CN1386613A - 化学机械研磨机台的导管过滤装置 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种化学机械研磨(CMP)(Chemical Mechanical Polishing)机台的导管过滤装置,借以过滤一导管的不可溶物。本发明的特征在于所述过滤装置是采可拆卸的设计,且并联一辅助导管,使所述过滤装置阻塞时有宣泄的路径,而不至于造成整个管路的阻塞。
Description
本发明为一种化学机械研磨(CMP)(Chemical Mechanical Polishing)机台的导管过滤装置。
在CMP操作过程中总会遭遇到研磨主机(Polisher)在研磨后排放高浓度的研磨废液问题。如图1所示，CMP机台11的研磨废液13是经由废液排放管(Drain Pipe)12排出，而废液排放管12管内壁常因研磨废液13中的研磨浆(Slurry)特性而沾粘或滞留，于是长期排放造成管壁结成厚垢，甚至引起排放困难或堵塞现象，尤其造成堵塞的厚垢中含有研磨垫料(Pad)经打磨机磨削(Dresser Dressing)后产生发泡纤维(Polymer)渣，发泡纤维渣是耐酸碱材质，即使利用KOH通管，并打进空气进行扰流清灌亦无法将其排除，以致于须将管路局部切除或更新。
然而进行管路局部切除或更新作业，往往需要长时间停机机，影响机台工作时间(up-time)甚剧，因此如何延长排放管的使用寿命(life-time)，已成为所有CMP工程实务上重要的课题。
本发明的目的是为解决上述废液排放管堵塞的问题而提供一简便而有效的过滤装置，使所述过滤装置阻塞时有宣泄的路径，以避免废液排放管堵塞的现象，进而延长排放管使用寿命。
为达上述目的，根据本发明一方面的CMP机台的导管过滤装置，借以过滤一导管的不可溶物，其包括：一过滤装置，它连接在所述导管上，借以过滤一导管的不可溶物。
如所述的导管过滤装置，其中所述导管是为所述CMP机台的废液排放管。
如所述的导管过滤装置，其中所述导管的不可溶物是为发泡纤维(Polymer)渣。
如所述的导管过滤装置，其中所述过滤装置可过滤毫米级的物质。
如所述的导管过滤装置，其中所述过滤装置是设于所述CMP机台与所述导管的接合处。
如所述的导管过滤装置，其中所述过滤装置是设于所述导管管路的任一路段。
如所述的导管过滤装置，其中所述导管过滤装置还包括一拆卸装置，用以提供所述过滤装置在所述导管上的拆卸功能。
如所述的导管过滤装置，其中所述导管过滤装置还包括一辅助导管，它与所述过滤装置并联，当所述过滤装置堵塞时可保持所述导管的畅通。
如所述的导管过滤装置，其中所述辅助导管是用透明或半透明材质制成。
如所述的导管过滤装置，其中所述辅助导管设有一流量传感器，用以检测所述辅助导管内是否有废液流过。
根据本发明另一方面的化学机械研磨机台的导管过滤装置，借以过滤一导管的不可溶物，其特点是，包括：
一过滤装置，它连接在所述导管上，借以过滤一导管的不可溶物；以及
一感应装置，它连接在所述导管上，借以感应所述导管的一阻塞现象。
采用本发明的上述方案，由于采取可拆卸的过滤装置，既可拦截CMP机台排放废液的不可溶物，又有并联的辅助导管避免管路阻塞并提供监视功能，而一旦过滤装置阻塞也可拆卸清洗再装回，整体而言，本发明的实用性佳且极为便利，
为更清楚理解本发明的目的、特点和优点，下面将结合附图对本发明的较佳实施例进行详细说明。
图1是现有的研磨浆废液形成残垢堵塞排放管路示意图；
图2(A)是本发明一较佳实施例的的示意图；
图2(B)是本发明另一较佳实施例的示意图；
图3是本发明再一较佳实施例的示意图。
请参见图2(A)，图中示出本发明CMP机台的导管过滤装置的一较佳实施例，其中过滤装置21是通过拆卸装置22串接于废液排放管12的任一段落，当过滤装置21使用一段时间，因为拦截过多的废液残垢而致阻塞时，即可松开拆卸装置22取下清洗，完毕后再行装设回原来位置，既可重复使用又毋须拆开废液排放管12清洗，相当便利且节省时间与成本。辅助导管23同样和废液排放管12串接，但与过滤装置21并联形成一旁通的路径，其作用是于过滤装置22阻塞时，提供废液排放的另一通道以避免整个管路阻塞，而辅助导管23可以采用透明或半透明材质以方便人员检视有无废液流通，进而提供判断过滤装置22是否阻塞的依据；另外，也可以在辅助导管23上设置流量传感器来警示过滤装置22的阻塞情况。
图2(B)所示实施例是直接在过滤装置21上安装一感应装置24，借以感应所述不可溶物的阻塞现象，这样，即可省去辅助导管的设置。
图3示出本发明的另一较佳实施例，过滤装置21设于CMP机台11和废液排放管12的连接处，可以将研磨后的废液直接加以拦截。
本发明是针对现有技术的改进，由于采用可拆卸的过滤装置，既可拦截CMP机台排放废液的不可溶物，又有并联的辅助导管避免管路阻塞并提供监视功能，而一旦过滤装置阻塞也可拆卸清洗再装回，整体上看，本发明的实用性佳且极为便利。
Claims (22)
1.一种化学机械研磨(CMP)机台的导管过滤装置，借以过滤一导管的不可溶物，其特征在于，包括：
一过滤装置，它连接在所述导管上，借以过滤一导管的不可溶物；以及
一辅助导管，与所述过滤装置并联，当所述过滤装置堵塞时可保持所述导管的畅通。
2.如权利要求1所述的化学机械研磨机台的导管过滤装置，其特征在于，所述导管为所述化学机械研磨机台的废液排放管。
3.如权利要求1所述的化学机械研磨机台的导管过滤装置，其特征在于，所述导管的不可溶物为发泡纤维渣。
4.如权利要求1所述的化学机械研磨机台的导管过滤装置，其特征在于，所述过滤装置可过滤毫米级的物质。
5.如权利要求1所述的化学机械研磨机台的导管过滤装置，其特征在于，所述过滤装置设于所述化学机械研磨机台与所述导管的接合处。
6.如权利要求1所述的化学机械研磨机台的导管过滤装置，其特征在于，所述过滤装置设于所述导管管路的任一路段。
7.如权利要求1所述的化学机械研磨机台的导管过滤装置，其特征在于，所述导管过滤装置还包括一拆卸装置，用以提供所述过滤装置在所述导管上的拆卸功能。
8.如权利要求1所述的化学机械研磨机台的导管过滤装置，其特征在于，所述辅助导管是用透明或半透明材质制成。
9.如权利要求1所述的化学机械研磨机台的导管过滤装置，其特征在于，所述辅助导管设有一流量传感器，用以检测所述辅助导管内是否有废液流过。
10.一种化学机械研磨机台的导管过滤装置，借以过滤一导管的不可溶物，其特征在于，包括：
一过滤装置，它连接在所述导管上，借以过滤一导管的不可溶物。
11.如权利要求10所述的化学机械研磨机台的导管过滤装置，其特征在于，所述导管为所述化学机械研磨机台的废液排放管。
12.如权利要求10所述的化学机械研磨机台的导管过滤装置，其特征在于，所述导管的不可溶物为发泡纤维渣。
13.如权利要求10所述的化学机械研磨机台的导管过滤装置，其特征在于，所述过滤装置可过滤毫米级的物质。
14.如权利要求10所述的化学机械研磨机台的导管过滤装置，其特征在于，所述过滤装置设于所述化学机械研磨机台与所述导管的接合处。
15.如权利要求10所述的化学机械研磨机台的导管过滤装置，其特征在于，所述过滤装置设于所述导管管路的任一路段。
16.如权利要求10所述的化学机械研磨机台的导管过滤装置，其特征在于，所述导管过滤装置还包括一拆卸装置，用以提供所述过滤装置在所述导管上的拆卸功能。
17.如权利要求10所述的化学机械研磨机台的导管过滤装置，其特征在于，所述导管过滤装置还包括一辅助导管，它与所述过滤装置并联，当所述过滤装置堵塞时可保持所述导管的畅通。
18.如权利要求17所述的化学机械研磨机台的导管过滤装置，其特征在于，所述辅助导管是用透明或半透明材质制成。
19.如权利要求17所述的化学机械研磨机台的导管过滤装置，其特征在于，所述辅助导管设有一流量传感器，用以检测所述辅助导管内是否有废液流过。
20.一种化学机械研磨机台的导管过滤装置，借以过滤一导管的不可溶物，其特征在于，包括：
一过滤装置，它连接在所述导管上，借以过滤一导管的不可溶物；以及
一感应装置，它连接在所述导管上，借以感应所述导管的一阻塞现象。
21.如权利要求20所述的化学机械研磨机台的导管过滤装置，其特征在于，所述阻塞现象是由所述不可溶物造成。
22.如权利要求21所述的化学机械研磨机台的导管过滤装置，其特征在于，所述导管的不可溶物为发泡纤维渣。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 01119753 CN1386613A (zh) | 2001-05-23 | 2001-05-23 | 化学机械研磨机台的导管过滤装置 |
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| CN 01119753 CN1386613A (zh) | 2001-05-23 | 2001-05-23 | 化学机械研磨机台的导管过滤装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN1386613A true CN1386613A (zh) | 2002-12-25 |
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| CN 01119753 Pending CN1386613A (zh) | 2001-05-23 | 2001-05-23 | 化学机械研磨机台的导管过滤装置 |
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|---|---|
| CN (1) | CN1386613A (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108114624A (zh) * | 2017-12-28 | 2018-06-05 | 安徽富乐泰水泵系统有限公司 | 一种均质混合泵及其清理方法 |
| CN114378714A (zh) * | 2020-10-19 | 2022-04-22 | 中国科学院微电子研究所 | 一种研磨盘及抛光设备 |
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2001
- 2001-05-23 CN CN 01119753 patent/CN1386613A/zh active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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