CN1400559A - 在半导体物料供应设备中连锁管理的方法及系统 - Google Patents

在半导体物料供应设备中连锁管理的方法及系统 Download PDF

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Abstract

本发明有关一种在半导体制造系统中连锁物料供应设备的系统，至少包括：一收集装置，用以收集一使用者及物料数据；一通讯装置，用以传送使用者及物料数据；一控制器，藉由通讯装置与物料供应设备和收集装置相通讯，其用以发出数个警示信息；及一警示装置与物料供应设备相连接，并藉由通讯装置与控制器相通讯，用以显示警示信息及控制物料供应设备。一种在半导体制造系统中连锁管理物料供应设备换料的方法至少包括：收集物料供应设备的一更换物料数据；以一控制器比对更换物料数据，此控制器与物料供应设备相通讯；从控制器送出一警示信息至物料供应设备；及根据警示信息锁住(disable)相对应物料供应设备。

Description

在半导体物料供应设备中连锁管理的方法及系统
(1)技术领域
本发明有关一种半导体物料供应设备的系统与方法，特别是半导体物料供应设备换料的连锁(interlocking)管理的系统与方法。
(2)背景技术
在半导体制造系统中以控制器来控制在半导体制造中不同的制程步骤；例如图1所示为物料供应设备系统。一般而言，在一物料供应设备管理系统105中，一监控系统111，例如一部电脑，连接至一包括许多物料供应设备的物料供应设备系统114，例如气体与化学物料供应钢瓶或储存槽。传统中，使用者可利用监控系统111监视到整个物料供应设备管理系统105的情形，例如气体的容量、化学物料的流量等等。
另一方面，半导体工厂的监控系统111也可以连接至一采购及物料管理系统118以便物料核对统计。然而，若干偶然的疏失，例如将错误的物料置入物料供应设备中的情形会发生在半导体工厂中，其会造成后续严重的问题，例如产品报废。另外，错误的换料可能危及操作者及昂贵的半导体制造设备。此外，万一不正常的情形发生时，无法追踪到换料的记录及统计。另一方面，换料的记录及统计无法自动被建立以利原采购记录及统计的比对工作。
(3)发明内容
本发明的主要目的在于提供一在半导体制造设备管理系统中物料供应设备的连锁管理的系统及方法，换料的记录及统计可以由一控制与监视整合系统取回并加以储存。
本发明的另一目的在于提供一在半导体工厂连锁物料供应设备的装置及方法，控制与监视整合系统可以检视换料的记录及统计，进而监测到换料的不正常情形。
本发明的又一目的在于提供一在物料供应设备中的连锁管理的系统及方法，控制与监视整合系统可以传送警示信息至物料供应设备，进而锁住物料供应设备使其无法执行功能。
根据以上所述的目的，本发明一种在半导体制造系统中连锁物料供应设备的装置至少包括：一控制器；一条码扫描器藉由一传送系统与控制器相通讯，其用以收集物料供应设备的一条码数据；及数个警示装置与控制器和物料供应设备相连接，用以接收来自控制器的数个警示信息。
本发明一种在半导体制造系统中连锁管理物料供应设备换料的方法至少包括：收集物料供应设备的一更换物料数据；以一控制器比对更换物料数据，此控制器与物料供应设备相通讯；从控制器送出一警示信息至物料供应设备；及根据警示信息锁住(disable)相对应物料供应设备。
为进一步说明本发明的目的、结构特点和效果，以下将结合附图对本发明进行详细的描述。
(4)附图说明
图1为传统半导体制造控制系统的方块示意图；
图2为应用本发明在半导体制造控制系统的方块示意图；
图3为应用本发明连锁管理的流程示意图；及
图4A至图4E为应用本发明在图3的连锁管理的详细流程示意图。
(5)具体实施方式
当本发明以一较佳实施例来说明本发明方法时，习知此领域的人士应有的认知是许多的顺序是可以互换，这些一般的替换无疑地亦不脱离本发明的精神及范围。
本发明提供了一种在半导体制造系统中连锁物料供应设备的系统，至少包括：一收集装置，用以收集一使用者及物料数据；一通讯装置，用以传送使用者及物料数据；一控制器藉由通讯装置与物料供应设备和收集装置相通讯，其用以发出数个警示信息；及一警示装置与物料供应设备相连接，并藉由通讯装置与控制器相通讯，其用以显示警示信息及控制物料供应设备。一种在半导体制造系统中连锁管理物料供应设备换料的方法至少包括：收集物料供应设备的一更换物料数据；以一控制器比对更换物料数据，此控制器与物料供应设备相通讯；从控制器送出一警示信息置物料供应设备；及根据警示信息锁住(disable)相对应物料供应设备。
参照图2所示，一半导体物料供应设备管理系统5包括一无线控制与监视整合系统11，例如一标准个人电脑。在无线控制与监视整合系统11中的软件(图上未示出)具有旁道(by-pass)条码功能使得无线控制与监视整合系统11可以从条码编译及解译信息。一输出/入装置12，例如网络集线器(hub)，与无线控制与监视整合系统11及许多物料供应设备14及15相连接；在本实施例中，物料供应设备14及15分别为气体及化物供应系统，且各自有物料认明的条码(图上未示出)贴于其上。一通讯基台13，例如无线基地台，经由一区域电脑网络20，例如以太网(ethernet)与输出/入装置12相连接。一扫描器16，例如条码扫描器可以从物料供应设备14及15收集到物料认明条码的信息，并且可以与通讯基台13无线通讯。此外，一例如一部电脑的应用与控制中心17和无线控制与监视整合系统11相连接，用以允许现场外的使用者监视物料供应设备系统情形。另外，监视整合系统11可以通过内部网络与一采购与物料管理系统18相连接。
在正常操作情形下，半导体制造系统会被调节至一最适合操作的模式。而使用者也许可以利用无线控制与监视整合系统选择一换料模式，例如在物料供应设备中更换将耗尽的气体钢瓶。如图3所示，处于换料模式的无线控制与监视整合系统会提醒使用者执行扫描条码的步骤，并且自动监测扫描条码的信号是否有传入(步骤21)。接着，使用者必须在扫描器中输入其身分认明以作为换料许可(步骤22)。一但使用者被授权换料许可，便可以利用扫描器执行收集所更换物料的数据(步骤23)。包括使用者身分及所更换物料的数据可经由通讯基台和输出入装置传至无线控制与监视整合系统(步骤24)。无线控制与监视整合系统可以比对从扫描器传来的数据，然后显示出换料的统计数据(步骤25)。以下的图示则将针对图3的各步骤加以详细说明。
图4A所示为图3的步骤21的详细流程。使用者在操作选单中选择一停止指令以便换料，然后无线控制与监视整合系统会切换到一换料模式(步骤31)。在换料模式的无线控制与监视整合系统首先会在屏幕上显示一提示提醒使用者执行扫描条码的步骤(步骤32)，并且监测来自扫描器的信号。一旦扫描器的信号没有在特定的时间传入无线控制与监视整合系统(步骤33)，无线控制与监视整合系统会显示一有关逾时的通知(步骤34)；另外，若无线控制与监视整合系统有收到扫描器的信号，则它会处于一待机状态(步骤35)。
图4B所示为图3的步骤22的详细流程。使用者首先打开扫描器电源以开始执行扫描步骤(步骤36)。基于安全管理的考虑，扫描器首先会询问使用者的身分号码(步骤37)。接着，使用者亦需输入密码以回应扫描器的询问(步骤38)。一旦身分号码与密码可以吻合(步骤39)，扫描器就可切换到允许执行扫描的模式(步骤40)，否则将回到先前的询问步骤。
图4C所示为图3的步骤23的详细流程。使用者以扫描器扫描一贴于物料供应设备上的条码以收集所更换物料数据(步骤41)；然后经由通讯基台和输出入装置的乙太网络将包括使用者及所更换物料的数据传入无线控制与监视整合系统(步骤42)。
图3比对步骤24于图4D详细说明。当无线控制与监视整合系统监测并接收到使用者及条码的数据时(步骤43)，它可以利用其一具有旁路条码功能的软件解译使用者及条码的数据(步骤44)。一旦比对使用者及条码的数据是正确的(步骤45)，则此数据会被储存在无线控制与监视整合系统中以利后续使用，并且相对应的物料供应设备可继续执行后续步骤(步骤47)；否则，不正常状态的回应及警示会被显示在屏幕上，并且回传至相对应的物料供应设备(步骤46)。特别要强调的是，不正常状态的回应及警示也会显示在其他包括应用与控制中心及相对应物料供应设备等的终端上。
图4E为本发明的一重要关键；为图3的步骤25的详细说明。从无线控制与监视整合系统传出不正常状态的回应及警示的信息(步骤53)。接着，对于可以外加连锁(interlocking)功能的相对应物料供应设备而言(步骤48)，警示可以直接用来锁住(disable)物料供应设备本身使其不能使用(步骤49)，例如锁住相对应物料供应设备上一″确认″按键。另一方面，警示也可以同时显示在物料供应设备、无线控制与监视整合系统及应用与控制中心(步骤50)；而警示的模式可以是发出哔哔声或是视讯警示信息。另外，无线控制与监视整合系统可在其显示幕上锁住相对应的物料供应设备的后续步骤(步骤51)使使用者不能使用不正常的物料供应设备。对于缺乏可外加连锁功能的物料供应设备，警示也许显示在物料供应设备、无线控制与监视整合系统的显示幕或应用与控制中心上(步骤52)而没有锁住物料供应设备的操作。连锁的好处就是可以避免警示信息被忽略而没有处理。
在此特别要强调的是，在本发明中，使用者及条码的数据可以包括使用者名字、所更换物料名称、批号、制造日期及期限。另一方面，这些数据也可传送至应用与控制中心以作为换料统计，或经由内部网络传至采购与物料管理系统以与采购纪录进行比对。再一方面，无线控制与监视整合系统和采购与物料管理系统示通过内部网络通讯，与工厂内的乙太网络是分开的；一旦警示信号在物料供应设备管理系统间传递，它不会受到公司内部网络的影响而中断或延迟。
本发明的目的在于提供一种物料供应设备管理的系统及方法，以减少换料及人为疏失所造成的不正常情形。本发明有许多的好处，首先，包括使用者及物料的更换物料纪录与统计可以追踪得到，并且与原始采购纪录相比对；其次，换料可以自动被纪录于仓库的库存纪录上加以计算消耗量，这样可以减少库存管理上的花费，并减少错误发生；第三，所更换物料的数据由扫描器收集至无线控制与监视整合系统进行比对，可以减少偶然的疏失，进而即时反映不正常的换料情形。另外，在物料供应设备管理系统中不正常的换料情形的后续步骤可以经由连锁动作被中断，这样可以防止后续更严重的情形发生。
当然，本技术领域中的普通技术人员应当认识到，以上的实施例仅是用来说明本发明，而并非用作为对本发明的限定，只要在本发明的实质精神范围内，对以上所述实施例的变化、变型都将落在本发明权利要求书的范围内。

Claims (25)

1.一种在半导体制造系统中连锁物料供应设备的装置，其特征在于，该装置至少包括：
一控制器，用以处理一条码数据；
一条码扫描器，藉由一传送系统与该控制器相通讯，该条码扫描器用以收集该物料供应设备的该条码数据；及
数个警示装置与该控制器和该物料供应设备相连接，该警示装置用以接收来自该控制器的数个警示信息。
2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述的控制器至少包括一软件，该软件具有一旁路条码的功能。
3.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述的控制器的处理步骤包括；
经由该传送系统从该扫描器接收该条码数据；
比对该条码数据；
传送该警示信息至该警示装置；及
根据该警示信息锁住该物料供应设备。
4.如权利要求3所述的装置，其特征在于，所述的处理步骤还包括显示该警示信息于该控制器的一显示幕上，及在该显示幕上锁住该相对应的物料供应设备的数个后续步骤。
5.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述的传送系统至少包括一无线通讯基台及一输出入装置。
6.如权利要求5所述的装置，其特征在于，所述的无线通讯基台藉由一区域网路与该输出入装置相连接。
7.如权利要求5所述的装置，其特征在于，所述的输出入装置可以是一网络集线器。
8.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述的条码数据至少包括：
一物料名称；
一物料批号；
一物料量；及
一物料认证用以供该控制器比对使用。
9.一种在半导体制造系统中连锁物料供应设备的系统，其特征在于，该系统至少包括：
一收集装置用以收集一使用者及物料数据；
一通讯装置用以传送该使用者及物料数据；
一控制器藉由该通讯装置与该物料供应设备和该收集装置相通讯，该控制器用以发出数个警示信息；及
一警示装置与该物料供应设备相连接，并藉由该通讯装置与该控制器相通讯，该警示装置用以显示该警示信息及控制该物料供应设备。
10.如权利要求9所述的系统，其特征在于，所述的收集装置至少包括一条码扫描器。
11.如权利要求10所述的系统，其特征在于，所述的使用者数据藉由该条码扫描器的一输入装置输入该条码扫描器中。
12.如权利要求9所述的系统，其特征在于，所述的物料数据储存于贴于该每一物料供应设备上的一条码中。
13.如权利要求12所述的系统，其特征在于，所述的条码至少包括：
一物料名称；
一物料批号；
一物料量；及
一物料认证用以供该控制器比对使用。
14.如权利要求9所述的系统，其特征在于，所述的通讯装置至少包括一无线通讯基台及一输出入装置。
15.如权利要求9所述的系统，其特征在于，所述的控制器至少包括与数个外部控制器相通讯。
16.如权利要求9所述的系统，其特征在于，所述的控制器用以处理该使用者与物料数据，该处理步骤至少包括：
经由该通讯装置从该收集装置接收该使用者与物料数据；
比对该使用者与物料数据；
传送该警示信息至该警示装置；及
根据该警示信息锁住该相对应的物料供应设备。
17.如权利要求16所述的系统，其特征在于，所述的控制器还显示该警示信息及该使用者与物料数据于该控制器的一显示幕上，及于该显示幕上锁住该对应物料供应设备的数个后续步骤。
18.如权利要求9所述的系统，其特征在于，所述的警示装置至少包括一警示按键与该物料供应设备的一控制装置相连接，该警示按键可以根据该警示信息锁住该控制装置。
19.一种在半导体制造系统中连锁管理物料供应设备换料的方法，其特征在于，该方法至少包括：
收集该物料供应设备的一更换物料数据；
以一控制器比对该更换物料数据，该控制器与该物料供应设备相通讯；
从该控制器送出一警示信息至该物料供应设备；及
根据该警示信息锁住该相对应物料供应设备。
20.如权利要求19所述的方法，其特征在于，还包括：
授权一使用者收集该更换物料数据；
藉由一无线通讯基地台及一区域网络传送该更换物料数据至该控制器；及
显示该更换物料数据及该警示信息于该控制器的一显示幕上。
21.如权利要求19所述的方法，其特征在于，所述的锁住步骤至少包括于该控制器的一显示幕上锁住该相对应物料供应设备的数个后续步骤。
22.如权利要求19所述的方法，其特征在于，所述的收集步骤利用一条码扫描器完成。
23.如权利要求19所述的方法，其特征在于，所述的更换物料数据至少包括一使用者身分认证。
24.如权利要求19所述的方法，其特征在于，所述的更换物料数据至少包括一储存于一条码的一更换物料的一名称及一批号。
25.如权利要求19所述的方法，其特征在于，所述的比对步骤至少包括与该控制器中的一数据库比对该更换物料数据。
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