CN1312466A - 一种综合测量液晶器件参数的装置及方法 - Google Patents
一种综合测量液晶器件参数的装置及方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN1312466A CN1312466A CN 00110180 CN00110180A CN1312466A CN 1312466 A CN1312466 A CN 1312466A CN 00110180 CN00110180 CN 00110180 CN 00110180 A CN00110180 A CN 00110180A CN 1312466 A CN1312466 A CN 1312466A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- liquid crystal
- analyzer
- angle
- detector
- polarizer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
本发明涉及一种对测量液晶器件参数装置及方法的改进。它包括光源、起偏器、样品、转台、补偿器、检偏器、镜头、探测器、计算机和液晶驱动装置。根据液晶折射率和指向矢分布,用理论值和测量值迭代拟合得到液晶层厚度、预倾角和扭曲角。本发明打破现有技术只能偏振光测量、只能非偏振光测量、只能单色光测量、只能白光测量和入射角单一的局限,扩展已有装置的测量能力,一台装置就能够满足液晶器件关键参数的测量需要。
Description
本发明属于光电子学技术领域,涉及一种对测量液晶器件参数装置及方法的改进。
已有技术测量液晶器件参数的装置,它的测量光学系统采用偏振光测量系统,或者采用非偏振光测量系统。已有测量液晶器件参数的装置,存在以下问题:
1、采用偏振光测量系统的装置,不能测量液晶器件视角等参数。
2、采用非偏振光测量系统的装置,不能测量液晶器件的预倾角、扭曲角等参数。
3、采用单色光的测量系统不能测量材料的光谱透过率、反射率和色度参数;采用白光的测量系统不能测量液晶分子预倾角和扭曲角等参数。
4、采用单入射角的测量系统不能测量视角特性和预倾角特性,并且难于同时用于反射式测量和透射式测量。
5、液晶器件理论计算方法有两种:采用Jones矩阵方法只能计算光在液晶器件中透射传输的问题,不能计算光在液晶器件中反射传输的问题;采用Muller矩阵方法,只能计算光在液晶器件中正入射的传输问题,不能计算光在液晶器件中倾斜入射的传输问题。
因此现有测量装置只能测量液晶器件一项或几项参数,这样需要购买多台设备才能测量液晶器件关键参数,成本昂贵,测量功能存在局限性。
本发明的目的是解决已有技术单台装置测量参数少,需要多台装置才能完成关键参数的测量等问题,提供一种综合测量液晶器件参数的方法及装置。
本发明的装置包括如图1所示:光源1、起偏器2、被测样品3、测量转台4、相位补偿器5、检偏器6、光学镜头7、探测器8、探测器9、计算机系统10和液晶器件驱动装置11。被测样品3竖直放置于测量转台4上,测量转台4的水平旋转轴线和起偏器2、相位补偿器5、检偏器6、光学镜头7、探测器8、9的光轴与光源1的光轴重合;相位补偿器5、检偏器6、光学镜头7和探测器8、9的竖直旋转轴线与测量转台4的竖直旋转轴线重合;探测器8、9的输出信号连接到计算机系统10;液晶器件驱动装置11的电信号连接到被测样品3的电极上;起偏器2、相位补偿器5和检偏器6可切换进入或移出光路。探测器9从光源1的白光中选出单色光测量。
本发明液晶层厚度、液晶分子预倾角和扭曲角的测量方法如下:
1、首先将光源的准直自然光经起偏器起偏变成准直偏振光;
2、利用准直偏振光透过样品后,其透射光经检偏器形成与液晶器件的液晶层厚度、分子预倾角、扭曲角、起偏器和检偏器偏光轴角度有关的透射光强信息;
3、再利用透射光强信息入射到探测器上,探测器将透射光强信息转化为透射光强电信号并送入计算机系统;
4、然后再改变起偏器和检偏器的偏光轴角度,得到在不同偏振器角度下透射光强信息;
5、由计算机根据液晶材料折射率值和预置的液晶层厚度、液晶分子预倾角和扭曲角初值;再根据上述初值和液晶分子指向矢分布数据,运用Berreman4×4矩阵法计算透射光强信息从而得到理论光强信息;再用理论光强信息和被测样品透射光强信息及起偏器和检偏器的偏光轴角度为自变量进行迭代拟合;拟合的误差平方和最小时对应的液晶层厚度、液晶分子预倾角和扭曲角值即为被测样品的液晶层厚度、液晶分子预倾角和扭曲角。
本发明的工作过程:
1、根据测量项目的不同要求,采用偏振光测量将起偏器、检偏器和相位补偿器切换入光路;采用非偏振光测量将起偏器、检偏器和相位补偿器切换出光路。
2、单色光测量或光谱测量时采用光谱探测器。
3、将被测样品安装于测量转台上。
4、根据测量要求的入射光角度和探测器角度,设置被测样品、相位补偿器、检偏器、光学镜头和探测器相对于光源出射光束的夹角。
5、由计算机系统运行不同的测试软件,实现被测样品相应参数的测量。
本发明应用的积极效果:本发明提供了一种综合测量液晶器件参数的方法和装置,该装置打破了现有技术只能偏振光测量、只能非偏振光测量、只能单色光测量、只能白光测量和某些装置入射角单一的局限。采用起偏器、检偏器和相位补偿器切换出入光路结构,提供了既能偏振光测量,又能非偏振光测量;采用光谱探测器从白光中选出单色光探测,既能单色光测量,又能白光测量;以及采用多入射角测量,既能反射式测量,又能透射式测量。本发明能够同时测量液晶层厚度、液晶分子预倾角、液晶分子扭曲角、阈值电压、饱和电压、对比度、陡度因子、液晶空盒间隙、液晶器件视角特性、材料的色度特性、材料的光谱透过率和反射率、液晶器件响应时间参数和液晶器件及材料在不同温度下的参数。扩展了现有装置的测量范围和能力。本发明用一台装置就能够满足液晶器件关键参数的测量需要。
本发明的附图说明:图1是本发明的原理示意图。
本发明的一个实施例为:
光源1采用卤钨灯和正透镜组合,得到准直自然白光;起偏器2和检偏器6采用Glan棱镜;相位补偿器5采用石英补偿器;光学镜头7采用显微物镜;探测器8采用光度探测器;探测器9采用瞬态光谱仪;计算机系统10采用Pentium2-400计算机系统;液晶器件驱动装置11采用低频信号发生器;测量转台4采用将水平转动和竖直转动结合在一起的转台,安放被测样品3的转台处于竖直状态。
Claims (3)
1、一种综合测量液晶器件参数的装置,包括光源1、被测样品3、测量转台4、光学镜头7、计算机系统10和液晶器件驱动装置11,其特征在于:测量转台4的水平旋转轴线和起偏器2、相位补偿器5、检偏器6、光学镜头7、探测器8、9的光轴与光源1的光轴重合;相位补偿器5、检偏器6、光学镜头7和探测器8、9的竖直旋转轴线与测量转台4的竖直旋转轴线重合;探测器8、9的输出信号连接到计算机系统10;起偏器2、相位补偿器5和检偏器6可切换进入或移出光路。
2、根据权利要求1所述的综合测量液晶器件参数的装置,其特征在于:探测器9从光源1的白光中选出单色光进行测量。
3、一种综合测量液晶器件参数的方法,其特征在于:对液晶层厚度、液晶分子预倾角和扭曲角的测量方法如下:
(1)、首先将光源发射的准直自然光经起偏器起偏后变成准直偏振光;
(2)、利用准直偏振光透过样品后,其透射光经检偏器形成与液晶器件的液晶层厚度、分子预倾角、扭曲角、起偏器和检偏器偏光轴角度有关的透射光强信息;
(3)、再利用透射光强信息入射到探测器上,探测器将透射光强信息转化为透射光强电信号并送入计算机系统;
(4)、然后再改变起偏器和检偏器的偏光轴角度,得到在不同偏振器角度下透射光强信息;
(5)、由计算机根据液晶材料折射率值和预置的液晶层厚度、液晶分子预倾角和扭曲角初值;再根据上述初值和液晶分子指向矢分布数据,运用Berreman4×4矩阵法计算透射光强信息从而得到理论光强信息;再用理论光强信息和被测样品透射光强信息及起偏器和检偏器的偏光轴角度为自变量进行迭代拟合;拟合的误差平方和最小时对应的液晶层厚度、液晶分子预倾角和扭曲角值即为被测样品的液晶层厚度、液晶分子预倾角和扭曲角。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CNB001101803A CN1163737C (zh) | 2000-03-07 | 2000-03-07 | 一种综合测量液晶器件参数的装置及方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CNB001101803A CN1163737C (zh) | 2000-03-07 | 2000-03-07 | 一种综合测量液晶器件参数的装置及方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN1312466A true CN1312466A (zh) | 2001-09-12 |
CN1163737C CN1163737C (zh) | 2004-08-25 |
Family
ID=4580191
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CNB001101803A Expired - Fee Related CN1163737C (zh) | 2000-03-07 | 2000-03-07 | 一种综合测量液晶器件参数的装置及方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN1163737C (zh) |
Cited By (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100340838C (zh) * | 2005-09-28 | 2007-10-03 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 测量双折射单轴晶体波片厚度的方法 |
CN100378445C (zh) * | 2004-12-28 | 2008-04-02 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 晶体消光比半波电压及波片相位延迟的智能综合测量仪 |
CN100561166C (zh) * | 2007-02-27 | 2009-11-18 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 镜头模组同心度检测系统及其检测方法 |
CN101452121B (zh) * | 2007-12-05 | 2010-06-02 | 群康科技(深圳)有限公司 | 可调式光学量测治具及其量测方法 |
CN101825785A (zh) * | 2009-03-03 | 2010-09-08 | 大塚电子株式会社 | 反射型液晶盒的倾角测定方法以及测定装置 |
CN101915661A (zh) * | 2010-09-03 | 2010-12-15 | 无锡市奥达光电子有限责任公司 | 一种偏振特性元器件的光轴角度检测方法和装置 |
CN101435928B (zh) * | 2007-11-15 | 2010-12-29 | 财团法人工业技术研究院 | 多通道光谱量测装置与相位差解析方法 |
CN101238350B (zh) * | 2005-06-10 | 2011-06-15 | 阿克索梅特里克斯公司 | 根据完全米勒矩阵测量值确定液晶单元参数的方法和装置 |
CN103176297A (zh) * | 2011-12-21 | 2013-06-26 | 财团法人工业技术研究院 | 液晶单元特性测定装置以及液晶单元特性测定方法 |
CN103278947A (zh) * | 2013-05-20 | 2013-09-04 | 昆山龙腾光电有限公司 | 克尔常数与双折射色散特性的测试装置与测试方法 |
CN105866589A (zh) * | 2016-05-16 | 2016-08-17 | 中国电子科技集团公司第四十研究所 | 一种透射式单元探测器成像及电性参数测试系统 |
CN106200050A (zh) * | 2016-08-31 | 2016-12-07 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 液晶显示器液晶预倾角量测方法及装置 |
CN109827757A (zh) * | 2019-03-18 | 2019-05-31 | 北京理工大学 | 一种一维液晶光栅全参数的测量方法 |
CN111007007A (zh) * | 2019-11-30 | 2020-04-14 | 中国船舶重工集团公司第七一七研究所 | 一种可切换红外光谱偏振成像装置及其测量方法 |
CN111043958A (zh) * | 2013-06-27 | 2020-04-21 | 科磊股份有限公司 | 计量学目标的极化测量及对应的目标设计 |
CN111272085A (zh) * | 2020-03-13 | 2020-06-12 | 南京理工大学 | 一种光学零件中心厚度自动检测装置及方法 |
CN111366561A (zh) * | 2020-04-13 | 2020-07-03 | 剑桥大学南京科技创新中心有限公司 | 一种测量液晶器件实际反射率的方法与装置 |
-
2000
- 2000-03-07 CN CNB001101803A patent/CN1163737C/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100378445C (zh) * | 2004-12-28 | 2008-04-02 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 晶体消光比半波电压及波片相位延迟的智能综合测量仪 |
CN101238350B (zh) * | 2005-06-10 | 2011-06-15 | 阿克索梅特里克斯公司 | 根据完全米勒矩阵测量值确定液晶单元参数的方法和装置 |
CN100340838C (zh) * | 2005-09-28 | 2007-10-03 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 测量双折射单轴晶体波片厚度的方法 |
CN100561166C (zh) * | 2007-02-27 | 2009-11-18 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 镜头模组同心度检测系统及其检测方法 |
CN101435928B (zh) * | 2007-11-15 | 2010-12-29 | 财团法人工业技术研究院 | 多通道光谱量测装置与相位差解析方法 |
CN101452121B (zh) * | 2007-12-05 | 2010-06-02 | 群康科技(深圳)有限公司 | 可调式光学量测治具及其量测方法 |
CN101825785A (zh) * | 2009-03-03 | 2010-09-08 | 大塚电子株式会社 | 反射型液晶盒的倾角测定方法以及测定装置 |
TWI485382B (zh) * | 2009-03-03 | 2015-05-21 | Otsuka Denshi Kk | And a measuring device for measuring the inclination angle of the reflective liquid crystal cell |
CN101915661A (zh) * | 2010-09-03 | 2010-12-15 | 无锡市奥达光电子有限责任公司 | 一种偏振特性元器件的光轴角度检测方法和装置 |
CN103176297A (zh) * | 2011-12-21 | 2013-06-26 | 财团法人工业技术研究院 | 液晶单元特性测定装置以及液晶单元特性测定方法 |
CN103176297B (zh) * | 2011-12-21 | 2016-08-03 | 财团法人工业技术研究院 | 液晶单元特性测定装置以及液晶单元特性测定方法 |
TWI467156B (zh) * | 2011-12-21 | 2015-01-01 | Ind Tech Res Inst | 液晶胞特性測定裝置以及液晶胞特性測定方法 |
CN103278947B (zh) * | 2013-05-20 | 2016-05-11 | 昆山龙腾光电有限公司 | 克尔常数与双折射色散特性的测试装置与测试方法 |
CN103278947A (zh) * | 2013-05-20 | 2013-09-04 | 昆山龙腾光电有限公司 | 克尔常数与双折射色散特性的测试装置与测试方法 |
CN111043958A (zh) * | 2013-06-27 | 2020-04-21 | 科磊股份有限公司 | 计量学目标的极化测量及对应的目标设计 |
US11060845B2 (en) | 2013-06-27 | 2021-07-13 | Kla Corporation | Polarization measurements of metrology targets and corresponding target designs |
CN111043958B (zh) * | 2013-06-27 | 2021-11-16 | 科磊股份有限公司 | 计量学目标的极化测量及对应的目标设计 |
CN105866589A (zh) * | 2016-05-16 | 2016-08-17 | 中国电子科技集团公司第四十研究所 | 一种透射式单元探测器成像及电性参数测试系统 |
CN105866589B (zh) * | 2016-05-16 | 2019-06-04 | 中国电子科技集团公司第四十一研究所 | 一种透射式单元探测器成像及电性参数测试系统 |
CN106200050A (zh) * | 2016-08-31 | 2016-12-07 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 液晶显示器液晶预倾角量测方法及装置 |
CN106200050B (zh) * | 2016-08-31 | 2019-07-23 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 液晶显示器液晶预倾角量测方法及装置 |
CN109827757A (zh) * | 2019-03-18 | 2019-05-31 | 北京理工大学 | 一种一维液晶光栅全参数的测量方法 |
CN111007007A (zh) * | 2019-11-30 | 2020-04-14 | 中国船舶重工集团公司第七一七研究所 | 一种可切换红外光谱偏振成像装置及其测量方法 |
CN111272085A (zh) * | 2020-03-13 | 2020-06-12 | 南京理工大学 | 一种光学零件中心厚度自动检测装置及方法 |
CN111366561A (zh) * | 2020-04-13 | 2020-07-03 | 剑桥大学南京科技创新中心有限公司 | 一种测量液晶器件实际反射率的方法与装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1163737C (zh) | 2004-08-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN1163737C (zh) | 一种综合测量液晶器件参数的装置及方法 | |
US9195092B2 (en) | Polarization-independent liquid crystal display devices including multiple polarizing grating arrangements and related devices | |
US8537310B2 (en) | Polarization-independent liquid crystal display devices including multiple polarization grating arrangements and related devices | |
Zhou et al. | A novel method for determining the cell thickness and twist angle of a twisted nematic cell by Stokes parameter measurement | |
JP2002162360A (ja) | 液晶パネルの評価方法及び評価装置 | |
JP2001356072A (ja) | プレチルト角検出方法及び検出装置 | |
US6215549B1 (en) | Apparatus for measuring optical characteristics | |
WO2013138066A1 (en) | Dual angles of incidence and azimuth angles optical metrology | |
Bruyneel et al. | Method for measuring the cell gap in liquid-crystal displays | |
US5434671A (en) | Birefringent member cell gap measurement method and instrument | |
CN2869774Y (zh) | 测量双折射单轴晶体波片厚度的装置 | |
KR100612986B1 (ko) | 액정 표시 장치의 복굴절 위상차 및 셀 간격 측정 장치 | |
Tanaka et al. | Renormalized ellipsometry for determining the anisotropic refractive indices of nematic liquid crystals | |
Giust et al. | Determination of the twist angle and the retardation properties of twisted nematic liquid crystal television by spectral measurements | |
KR100757378B1 (ko) | Led를 이용한 현미경 타원해석기 | |
Gwag et al. | Novel cell gap measurement method for a liquid crystal cell | |
JP2898298B2 (ja) | 液晶層厚測定装置およびこの液晶層厚測定装置を用いた液晶層厚の測定方法 | |
CN103176297A (zh) | 液晶单元特性测定装置以及液晶单元特性测定方法 | |
JP2576781B2 (ja) | 複屈折体のセルギャップ測定方法およびその装置 | |
JPH06242000A (ja) | 非線形光学材料評価装置 | |
JP3944641B2 (ja) | ギャップ厚測定装置、ギャップ厚測定方法および液晶装置の製造方法 | |
Warenghem et al. | Dispersion curve measurement using Talbot bands | |
WO2005026703A1 (en) | Method for characterization of a liquid crystal cell | |
CN1350155A (zh) | 光学波片的检测仪 | |
KR102045442B1 (ko) | 타원해석기 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
C19 | Lapse of patent right due to non-payment of the annual fee | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |