CN1308716C - 可变光学衰减器 - Google Patents
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Abstract
公开了一种可变光学衰减器。此可变光学衰减器包括光纤部分，其是至少一个输入光纤和至少一个输出光纤结合而形成的，反射镜部分，其具有至少一个面向光纤部分并与光纤部分隔开的微反射镜，其反射从输入光纤发射到输出光纤的发射光线，并进行垂直移动或是旋转移动中的一种，以便衰减发射光线，和透镜，其在光纤部分和反射镜部分之间形成，其聚焦从输入光纤发射到微反射镜的发射光线。
Description
相关申请的交叉引用
本申请要求于2003年10月13日申请的韩国申请No.10-2003-0071035的优先权，其所有内容合并在此作为参考。
技术领域
本发明涉及一种在光通信网络中使用的光学转换器，更具体而言，涉及一种具有微反射镜的可变光学衰减器。
技术背景
为了有效传输当前大量产生的各种形式的信息，波分复用光通信系统已得到广泛的发展和应用。
在这种光通信系统中，多种类型的信息存储在多个具有各自不同的波长的光源中，之后这些信息为了通过信号光纤进行传输而被多路复用。之后，接收终端将该复用信号进行解复用，并将该信号分波以使得接收对应于每个波长的光信号。
此时，由于将光信号进行长距离传输时光信号趋于减弱，因此必须在传输中使用多个光放大器。在这一点上，由于依赖于光放大器的增益和解复用器的特性的波长不同，各个波长产生一个不同的光输出。
当多个不同的光输出被复用时，并当复用的输出被传输时，那么各个波长的光输出失去了一致性，因此信号的特性恶化并最终不能传输信号。
据此，需要一种可变光学衰减器来使得相应于各个波长的光信号的强度一致。
通常，光学衰减器将那些波长不同于具有最小波长的光信号的信号减弱。
现有技术的光学衰减器的示例包括通过使用监测器来机械移动光纤的设备，使用微电机系统(MEMS)激励器的设备，具有一部分被研磨的光纤并在其表面涂上一种特殊材料的设备，和在硅石基片上使用热光效应的Mach-Zehnder干涉仪调制器。
然而，如机械光学衰减器和通过研磨部分光纤而形成的光学衰减器这样的设备具有此类设备的尺寸较大的缺点并且不能与其它光学设备集成。
另外，MEMS设备和使用硅石设备的光学衰减器具有需要高驱动电压和大功率的问题。
发明内容
因此，本发明所示的可变光学衰减器充分的消除了由于现有技术的局限和缺点而产生的一个或更多的问题。
本发明的一个目标是提供一种轻型的小尺寸的可变光学衰减器。
本发明的另一个目标是提供一种更简单更易制造且成本低廉并能大量生产的可变光学衰减器。
本发明的另一目标是提供一种有更快响应速度并要求更低功率的可变衰减器。
本发明的其它优点、目标和特性将在随后的说明中部分地描述，经过以下检验和从本发明的实践中学习，上述优点、目标和特性对于本领域的普通技术人员来说是显而易见的。本发明的目标和其他优点可以如书面说明及其权利要求以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。
为了获得这些目标和其他的优点并与本发明的意图一致，因此在这里进行具体且广泛的描述，可变光学衰减器包括光纤部分，其是至少一个输入光纤和至少一个输出光纤结合而形成的，反射镜部分，其具有至少一个面向光纤部分并与光纤部分隔开的微反射镜，反射从输入光纤发射到输出光纤的发射光线，并产生垂直移动或是旋转移动中的一种，以便衰减被发射的光线，和透镜，其在光纤部分和反射镜部分之间形成，聚焦从输入光纤发射到微反射镜的发射光线。
在这里，光纤部分的输入光纤和输出光纤不是相互邻近就是彼此隔开，并且光纤部分包括输入光纤和输出光纤，围绕着输入光纤和输出光纤的管子，和安装在输入和输出光纤与管子之间的光纤固定件，以便固定输入和输出光纤。
另外，反射镜单元包括具有至少一个通孔的基片，微反射镜，其位于至少一个通孔的区域上，在微反射镜上形成的反射表面，弹性体，其在微反射镜上的反射表面的每一侧上形成，连接微反射镜的表面和基片的弹簧，和在围绕微反射镜和弹簧的表面上形成的线圈，其并能依照外部电信号使微反射镜做旋转运动。
在这里，弹性体和弹簧彼此垂直，并且线圈包括第一电极板和第二电极板，与第一电极板连接的下导电线，与第二电极板连接的上导电线，把下导电线连接到上导电线的芯线，下绝缘层，用来隔离基片和下导电线，和上绝缘层，用来隔离上导电线和下导电线。
另外，反射镜单元还包括具有至少一个通孔的基片，微反射镜，其位于至少一个通孔的区域上，在微反射镜上形成的反射表面，把微反射镜的4个表面和基片连接在一起的弹簧，和在反射表面周围的微反射镜上形成并能依照外部电信号使微反射镜做垂直运动的线圈。
在本发明的另一方面中，可变光学衰减器包括彼此相邻或隔开的输入光纤和输出光纤中的至少一个，围绕着输入光纤和输出光纤的管子，和安装在输入和输出光纤和管子之间的光纤固定件，以便固定输入和输出光纤，反射镜单元，其具有至少一个面向输入和输出光纤且与它们隔开的微反射镜，反射从输入光纤发射到输出光纤的发射光线，并产生垂直移动或是旋转移动中的一种，以便衰减发射光线，固定在反射镜单元下部的反射镜支撑件并支撑反射镜单元，透镜，其在输入和输出光纤与反射镜部分之间形成，聚焦从输入光纤发射到微反射镜的发射光线，和安装在反射镜单元的上部分透镜支撑件并用来支撑透镜的透镜支撑件。
在这里，可变光学衰减器还包括安装在反射镜支撑件上的罩以用来罩在包括透镜的反射镜单元的上部，并具有用于传送从输入光纤发射出罩的发射光线且固定至罩的中心部位的窗口。
另外，磁线圈被安装在罩的外表面上，以便对反射镜单元的微反射镜提供外部磁场。
在本发明的另一个方面，可变光学衰减器包括彼此相邻或隔开的输入光纤和输出光纤中的至少一个，围绕着输入光纤和输出光纤的管子，安装在输入和输出光纤与管子之间的光纤固定件，以便固定输入和输出光纤，反射镜单元，其具有至少一个面向输入和输出光纤且与它们隔开的微反射镜，反射从输入光纤发射到输出光纤的发射光线，并产生垂直移动或是旋转移动中的一种，以便衰减发射光线，固定在反射镜单元的下部分反射镜支撑件并支撑反射镜单元的反射镜支撑件，透镜，其在输入和输出光纤与反射镜部分之间形成，聚焦从输入光纤发射到微反射镜的发射光线，和在包括反射镜支撑件的透反射镜单元的上部分形成罩并用来固定透镜的罩。
这里，磁线圈被安装在罩的外表面上，以便对反射镜单元的微反射镜提供外部磁场。
在本发明的另一方面中，可变光学衰减器包括彼此相邻或隔开的输入光纤和输出光纤中的至少一个，围绕着输入光纤和输出光纤的管子，安装在输入和输出光纤与管子之间的光纤固定件，以便固定输入和输出光纤，反射镜单元，其具有至少一个面向输入和输出光纤且与它们隔开的微反射镜，反射从输入光纤发射到输出光纤的发射光线，并产生垂直移动或是旋转移动中的一种，以便衰减发射光线，固定在反射镜单元的下部分反射镜支撑件并支撑反射镜单元的反射镜支撑件，透镜，其在管子中的输入和输出光纤的前面部分形成，聚焦从输入光纤发射到微反射镜的发射光线，和安装在反射镜单元的上部分的罩，其具有传送从输入光纤发射的发射光线的窗口。
应该明白前面的概述和下面对本发明的详细描述都是说明性的和示例性的，并提供对所要求保护的本发明的解释。
附图说明
所包括的附图用于对本发明提供进一步的理解，该附图被合并和构成本说明书的组成部分，用于示出本发明的实施例，并结合说明用来解释本发明的原理。在附图中；
图1示出了根据本发明的可变光学衰减器的驱动原理；
图2示出了根据本发明的可变光学衰减器的驱动原理，其中微反射镜以垂直方向移动；
图3A和图3B示出了根据本发明的可变光学衰减器的驱动原理，其中微反射镜进行旋转移动；
图4示出了根据本发明的第一个实施例的整套可变光学衰减器；
图5示出了根据本发明的第二个实施例的整套可变光学衰减器；
图6示出了根据本发明的第三个实施例的整套可变光学衰减器；
图7示出了根据本发明的第四个实施例的整套可变光学衰减器；
图8A是是根据本发明的可变光学衰减器的反射镜部分的透视图；
图8B是沿图8A的线I-I切开的剖面图；
图8C是沿图8A的线II-II切开的剖面图；
图9A是示出了图8A中的反射镜的运转的透视图；
图9B是沿图9A的线I-I切开的剖面图；
图10示出了用于利用磁场力来驱动集成在反射镜部分中的微反射镜的线圈；
图11A示出了图10的线圈的电流流动；
图11B是沿图11A的线III-III切开的剖面图；
图12A是根据本发明的可变光学衰减器的另一个反射镜部分的透视图；
图12B是图12A的反射镜部分的平面图；
图12C是沿图12B的线IV-IV切开的剖面图；以及
图13和图14示出了根据本发明的安装在整套可变光学衰减器上的磁线圈。
具体实施方式
现在将为本发明的优先实施例给出详细的参考，其示例示出在附图中。无论任何情况下，相同的附图标记贯穿于整个附图中表示同一或类似部分。
根据本发明的可变光学衰减器通过集成输入和输出光纤，透镜，和由硅显微机械加工方法和一系列的半导体加工工序得到的微反射镜形成，从而提供了一种体积小重量轻的可变光学衰减器，其简单并易制造且成本低及可以大批量生产，并具有更快的响应速度和要求更低的驱动功率。
另外，由于是利用显微机械加工技术进行制造，制造出的微反射镜是精密且优良的，因此，响应速度提高了并且所要求的驱动功率降低了，从而提高了可变光学衰减器的功能。
此外，根据本发明的可变光学衰减器能够代表了具有许多信道的光分插复用器(OADM)的分波模块。
图1示出了根据本发明的可变光学衰减器的驱动原理；
参考图1，根据本发明的可变光学衰减器主要由光纤部分1，反射镜部分2，和排列在光纤部分1和反射镜部分2之间的透镜3组成。
光纤部分1由至少一个输入光纤11和至少一个输出光纤12结合而成。输入光纤11和输出光纤12不是彼此相邻就是彼此隔开。
反射镜部分2由至少一个微反射镜14组成并且其面对着光纤部分1并与光纤部分1隔开。另外，反射镜部分2反射从输入光纤11发射到输出光纤12的光线，并通过垂直或旋转移动衰减发射光线。
此外，透镜3在光纤部分1和反射镜部分2之间形成。透镜3聚焦从输入光纤11发射到反射镜部分2的微反射镜14的发射光线。
现在将详细描述具有上述结构的本发明的驱动原理。
从输入光纤11发射的发射光线经过输入光通道15和输出光通道16。因此，微反射镜14传送了全部输入的光线17到输出光纤12。发射光线18的衰减的发生在输出光通道16偏离它的初始位置的时候，这是由于微反射镜14的垂直移动19或是旋转移动20所致。
图2示出了根据本发明的可变光学衰减器的驱动原理，其中微反射镜以垂直方向移动；
参考图2，当微反射镜14进行垂直移动19时，第一发射光线18a的光通道，其作为发射光线18的初始状态，转变成第二发射光线18b的输出光通道。因此，根据光通道的改变程度，第二发射光线18b的衰减量成比例的变化。换句话说，发射光线18的衰减量从初始位置与与发射光线18的光通道的偏离程度成比例的增加。
图3A和图3B示出了根据本发明的可变光学衰减器的驱动原理，其中微反射镜进行旋转移动。
图3A示出了了在微反射镜14的下端形成的旋转轴21，和图3B示出了在微反射镜14的中部形成的旋转轴21。
参考图3A和图3B，当微反射镜14以θz方向做旋转移动20时，第一发射光线18a的光通道，其是初始状态，转变成第二发射光线18b的光通道。并且，因此，依照光通道改变的程度，第二发射光线18b成比例的衰减。
图4到7示出了根据本发明的第一，第二，第三和第四实施例的整套可变光学衰减器。
第一实施例
参考图4，根据本发明的第一实施例，在可变光学衰减器中的罩33上形成透镜3。
管子31包围输入和输出光纤11和12。用来固定光纤11和12的光纤固定件32被安装在输入和输出光纤11和12与管子31之间。这里，输入光纤11和输出光纤12不是彼此相邻就是相互隔开。
另外，光纤固定件32可以以V型槽或是套圈的形式形成。光纤固定件32可以由许多材料制成，比如玻璃，硅，锆，金属，或聚合物。
此外，反射镜支撑件34在反射镜部分2的下部分上形成，以便支撑具有微反射镜14的反射镜部分2。在这里，反射镜部分2和反射镜支撑件34通过金属线相互电连接。
而且，罩33罩住反射镜部分2的上部以便保护反射镜部分2。罩33可以对反射镜部分2实行密封封装。在这里，透镜3固定在罩33的中部，以便聚焦从输入光纤11发射的光线。
第二实施例
参考图5，根据本发明的第二实施例透镜3固定在可变光学衰减器的罩33上。
管子31包围输入和输出光纤11和12。用来固定光纤11和12的光纤固定件32被安装在输入和输出光纤11和12与管子31之间。
另外，透镜3被安装在管子31里的输入和输出光纤11和12的前部上，其聚焦从输入光纤11发射的光线。此外，反射镜支撑件34在反射镜部分2的下部形成，以便支撑具有微反射镜14的反射镜部分2。
而且，罩33罩住反射镜部分2的上部以便保护反射镜部分2。罩33可以对反射镜部分2实行密封封装。在这里，窗口35被安装在罩33的中部。窗口35传送从输入光纤11发射的光线。
第三实施例
参考图6，根据本发明的第三实施例，透镜3被安装在可变光学衰减器的反射镜部分2的透镜固定件36上。
根据本发明的第三实施例可变光学衰减器具有和第二实施例相同的结构，除了附加形成的用于固定透镜3的透镜固定件36之外。
透镜固定件36以预定的高度在反射镜部分2的基片的边缘上形成。透镜固定件36固定透镜3，其聚焦从输入光纤11发射的光线。这里，罩33可以对反射镜部分2进行密封封装。
第四实施例
参考图7，根据本发明的第四实施例，透镜3被安装在可变光学衰减器中的反射镜部分2的透镜固定件36上。
根据本发明的第四实施例可变光学衰减器具有和第三实施例相同的结构，除了除去在其上具有窗口35的罩33之外。因此，在第四实施例中的透镜3与在第一，第二，和第三实施例中的透镜3或在罩33上的窗口35具有相同的功能。
在本发明的上述实施例中，除了微反射镜14的反射表面外，在输入和输出光纤11和12的末端的每一侧，透镜3，和窗口35上淀积消反射涂层，从而提高了光弹性且减少了反射损耗。
另外，输入和输出光纤11和12的末端也可以有一个小角度(如大约8度的角)。
图8A是根据本发明的可变光学衰减器的反射镜部分的透视图。图8B是沿图8A的线I-I切开的剖面图。并且，图8C是沿图8A的线II-II切开的剖面图。
图8A是由电磁力驱动的微反射镜的示例，其可以应用于如图3A所示进行旋转运动的可变光学衰减器。
参考图8A，至少一个通孔56在基片51上形成。根据制造工序，或者在基片51上形成至少一个通孔56，或者可以蚀刻基片51的下表面，以暴露微反射镜的表面。
另外，微反射镜52在通孔的区域内形成。反射表面55在微反射镜52上形成，并且弹性体54在微反射镜52的反射表面55的每一边上形成。此外，弹簧53把微反射镜52的表面与基片51连接。这里，弹性体54和弹簧53彼此垂直。
图9A是示出了图8A中的反射镜的运转的透视图。并且，图9B是沿图9A的线I-I切开的剖面图；
参考图9A，由电磁力驱动的微反射镜52在+θy方向运转。在这里，为了运行微反射镜52，从外面把磁场垂直地施加于基片51上。当磁场以-Z方向(也就是垂直方向)施加于基片51时，以+θy方向向微反射镜52施加一个扭矩。之后，微反射镜52进行旋转直至它到达了与由驱动扭矩和弹簧引起的抗扭矩平行的位置。
因此，通过控制施加于微反射镜52上的外部磁场的大小，可以控制角位移。
由于微反射镜52能以+θy方向或是-θy方向旋转，所以可以根据光学系统的结构来选择一个适当的方向。换句话说，当以+z方向施加外部磁场时，微反射镜以-θy方向旋转。相反地，当以-z方向施加外部磁场时，微反射镜以+θy方向旋转。
如图8A和图9A所示，由磁场力驱动的微反射镜在微反射镜52的一个末端具有旋转轴。因此，图8A和9A的由磁场力驱动的微反射镜适于如图3A所示的具有可以旋转运动的微反射镜的可变光学衰减器。
另外，通过控制弹簧和弹性体的相关位置，如图8A和9A所示的由磁场力驱动的微反射镜也能用于旋转轴在微反射镜的中心部位的结构，如图3B所示。
图10示出了用于利用磁场力来驱动集成在反射镜部分中的微反射镜的线圈。
参考图10，线圈57在环绕着微反射镜52并包括弹簧53的基片的区域上形成。根据外部电信号，线圈57使微反射镜52旋转。这里，线圈57与微反射镜52形成在同一基片51，并且第一电极板58和第二电极板59分别在线圈57的每个末端上形成。
当在第一电极板58和第二电极板59之间施加电流时，根据电流的方向，以+z方向或-z方向微反射镜施加磁场。因此，微反射镜52能以+θy方向或-θy旋转。
图11A示出了图10的线圈的电流流动。并且，图11B是沿图11A的线III-III切开的剖面图。
参考图11A和11B，线圈57包括第一和第二电极板(未示出)，下导电线57a通过第一连接器57d连接至第一电极板，上导电线57c通过第二连接器57e连接至第二电极板，芯线57b电连接下导电线57a和上导电线57c，下绝缘层57f用于隔离基片51和下导电线57a，和上绝缘层57g用于隔离上导电线57c和下导电线57a。
如图11A所示，当电流通过线圈时，下导电线57c发送电流(I)到芯线57b，此芯线为线圈57的中心。电流通过下导电线57a流进芯线57b后通过上导电线57c流回第二连接器57e，此上导电线实际充当线圈。
相反地，当电流的方向和上述的相反时，电流的路径就变得与上述的相反。
图12A是根据本发明的可变光学衰减器的另一个反射镜部分的透视图。图12B是图12A的反射镜部分的平面图。并且，图12C是沿图12B的线IV-IV切开的剖面图。
图12A到12C是由电磁功率驱动的微反射镜的其它实施例，其可以应用于如图2A所示的进行垂直运动的可变光学衰减器。
参考图12A到12C，基片61包括至少一个通孔60。这里，依照制造方法，或者至少一个通孔60可以在基片61上形成，或者可以蚀刻基片61的下表面，以暴露微反射镜的表面。
另外，微反射镜62在通孔区域中形成，并且反射表面65在微反射镜62上形成。在微反射镜62的4个边的每一侧上形成的弹簧63连接基片61和微反射镜62。此外，线圈64在微反射镜62上的反射表面65的环绕区域内形成。根据外部电信号，线圈64做垂直运动。
同样，由于垂直施加到基片上的外部磁场和由经过线圈的电流产生的磁场之间的相互作用，具有线圈64的微反射镜62在+z方向和-z方向上移动。
更明确地，当以+z方向施加外部磁场时，并且当以+θz方向施加电流至线圈64时，微反射镜62移动到-z方向上。相反地，当以-z方向施加电流至线圈64时，微反射镜62移动到+z方向上。
当电流施加在第一电极板67和第二电极板68之间时，电流通过第一连接器66a和在弹簧63上形成的第二连接器66b流到线圈64上。
图13和图14示出了根据本发明的整套可变光学衰减器上的磁线圈。
在图13中，用于施加外部磁场的磁线圈37被安置在罩33的外表面上，以便运行由反射镜单元2的电磁力驱动的微反射镜。这里，磁线圈37可以被安置在任一预定位置上，以使磁场可以垂直地施加到反射镜单元2上。
此外，磁线圈37可以适用于本发明的第一，第二，和第三实施例，如图4和5所示。
在图14中，磁轭38在磁线圈37的外表面上形成，使得包围磁线圈37，以便使施加到反射镜单元2上的磁场的大小达到最大。这里，磁轭38由具有高导磁率的材料制成。
另外，磁轭38可以适用于具有磁线圈37的本发明的第一，第二，和第三实施例。
本发明提供了一种光学衰减器，此光学衰减器是用于光通信的接收和发送模块接口的主要组件部分，其使用由电磁力驱动的微反射镜。
更明确地，本发明的优点在于利用显微机械加工技术和一系列半导体制造工序来生产出尺寸小和重量轻的接口元件，因此降低了制造部分的成本。另外，要求的驱动功率也降低了，并且，由于输入和输出光纤是集成的，所以在制造期间的对准工序被简化了。此外，扩展了光学转换器，从而提供了n信道光分插复用器(OADM)的分波模块。
很明显，对于本领域的技术人员来说可以在不脱离本发明的精神和范围的情况下对本发明进行各种更改和变化。因此，在本发明以及所附权利要求及其等同物的范围内作出的更改和变化都包含在本发明的范围之中。
Claims (34)
1.一种可变光学衰减器，包括：
光纤部分，其是由至少一个输入光纤和至少一个输出光纤结合而形成的；
反射镜部分，其具有至少一个面向光纤部分并与光纤部分隔开的微反射镜，其反射从输入光纤发射到输出光纤的发射光线，并进行垂直移动和旋转移动中的一种，以便衰减发射的光线，反射镜部分包括：
具有至少一个通孔的基片；
在所述至少一个通孔的区域中形成的微反射镜；
在微反射镜上形成的反射表面；
将微反射镜的表面和基片相连接的弹簧；以及
在微反射镜周围的表面周围形成的磁线圈，其依据外部电信号产生电磁场并为微反射镜提供移动力；和
透镜，其位于光纤部分和反射镜部分之间，并聚焦从输入光纤发射到微反射镜的发射光线。
2.根据权利要求1所述的衰减器，其中光纤部分的输入光纤和输出光纤或者彼此相邻，或者相互隔开。
3.根据权利要求1所述的衰减器，其中光纤部分包括：
输入光纤和输出光纤；
包围着输入光纤和输出光纤的管子；和
光纤固定件，其固定在输入和输出光纤与管子之间，以便固定输入和输出光纤。
4.根据权利要求3所述的衰减器，其中该透镜聚焦从输入光纤发射的发射光线，此透镜被固定在输入和输出光纤的前部的管子中。
5.根据权利要求3所述的衰减器，其中光纤固定件以V槽型或套圈型的其中之一的形状形成。
6.根据权利要求3所述的衰减器，其中光纤固定件由玻璃、硅、金属和聚合物中的任何一种形成。
7.根据权利要求6所述的衰减器，其中所述金属是锆。
8.根据权利要求1所述的衰减器，还包括反射镜支撑件，其形成在反射镜部分的下部上，以便支撑反射镜部分。
9.根据权利要求1所述的衰减器，还包括罩，其形成在反射镜部分的上部上，以便保护反射镜部分。
10.根据权利要求9所述的衰减器，其中用于聚焦从输入光纤发射的发射光线的透镜被固定在所述罩的中心部分上。
11.根据权利要求9所述的衰减器，其中用于传送从输入光纤发射的发射光线的窗口被固定在所述罩的中心部分上。
12.根据权利要求9所述的衰减器，其中把外部磁场施加到反射镜部分的微反射镜上的所述磁线圈被固定在所述罩的外表面上。
13.根据权利要求12所述的衰减器，其中用于增强磁线圈的磁场的磁轭包围了磁线圈的外表面。
14.根据权利要求1所述的衰减器，其中反射镜部分还包括：在微反射镜上的反射表面的每一侧形成的弹性体，
其中当弹簧连接到微反射镜的表面和基片时，微反射镜旋转地移动。
15.根据权利要求14所述的衰减器，其中弹性体和弹簧形成为彼此垂直。
16.根据权利要求14所述的衰减器，其中线圈包括：
第一电极板和第二电极板；
与第一电极板连接的下导电线；
与第二电极板连接的上导电线；
把下导电线电连接到上导电线的芯线；
下绝缘层，用来隔离基片和下导电线；和
上绝缘层，用来隔离上导电线和下导电线。
17.根据权利要求14所述的衰减器，还包括透镜固定件，其以预定的高度形成在基片的末端部分上，并对用于聚焦从输入光纤发射的发射光线的透镜进行固定。
18.根据权利要求1所述的衰减器，其中当弹簧连接到微反射镜的四个表面以及基片时，微反射镜通过磁线圈和弹簧而垂直地移动。
19.根据权利要求18所述的衰减器，其中该线圈包括：
第一电极板和第二电极板；
与第一电极板连接的下导电线；
与第二电极板连接的上导电线；
把下导电线电连接到上导电线的芯线；
下绝缘层，用来隔离基片和下导电线；和
上绝缘层，用来隔离上导电线和下导电线。
20.根据权利要求18所述的衰减器，还包括透镜固定件，其以预定的高度形成在基片的末端部分上，并对用于聚焦从输入光纤发射的发射光线的透镜进行固定。
21.一种可变光学衰减器，包括：
彼此相邻或隔开的输入光纤和输出光纤中的至少一个；
围绕着输入光纤和输出光纤的管子；
光纤固定件，其固定在输入和输出光纤与管子之间，以便固定输入和输出光纤；
反射镜部分，其具有至少一个面向输入和输出光纤且与输入和输出光纤隔开的微反射镜，其反射从输入光纤发射到输出光纤的发射光线，并进行垂直移动或是旋转移动中的一种，以便衰减发射光线，反射镜部分包括：
具有至少一个通孔的基片；
在所述至少一个通孔的区域上形成的微反射镜；
在微反射镜上形成的反射表面；
将微反射镜的表面与基片相连接的弹簧；以及
在微反射镜周围的表面周围形成的磁线圈，其依据外部的电信号产生电磁场并为微反射镜提供移动力；和
反射镜支撑件，其被固定到反射镜部分的下部并用于支撑反射镜部分；
透镜，其形成在输入和输出光纤与反射镜部分之间，并聚焦从输入光纤发射到微反射镜的发射光线；和
透镜支撑件，其固定在反射镜部分的上部并用来支撑透镜。
22.根据权利要求21所述的衰减器，还包括罩，其被固定到反射镜支撑件上，以便在包括透镜的反射镜部分上部上形成，并具有一个固定在所述罩的中心部分并用于传送从输入光纤发射出的发射光线的窗口。
23.根据权利要求22所述的衰减器，其中磁线圈被固定在所述罩的外表面上，以便对反射镜部分的微反射镜施加外部磁场。
24.根据权利要求21所述的衰减器，其中反射镜部分包括：
具有至少一个通孔的基片；
微反射镜，其形成在所述至少一个通孔的区域上；
形成在微反射镜上的反射表面；
把微反射镜的一个或四个表面和基片相连接的弹簧；和
线圈，其形成在围绕微反射镜的包括弹簧的表面上，并依照外部电信号使微反射镜做旋转移动或垂直移动。
25.根据权利要求24所述的衰减器，其中当弹簧仅与微反射镜的一个表面连接时，反射镜部分还包括在微反射镜上的反射表面的每一侧上形成的弹性体。
26.一种可变光学衰减器，包括：
彼此相邻或隔开的输入光纤和输出光纤中的至少一个；
围绕着输入光纤和输出光纤的管子；
固定在输入和输出光纤与管子之间的光纤固定件，以便固定输入和输出光纤；
反射镜部分，其具有至少一个面向输入和输出光纤且与输入和输出光纤隔开的微反射镜，其反射从输入光纤发射到输出光纤的发射光线，并进行垂直移动或是旋转移动中的一种，以便衰减所述发射光线，反射镜部分包括：
具有至少一个通孔的基片；
在所述至少一个通孔的区域上形成的微反射镜；
在微反射镜上形成的反射表面；
将微反射镜的表面与基片相连接的弹簧；以及
在微反射镜周围的表面周围形成的磁线圈，其依据外部电信号产生电磁场并为微反射镜提供移动力；
反射镜支撑件，其固定在反射镜部分的下部并用于支撑反射镜部分；
透镜，其形成在输入和输出光纤与反射镜部分之间，并聚焦从输入光纤发射到微反射镜的发射光线；和
罩，其形成在包括反射镜支撑件的反射镜部分的上部并用来固定透镜。
27.根据权利要求26所述的衰减器，其中磁线圈被固定在所述罩的外表面上，以便对反射镜部分的微反射镜施加外部磁场。
28.根据权利要求26所述的衰减器，其中该反射镜部分包括：
具有至少一个通孔的基片；
微反射镜，其形成在所述至少一个通孔的区域上；
形成在微反射镜上的反射表面；
把微反射镜的一个或四个表面和基片相连接的弹簧；和
线圈，其形成在围绕微反射镜的包括弹簧的表面上，并依照外部电信号使微反射镜做旋转移动或垂直移动。
29.根据权利要求28所述的衰减器，其中当弹簧仅与微反射镜的一个表面连接时，反射镜部分还包括在微反射镜上的反射表面的每一侧上形成的弹性体。
30.一种可变光学衰减器，包括：
彼此相邻或隔开的输入光纤和输出光纤中的至少一个；
围绕着输入光纤和输出光纤的管子；
固定在输入和输出光纤与管子之间的光纤固定件，以便固定输入和输出光纤；
反射镜部分，其具有至少一个面向输入和输出光纤且与输入和输出光纤隔开的微反射镜，其反射从输入光纤发射到输出光纤的发射光线，并进行垂直移动或是旋转移动中的一种，以便衰减所述发射光线，反射镜部分包括：
具有至少一个通孔的基片；
在所述至少一个通孔的区域上形成的微反射镜；
在微反射镜上形成的反射表面；
将微反射镜的表面与基片相连接的弹簧；和
在微反射镜周围的表面周围形成的磁线圈，其依据外部电信号产生电磁场并为微反射镜提供移动力；
反射镜支撑件，其固定在反射镜部分的下部并用于支撑反射镜部分；
透镜，其形成在管子内的输入和输出光纤的前面部分，并用于聚焦从输入光纤发射到微反射镜的发射光线；和
罩，其形成在反射镜部分的上部并具有用于传送从输入光纤发射的发射光线的窗口。
31.根据权利要求30所述的衰减器，其中磁线圈被固定在所述罩的外表面上，以便对反射镜部分的微反射镜施加外部磁场。
32.根据权利要求30所述的衰减器，其中该反射镜部分包括：
具有至少一个通孔的基片；
微反射镜，其形成在所述至少一个通孔的区域上；
形成在微反射镜上的反射表面；
把微反射镜的一个或四个表面和基片相连接的弹簧；和
线圈，其形成在围绕微反射镜的包括弹簧的表面上，并依照外部电信号使微反射镜做旋转移动或垂直移动。
33.根据权利要求32所述的衰减器，其中当弹簧仅与微反射镜的一个表面连接时，反射镜部分还包括在微反射镜上的反射表面的每一侧上形成的弹性体。
34.可变光学衰减器，包括
光纤部分，其是由至少一个输入光纤和至少一个输出光纤结合而形成的；
反射镜部分，其具有至少一个面向光纤单元并与光纤单元隔开的微反射镜，其反射从输入光纤发射到输出光纤的发射光线，并进行垂直移动和旋转移动中的一种，以便衰减所述发射光线，反射镜部分包括：
具有至少一个通孔的基片；
在所述至少一个通孔的区域上形成的微反射镜；
在微反射镜上形成的反射表面；
在微反射镜上的反射表面的每一侧处形成的内部线圈
将微反射镜的表面和基片相连接的弹簧；
在微反射镜周围的表面周围形成的外部线圈，其依据外部电信号产生电磁场并为微反射镜提供移动力；以及
弹簧，其使微反射镜垂直地或旋转地移动；和
在光纤部分和反射镜部分之间形成的透镜，并聚焦从输入光纤发射到微反射镜的发射光线。
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