CN118104086A - 用于产生激光脉冲的方法和设备 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种用于产生叠加的激光脉冲(30a，b)的方法(12)，所述叠加的激光脉冲分别至少由第一激光脉冲(16a，b)和第二激光脉冲(18a，b)组成。第一激光脉冲和第二激光脉冲(16a，b，18a，b)以不同特性被放大。放大后，第一激光脉冲(16a，b)相对于第二激光脉冲(18a，b)有延迟，以便使第一激光脉冲与第二激光脉冲(18a，b)叠加。叠加的激光脉冲(30a，b)优选用于产生极紫外(EUV)辐射(38)。本发明还涉及一种用于产生叠加的激光脉冲(30a，b)的设备(10)。

Description

用于产生激光脉冲的方法和设备
技术领域
本发明涉及用于产生激光脉冲的方法和设备。
背景技术
众所周知，使用激光脉冲生成等离子体以产生用于进行极紫外(EUV)光刻的EUV辐射。EUV辐射尤其可以在用激光脉冲照射的、优选呈锡液滴形式的靶材中生成。
为此，激光脉冲在种子源中产生，并在放大器装置的放大器中被放大。在放大器装置中放大的激光脉冲经由射束引导装置被引导至聚焦单元，该聚焦单元将激光脉冲聚焦到其中提供有靶材的目标区域中。靶材通常由液滴源以液滴的形式提供，该液滴源以固定的时间间隔发射液滴。这些液滴用激光脉冲进行照射，并因此发出(EUV)辐射。在此，每个液滴被至少一个激光脉冲撞击，因此液滴源运行的频率相当于种子源发出激光脉冲的频率。
此外，由靶材发射的辐射的功率在此与照射靶材的激光脉冲的脉冲持续时间和能量有关。激光脉冲的脉冲能量越大，由靶材发射的EUV辐射的功率就越高。脉冲持续时间还影响EUV产量。在此，在趋势上较短的脉冲是有利的。
在种子源中产生的激光脉冲进入放大装置的放大器中，并在那里被放大。放大器包括放大介质，例如CO2或固体。
如果放大器在饱和状态下运行，则由于受激发射而被清空的能级可以通过未参与激光转换的邻近的能级得到再次补充。这基于相应放大介质所特有的时间标度来进行。
如果现在考虑入射脉冲的功率足以使被激发的能级由于受激发射而完全清空并且该脉冲短到使得该能级在脉冲持续时间内无法通过邻近的能级得到再次补充，那么就观察到以下情况：脉冲的时间曲线的前部急剧升高，然后先迅速下降，然后下降得越来越缓慢。因此，脉冲的前部已经使放大器达到饱和，从而没有多余的功率用于脉冲的后部(较晚部分)。
另一方面，如果考虑入射到放大器中的脉冲的功率足以使被激发的能级由于受激发射而完全清空并且该脉冲长到使得该能级在其持续时间内可以通过邻近的能级得到再次补充，那么脉冲功率就像上述短脉冲一样先急剧上升，然后再次下降。然而，下降趋势持续更长的时间段，这是因为能级不断地从邻近能级得到补充。虽然脉冲的前部使放大器饱和，但被清空的能级随后被邻近的能级再次补充。
因此，利用短脉冲将使能量产量受限，这是因为在短脉冲的情况下激光脉冲的前部已经使放大器饱和，从而没有剩余的功率再供激光脉冲的较晚部分使用。
发明内容
与之相对应地，本发明的目的是提供一种方法和一种设备，它们能够实现产生能量特别充足的短激光脉冲。
根据本发明，该目的通过根据专利权利要求1的方法和根据专利权利要求12的设备来实现。从属的专利权利要求给出了优选的改进方案。
因此，该目的通过一种用于产生激光脉冲的方法来实现，该方法具有以下方法步骤：
A)在至少一个激光源中产生第一激光脉冲和第二激光脉冲；
B)放大第一激光脉冲和第二激光脉冲，其中，第二激光脉冲分别与相应的第一激光脉冲有时间偏移地经过放大器装置，并且第二激光脉冲与第一激光脉冲在至少一个射束特性方面不同；
C)根据至少一个射束特性将第一激光脉冲与第二激光脉冲在空间上分开，在所述至少一个射束特性方面，第二激光脉冲与第一激光脉冲不同；
D)将第一激光脉冲相对于第二激光脉冲以第一激光脉冲与第二激光脉冲之间的时间间隔延迟；
E)将第一激光脉冲和第二激光脉冲叠加成在时间和空间上叠加的激光脉冲。
除非另有说明，否则在本发明范围内的列举并非详尽无遗，而应被视为“至少”。尤其地，除了第一激光脉冲和第二激光脉冲之外，还可以使用另外的激光脉冲(例如第三激光脉冲、第三和第四激光脉冲等)。
为了产生高功率的短激光脉冲，现在将两个、尤其是长度相同的短脉冲以一时间间隔导入到同一放大器中，在该时间间隔内参与激光转换的被激发的能级从邻近的能级至少部分地得到再次补充。这些激光脉冲在其被放大之前具有的最大功率可以相同，或者也可以不同。根据时间间隔而定地，参与激光转换的被激发的能级在第二激光脉冲被导入放大器中时将完全或部分地得到再次补充。
如果被激发的能级已经完全得到再次补充，则对于第二激光脉冲来说得到最大可能的放大。如果被激发的能级尚未完全得到再次补充，则得到较低程度的放大。在入射的激光脉冲的最大功率相同的情况下，第二激光脉冲在这种情况下在其被放大后的最大功率低于第一激光脉冲的最大功率。
在这两个激光脉冲经过(一个或多个)放大器后，它们在时间上再次叠加。得到的激光脉冲的脉冲形状和脉冲持续时间基本上相当于这两个短激光脉冲的脉冲形状和脉冲持续时间。然而，叠加的激光脉冲的最大功率或其能量高达叠加前单个激光脉冲的功率或能量的两倍。因此，通过对激光脉冲列中的各个短激光脉冲进行放大并随后将它们叠加，可以获得功率或能量较高的且脉冲持续时间短的叠加的激光脉冲。
在此，短激光脉冲的脉冲持续时间并且因此第一激光脉冲和第二激光脉冲的脉冲持续时间介于10ns与200ns之间，优选介于20ns与100ns之间。长激光脉冲的脉冲持续时间在此大于200ns。放大介质优选是CO2。
叠加的激光脉冲优选以介于10kHz与500kHz之间的、尤其是介于20kHz与200kHz之间的、特别优选介于30kHz与100kHz之间的节拍输出。在此，激光脉冲的节拍优选与液滴源的、即目标区域内的靶材的节拍有关。
第一激光脉冲与所产生的第二激光脉冲优选在它们的波长和/或它们的偏振方面不同。这能够实现将第一激光脉冲与第二激光脉冲分开。然后可以使与第二激光脉冲分开的第一激光脉冲经过延迟路径，第二激光脉冲不会经过该延迟路径。
第一激光脉冲和第二激光脉冲直接在它们产生时就可以具有不同的波长或偏振。尤其地，第一激光脉冲和第二激光脉冲可以由两个单独的射束源产生，这些射束源分别产生具有不同射束特性(如波长或偏振)的激光脉冲。尤其地，这可以是以不同的波长运行的两个CO2激光器。
也可以在第一激光脉冲和/或第二激光脉冲产生后给它们赋予不同的射束特性(如波长或偏振)。在这种情况下，第一激光脉冲和第二激光脉冲优选在唯一的射束源中首先以相同的射束特性产生。然而，第一激光脉冲和第二激光脉冲也可以在不同的射束源中以相同的射束特性产生。(在这两种情况下)在后续的方法步骤中给它们赋予不同的射束特性。在此，第一激光脉冲或第二激光脉冲的偏振可以借助延迟板(如λ/2板)或普克尔斯盒、尤其是借助电光调制器(EOM)被扭转。替代性地，第一激光脉冲或第二激光脉冲的频率也可以借助移频装置(如声光调制器)来移位。
第二激光脉冲的产生可以相对于第一激光脉冲的产生在时间上延迟地进行。尤其地，在此可以使用控制单元，以便调整第一激光脉冲与第二激光脉冲的时间间隔。第一激光脉冲和第二激光脉冲在此可以在不同的激光源中产生，或者也可以在唯一的激光源中产生。
然而，第一激光脉冲与第二激光脉冲之间的时间间隔尤其也可以通过如下方式调整，使得第二激光脉冲在其产生后所经过的路段距离长于第一激光脉冲。第一激光脉冲和第二激光脉冲在此可以在不同的激光源中产生。在此，控制单元可以被用于以如下方式控制激光源，使得激光脉冲在方法步骤E)中汇合成叠加的激光脉冲。
在本发明的进一步优选的设计方案中，第二激光脉冲以恒定的时间间隔跟随第一激光脉冲。
第一激光脉冲与第二激光脉冲之间的时间间隔优选介于10ns与1500ns之间，尤其介于50ns与1000ns之间，特别优选介于80ns与500ns之间。在此，第二激光脉冲的最大可能的放大取决于第一激光脉冲与第二激光脉冲之间的时间间隔。第一激光脉冲与第二激光脉冲之间的时间间隔越长，参与激光转换的被激发的能级就能越完全地通过邻近的能级得到再次补充并且第二激光脉冲就越强地被放大。
另一方面，撞击到液滴上的叠加的激光脉冲的节拍由液滴源的节拍预先规定。由于放大器中还必须存在对于下一个由第一激光脉冲和第二激光脉冲构成的脉冲序列再次足够的能量，因此第一激光脉冲与第二激光脉冲之间存在最大的时间间隔，自该最大的时间间隔起——与液滴源的节拍速率相关地——后续的脉冲序列无法再被最佳地放大。
通过上述数值确保了不仅是由第一激光脉冲和第二激光脉冲构成的后续的脉冲序列、而且所考虑的脉冲序列中的第二激光脉冲都可以在介于10kHz与500kHz之间的、尤其是介于20kHz与200kHz之间的、特别优选介于30kHz与100kHz的预先规定的节拍速率下被放大。
通过上述数值还考虑到将第二激光脉冲需经过的延迟路径的长度设定为在技术上的合理的值(例如介于3m与450m之间)。
放大器装置优选地被设计为放大器链的形式。由此可以实现特别高效的激光脉冲放大。
激光源和放大器装置优选是CO2激光器或CO2放大器。
激光脉冲的划分优选利用二向色镜来进行。当激光脉冲在其波长方面不同时，这样做是优选的。替代于此，也可以使用偏振镜进行划分。当激光脉冲在其偏振方面不同时，这样做是优选的。
延迟装置优选地被设计为延迟路径的形式。延迟路径在此可以具有多个反射的光学元件。由此可以以结构简单的方式方法实现延迟。
激光脉冲在延迟装置后进行的组合优选利用二向色镜来进行。当激光脉冲在其波长方面不同时，这样做是优选的。替代于此，也可以利用偏振镜进行组合。
进一步优选地，组合的激光脉冲被用于产生EUV辐射。
根据本发明的目的还通过一种用于产生激光脉冲的设备、尤其是用于执行本文所述方法的设备来实现，该设备具有以下特征：
a)用于产生第一激光脉冲和第二激光脉冲的至少一个激光源，其中，该至少一个激光源被设计成用于产生具有不同射束特性的第一激光脉冲和第二激光脉冲，或者该设备被设计成用于给第二激光脉冲赋予不同于第一激光脉冲的至少一个射束特性；
b)用于放大第一激光脉冲和在至少一个射束特性方面不同于第一激光脉冲的第二激光脉冲的光学放大器装置，其中，该放大器装置被配置成用于被第二激光脉冲与第一激光脉冲有时间偏移地经过；
c)用于根据至少一个射束特性将第一激光脉冲与第二激光脉冲分开的分离装置；
d)用于第一激光脉冲的延迟装置，其中，延迟相当于第二激光脉冲与第一激光脉冲的间隔；
e)用于将第一激光脉冲和第二激光脉冲叠加成叠加的激光脉冲的叠加装置。
第一激光脉冲和第二激光脉冲的产生可以在不同的激光源中进行。该设备可以包括控制单元，该控制单元被设计成用于控制激光源，使得第一激光脉冲与第二激光脉冲在叠加装置中叠加成叠加的激光脉冲。
放大器装置优选地被设计为放大器链的形式，尤其是由CO2放大器构成。
分离装置和/或叠加装置可以被设计为二向色镜的形式。替代于此，叠加装置可以被设计为偏振镜的形式。
延迟装置可以被设计为延迟路径的形式。
进一步优选地，输出装置可以具有EUV产生装置。EUV产生装置在此具有上述用于产生叠加的激光脉冲的特征。叠加的激光脉冲优选对准能在EUV产生装置(“EUV设施”)中产生的、尤其呈锡液滴形式的靶材。然后，在靶材中可以形成等离子体，该等离子体发射EUV辐射。EUV产生装置可以具有：真空室，在该真空室中可以借助靶材源将靶材引入到目标区域中；用于将叠加的激光脉冲聚焦在目标区域中的聚焦单元；以及用于将叠加的激光脉冲引导至聚焦单元的射束引导装置。
本发明的其他优点从说明书和附图得出。同样，上述以及还将进一步阐述的特征可以根据本发明各自单独地或多个任意组合地使用。所示出的和所描述的实施方式不应理解为穷尽的列举，而是更确切地说对于解说本发明而言具有示例性特征。
附图说明
图1示意性地示出用于根据本发明产生激光脉冲的设备和方法。
图2a至图2c示意性地示出本发明的物理背景。
具体实施方式
图1示出了根据本发明的用于执行根据本发明的方法12的设备10。
在此，在这里呈种子源形式的激光源14中产生第一激光脉冲16a、16b和第二激光脉冲18a、18b。第一激光脉冲16a、b与第二激光脉冲18a、b尤其是在其激光辐射的波长和/或偏振方面不同。
激光脉冲16a、b、18a、b在这里呈放大器链形式的光学放大器装置20中被放大。
根据本发明，将不同的激光脉冲16a、b、18a、b导入到放大器装置20中，这些激光脉冲尤其能通过利用来自相邻的能级的能量被快速、相继地放大。激光脉冲16a、b、18a、b的区别可以有助于第一激光脉冲16a、b与第二激光脉冲18a、b之间的时间间隔不受能级补充的限制。
第一激光脉冲16a、b与第二激光脉冲18a、b之间的时间间隔A尤其是相同的。该时间间隔优选介于10ns与1500ns之间。
在放大器装置20之后，激光脉冲16a、b、18a、b经过在此呈二向色镜或偏振镜形式的分离装置22，在所述分离装置中这些激光脉冲根据它们的波长或偏振而彼此分开。
然后，第一激光脉冲16a、b经过在此呈延迟路径形式的延迟装置24。第二激光脉冲18a、b不经过延迟装置24。由于第一激光脉冲16aq、b经过延迟装置24，因此第一激光脉冲16a、b可以与第二激光脉冲18a、b在时间上叠加。在相应的第一激光脉冲16a、b与相应的第二激光脉冲18a、b之间的示例性间隔A为100ns的情况下，空气中的延迟路径具有约30m的长度。为了使延迟装置24设计得紧凑，该延迟装置可以具有多个偏转镜26a、26b、26c、26d。
设备10具有在此呈二向色镜或偏振镜形式的叠加装置28。基于延迟装置24使得相应的第一激光脉冲16a、b与相应的第二激光脉冲18a、b在叠加装置28中相组合，形成叠加的激光脉冲30a、30b。
叠加的激光脉冲30a、b在输出装置32中输出。在当前情况下，输出装置32具有极紫外(EUV)光产生装置34。在EUV光产生装置34中，在尤其是呈锡液滴形式的靶材36中产生用于输出EUV辐射38的等离子体。
EUV光产生装置34在此具有射束引导装置40和聚焦单元42。聚焦单元42用于将叠加的激光脉冲30a、b聚焦在目标区域44中，靶材36被引入该目标区域。在用激光脉冲30a、b进行照射的情况下，靶材36转变到等离子体态并在此发射EUV辐射38，该EUV辐射借助收集镜46被收集。
在所示的示例中，收集镜46具有用于供激光脉冲30a、b通过的开口，并且聚焦单元42将其中布置有靶材36的真空室48与射束引导装置40分开。
下面将结合图2a至图2c描述本发明的物理背景：
图2a示例性地示出了短的矩形脉冲16a，该短的矩形脉冲被设置成用于在放大装置20中放大。矩形脉冲16a的功率在此足以使放大器20的被激发的能级由于受激发射而完全清空，也就是说，放大器20在饱和状态下运行。矩形脉冲16a短到使得这些能级在脉冲持续时间内无法或几乎不能通过未参与激光转换的邻近的能级得到再次补充。
矩形脉冲16a在放大器20中被放大；形成了放大的脉冲16b。该放大的脉冲的脉冲功率几乎竖直上升，然后首先陡然下降，然后缓慢下降，最后几乎竖直下降。因此，脉冲16a的前部已经使放大器20达到饱和，因此几乎不会再有剩余的功率可供脉冲的后部使用。脉冲功率几乎竖直上升和下降在此归因于所输入的脉冲16a的矩形形状。
在图2b中示出了较长的矩形脉冲16a，该矩形脉冲被设置成用于在放大器20中放大。矩形脉冲16a的功率足以使参与激光转换的被激发的能级由于受激发射而完全清空。该矩形脉冲16a长到使得这些能级可以在其持续时间内通过邻近的能级得到再次补充。所形成的放大的长脉冲16b的脉冲功率在该情况下由于所输入的矩形脉冲16a的脉冲功率同样陡然上升而几乎竖直上升，然后首先陡然下降，然后在比图2a的脉冲16b的情况下明显更长的时间段内缓慢下降。
由于所输入的矩形脉冲16a的脉冲功率陡然下降，因此脉冲功率再次几乎竖直下降。虽然脉冲16a的前部使放大器饱和，但被清空的能级随后被邻近的能级再次补充。
在图2c中示出了具有时间间隔的两个短的矩形脉冲16a、18a。这些短的矩形脉冲以时间间隔A被导入同一放大器20中，参与激光转换的被激发的能级在该时间间隔内从邻近的能级部分地得到再次补充。矩形脉冲16a、18a在被放大之前具有相同的最大功率。现在，第二矩形脉冲18a的放大程度不及第一矩形脉冲16a。在这两个矩形脉冲16a、18a经过(一个或多个)放大器20后，它们在叠加装置28中叠加。所得到的叠加的脉冲30a的脉冲形状和脉冲持续时间基本上相当于这两个经放大的短脉冲16b、18b的脉冲形状和脉冲持续时间。然而，叠加的脉冲30a的最大功率或其能量高达叠加前单个脉冲16b、18b的功率或能量的两倍。
短的矩形脉冲16a、16b、18a、18b的脉冲持续时间典型地为50ns；长的矩形脉冲16a、16b、18a、18b的脉冲持续时间典型地为500ns。这两个矩形脉冲16a、16b、18a、18b之间的时间间隔典型地为100ns。经放大的脉冲16b、18b的脉冲持续时间大致相当于尚未放大的脉冲16a、18a的脉冲持续时间。
总之，参照附图，本发明涉及一种用于产生叠加的激光脉冲30a、b的方法12，这些叠加的激光脉冲分别至少由第一激光脉冲16a、b和第二激光脉冲18a、b组成。第一激光脉冲和第二激光脉冲16a、b、18a、b以不同特性放大。放大后，第一激光脉冲16a、b相对于第二激光脉冲18a、b有延迟，以便使第一激光脉冲与第二激光脉冲18a、b叠加。叠加的激光脉冲30a、b优选被用于产生极紫外(EUV)辐射38。本发明还涉及一种用于产生叠加的激光脉冲30a、b的设备10。
附图标记清单
10 设备
12 方法
14 激光源
16a、b第一激光脉冲
18a、b第二激光脉冲
20 光学放大器装置
22 分离装置
24 延迟装置
26a-d偏转镜
28叠加装置
30a、b叠加的激光脉冲
32 输出装置
34 极紫外(EUV)光产生装置
36 靶材
38 极紫外(EUV)辐射
40 射束引导装置
42 聚焦单元
44 目标区域
46 收集镜
48 真空室
A 第一激光脉冲16a、b与第二激光脉冲18a、b之间的间隔

Claims (16)

1.一种用于产生激光脉冲(30a，b)的方法(12)，所述方法具有以下方法步骤：
A)在至少一个激光源(14)中产生第一激光脉冲(16a，b)和第二激光脉冲(18a，b)；
B)在放大器装置(20)中放大所述第一激光脉冲(16a，b)和所述第二激光脉冲(18a，b)，其中，所述第二激光脉冲(18a，b)分别与相应的第一激光脉冲(16a，b)有时间偏移地经过所述放大器装置(20)；
C)在分离装置(22)中根据至少一个射束特性将所述第一激光脉冲(16a，b)与所述第二激光脉冲(18a，b)分离，在所述至少一个射束特性方面，所述第一激光脉冲(16a，b)与所述第二激光脉冲(18a，b)不同；
D)使所述第一激光脉冲(16a，b)经过延迟装置(24)，其中，相应的第一激光脉冲(16a，b)经过延迟路径所需的时间相当于与相应的第二激光脉冲(18a，b)的时间偏移，其中，所述第二激光脉冲(18a，b)不经过所述延迟装置(24)；
E)在叠加装置(28)中将所述第一激光脉冲(16a，b)与所述第二激光脉冲(18a，b)叠加成叠加的激光脉冲(30a，b)。
2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第一激光脉冲(16a，b)与所述第二激光脉冲(18a，b)在它们的波长和/或它们的偏振方面不同。
3.根据权利要求1或2所述的方法，其中，在方法步骤A)中，所述第二激光脉冲(18a，b)的产生分别与相应的第一激光脉冲(16a，b)的产生有时间偏移。
4.根据前述权利要求之一所述的方法，其中，所述第一激光脉冲(16a，b)在第一激光源中产生，并且所述第二激光脉冲(18a，b)在第二激光源中产生。
5.根据前述权利要求之一所述的方法，其中，所述第一激光脉冲和/或所述第二激光脉冲(18a，b)具有的脉冲持续时间介于10ns至200ns之间，优选介于20ns至100ns之间。
6.根据前述权利要求之一所述的方法，其中，在方法步骤A)中产生的第二激光脉冲(18a，b)与在方法步骤A)中产生的第一激光脉冲(16a，b)的间隔介于10ns至1500ns之间，尤其是介于50ns至1000ns之间，特别优选介于80ns至500ns之间。
7.根据前述权利要求之一所述的方法，其中，在方法步骤B)中的所述放大器装置(20)被设计为放大器链的形式。
8.根据前述权利要求之一所述的方法，其中，在方法步骤C)中执行的对所述第一激光脉冲(16a，b)和所述第二激光脉冲(18a，b)的划分利用二向色镜或偏振镜进行。
9.根据前述权利要求之一所述的方法，其中，在方法步骤D)中使用的所述延迟装置(24)具有延迟路径。
10.根据前述权利要求之一所述的方法，其中，在方法步骤E)中所述第一激光脉冲(16a，b)与所述第二激光脉冲(18a，b)的组合通过二向色镜或偏振镜进行。
11.根据前述权利要求之一所述的方法，其中，所述激光脉冲(30a，b)被用于产生EUV辐射(38)。
12.一种用于产生激光脉冲(30a，b)、尤其是用于执行根据前述权利要求之一所述的方法(12)的设备(10)，所述设备具有以下特征：
a)用于产生第一激光脉冲和第二激光脉冲(16a，b，18a，b)的至少一个激光源(14)，其中，所述至少一个激光源(14)被设计成用于产生具有不同射束特性的第一激光脉冲和第二激光脉冲(16a，b，18a，b)，或者所述设备(10)被设计成用于给所述第二激光脉冲(18a，b)赋予不同于所述第一激光脉冲(16a，b)的至少一个射束特性；
b)光学放大器装置(20)，用于放大所述第一激光脉冲(16a，b)和在至少一个射束特性方面与所述第一激光脉冲(16a，b)不同的所述第二激光脉冲(18a，b)，其中，所述放大器装置(20)被配置成用于被所述第二激光脉冲(18a，b)与相应的第一激光脉冲(16a，b)有时间偏移地经过；
c)用于将所述第一激光脉冲(16a，b)与所述第二激光脉冲(18a，b)分离的分离装置(22)；
d)用于所述第一激光脉冲(16a，b)的延迟装置(24)；
e)用于将所述第一激光脉冲(16a，b)与所述第二激光脉冲(18a，b)叠加成叠加的激光脉冲(30a，b)的叠加装置(28)。
13.根据权利要求12所述的设备，其中，所述放大器装置(20)被设计为放大器链的形式，尤其是由CO2放大器构成。
14.根据权利要求12或13所述的设备，其中，所述分离装置(22)和/或所述叠加装置(28)被设计为二向色镜或偏振镜的形式。
15.根据权利要求12至14之一所述的设备，其中，所述延迟装置(24)具有延迟路径。
16.一种EUV产生设备(34)，所述EUV产生设备具有：根据权利要求12至15之一所述的用于产生激光脉冲(30a，b)的设备；真空室(48)，在所述真空室中能够将靶材(36)引入到目标区域(44)中；聚焦单元(42)，用于将叠加的激光脉冲(30a，b)聚焦在所述目标区域(44)中，用以产生EUV辐射(38)；以及用于将所述叠加的激光脉冲(30a，b)引导至所述聚焦单元(42)的射束引导装置(40)。
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