面与锥形压紧环(4)断面向真空一方伸长。
3、根据权利要求1所述的一种自适应自抱紧式密封装置，其特征在于所述的锥形密封槽断面与锥形压紧环底部与圆柱管外径处的间隙不大于圆柱管外径的0.005倍。
4、根据权利要求1所述的一种自适应自抱紧式密封装置，其特征在于所述的法兰盘锥形密封槽与锥形压紧环的纵向截面为楔形。
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