CN1296933C - 具有特型收敛槽结构的磁头滑动件 - Google Patents

Abstract

提供一磁头滑动件(110、600)，它包括一滑动件本体，本体具有一面对盘片的面，该面具有前导和尾端滑动件边缘(204、206、602、604)，以及一在前导和尾端滑动件边缘之间测量的滑动件的长度。面对盘片的面(200)具有一支承表面(202、214、262、270、272、620、622、630)，以及从支承表面下陷的一下陷区域(240、612、624)。一收敛槽(264、274、276、640、642、644)在支承表面内下陷，并具有从下陷区域(240、612、624)通向流体流的一前导槽端(280)，槽侧壁(284)、对流体流关闭的一尾端槽端(282)，以及在前导和尾端槽端之间测量的槽的长度。尾端槽端(282)位于沿滑动件长度的中点的后面，而槽底(286)相对于支承表面，沿槽长的至少一部分垂直成形。

Description

具有特型收敛槽结构的磁头滑动件

技术领域

本发明涉及数据储存系统，更具体来说，涉及用来与记录介质进行通信的磁头滑动件。

背景技术

“Winchester”和光学型式的盘片驱动器在工业界内是众所周知的。这种驱动器使用涂覆有可磁化介质的硬盘，用来将数字信息储存在多个圆形、同心的数据磁道内。盘片安装在主轴电动机上，它使盘片旋转，并使盘片的表面在相应的流体动力(例如，空气)支承的磁头滑动件下通过。滑动件承载诸传感器，它们将信息写入盘片和从盘片面上读出信息。

一致动器机构在电子线路的控制下从磁道到磁道移动滑动件横跨盘片的表面。致动器机构包括一磁道存取臂和一用于各磁头万向节组件的悬架。悬架包括一载荷梁和一万向节。载荷梁提供一朝盘片表面施力于滑动件的载荷力。万向节位于滑动件和载荷梁之间，或者，与载荷梁一体形成，以提供一弹性连接，该连接在遵循盘片构形时，使滑动件俯仰和滚动。

滑动件包括一面向盘片表面的支承表面。随着盘片的旋转，盘片沿着支承表面沿大致与盘片切向速度平行的方向在滑动件下拖曳空气。随着空气在支承表面下通过，空气沿空气流动路径受到压缩，造成盘片和支承表面之间的空气压力增加，它形成流体动力的升力，升力与载荷力平衡并使滑动件升起，从而在盘片表面上方或紧靠盘片表面飞行。

一种类型的滑动件是“自载”式空气支承滑动件，其包括一前导斜度(或台阶防形斜度)、一对突起的侧壁、一腔穴堤围和一环抱的压力腔穴。前导斜度通常重叠或蚀刻在与记录磁头相对的滑动件的一端。当盘片表面在滑动件下拖曳空气时，前导斜度对空气加压。前导斜度的另一效应是，滑动件下的压力分布具有靠近斜度端或“前导边缘”的第一峰值(由于斜度或台阶的高压缩角)，以及靠近记录端或“尾部边缘”第二峰值(由于用于有效的磁记录的低支承间隙)。这种双峰值的压力分布导致带有相当高的俯仰刚度的支承。

介于滑动件和盘片表面之间的记录磁头处的支承间隙是盘片驱动器特性的一个重要的参数。当平均飞行高度连续减小时，重要的是控制几个飞行高度特性的量度，例如，飞行高度对加工偏差的敏感度、起飞特性和振动阻尼性能。

人们已发现，当飞行高度继续减小，特别是低于半个微英寸的飞行高度时，由于制造过程的偏差引起的飞行高度的损失正日益成为磁头/介质间歇接触的根源，间歇接触引起的振动有损于在这种低飞行高度下的读写质量。此外，空气支承缓冲振动和提供良好起飞特性的能力对于能在低于半个微英寸的飞行高度中飞行而言，已显示出是一重要的因素。

滑动件空气支承具有三个自由度：垂直运动、俯仰转动和滚动转动。这三个自由度与三个作用力有关，它们包括由载荷梁施加的预载力以及由空气支承形成的吸力和升力。当这三个力互相平衡时，则实现稳态的飞行姿态。

在稳态的飞行姿态中，流体支承具有相对于其三个自由度的固有刚度。这些刚度被称为垂直、俯仰和滚动刚度。此外，接触刚度是指滑动件俯仰刚度和滑动件垂直刚度的矢量合成。接触刚度表征滑动件在极的尖端的特殊位置处的垂直刚度。接触刚度K_c定义为：

$\mathrm{Kc}=\frac{\mathrm{Kp}}{\frac{\mathrm{Kp}}{\mathrm{Kz}}+b^2}$

方程式(1)

其中，“K_p”是俯仰刚度，“K_z”是垂直刚度，“b”是滑动件枢轴点和极的尖端之间的距离。

制造偏差可造成俯仰静角(PSA)或预载力的变化，它们影响滑动件飞行姿态发生变化。然而，增加空气支承的俯仰刚度和垂直刚度导致对滑动件飞行姿态变化的较大的阻力。俯仰和垂直刚度的增加可通过在空气支承的每单位面积内产生更大吸力和升力来实现。

一般来说，接触刚度(或“局部极的尖端刚度”)与位于极的尖端附近的升力和吸力量有关，极的尖端通常位于滑动件尾端边缘的附近。由此，在紧靠极的尖端的腔穴内移动吸力中心会导致较高的接触刚度。吸力中心可通过减小腔穴的深度，增加“台阶”表面的深度，或降低腔穴/台阶深度比来移向尾部边缘，以产生在腔穴内更加分散的吸力。提高腔穴/台阶深度比具有产生更加靠近腔穴围堤的吸力中心的趋势。

还有，以一给定的俯仰角，线性速度的增加将趋于在腔穴内分散吸力，从而将吸力中心移向尾端边缘。这暗示下列两个参数在吸力中心的位置上相互作用：(1)线性速度；和(2)腔穴/台阶深度比。因此，设计用于朝向极的尖端的较高吸力的空气支承可包括：在一给定的线性速度下选择正确的腔穴/台阶深度比，该线性速度受主轴速度和盘片驱动器的半径构造的支配。然而，吸力中心朝向极的尖端的移动显示对降低接触始-停特性的起飞性能的综合权衡。

对增加极的尖端附近的吸力所提出的另一概念是“在尾端边缘的空气支承的吸力”，该吸力可通过朝向尾端边缘移动腔穴的位置来实现。然而，这种设计没有完全利用位于前导边缘附近的滑动件上的大的表面积。这导致可真正被用来增加吸力和升力的面积的丧失，已知这可提高空气支承刚度，还可降低对制造过程的偏差的敏感度。

因此，要求有改进的滑动件支承，它通过增加接触刚度，同时也提高起飞性能和改进滑动件的阻尼特性来尽可能减小滑动件对制造偏差的敏感度。

发明内容

本发明的一实施例涉及一磁头滑动件，它包括一滑动件本体，本体具有带有前导和尾端滑动件边缘的面向盘片的面，以及在前导和尾端滑动件边缘之间测量的滑动件长度。面向盘片的面具有一支承表面和一从支承表面下陷的下陷区域。一收敛槽在支承表面内下陷，且具有一从下陷区域通向流体流的前导的槽端、多个槽侧壁、对流体流关闭的一尾端槽端，以及在前导和尾端槽端之间测量的槽的长度。尾端槽端位于沿滑动件长度的中点的后面，槽底相对于支承表面沿槽长度的至少一部分垂直成形。

本发明的另一实施例涉及一盘片驱动器组件，它包括一绕中心轴线转动的盘片和一支承在盘片上方的滑动件。滑动件包括一滑动件本体，本体具有带有前导和尾端滑动件边缘的面向盘片的面，以及在前导和尾端滑动件边缘之间测量的滑动件长度。面向盘片的面具有一支承表面和一从支承表面下陷的下陷区域。一收敛槽在支承表面内下陷，且具有一从下陷区域通向流体流的前导的槽端、多个槽侧壁、对流体流关闭的一尾端槽端，以及在前导和尾端槽端之间测量的槽的长度。尾端槽端位于沿滑动件长度的中点的后面，槽底相对于支承表面沿槽长度的至少一部分垂直成形。

本发明的又一实施例涉及一盘片的磁头滑动件，它包括一具有支承表面的面向盘片的面，以及一用来沿支承表面产生一正压梯度的垂直成形的收敛槽。

附图的简要说明

图1是应用本发明的一盘片驱动器的立体图。

图2是从盘片的表面观察到的在图1的盘片驱动器内具有垂直成形的收敛槽的滑动件的仰视平面图。

图3是图2所示滑动件的仰视立体图。

图4是一具有非垂直成形的收敛槽的滑动件的仰视平面图。

图5-1至图5-14是一沿图2的线5-5截取的收敛槽的局部截面图，该图示出了根据本发明的其它实施例的多种斜度轮廓。

图6是根据本发明的另一实施例的一具有垂直成形的收敛槽的滑动件的仰视平面图。

具体实施方式

图1是一应用本发明的盘片驱动器100的立体图。盘片驱动器100例如可构造成传统的盘片驱动器、磁-光盘驱动器或光盘驱动器。盘片驱动器100包括带有一底座102和一顶盖(未示出)的外壳。盘片驱动器100还包括一盘片组106，它通过一盘片夹紧器108安装在主轴电动机(未示出)上。盘片组106包括多个安装成绕中心轴线109共同旋转的单个盘片107。每个盘片表面具有一对应的滑动件110，其安装在盘片驱动器100上并携带一用于与盘片表面通信的读/写磁头。

在图1所示的实例中，滑动件110由一悬架112支承，悬架112又连接到致动器116的磁道存取臂114。图1所示致动器是一种已知类型为旋转移动式的线圈致动器，且包括一总地以118表示的音圈电机(VCM)。音圈电机118绕枢转轴120转动带有其附连的滑动件110的致动器116，以沿着盘片内直径124和盘片外直径126之间的路径122在所需数据的磁道上定位滑动件110。音圈电机118在内部电路128的控制下操作。也可使用其它类型的致动器，例如，线性致动器。

如下文所要详细讨论的，滑动件110具有流体动力(例如，空气)的支承，其提供递增的接触刚度、增强的起飞特性和增加的振动阻尼特性。增加的接触刚度减少滑动件110的飞行姿态对制造公差的敏感度。增强的起飞特性可通过在低的主轴速度下产生较大压力来实现，而增加的振动阻尼特性可通过增加加压效率和在增加滑动件的尾端边缘(读和写传感器位置处)附近形成的压力梯度来实现。

图2是从盘片107的表面观察到的图1中诸滑动件110之一的仰视平面图，图3是滑动件110的仰视立体图。滑动件110有一面向盘片的面200，其形成流体动力(例如，空气)的支承表面202。支承表面202对于面向盘片的面200而言是一参考面。面向盘片的面200包括一前导的滑动件边缘204、一尾端的滑动件边缘206、滑动件侧边缘208和210，以及一横向的中心线212。一腔穴堤围214在侧边缘208和210之间、通常沿前导滑动件边缘204延伸。在一实施例中，腔穴堤围214的上表面通常是与支承表面202的一部分共面，且形成该支承表面的一部分。腔穴堤围214具有一前导边缘216和一尾端边缘218。

一前导斜度220沿腔穴堤围214的前导边缘216形成。前导斜度220具有一相对于支承表面202的深度，该支承表面从前导滑动件边缘204逐渐减小到腔穴堤围214的前导边缘216。在另一实施例中，前导斜度220是一具有大致恒定的台阶深度的“台阶”斜度，例如，其相对于支承表面202为约0.1微米至约0.3微米。前导斜度220可用任何方法形成，例如，离子铣削、反应性离子蚀刻(RIE)或重叠法。在一实施例中，前导斜度220通过一灰度光刻掩模由离子铣削法形成，该掩模允许用一单个掩模蚀刻多个深度。还可使用其它各种方法。当盘片表面在滑动件110下方拖曳空气时，前导斜度220用作对空气加压。前导斜度220的另外的作用是，在滑动件110下方的压力分布中，由于斜度的高压缩角而形成靠近前导边缘204的第一峰值。

一第一边界壁230沿滑动件侧边缘208定位，而一第二边界壁232沿滑动件边缘210定位。边界壁230和232从腔穴堤围214延伸到尾端滑动件边缘206。在一实施例中，边界壁230和232有从支承表面202下陷的上表面，下陷的台阶深度为约0.1微米至约0.3微米，其宽度为约10微米至约100微米。

环抱的压力腔穴240形成在腔穴堤围214和边界壁230、232之间。环抱的压力腔穴240是一下陷的区域，它具有一腔穴底板242，底板从支承表面202下陷一腔穴深度，该深度大于台阶深度。在一实施例中，腔穴深度242的范围是从约1微米至约3微米。也可使用其它的深度。

环抱的压力腔穴240尾随在腔穴堤围214后面，相对于空气流的方向从前导滑动件边缘204到尾端滑动件边缘206。边界壁230和232非常狭窄，以使环抱的压力腔穴240的区域尽可能大，这样，也使腔穴内形成的吸力量最大化，而同时仍用作形成腔穴和沿着滑动件侧边缘208和210将腔穴与周围的压力隔离。边界壁230和232相对于支承表面202略微下陷，当由旋转盘片产生的空气流斜交于横向中心线212时，这可允许对支承表面202加压。

滑动件110还包括一孤立的中心支承基座250和孤立的侧支承基座252和254，它们沿尾端滑动件边缘206定位。中心基座250沿横向中心线212定位，而侧基座252和254分别靠近滑动件侧边缘208和210定位。在另一些实施例中，中心基座250可斜交于或偏离于线212。

中心基座250具有前侧台阶面260、支承面262和一垂直成形的收敛槽结构(或“沟渠”)264。支承面262通常与腔穴堤围214的上表面共面，并形成支承面202的一部分。前侧台阶面260通常平行于支承面262，并从支承面262下陷一诸如0.1至0.3微米的台阶深度，以从腔穴240排出的空气流中提供对支承面262的加压。中心基座250沿尾端滑动件边缘206支承读/写传感器266。在另一些实施例中，传感器266可定位在滑动件110上的其它部位。然而，当传感器位于或靠近尾端滑动件边缘206时，其在滑动件110以一正俯仰角飞行时位于滑动件110上最靠近盘片107(见图1所示)的表面的一点上。对于正俯仰角，尾端滑动件边缘206比前导滑动件边缘204更靠近盘片107的表面。

同样地，侧基座252和254分别包括支承面270和272，以及垂直成形的收敛槽结构274和276。在另一些实施例中，侧基座252和254还可包括类似于中心基座250的前导和/或侧台阶面。支承面270和272通常与腔穴堤围214的上表面和支承面262共面，而且也形成全部支承面202的一部分。

槽264、274和276各有一前导槽端(或“入口”)280、一尾端槽端(或“出口”)282、诸侧壁284和一槽底286。例如，还可通过诸如离子铣削、化学蚀刻或反应性离子蚀刻(RIE)之类的光刻法形成槽264、274和276。或者，槽264、274和276可与基座250、252和254一起通过诸如材料沉淀之类的附加工艺来形成。

槽底286相对于支承面262，270和272是垂直成形的。在一实施例中，槽底286呈倾斜或以其它方式垂直成形，以使槽底具有一相对于支承面262、270和272的深度，该深度沿着槽的全部长度或部分长度从前导槽端280到尾端槽端282逐渐减小。竖直轮廓可以是线性、直线形、弧形、曲线形或这些外形的组合。还有，可用多个台阶形表面来近似沿槽底286的斜度。也可使用其它的竖直倾斜轮廓。

前导槽端280从环抱的压力腔穴240通向流体流，而尾端槽端282对流体流关闭。在操作时，连接各槽264、274和276任何一侧的诸前导壁对于局部流体流呈现显著的压力上升。由于在前导槽端280处的各槽的开口不具有相同的压力上升，所以，它被看作是流体流通过的优先路径。一旦流体流进入槽264、274和276，流体流主要是由槽侧壁284和尾端槽端282限定，并被迫升起在尾端槽端282上，从而对流体流形成一“收敛”槽。这在支承面262、270和272上的离散区域处形成局部压力区域，这些离散区域刚好在尾端槽端282的后面。在一实施例中，这些离散区域具有在尾端槽端282后面的表面区域，这些区域至少与侧壁284间测量到的槽的宽度等长。这提供局部压力梯度能施加于其上的足够的表面积。如图2所示，这些槽可关于横向中心线212对称，或可以是非对称，以提供以一定的滑动件倾斜角优先加压。槽侧壁284可以是互相平行或互相不平行的。

沿支承面262、270和272形成的局部正压梯度有助于对滑动件110提供俯仰和滚动刚度，并且有助于在滑动件振动时提供能量耗散机构，该机构在滑动件的自然共振频率上减缓前导边缘的俯仰和滚动模式的振动。前导边缘的俯仰是指绕滑动件前导边缘附近的一直线转动，而尾端边缘俯仰是指绕滑动件尾端边缘附近的一直线转动。滚动模式的振动是指绕滑动件的纵向中心线212转动。

阻尼量与存在于滑动件110和盘片表面之间的压力场中的梯度辐值成正比。局部正压梯度的大小和强度取决于槽长度与宽度的比、槽的绝对尺寸、槽底的深度和形状，以及槽底和盘片表面之间的空气柱的高度。在一实施例中，槽长度与宽度的比在0.5至5.0的范围内，但根据槽设计目的可超出此范围。在另一实施例中，槽长度与宽度的比的范围在2.0至2.5之间。

局部正压梯度在磁头-盘片间距变化最迅速的地方为最大。因此，对于垂直成形的槽底286，槽264、274和276形成的压力梯度比具有非垂直成形槽的类似槽更高。其结果，通过提供较高的阻尼特性，垂直成形槽264、274和276最大程度地减小滑动件110的极的尖端的飞行高度对制造偏差的敏感度。由于此时较之非垂直成形槽的低盘速而言，槽提供较大的升力，因此垂直成形的槽还对滑动件110提供改进的起飞特性。

此外，在限定一般滑动件的表面面积的情况下，垂直成形的槽利用较小的空气支承面积以产生相等的升力。由于槽264、274和276以较小的表面面积产生较大的升力，所以，滑动件110可供较大的表面面积来产生反作用的吸力。通过增加环抱压力腔穴240的面积，可产生较大的吸力。例如，在如图2和3所示的实施例中，由于产生足够的升力不需要全部长度的侧壁，所以，边界壁230和232做得非常狭窄，以将腔穴240的尺寸最大化。还有，边界壁230和232包围支承基座252和254，以进一步增加腔穴240的尺寸。

与具有非垂直成形槽的空气支承滑动件相比，这导致较大的升力和较大的吸力。这些升力和吸力的增加提高了滑动件110的接触刚度，这可减小制造偏差引起的极的尖端飞行高度的损失。

将滑动件110(如图2和3所示)的性能与图4所示的滑动件400(它具有非垂直成形的收敛槽)的性能作比较。滑动件400与滑动件110类似，它包括一前导滑动件边缘402、一尾端滑动件边缘404和滑动件侧边缘406和408。滑动件400还包括一前导斜度410、一腔穴堤围412、边界壁414和416、环抱的压力腔穴418、中心基座420和侧基座422和424。基座420、422和424分别包括收敛槽结构426、428和430。槽426、428和430各有一从支承表面434下陷并大致平行于支承表面434的槽底432。槽底432从环抱的压力腔穴418的底部升起。

对滑动件110和400的飞行姿态和刚度进行模拟，其模拟结果示于下面的表1中：

                    表1

	滑动件400	滑动件110
			PTFH(nm)	11.8	12.0
俯仰(urad)	226	220
			滚动(urad)	0.5	0.8
KZ(gmf/nm)	0.14	0.19
			KP(uN.M/urad)	0.44	0.50
KC(mg/nm)	60	76

如表1所示，滑动件110比滑动件400产生更大的俯仰刚度“K_P”、垂直刚度“K_Z”和接触刚度“K_C”。例如，滑动件110产生76mg/nm的接触刚度K_C，而滑动件400产生60mg/nm的接触刚度K_C。这又导致极的尖端飞行高度对制造偏差的敏感度降低。此外，计算机动态模拟计算表明，由于滑动件110在低速下具有相对较大的加压，所以，滑动件110在阻尼特性和起飞特性方面优于滑动件400。低速下较大的加压提高起飞性能。滑动件110还产生能增加阻尼的较高的压力梯度。应该指出的是，在本发明的另一些实施例中，表1所示的值将随滑动件的尺寸和支承表面的几何形状或结构的变化而改变。所提供的这些值仅作为示例而已。

垂直成形的槽底在本发明的另一些实施例中可具有各种不同的结构。图5-1至5-14是根据本发明的各种实施例沿图2中的线5-5截取的诸槽之一(例如槽264)的局部截面图。

在图5-1中，槽底286具有一第一部分286-1和一第二部分286-2，前者大致平行于环抱压力腔穴240和支承表面262，后者从第一部分286-1至支承表面262线性收缩。槽底286的深度相对于支承表面262沿部分286-2朝尾端槽端282逐渐减小。在图5-2中，槽底286具有一单一的部分，它通过其全长从环抱的压力腔穴240至支承表面262线性地收缩。因此，在本实施例中，槽底286的深度沿槽的全长从前导槽端280至尾端槽端282逐渐减小。

在图5-3中，第一部分286-1从环抱压力腔穴240至第二部分286-2线性地收缩。第二部分286-2大致与支承表面262平行并从支承表面262下陷，并终止在尾端槽端282的一台阶处。

在图5-4中，槽底286从环抱的压力腔穴240至尾端槽端282线性地收缩，并在尾端槽端282处具有一连接支承表面262的台阶。在图5-5中，槽底286具有第一和第二部分286-1和286-2，它们与图5-3所示的结构类似。然而，第一部分286-1与在其上形成槽的基座的前导边缘上的前导斜度500邻接。

在图5-6至5-13所示的诸实施例中，槽底286具有与图5-1至5-5类似的结构，但斜度部分由单一阶或较高阶的连续曲线或分段曲线组成。也可采用其它垂直成形的结构。

还有，在本发明的另一些实施例中，滑动件的具体的支承几何形状可具有各种结构。如图2和3所示的孤立的支承基座仅示作为示例。

图6是根据本发明的另一实施例的具有一不同支承结构的滑动件600的俯视平面图。滑动件600包括前导边缘602、尾端边缘604、滑动件侧边缘606和608、腔穴堤围610、环抱压力腔穴612、侧壁614和616，以及中心壁618。侧壁614和616各具有一前导支承表面620、一尾端支承表面622和一下陷的台阶面624。下陷的台阶面624从支承表面620和622下陷一台阶深度，例如，台阶深度为约0.1微米至约0.3微米。同样地，腔穴堤围610从支承表面620和622下陷台阶深度。下陷的台阶面624和腔穴堤围602通常平行于支承表面620和622。同样地，中心壁618具有一支承表面630和前侧台阶面632。台阶面632与支承表面630平行并从支承表面630下陷该台阶深度。环抱的压力腔穴612从支承表面620、622和630下陷一腔穴深度，该深度大于台阶深度。

收敛槽结构640、642和644在尾端支承表面622内和在中心壁618的支承表面630中下陷。槽640、642和644具有以与图5-1至5-14所示的类似方式垂直成形的槽底，以使槽底沿其全长或部分长度从槽端朝向尾端槽端减小深度。槽640和642从下陷的台阶面624通向流体流，而槽644从下陷的台阶面632和腔穴612通向流体流。

也可采用各种其它的空气支承表面的几何形状。例如，垂直成形的槽结构可与不具有腔穴堤围的正压空气支承(PPAB)滑动件一起使用。还有，收敛槽结构可位于整个支承表面上的不同位置，以在滑动件和盘片表面之间的压力分布中提供局部压力梯度。在一实施例中，收敛槽结构位于沿滑动件长度的中点的后面，其从前导滑动件边缘测量到尾端滑动件边缘。

总而言之，本发明的一实施例涉及一磁头滑动件110、600，它包括一滑动件本体，本体具有一面对盘片的面200，该面具有前导和尾端滑动件边缘204、206、602、604，以及在前导和尾端滑动件边缘之间测量的滑动件的长度。面对盘片的面200具有一支承表面202、214、262、270、272、620、622、630，以及从支承表面下陷的一下陷区域240、612、624。一收敛槽264、274、276、640、642、644在支承表面内下陷，并具有从下陷区域240、612、624通向流体流的一前导槽端280、槽侧壁284、对流体流关闭的一尾端槽端282、一槽底286，以及在前导和尾端槽端之间测量的槽的长度。尾端槽端282位于沿滑动件长度的中点的后面，而槽底286相对于支承表面沿槽长的至少一部分垂直成形。

本发明的另一实施例涉及盘片驱动器组件100，它包括一绕中心轴线109旋转的盘片107和一支承在盘片上方的滑动件110、600。滑动件110、600包括一滑动件本体，本体具有一面对盘片的面200，该面具有前导和尾端滑动件边缘204、206、602、604，以及在前导和尾端滑动件边缘之间测量的滑动件的长度。面对盘片的面具有一支承表面202、214、262、270、272、620、622、630，以及从支承表面下陷的一下陷区域240、612、624。一收敛槽264、274、276、640、642、644在支承表面内下陷，并具有一从下陷区域通向流体流的前导槽端280、槽侧壁284、对流体流关闭的一尾端槽端282、一槽底286，以及在前导和尾端槽端之间测量的槽的长度。尾端槽端282位于沿滑动件长度的中点的后面，而槽底286相对于支承表面沿槽长的至少一部分垂直成形。

本发明的又一实施例涉及一磁头滑动件110、600，它包括一面对盘片的面，该面具有一支承表面202、214、262、270、272、620、622、630，以及一垂直成形的收敛槽264、274、276、640、642、644，以沿支承表面产生一正压梯度。

应该理解的是，在上述的介绍中，尽管罗列了本发明的各种实施例的众多的特征和优点，以及本发明的各种实施例的结构和功能的细节，但这些公开仅是为了说明而已，在细节上可作多种变化，特别是在本发明的原理范围内所涉及的各零件的结构和布置，本发明的原理范围由附后的权利要求书所表达的诸条款的普遍而通用的含义充分地指明。例如，在不脱离本发明的范围和精神的前提下，根据滑动件特殊的应用，在基本保持同样功能的同时，具体的元件可以改变。此外，尽管上述的优选实施例是针对硬盘驱动器系统的滑动件，但本技术领域的技术人员应该知道的是，在不脱离本发明的范围和精神的前提下，本发明的技术也可应用于其它系统，例如，软盘驱动器或其它储存系统。

Claims (18)

1.一种磁头滑动件，它包括：

一滑动件本体，本体具有一面对盘片的面，该面具有前导和尾端滑动件边缘，以及在前导和尾端滑动件边缘之间测量的滑动件的滑动件长度；

一形成在面对盘片的面上的支承表面；

在前导和尾端滑动件边缘之间延伸的第一和第二壁；

一形成在面对盘片的面内的下陷区域，该下陷区域从支承表面下陷，并由所述第一壁和所述第二壁至少部分地加以界定；以及

一在支承表面内下陷的收敛槽，它具有从下陷区域通向流体流的一前导槽端、对流体流关闭的一尾端槽端、在所述前导槽端和尾端槽端之间延伸的一对槽侧壁、以及在前导和尾端槽端之间测量的槽的长度，其中，尾端槽端位于沿滑动件长度的中点的后面，而槽底相对于支承表面沿槽长的至少一部分垂直成形，并且槽底沿槽长的至少一部分从前导槽端朝向尾端槽端逐渐地减小深度。

2.如权利要求1所述的磁头滑动件，其特征在于，还包括：

一在第一和第二壁之间横向延伸的腔穴堤围；以及

一环抱的压力腔穴，它位于腔穴堤围的后面并且至少部分地位于收敛槽的前面，其中，环抱的压力腔穴形成下陷区域，且前导槽端从环抱压力腔穴通向流体流。

3.如权利要求2所述的磁头滑动件，其特征在于，还包括：

一孤立的支承基座，它通常沿尾端滑动件边缘定位，并具有至少部分形成支承表面的一上表面，其中，收敛槽在孤立的支承基座的前导边缘内下陷。

4.如权利要求1所述的磁头滑动件，其特征在于，

所述第一和第二壁具有至少部分形成支承表面的一上表面和从上表面下陷的一下陷台阶面；

所述下陷区域定位在第一和第二壁之间，其中，收敛槽在第一和第二壁之一的上表面内下陷，并从下陷台阶面通向流体流，其中，下陷台阶面相对于所述下陷区域升起。

5.如权利要求4所述的磁头滑动件，其特征在于，还包括：

一腔穴堤围，它在第一和第二壁之间横向地延伸，位于下陷区域的前面；以及

一环抱压力腔穴，它尾随在第一和第二壁之间的腔穴堤围之后，并形成所述下陷区域。

6.如权利要求1所述的磁头滑动件，其特征在于，槽底具有沿槽长的至少一部分以线性方式收缩的横截面形状。

7.如权利要求1所述的磁头滑动件，其特征在于，槽底具有沿槽长的至少一部分以曲线方式收缩的横截面形状。

8.如权利要求1所述的磁头滑动件，其特征在于，槽底具有沿槽长的至少一部分以直线方式收缩的横截面形状。

9.如权利要求1所述的磁头滑动件，其特征在于，槽底具有沿槽长至少的一部分以具有一斜度的多台阶方式收缩的横截面形状。

10.一种盘片驱动器组件，它包括：

一绕一中心轴线旋转的盘片；和

一支承在盘片上方的滑动件，其包括：

一滑动件本体，本体具有一面对盘片的面，该面具有前导和尾端滑动件边缘，以及在前导和尾端滑动件边缘之间测量的滑动件的长度；

一形成在面对盘片的面上的支承表面；

在前导和尾端滑动件边缘之间延伸的第一和第二壁；

一形成在面对盘片的面内的下陷区域，该下陷区域从支承表面下陷，并由所述第一壁和所述第二壁至少部分地加以界定；以及

一在支承表面内下陷的收敛槽，它具有从下陷区域通向流体流的一前导槽端、对流体流关闭的一尾端槽端、在所述前导槽端和尾端槽端之间延伸的一对槽侧壁、以及一在前导和尾端槽端之间测量的槽长，其中，尾端槽端位于沿滑动件长度的中点的后面，而槽底相对于支承表面沿至少槽长的一部分垂直成形，并且槽底沿槽长的至少一部分从前导槽端朝向尾端槽端逐渐地减小深度。

11.如权利要求10所述的盘片驱动器组件，其特征在于，还包括：

一在第一和第二壁之间横向延伸的腔穴堤围；

一环抱的压力腔穴，它位于腔穴堤围的后面，并且至少部分地位于收敛槽的前面，其中，环抱的压力腔穴形成下陷区域，且前导槽端从环抱压力腔穴通向流体流。

12.如权利要求11所述的盘片驱动器组件，其特征在于，还包括：

一孤立的支承基座，它大致沿尾端滑动件边缘定位，并具有一至少部分形成支承表面的一上表面，其中，收敛槽在孤立的支承基座的前导边缘内下陷。

13.如权利要求10所述的盘片驱动器组件，其特征在于，还包括：

所述第一和第二壁具有至少部分形成支承表面的一上表面和从上表面下陷的一下陷台阶面；以及

所述下陷区域定位在第一和第二壁之间，其中，收敛槽在第一和第二壁之一的上表面内下陷，并从下陷台阶面通向流体流，其中，下陷台阶面相对于所述下陷区域升起。

14.如权利要求10所述的盘片驱动器组件，其特征在于，槽底具有沿槽长的至少一部分以线性方式收缩的横截面形状。

15.如权利要求10所述的盘片驱动器组件，其特征在于，槽底具有沿槽长的至少一部分以曲线方式收缩的横截面形状。

16.如权利要求10所述的盘片驱动器组件，其特征在于，槽底具有沿槽长的至少一部分以直线方式收缩的横截面形状。

17.如权利要求10所述的盘片驱动器组件，其特征在于，槽底具有沿槽长的至少一部分以具有一斜度的多台阶方式地收缩的横截面形状。

18.一种磁头滑动件包括：

一滑动件本体，本体具有一面对盘片的面，该面具有前导和尾端滑动件边缘，并形成一支承表面；在前导和尾端滑动件边缘之间延伸的第一和第二壁；

一从支承表面下陷、并由所述第一壁和所述第二壁至少部分地加以界定的下陷区域；

相对于所述支承表面垂直成形的收敛槽装置，该收敛槽装置在所述支承表面内下陷，并具有从所述下陷区域通向流体流的一前导槽端、对槽内的流体流关闭的一尾端槽端、在所述前导槽端和尾端槽端之间延伸的一对槽侧壁、以及一在前导和尾端槽端之间测量的槽长，该收敛槽装置用来沿所述尾端槽端后面的支承表面产生一正压梯度，其中，所述槽装置沿所述槽长的至少一部分、在流体流的方向上、在前导槽端和尾端槽端之间、相对于所述支承表面逐渐地减小深度。

Images