CN1317543C - 猫眼折叠腔位移自传感氦氖激光器系统 - Google Patents
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Abstract
猫眼折叠腔位移自传感氦氖激光器系统，属于基于激光位移传感技术领域。本发明的技术特点是不再将猫眼逆向器作为谐振腔的腔镜，而是作为光线的折返器，将从举外腔氦氖激光增益管的毛细管出射的光线折返到与输出镜平行的一个静止、与系统固结的反射镜或全反射膜上，整个谐振腔结构形成折叠腔结构，构成激光谐振腔的两个腔镜是增益管一端的输出镜和上述的反射镜或全反射膜，这两个腔镜都是静止固定的，不受测杆移动的影响，从而根本解决系统的稳定性问题。系统的测量分辨率随之提高了一倍，为氦氖激光器中心波长632.8nm的1/16，即39.6nm。系统测量范围也得以提高，从而成为一个可长期稳定工作的测位移传感器。
Description
技术领域：
本发明涉及一种激光位移传感器，属于激光位移传感技术领域。
背景技术
中国专利“位移自传感HeNe激光器系统及其实现方法”(ZL 199103514.3)综合利用几种激光物理现象，如激光频率分裂现象、激光模竞争现象、激光功率调谐现象等，将一支普通HeNe激光器改造成一种不利用干涉现象但具有自标定功能又相对简单的位移传感仪器。该方法具有λ/8的位移测量分辨率(对于波长为0.6328μm的HeNe激光器，λ/8为79nm)。这一发明的主体结构是一支普通的半外腔HeNe激光器，其两个反射腔镜之一作为动镜固连在一直线导轨(测杆)上以便可沿激光器光轴做轴向移动。中国专利“以猫眼作腔镜的位移自传感HeNe激光器系统”(申请号：200310115540.6)对此系统做了改进，将猫眼逆向器作为腔镜与直线导轨固连，提高了系统的稳定性能，拓宽了其应用领域。但是，稳定性仍然是该系统难以根本解决的问题。众所周知，激光谐振腔由两个腔镜组成，若使谐振腔稳定，要尽量保证两个腔镜静止、固定；而猫眼逆向器作为腔镜随着测杆不断移动的过程中不可避免地晃动，必然带来系统的不稳定。另外，尽管猫眼逆向器具有良好的逆向平行反射性，可以使在一定角度范围内入射的光线沿原方向平行出射，但是猫眼逆向器相对激光轴线的微小位移却能导致激光功率的明显变化甚至无法出光，从而导致系统无法正常工作。上述缺点也严重限制了该系统的测量范围，而且对测杆的加工精度提出了非常高的要求，成本斐然。
发明内容
本发明的目的是提供一种猫眼折叠腔位移自传感氦氖激光器系统，以进一步提高以猫眼逆向器作为腔镜的位移自传感氦氖激光器系统的稳定性能，提高该系统的测量分辨率和测量范围，从而拓宽其应用领域。
本发明的技术方案如下：
一种猫眼折叠腔位移自传感氦氖激光器系统，含有一端为输出镜、其另一端为增透窗片的半外腔氦氖激光增益管，设置在输出镜一端的偏振分光镜，分别接受该偏振分光镜分出的两束正交偏振光的两个光电探测器以及处理两个光电探测器输出信号的电路部分，设置在增透窗片一端的猫眼逆向器和一端与猫眼逆向器连接、另一端与待测物体接触的可动测杆，以及用于固定半外腔氦氖激光增益管、偏振分光镜、两个光电探测器和可动测杆的平板支架；所述的猫眼逆向器是由一个两面镀增透膜的凸透镜和一个镀全反射膜的凹面镜组成，且凸透镜和凹面镜之间的间距可调，其特征在于：在所述半外腔氦氖激光增益管与猫眼逆向器之间设有与输出镜平行的反射镜，该反射镜固定在平板支架上，其反射面正对猫眼逆向器，但与半外腔氦氖激光增益管的毛细管所在直线不相交，保证该反射镜不阻挡从半外腔氦氖激光增益管的毛细管射往猫眼逆向器的光线；所述猫眼逆向器的轴线与半外腔氦氖激光增益管的毛细管轴线错开一距离，使得从毛细管射出的光线经过猫眼逆向器折返后入射到反射镜上。在上述方案中，光线从半外腔氦氖激光增益管的毛细管经过增透窗片射往猫眼逆向器，经过猫眼逆向器的折返，垂直入射到全反射镜，经过反射又回到猫眼逆向器，经过折返再回到毛细管，到达输出镜形成激光振荡。也就是说，构成激光谐振腔的是半外腔氦氖激光增益管的输出镜和反射镜，猫眼逆向器只起到光线折返器的作用，整个谐振腔结构形成折叠腔结构。
本发明所述的增透窗片的周边装有加力环，对增透窗片施加压力，使增透窗片成为一个应力双折射元件，使激光输出的频率由一个变成两个，把单频激光变成具有两个正交偏振方向的双频激光。
本发明提供的另一种技术方案为：一种猫眼折叠腔位移自传感氦氖激光器系统，含有一端为输出镜、另一端为增透窗片的半外腔氦氖激光增益管，设置在输出镜一端的偏振分光镜，分别接受该偏振分光镜分出的两束正交偏振光的两个光电探测器以及处理两个光电探测器输出信号的电路部分，设置在增透窗片一端的猫眼逆向器和一端与猫眼逆向器连接、另一端与待测物体接触的可动测杆，以及用于固定半外腔氦氖激光增益管和可动测杆的石英管；所述的猫眼逆向器是由一个两面镀增透膜的凸透镜和一个镀全反射膜的凹面镜组成，且凸透镜和凹面镜之间的间距可调，其特征在于：所述猫眼逆向器的轴线与半外腔氦氖增益管的毛细管轴线错开一距离；所述的增透窗片面向增益管的一面(称为内向面)镀增透膜，面向猫眼逆向器的一面(称为外向面)一半镀增透膜，一半镀全反射膜，两半的分界线与半外腔氦氖激光增益管的毛细管轴线错开一距离，保证增透窗片外向面上镀的增透膜正对毛细管轴线，使得从毛细管射出的光线经过猫眼逆向器折返后入射到增透窗片外向面的全反射膜上。在此方案中，光线从半外腔氦氖激光增益管的毛细管先后经过增透窗片的内向面(镀增透膜)和外向面的增透膜部分射往猫眼逆向器，经过猫眼逆向器的折返，垂直入射到增透窗片外向面的全反射膜部分(充当一个反射镜的角色)，经过反射又回到猫眼逆向器，经过折返，再先后经过增透窗片外向面的增透膜部分和内向面回到毛细管，到达输出镜形成激光振荡。也就是说，构成激光谐振腔的是半外腔氦氖激光增益管的输出镜和增透窗片外向面上的全反射膜部分，猫眼逆向器只起到光线折返器的作用，整个谐振腔结构形成折叠腔结构。
在上述的增透窗片与猫眼逆向器之间的激光光路中设有晶体石英片，其两面镀增透膜，把单频激光变成具有两个频率的正交偏振光。
本发明与现有技术相比，具有以下优点及突出性进步：由于真正构成激光谐振腔的两个腔镜都是静止固定的，不受测杆移动的影响，从而从根本上解决了系统的稳定性问题。同时由于采用的是折叠腔结构，猫眼逆向器每移动Δ，腔长将改变2Δ，所以系统的测量分辨率随之提高了一倍，为氦氖激光器中心波长632.8nm的1/16，即39.6nm。系统测量范围也得以提高，从而成为一个可长期稳定工作的自传感测位移传感器。
附图说明
图1为本发明提供的猫眼折叠腔位移自传感氦氖激光器系统的第一种方案实施例的结构示意图。
图2为第一种方案实施例中猫眼逆向器移动时两个光电探测器探测到的信号示意图。
图3为第二种方案实施例中增透窗片的结构示意图。
图4为本发明提供的猫眼折叠腔位移自传感氦氖激光器系统的第二种方案实施例的结构示意图。
具体实施方式
本发明的技术方案是将猫眼逆向器不再作为谐振腔的腔镜，而是作为光线的折返器，将光线折返到与输出镜平行的一个静止、与系统固结的反射镜或全反射膜上。光线从毛细管射往猫眼逆向器，经过猫眼逆向器的折返，垂直入射到反射镜或全反射膜，经过反射又回到猫眼逆向器，经过折返再回到毛细管，到达输出镜形成激光振荡。也就是说，构成激光谐振腔的是激光增益管的输出镜和反射镜或全反射膜，猫限逆向器只起到光线折返器的作用，整个谐振腔结构为折叠腔结构。
下面结合附图对本发明列出的两种猫眼折叠腔位移自传感氦氖激光器系统的具体实施方式作进一步的说明。
图1是猫眼折叠腔位移自传感氦氖激光器系统实施例一的结构示意图。该猫眼折叠腔位移自传感氦氖激光器系统含有一端为输出镜2、另一端为增透窗片3的半外腔氦氖激光增益管1，设置在输出镜一端的偏振分光镜8，分别接受该偏振分光镜分出的两束正交偏振光的第一光电探测器9和第二光电探测器10以及处理两个光电探测器输出信号的电路部分12，设置在增透窗片一端的猫眼逆向器6和一端与猫眼逆向器连接、另一端与待测物体接触的可动测杆7，以及用于固定半外腔氦氖激光增益管、偏振分光镜、两个光电探测器和可动测杆的平板支架11；猫眼逆向器6是由一个两面镀增透膜的凸透镜和一个镀全反射膜的凹面镜组成，且凸透镜和凹面镜之间的间距可调；在半外腔氦氖激光增益管1与猫眼逆向器6之间还设有与输出镜2平行的反射镜5，反射镜5固定在平板支架11上，其反射面正对猫眼逆向器6，但与激光增益管1的毛细管所在的直线不相交，保证反射镜5不阻挡从半外腔氦氖激光增益管1的毛细管射往猫眼逆向器6的光线。猫眼逆向器6的轴线与半外腔氦氖激光增益管1的毛细管轴线错开一距离(一般小于5mm)，使得从毛细管射出的光线经过猫眼逆向器6折返后入射到反射镜5上。
上述系统的工作原理是：光线从半外腔氦氖激光增益管1的毛细管射往猫眼逆向器6，经过折返，垂直入射到反射镜5，经过反射又回到猫眼逆向器6，经过折返再回到毛细管，到达输出镜2形成激光振荡。也就是说，构成激光谐振腔的是半外腔氦氖激光增益管的输出镜2和反射镜5，猫眼逆向器6只起到光线折返器的作用，整个谐振腔结构为折叠腔结构。由于谐振腔的两个腔镜(输出镜2和反射镜5)都是静止固定的，不受测杆移动的影响，从而根本解决系统的稳定性问题。
加力环4对增透窗片3施加一个力，使增透窗片3成为一个应力双折射元件，把单频激光变成具有两个正交偏振方向的双频激光，从激光增益管的输出镜2处输出，经偏振分光棱镜8分束后，分别入射到第一电探测器9和第二探测器10上。被测物移动时推动可动测杆7移动，猫眼逆向器6也随之移动。激光器输出光的偏振态将发生周期性改变，即四个偏振态依次周期性出现：只有平行光输出→平行光和垂直光都输出→只有垂直光输出→无光输出。激光束被光第一电探测器9和第二探测器10探测，相应的有四个状态依次出现：只有9被照亮→9和10同时被照亮→只有10被照亮→9和10都不被照亮。每次状态的改变意味着激光腔长改变了λ/16的位移，四个状态出现的先后顺序可以判断位移的方向。
可动测杆7的一端与猫眼逆向器6相连，另一端与待测位移的物体接触。偏振分光镜8位于输出镜2的出光侧，分开自输出镜2输出的共束的两正交偏振光。第一电探测器9和第二探测器10，分别接收偏振分光镜8分开的两束不同频率的正交偏振光。上述的半外腔氦氖激光增益管1、可动测杆7、偏振分光镜8、第一光电探测器9和第二光电探测器10都固定于平板支架11上。信号处理电路部分12，处理两个光电探测器输出的信号，具有判向、计数等功能，最终实现测位移的功能。
图2是上述方案中猫眼逆向器移动时第一电探测器9和第二探测器10探测到的信号示意图。由于我们采用的是折叠腔结构，猫眼逆向器6每移动Δ，腔长将改变2Δ。因此，上述四种偏振态的每次变化对应猫眼逆向器6移动了λ/16的位移。即：分辨率比非折叠腔的结构提高了一倍，为39.6nm。
图3是猫眼折叠腔位移自传感氦氖激光器系统实施例二中增透窗片3的示意图。增透窗片3面向毛细管的一面(称为内向面)镀增透膜13，另一面(称为外向面)一半镀增透膜14，一半镀全反射膜15，两者的分界线为16。
图4是猫眼折叠腔位移自传感氦氖激光器系统实施例二的结构示意图。该系统含有一端为输出镜2、另一端为增透窗片3的半外腔氦氖激光增益管1，设置在输出镜一端的偏振分光镜8，分别接受该偏振分光镜分出的两束正交偏振光的第一电探测器9和第二探测器10以及处理两个光电探测器输出信号的电路部分12，设置在增透窗片一端的猫眼逆向器6和一端与猫眼逆向器连接、另一端与待测物体接触的可动测杆7，以及用于固定半外腔氦氖激光增益管和可动测杆的石英管18；猫眼逆向器是由一个两面镀增透膜的凸透镜和一个镀全反射膜的凹面镜组成，且凸透镜和凹面镜之间的间距可调；猫眼逆向器6轴线与半外腔氦氖增益管的毛细管轴线错开一距离；增透窗片3面向半外腔氦氖激光增益管的一面镀增透膜13，面向猫眼逆向器的一面一半镀增透膜14，一半镀全反射膜15(如图3所示)，两半的分界线16与半外腔氦氖激光增益管的毛细管轴线错开一距离，保证增透窗片面向猫眼逆向器的一面上镀的增透膜14正对毛细管轴线，使得从毛细管射出的光线经过猫眼逆向器6折返后入射到增透窗片面向猫眼逆向器的一面的全反射膜15上。
该工作原理是：光线从激光增益管1的毛细管先后经过增透窗片3的内向面(镀增透膜13)和外向面的增透膜14射往猫眼逆向器6，经过猫眼逆向器6的折返，垂直入射到增透窗片3外向面的全反射膜15(充当一个反射镜的角色)上，经过反射又回到猫眼逆向器6，经过折返，再先后经过增透窗片3的外向面增透膜14和内向面回到毛细管，到达输出镜2形成激光振荡。也就是说，构成激光谐振腔的是输出镜2和增透窗片3外向面上的全反射膜15，猫眼逆向器6只起到光线折返器的作用，整个谐振腔结构为折叠腔结构。由于谐振腔的两个腔镜(输出镜2和增透窗片外向面上的全反射膜15)都是静止固定的，不受测杆移动的影响，从而根本解决系统的稳定性问题。
在所述的增透窗片与猫眼逆向器之间的激光光路中设有双折射元件晶体石英片17，其两面镀增透膜，它把单频激光变成具有两个正交偏振方向的双频激光，从激光增益管的输出镜2处输出，经偏振分光棱镜8分束后，平行光照射在第一光电探测器9上，垂直光照射在第二光电探测器10上。被测物移动时推动可动测杆7移动，猫眼逆向器6也随之移动。激光器输出光的偏振态将发生周期性改变，即有四个偏振态依次周期性出现：①只有平行光输出→②平行光和垂直光都输出→③只有垂直光输出→④无光输出。两个光电探测器探测到的光强信号也相应的有四个状态依次周期性出现：①只有第一光电探测器9被照亮→②第一光电探测器9和第二光电探测器10同时被照亮→③只有第二光电探测器10被照亮→④第一光电探测器9和第二光电探测器10都不被照亮。由激光原理可知：每次状态的改变意味着激光腔长改变了λ/16的位移，四个状态出现的先后顺序可以判断位移的方向。猫眼逆向器移动时第一光电探测器9和第二光电探测器10探测到的信号如图2所示。
可动测杆7的一端与猫眼逆向器6相连，另一端与待测位移的物体接触。偏振分光镜8位于输出镜2的出光侧，分开自输出镜2输出的共束的两正交偏振光。第一电探测器9和第二探测器10，分别接收偏振分光镜8分开的两束不同频率的正交偏振光。信号处理电路部分12，处理两个光电探测器输出的信号，具有判向、计数等功能，最终实现测位移的功能。石英管18用来固定半外腔氦氖激光增益管1和可动测杆7。
由于我们采用的是折叠腔结构，猫眼逆向器6每移动Δ，腔长将改变2Δ。因此，上述四种偏振态的每次变化对应猫眼逆向器6移动了λ/16的位移。分辨率比非折叠腔的结构提高了一倍，为39.6nm。
Claims (4)
1.一种猫眼折叠腔位移自传感氦氖激光器系统，含有一端为输出镜(2)、另一端为增透窗片(3)的半外腔氦氖激光增益管(1)，设置在输出镜一端的偏振分光镜(8)，分别接受该偏振分光镜分出的两束正交偏振光的第一光电探测器(9)和第二光电探测器(10)以及处理两个光电探测器输出信号的电路部分(12)，设置在增透窗片一端的猫眼逆向器(6)和一端与猫眼逆向器连接、另一端与待测物体接触的可动测杆(7)，以及用于固定半外腔氦氖激光增益管、偏振分光镜、两个光电探测器和可动测杆的平板支架(11)；所述的猫眼逆向器是由一个两面镀增透膜的凸透镜和一个镀全反射膜的凹面镜组成，且凸透镜和凹面镜之间的间距可调，其特征在于：在所述半外腔氦氖激光增益管与猫眼逆向器之间设有与输出镜(2)平行的反射镜(5)，该反射镜固定在平板支架上，其反射面正对猫眼逆向器，但与半外腔氦氖激光增益管的毛细管所在直线不相交，保证该反射镜不阻挡从半外腔氦氖激光增益管的毛细管射往猫眼逆向器的光线；所述猫眼逆向器的轴线与半外腔氦氖激光增益管的毛细管轴线错开一距离，使得从半外腔氦氖激光增益管的毛细管射出的光线经过猫眼逆向器折返后入射到反射镜上。
2.按照权利要求1所述的猫眼折叠腔位移自传感氦氖激光器系统，其特征在于：所述的增透窗片(3)周边装有对增透窗片施加压力的加力环(4)。
3.一种猫眼折叠腔位移自传感氦氖激光器系统，含有一端为输出镜(2)、另一端为增透窗片(3)的半外腔氦氖激光增益管(1)，设置在输出镜一端的偏振分光镜(8)，分别接受该偏振分光镜分出的两束正交偏振光的第一光电探测器(9)和第二光电探测器(10)以及处理两个光电探测器输出信号的电路部分(12)，设置在增透窗片一端的猫眼逆向器(6)和一端与猫眼逆向器连接、另一端与待测物体接触的可动测杆(7)，以及用于固定半外腔氦氖激光增益管和可动测杆的石英管；所述的猫眼逆向器是由一个两面镀增透膜的凸透镜和一个镀全反射膜的凹面镜组成，且凸透镜和凹面镜之间的间距可调，其特征在于：所述猫眼逆向器(6)轴线与半外腔氦氖激光增益管的毛细管轴线错开一距离；所述的增透窗片(3)面向半外腔氦氖激光增益管的一面镀内向面增透膜(13)，面向猫眼逆向器的一面一半镀增透膜(14)，一半镀全反射膜(15)，两半的分界线(16)与半外腔氦氖激光增益管的毛细管轴线错开一距离，保证增透窗片面向猫眼逆向器的一面上镀的增透膜(14)正对毛细管轴线，使得从半外腔氦氖激光增益管的毛细管射出的光线经过猫眼逆向器(6)折返后入射到增透窗片面向猫眼逆向器的一面的全反射膜(15)上。
4.按照权利要求3所述的猫眼折叠腔位移自传感氦氖激光器系统，其特征在于：在所述的增透窗片与猫眼逆向器之间的激光光路中设有双折射元件晶体石英片(17)，其两面镀增透膜。
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Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56132508A (en) * | 1980-03-22 | 1981-10-16 | Toshiba Corp | Pattern measuring device |
| EP0408747A1 (en) * | 1988-02-19 | 1991-01-23 | Kitamura Machinery Co., Ltd. | Length measuring method by using laser beams |
| CN1233093A (zh) * | 1999-04-02 | 1999-10-27 | 清华大学 | 位移自传感氦氖激光器系统及其实现方法 |
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Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56132508A (en) * | 1980-03-22 | 1981-10-16 | Toshiba Corp | Pattern measuring device |
| EP0408747A1 (en) * | 1988-02-19 | 1991-01-23 | Kitamura Machinery Co., Ltd. | Length measuring method by using laser beams |
| CN1233093A (zh) * | 1999-04-02 | 1999-10-27 | 清华大学 | 位移自传感氦氖激光器系统及其实现方法 |
| CN1547293A (zh) * | 2003-11-28 | 2004-11-17 | 清华大学 | 以猫眼作腔镜的位移自传感HeNe激光器系统 |
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