CN118268945B - 一种晶圆减薄砂轮的减震机构 - Google Patents

Abstract

本发明涉及晶圆减薄领域，具体是涉及一种晶圆减薄砂轮的减震机构，包括砂轮本体，砂轮本体的非工作端固定设有一个轮罩，砂轮本体的中心同轴插设有一个转轴，轮罩上固定设有套设在转轴上的轴套，转轴的下半部沿着其轴线方向开设有卡槽，轴套的内圈具有滑动卡接于卡槽中的卡块，转轴的中部设有微量进给驱动器，轴套与微量进给驱动器连接，轮罩的四周分别设有一个震幅检测组件，微量进给驱动器上固定连接有供每个震幅检测组件安装的套壳，套壳上还设有用以与震幅检测组件配合对砂轮本体进行减震的动态平衡组件，本发明通过震幅检测组件与动态平衡组件之间的配合调整砂轮本体的平衡状态，提高了砂轮本体的稳定性，保证了晶圆表面减薄的均匀度。

Description

一种晶圆减薄砂轮的减震机构

技术领域

本发明涉及晶圆减薄领域，具体是涉及一种晶圆减薄砂轮的减震机构。

背景技术

半导体加工行业中，经切片后晶圆厚度较厚，达不到产品使用要求，通常需要对晶圆的背面进行减薄，通过减薄设备将晶圆减薄到一定厚度，传统研磨砂轮的工作可能会引入机械应力到晶圆中，在高速旋转过程中与晶圆接触产生震动，这些应力可能导致晶圆的弯曲或裂纹，影响晶圆的性能和可靠性。

目前公开的中国专利CN202211087948.6一种晶圆减薄用气浮主轴，包括安装罩、传动轴组件、设置于所述传动轴组件一端用于驱动传动轴组件旋转的驱动装置、设置于所述传动轴组件的另一端用于对晶圆片进行磨削减薄的研磨组件、用于对所述传动轴组件的旋转进行限位支撑的轴承座、驱动所述研磨组件振动的超声振动组件和设置于所述研磨组件与所述传动轴组件间用于将所述传动轴组件的转矩传递给所述研磨组件并防止所述研磨组件的振动传递到所述传动轴组件的隔震组件。

根据上述专利所述，该专利向所述轴承座上的进气孔中通入高压气体时，所述轴承座与所述传动轴组件形成气膜产生间隙，使得高速旋转的传动轴组件不与轴承座产生机械接触，减小传动轴组件与轴承座间的摩擦以提高传动轴组件的旋转精度，然而该专利针对于轴承座与传动轴组件之间摩擦力的问题，未能解决砂轮与晶圆接触不平衡的情况；

砂轮在旋转时，由于不平衡或装配不当等原因，可能会造成砂轮的径向振动，从而引起晶圆表面的振动和波纹形变，并且砂轮与晶圆接触时，由于砂粒与晶圆表面的相互作用，砂轮表面的砂粒分布不均，还会产生高频振动，导致晶圆表面减薄不均，进而影响晶圆的性能和质量，因此，目前需要一种能够实现砂轮的动态平衡的减震机构。

发明内容

针对现技术所存在的问题，提供一种晶圆减薄砂轮的减震机构，本发明通过震幅检测组件与动态平衡组件之间的配合调整砂轮本体的平衡状态，提高了砂轮本体的稳定性，保证了晶圆表面减薄的均匀度。

为解决现有技术问题，本发明提供一种晶圆减薄砂轮的减震机构，包括砂轮本体，砂轮本体的非工作端固定设有一个轮罩，砂轮本体的中心同轴插设有一个转轴，轮罩上固定设有套设在转轴上的轴套，转轴的下半部沿着其轴线方向开设有卡槽，轴套的内圈具有滑动卡接于卡槽中的卡块，转轴的中部设有微量进给驱动器，轴套与微量进给驱动器连接，轮罩的四周分别设有一个震幅检测组件，微量进给驱动器上固定连接有供每个震幅检测组件安装的套壳，套壳上还设有用以与震幅检测组件配合对砂轮本体进行减震的动态平衡组件。

优选地，动态平衡组件设有用以促使震幅检测组件下压轮罩的抵压驱动件，一个震幅检测组件对应设有一个抵压驱动件，抵压驱动件设有液压通道和柱塞杆件，液压通道固定设置在套壳上，柱塞杆件的一端插设于液压通道中，柱塞杆件的另一端朝向震幅检测组件的方向延伸，柱塞杆件与震幅检测组件之间连接设有联动杆。

优选地，动态平衡组件设有用以根据砂轮本体的平衡状态增加配重的配重加压件，配重加压件设有配重环管，配重环管同轴设置在轮罩上，配重环管中的四周均固定设有一个间隔块，每两个相邻间隔块之间均形成加压区域，配重环管上对应每个加压区域均向外延伸设有一个延伸管道。

优选地，震幅检测组件设有压力传感器，压力传感器固定设置在套壳上，压力传感器上具有伸缩杆，伸缩杆的下端设有与轮罩表面接触的滚珠，轮罩的表面围绕其轴心开设有供滚珠滑动的环形轨道，伸缩杆的上端与压力传感器之间固定连接有套设在伸缩杆上的压簧。

优选地，柱塞杆件插设于液压通道中的端部固定套设有与液压通道内部直径一致的柱塞套，柱塞杆件朝向压力传感器的一端固定设有平移滑块，套壳上沿着其轴心线的方向设有供平移滑块滑动的横向导轨，联动杆的两端分别与平移滑块和伸缩杆的上端铰接，套壳的上方同轴设有第一环管和第二环管，第一环管的直径大于第二环管的直径，每个抵压驱动件的液压通道均与第一环管和第二环管连通，并且每个液压通道与第一环管和第二环管的连通处均设有电控阀门。

优选地，轮罩上开设有供配重环管套设在其中的环槽，环槽的内径大于配重环管的外径，环槽的顶部和底部沿着其圆周方向分别设有若干个与配重环管接触的上滚动部和下滚动部，配重环管上的每个延伸管道上均固定设有一个升降滑块，套壳的边缘沿着其轴线方向设有供升降滑块滑动的竖向导轨。

优选地，微量进给驱动器设有油管，油管的上端套设在转轴上，油管的下端套设在轴套上，油管与套壳固定连接，油管侧边的上下端分别开设有第一油口和第二油口，轴套的上端固定套设有与油管内径一致的活塞套。

优选地，转轴的下端固定套设有防脱环，防脱环与砂轮本体之间固定连接有套设在转轴上的缓冲弹簧。

优选地，砂轮本体的表面开设有气孔。

本申请相比较于现有技术的有益效果是：

1.本发明通过震幅检测组件与动态平衡组件之间的配合调整砂轮本体的平衡状态，在震幅检测组件感应砂轮本体的震动方位后，动态平衡组件根据感应到的震动方位不断进行调节，直到砂轮本体的震动达到最小程度，实现砂轮本体的动态平衡，提高了砂轮本体的稳定性，保证了晶圆表面减薄的均匀度。

2.本发明通过抵压驱动件促使震幅检测组件施加适当的压力使砂轮本体与晶圆充分接触，增加砂轮本体与晶圆之间的稳定性，实现了砂轮本体的动态平衡的调节，减少砂轮本体与晶圆之间的震动，提高加工的精度和表面质量。

3.本发明通过配重环管中注水的方式增加砂轮本体的配重，调整砂轮本体的质量分布，促使砂轮本体达到平衡状态，使得砂轮本体在高速旋转时减少不平衡震动，实现了砂轮本体的动态平衡的调节，降低了砂轮本体与晶圆接触时的震动，提高加工的稳定性和质量。

附图说明

图1是一种晶圆减薄砂轮的减震机构的立体结构示意图。

图2是一种晶圆减薄砂轮的减震机构的局部立体结构剖视图。

图3是一种晶圆减薄砂轮的减震机构除去转盘的立体结构示意图一。

图4是一种晶圆减薄砂轮的减震机构除去转盘的立体结构示意图二。

图5是图2的A处放大示意图。

图6是一种晶圆减薄砂轮的减震机构的动态平衡组件实施例一的平面剖视图。

图7是图6的B处放大示意图。

图8是一种晶圆减薄砂轮的减震机构的动态平衡组件实施例二的平面剖视图。

图9是图8的C处放大示意图。

图10是一种晶圆减薄砂轮的减震机构的动态平衡组件实施例二的局部剖视图。

图11是图4的D处放大示意图。

图12是一种晶圆减薄砂轮的减震机构的转轴、轴套和微量进给驱动器的立体结构剖视图。

图中标号为：1-砂轮本体；11-轮罩；111-环形轨道；12-气孔；2-转盘；21-圆槽；211-延伸槽；22-负压吸口；3-转轴；31-套壳；311-横向导轨；312-竖向导轨；32-支架；321-旋转电机；322-上轴承；323-下轴承；4-轴套；41-卡槽；411-卡块；5-微量进给驱动器；51-油管；511-第一油口；512-第二油口；52-活塞套；521-防脱环；522-缓冲弹簧；6-震幅检测组件；61-压力传感器；611-压簧；62-伸缩杆；621-滚珠；7-动态平衡组件；71-抵压驱动件；711-液压通道；7111-第一环管；7112-第二环管；7113-电控阀门；712-柱塞杆件；7121-柱塞套；7122-平移滑块；713-联动杆；72-配重加压件；721-配重环管；7211-延伸管道；7212-升降滑块；722-间隔块；723-环槽；7231-上滚动部；7232-下滚动部；8-晶圆。

具体实施方式

为能进一步了解本发明的特征、技术手段以及所达到的具体目的、功能，下面结合附图与具体实施方式对本发明作进一步详细描述。

参见图1-图9所示，一种晶圆减薄砂轮的减震机构，包括砂轮本体1，砂轮本体1的非工作端固定设有一个轮罩11，砂轮本体1的中心同轴插设有一个转轴3，轮罩11上固定设有套设在转轴3上的轴套4，转轴3的下半部沿着其轴线方向开设有卡槽41，轴套4的内圈具有滑动卡接于卡槽41中的卡块411，转轴3的中部设有微量进给驱动器5，轴套4与微量进给驱动器5连接，轮罩11的四周分别设有一个震幅检测组件6，微量进给驱动器5上固定连接有供每个震幅检测组件6安装的套壳31，套壳31上还设有用以与震幅检测组件6配合对砂轮本体1进行减震的动态平衡组件7。

砂轮本体1的下方对应设有一个转盘2，砂轮本体1位于转盘2的一侧，转盘2上沿着其圆周方向均匀开设有多个供晶圆8放置的圆槽21，每个圆槽21中均开设有一个负压吸口22，转盘2表面的每个圆槽21均向外开设有延伸槽211，圆槽21边缘开设有延伸槽211的设计是为了方便取出放置在圆槽21中的晶圆8，当需要取出晶圆8时，操作人员可以使用工具或手指轻松地将其放入延伸槽211中，然后将晶圆8从圆槽21中取出，延伸槽211的存在可以确保操作人员在取出晶圆8时不会直接触摸到晶圆8本身，从而避免对晶圆8表面的污染和损坏，提高取出晶圆8的效率和准确性，减少操作人员的失误，转盘2的旁侧设有供微量进给驱动器5安装的支架32，支架32上固定设有与转轴3上端连接的旋转电机321，转轴3的上半部与支架32之间从上至下依次连接有上轴承322和下轴承323，当砂轮本体1对晶圆8进行减薄磨削过程中，通过旋转电机321驱动转轴3旋转，连带着砂轮本体1一同高速旋转，而转盘2也同步旋转，转盘2上的晶圆8处于围绕转盘2的轴心旋转的状态，而砂轮本体1处于定点自转的状态，随着晶圆8经过砂轮本体1后，晶圆8的表面被砂轮本体1打磨，随着微量进给驱动器5驱使砂轮本体1朝着晶圆8的移动，使得晶圆8本体被砂轮本体1磨削减薄，而在砂轮本体1和晶圆8接触的过程中，砂轮本体1由于不平衡或装配不当的原因，可能会造成砂轮本体1的径向震动，从而引起晶圆8表面的震动和波纹形变，以及由于砂轮本体1与晶圆8表面的相互作用，会产生高频震动，这种震动会导致晶圆8表面的微小波纹形变，从而导致晶圆8表面减薄不均，因此，通过轮罩11四周的震幅检测组件6对砂轮本体1四个方位的感应，得知砂轮本体1的震幅情况，并通过动态平衡组件7对震幅点进行平衡状态的调节，减小砂轮本体1的震动幅度，保证晶圆8表面减薄均匀。

参见图2、图6和图7所示，动态平衡组件7设有用以促使震幅检测组件6下压轮罩11的抵压驱动件71，一个震幅检测组件6对应设有一个抵压驱动件71，抵压驱动件71设有液压通道711和柱塞杆件712，液压通道711固定设置在套壳31上，柱塞杆件712的一端插设于液压通道711中，柱塞杆件712的另一端朝向震幅检测组件6的方向延伸，柱塞杆件712与震幅检测组件6之间连接设有联动杆713。

当动态平衡组件7对砂轮本体1进行平衡调节过程中，通过抵压驱动件71施加适当的压力使砂轮本体1与晶圆8充分接触，在抵压驱动件71对砂轮本体1施压的过程中，震幅检测组件6感应到砂轮本体1的震动方位后，与该震幅检测组件6相对应的抵压驱动件71启动，通过液压通道711以液压的方式驱动柱塞杆件712移动，由于柱塞杆件712与震幅检测组件6之间连接有联动杆713，因此，柱塞杆件712的活动从而间接的带动震幅检测组件6活动，促使震幅检测组件6对轮罩11施压，增加砂轮本体1与晶圆8之间的稳定性，下压砂轮本体1的方式使砂轮本体1在加工过程中保持稳定的接触力，这样可以减少砂轮本体1与晶圆8之间的震动，提高加工晶圆8的精度和表面质量。

参见图2、图8、图9和图10所示，动态平衡组件7设有用以根据砂轮本体1的平衡状态增加配重的配重加压件72，配重加压件72设有配重环管721，配重环管721同轴设置在轮罩11上，配重环管721中的四周均固定设有一个间隔块722，每两个相邻间隔块722之间均形成加压区域，配重环管721上对应每个加压区域均向外延伸设有一个延伸管道7211。

当动态平衡组件7对砂轮本体1进行平衡调节过程中，根据砂轮本体1的震动区域，向配重环管721对应震动方位的加压区域中注水，使得砂轮本体1上增加适当的配重，改变砂轮本体1的质量分布，从而调整砂轮本体1的平衡性，使得砂轮本体1在高速旋转时减少不平衡震动，这样可以降低砂轮本体1与晶圆8接触时的震动，提高加工的稳定性和质量。

参见图2-图5所示，震幅检测组件6设有压力传感器61，压力传感器61固定设置在套壳31上，压力传感器61上具有伸缩杆62，伸缩杆62的下端设有与轮罩11表面接触的滚珠621，轮罩11的表面围绕其轴心开设有供滚珠621滑动的环形轨道111，伸缩杆62的上端与压力传感器61之间固定连接有套设在伸缩杆62上的压簧611。

当砂轮本体1发生震动时，由于砂轮本体1与晶圆8接触失去平衡或装配不当，因此，造成砂轮本体1径向震动，这种震动会导致砂轮本体1在晶圆8表面上产生径向力，由于伸缩杆62上的滚珠621与轮罩11表面接触，因此，砂轮本体1的震动会传递给轮罩11，轮罩11从而带动伸缩杆62径向活动，从而使得压簧611形变，通过压力传感器61感应压簧611的压力，从而感应出砂轮本体1的震动情况，砂轮本体1是处于相对压力传感器61旋转的状态，伸缩杆62端部的滚珠621与轮罩11表面环形轨道111的接触，便于压力传感器61的检测。

参见图6和图7所示，柱塞杆件712插设于液压通道711中的端部固定套设有与液压通道711内部直径一致的柱塞套7121，柱塞杆件712朝向压力传感器61的一端固定设有平移滑块7122，套壳31上沿着其轴心线的方向设有供平移滑块7122滑动的横向导轨311，联动杆713的两端分别与平移滑块7122和伸缩杆62的上端铰接，套壳31的上方同轴设有第一环管7111和第二环管7112，第一环管7111的直径大于第二环管7112的直径，每个抵压驱动件71的液压通道711均与第一环管7111和第二环管7112连通，并且每个液压通道711与第一环管7111和第二环管7112的连通处均设有电控阀门7113。

当液压通道711中注入液压油的过程中，通过第一环管7111和第二环管7112供油，由于每个抵压驱动件71的液压通道711均与第一环管7111和第二环管7112连通，因此，通过电控阀门7113对液压通道711进油进行控制，以便于控制液压油进入所要调节的液压通道711中，促使柱塞杆件712通过柱塞套7121在液压油的推动下活动，从而带动了平移滑块7122在横向导轨311中滑动，使得联动杆713推拉压力传感器61上的伸缩杆62移动，完成对砂轮本体1的施压，直至调整到平衡状态。

参见图8-图10所示，轮罩11上开设有供配重环管721套设在其中的环槽723，环槽723的内径大于配重环管721的外径，环槽723的顶部和底部沿着其圆周方向分别设有若干个与配重环管721接触的上滚动部7231和下滚动部7232，配重环管721上的每个延伸管道7211上均固定设有一个升降滑块7212，套壳31的边缘沿着其轴线方向设有供升降滑块7212滑动的竖向导轨312。

当砂轮本体1旋转时，若砂轮本体1与晶圆8的接触发生震动时，从而在配重环管721所对应方位的加压区域中通过延伸管道7211注水，增加该震动方位的配重，从而使得砂轮本体1稳定，配重环管721不随砂轮本体1一同旋转，以便于对配重环管721注水，但配重环管721支撑于轮罩11上，通过升降滑块7212在竖向导轨312上的滑动能够与砂轮本体1一同移动，以便于针对所震动的方位增加配重，避免了砂轮本体1在旋转过程中经过震动发生的位置处时发生形变导致磨力不均匀的情况。

参见图2和图12所示，微量进给驱动器5设有油管51，油管51的上端套设在转轴3上，油管51的下端套设在轴套4上，油管51与套壳31固定连接，油管51侧边的上下端分别开设有第一油口511和第二油口512，轴套4的上端固定套设有与油管51内径一致的活塞套52。

当砂轮本体1旋转过程中，通过微量进给驱动器5控制砂轮本体1逐渐靠近晶圆8，使得砂轮本体1逐渐减薄晶圆8，而在微量进给驱动器5启动过程中，通过第一油口511和第二油口512注入液压油于油管51中，通过控制第一油口511和第二油口512的进出流量，从而推动活塞套52在油管51中移动，精确地控制砂轮本体1相对于晶圆8移动的微量距离。

参见图11和图12所示，转轴3的下端固定套设有防脱环521，防脱环521与砂轮本体1之间固定连接有套设在转轴3上的缓冲弹簧522。

转轴3下端与砂轮本体1之间的缓冲弹簧522可以提供弹性支撑，使得转轴3下端与砂轮本体1之间保持一定的接触力，确保砂轮本体1能够有效地与晶圆8接触并进行加工，并在砂轮本体1加工过程中，由于砂轮本体1表面不平衡的原因，会产生一定的振动和冲击力，缓冲弹簧522能够吸收这些振动和冲击力，减少对转轴3的影响。

参见图4所示，砂轮本体1的表面开设有气孔12。

砂轮本体1表面开设气孔12起到散热效果，砂轮本体1在使用时会因摩擦产生热量，如果没有开孔，砂轮本体1表面的温度可能会过高，导致砂轮本体1材料软化或破裂，开孔可以提供更好的散热通道，降低砂轮本体1的温度，增加使用寿命。

本发明通过震幅检测组件6与动态平衡组件7之间的配合调整砂轮本体1的平衡状态，在震幅检测组件6感应砂轮本体1的震动方位后，动态平衡组件7根据感应到的震动方位不断进行调节，直到砂轮本体1的震动达到最小程度，提高了砂轮本体1的稳定性，保证了晶圆8表面减薄的均匀度。

以上实施例仅表达了本发明的一种或几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (6)

1.一种晶圆减薄砂轮的减震机构，包括砂轮本体（1），砂轮本体（1）的非工作端固定设有一个轮罩（11），砂轮本体（1）的中心同轴插设有一个转轴（3），轮罩（11）上固定设有套设在转轴（3）上的轴套（4），转轴（3）的下半部沿着其轴线方向开设有卡槽（41），轴套（4）的内圈具有滑动卡接于卡槽（41）中的卡块（411），转轴（3）的中部设有微量进给驱动器（5），轴套（4）与微量进给驱动器（5）连接，其特征在于，轮罩（11）的四周分别设有一个震幅检测组件（6），微量进给驱动器（5）上固定连接有供每个震幅检测组件（6）安装的套壳（31），套壳（31）上还设有用以与震幅检测组件（6）配合对砂轮本体（1）进行减震的动态平衡组件（7）；

动态平衡组件（7）设有用以促使震幅检测组件（6）下压轮罩（11）的抵压驱动件（71），一个震幅检测组件（6）对应设有一个抵压驱动件（71），抵压驱动件（71）设有液压通道（711）和柱塞杆件（712），液压通道（711）固定设置在套壳（31）上，柱塞杆件（712）的一端插设于液压通道（711）中，柱塞杆件（712）的另一端朝向震幅检测组件（6）的方向延伸，柱塞杆件（712）与震幅检测组件（6）之间连接设有联动杆（713）；

柱塞杆件（712）插设于液压通道（711）中的端部固定套设有与液压通道（711）内部直径一致的柱塞套（7121），柱塞杆件（712）朝向压力传感器（61）的一端固定设有平移滑块（7122），套壳（31）上沿着其轴心线的方向设有供平移滑块（7122）滑动的横向导轨（311），联动杆（713）的两端分别与平移滑块（7122）和伸缩杆（62）的上端铰接，套壳（31）的上方同轴设有第一环管（7111）和第二环管（7112），第一环管（7111）的直径大于第二环管（7112）的直径，每个抵压驱动件（71）的液压通道（711）均与第一环管（7111）和第二环管（7112）连通，并且每个液压通道（711）与第一环管（7111）和第二环管（7112）的连通处均设有电控阀门（7113）。

2.一种晶圆减薄砂轮的减震机构，包括砂轮本体（1），砂轮本体（1）的非工作端固定设有一个轮罩（11），砂轮本体（1）的中心同轴插设有一个转轴（3），轮罩（11）上固定设有套设在转轴（3）上的轴套（4），转轴（3）的下半部沿着其轴线方向开设有卡槽（41），轴套（4）的内圈具有滑动卡接于卡槽（41）中的卡块（411），转轴（3）的中部设有微量进给驱动器（5），轴套（4）与微量进给驱动器（5）连接，其特征在于，轮罩（11）的四周分别设有一个震幅检测组件（6），微量进给驱动器（5）上固定连接有供每个震幅检测组件（6）安装的套壳（31），套壳（31）上还设有用以与震幅检测组件（6）配合对砂轮本体（1）进行减震的动态平衡组件（7）；

动态平衡组件（7）设有用以根据砂轮本体（1）的平衡状态增加配重的配重加压件（72），配重加压件（72）设有配重环管（721），配重环管（721）同轴设置在轮罩（11）上，配重环管（721）中的四周均固定设有一个间隔块（722），每两个相邻间隔块（722）之间均形成加压区域，配重环管（721）上对应每个加压区域均向外延伸设有一个延伸管道（7211）；

轮罩（11）上开设有供配重环管（721）套设在其中的环槽（723），环槽（723）的内径大于配重环管（721）的外径，环槽（723）的顶部和底部沿着其圆周方向分别设有若干个与配重环管（721）接触的上滚动部（7231）和下滚动部（7232），配重环管（721）上的每个延伸管道（7211）上均固定设有一个升降滑块（7212），套壳（31）的边缘沿着其轴线方向设有供升降滑块（7212）滑动的竖向导轨（312）。

3.根据权利要求1或2所述的一种晶圆减薄砂轮的减震机构，其特征在于，震幅检测组件（6）设有压力传感器（61），压力传感器（61）固定设置在套壳（31）上，压力传感器（61）上具有伸缩杆（62），伸缩杆（62）的下端设有与轮罩（11）表面接触的滚珠（621），轮罩（11）的表面围绕其轴心开设有供滚珠（621）滑动的环形轨道（111），伸缩杆（62）的上端与压力传感器（61）之间固定连接有套设在伸缩杆（62）上的压簧（611）。

4.根据权利要求1或2所述的一种晶圆减薄砂轮的减震机构，其特征在于，微量进给驱动器（5）设有油管（51），油管（51）的上端套设在转轴（3）上，油管（51）的下端套设在轴套（4）上，油管（51）与套壳（31）固定连接，油管（51）侧边的上下端分别开设有第一油口（511）和第二油口（512），轴套（4）的上端固定套设有与油管（51）内径一致的活塞套（52）。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆减薄砂轮的减震机构，其特征在于，转轴（3）的下端固定套设有防脱环（521），防脱环（521）与砂轮本体（1）之间固定连接有套设在转轴（3）上的缓冲弹簧（522）。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆减薄砂轮的减震机构，其特征在于，砂轮本体（1）的表面开设有气孔（12）。