CN1412340A - 利用等离子体的高分子膜连续蒸镀装备的电极固定装置 - Google Patents
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Abstract
一种利用等离子体的高分子膜连续蒸镀装备的电极固定装置，是在于对于配置有多个电极的利用等离子体的高分子膜连续蒸镀装备上设有电极固定装置，固定板在上述装备的工程间内侧以相隔一定间隔固定电极的两端，上述固定板中的至少有一侧配置保持电极的张力的张力维持部。如上所述，本发明利用等离子体的高分子膜连续蒸镀装备的电极固定装置的电极下端被固定，上端通过张力维持手段总是保持一定强度的张力。由于持续的等离子体放电导致电极发生变形，通过张力维持手段拉电极，使电极始终保持原来的状态，生成同样的放电空间，防止由于电极变形导致的品质问题发生。
Description
技术领域
本发明是关于利用等离子体的高分子膜连续蒸镀装备的电极固定装置方面的发明。特别是关于提高适合下述利用等离子体的高分子膜连续蒸镀装备的电极固定装置方面的发明：在工序中，电极被加热发生变形(变长，弯曲)时，电极的一端被拉伸，使电极总是保持一定强度的张力。通过均匀的放电，提高蒸镀层的厚度均一性。
背景技术
一般为了提高亲水性、疏水性、染色性、粘着性等，将高分子材料蒸镀在空调零件的材料上，金属表面的处理方法主要是利用等离子体蒸镀法。其理由是利用等离子体蒸镀法蒸镀层附着力强，在低温条件下也可以进行，减少了由于高温加热导致模材的变形、变性等问题。
利用等离子体在金属材料表面上蒸镀高分子材料方法简单说明如下：在工程间内部配置2个电极，将上述材料放置在上述2个电极之间。将材料连结在电源上，在电极接地的状态下，利用真空泵将工程间内部维持真空状态的同时，利用电源给电极供电，通过放电产生等离子体。通过上述等离子体破坏气体的分子键，在材料的表面上蒸镀高分子膜。
但是，上述等离子体蒸镀需要将一定大小的材料放入工程间内部安装好，调整工程间内的环境后，才能够进行蒸镀，所以不能连续作业不适合批量生产。
作为一个解决方案：将薄板状材料缠绕在轮子上，通过开卷机将材料连续送入工程间。在工程间内进行蒸镀。然后，在工程间的另一端将蒸镀后的材料缠绕在缠绕机上，于是可以进行连续作业。
利用等离子体的高分子膜连续蒸镀装置为了得到所需的蒸镀膜厚度必须罗列多个工程间，材料经过工程间时进行重复蒸镀。由于上述罗列多个工程间会有空间利用率低下的问题发生。
于是，最近有很多研究人员正在研究将多个工程间水平或垂直方向进行连结排列，增大蒸镀装备的空间利用效率的方案。
但是，在使用上述水平/垂直方向排列多个工程间的连续蒸镀装置进行连续蒸镀过程中，设置在工程间内部的电极加热后经常发生变形(变长，弯曲)。由于在电极变形的状态下进行蒸镀，放电空间存在电阻差，会发生材料上的蒸镀厚度均一性低下的现象。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是：当薄板状材料通过连续供应给内部配置有多个电极的利用等离子体的高分子膜连续蒸镀装备的工程间内时，利用等离子体对材料表面进行高分子膜连续蒸镀。
本发明所采用的技术方案是：对于上述利用等离子体的高分子膜连续蒸镀装备提供具有下述特征的电极固定装置。固定板在上述装备的工程间内侧相隔一定间隔固定电极的两端，上述固定板中的至少有一侧要有张力维持手段为特征的电极固定装置。材料经过垂直/水平方向反复排列的工程间的内部完成高分子膜的蒸镀。这时，由于连续的蒸镀，电极被加热，发生弯曲或变长等形态的变形。本发明的电极固定装置通过固定在电极一侧的张力维持手段将变形的电极拉回原位，使电极保持原来的状态。于是电极与经过工程间的材料始终保持一定的距离，维持同样的放电空间，对经过工程间的材料进行蒸镀，使蒸镀在材料上的高分子膜的厚度均一。
如上所述，本发明利用等离子体的高分子膜连续蒸镀装备的电极固定装置的电极下端被固定，上端通过张力维持手段总是保持一定强度的张力。由于持续的等离子体放电导致电极发生变形，通过张力维持手段拉电极，使电极始终保持原来的状态，生成同样的放电空间，防止由于电极变形导致的品质问题发生。
附图说明
图1：本发明所采用的高分子膜连续蒸镀装备的简单结构图。
图2：本发明一实例电极固定装置的正面图。
图3：本发明另一实例电极固定装置的正面图。
其中：
1：材料 2：工程间
11：电极 12：电极固定架
13：固定板 13a：通孔
14：张力维持手段 21，21’：滑动轴
22：制动板 23：弹簧线圈
30：弹片
具体实施方式
下面就本发明利用等离子体的高分子膜连续蒸镀装备的电极固定装置参照实例图纸进行详细说明。
图1是本发明电极固定装置所采用的高分子膜连续蒸镀装备的简单结构图。图2是本发明的一个实例电极固定结构的正面图。如图所示，薄板状材料1被连续搬送。多个高分子膜蒸镀工程间2以垂直/水平方向排列，并且多个工程间相联通。上述工程间2的前端有缠绕材料1的开卷机3，上述开卷机3将材料搬送至工程间2。在工程间2的另一端，卷绕机4对通过工程间的材料1进行卷绕。上述开卷机3设置在开卷间5内，上述卷绕机4在卷绕间6内。
上述工程间2的内部两侧排列有多个电极11，上述电极11的两端分别由两个电极固定架12固定。上述电极固定架12的两端结合在固定板13上，在上述固定板13的一侧上有张力维持手段14。当上述电极11发生变形时，上述张力维持手段14将电极拉回原来的位置维持原来的状态。
上述张力维持手段14通过滑动轴21、21’在上述固定板13上的通孔13a内可以滑动。上述滑动轴21、21’一端固定在电极固定架的侧面，将滑动轴21、21’的凸出端固定连结在制动板22上。在上述制动板22和固定板13之间的上述滑动轴21、21’上套上弹簧线圈23，使电极变形时通过上述弹簧线圈23的弹力维持电极的原来状态。
如上所述，在具有本发明电极固定装置的利用等离子体高分子膜连续蒸镀装备中，开卷机3将缠绕成卷状的薄板状材料1搬送到工程间2内，上述板状材料1经过垂直/水平排列的多个工程间2后，被缠绕到缠绕机4上。
将碳化氢系列气体与非反应气体以一定比例输送到排列有电极的上述工程间2内部。通过向电极施加电源产生的等离子体，对经过工程间2内部的材料1的上面进行蒸镀高分子膜，通过多个工程间2连续反复在执行上述操作完成高分子膜的蒸镀。
一方面，设置在完成高分子膜蒸镀的工程间2内部的电极由于持续放电发生变形时，弹簧线圈23利用弹力向上推制动板22，于是固定在制动板22上端的滑动轴21、21’向上滑动，固定在电极11上的电极固定架12也被向上拉，变形的电极通过弹力能够始终保持原来的状态。
图3是本发明的另一个实例的正面图。如图所示，上述电极11的两端分别由两个电极固定架12固定。电极固定架12两端结合在固定板13上，电极上端的固定架12连结在滑动轴21的下端，滑动轴21可以通过固定板13的通孔13a可以滑动。
上述滑动轴21的凸出端固定在制动板22上，在上述制动板22和固定板13之间有弹性材料弹片30，上述弹片30支撑在上述固定板13上，将弹片30中央的通孔30a套入滑动轴21上。
在上述状态下，连续进行蒸镀作业电极发生变形时，通过弹片30的弹力将电极11向上拉，使电极11能够始终维持原来的状态。
上述弹性材料也可以使用弹簧线圈，弹簧线圈的端部固定在滑动轴21的端部。
张力维持部14还可由与电极11的端部结合的电极固定架12、上述电极固定架12上的滑动轴21、支撑上述电极固定架12的固定板13、上述固定板13和滑动轴21之间有机连结对上述电极11施加张力的弹性材料构成。为使上述电极11端部的齿不外露，电极固定架12将电极11的端部包围。上述电极固定架12由绝缘物质构成。
Claims (7)
1.一种利用等离子体的高分子膜连续蒸镀装备的电极固定装置，其特征在于在配置有多个电极的利用等离子体的高分子膜连续蒸镀装备中，固定板在上述装备的工程间内侧以相隔一定间隔固定电极的两端，上述固定板中的至少有一侧配置保持电极的张力的张力维持部。
2.根据权利要求1所述的利用等离子体的高分子膜连续蒸镀装备的电极固定装置，其特征在于上述张力维持部由固定电极端部的电极固定架、一端固定在电极固定架上通过上述固定板的通孔可以滑动的至少一个的滑动轴、固定上述滑动轴的凸出端部的制动板、以及设置在上述制动板和固定板之间给电极施加一定强度张力的弹性材料构成。
3.根据权利要求2所述的利用等离子体的高分子膜连续蒸镀装备的电极固定装置，其特征在于上述弹性材料采用套入滑动轴上的弹簧线圈。
4.根据权利要求2所述的利用等离子体的高分子膜连续蒸镀装备的电极固定装置，其特征在于上述弹性材料采用将中央通孔套入滑动轴上的弹片。
5.根据权利要求1所述的利用等离子体的高分子膜连续蒸镀装备的电极固定装置，其特征在于上述张力维持部由与电极的端部结合的电极固定架、上述电极固定架上的滑动轴、支撑上述电极固定架的固定板、上述固定板和滑动轴之间有机连结对上述电极施加张力的弹性材料构成。
6.根据权利要求5所述的利用等离子体的高分子膜连续蒸镀装备的电极固定装置，其特征在于为使上述电极端部的齿不外露，电极固定架将电极的端部包围。
7.根据权利要求所述的利用等离子体的高分子膜连续蒸镀装备的电极固定装置，其特征在于上述电极固定架由绝缘物质构成。
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