CN120981769A - 感光性元件、抗蚀剂图案的形成方法及印刷线路板的制造方法 - Google Patents
感光性元件、抗蚀剂图案的形成方法及印刷线路板的制造方法Info
- Publication number
- CN120981769A CN120981769A CN202380096538.4A CN202380096538A CN120981769A CN 120981769 A CN120981769 A CN 120981769A CN 202380096538 A CN202380096538 A CN 202380096538A CN 120981769 A CN120981769 A CN 120981769A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- mass
- photosensitive
- photosensitive layer
- adhesive polymer
- meth
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/027—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
- G03F7/032—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with binders
- G03F7/033—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with binders the binders being polymers obtained by reactions only involving carbon-to-carbon unsaturated bonds, e.g. vinyl polymers
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/038—Macromolecular compounds which are rendered insoluble or differentially wettable
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials For Photolithography (AREA)
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PCT/JP2023/039303 WO2025094282A1 (ja) | 2023-10-31 | 2023-10-31 | 感光性エレメント、レジストパターンの形成方法、及びプリント配線板の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN120981769A true CN120981769A (zh) | 2025-11-18 |
Family
ID=95582518
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202380096538.4A Pending CN120981769A (zh) | 2023-10-31 | 2023-10-31 | 感光性元件、抗蚀剂图案的形成方法及印刷线路板的制造方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP4675350A1 (https=) |
| JP (1) | JPWO2025094282A1 (https=) |
| KR (1) | KR20260011754A (https=) |
| CN (1) | CN120981769A (https=) |
| WO (1) | WO2025094282A1 (https=) |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013195712A (ja) | 2012-03-19 | 2013-09-30 | Hitachi Chemical Co Ltd | 感光性樹脂組成物、感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法 |
| JP5904890B2 (ja) * | 2012-07-02 | 2016-04-20 | 富士フイルム株式会社 | 感光性転写材料、硬化膜の製造方法、有機el表示装置の製造方法、液晶表示装置の製造方法および静電容量型入力装置の製造方法 |
| WO2021221025A1 (ja) * | 2020-04-30 | 2021-11-04 | 富士フイルム株式会社 | 構造体の製造方法、及び、構造体 |
| JP7743301B2 (ja) * | 2021-12-27 | 2025-09-24 | 富士フイルム株式会社 | 蒸着マスク製造用感光性転写材料、及び、蒸着マスクの製造方法 |
| JP2023097347A (ja) * | 2021-12-27 | 2023-07-07 | 富士フイルム株式会社 | 蒸着マスクの製造方法 |
-
2023
- 2023-10-31 WO PCT/JP2023/039303 patent/WO2025094282A1/ja active Pending
- 2023-10-31 CN CN202380096538.4A patent/CN120981769A/zh active Pending
- 2023-10-31 EP EP23957610.1A patent/EP4675350A1/en active Pending
- 2023-10-31 JP JP2025554397A patent/JPWO2025094282A1/ja active Pending
- 2023-10-31 KR KR1020257041999A patent/KR20260011754A/ko active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPWO2025094282A1 (https=) | 2025-05-08 |
| WO2025094282A1 (ja) | 2025-05-08 |
| EP4675350A1 (en) | 2026-01-07 |
| KR20260011754A (ko) | 2026-01-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6432511B2 (ja) | 投影露光用感光性樹脂組成物、感光性エレメント、レジストパターンの形成方法、プリント配線板の製造方法及びリードフレームの製造方法 | |
| JP7793291B2 (ja) | 感光性樹脂組成物、感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法 | |
| JP7593405B2 (ja) | 感光性樹脂組成物、感光性エレメント、レジストパターンの形成方法、及びプリント配線板の製造方法 | |
| CN112204464B (zh) | 感光性元件、阻挡层形成用树脂组合物、抗蚀剂图案的形成方法及印刷线路板的制造方法 | |
| JP2025134814A (ja) | 感光性組成物、感光性エレメント、及び配線基板の製造方法 | |
| JP2017191171A (ja) | 感光性樹脂組成物、感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法 | |
| WO2023238299A1 (ja) | アルカリ可溶性樹脂、感光性樹脂組成物、感光性エレメント、レジストパターンの形成方法、及びプリント配線板の製造方法 | |
| CN120981769A (zh) | 感光性元件、抗蚀剂图案的形成方法及印刷线路板的制造方法 | |
| JP7816574B2 (ja) | 感光性樹脂組成物、感光性エレメント、及び配線基板の製造方法 | |
| WO2024135574A1 (ja) | 感光性樹脂組成物、感光性エレメント、レジストパターンの形成方法、及びプリント配線板の製造方法 | |
| WO2024134889A1 (ja) | 感光性樹脂組成物、感光性エレメント、レジストパターンの形成方法、及びプリント配線板の製造方法 | |
| WO2025074828A1 (ja) | 感光性樹脂組成物、感光性エレメント、レジストパターンの形成方法、及びプリント配線板の製造方法 | |
| WO2025126273A1 (ja) | 感光性樹脂組成物、感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法 | |
| WO2026022983A1 (ja) | 感光性エレメント、レジストパターンの形成方法、及びプリント配線板の製造方法 | |
| TW202530869A (zh) | 感光性樹脂組成物、感光性元件、抗蝕劑圖案的形成方法及印刷配線板的製造方法 | |
| WO2025115820A1 (ja) | 感光性樹脂組成物、感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法 | |
| WO2024142486A1 (ja) | 感光性エレメント及び配線基板の製造方法 | |
| WO2025220085A1 (ja) | 感光性エレメント、レジストパターンの形成方法、及び配線基板の製造方法 | |
| TW202604864A (zh) | 感光性元件、阻劑圖案的形成方法及印刷電路板的製造方法 | |
| WO2026042140A1 (ja) | 感光性エレメント、レジストパターンの形成方法、及びプリント配線板の製造方法 | |
| WO2024195502A1 (ja) | 感光性樹脂組成物、感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及び配線基板の製造方法 | |
| TW202611093A (zh) | 感光性元件、抗蝕劑圖案的形成方法及印刷電路板的製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination |