发明内容
针对上述不足,本发明的目的是提供一种短沟道特性得到改善的场效应晶体管。
为实现上述目的,本发明的技术方案为:一种场效应晶体管,包括具有栅、源端、漏端、沟道及衬底在内的场效应晶体管本体,所述场效应晶体管的源端与漏端为SiC材料。
所述场效应晶体管沟道区的掺杂浓度(Np)为8e17cm-3;
所述场效应晶体管沟道长度(L)为100nm;
所述场效应晶体管栅氧化层厚度(tox)为3nm;
所述SiC源、漏结构的场效应晶体管可以为体硅结构MOSFET,其源、漏区的掺杂浓度为8e17cm-3-1e20cm-3;也可以为SOI MOSFET结构,其源、漏区的掺杂浓度为1e20cm-3,轻掺杂漏(LDD)区的掺杂浓度为8e17cm-3-1e19cm-3。
本发明创造性地在场效应晶体管的源端与漏端使用SiC材料,并且降低了场效应晶体管源、漏端的掺杂浓度(一般场效应晶体管的掺杂浓度为1e20cm-3),使具有本发明结构的体硅及SOI MOSFET可以很好地抑制器件的DIBL效应,大大降低器件的阈值电压漂移和关态泄漏电流,提高了器件的电流开关比,表现出了优于常规结构MOSFET的特性,改善了器件的短沟道性能,并且在源、漏区的掺杂浓度较低时,这种优势表现的极为明显。
附图说明
图1为本发明场效应晶体管的结构示意图。
图2为随源、漏区掺杂浓度的变化,SiC源、漏结构的体硅MOSFET与常规结构MOSFET的由DIBL效应引起的阈值电压漂移和亚阈值斜率的比较结果。
图3为当漏端电压分别为0.1V和1.5V时,SiC源、漏结构的体硅MOSFET和常规结构MOSFET的源端及沟道区的电势分布图。
图4为随源、漏区掺杂浓度的变化,SiC源、漏结构的体硅MOSFET与常规结构MOSFET的电流开关比对比图。
图5为源、漏区低掺杂时,SiC源、漏结构的体硅MOSFET和常规结构MOSFET的转移特性的对比图。
图6为源、漏区低掺杂时,常规结构MOSFET的输入输出特性。
图7为源、漏区低掺杂时,SiC源、漏结构的体硅MOSFET输入输出特性。
图8为随LDD区掺杂浓度的变化,SiC结构SOI MOSFET与常规结构SOIMOSFET的由DIBL效应引起的阈值电压漂移的比较结果图。
图9为随LDD区掺杂浓度的变化,SiC结构SOI MOSFET与常规结构SOIMOSFET的开态电流和关态电流的比较结果。
图10为SiC结构SOI MOSFET与常规结构SOI MOSFET电流开关比的比较结果。
具体实施方式
以下结合具体实施例对本发明进行详细阐述。
如图1a和图1b所示,本发明的场效应晶体管包括具有栅1、源端2、漏端3、沟道4及衬底5在内的场效应晶体管本体,所述场效应晶体管的源端2与漏端3选用SiC材料,沟道长度(L)为100nm,栅氧化层厚度(tox)为3nm,沟道区的掺杂浓度(Np)为8e17cm-3。其中,图1a为源、漏区为SiC材料的体硅MOSFET,源、漏区的掺杂浓度为8e17cm-3-1e20cm-3。图1b为源、漏区和轻掺杂漏(LDD)区7都为SiC材料的SOI MOSFET,源、漏区的掺杂浓度为1e20cm-3,轻掺杂漏(LDD)区的长度(LDDdiff)为100nm,掺杂浓度为8e17cm-3-1e19cm-3,埋氧化层6的深度为400nm。
为考察本发明在改善器件短沟道特性方面的效果,以下模拟分析了SiC源、漏结构的体硅及SOI MOSFET器件的特性,并与常规结构MOSFET进行对比。
采用二维器件模拟软件-ISE模拟了本发明体硅结构中源、漏区的掺杂浓度(SDdoping)和SOI结构中LDD区的掺杂浓度(LDDdoping)的变化对器件由DIBL效应引起的阈值电压漂移、开态电流、关态电流等方面的影响。其中,由DIBL效应引起的阈值电压漂移为
(阈值电压是指漏端电压为0.1V时,漏端电流
时的栅电压)。开态电流(Ion)和关态电流(Ioff)是通过计算在Vds=1.5v时,栅电压从0v扫到1.5v时的I-V曲线得到的。即:Ion:Vg=Vds=1.Sv时的漏端电流;Ioff:Vg=0v,Vds=1.5v时的漏端电流。
实施例1:体硅器件中源、漏区掺杂浓度的变化对器件性能的影响
图2为随源、漏区掺杂浓度的变化,SiC源、漏结构MOSFET与常规结构MOSFET的由DIBL效应引起的阈值电压漂移和亚阈值斜率的比较结果。可以看出,SiC源、漏结构MOSFET的阈值电压漂移在源、漏区的掺杂浓度较低时远远小于常规结构MOSFET。当源、漏区的掺杂浓度为1e18m-3时,常规结构MOSFET器件的阈值电压漂移为105mV,而SiC源、漏结构MOSFET器件的阈值电压漂移为20mV,所以当器件源漏端的材料为SiC,且掺杂浓度较低(1e18m-3)时,器件的阈值电压的漂移将减小5倍。且SiC源、漏结构MOSFET的亚阈值斜率也小于常规结构的MOSFET。
为了进一步说明SiC源、漏结构可以抑制器件DIBL效应的原因,图3给出了当漏端电压分别为0.1V和1.5V时,SiC源、漏结构MOSFET和常规结构MOSFET的源端及沟道区的电势分布图。可以看出,漏端电压从0.1V变化到1.5V,常规结构MOSFET的源端势垒降低了0.15V,而SiC源、漏结构MOSFET的源端势垒几乎没有变化,仅降低了0.02V,有效地抑制了漏端电力线向源端的穿通。由以上的分析可以看出,用SiC源、漏结构可以很好地抑制器件的DIBL效应。
由图3还可以看出,当漏端电压为0.1V时,SiC源、漏结构MOSFET的源端势垒高于常规结构MOSFET,这将给器件带来的另一个好处是:器件在关态时,由于器件的源端势垒较高,阻止了载流子由漏端流向源端,器件的关态泄漏电流可以大大降低。
图4给出了随源、漏区掺杂浓度的变化SiC源、漏结构MOSFET与常规结构MOSFET的电流开关比对比图。可以看出,当源、漏区的掺杂浓度较低时(如8e17m-3或1e18m-3),SiC源、漏结构MOSFET器件的电流开关比比常规结构MOSFET要大1-2个量级。图5、6、7又分别给出了源、漏区低掺杂时,SiC源、漏结构MOSFET和常规结构MOSFET的转移特性和输入输出特性的对比。可以看出,SiC源、漏结构MOSFET的特性要远远好于常规结构MOSFET。
综上,当源、漏区的掺杂浓度较低时,SiC源、漏结构的体硅MOSFET在抑制器件的DIBL效应、降低器件的关态泄漏电流、提高器件的电流开关比等方面均表现出了优于常规器件的特性。可见,SiC源、漏结构的体硅器件有着很大的发展潜力。
实施例2:SOI器件中LDD区掺杂浓度的变化对器件性能的影响
图8给出了随LDD区掺杂浓度的变化SiC源、漏结构与常规结构SOI MOSFET的由DIBL效应引起的阈值电压漂移的比较结果。可以看出,当LDD区的掺杂浓度由8e17cm-3变化到1e19cm-3时,两种结构的阈值电压漂移都增加,这是因为随LDD区掺杂浓度的增加,沟道一侧的横向耗尽区变宽,源、漏与栅的分享电荷增加,栅的控制能力减弱,漏端的电力线更容易穿透到源端,使器件的阈值电压漂移增大。而用SiC源、漏结构可以大大降低器件的DIBL效应,使器件的阈值电压漂移小于常规结构的SOI MOSFET。当LDD区的掺杂浓度为5e18cm-3时,两种结构器件的阈值电压漂移之差达60mV。但是DIBL效应的降低是以牺牲器件的部分驱动电流为代价的。
图9给出了随LDD区掺杂浓度的变化SiC源、漏结构与常规结构SOI MOSFET的开态电流和关态电流的比较结果。可以看出,SiC源、漏结构的开态电流和关态电流都小于常规结构的SOI MOSFET,但是由坐标可以看出,开态电流的变化是同一量级上的微小变化,且由2001年ITRS的Roadmap可知,当器件的沟道长度为100nm时,器件的开态电流要大于300μA/μm,如图9中虚线所示,对于SiC源、漏结构的SOI MOSFET来说,当LDD区的掺杂浓度大于3.5e18cm-3时,均满足Roadmap的要求。而由图9我们还可以看出,当LDD区的掺杂浓度为5e18cm-3时,SiC源、漏结构器件的关态电流是10-11量级,而常规结构是10-8量级,用SiC材料做源、漏区,器件的关态电流可以大大地降低。从而为低功耗电路的设计指明了一个方向。
图10又进一步给出了两种结构器件电流开关比的比较结果,用SiC源、漏结构可以使器件的开关态电流比提高2-4个数量级。
综上,SiC源、漏结构的SOI MOSFET在抑制器件的DIBL效应,降低器件的关态泄漏电流,提高器件的电流开关比等方面均显示了极大的优势,改善了器件的短沟道特性。
本发明提出在体硅及SOI MOSFET中采用SiC材料做器件的源、漏区,可以改善器件的短沟道特性,模拟分析表明,SiC材料除了有文献中报道的高热导率、高临界电场、宽带隙、高载流子饱和漂移速度及高抗辐射能力等优点外,SiC源、漏结构的体硅及SOI MOSFET可以很好地抑制器件的DIBL效应,大大降低器件的阈值电压漂移和关态泄漏电流,提高器件的电流开关比,表现出了优于常规结构MOSFET的特性,改善了器件的短沟道性能,并且在源、漏区的掺杂浓度较低时,这种优势表现的极为明显,因此SiC材料在制备小尺寸半导体器件方面具有巨大的应用潜力。