CN1207797C - 压电元件及其制造方法 - Google Patents

压电元件及其制造方法 Download PDF

Info

Publication number
CN1207797C
CN1207797C CNB991233484A CN99123348A CN1207797C CN 1207797 C CN1207797 C CN 1207797C CN B991233484 A CNB991233484 A CN B991233484A CN 99123348 A CN99123348 A CN 99123348A CN 1207797 C CN1207797 C CN 1207797C
Authority
CN
China
Prior art keywords
elastomeric material
piezoelectric
piezoelectric element
unhardened
piezoelectric unit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
CNB991233484A
Other languages
English (en)
Other versions
CN1251471A (zh
Inventor
森田晃司
杉森捋宣
大代宗幸
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Publication of CN1251471A publication Critical patent/CN1251471A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN1207797C publication Critical patent/CN1207797C/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/05Holders; Supports
    • H03H9/09Elastic or damping supports
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H3/00Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
    • H03H3/007Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
    • H03H3/02Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks
    • H03H3/04Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks for obtaining desired frequency or temperature coefficient
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/88Mounts; Supports; Enclosures; Casings
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/42Piezoelectric device making
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/49Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002Electrical device making
    • Y10T29/49117Conductor or circuit manufacturing
    • Y10T29/49124On flat or curved insulated base, e.g., printed circuit, etc.
    • Y10T29/4913Assembling to base an electrical component, e.g., capacitor, etc.
    • Y10T29/49146Assembling to base an electrical component, e.g., capacitor, etc. with encapsulating, e.g., potting, etc.
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/49Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002Electrical device making
    • Y10T29/49117Conductor or circuit manufacturing
    • Y10T29/49169Assembling electrical component directly to terminal or elongated conductor
    • Y10T29/49171Assembling electrical component directly to terminal or elongated conductor with encapsulating

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

本发明提供了一种压电元件,包含大致上为矩形的压电单元,覆盖压电单元的至少一对端部的第一弹性材料,其中这对端部包含压电单元的边缘部分,覆盖整个压电单元和第一弹性材料的第二弹性材料,以及覆盖由第二弹性材料覆盖的压电单元整个边界的外部包层树脂。

Description

压电元件及其制造方法
技术领域
本发明涉及一种压电元件,以及制造这种压电元件的方法。在压电元件中,压电单元的边界由弹性材料覆盖,弹性材料的外围和压电元件由外部包层树脂覆盖。
背景技术
第1-228310号日本未审查专利公告描述了一种压电元件,其中具有连接到引线端子的端部电极的压电单元的边界由诸如硅橡胶种类的弹性材料覆盖,并且其外围由外部包层树脂密封。
为了制造这样的压电元件,首先,将引线端子安装到压电单元。然后,通过将压电元件浸泡到液体状态的硅橡胶中,并通过加热硬化橡胶层而将硅橡胶层包在压电单元上。另外,将环氧树脂层通过浸泡法设置到硅橡胶的外部。然后通过加热,硬化环氧树脂,以得到外部包层树脂。
当用于形成外部包层树脂层的环氧树脂通过加热硬化时,它收缩,由此产生由外部包层树脂引起的应力,它收缩并压缩压电元件的内部。如果压电元件中收缩和压缩压电单元的应力的大小改变,则其振荡特性改变。使用硅橡胶,因为它能够防止压电单元的振荡特性的变化,并具有阻尼效应,该效应抑制压电单元的波形变形。
为了减小压电单元中由外部包层树脂所产生的应力,较好的做法是使压电单元的边缘部分与外部包层树脂之间的差,即硅橡胶的最小厚度大于外部包层树脂硬化时的收缩量,另外,还大于外部包层树脂和压电单元的热膨胀量之间的差。
但是,由于硅橡胶的表面张力,用于形成流体状态硅橡胶的浸泡法对于得到所需的压电元件端部处的硅橡胶所需的厚度是不令人满意的。因此压电元件的温度特性由压电元件中外部包层树脂产生的应力而大大改变。
发明内容
为了克服上述的问题,本发明提供了一种压电元件以及制造这种压电元件的方法,该压电元件大大减小了压电单元中由外部包层树脂而产生的应力,同时保持了阻尼压电单元的功能。
本发明的一个较佳实施例提供了一种压电元件,包含大体上矩形的压电单元;第一弹性材料,覆盖压电单元的至少一对端部,所述端部包括压电单元的边缘部分;第二弹性材料,覆盖整个压电单元和第一弹性材料;和外部包层树脂,覆盖压电元件由第二弹性材料覆盖的整个边界。
在上述压电元件中,压电单元的端部(此处很难得到足够厚度的弹性材料)由第一弹性材料覆盖。另外,第一弹性材料的边界由第二弹性材料覆盖。即,将两种弹性材料设置在压电单元的边缘部分,该部分处压电单元非常容易受由外部包层树脂给出的收缩应力的影响。因此,由于具有足够厚度的第一和第二弹性材料吸收应力的任何变化,所以即使当由外部包层树脂给出的收缩应力根据温度变化而改变时,也可以防止由温度变化引起的振荡特性的变化。另外,通过第二弹性材料保持阻尼效应,由此防止发生波形变形或其它有害的效应。
按照各自所需的特性确定第一和第二弹性材料的弹性模量和硬度。在第二弹性材料的情况下,例如最好设置硬度为28“肖氏硬底A”。
本发明的另一个较佳实施例提供了制造压电元件的方法,包含步骤:在压电单元的至少一对端部上部分地形成未硬化的第一弹性材料,这对端部包含压电单元的边缘部分,然后硬化第一弹性材料,在压电单元的整个外围和第一弹性材料上形成未硬化的第二弹性材料,然后硬化第二弹性材料,并在覆盖压电单元的第二弹性材料的整个外围上以及第一弹性材料上形成未硬化外部包层树脂,然后硬化外部包层树脂。
通过上述方法,可以容易地制造根据本发明的较佳实施例的压电元件。
为了形成未硬化的第一和第二弹性材料,不仅可以使用浸泡法,还可以使用烙铁、调和器或其它适当的方法。类似地,可以使用浸泡法或其它方法形成未硬化外部包层树脂。
虽然第一弹性材料和第二弹性材料可以相同,最好使第一弹性材料的触变指数大于第二弹性材料的触变指数。触变性质是液体的一种特性,它被定义为粘度根据切向应力非线性变化的性质。如果弹性材料的触度指数大,则在压电单元上形成弹性材料时,易实现弹性材料的足够厚度。由此,如果使未硬化的第一弹性材料的触变指数大于未硬化的第二弹性材料触变指数,则可以在压电单元的两个边缘部分得到足够的薄膜厚度。另一方面,即使当第二弹性材料的触变指数小,由于容易使用第二弹性材料覆盖压电单元的中心部分,并且这种结构几乎不受热的影响,故也不会有问题。
较好地,第一和第二弹性材料的触变指数最好大于大约1.7。如果触变指数等于或小于1.7,则压电元件的端部难以达到足够厚度的弹性材料,这是因为弹性材料的表面张力导致的。
从下面参照附图对本发明的描述,本发明的其它特点和优点将是显然的。
附图说明
图1是根据本发明的压电元件的较佳实施例的纵向截面图。
图2是以沿图1中的线II-II的截面图。
图3是图1所示的压电单元的正视图,其中安装有引线端子。
图4是图1所示的压电元件的后视图,其中安装有引线端子。
图5是压电元件的正视图,它具有图3所示的引线端子,其中还在压电单元的边缘部分设置有第一弹性材料。
图6是压电单元的正视图,它具引线端子和图5所示的第一弹性材料,其中在压电单元的整个表面上以及第一弹性材料上设置第二弹性材料。
图7是示出触变指数和压电单元边缘处弹性材料的厚度之间的关系的曲线图。
具体实施方式
图1到6示出了三端型压电陷波元件,它是根据本发明的压电元件的较佳实施例。这种压电陷波元件最好包括大致上为矩形的压电陶瓷基片1,该基片1具有一对大致上为矩形的主表面。基片1沿其主表面的纵向极化。如图3和4所示,将分开的电极2和3设置在压电陶瓷基片1的第一主表面的两个端部。将接地电极4设置在压电陶瓷基片1的第二主表面的大致的中心部分。分开的电极2和3与接地电极4部分相互重叠,压电陶瓷基片1设置在它们之间。在相对的部分产生厚度切向振动。本发明的较佳实施例的压电单元最好由设置有上述电极2-4的压电陶瓷基片1构成。引线端子5和6通过焊接或其它适当的结合处理或构件,分别固定和连接到分开的电极2和3。引线端子7固定和连接到接地电极4。引线端子5-7最好由板状或线状金属材料确定。
压电陶瓷基片1的边缘部分分别由硅橡胶层10和11覆盖,它确定了第一弹性材料。硅橡胶10和11在未硬化状态下的触变指数最好大于大约1.7,以达到压电陶瓷基片1的边缘部分有足够厚度的第一弹性材料。
具有硅橡胶层10和11的压电陶瓷基片1的整个边界最好用硅橡胶12覆盖,该硅橡胶12确定了第二弹性材料。
由于这种硅橡胶12覆盖了压电单元的振动部分,故除了在未硬化状态下的触变性质外,还需要考虑到压电特性来选择一种材料特性。在这个较佳实施例中,虽然第二硅橡胶12的触变指数最好小于硅橡胶层10和11的触变指数,但它最好大于大约1.7。另外,在压电陷波元件的情况下,为了防止压电特性被破坏,最好使第二硅橡胶12的硬度等于或小于大约28“肖氏硬度A”。
注意,这里使用的触变指数指在大约6rpm的粘度与在大约60rpm的粘度比,即,触变指数(Ti)=在大约6rpm的粘度/在大约60rpm的粘度。
具有硅橡胶12的压电陶瓷基片1的整个边界通过外部包层树脂13覆盖。为了确保电气绝缘、安装强度以及其它想要的特性,最好例如使用一种环氧树脂作为外部包层树脂13。
下面揭示上述压电陷波元件的制造方法的较佳实施例。首先,制备图3和4中所示的压电单元1。即,将引线端子5-7分别固定并连接到设置在压电陶瓷基片1的一对主表面上的电极2、3和4。接着,如图5所示,部分地设置处于流体状态,即未硬化状态下的第一硅橡胶10和11,从而压电元件1的端部,尤其是压电单元1的边缘部分被覆盖。更具体地说,将处于流体状态的硅橡胶10和11通过烙铁等设置在压电单元1的边缘部分,然后硬化硅橡胶层10和11。
下面,如图6所示,将处于流体状态的第二硅橡胶12设置在压电单元1的整个表面上,然后硬化第二硅橡胶12。这个处理最好通过将压电元件1浸泡到处于流体状态(即未硬化状态)的第二硅橡胶12中来实现。为了便于浸泡处理,可以用二甲苯或其它适当的材料或物质稀释第二硅橡胶12。
接着,将包含第二硅橡胶12的压电单元1浸泡到处于流体状态,即未硬化状态下的外部包层树脂13中。然后,通过加热硬化覆盖压电单元1的外部包层树脂13以及第二硅橡胶12。结果,得到图1和2所示的压电陷波元件。
为了得到稳定的压电特性,在压电单元1的边缘部分1a处的硅橡胶层10、11和12的总厚度最好大于外部包层树脂13的最大收缩量与压电单元1的最大收缩量之间的差。可以通过形成如上所述的硅橡胶层10、11和12,容易地得到较佳的厚度。
表1示出了处于流体状态下的硅橡胶的触变指数Ti与在压电单元边缘部分处的硅橡胶层的平均厚度之间的关系。
如从表1可见的,触变指数Ti最好大于大约1.7,以达到预定的厚度。如果触变指数Ti是大约1.7或更小,则硅橡胶不能设置在压电单元的边缘部分。
                         表1
  触变指数Ti 压电元件边缘部分处的硅橡胶的平均厚度
    3.1     54.1
    2.8     52.9
    2.5     50.8
    2.3     42.7
    2.1     29.5
    1.8     8.0
    1.7     0
图7是示出表1中所指出的关系的曲线图。
表2示出了在压电单元的边缘部分处的硅橡胶的厚度与压电陷波元件的Fo温度特性之间的关系。Fo温度特性是通过测量压电陷波元件在大约-20℃和大约+85℃的范围内的Fo温度,然后根据在大约+20百分度的Fo温度计算变化率而确定的。
如从结果可见,当在压电单元的边缘部分的硅橡胶的厚度大致上等于或大于大约5微米时,满足Fo温度的标准值,即±0.5%。如果使用触变指数大于大约1.7,并处于流体状态的硅橡胶,则在压电单元的边缘部分容易得到厚度大致上等于或大于大约5微米的硅橡胶层。
                                                 表2
  厚度(微米)                            在每一个温度上的Fo变化率(%)
  -20℃     0℃    +20℃     +40℃     +60℃     +85℃
    0     0.28     0.18     0.00     -0.24     -0.68     -0.79
    5     0.03     0.02     0.00     -0.05     -0.14     -0.16
    8     -0.05     -0.02     0.00     -0.04     -0.18     -0.20
    15     -0.08     -0.03     0.00     -0.03     -0.11     -0.12
本发明不限于上述较佳实施例。作为压电单元,本发明不限于压电陷波元件,而可以是压电滤波器,如第1-228310号日本未审查专利公告中所揭示的那种陶瓷鉴频器或其它适当的设备。
端子数可以是二或三。
可以使用相同的硅橡胶形成第一弹性材料和第二弹性材料。
作为提供第一弹性材料的方法,除了用烙铁或调和器滴液,还可以将压电元件的边缘部分浸泡到处于流体状态下的弹性材料中。另外,作为提供第二弹性材料的方法,除了浸泡方法外还可以使用其它的方法。
另外,如果硅橡胶以外的其它材料具有所需的特性,也可以将这种材料用于弹性材料。
虽然已经参照本发明的较佳实施例,具体示出了描述了本发明,熟悉本领域的人将知道,在不背离本发明的主旨的条件下,可以有上述和其它的形式和细节上的变化。

Claims (21)

1.一种压电元件,其特征在于包含:
压电单元;
第一弹性材料,覆盖压电单元的至少一对端部,所述端部包括压电单元的边缘部分;
第二弹性材料,覆盖整个压电单元以及第一弹性材料;和
外部包层树脂,覆盖压电单元由第二弹性材料覆盖的整个边界。
2.如权利要求1所述的压电元件,其特征在于压电元件大致上为矩形的形状。
3.如权利要求1所述的压电元件,其特征在于第一弹性材料处于未硬化状态的触变指数大于第二弹性材料处于未硬化状态的触变指数。
4.如权利要求1所述的压电元件,其特征在于第一弹性材料和第二弹性材料处于未硬化状态下的触变指数分别大于大约1.7。
5.如权利要求1所述的压电元件,其特征在于第一弹性材料和第二弹性材料是相同的。
6.如权利要求1所述的压电元件,其特征在于第一弹性材料和第二弹性材料是不同的。
7.如权利要求1所述的压电元件,其特征在于压电元件包含压电陷波元件。
8.如权利要求1所述的压电元件,其特征在于压电基片沿其主表面的纵向极化。
9.如权利要求1所述的压电元件,其特征在于还包含压电基片的第一主表面的两个端部上的分开的电极,以及设置在压电基片的第二主表面的大致中心部分的接地电极。
10.如权利要求1所述的压电元件,其特征在于压电基片沿厚度切向振动模式振动。
11.如权利要求1所述的压电元件,其特征在于第二硅橡胶的硬度等于或小于大约28肖氏硬度A。
12.如权利要求1所述的压电元件,其特征在于,所述第一弹性材料只覆盖所述压电元件的一对端部,而且其中
所述第一弹性材料和第二弹性材料的组合厚度,在该压电元件的所述一对端部比在该压电元件的中心部分大。
13.一种制造压电元件的方法,其特征在于包含步骤:
在压电单元的至少一对端部上形成未硬化的第一弹性材料,其中这对端部包含压电单元的边缘部分;
硬化第一弹性材料;
在压电单元的整个周边和第一弹性材料上形成未硬化的第二弹性材料;
硬化第二弹性材料;及
在覆盖压电单元的第二弹性材料的整个周边形成未硬化的外部包层树脂;
硬化外部包层树脂。
14.如权利要求13所述的方法,其特征在于未硬化的第一弹性材料的触变指数大于未硬化的第二弹性材料的触变指数。
15.如权利要求13所述的方法,其特征在于未硬化的第一弹性材料和未硬化的第二弹性材料的触变指数分别大于大约1.7。
16.如权利要求14所述的方法,其特征在于未硬化的第一弹性材料和未硬化的第二弹性材料的触变指数分别大于大约1.7。
17.如权利要求13所述的方法,其特征在于第一弹性材料和第二弹性材料中的至少一个是硅橡胶。
18.如权利要求13所述的方法,其特征在于形成第一弹性材料的步骤是通过由烙铁和调和器中的一个滴下第一弹性材料,以及将压电单元的边缘部分浸泡到处于流体状态的第一弹性材料中这两个步骤中的一个来实现的。
19.如权利要求13所述的方法,其特征在于形成第二弹性材料的步骤是通过将压电基片浸泡到处于流体状态的第二弹性材料中来实现的。
20.如权利要求13所述的方法,其特征在于通过将压电单元浸泡到处于流体状态下的外部包层树脂中实现了形成外部包层树脂的步骤。
21.如权利要求13所述的方法,其特征在于压电单元的边缘部分处第一和第二层的总厚度大于外部包层树脂的最大收缩量和压电元件的最大收缩量之间的差。
CNB991233484A 1998-10-20 1999-10-20 压电元件及其制造方法 Expired - Lifetime CN1207797C (zh)

Applications Claiming Priority (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP297684/1998 1998-10-20
JP29768498 1998-10-20
JP297684/98 1998-10-20
JP195237/1999 1999-07-09
JP195237/99 1999-07-09
JP19523799A JP3438655B2 (ja) 1998-10-20 1999-07-09 圧電部品およびその製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN1251471A CN1251471A (zh) 2000-04-26
CN1207797C true CN1207797C (zh) 2005-06-22

Family

ID=26509004

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNB991233484A Expired - Lifetime CN1207797C (zh) 1998-10-20 1999-10-20 压电元件及其制造方法

Country Status (3)

Country Link
US (2) US6344706B1 (zh)
JP (1) JP3438655B2 (zh)
CN (1) CN1207797C (zh)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3663120B2 (ja) * 2000-09-04 2005-06-22 株式会社日立製作所 自動車用エンジンコントロールユニットの実装構造及び実装方法
DE10133151B4 (de) * 2001-07-07 2004-07-29 Robert Bosch Gmbh Bauteil mit einem Gehäuse umgebenen Bauelement und Vorrichtung und Verfahren, die bei seiner Herstellung einsetzbar sind
CN1708734B (zh) * 2002-10-28 2010-09-01 Eta瑞士钟表制造股份有限公司 按钮控制装置以及包含该装置的便携式电子仪器
EP1416343A1 (fr) * 2002-10-28 2004-05-06 ETA SA Manufacture Horlogère Suisse Dispositif de commande pour poussoir, notamment de pièce d'horlogerie, et instrument électronique portable comprenant un tel dispositif
US7235916B2 (en) * 2004-06-03 2007-06-26 Zippy Technology Corp. Piezoelectric blades anchoring structure
US7259499B2 (en) * 2004-12-23 2007-08-21 Askew Andy R Piezoelectric bimorph actuator and method of manufacturing thereof
FI122012B (fi) * 2006-04-27 2011-07-15 Filtronic Comtek Oy Virityselin ja viritettävä resonaattori
US20100033268A1 (en) * 2007-02-13 2010-02-11 Daishinku Corporation Piezoelectric resonator device
US7974065B2 (en) * 2007-10-30 2011-07-05 Zippy Technology Corp. Electric arc isolation structure for transformers

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5933918A (ja) * 1982-08-18 1984-02-24 Murata Mfg Co Ltd 圧電振動部品の製造方法
JPS61199921A (ja) 1985-03-04 1986-09-04 Ube Nitto Kasei Kk 熱可塑性樹脂製螺施スペーサの冷却方法および装置
JPS62142408A (ja) 1985-12-17 1987-06-25 Murata Mfg Co Ltd 圧電振動部品
JPH01174278A (ja) * 1987-12-28 1989-07-10 Misuzu Erii:Kk インバータ
JPH0339921A (ja) 1988-10-15 1991-02-20 Asahi Optical Co Ltd カメラ用ズームレンズの制御方法およびズームレンズ鏡筒
JPH02309807A (ja) * 1989-05-25 1990-12-25 Murata Mfg Co Ltd 圧電共振子
JPH0392820A (ja) 1989-09-05 1991-04-18 Toshiba Corp 液晶表示装置
US5148077A (en) * 1990-09-28 1992-09-15 Caterpillar Inc. Coating surrounding a piezoelectric solid state motor stack
JPH05308237A (ja) 1992-04-30 1993-11-19 Meidensha Corp 水晶振動子の製造方法
JPH06339939A (ja) * 1993-05-31 1994-12-13 Murata Mfg Co Ltd 電子部品の製造方法
JP3261922B2 (ja) * 1994-07-26 2002-03-04 株式会社村田製作所 圧電共振部品の製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
US20020089263A1 (en) 2002-07-11
CN1251471A (zh) 2000-04-26
JP2000196401A (ja) 2000-07-14
JP3438655B2 (ja) 2003-08-18
US6957475B2 (en) 2005-10-25
US6344706B1 (en) 2002-02-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1207797C (zh) 压电元件及其制造方法
CN1110077C (zh) 半导体器件装配方法和由此方法制造的半导体器件
CN1190890C (zh) 压电谐振器及调整其谐振频率的方法
CN1085442C (zh) 压电谐振器、其制造方法和使用该压电谐振器的电子部件
CN1088200C (zh) 液晶显示器
CN1790567A (zh) 芯片型电子部件
CN1296337A (zh) 压电谐振元件频率的调节方法
CN1239394A (zh) 压电声学元件
CN1065692C (zh) 压电共振部件的制造方法
CN1174483C (zh) 倒装芯片型半导体装置及其制造方法
CN1264219A (zh) 表面声波装置及其制造方法
CN1257345A (zh) 压电谐振器及其制造方法
CN1147995C (zh) 压电元件
CN1065664C (zh) 能阱芯片型压电谐振组件
CN1151600C (zh) 压电部件
CN1157850C (zh) 压电谐振器
CN1103137C (zh) 压电谐振器和使用该压电谐振器的电子部件
CN1156966C (zh) 压电装置及其制造方法
CN1078772C (zh) 压电谐振器以及使用它的电子元件
CN1162966C (zh) 压电谐振器
CN1156964C (zh) 电子元件、压电谐振元件以及用于制造电子元件和压电谐振元件的方法
CN1236555C (zh) 一种压电谐振元件
CN1147940C (zh) 压电元件和包含它的电子部件
CN1130014C (zh) 压电谐振器、它的制造方法和调节其谐振频率的方法
CN1170324C (zh) 压电振动装置

Legal Events

Date Code Title Description
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C06 Publication
PB01 Publication
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CX01 Expiry of patent term
CX01 Expiry of patent term

Granted publication date: 20050622