CN1240410A - 用于光学回路的有机金属 - Google Patents
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Abstract
将多种有机金属化合物(12—18)转化为蒸汽,并与燃烧气体(32—38)混合,形成通过管(40)的汽流。该汽流在燃烧器(42)内燃烧,形成粉尘(50),该粉尘(50)沉积在旋转的基材(60)上,形成固结的氧化物层。
Description
本发明领域
本发明广义地涉及诸如火焰水解的转化体系，以及使用有机金属源在平面基材上沉积均匀的薄氧化物粉尘或初步烧结的玻璃层。沉积的粉尘可固结为玻璃层。这类玻璃层形成芯玻璃和包层玻璃，它们构成集成光路中的光波导。
本发明背景
本申请人已经研制出火焰水解体系，它可在平表面上沉积薄的氧化物粉尘层，这类平表面可用于光路(LOC)以及制造集成光波导器件，例如集成光路。这些粉尘层固结成玻璃层，形成光波导芯和包层。
美国专利申请08/581,186(1995年12月29日申请)(Bandwidth-AdjustedWavelength Demultilexer，by Denis M.Trouchet)披露了这样的光学电路，可用作波分解复用器。
常规方法一直依赖卤化物的燃烧，它对一些应用有利，但也存在严重的缺陷。卤素，如氯会从原料中除去某些氧化物，会导致由沉积粉尘层产生的玻璃组成的不均匀性。这种不均匀性会使这些常规卤化物法制造的波导玻璃层的光学性质下降。
除了上述之外，卤化物燃烧反应的最终产物是氯，它会与空气中的湿气反应形成HCl，而HCl是高度腐蚀性和毒性的，需要能存放它的设备。
因此，需要一种能在平表面或基材上形成氧化物粉尘层的体系，这体系能提供对玻璃组成均匀性的改善，使火焰水解法形成的波导玻璃层具有更好的光学性能，并消除有毒或有害的燃烧副产物。
本发明概述
本发明涉及有机金属源在无源波导应用和制造集成光波导器件(如集成光路)中的用途。使用这类材料的好处是可从体系中消除氯。因为氯会通过反应从原料除去某些沉积氧化物，使沉积层中所需氧化物不能达到要求的浓度。使用有机金属源的另一个好处是能方便地将材料输送到转化点，例如燃烧器，以及消除氯而增加安全性。
采用本发明改进的火焰水解沉积(FHD)法，可沉积粉尘层。FHD能在平面基材上沉积均匀的薄氧化物粉尘或初步烧结的玻璃层。在一个实施方案中，用直径为100毫米，厚1毫米的熔凝硅石制得的平面基材制造波导层。制得属于GeO2-B2O3-P2O5-SiO2体系的波导粉尘玻璃芯组成，并用属于B2O3-P2O5-SiO2三元体系的玻璃包层包覆。选择玻璃组成，以达到要求的折射率。(例如，增加GeO2来提高％Δ)。
本发明的FHD体系包括燃料气体和有机金属蒸汽的混合物，混合这些气体并且送入在火焰内的共同气流中，火焰中有一直接指向熔凝硅石的平面基材靶的转化点。在甲烷/氧的火焰中，有机金属蒸汽(由以下的至少两种物质形成，这些物质选自八甲基环四硅氧烷、磷酸三甲酯、硼酸三乙酯、异丙醇钛和乙醇锗)燃烧生成多组分氧化物粉尘颗粒。
火焰速度、火焰中各气体组分的比值以及蒸汽输送速度控制着最终粉尘的粒度以及它们烧结的程度。可以改变靶的高度，可以往返移动和/或旋转靶，来控制温度和沉积颗粒的分布。
当粉尘层沉积至要求的厚度，可对样品进行热处理以烧结玻璃使之完全致密。烧结或固结取决于玻璃组成和厚度。制得的波导层厚度通常为5-9微米。固结温度范围约为1150-1340℃，在该温度范围保持的时间约为1-7小时。
要制造集成光波导器件，可按照上述，在平面基材上沉积和烧结粉尘层形成芯层。采用光刻和反应离子蚀刻(RIE)技术，在该芯层上蚀刻出波导线路。然后在蚀刻层上沉积包层并烧结。
附图简述
为了充分理解本发明，可结合附图参考对本发明优选模式的详细描述。
图1是本发明的火焰水解体系的示意图。
图2是燃烧器的放大的透视图，表明火焰的前部和尾部，以及如何测量燃烧器至样品的高度。
图3是燃烧器组合件的部件分解透视图。
图3a是图3所示燃烧器中部剖面图。
图4是一个鼓泡器组合件的剖面图。
图5是固定基材的真空卡盘组件示意图。
图5a是卡盘底部的平面图。
图6是第二实施方案的燃烧器组合件的部件分解透视图。
图7是固结的玻璃粗糙度随燃烧器至样品高度以及燃烧器排数变化的曲线。
图8是组成变化随样品至燃烧器的高度变化的曲线。
本发明的详细描述
由图1很好地说明了本发明，图1是本发明的火焰水解体系10的示意图，该体系适合在用于光路(LOC)以及制造集成光波导器件，例如集成光路的平表面上制得氧化物粉尘层。选择的有机金属液体分别储存于鼓泡器12、14、16和18中。该体系产生的有机金属蒸汽用氮气源20作为载气，氮气源20中的N2通过加热管22传送到每个鼓泡器。有机金属液体在鼓泡器内蒸发，并被氮气载运分别通过加热的管24、26、28和30。有机金属蒸汽与预先选择的燃料气体混合物混合为一个气流，该混合物包括空气32、氮34、氧36和甲烷38，从管39通过管40输送到燃烧器组合件42。在转化点的火焰48(见图2)中，蒸汽燃烧产生氧化物粉尘50。粉尘沉积在基材53上，基材53通过一个真空卡盘组合件60(图5和5a)固定。也可采用本领域已知的常规横移行星装置(transverse planetarymechanism)70，使卡盘横向运动和/或旋转。燃烧排出的气体(未标出)通过一个外罩62到涤气器(未标出)。由一过滤的封闭外壳52包围燃烧器组合件42和真空卡盘组合件60。
如图3和3a所示，转化点的燃烧器组合件42包括外壳43，外壳上有一排直径0.30”的孔44。该外壳有一个玻璃陶瓷的插件45和不锈钢的细筛网46，45上有多排平行的孔41，46被插入圆柱形的支管室47内。在优选的实施方案中提供了更加均匀的蒸汽混合物分布，该方案中，用图6的插件84代替筛网46。燃料气体-有机金属蒸汽的混合物通过管48进入燃烧器，管48用螺纹接入外壳43并连接到管40。支管室由螺帽49密封。
图6表明的是燃烧器组合件的第二实施方案，它在横跨整个燃烧器面上使火焰点保持相等高度。该实施方案中，燃烧器组合件70包括外壳72和燃烧器槽74。燃烧器隔板包括两个放在圆柱形支管室76内的插入件。陶瓷插入件80有两排平行的孔82。不锈钢插入件84的结构是在与陶瓷插入件对接时，提供蒸汽均匀分布的通道，而在横跨整个燃烧器面上使火焰点保持相等的高度。蒸汽混合物通过管86进入燃烧器，该支管室由螺帽78密封。
为了保证得到均匀厚度的层以及避免形成光栅(rastering)，有燃烧器槽或孔的燃烧器面或顶部表面的长度“L”应该至少等于或大于被涂布的平面基材的直径或宽度。
图5和5a更清楚地显示了固定基材的真空卡盘组合件60。卡盘上有垂直的轴61、旋转套环62、内防护环63和外环67。卡盘底面64(图5a)显示固定样品53的真空孔65的分布。
操作中，分别在鼓泡器12、14、16和18中放入有机金属液体组分，如八甲基环四硅氧烷、磷酸三甲酯、硼酸三乙酯和乙醇锗。鼓泡器连接到氮气载气进口阀，进口阀底部装有充气器并且每个鼓泡器连接着一个蒸汽出口阀。图4是图1中所示的一个鼓泡器的放大图，由图4更清楚地看到，每个鼓泡器腔12由不锈钢制成，是有圆底和圆顶的圆柱体。鼓泡器上有氮气进口和通到燃烧器42的向外流动的蒸汽出口13。氮气以给定的速度通过进气管15进入鼓泡器，氮气由浸在液体中并位于鼓泡器底部的充气器管通入。为控制温度，可任选用加热带缠绕鼓泡器，加热带由温度控制器控制。然后用合适的保温材料隔热鼓泡器。还通过缠绕加热带加热出口管，使其温度高于有机金属沸点，保证蒸汽为气态。所有的出口管连接到一个共同的管道40，该管起到将各种蒸汽在进入燃烧器之前混合起来的作用。该管的温度至少必须等于各组分的最高沸点。
可以使用热电偶监测有机金属液体的温度。热电偶17和18位于每个鼓泡器内，它们浸在液体中。每个鼓泡器外面装有另外一个热电偶19，沿着输入和输出管。
鼓泡器还可以有用于加料和放料出入口。每个鼓泡器底部有一个放料口21，除非鼓泡器正在排放料液，放料口21都被盖住。
由质流控制器(mfc)23(可以TYLAN商品名购得)调节蒸汽和气体的输送速度，提供体积流动速率。由氮气流输送蒸汽态的有机金属。甲烷气体和氧气是分开输送。该体系还具有将氮气、空气和氢气作为燃料预混物一部分的能力。对本发明的一个实施方案，各mfc的范围如下：
CH4和O2＝10sLpm(标准升/分钟)
用于预混合物的N2＝10sLpm
OMCTS N2＝100sccm(标准毫升/分钟)
TMP N2＝200sccm
TEB N2＝50sccm
GeE＝1000sccm
辅助调节器(通到mfc)∶N2＝15psi
O2＝17psi
只有氮气管是经过过滤的以吸收湿气。
从mfc接出的管道为不锈钢管，直接连接到燃烧器的多支管或连接到鼓泡器。由加热带和可购得的温度控制器预热这些管道并控制其温度。每一管道的温度等于其鼓泡器的温度。
还可以用本领域已知的蒸发系统代替鼓泡器，如美国专利4,529,427和JP 60-108338中所述，这些文献在此引作参考。
本发明的一个实施方案中，按照下面所述方法形成粉尘芯层和粉尘包层：
粉尘芯层玻璃组成#5(见表3)在GeO2-B2O3-P2O5-SiO2(15.79，3.86，2.19和78.16％(重量))系统内，而包层玻璃#10(见表1)的组成在B2O3-P2O5-SiO2(7.95，3.25和88.8％(重量))的三元系统内。采用标准电子探针微量分析(EPMA)技术分析它们的组成。
采用图1-5中所述的标准火焰水解沉积(FHD)技术沉积粉尘层。FHD系统主要包括燃料气体和有机金属蒸汽，它们混合后被送入在转化点的火焰中的共同气流中，火焰直接对着平面基材靶。在甲烷/氧火焰中，有机金属蒸汽(来自八甲基环四硅氧烷OMCTS、磷酸三甲酯TMP、硼酸三乙酯TEB、乙醇锗TEOG或GE)燃烧并转化为多组分氧化物的粉尘颗粒。输送系统采用鼓泡器，一种组分使用一个鼓泡器。鼓泡器体积为100-400毫升，液面保持在恒定高度。载气为氮气，接到鼓泡器的管道预热至和鼓泡器一样的温度，避免在N2流动时冷却液体。鼓泡器温度应尽可能低，但仍高至可在给定的N2流量下产生足够的蒸汽。要求出口管温度超过沸点以保证液体的蒸汽不冷凝。用于载气进气管、鼓泡器和出口管的温度控制器预热至下列温度：
温度(℃)
81 到OMCTS鼓泡器的进口和鼓泡器本身(22+18)
70 到TMP的进口和TEB鼓泡器(22+16)
60 到TEB的进口和TEB鼓泡器(22+14)
51 到GE的进口和GE鼓泡器(22+12)
＞176 OMCTS鼓泡器的出口管(30)
＞197 TMP鼓泡器的出口管(28)
＞117 TEB鼓泡器的出口管(26)
＞185 GE鼓泡器的出口管(24)
＞197 燃烧器下面的共用部分
熔凝硅石基材(直径100毫米，厚1毫米)在放置于卡盘60上之前清洁并称重，卡盘借助真空将该样品固定在火焰上方。打开质流控制器，使载气进入鼓泡器，传送一定体积流量(sccm)的蒸汽，并控制甲烷和氧的流量(sLpm)。芯层玻璃和包层玻璃物质的传送速度如下：
OMCTS TMP TEB GE CH4 O2芯#5 0.023 0.0002 0.009 0.006 5.85 5.6包层#10 0.025 0.0040 0.007 0 5.85 5.6
燃烧器下面的电磁螺线(magnehelic)监测背压，背压通常为1.0英寸水柱。根据预定距离设定基材在火焰上方的高度，通过装置70，基材以恒定的速度横向运动同时旋转，以控制沉积颗粒的温度和分布。由基材在火焰上方横向运动的次数来控制玻璃粉尘的厚度。通常，芯层厚度约为5-7微米，包层厚度约为4-20微米。
当粉尘层沉积至要求的厚度后，对样品进行热处理以烧结玻璃使之完全致密。固结程序取决于玻璃组成和厚度。芯层#5的厚度为5微米；包层#10的厚度约为4微米。芯层固结的最高温度为1290℃，包层为1200℃，这些温度分别保持2小时和1小时。
制造集成光波导线路器件的步骤包括：
1.采用光刻技术和反应离子蚀刻(RIE)技术，在芯层上蚀刻出器件线路。
2.沉积包层并烧结，覆盖该器件线路。
3.将该器件接上引线、封装并连接。
表1和2比较了用EPMA测得的本发明的由有机金属产生的玻璃的横截面上氧化物重量百分数标准偏差和由传统方法沉积的用卤化物产生的玻璃上氧化物重量百分数的标准偏差。(卤化物产生的玻璃的最低值(SiO2为0.47，B2O3为0.39和P2O5为0.13)，在本发明的由有机金属产生的玻璃中用作组成控制的上限)。本发明的玻璃，在整个沉积的玻璃层上每种氧化物都仅有很小的变化。
表1-有机金属覆盖层
| 实施例# | P2O5标准偏差 | B2O3标准偏差 | SiO2标准偏差 |
| 1 | 0.09 | 0.23 | 0.21 |
| 2 | 0.10 | 0.19 | 0.23 |
| 3 | 0.13 | 0.19 | 0.28 |
| 4 | 0.11 | 0.13 | 0.16 |
| 5 | 0.03 | 0.28 | 0.21 |
| 6 | 0.04 | 0.22 | 0.16 |
| 7 | 0.04 | 0.18 | 0.12 |
| 8 | 0.03 | 0.23 | 0.05 |
| 9 | 0.05 | 0.15 | 0.37 |
| 10 | 0.06 | 0.13 | 0.02 |
| 11 | 0.06 | 0.13 | 0.09 |
| 12 | 0.06 | 0.21 | 0.41 |
| 13 | 0.09 | 0.13 | 0.10 |
| 14 | 0.08 | 0.26 | 0.10 |
| 15 | 0.11 | 0.31 | 0.02 |
| 最大标准偏差 | 0.13 | 0.31 | 0.41 |
| 最小标准偏差 | 0.03 | 0.13 | 0.02 |
表2-卤化物包层
| 实施例# | P2O5标准偏差 | B2O3标准偏差 | SiO2标准偏差 |
| 1 | 0.16 | 1.50 | 1.44 |
| 2 | 0.13 | 0.56 | 0.51 |
| 3 | 0.41 | 0.96 | 0.77 |
| 4 | 0.67 | 1.38 | 1.11 |
| 5 | 0.22 | 0.61 | 0.47 |
| 6 | 0.13 | 0.64 | 0.83 |
| 7 | 0.15 | 0.55 | 0.51 |
| 8 | 0.21 | 0.72 | 0.74 |
| 最大标准偏差 | 0.67 | 1.50 | 1.44 |
| 最小标准偏差 | 0.13 | 0.55 | 0.47 |
以下表3和4比较了由EPMA测得的卤化物产生的芯层玻璃横截面上氧化物重量百分数标准偏差和本发明有机金属产生的玻璃横截面上氧化物重量百分数标准偏差。在整个沉积的玻璃芯层中，本发明玻璃中GeO2和SiO2的变化小得多。
表3-有机金属芯层
| 实施例# | P2O5标准偏差 | B2O3标准偏差 | SiO2标准偏差 | GeO2标准偏差 |
| 1 | 0.22 | 0.19 | 0.66 | 0.30 |
| 2 | 0.02 | 0.16 | 0.59 | 0.45 |
| 3 | 0.28 | 0.13 | 0.42 | 0.65 |
| 4 | 0.21 | 0.24 | 0.17 | 0.26 |
| 5 | 0.21 | 0.13 | 0.21 | 0.16 |
| 6 | 0.19 | 0.13 | 0.20 | 0.28 |
| 7 | 0.15 | 0.23 | 0.55 | 0.56 |
| 8 | 0.13 | 0.20 | 0.05 | 0.08 |
| 9 | 0.36 | 0.20 | 0.31 | 0.20 |
| 10 | 0.14 | 0.12 | 0.01 | 0.21 |
| 11 | 0.15 | 0.10 | 0.24 | 0.40 |
| 最大标准偏差 | 0.36 | 0.24 | 0.66 | 0.65 |
| 最小标准偏差 | 0.02 | 0.01 | 0.01 | 0.08 |
表4-卤化物芯层
下面的反应式说明了本发明中使用的典型有机金属的燃烧产物。
| 实施例# | P2O5标准偏差 | B2O3标准偏差 | SiO2标准偏差 | GeO2标准偏差 |
| 1 | 0.21 | 0.70 | 0.98 | 0.79 |
| 2 | 0.17 | 0.49 | 1.17 | 1.12 |
| 3 | 0.41 | 0.73 | 2.39 | 2.25 |
| 4 | 0.15 | 0.27 | 1.78 | 1.46 |
| 5 | 0.26 | 0.29 | 1.09 | 1.13 |
| 6 | 0.29 | 0.34 | 1.05 | 0.72 |
| 7 | 0.10 | 0.26 | 0.96 | 0.66 |
| 8 | 0.16 | 0.44 | 2.13 | 1.55 |
| 9 | 0.12 | 0.18 | 1.74 | 1.45 |
| 最大标准偏差 | 0.41 | 0.73 | 2.39 | 2.25 |
| 最小标准偏差 | 0.10 | 0.18 | 0.96 | 0.66 |
表 5
有机金属燃烧产物
OMCTA：八甲基环四硅氧烷
TMP：磷酸三甲酯
TEB：硼酸三乙酯
GeE：乙醇锗
异丙醇钛
本发明另一个实施方案中，氧化物粉尘颗粒可以同时在平面基材上沉积并烧结为均匀的玻璃层，而不需要熔融或软化该基材。该实施方案提供的好处是取消另一个固结步骤，避免晶片翘曲，提供了光滑、没有或几乎没有缺陷的玻璃表面。
在现场完成烧结的方法是依靠下面所述升高基材温度而完成的：
1.提高甲烷浓度(更热的火焰)
2.将样品夹具隔热或加热
3.降低样品高度(尽可能靠近燃烧器，以获得更热和更小的粉尘颗粒)
4.改变组成使其可在较低的温度烧结(如增加B2O3/P2O5)
5.使用高速燃烧器(单排代替三排)
第一种方法包括提高甲烷与氧的比值，同时保持所有其它条件不变。氧量应高至足以进行化学计量反应，而较多量的甲烷产生更热的火焰。使用直径10厘米的样品，预烧结区为圆形透明玻璃。按照外径(厘米)测量该区域的边界(见表6)。当CH4/O2比值提高时，直径从4.8厘米增加到6.0厘米。当该比值基本不变，但甲烷增加时，直径从6.0厘米增加到8.8厘米。
表 6
另一种方法是将样品夹具隔热。用一厚层与其形状紧密配合的铝硅陶瓷纤维覆盖真空卡盘以使样品夹具隔热。当卡盘在整个操作过程中保持较热时，预烧结面积从6.0增加到6.5(见表7)。
| 样品# | O2(sLpm) | CH4(sLpm) | CH4/O2(sLpm) | 预烧结直径(厘米) |
| 95-276 | 5.06 | 5.20 | 1.03 | 6.0 |
| 95-278 | 6.00 | 5.20 | 0.87 | 4.8 |
| 95-279 | 5.60 | 5.90 | 1.05 | 8.8 |
表 7
| 样品# | O2(sLpm) | CH4(sLpm) | CH4/O2(sLpm) | 预烧结直径(厘米) |
| 95-276 | 5.06 | 5.20 | 1.03 | 6.0厘米：未隔热 |
| 95-277 | 5.06 | 5.20 | 1.30 | 6.5厘米：隔热 |
第三种方法包括使基材夹具靠近火焰前锋。最佳的燃烧器至样品高度为直接在火焰点上方。
第四种方法包括改变玻璃的组成。图8显示了固结玻璃组成的变化，B2O3/P2O5的比值随样品至燃烧器高度下降。B2O3/P2O5比值越高，粉尘越容易烧结。
第五种方法包括提高火焰速度，如采用单排燃烧器孔而不是三排燃烧器孔。作为粉尘粒度的函数的粉尘层粗糙度与燃烧器孔的排数有关。
使用外形仪测定固结样品的粗糙度，对4厘米距离上三个点的三条径迹取平均。图7所示为采用单排燃烧器和三排燃烧器产生的样品，其粗糙度随样品至燃烧器高度的变化。单排燃烧器制得的玻璃表面更为光滑，这两种情况的粗糙度都随在燃烧器上的高度增加。
以上参照附图中说明的优选模式具体描述了本发明，但是本领域的技术人员应该理解，在不偏离权利要求书确定的本发明的精神和范围下，可以进行细节方面的变动。
Claims (24)
1.一种在平面基材上形成氧化物粉尘层的方法，该方法包括下列步骤：
(a)制备含有多种可转化为其氧化物形式的有机金属化合物蒸汽的无卤化物的气流；
(b)使所述气流通过转化点，形成氧化物粉尘颗粒的混合物；和
(c)将平面基片放置在靠近所述转化点处，并在所述基片上沉积所述氧化物粉尘颗粒，形成内聚的氧化物粉尘层。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于所述制备含有多种可转化为其氧化物形式的有机金属化合物蒸汽的无卤化物的气流的步骤，还包括将气体燃料和所述的气流混合。
3.如权利要求1所述的方法，其特征在于所述的将平面基片放置在靠近所述转化点处的步骤，还包括将所述平面基片水平放置在所述转化点上方。
4.如权利要求1所述的方法，其特征在于所述的有机金属化合物包括至少两种选自八甲基环四硅氧烷、磷酸三甲酯、硼酸三乙酯、异丙醇钛和乙醇锗的物质。
5.如权利要求1所述的方法，其特征在于所述的有机金属化合物蒸汽包含在惰性气体中。
6.如权利要求5所述的方法，其特征在于所述的惰性气体包括氮气。
7.如权利要求2所述的方法，其特征在于所述的气体燃料包括甲烷和氧。
8.一种制造光波导器件的方法，该方法包括下列步骤：
(a)制备含有多种可转化为其氧化物形式的有机金属化合物蒸汽的无卤化物的气流；
(b)混合所述的气流和气体燃料混合物，形成共同的汽流；
(c)使所述的汽流通入燃烧器火焰中，形成氧化物粉尘颗粒的混合物，所述的燃烧器有内隔板组合件，可提供均匀的火焰点；
(d)使所述的氧化物粉尘颗粒沉积在基片上，形成内聚的粉尘层；
(e)使所述的氧化物粉尘层固结为玻璃层；和
(f)用所述玻璃层制造光波导器件。
9.一种在支承性平面基材上制造集成光波导的方法，该方法包括下列步骤：
(a)制备含有多种可转化为其氧化物形式的有机金属化合物蒸汽的无卤化物的气流；
(b)混合所述的气流和气体燃料混合物，形成共同的汽流；
(c)使所述的汽流通入燃烧器火焰中，形成氧化物粉尘颗粒的混合物；
(d)使所述的氧化物粉尘颗粒沉积在基片上，该基片被加热至足以就地使所述氧化物颗粒烧结形成玻璃层的温度；和
(e)用所述玻璃层制造集成光波导器件。
10.一种制造光路的方法，该方法包括下列步骤：
(a)制备含有多种可转化为其氧化物形式的的有机金属化合物蒸汽的无卤化物的气流；
(b)混合所述的气流和气体燃料混合物，形成共同的汽流；
(c)使所述的汽流通入燃烧器的火焰中，形成氧化物粉尘颗粒的混合物；
(d)使所述的氧化物粉尘颗粒沉积在悬挂于燃烧器上的平面基片上，形成内聚的氧化物粉尘层；和
(e)用所述氧化物粉尘层制造光路。
11.如权利要求10所述的方法，其特征在于所述的平面基片在沉积粉尘层期间在燃烧器上横向运动。
12.如权利要求11所述的方法，其特征在于所述的基片在沉积期间还同时旋转。
13.如权利要求10所述的方法，其特征在于所述的基片在沉积期间同时在燃烧器上方作行星式运动。
14.用于在平面基材上形成氧化物粉尘层的设备，它包括：
(a)提供管道网，管道网包括通到燃烧器的进气管，用于混合一种气流和气体燃料混合物，形成共同的汽流；
(b)燃烧器，它有一外壳，包括上顶面，上顶面包含燃烧器，燃烧口通过普通的内支管室连接到所述的进气管；和
(c)平面基材的支撑装置，放置在所述燃烧器上面，所述支撑装置上有一用于产生横向通过所述燃烧器面的水平运动的装置。
15.如权利要求14所述的设备，其特征在于所述的支撑装置还提供了使基材在燃烧器上面旋转的装置。
16.如权利要求14所述的设备，其特征在于所述的燃烧口包括一伸长的槽。
17.如权利要求14所述的设备，其特征在于燃烧口包括多个孔。
18.如权利要求17所述的设备，其特征在于所述孔是相等间隔的一排孔。
19.如权利要求14所述的设备，其特征在于所述的燃烧器有一支管室，并有至少一个燃烧器内隔板件，以提供在燃烧器面长度方向上的均匀气流。
20.如权利要求14所述的设备，其特征在于所述燃烧器隔板包括两个插件，它们彼此靠紧，提供将共同汽流均匀分配到燃烧口的通道。
21.如权利要求14所述的设备，其特征在于燃烧器长度等于或大于平面基材的直径或宽度。
22.一种用于在平面基材上形成氧化物粉尘层的设备，它包括：
(a)提供管道网，管道网包括通到燃烧器的进气管，用于混合一种气流和气体燃料混合物，形成共同的汽流；
(b)燃烧器，它有一外壳，包括顶面，顶面包含至少一个燃烧口，燃烧口通过普通的内支管室连接到所述的进气管；所述的支管室有隔板件，提供通到燃烧口的均匀汽流；和
(c)用于平面基材的支撑装置，放置在所述燃烧器上面，所述支撑装置上有一用于产生横向通过所述燃烧器面的水平运动的装置。
23.如权利要求22所述的设备，其特征在于所述燃烧口包括一伸长的槽。
24.如权利要求22所述的设备，其特征在于所述燃烧口包括多个孔。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN 97180616 CN1240410A (zh) | 1996-12-16 | 1997-11-07 | 用于光学回路的有机金属 |
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| CN (1) | CN1240410A (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103781732A (zh) * | 2011-08-23 | 2014-05-07 | 康宁股份有限公司 | 具有可调热膨胀系数的薄玻璃板及其制造过程 |
| CN104907537A (zh) * | 2015-05-27 | 2015-09-16 | 含山县宏记精工铸造厂 | 一种化工输送管道 |
| CN107010823A (zh) * | 2017-05-18 | 2017-08-04 | 长飞光纤潜江有限公司 | 一种用于光纤预制棒外部沉积的omcts蒸发装置 |
-
1997
- 1997-11-07 CN CN 97180616 patent/CN1240410A/zh active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN103781732A (zh) * | 2011-08-23 | 2014-05-07 | 康宁股份有限公司 | 具有可调热膨胀系数的薄玻璃板及其制造过程 |
| US9321669B2 (en) | 2011-08-23 | 2016-04-26 | Corning Incorporated | Thin glass sheet with tunable coefficient of thermal expansion |
| CN104907537A (zh) * | 2015-05-27 | 2015-09-16 | 含山县宏记精工铸造厂 | 一种化工输送管道 |
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