CN118225795B - 一种用于探测亚表面深度的标定板及其制备方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开一种用于探测亚表面深度的标定板及其制备方法，涉及光学标定领域，该标定板包括：楔形玻璃、样品颗粒和固定装置；其中，楔形玻璃包括相互平行的第一侧面和第二侧面，相互垂直的第一平面和第二平面，以及一个斜面；第一侧面和第二侧面分别与第一平面、第二平面和斜面连接；斜面分别与第一平面和第二平面连接；第二平面与固定装置固定连接；第一平面与水平面平行；样品颗粒均匀附着在斜面上；样品颗粒为微球颗粒。本发明能够提高对光学元件亚表面探测深度标定的可靠性。
Description
技术领域
本发明涉及光学标定领域，特别是涉及一种用于探测亚表面深度的标定板及其制备方法。
背景技术
近年来，随着微纳领域研究和天文光学的迅速发展，其要求的光学测量系统越来越复杂，所涉及到的光学元件越来越精密，同时也对现代光学元件的制造能力提出了越来越高的要求。而对于现在的光学元件制造加工领域，评价精密光学元件的指标不仅包含表面质量和面形精度，同时也要考察元件的亚表面质量。精密光学元件在加工过程中需要用到切割、磨削、抛光等技术，这些加工技术在光学元件的表面及亚表面容易形成缺陷，其水平尺寸从几十纳米到几微米不等，纵向深度尺寸通常为几微米到几百微米。这些缺陷严重影响光学元件的性能和使用寿命，如透镜的缺陷会导致散焦、散光、畸变等情况，严重影响激光器、光刻机的性能；某些太空望远系统中光学元件的亚表面缺陷会由于长期暴露在太空环境中而进一步扩展，影响镜面面形精度。因此研究如何去除光学元件的亚表面缺陷已经成为了光学加工领域的重要研究问题，而去除亚表面缺陷的首要目标就是实现对缺陷的精确检测和定位。
对精密光学元件缺陷的检测通常采用无损检测的方法，由于检测信号经物体内部反射、折射和散射等多次作用后复杂多变；缺陷形态多种多样、特性相近；被检测材料不同、特性不同，隐藏在元件亚表面的缺陷深度信息往往难以准确识别，其针对于深度定位检测的可靠性、精度、效率均有待提高。
由于缺乏对光学元件亚表面探测深度的标定，无法对激光共聚焦扫描显微镜等亚表面缺陷检测仪器进行深度测量功能标定，因此需要一种适用性广、可靠性高的用于探测亚表面深度的标定板及其制备方法来填补此空缺。
发明内容
本发明的目的是提供一种用于探测亚表面深度的标定板及其制备方法，能够提高对光学元件亚表面探测深度标定的可靠性。
为实现上述目的，本发明提供了如下方案：一种用于探测亚表面深度的标定板，所述标定板包括：楔形玻璃、样品颗粒和固定装置。
所述楔形玻璃包括相互平行的第一侧面和第二侧面，相互垂直的第一平面和第二平面，以及一个斜面；所述第一侧面和所述第二侧面分别与所述第一平面、所述第二平面和所述斜面连接；所述斜面分别与所述第一平面和所述第二平面连接。
所述第二平面与所述固定装置固定连接。
所述样品颗粒均匀附着在所述斜面上；所述样品颗粒为微球颗粒。
可选地，所述固定装置包括楔形玻璃安装座和安装板。
所述楔形玻璃安装座上设置有卡槽；所述卡槽在所述楔形玻璃安装座的上表面开设有开口；所述第二平面从所述开口插入所述卡槽内。
所述安装板设置在所述第一平面与所述楔形玻璃安装座的上表面上；所述楔形玻璃通过所述安装板与所述楔形玻璃安装座固定连接。
可选地，当所述楔形玻璃插入所述卡槽后，所述斜面与所述卡槽的底面贴合；所述底面为所述卡槽中与所述开口相对的一侧。
可选地，所述楔形玻璃为楔形K9玻璃。
可选地，所述样品颗粒的形状为球形；所述样品颗粒的直径为电子显微镜分辨率的整数倍。
可选地，所述楔形玻璃的粗糙度为5nm-12nm。
可选地，所述样品颗粒为聚苯乙烯微球颗粒、硫酸镉纳米微球颗粒或者胶体金颗粒。
可选地，在所述第一平面上设置有标定线；所述标定线起始线从楔形玻璃的尖端位置开始；所述标定线与第一侧面和第二侧面垂直。
一种用于探测亚表面深度的标定板的制备方法，应用于上述的用于探测亚表面深度的标定板，所述制备方法包括：选取或制备一块楔形玻璃，使用表面粗糙度测量仪对所述楔形玻璃进行表面粗糙度评定，所述楔形玻璃的粗糙度应在5nm-12nm之间。
使用高精度微纳坐标测量机对所述楔形玻璃的形状参数进行标定；其中，所述形状参数包括倾斜角度和高度。
选取或制备标准样品颗粒；所述标准样品颗粒的直径为电子显微镜分辨率的整数倍。
将直径相同的所述标准样品颗粒均匀附着在楔形玻璃的斜面上；其中，所述标准样品颗粒沿与所述斜面的侧边平行单列排布或多列排布；所述斜面的侧边为所述楔形玻璃的三角形侧面的斜边。
在第一平面上设置标定线用于观测定位；其中，所述第一平面为通过所述楔形玻璃的尖端位置与所述斜面相接的平面；所述标定线起始线从所述楔形玻璃的尖端位置开始。
根据所述楔形玻璃的形状参数制备固定装置，将所述楔形玻璃与所述固定装置进行固定，得到标定板。
可选地，所述标准样品颗粒至少为聚苯乙烯微球颗粒、硫酸镉纳米微球颗粒和胶体金颗粒中的一种。
根据本发明提供的具体实施例，本发明公开了以下技术效果：本发明提供的用于探测亚表面深度的标定板，包括：楔形玻璃、样品颗粒和固定装置；其中，楔形玻璃包括相互平行的第一侧面和第二侧面，相互垂直的第一平面和第二平面，以及一个斜面；第一侧面和第二侧面分别与第一平面、第二平面和斜面连接；斜面与第一平面和第二平面连接；第二平面与固定装置固定连接；样品颗粒均匀附着在斜面上；样品颗粒为微球颗粒。本发明能够采用楔形结构，逐步加深亚表面深度，提高了探测亚表面深度的精度和可靠性。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明用于探测亚表面深度的标定板的结构示意图。
图2为本发明标定板的测试原理示意图。
图3为本发明标定板的测试过程示意图。
附图标记说明：楔形玻璃—1，样品颗粒—2，楔形玻璃安装座—3，安装板—4，标定线—5。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
本发明的目的是提供一种用于探测亚表面深度的标定板及其制备方法，能够提高对光学元件亚表面探测深度标定的可靠性，并且克服了现有亚表面缺陷检测技术中亚表面深度定位极限难以确定，深度定位信息可靠性低等缺点。
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。
实施例一：如图1所示，本发明提供了一种用于探测亚表面深度的标定板，所述标定板包括：楔形玻璃1、样品颗粒2和固定装置。
所述楔形玻璃1包括相互平行的第一侧面和第二侧面，相互垂直的第一平面和第二平面，以及一个斜面；所述第一侧面和所述第二侧面分别与所述第一平面、所述第二平面和所述斜面连接；所述斜面分别与所述第一平面和所述第二平面连接。
所述第二平面与所述固定装置固定连接。
在实际应用中，在探测亚表面深度时，需要保证所述标定板的第一平面水平放置。
所述样品颗粒2均匀附着在所述斜面上；所述样品颗粒2为微球颗粒。具体地，样品颗粒需位于两侧标定线的中间部分；标定线的目的是为了指定样品颗粒的位置，从而使用该样板时方便寻找到样品颗粒，同时指明待标定仪器测量位置；样品颗粒需要从尖角尖端开始排列。
其中，所述固定装置包括楔形玻璃安装座3和安装板4。
所述楔形玻璃安装座3上设置有卡槽；所述卡槽在所述楔形玻璃安装座3的上表面开设有开口；所述第二平面从所述开口插入所述卡槽内。
所述安装板4设置在所述第一平面与所述楔形玻璃安装座3的上表面上；所述楔形玻璃1通过所述安装板4与所述楔形玻璃安装座3固定连接。
进一步地，当所述楔形玻璃1插入所述卡槽后，所述斜面与所述卡槽的底面贴合；所述底面为所述卡槽中与所述开口相对的一侧。也就是说，楔形玻璃1的倾斜面与楔形玻璃安装座3卡槽的倾斜面重合。
作为一个具体地实施方式，所述楔形玻璃1为楔形K9玻璃。
作为一个具体地实施方式，所述样品颗粒2的形状为球形。所述样品颗粒2的直径为电子显微镜分辨率的整数倍。电子显微镜是具有准确测量出颗粒直径功能的电子显微镜；电子显微镜的作用是准确测量出颗粒直径，从而通过直径数据为后续标定其他仪器服务，直径是分辨率整数倍同样也是为了使得测量颗粒直径时更加准确。
作为一个具体地实施方式，所述楔形玻璃1的粗糙度为5nm-12nm。
作为一个具体地实施方式，所述样品颗粒2为聚苯乙烯微球颗粒、硫酸镉纳米微球颗粒或者胶体金颗粒。也就是说，所述样品颗粒2为聚苯乙烯微球颗粒、硫酸镉纳米微球颗粒和胶体金颗粒中的一种，是单一的一种颗粒，而不是混合颗粒。
作为一个具体地实施方式，在所述第一平面上设置有标定线5；标定线分布在第一平面左右两侧，沿第一平面中线对称分布，每第5个标定线标记数值，标定线数值为该标定线与尖端水平距离。
下面提供一种探测亚表面深度的方法，方法包括步骤S1至步骤S3。
步骤S1：将亚表面深度标定板放置在待标定仪器的载物台上，调整标定板的位置和角度，确保标定板水平放置并使得标定板楔形玻璃上表面与仪器镜头垂直，楔形玻璃1的侧面与待标定仪器的载物台运动方向平行。移动待标定仪器的载物台台直至楔形玻璃到达仪器镜头下，使得待标定仪器恰好能够检测到楔形玻璃1的尖端位置。
步骤S2：移动载物台，当待标定仪器恰好无法透过楔形玻璃1准确检测其倾斜面上附着的样品颗粒2的直径时，停止移动载物台，记录此时待标定仪器准焦处标记线数值。
步骤S3：根据所述标定板的楔形玻璃的第一平面与第二平面的夹角以及所述标记线数值，应用三角函数，计算所述深度值。根据标记线数值可以得到所述标定板从尖端的起始端相对待标定仪器的移动距离，根据设计所述标定板时尖端的角度值，根据正切的函数关系，能够计算出待标定仪器的所能测量的最大深度值。
本发明根据标定板进行亚表面探测深度的标定是通过对标准样品颗粒的观察，从而将亚表面极限深度标定值的求取转变为对水平方向位移值的求取。
在实际应用中，应用用于探测亚表面深度的方法进行亚表面深度探测的具体过程，如图2和图3所示，如步骤201至步骤205所述。
步骤201：将亚表面深度标定板放置在待标定仪器的载物台上，调整载物台的位置和角度，确保标定板水平放置并使得标定板楔形玻璃上表面与仪器镜头垂直，楔形玻璃1的侧面与待标定仪器的载物台运动方向平行。
步骤202：将亚表面深度标定板置于待标定仪器镜头下方，移动待标定仪器的载物台直至楔形玻璃到达仪器镜头下，使得待标定仪器恰好能够检测到楔形玻璃1的尖端。
步骤203：继续移动载物台，如果待标定仪器能够透过楔形玻璃1清晰检测到其倾斜面上附着的样品颗粒2则继续移动载物台。当待标定仪器恰好无法透过楔形玻璃1准确检测其倾斜面上附着的样品颗粒2的直径时，停止移动载物台。
步骤204：记录下此时待标定仪器测量处标定样板刻线数值X。
步骤205：由于X和深度值呈正切关系，根据楔形玻璃的倾角，即可计算出待标定仪器能够准确探测到的亚表面的极限深度。
本发明提供的亚表面探测深度标定板的使用方法，通过改变待标定仪器检测到不同深度的样品颗粒，能够实现亚表面探测深度的渐进测量。
实施例二：本发明还提供一种用于探测亚表面深度的标定板的制备方法，应用于实施例一所述的用于探测亚表面深度的标定板，所述制备方法包括：
选取或制备一块楔形玻璃，使用表面粗糙度测量仪对所述楔形玻璃进行表面粗糙度评定，所述楔形玻璃的粗糙度应在5nm-12nm之间。
使用高精度微纳坐标测量机对所述楔形玻璃的形状参数进行标定；其中，所述形状参数包括倾斜角度和高度。
选取或制备标准样品颗粒；所述标准样品颗粒的直径为电子显微镜分辨率的整数倍。
将直径相同的所述标准样品颗粒均匀附着在楔形玻璃的斜面上；其中，所述标准样品颗粒沿与所述斜面的侧边平行单列排布或多列排布；所述斜面的侧边为所述楔形玻璃的三角形侧面的斜边。
在第一平面上设置标定线用于观测定位；其中，所述第一平面为通过所述楔形玻璃的尖端位置与所述斜面相接的平面；所述标定线起始线从所述楔形玻璃的尖端位置开始。
根据所述楔形玻璃的形状参数制备固定装置，将所述楔形玻璃与所述固定装置进行固定，得到标定板。
其中，所述标准样品颗粒至少为聚苯乙烯微球颗粒、硫酸镉纳米微球颗粒和胶体金颗粒中的一种。
进一步地，所述标定线的终止线在标准样品颗粒未附着处对应的第一平面上的位置处。
在实际应用中，本发明的标定板的制备过程如步骤101至步骤105所述。
步骤101：选取或制备一块楔形K9玻璃，使用表面粗糙度测量仪对其进行表面粗糙度评定，粗糙度应在5nm-12nm之间，从而使其能够较好模拟高精度光学元件表面物理状态，使用高精度微纳坐标测量机对其倾斜角度、高度等形状参数进行标定，记录以上数值便于后续加工对应器件装置和实现对待标定仪器探测深度参数的计算。
步骤102：选取或制备标准样品颗粒2，如聚苯乙烯微球颗粒、硫酸镉纳米微球颗粒、胶体金颗粒等形态规整、大小均一、吸附性良好的标准颗粒。选取制备得到的标准样品颗粒2直径应为电子显微镜分辨率的整数倍，保证深度参数标定时电子显微镜可以得到清晰的颗粒形态结构。使用电子显微镜对其直径进行标定，此步骤中可通过改变颗粒直径使其代表不同尺寸的亚表面缺陷。
步骤103：将半径相同的样品颗粒2均匀附着在楔形玻璃1的倾斜面上，单列排布与倾斜面侧边直线平行或多列排布均匀覆盖倾斜面，同列颗粒之间应排列成直线且尽量保证间距相同，标定线分布在第一平面左右两侧，沿第一平面中线对称分布，每第5个标定线标记数值，标定线数值为该标定线与尖端水平距离。
步骤104：根据楔形玻璃1形状参数制备楔形玻璃安装座3，将楔形玻璃1插入楔形玻璃安装座3，并通过安装板4固定楔形玻璃1，保证楔形玻璃1侧面为水平，此时即可通过从楔形玻璃1上表面对样品颗粒2深度的检测实现亚表面缺陷深度信息的获取。
步骤105：根据制备的所述亚表面探测深度标定板的三维尺寸，制备一个长方形容器，用于保存制备完成后的样板。
本发明具有以下优点和突出技术结果：
1、采用楔形结构，逐步加深亚表面深度，使得标定结果的最小分辨力可以通过楔形玻璃的倾角求出。
2、将亚表面的深度检测转化为对样品颗粒深度的检测,大大降低了检测的难度，同时提高了检测速度和检测准确度。
3、采用的K9玻璃材料有着良好的透射率与较低的反射率，并且内部不存在气泡、水纹等瑕疵，可减小材料带来的标定误差。
4、标定板制备过程简单，K9玻璃材料制备和加工工艺较为成熟，可以制造深度范围较广的标定板从而满足绝大部分仪器深度标定需求，同时可渐进测量，使得标定结果更加接近真值，标定结果可靠性高。
本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。
本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处。综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。
Claims (9)
1.一种用于探测亚表面深度的标定板，其特征在于，所述标定板包括：楔形玻璃、标准样品颗粒和固定装置；
所述楔形玻璃包括相互平行的第一侧面和第二侧面，相互垂直的第一平面和第二平面，以及一个斜面；所述第一侧面和所述第二侧面分别与所述第一平面、所述第二平面和所述斜面连接；所述斜面分别与所述第一平面和所述第二平面连接；
所述第二平面与所述固定装置固定连接；
直径相同的所述标准样品颗粒均匀附着在所述斜面上；所述标准样品颗粒为微球颗粒，所述标准样品颗粒沿与所述斜面的侧边平行单列排布或多列排布；所述斜面的侧边为所述楔形玻璃的三角形侧面的斜边；
在所述第一平面上设置有标定线；所述标定线起始线从楔形玻璃的尖端位置开始；所述标定线与第一侧面和第二侧面垂直。
2.根据权利要求1所述的用于探测亚表面深度的标定板，其特征在于，所述固定装置包括楔形玻璃安装座和安装板；
所述楔形玻璃安装座上设置有卡槽；所述卡槽在所述楔形玻璃安装座的上表面开设有开口；所述第二平面从所述开口插入所述卡槽内；
所述安装板设置在所述第一平面与所述楔形玻璃安装座的上表面上；所述楔形玻璃通过所述安装板与所述楔形玻璃安装座固定连接。
3.根据权利要求2所述的用于探测亚表面深度的标定板，其特征在于，当所述楔形玻璃插入所述卡槽后，所述斜面与所述卡槽的底面贴合；所述底面为所述卡槽中与所述开口相对的一侧。
4.根据权利要求1所述的用于探测亚表面深度的标定板，其特征在于，所述楔形玻璃为楔形K9玻璃。
5.根据权利要求1所述的用于探测亚表面深度的标定板，其特征在于，所述标准样品颗粒的形状为球形。
6.根据权利要求1所述的用于探测亚表面深度的标定板，其特征在于，所述楔形玻璃的粗糙度为5nm-12nm。
7.根据权利要求1所述的用于探测亚表面深度的标定板，其特征在于，所述标准样品颗粒为聚苯乙烯微球颗粒、硫酸镉纳米微球颗粒或者胶体金颗粒。
8.一种用于探测亚表面深度的标定板的制备方法，应用于权利要求1-7任意一项所述的用于探测亚表面深度的标定板，其特征在于，所述制备方法包括：
选取或制备一块楔形玻璃，使用表面粗糙度测量仪对所述楔形玻璃进行表面粗糙度评定，所述楔形玻璃的粗糙度应在5nm-12nm之间；
使用高精度微纳坐标测量机对所述楔形玻璃的形状参数进行标定；其中，所述形状参数包括倾斜角度和高度；
选取或制备标准样品颗粒；所述标准样品颗粒的直径为电子显微镜分辨率的整数倍；
将直径相同的所述标准样品颗粒均匀附着在楔形玻璃的斜面上；其中，所述标准样品颗粒沿与所述斜面的侧边平行单列排布或多列排布；所述斜面的侧边为所述楔形玻璃的三角形侧面的斜边；
在第一平面上设置标定线用于观测定位；其中，所述第一平面为通过所述楔形玻璃的尖端位置与所述斜面相接的平面；所述标定线起始线从所述楔形玻璃的尖端位置开始；
根据所述楔形玻璃的形状参数制备固定装置，将所述楔形玻璃与所述固定装置进行固定，得到标定板。
9.根据权利要求8所述的用于探测亚表面深度的标定板的制备方法，其特征在于，所述标准样品颗粒至少为聚苯乙烯微球颗粒、硫酸镉纳米微球颗粒和胶体金颗粒中的一种。
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|---|---|---|---|---|
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| CN104897591A (zh) * | 2015-06-08 | 2015-09-09 | 苏州谱道光电科技有限公司 | 样品测量装置 |
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