CN1447201A

CN1447201A - 监控预警系统及方法

Info

Publication number: CN1447201A
Application number: CN 02108131
Authority: CN
Inventors: 简鼎杰; 刘宗鑫
Original assignee: Macronix International Co Ltd
Current assignee: Macronix International Co Ltd
Priority date: 2002-03-27
Filing date: 2002-03-27
Publication date: 2003-10-08

Abstract

本发明涉及一种监控预警系统及方法，适用于自动化设备，包括：多个感测模块、一数据储存模块及一监控模块。多个感测模块，安装于自动化设备上，可感测机台的各种状态信息，如：温度、湿度及压力；数据储存模块，与自动化设备耦接，可持续纪录并储存机台的各种状态信息；监控模块，与数据储存模块耦接，可判断各种状态信息是否超过对应的既定设定值，若状态信息超过对应的既定设定值时，即通过一通讯网络传送一警示信号给一警示模块。

Description

监控预警系统及方法

技术领域

本发明涉及自动化设备的自动控制，尤其涉及一种监控预警系统及方法，特别涉及一种可通过通讯网络发出警示的自动化设备的监控预警系统及方法。

背景技术

一般自动化生产过程中，常常需要对自动化设备的系统状态进行监控。对于半导体制造这种复杂的制造流程来说，例如：化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition，CVD)、湿蚀刻(Wet Etching)或是干蚀刻(Dry Etching)等制造流程都需要严格控制半导体设备的工作温度、湿度、气体压力或是气体浓度，若所述机台发生异常现象，机台的工作状态稍有不稳定或是超出限定的工作范围，则芯片的产出合格率便会大幅下降甚至是整个芯片报废而增加生产成本。

一般的半导体自动化设备都非常精密，大多都设有自我保护机制，例如：机台工作温度、压力异常超过或是低于某个预设极限值时，机台会停机、发出警告声音或是有某种警示灯闪烁等等，此时，生产线上的值班工作人员在机台发出警告讯号时就必须尽快前往处理；但是若当时的值班工作人员没有注意到警告讯号或是刚好不在，无法马上去处理异常状况，当要重新开机时，往往需要再作很多检测、校正、调机并等待其稳定后才能再正式上线作业，这些都需要很长的时间，并会造成生产线的耽搁，影响产品交货期限。

由于所述这种自我保护机制并无法有效的预防或是警示设备机台异常的状况，且机台异常后的回复期间不但耗费人力，也十分耗时。

发明内容

本发明的目的就在于应用一般半导体设备上各种传感器所测得的各种机台工作状态值，以网络与计算机联机，当机台状态异常时，会通过无线通讯网络传送一警告信号给呼叫器或是行动电话，以此来通知值班工作人员。

为达成所述目的，本发明提供一种监控预警系统，适用于自动化设备，包括：一感测模块、一数据储存模块及一监控模块。感测模块，安装于自动化设备上，可感测机台的某种状态信息，如：温度、湿度及压力；数据储存模块，与自动化设备耦接，可持续纪录并储存机台的状态信息；监控模块，与数据储存模块耦接，可判断状态信息是否超过既定设定值，若状态信息超过既定设定值时，即通过一通讯网络传送一警示信号给一警示模块。

本发明还提供一种监控预警系统，适用于自动化设备，包括：多个感测模块、一数据储存模块及一监控模块。多个感测模块，安装于自动化设备上，可感测机台的各种状态信息，如：温度、湿度及压力；数据储存模块，与自动化设备耦接，可待续纪录并储存机台的各种状态信息；监控模块，与数据储存模块耦接，可判断各种状态信息是否超过对应的既定设定值，若状态信息超过对应的既定设定值时，即通过一通讯网络同时传送一警示信号给多个警示模块。

根据所述的监控预警系统，本发明也提出一种自动化设备的监控预警方法，包括下列步骤：在设定多个既定设定值后，感测多个状态信息值，并持续纪录储存各种状态信息值，若状态信息值超过一对一对应的既定设定值时，即通过行动通讯网络同时传送一警示信号给多个警示模块。

为了让本发明的所述和其它目的、特征、和优点能更明显易懂，下文特举一较佳实施例，并配合附图作详细说明如下。

附图说明

图1表示本发明监控预警系统的方块图。

图2表示本发明实施例中监控预警系统的示意图。

图3表示本发明实施例中自动化设备的监控预警方法的概略流程图。

符号说明：

10--自动化设备 11--第一感测模块 12--第二感测模块夹持器

20--数据储存模块 21--网络伺服端主机

30--监控模块 31a，31b--个人计算机

40--警示模块 41--扬声器 42--警示灯

43a，43b---电信基地台 44--呼叫器 45--行动电话。

具体实施方式

为明显区别本发明的实施例与传统技术的差异，分别对图1的监控预警系统与传统的监控预警方法进行比较。

图1表示本发明监控预警系统的方块图。本发明实施例中的监控预警系统，适用于任何需要持续控制的自动化设备，包括：多个感测模块11，12、一数据储存模块20、一监控模块30及一警示模块40。如图1，第一感测模块11及第二感测模块12是安装在自动化设备10上的，可监控自动化设备10的工作温度、工作压力或是气体的压力、流量、浓度等，而且为了要达到控制的目的，将这些外界的状态信启信息转换成数字形式，以便将状态信息值储存纪录在数据储存模块20中。在本发明具有一监控模块30与数据储存模块20耦接，可判断储存在数据储存模块20中的状态信息值是否超过设定值，若状态信息值超过既定设定范围时，即通过电信网络传送一警示信号给警示模块40，以提醒在生产线上的值班作业人员前去处理。

图2表示本发明实施例中监控预警系统的示意图。请参阅图2，在本发明实施例中，于图1的方块图所显示的数据储存模块20可包括于一台网络伺服主机21的中，网络伺服主机21可以利用局域网络与一台至数台自动化设备10连接，由网络伺服主机21来进行系统的统合控制。而在图1的方块图中的感测模块12可以依照需求使用不同的感测组件来实施，例如：压力计、温度计或浓度计等，并将各种状态信息转换为数字形式传送至网络伺服主机21。其中，不同状态信息转的各种状态信息值如温度及浓度等，可各自储存成不同的档案，在有需要时可由监控模块30自行抓取运算判别。如第2图所示，一台以上的个人计算机31a，31b可通过局域网络与网络伺服主机21连结，并通过局域网络至网络伺服主机21上取得自动化设备10的各种状态信息值进行分析。当个人计算机31b判断所取得的状态信息值超过对应的既定设定范围时，可立刻激活自动化设备10上或是在个人计算机31a，31b上的警示模块40，例如：警示喇叭41、警示灯42，生产线上的值班人员就可尽快处理并进行检验系统是否有异常。另外，为求谨慎，本发明实施例中的个人计算机31b亦可利用行动通讯网络的电信基地台43a，43b传送一警示信号给配戴行动通讯装置的工程人员，例如：呼叫器44或行动电话45，请他们立刻处理，以免生产线因此而停顿。

本发明实施例中还提供一种自动化设备的监控预警方法，如图3，表示本发明实施例中自动化设备的监控预警方法的概略流程图，此方法包括下列步骤：首先，工程人员先以经验值设定自动化设备10上各种状态设定值的经验值(31)，而自动化设备10工作后可感测机台各种状态信息值(32)，并通过局域网络将各种数字信息值纪录并储存到网络伺服主机21上(33)，当个人计算机31b分析这些状态信息值发现超过对应的警示设定值时，即通过行动通讯网络传送一警示信号给呼叫器44或是行动电话45，要求生产线值班人员立即处理(34)。例如，在一般状态下，自动化设备10的工作温度是摄氏60度，自动化设备10的自我保护温度设定为摄氏250度，但若工作温度高于摄氏100度，合格率就会大幅下降，所以工程人员可依经验值将警示值定于摄氏90度，只要机台温度高于90度时立即发出警告通知处理。

由以上说明可知，通过本发明实施例的监控系统不但可警示设备机台异常的状况，工程人员还可以通过此监控系统有效的预防机台异常状况发生，提早处理。

虽然本发明已以较佳实施例公开如上，然其并非用以限定本发明，任何本领域普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作些许的更动与润饰，因此本发明的保护范围当以权利要求为准。

Claims

1、一种监控预警系统，适用于自动化设备，其特征在于，所述系统包括：

一感测模块，安装于所述自动化设备，可感测所述自动化设备的一状态信息值；

一数据储存模块，与所述自动化设备耦接，用以纪录储存所述状态信息值；

一警示模块；以及

一监控模块，与所述数据储存模块耦接，可判断所述状态信息值是否超过一既定设定值，若所述状态信息值超过所述既定设定值时，即通过一通讯网络而通知所述警示模块发出一警示信号。

2、如权利要求1所述的监控系统，其特征在于，所述通讯网络为行动通讯网络，而所述警示模块为行动通讯装置

3、如权利要求2所述的监控系统，其特征在于，所述行动通讯装置为呼叫器。

4、如权利要求2所述的监控系统，其特征在于，所述行动通讯装置为行动电话。

5、如权利要求1所述的监控系统，其特征在于，所述自动化设备、所述数据储存模块及所述监控模块通过一局域网络连结。

6、如权利要求5所述的监控系统，其特征在于，所述数据储存模块为网络伺服端主机。

7、如权利要求5所述的监控系统，其特征在于，所述监控模块为个人计算机。

8、如权利要求1所述的监控系统，其特征在于，所述状态信息值为所述自动化设备的工作温度值。

9、如权利要求1所述的监控系统，其特征在于，所述状态信息值为所述自动化设备的工作湿度值。

10、如权利要求1所述的监控系统，其特征在于，所述状态信息值为所述自动化设备的工作压力值。

11、一种监控预警方法，适用于自动化设备，其特征在于，所述方法包括下列步骤：

设定一既定值；

感测所述自动化设备的一状态信息值；

储存所述状态信息值；以及

若所述状态信息值超过所述既定值时，即通过一通讯网络传送一警示信号给一警示模块发出。

12、如权利要求11所述的监控系统，其特征在于，所述通讯网络为行动通讯网络，而所述警示模块为行动通讯装置

13、如权利要求12所述的监控系统，其特征在于，所述行动通讯装置为呼叫器。

14、如权利要求12所述的监控系统，其特征在于，所述行动通讯装置为行动电话。

15、如权利要求11所述的监控系统，其特征在于，所述状态信息值为所述自动化设备的工作温度值。

16、如权利要求11所述的监控系统，其特征在于，所述状态信息值为所述自动化设备的工作湿度值。

17、如权利要求11所述的监控系统，其特征在于，所述状态信息值为所述自动化设备的工作压力值。