CN1225777C

CN1225777C - 人工搬运车

Info

Publication number: CN1225777C
Application number: CN 03104442
Authority: CN
Inventors: 陈契名
Original assignee: AU Optronics Corp
Current assignee: AU Optronics Corp
Priority date: 2003-02-14
Filing date: 2003-02-14
Publication date: 2005-11-02
Anticipated expiration: 2023-02-14
Also published as: CN1521074A

Abstract

一种人工搬运车，至少包括承载部、后板、顶板和三遮布。承载部放置一基板箱，基板箱具有至少一玻璃基板。后板垂直地配置在承载部上，而顶板与后板垂直连接并位于承载部的上方，顶板具有相互连接的三端。三遮布以可卷回的方式配置在三端下，三遮布可被拉下与承载部扣接，使得展开的三遮布、承载部、后板和顶板形成一封闭结构，以包围基板箱，从而维持玻璃基板的洁净度，并避免玻璃基板受到污染。

Description

人工搬运车

技术领域

本发明涉及一种人工搬运车(MGV)，特别是涉及一种能够在任何洁净度的环境下使用，以便搬运具有玻璃基板的基板箱(cassette)、并可维持所载送的玻璃基板的洁净度的人工搬运车。

背景技术

液晶显示器(LCD)因具有低幅射性以及体积轻薄短小的优点，所以使用上日渐广泛。而薄膜晶体管(TFT)的液晶显示器因为其高亮度与大视角的特性，在高阶电子产品上更是广受欢迎。TFT LCD的构成材料至少包括玻璃基板、彩色滤光片、液晶、偏光板、背光模块和驱动集成电路(IC)。

由于LCD制造过程相当讲究环境的洁净度，所以LCD制造过程是在无尘室中进行，且LCD制造过程的每一个地点所需要的洁净度要求均不同。其中，所谓的洁净度是指环境中单位体积空气所含大于或等于某一粒径大小的悬浮粒子的计量标准，而空气所含的悬浮粒子的大小越小，则其洁净度越高，且洁净度指数越低。例如，洁净度指数为100的空气比洁净度指数为1000的空气更洁净，而洁净度指数为1的空气比洁净度指数为100的空气更洁净。

在无尘室中，多个具有高洁净度的玻璃基板通常被放置在一具有上开口的基板箱中。这些基板箱收藏在可维持玻璃基板的洁净度的基板储藏柜中，以待运送至指定制造机台上进行处理。

一般用来搬运基板箱的工具可区分为自动搬运车(AGV)和人工搬运车。其中，自动搬运车可在搬运其基板箱的过程中维持玻璃基板的洁净度。至于人工搬运车的结构，以附图说明如下。

参照图1A和图1B，其中，图1A为传统的已载有基板箱114的人工搬运车100的侧视图，而图1B是图1A中未载有基板箱114的人工搬运车100的左侧视图。在图1A和图1B中，人工搬运车100包括滑动部102、定位部104、支撑部106、升降部107、承载部108、扶杆110、转盘112和把手113。其中，滑动部102是用以将人工搬运车100移动于地面上，而支撑部106垂直地配置在滑动部102上，且滑动部102位于支撑部106的第一直立侧面106a上。此外，定位部104配置在支撑部106的第二直立侧面106b上，并与滑动部102相对，以便使操作人员将人工搬运车100固定不动。

升降部107以可活动的方式配置在第一直立侧面106a上，而转盘112配置在支撑部106的顶端附近并位于第二直立侧面106b上，操作人员转动转盘112以控制升降部107沿着图1A的箭头150所示的、平行于第一直立侧面106a的方向上升或下降。另外，承载部108以可活动的方式配置在升降部107上，用以放置基板箱114。扶杆110配置在承载部108上并靠近第一直立侧面106a，而扶杆110用以供操作人员施力，使得承载部108可以沿着图1A的箭头160所示的、垂直于第一直立侧面106a的方向来回移动在升降部107上。所以，升降部107的升降和承载部108的移动可利于操作人员取出基板储藏柜中的基板箱114，或将基板箱114放置回基板储藏柜中。此外，把手113配置在支撑部106的顶端附近，并位于第二直立侧面106b上，作为操作人员移动人工搬运车100时的施力处。

由于基板箱114具有一上开口以及承载部108上是开放空间，使得基板箱114内的玻璃基板外露，并与外界空气接触。当载有基板箱114的人工搬运车100由操作人员推动于不同洁净度的环境时，容易导致玻璃基板受到外界的污染，进而影响玻璃基板的洁净度和品质。因此，经由人工搬运车100所搬运的玻璃基板通常不能适于在高洁净度环境下操作，如化学气相沉积(CVD)制造过程和物理气相沉积(PVD)制造过程，限制了人工搬运车100的使用范围。另外，当自动搬运车或基板储藏柜发生故障时，基于维持玻璃基板的洁净度的前提下，操作人员也不能使用人工搬运车100来搬运基板箱114，导致生产线发生延迟现象，大大影响LCD的制造过程。

发明内容

鉴于此，本发明的目的是提供一种人工搬运车，其可以在任何洁净度的环境下使用来运送基板箱，并且维持所载送的基板箱内的玻璃基板的洁净度。另外，本发明的人工搬运车还可在自动搬运车或基板储藏柜有问题时提供适当的支持，以便将玻璃基板运送到高洁净度的制造工位，摆脱传统的人工搬运车的使用范围的限制。

根据本发明的目的，提出一种人工搬运车，其至少包括承载部、后板、顶板和三遮布。承载部用以置放一基板箱，基板箱内具有至少一玻璃基板。后板垂直地配置在承载部上，而顶板与后板垂直连接并位于承载部的上方，顶板具有相互连接的三端。三遮布以可卷回的方式配置在三端下，而三遮布可被拉下与承载部扣接，使得展开的三遮布、承载部、后板和顶板包围基板箱。

根据本发明的再一目的，提出一种人工搬运车，用以载送一基板箱，基板箱具有至少一玻璃基板。人工搬运车至少包括滑动部、支撑部、升降部、承载部、后板、顶板、三遮布和高效能微粒空气过滤器。滑动部使人工搬运车在地面上移动，而支撑部垂直地配置在滑动部上。升降部可沿着平行于支撑部的直立侧面的方向以升降的方式配置在直立侧面上，并位于滑动部的上方。承载部可沿着垂直于直立侧面的方向以移动的方式配置在升降部上，用以置放基板箱。后板垂直地配置在承载部上并靠近直立侧面，顶板与后板垂直连接并位于承载部的上方，且顶板具有相互连接的三端。三遮布以可卷回的方式配置在三端下，而三遮布可被拉下与承载部扣接，使得展开的三遮布、承载部、后板和顶板包围基板箱。高效能微粒空气过滤器配置在顶板中，将外界空气吸入于展开的三遮布、承载部、后板和顶板所形成的封闭结构中，并加以过滤。

附图说明

图1A表示传统的已载有基板箱的人工搬运车的侧视图；

图1B表示图1A的未载有基板箱的人工搬运车的左侧视图；

图2A表示依照本发明的较佳实施例的已载有基板箱的人工搬运车的侧视图；

图2B表示图2A的未载有基板箱的人工搬运车的左侧视图；

图3A表示图2A的三遮布被拉下扣住时，人工搬运车的部分前视图；

图3B表示图2A的三遮布被拉下扣住时，人工搬运车的部分左侧视图；

图3C表示图2A的三遮布被拉下扣住时，人工搬运车的部分后视图。

具体实施方式

为使本发明的上述目的、特征、和优点能更明显易懂，下文特举一较佳实施例，并结合附图作详细说明如下。

本发明提供一能在任何洁净度的环境下使用的人工搬运车(MGA)，其可保护所载送的基板箱内的玻璃基板免于外露而受到外界污染，并维持玻璃基板的洁净度。

参照图2A和图2B，其中，图2A表示依照本发明的较佳实施例的已载有基板箱214的人工搬运车200的侧视图，而图2B表示图2A的来置有基板箱214的人工搬运车200的左侧视图。在图2A和图2B中，人工搬运车200至少包括滑动部202、定位部204、支撑部206、升降部207、承载部208、扶杆210、转盘212、把手213、后板222、顶板224、遮布226a、228a和230a、高效能微粒空气(HEPA)过滤器232以及电池234。

其中，滑动部202用以使人工搬运车200移动在地面上，支撑部206垂直地配置在滑动部202上，且滑动部202位于支撑部206的第一直立侧面206a上。此外，定位部204配置在支撑部206的第二直立侧面206b上，并与滑动部202相对，用以使操作人员将人工搬运车200固定不动。

升降部207以可活动的方式配置在第一直立侧面206a上，且转盘212配置在支撑部206的顶端附近，并位于第二直立侧面206b上。当操作人员转动转盘212时，操作人员即可控制升降部207沿着图2A的箭头250所示的、平行于第一直立侧面206a的方向上升或下降。另外，承载部208以可活动的方式配置在升降部207上，用以放置基板箱214，且扶杆210配置在承载部208上并靠近第一直立侧面206a。当操作人员施力于扶杆210时，操作人员即可控制承载部208沿着图2A的箭头260所示的、垂直于第一直立侧面206a的方向来回移动于升降部207上。此外，把手213配置在支撑部206的顶端附近，并位于第二直立侧面206b上，用以作为操作人员移动人工搬运车200时的施力处。

后板222垂直地配置在承载部208上，并靠近扶杆210和第一直立侧面206a，使得扶杆210位于后板222和第一直立侧面206a之间。其中，后板222的下缘两端可具有软性塑料板242a和242b，使得人工搬运车200在取放基板箱214时具有足够的空间。并缓冲基板箱214由基板储藏柜进入承载部208时所产生的力，达到防震的效果。顶板224与后板222垂直连接，且顶板224位于承载部208的上方，使得后板222和顶板224如一倒立的“L”字型结构。甚至后板222和顶板224可以是一体成型的结构。顶板224具有相互连接的三端，如第一端224a、第二端224b和第三端224c，而遮布226a、228a和230a以可自动卷回的方式分别配置在顶板第一端224a、第二端224b和第三端224c下。例如，本发明可以在第一端224a、第二端224b和第三端224c下分别配置遮布滚动条部226b、228b和230b，分别作为遮布226a、228a和230a自动卷回的收藏处。

当遮布226a、228a和230a被拉下时，展开的遮布226a、228a和230a的一端与承载部208的边缘或底面扣接。且展开的遮布226a、228a、230a、后板222、顶板224和承载部208形成一封闭结构，以包围基板箱214，如图3A、图3B、图3C所示，使得基板箱214可以与外界隔绝，从而达到保护玻璃基板洁净度的功效。其中，图3A、图3B和图3C分别表示图2A的遮布226a、228a和230a被拉下扣住时的人工搬运车200的部分前视图、左侧视图和后视图。

再参考图2A～2B，高效能微粒空气过滤器232配置在顶板224中，将外界空气由上而下吸入在展开的遮布226a、228a、230a、后板222、顶板224和承载部208所形成的封闭结构内，并加以过滤所吸入的空气。达到维持封闭结构内的洁净度，避免产生玻璃基板被污染的现象。其中，电池234配置在定位部204上并与高效能微粒空气过滤器232电连接，给高效能微粒空气过滤器232提供电力。此外，电池234刚好可以与后板222、顶板224、高效能微粒空气过滤器232、遮布226a、228a和230a达到重力平衡，维持人工搬运车200的车身稳定性。

再参考图3A～3C，软性塑料板242a和242b各具有数个通孔240，有利于展开的遮布226a、228a、230a、后板222、顶板224和承载部208所形成的封闭结构内的空气流通和悬浮粒子的排出，并维持封闭结构内的洁净度。需要注意的是，展开的遮布226a、228a、230a的下缘各具有数个通孔240，如图3A～3C所示，通孔240使高效能微粒空气过滤器232所吸入的空气，排出于展开的遮布226a、228a、230a、后板222、顶板224和承载部208所形成的封闭结构外。例如，遮布226a具有102个孔径大小为20公厘(mm)的通孔240，而遮而228a和230a具有120个孔径大小为20公厘的通孔240，软性塑料板242a和242b各具有36个孔径大小为20公厘的通孔240。

这样，操作人员可以在任何洁净度的环境下，推动载有基板箱214的人工搬运车200基板箱214内的玻璃基板，从而不会受到外界的污染。所以，经由本发明的人工搬运车200所搬运的玻璃基板，可以适用于高洁净度环境下所操作的制造过程，如化学气相沉积(CVD)制造过程和物理气相沉积(PVD)制造过程，摆脱传统的人工搬运车100只能使用在某些特定洁净度环境中的限制。

然而本领域的技术人员也可以了解本发明的技术并不局限于此。例如，遮布226a、228a和230a可由透明材质或塑料材质构成，如是透明材质所构成的遮布，将可以使操作人员感受操作上并无视野的阻碍。后板222可由压克力板构成，甚至后板222可以是黄色压力板。其中，人工搬运车200可具有一风量传感器，其配置在操作人员可目视观测的地方，并与高效能微粒空气过滤器232电连接，用以显示高效能微粒空气过滤器232的风量大小。当高效能微粒空气过滤器232的风量过小时，表示电池234的电力不足。这时，风量传感器将发出警告信息，提醒操作人员必须更换电池234或充电。甚至本发明也可在顶板224上再加装几个HEPA过滤器，以加强空气的过滤效果。当然，本发明也可以在后板222中加装骨架结构，以强化后板222的结构。

本发明上述实施例所揭露的人工搬运车，具有下列优点：

1.其展开的三遮布、后板、顶板和承载部所形成的封闭结构，使得人工搬运车能够在任何洁净度的环境下使用，以维持所载送的基板箱内的玻璃基板的洁净度。

2.其在顶板配置高效能微粒空气过滤器，使得玻璃基板所在环境的洁净度增加。

3.可在自动搬运车或基板储藏柜发生问题时提供适当的支持，避免产生上一个制造过程的基板箱不能送至下一个制造过程的现象，以及机台停滞的问题，保持生产线的畅通。

4.在自动搬运车太忙碌时给予适当的支持，并达到产品流畅的效果。

综上所述，虽然本发明已以一较佳实施例揭示，但其并非用以限定本发明，任何本领域的技术人员在不脱离本发明的实质和范围，可作出各种更动与变型，因此，本发明的保护范围以后附的权利要求所界定。

Claims

1.一种人工搬运车，至少包括：

一承载部，用以置放一基板箱，该基板箱具有至少一玻璃基板；

一后板，垂直地配置在承载部上；

一顶板，与后板垂直连接并位于承载部的上方，顶板具有相互连接的三端；以及

三遮布，以可卷回的方式配置在三端下，而三遮布可被拉下与承载部扣接，使得展开的三遮布、承载部、后板和顶板包围基板箱。

2.如权利要求1所述的人工搬运车，其中人工搬运车还包括：

一滑动部，用以将人工搬运车移动在地面上；

一支撑部，垂直地配置在滑动部上，支撑部具有一直立侧面；以及

一升降部，沿着平行于直立侧面的方向以升降的方式配置在直立侧面上，并位于滑动部的上方，其中，升降部上配置有可沿着垂直于直立侧面的方向而移动的承载部，且后板靠近直立侧面。

3.如权利要求2所述的人工搬运车，其中人工搬运车还包括：

一转盘，配置在支撑部的另一直立侧面上，用以供一操作人员转动以便控制升降部的上升或下降；以及

一扶杆，配置在承载部上，并位于后板和直立侧面之间，操作人员施力在扶杆上并控制承载部的移动。

4.如权利要求3所述的人工搬运车，其中人工搬运车还包括：

一定位部，配置在另一直立侧面上，用以供操作人员将人工搬运车固定不动。

5.如权利要求4所述的人工搬运车，其中人工搬运车还包括：一高效能微粒空气过滤器，配置在顶板中，将外界空气吸入于展开的三遮布、承载部、后板和顶板所形成的封闭结构中，并加以过滤。

6.如权利要求5所述的人工搬运车，其中人工搬运车还包括：

一电池，配置在定位部上并与高效能微粒空气过滤器电连接，电池给高效能微粒空气过滤器提供电力。

7.如权利要求6所述的人工搬运车，其中人工搬运车还包括：

一风量传感器，与高效能微粒空气过滤器电连接，显示高效能微粒空气过滤器的风量大小。

8.如权利要求1所述的人工搬运车，其中三遮布由透明材料构成。

9.如权利要求1所述的人工搬运车，其中后板是一压克力板。

10.如权利要求1所述的人工搬运车，其中三遮布具有数个通孔。

11.如权利要求1所述的人工搬运车，其中后板的下缘具有两软性塑料板，两软性塑料板具有数个通孔。

12.如权利要求1所述的人工搬运车，其中人工搬运车还包括：三遮布滚动条部，配置在三端下，作为三遮布被卷回时的收藏处。

13.一种人工搬运车，用以载送一基板箱，该基板箱具有至少一玻璃基板，该人工搬运车至少包括：

一滑动部，其使人工搬运车在地面上移动；

一支撑部，垂直地配置在滑动部上，支撑部具有一直立侧面；

一升降部，沿着平行于直立侧面的方向以升降的方式配置在直立侧面上，并位于滑动部的上方；

一承载部，沿着垂直于直立侧面的方向以移动的方式配置在升降部上，用以置放基板箱；

一后板，垂直地配置在承载部上并靠近直立侧面；

一顶板，与后板垂直连接并位于承载部的上方，该顶板具有相互连接的三端；

三遮布，以可卷回的方式配置在三端下，三遮布可被拉下与承载部扣接，使得展开的三遮布、承载部、后板和顶板包围基板箱；以及

一高效能微粒空气过滤器，配置在顶板中，将外界空气吸入于展开的三遮布、承载部、后板和顶板所形成的封闭结构中，并加以过滤。

14.如权利要求13所述的人工搬运车，其中三遮布由透明材料构成。

15.如权利要求13所述的人工搬运车，其中后板是一压克力板。

16.如权利要求13所述的人工搬运车，其中三遮布具有数个通孔。

17.如权利要求13所述的人工搬运车，其中后板的下缘具有两软性塑料板，且该两软性塑料板具有数个通孔。