CN1185767C - 用于泵浦固体激光器的大功率激光二极管列阵泵浦腔 - Google Patents

用于泵浦固体激光器的大功率激光二极管列阵泵浦腔 Download PDF

Info

Publication number
CN1185767C
CN1185767C CNB011368926A CN01136892A CN1185767C CN 1185767 C CN1185767 C CN 1185767C CN B011368926 A CNB011368926 A CN B011368926A CN 01136892 A CN01136892 A CN 01136892A CN 1185767 C CN1185767 C CN 1185767C
Authority
CN
China
Prior art keywords
laser diode
diode array
heat sink
arc
hole
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CNB011368926A
Other languages
English (en)
Other versions
CN1417906A (zh
Inventor
方高瞻
肖建伟
马骁宇
王晓薇
冯小明
刘斌
刘媛媛
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Institute of Semiconductors of CAS
Original Assignee
Institute of Semiconductors of CAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Institute of Semiconductors of CAS filed Critical Institute of Semiconductors of CAS
Priority to CNB011368926A priority Critical patent/CN1185767C/zh
Publication of CN1417906A publication Critical patent/CN1417906A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN1185767C publication Critical patent/CN1185767C/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Lasers (AREA)

Abstract

本发明一种用于泵浦固体激光器的大功率激光二极管列阵泵浦腔,其特征在于,其中包括:一热沉,该热沉为一矩形体,在热沉的中间开有一通孔;一绝缘圈置于热沉的通孔内;多个激光二极管列阵条与多个弧形电极围成一圈安装于绝缘圈的内表面,弧形电极构成了内表面为高反面的圆柱面,该圆柱面内为泵浦腔;在其中一段弧形过渡电极上接有正负电极,该正负电极引出至热沉之外;在热沉上通孔的周围开有制冷水道,该制冷水道用进出水导管与外界相通。

Description

用于泵浦固体激光器的大功率激光二极管列阵泵浦腔
技术领域
本发明涉及一种大功率激光二极管列阵泵浦固体激光器的泵浦腔,尤其适用于大功率激光二极管列阵侧向泵浦固体激光器。
背景技术
在大功率激光二极管列阵泵浦固体激光器中,例如808nm大功率激光二极管列阵泵浦固体激光器,如何使泵浦光被被泵浦晶体尽大可能的吸收是最关键的技术之一。因为激光二极管列阵的输出光的发散角很大(半峰值全宽度是40°×10°),这就可能发生泵浦光没有全部照射晶体,有一部分照射在晶体之外而不被晶体吸收;另外,晶体对泵浦光一次吸收不完全,没有被吸收的泵浦光被激光二极管热沉或其他元器件吸收。这些问题会直接导致泵浦效率降低,热损耗加大,要求有更大功率的制冷。
现在,在常见的大功率激光二极管列阵泵浦固体激光器中,激光二极管列阵的输出腔面离晶体很近,这样可以使发散角很大的泵浦光能全部照射晶体,但是,晶体的直径有限,为了散热,大功率激光二极管列阵的热沉尺寸又不能很小,这样晶体的周围不能安排很多激光二极管列阵而使泵浦光的功率密度上不去;另外一种作法是在激光二极管列阵前加光压缩透镜,使激光二极管列阵的输出光的发散角变小从而使泵浦光能全部照射晶体,但是这种方法使系统的成本上升,结构复杂,可靠性降低。为了解决泵浦光的二次吸收,通常的作法是正对激光二极管列阵,在晶体的另一面安置反射镜,这也会使系统的成本上升,结构复杂,可靠性降低。所以,在当前的大功率激光二极管列阵泵浦固体激光器中,元器件多,结构复杂,容差小,成本高,不利于工程化和批量生产。
本发明便是针对上述方法的缺点,提出了一种用于泵浦固体激光器的集成化的环形的大功率激光二极管列阵泵浦腔。
发明内容
本发明的目的在于,提供一种大功率激光二极管列阵泵浦腔,该泵浦腔具有集成化、模块化、结构简单可靠及成本低的优点。
本发明一种用于泵浦固体激光器的大功率激光二极管列阵泵浦腔,其特征在于,其中包括:一热沉,该热沉为一矩形体,在热沉的中间开有一通孔;一绝缘圈置于热沉的通孔内;多个激光二极管列阵条与多个弧形电极围成一圈安装于绝缘圈的内表面,弧形电极构成了内表面为高反面的圆柱面,该圆柱面内为泵浦腔;在其中一段弧形过渡电极上接有正负电极,该正负电极引出至热沉之外;在热沉上通孔的周围开有制冷水道,该制冷水道用进出水导管与外界相通。
其中弧形电极和激光二极管列阵条均为奇数且数量相等。
其中绝缘圈的外径与通孔的内径相同。
其中多个激光二极管列阵条与多个弧形电极围成一圈后,其外表面与绝缘圈的内表面的直径相同。
附图说明
为了进一步说明本发明的技术特征,以下结合附图来进一步说明,其中:
图1用于泵浦固体激光器的大功率激光二极管列阵泵浦腔的结构剖视图(以5条激光二极管列阵为例)。
具体实施方式
图1所示的激光二极管列阵泵浦腔包括:激光二极管列阵条1、热沉2、绝缘圈3、弧形过渡电极4、进出水导管5、正负电极6、制冷水道7构成。
其中包括:
一热沉2,该热沉是高导热、易加工的金属,该热沉2为一矩形体,在热沉2的中间开有一通孔21;
一绝缘圈3置于热沉2的通孔21内,该绝缘圈3的外径与通孔21的内径相同,该绝缘圈3是高导热的绝缘材料,外表面通过溅射、蒸发或电镀金属化;
多个激光二极管列阵条1与多个弧形电极4围成一圈安装于绝缘圈3的内表面,弧形电极4构成了内表面为高反面的圆柱面41,该圆柱面41内为泵浦腔42,该弧形电极4和激光二极管列阵条1均为奇数且数量相等,多个激光二极管列阵条1与多个弧形电极4围成一圈后,其外表面与绝缘圈3的内表面的直径相同,该弧形电极是高导热、易加工的金属,内表面溅射、蒸发或电镀一层金,形成高反面;
在其中一段弧形过渡电极4上接有正负电极6,该正负电极6引出至热沉2之外;
在热沉2上通孔21的周围开有制冷水道7,该制冷水道7用进出水导管5与外界相通。
上述构件通过导热胶和导电胶粘结,或通过焊料在高温下烧结而集成在一起。
上述的大功率激光二极管列阵泵浦腔为一个基本的模块,多个模块串联可实现更大的泵浦腔,用于更大功率的固体激光器的泵浦源。
本发明的工作过程为:
工作时,被泵浦的晶体安装在由弧形电极4和激光二极管列阵条1构成的泵浦腔42内;由进出水导管5对制冷水道7通水,对热沉2制冷;驱动电源通过正负电极6对多个激光二极管列阵条1进行驱动;激光二极管列阵条1发出的光照射被泵浦的晶体,且被吸收,没有被吸收的光通过对面的弧形过渡电极4的内表面反射,再次被晶体吸收;激光二极管列阵条1发出的光没有直接照射被泵浦晶体的部分,由弧形电极4构成的内表面为高反面的圆柱面41的一次或多次反射,最终能被晶体吸收。
采用本发明的泵浦腔泵浦固体激光器与现有技术相比,具有集成化优点,结构紧促可靠,安装简单,易于生产;无需加透镜和反射镜,结构简单,成本低;具有模块化优点,多级串联,易实现更大的固体激光输出。

Claims (4)

1、一种用于泵浦固体激光器的大功率激光二极管列阵泵浦腔,其特征在于,其中包括:
一热沉,该热沉为一矩形体,在热沉的中间开有一通孔;
一绝缘圈置于热沉的通孔内;
多个激光二极管列阵条与多个弧形电极围成一圈安装于绝缘圈的内表面,弧形电极构成了内表面为高反面的圆柱面,该圆柱面内为泵浦腔;
在其中一段弧形过渡电极上接有正负电极,该正负电极引出至热沉之外;
在热沉上通孔的周围开有制冷水道,该制冷水道用进出水导管与外界相通。
2、根据权利要求1所述的用于泵浦固体激光器的大功率激光二极管列阵泵浦腔,其特征在于,其中弧形电极和激光二极管列阵条均为奇数且数量相等。
3、根据权利要求1所述的用于泵浦固体激光器的大功率激光二极管列阵泵浦腔,其特征在于,其中绝缘圈的外径与通孔的内径相同。
4、根据权利要求1所述的用于泵浦固体激光器的大功率激光二极管列阵泵浦腔,其特征在于,其中多个激光二极管列阵条与多个弧形电极围成一圈后,其外表面与绝缘圈的内表面的直径相同。
CNB011368926A 2001-11-06 2001-11-06 用于泵浦固体激光器的大功率激光二极管列阵泵浦腔 Expired - Fee Related CN1185767C (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CNB011368926A CN1185767C (zh) 2001-11-06 2001-11-06 用于泵浦固体激光器的大功率激光二极管列阵泵浦腔

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CNB011368926A CN1185767C (zh) 2001-11-06 2001-11-06 用于泵浦固体激光器的大功率激光二极管列阵泵浦腔

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN1417906A CN1417906A (zh) 2003-05-14
CN1185767C true CN1185767C (zh) 2005-01-19

Family

ID=4673982

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNB011368926A Expired - Fee Related CN1185767C (zh) 2001-11-06 2001-11-06 用于泵浦固体激光器的大功率激光二极管列阵泵浦腔

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN1185767C (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10855043B2 (en) 2016-09-12 2020-12-01 Xiamen Chaoxuan Photoelectric Technology Co., Ltd. System and device with laser array illumination

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100392928C (zh) * 2004-04-05 2008-06-04 深圳市大族激光科技股份有限公司 大功率半导体激光侧面泵浦固体激光器的泵浦腔
CN101364705B (zh) * 2007-08-08 2010-08-18 中国科学院半导体研究所 一种二极管激光泵浦头
CN101964496B (zh) * 2010-09-27 2012-04-18 苏州光格设备有限公司 大功率激光二极管水平线阵泵浦固体激光腔
CN102263355B (zh) * 2011-06-22 2012-10-17 华北电力大学(保定) 气体或固体激光器散热装置
TWI605788B (zh) * 2016-10-26 2017-11-21 財團法人工業技術研究院 雷射裝置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10855043B2 (en) 2016-09-12 2020-12-01 Xiamen Chaoxuan Photoelectric Technology Co., Ltd. System and device with laser array illumination

Also Published As

Publication number Publication date
CN1417906A (zh) 2003-05-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105402616B (zh) 发光组件
CN1185767C (zh) 用于泵浦固体激光器的大功率激光二极管列阵泵浦腔
US10209005B2 (en) UV LED systems and methods
CN1696764A (zh) 用于高功率半导体激光列阵的光束整形装置
CN1608326A (zh) 发光二极管及其发光二极管灯
CN104836119A (zh) 光纤耦合激光器
EP1567894A2 (en) Illumination system using a plurality of light sources
CN102820610B (zh) 一种二极管泵浦激光增益模块及其制备方法
CN1359137A (zh) 超导热管灯
CN101043118A (zh) 一种液体导引泵浦光束的方法及装置
CN1564389A (zh) 激光二极管泵浦的固体激光器
CN1674372A (zh) 多边形大功率半导体激光器叠层阵列模块
CN1671016A (zh) 侧面泵浦薄片激光器及其制备方法
CN110137803A (zh) 一种激光器(vcsel)封装结构
CN100568643C (zh) 高功率激光二极管阵列结构
CN205122992U (zh) 一种双端光纤耦合输出的半导体激光器结构
CN2851833Y (zh) 射灯的改良结构
CN205122993U (zh) 一种双端光纤耦合输出的半导体激光器
CN200979137Y (zh) 新结构的高功率led射灯
CN1512600A (zh) 发光二极管灯
CN116365354A (zh) 一种方形半导体激光器叠阵系统及其装配方法
CN109945079B (zh) 一种用于激光植物灯的激光模组、制备方法及应用
CN2807566Y (zh) 多边形大功率半导体激光器叠层阵列模块
CN2899206Y (zh) 阵列微片激光器
CN204167680U (zh) 一种新型阵列式芯片封装结构

Legal Events

Date Code Title Description
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C19 Lapse of patent right due to non-payment of the annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee