CN118076921A - 具有包含斜表面的闩锁的光罩盒 - Google Patents

Abstract

光罩盒包含介接表面以使所述光罩盒的段彼此固定。所述介接表面中的至少一者是斜表面，使得当所述光罩盒彼此固定时，光罩被夹持在设置于所述光罩盒的所述段上的光罩接触件之间。当所述光罩盒经组装且装纳光罩时，可在所述光罩盒中形成冲洗气体流动通道。所述光罩接触件的高度及所述光罩的厚度可使得所述光罩盒段彼此隔开一间隙，其中所述间隙提供所述冲洗气体流动通道。所述光罩盒可为用于光罩的运送及存储的储料盒。

Description

具有包含斜表面的闩锁的光罩盒

优先权

本公开主张2021年9月9日申请的第63/242,305号美国临时专利的优先权，所述美国临时专利的全部内容以引用方式并入。

技术领域

本公开涉及用于光罩的存储及/或运送的盒，特定来说，包含具有包含斜表面的介接表面的盒段的盒。

背景技术

光罩通常在包含内盒及外盒的光罩盒中被运送、处理及存储。内盒经配置使得其可在光罩的处理期间使用，例如在例如极紫外(EUV)过程的光刻中使用。内盒的使其适合于在光罩处理(例如滤光器、密封的形成)中使用的特征部及/或内盒的其它特征部可使内盒更复杂及昂贵，且较不适合于光罩的存储。

发明内容

本公开涉及用于光罩的存储及/或运送的盒，特定来说，包含具有包含斜表面的介接表面的盒段的盒。

光罩盒可使用包含至少一个斜表面的介接表面来提供夹持力以闭合所述盒且夹持装纳在其中的光罩。可通过分别设置于第一及第二段上的第一及第二斜表面的接口将光罩盒固持在一起。斜表面的接口可将第一及第二段固持在一起，使得其在设置于第一及第二段中的每一者中的光罩接触件处夹持光罩，使得光罩被固定在形成在储料盒内的光罩容纳空间内。此可改进光罩的夹持，从而即使在光罩盒的移动或冲击事件(例如光罩盒被撞击或掉落)期间仍固定光罩。

光罩盒可为储料盒。储料盒可通过比传统光罩盒体积小而容许更高存储密度，且可通过仅包含涉及光罩存储的特征部而非用于光罩处理的特征部(例如滤光器、盒的密封或类似物)而具有降低的成本。储料盒可包含一或多个流动路径，其可容许冲洗气体流动通过储料盒以排出氧气、水、颗粒物质、其它污染物或类似物以保护所装纳的光罩，且因此改进总体过程产量。流动路径可为光罩盒的段之间的间隙。可在储料盒容器中使用多个光罩盒来存储数个光罩，其中储料盒容器提供适合于光罩的存储的环境，例如，包含通过储料盒的冲洗气体流。

在实施例中，一种物品包含光罩盒。所述光罩盒包含第一光罩盒段，其中所述第一光罩盒包含多个第一光罩接触件及多个闩锁，且所述多个闩锁中的每一者包含第一接口表面。所述光罩盒进一步包含第二光罩盒段，所述第二光罩盒段包含多个第二光罩接触件及多个第二接口表面。所述多个闩锁的所述第一接口表面中的每一者经配置以当所述第一接口表面处于闩锁位置时接触所述多个第二接口表面中的一者。所述第一接口表面及所述第二接口表面中的一者或两者是斜表面。所述光罩盒经配置以将光罩容纳在光罩容纳空间中，使得当所述光罩位于所述光罩容纳空间内且所述第一接口表面接触所述第二接口表面时，由所述多个第一光罩接触件及所述多个第二光罩接触件夹持所述光罩。

在实施例中，当所述光罩由所述多个第一光罩接触件及所述多个第二光罩接触件接触时，所述光罩盒界定从所述光罩盒的外部通过所述光罩空间的冲洗气体流动路径。在实施例中，所述冲洗气体流动路径由所述第一光罩盒段与所述第二光罩盒段之间的间隙形成。在实施例中，所述间隙在从0.5到6毫米(mm)的范围内。在实施例中，所述间隙由所述多个第一光罩接触件及所述多个第二光罩接触件中的每一者的高度及所述光罩的厚度形成。

在实施例中，所述第一光罩盒段及所述第二光罩盒段中的至少一者包含多个光罩接触凸台，且其中所述第一多个光罩接触件中的至少一些或所述第二多个光罩接触件中的至少一些部分安置在所述多个光罩接触凸台中。

在实施例中，所述多个第一光罩接触件及所述多个第二光罩接触件包含聚醚醚酮(PEEK)材料。

在实施例中，所述第一光罩盒段及所述第二光罩盒段中的至少一者包含铝。

在实施例中，所述第一接口表面及所述第二接口表面两者为斜表面。

在实施例中，所述第二接口表面中的每一者安置在所述第二光罩盒段的外表面上。在实施例中，开口设置于所述第二光罩盒段上，所述开口经配置以容许包含所述第一接口表面的闩锁部件本体的部分通过所述开口，且其中所述开口邻近于所述第二接口表面中的每一者定位。

在实施例中，所述第二接口表面中的每一者安置在凸缘上，每一凸缘在组装所述光罩盒时突出朝向所述第一光罩盒段。

在实施例中，所述闩锁中的每一者包含：通道；闩锁部件本体，其经配置以可在所述通道内移动，所述闩锁部件本体包含所述多个第一接口表面中的一者；及弹簧，所述弹簧经配置以沿着所述通道驱动所述闩锁部件本体，使得所述闩锁部件本体被驱动朝向所述闩锁位置。在实施例中，选择所述第一接口表面中的每一者及所述第二接口表面中的每一者的角度及所述第一接口表面中的每一者及所述第二接口表面中的每一者的摩擦系数，使得当所述第一接口表面接触所述第二接口表面时，闩锁主体阻挡从所述闩锁位置退出。在实施例中，所述第一接口表面中的每一者及所述第二接口表面中的每一者的角度是30°或更小。

在实施例中，一种存储光罩的方法包含将所述光罩放置到光罩盒中。所述光罩盒包含第一光罩盒段，其中所述第一光罩盒包含多个第一光罩接触件及多个闩锁，且所述多个闩锁中的每一者包含第一接口表面。所述光罩盒进一步包含第二光罩盒段，所述第二光罩盒段包含多个第二光罩接触件及多个第二接口表面。所述多个闩锁的所述第一接口表面中的每一者经配置以当所述第一接口表面处于闩锁位置时接触所述多个第二接口表面中的一者。所述第一接口表面及所述第二接口表面中的一者或两者是斜表面。所述光罩盒经配置以将光罩容纳在光罩容纳空间中，使得当所述光罩位于所述光罩容纳空间内且所述第一接口表面接触所述第二接口表面时，由所述多个第一光罩接触件及所述多个第二光罩接触件夹持所述光罩。

在实施例中，当所述光罩由所述多个第一光罩接触件及所述多个第二光罩接触件接触时，所述光罩盒界定从所述光罩盒的外部通过所述光罩空间的冲洗气体流动路径，且其中所述方法进一步包括提供通过所述冲洗气体流动路径的冲洗气体流。

在实施例中，所述闩锁中的每一者包含：通道；闩锁部件本体，其经配置以可在所述通道内移动，所述闩锁部件本体包含所述多个第一接口表面中的一者；及弹簧，所述弹簧经配置以沿着所述通道驱动所述闩锁部件本体，使得所述闩锁部件本体被驱动朝向所述闩锁位置。将所述光罩放置到所述物品中包含：将所述闩锁部件本体中的每一者牵引到解锁位置中；将所述第一光罩盒段及所述第二光罩盒段带到一起，使得所述光罩由所述多个第一光罩接触件及所述多个第二光罩接触件接触；及释放所述闩锁部件本体中的每一者，使得所述弹簧可将所述闩锁部件本体驱动到所述闩锁位置。

在实施例中，一种光罩存储系统包含：盒容器；冲洗气体供应器；及多个光罩盒，其各自经配置以装纳在所述盒容器内。每一光罩盒包含第一光罩盒段，其中所述第一光罩盒包含多个第一光罩接触件及多个闩锁，且所述多个闩锁中的每一者包含第一接口表面。所述光罩盒进一步包含第二光罩盒段，所述第二光罩盒段包含多个第二光罩接触件及多个第二接口表面。所述多个闩锁的所述第一接口表面中的每一者经配置以当所述第一接口表面处于闩锁位置时接触所述多个第二接口表面中的一者。所述第一接口表面及所述第二接口表面中的一者或两者是斜表面。所述光罩盒经配置以将光罩容纳在光罩容纳空间中，使得当所述光罩位于所述光罩容纳空间内且所述第一接口表面接触所述第二接口表面时，由所述多个第一光罩接触件及所述多个第二光罩接触件夹持所述光罩。

附图说明

图1展示根据实施例的光罩盒的剖面图。

图2展示根据实施例的光罩盒的透视图。

图3展示根据实施例的光罩盒的仰视图。

图4展示根据实施例的光罩盒的侧视图。

图5展示根据实施例的光罩存储系统的示意图。

图6展示根据实施例的光罩盒的剖面图。

具体实施方式

本公开涉及用于光罩的存储及/或运送的盒，特定来说，包含具有包含斜表面的介接表面的盒段的盒。

图1展示根据实施例的光罩盒的剖面图。光罩盒100包含第一光罩盒段102及第二光罩盒段104。第一光罩盒段102包含闩锁106。闩锁106包含通道108、弹簧110及闩锁主体112。闩锁主体112包含凸缘114及第一接口表面116。第二光罩盒段104包含凸台118及光罩接触件120。第二光罩盒段104进一步包含第二接口表面122。第二光罩盒段104可包含靠近或邻近于第二接口表面122定位的开口124。光罩126可装纳在由第一光罩盒段102及第二光罩盒段104形成的光罩容纳空间128中。间隙130可形成在第一光罩盒段102与第二光罩盒段104之间。

光罩盒100是用于光罩(例如光罩126)的存储的盒。光罩盒100可为包含在光罩存储系统中的多个储料盒中的一者，如下文描述及图5中展示。在实施例中，当光罩126装纳在光罩盒100内时，光罩盒100未形成密封。在实施例中，光罩盒100不包含滤光器或可包含在光罩盒中的用于光罩处理(例如光刻，包含(作为非限制性实例)极紫外(EUV)处理)的其它此类特征部。在实施例中，光罩盒100包含滤光器及/或用于处理光罩的盒的任何其它适合特征部。

第一光罩盒段102是光罩盒100的段，所述段经配置以在接合到第二光罩盒段104时界定光罩容纳空间128。在实施例中，第一光罩盒段102形成光罩盒100的下部分，从而用作光罩盒100的底板。在实施例中，第一光罩盒段102形成光罩盒100的上部分，从而用作光罩盒100中的盖。在实施例中，第一光罩盒段102可主要由铝制成。

闩锁106提供第一接口表面116，使得第一接口表面116可接触设置于第二光罩盒段104上的第二接口表面122。闩锁106可经进一步配置以容许第一接口表面116从闩锁位置移动到解锁位置。在闩锁位置中，第一接口表面116接触第二接口表面122。在解锁位置中，第一接口表面116及第二接口表面122未接触。在实施例中，解锁位置可进一步包含定位第一接口表面116，使得第一光罩盒段102及第二光罩盒段104可彼此分离，例如通过定位第一接口表面116，使得其可通过开口124。

在实施例中，闩锁106包含通道108。通道108可经定大小以容纳闩锁主体112的至少一部分。在实施例中，通道108以与第一光罩盒段102的平面同平面的主方向定向。在实施例中，通道108包含槽，凸缘114可延伸通过所述槽朝向第二光罩盒段104。弹簧110可安置在通道108内，弹簧110接触通道108的端及闩锁主体112。在实施例中，闩锁106包含闩锁主体112。闩锁主体112可经配置使得其可被保持在通道108内，使得可通过来自弹簧110的力沿着通道108驱动闩锁主体。闩锁主体112可包含凸缘114，所述凸缘114延伸出通道108以将第一接口表面116放置在接触第二接口表面122的位置中。

闩锁106包含第一接口表面116。第一接口表面116是经配置以接触对应第二接口表面122的倾斜表面。虽然图1中展示仅一个第一接口表面116，但多个第一接口表面116可设置于第一光罩盒段102上。在实施例中，每一第一接口表面116可设置于分开的闩锁106上。在实施例中，多个第一接口表面116可围绕第一光罩盒段102的周长分布。在实施例中，多个第一接口表面116可设置于第一光罩盒段102的相对侧上。闩锁106可经定位及定向，使得闩锁的致动产生第一光罩盒段102到第二光罩盒段104的减小位移或不产生位移。第一接口表面116可经塑形及定位，使得当第一光罩盒段102及第二光罩盒段104环绕光罩126且第一接口表面116处于闩锁位置时，第一接口表面116的至少一部分接触第二接口表面122的至少一部分。在实施例中，第一接口表面116是斜表面，例如，如图1中展示。在实施例中，当第二接口表面122是斜表面时，第一接口表面116可具有除斜表面之外的形状，例如，平坦表面、圆形表面、销或类似物。在实施例中，第一接口表面116及第二接口表面122各自是互补斜表面。第一接口表面116与第二接口表面122的接触可提供将第一光罩盒段102及第二光罩盒段104推向彼此的力，从而将夹持力提供到装纳在光罩盒100内的光罩126。

第二光罩盒段104是光罩盒100的段，所述段经配置以在接合到第一光罩盒段102时界定光罩容纳空间128。在实施例中，第二光罩盒段104形成光罩盒100的上部分，从而用作光罩盒100中的盖。在实施例中，第二光罩盒段104形成光罩盒100的下部分，从而用作光罩盒100的底板。在实施例中，第二光罩盒段104可主要由铝制成。

可在第二光罩盒段104中形成凸台118。可在图1的视图中不可见的第二光罩盒段104的部分中形成额外凸台118。在实施例中，针对包含在第二光罩盒段104中的每一光罩接触件120提供凸台118。凸台118可各自包含用于固定光罩接触件120的一或多个机械特征部。作为非限制性实例，机械特征部可包含光罩接触件120可压入配合到其中的通道。应理解，任何适合机械连接可用于保持光罩接触件120，其中每一凸台118包含对应特征部。在实施例中，代替凸台118，光罩接触件120可装纳在形成在第一光罩盒段102及第二光罩盒段104中的特征部(例如钻孔或类似物)内。应理解，虽然图1展示第二光罩盒段104上的凸台118，但除形成在第二光罩盒段104上的凸台之外或代替所述凸台，实施例还可包含例如第一光罩盒段102上的凸台118的凸台。

光罩接触件120经配置以在组装光罩盒100时接触光罩126。光罩接触件120可通过任何适合机械连接(例如作为非限制性实例，压入配合)固定在凸台118内。光罩接触件120可为设置于第一光罩盒段102及第二光罩盒段104两者上的多个光罩接触件中的一者。当组装光罩盒100时，多个光罩接触件中的至少一些夹持光罩126以将光罩126固定在光罩容纳空间128内。光罩接触件120可由用于接触光罩126的任何适合材料制成。作为非限制性实例，光罩接触件120可包含聚醚醚酮(PEEK)材料，例如纯PEEK或包含填料(例如碳或玻璃纤维)的PEEK。包含光罩接触件120的光罩接触件可经定大小，使得当由光罩接触件夹持光罩126时，第一光罩盒段102及第二光罩盒段104可经固持为彼此分开，从而形成间隙130。

第二接口表面122是经配置以接触第一接口表面116的接口表面。在实施例中，当第一接口表面116是斜表面时，第二接口表面122可具有除斜表面之外的形状，例如，平坦表面、圆形表面、销或类似物。在实施例中，第一接口表面116及第二接口表面122各自是互补斜表面。第二接口表面122可处于第二光罩盒段104上的固定位置。在实施例中，第二接口表面122直接从第二光罩盒段104突出。在实施例中，第二接口表面122由与第二光罩盒段104的本体相同的材料形成。第二接口表面122可经塑形及定位，使得当第一光罩盒段102及第二光罩盒段104环绕光罩126且第一接口表面116处于闩锁位置时，第二接口表面122的至少一部分接触第一接口表面116的至少一部分。在实施例中，第二接口表面122具有与第一接口表面116的角度相同的角度。

在实施例中，可基于第一接口表面116及第二接口表面122的接触表面的摩擦系数来选择第一接口表面116及第二接口表面122的角度以限制或防止第一接口表面从闩锁位置退出。在实施例中，第一接口表面116及/或第二接口表面122的斜表面的角度可为30°或更小。在实施例中，第一接口表面116及/或第二接口表面122的斜表面的角度可为20°或更小。在实施例中，第一接口表面116及/或第二接口表面122的斜表面的角度可为15°或更小。

开口124是形成在第二光罩盒段104中的开口，所述开口经定大小，使得当第一接口表面116处于解锁位置时，包含第一接口表面116的凸缘114的端可通过开口124。开口124可邻近于或靠近第二接口表面122定位，使得当第一接口表面116处于闩锁位置时，例如当由弹簧110沿着通道108驱动闩锁主体112时，第一接口表面116及第二接口表面122可彼此接触。在实施例中，可省略开口124，且凸缘114可向上延伸到第二光罩盒段104的周长之外，其中第一接口表面116安置在凸缘114上，使得其仍可接触第二接口表面122。

光罩126是可存储在光罩盒100内的光罩。光罩126可为任何适合光罩，例如已经受或将经受光刻(例如EUV工艺)的光罩。光罩126可经定大小，使得其配装在光罩容纳空间128内。在实施例中，光罩126的厚度可使得当光罩126被夹持在设置于第一光罩盒段102及第二光罩盒段104上的光罩接触件(包含光罩接触件120)之间时，第一光罩盒段102及第二光罩盒段104彼此隔开以形成间隙130。

光罩容纳空间128可由第一光罩盒段102及第二光罩盒段104界定。光罩容纳空间可经定大小，使得光罩126可夹持在设置于第一光罩盒段102及第二光罩盒段104中的光罩接触件(包含光罩接触件120)之间。当光罩126定位于光罩容纳空间128中时，光罩126可被第一光罩盒段102及第二光罩盒段104环绕，任选地除间隙130或另一冲洗气体流动路径之外。

当光罩126定位于光罩容纳空间128中时，间隙130可在第一光罩盒段102与第二光罩盒段104之间形成。间隙130可形成冲洗气体流动路径的至少部分，从而容许冲洗气体的供应进入光罩容纳空间128，经过光罩126的表面，且离开光罩容纳空间128。冲洗气体可为例如氮气或用于从光罩容纳空间128冲洗污染物的任何其它适合气体。冲洗气体可从任何适合源供应，例如连接到装纳光罩盒100的光罩存储系统的冲洗气体源。在实施例中，间隙130可由光罩126的厚度及光罩接触件(例如光罩接触件120)的厚度形成，使得当由光罩接触件(例如光罩接触件120)夹持光罩126时，存在间隙。在实施例中，仅当光罩126定位于光罩容纳空间128内时，间隙130在第一光罩盒段102与第二光罩盒段104之间形成。在实施例中，间隙130的宽度可介于0.5毫米(mm)与6mm之间。在实施例中，间隙130的宽度可介于1.0mm与3mm之间。在实施例中，间隙130的宽度可介于1.0mm与1.5mm之间。应理解，可基于通过光罩盒100的冲洗气体的所要流动特性来选择间隙130的宽度。

图2展示根据实施例的光罩盒的透视图。光罩盒200包含第一光罩盒段202及第二光罩盒段204。第一光罩盒段202包含闩锁206。闩锁206包含通道(未展示)、闩锁主体208、槽210、突出通过槽210的凸缘212及安置在凸缘212上的第一接口表面214。第二光罩盒段204包含开口216及第二接口表面218。第二光罩盒段204还包含凸台220及光罩接触件222。

光罩盒200是经配置以容纳光罩(例如，如上文论述及图1中展示的光罩126)的盒。光罩盒200可用于光罩的运送及/或存储。在实施例中，光罩盒200是经配置用于光罩的运送及存储的储料盒。

第一光罩盒段202形成光罩盒200的部分。在图2中展示的实施例中，第一光罩盒段202形成光罩盒200的底板。在另一实施例中，第一光罩盒段202可为光罩盒200的盖。第一光罩盒段202包含闩锁206。闩锁206提供用以使第一接口表面214与第二接口表面218接触的机构。闩锁206包含形成在第一光罩盒段中的通道(未展示)。闩锁主体208可主要安置在所述通道中。闩锁主体208可由弹簧(未展示)接触，例如上文描述及图1中展示的弹簧110。闩锁主体208包含凸缘212。可在第一光罩盒段202中形成槽210，槽210经配置以容许凸缘212延伸出通道。当组装光罩盒200时，凸缘212可延伸朝向第二光罩盒段204。虽然在图2中展示的光罩盒200的部分中展示一个闩锁206，但应理解，多个闩锁206及对应开口216及第二接口表面218可设置于光罩盒200上。第一接口表面214设置于凸缘212上。在实施例中，第一接口表面214是斜表面，例如，如图2中展示。在实施例中，当第二接口表面218是斜表面时，第一接口表面214可具有除斜表面之外的形状，例如，平坦表面、圆形表面、销或类似物。在实施例中，第一接口表面214及第二接口表面218各自是互补斜表面。第一接口表面214与第二接口表面218的接触可提供将第一光罩盒段202及第二光罩盒段204推向彼此的力，从而将夹持力提供到装纳在光罩盒200内的光罩。

第二光罩盒段204是光罩盒200的另一组件，其经配置以接合到第一光罩盒段202。在实施例(例如图2中展示的实施例)中，第二光罩盒段204形成光罩盒200的盖。在另一实施例中，第二光罩盒段204形成光罩盒200的底板。第二光罩盒段204包含开口216。虽然展示一个开口216，但应理解，可针对包含在第一光罩盒段202中的每一闩锁206提供开口216。开口216是通过第二光罩盒段204的开口，所述开口经定大小及定位，使得当闩锁206处于解锁位置时且当第一及第二光罩盒段202、204被带到一起时，第一接口表面214及凸缘212的部分可通过开口216。开口216可经定位，使得当闩锁206移动到闩锁位置时，第一接口表面214可接触第二接口表面218。开口216的此一位置可邻近于或接近第二接口表面218。第二接口表面218是经配置以接触第一接口表面214的接口表面。在实施例中，当第一接口表面214是斜表面时，第二接口表面218可具有除斜表面之外的形状，例如，平坦表面、圆形表面、销或类似物。在实施例中，第一接口表面214及第二接口表面218各自是互补斜表面。当第一接口表面214及第二接口表面218彼此接触时，第一接口表面214或第二接口表面218中的任一者或两者的斜表面可提供用于将光罩夹持在光罩盒200内且将第一光罩盒段202保持到第二光罩盒段204的夹持力。

如图2的实施例中展示，第二光罩盒段204可包含凸台220。凸台220可用于保持光罩接触件222。光罩接触件222经配置以接触固持在光罩盒200内的光罩。光罩接触件222可由用于接触光罩的任何适合材料制成。在实施例中，光罩接触件222包含PEEK材料，例如纯PEEK材料或经填充PEEK材料。光罩接触件222可通过用于将光罩接触件222保持在光罩盒200内的任何适合机械连接保持在光罩盒200中。在图2中展示的实施例中，凸台220包含光罩接触件222可压入配合到其中的通道。在实施例中，可从光罩盒200省略凸台220，其中光罩接触件222是通过任何其它适合机械连接固定，其中一个非限制性实例是光罩接触件222压入配合到形成在光罩盒200的部分(例如第二光罩盒段204)中或钻穿所述部分的通道中。虽然图2中展示仅一个凸台220及光罩接触件222，但应理解，第二光罩盒段204可包含多个凸台220及/或光罩接触件222。光罩接触件222还可设置于第一光罩盒段202上。在实施例中，可在第一光罩盒段202及第二光罩盒段204上的对应位置中提供光罩接触件222，使得当组装其内装纳光罩的光罩盒200时，光罩被夹持在光罩接触件222之间。

图3展示根据实施例的光罩盒的仰视图。在图3的仰视图中，可见第一光罩盒段300。第一光罩盒段300包含凸台302及光罩接触件304。第一光罩盒段300还包含闩锁306，所述闩锁306包含通道308、弹簧310及闩锁主体312。闩锁主体312可包含操纵特征部314。

第一光罩盒段300可为光罩盒100或光罩盒200的部分，如上文论述及在图1及2中展示。特定来说，第一光罩盒段300可作为第一光罩盒段102或第一光罩盒段202包含在光罩盒100或光罩盒200中。在图3中展示的实施例中，第一光罩盒段300形成光罩盒(例如光罩盒100或光罩盒200)的底部，如上文论述及在图1及2中展示。

凸台302经配置以保持光罩接触件304。光罩接触件304可通过用于形成机械连接的任何适合特征部保持在凸台302中。作为非限制性实例，机械连接可为光罩接触件304在凸台302内的压入配合。光罩接触件304经配置以接触光罩，例如上文描述及图1中展示的光罩126。光罩可夹持在光罩接触件304与设置于第二光罩盒段上的光罩接触件(例如上文论述及图1中展示的光罩接触件120)之间。在实施例中，代替凸台302，光罩接触件304可装纳在形成在第一光罩盒段300中的特征部(例如钻孔或类似物)内。虽然第一光罩盒段300的区段包含一个凸台302及光罩接触件304，但应理解，多个凸台302及光罩接触件304可被包含在例如第一光罩盒段300的第一光罩盒段中。在实施例中，光罩接触件304是由用于接触光罩的任何适合材料形成或包含任何适合材料，例如PEEK材料，包含纯或经填充PEEK。

闩锁306设置于第一光罩盒段300上。闩锁306可经配置以提供接口表面，例如上文描述及图1中展示的第一接口表面116，使得其可接触设置于第二光罩盒段(未展示)上的第二接口表面，例如上文描述及图1中展示的第二光罩盒段104的第二接口表面122。闩锁306可包含通道308、弹簧310及闩锁主体312。

通道308是形成在第一光罩盒段300中的通道。通道308经定大小，使得闩锁主体312可保持在通道308内且沿着通道308滑动。

弹簧310可安置在通道308中，从而接触通道308的端及闩锁主体312，使得弹簧310可沿着通道308驱动闩锁主体312。闩锁主体312可经定大小以至少部分定位于通道308内，使得闩锁主体312可沿着通道308在闩锁位置与解锁位置之间滑动。闩锁主体312可包含接口表面(未展示)，例如上文描述及图1中展示的第一接口表面116。在实施例中，闩锁主体312可包含凸缘，例如上文描述及图1中展示的凸缘114。

可在闩锁主体312中形成操纵特征部314以容许与闩锁主体312的机械接口，使得闩锁主体312可移动到例如解锁位置中。在实施例中，操纵特征部314可为来自闩锁主体的突出部，例如钉、柱或类似物。在实施例中，操纵特征部314可为形成在闩锁主体312中的凹槽，例如钻孔开口。操纵特征部可与操作自动化装置(未展示)的部分啮合，例如装载端口处或附近的特征部。操作自动化装置可将闩锁主体312移动到用于组装或敞开包含第一光罩盒段300的光罩盒的适合位置。例如，操作自动化装置可将闩锁主体移动到解锁位置以容许组装或敞开光罩盒。

图4展示根据实施例的光罩盒的侧视图。光罩盒400包含第一光罩盒段402及第二光罩盒段404。第一光罩盒段402包含闩锁406，所述闩锁406包含通道408、闩锁主体410及弹簧412。第一接口表面414设置于闩锁主体410上。第二光罩盒段包含凸缘416及设置于凸缘416上的第二接口表面418。闩锁406进一步包含开口420。

光罩盒400是经配置以容纳光罩的盒。光罩盒400可为用于光罩的存储及/或运送的储料盒。在实施例中，光罩盒400可提供冲洗气体流动路径，例如间隙，例如上文描述及图1中展示的间隙130。

第一光罩盒段402是光罩盒400的一个部分。在实施例(例如图4中展示的实施例)中，第一光罩盒段402用作光罩盒400的底板。在另一实施例中，第一光罩盒段402用作光罩盒400的盖。第一光罩盒段包含闩锁406。闩锁406包含经配置以容纳闩锁主体410的通道408。闩锁主体410由弹簧412接触，使得弹簧412可将闩锁主体410推向闩锁位置。在实施例中，闩锁主体410可包含操纵特征部，例如上文论述及图3中展示的操纵特征部314。闩锁主体410包含第一接口表面414。第一接口表面414是经配置以接触第二接口表面418以将光罩盒400固定在一起且将光罩夹持在光罩盒400内的表面。在实施例中，第一接口表面414是斜表面，如图4中展示。在实施例中，当第二接口表面418是斜表面时，第一接口表面可具有用于接触第二接口表面418的斜表面的任何适合形状，包含斜表面、平坦表面、弯曲表面、销或类似物。在光罩盒400中，第一接口表面414或第二接口表面418中的至少一者是斜表面。在实施例中，例如图4中展示，第一接口表面414及第二接口表面418中的每一者是斜表面。

第二光罩盒段404是光罩盒400的另一部分。在实施例(例如图4中展示的实施例)中，第二光罩盒段404用作光罩盒400的盖。在另一实施例中，第二光罩盒段404用作光罩盒400的底板。第二光罩盒段404包含凸缘416。当组装光罩盒400时，凸缘416在第二光罩盒段404的面向第一光罩盒段402的侧上从第二光罩盒段404突出。凸缘416容许第二接口表面418设置于当第二光罩盒段404接合到第一光罩盒段402时其可插入到闩锁406中的位置中。第二接口表面418是经配置以接触第一接口表面414的表面。在实施例中，第二接口表面418是斜表面。在其中第一接口表面414是斜表面的实施例中，第二接口表面可具有用于接触第一接口表面414的斜表面的任何适合形状，包含斜表面、平坦表面、弯曲表面、销或类似物。在光罩盒400中，第一接口表面414或第二接口表面418中的至少一者是斜表面。在实施例中，例如图4中展示，第一接口表面414及第二接口表面418中的每一者是斜表面。虽然图4展示一组第一接口表面414及第二接口表面418，但应理解，多组对应第一接口表面414及第二接口表面418可设置于光罩盒400上，例如，围绕第一及第二光罩盒段402、404的周长或沿着其特定侧分布。

开口420是容许第二接口表面418及凸缘416的至少一部分插入到通道408中使得可使第一接口表面414与第二接口表面418接触的开口。为了闭合及闩锁光罩盒，将闩锁主体410移动到解锁位置，将第二接口表面418插入开口420中，且释放闩锁主体410，使得弹簧412可沿着通道408驱动闩锁主体410。第一接口表面414及第二接口表面418彼此啮合，其中第一接口表面414或第二接口表面418中的至少一者的斜表面提供将第一光罩盒段402及第二光罩盒段404夹持在一起的力。

图5展示根据实施例的光罩存储系统的示意图。光罩存储系统500包含储料盒容器502、冲洗气体源504及多个光罩盒506。任选地，光罩存储系统500可进一步包含光罩传送自动化系统508。

光罩存储系统500可用于存储光罩，例如在例如光刻的处理之后。可对已存储或将存储在光罩存储系统500中的光罩执行的处理的非限制性实例包含EUV处理。光罩存储系统包含储料盒容器。储料盒容器502经定大小，使得其可容纳多个光罩盒506。储料盒容器502可经配置使得其在光罩存储系统500内的光罩的存储的至少一部分期间被密封。在实施例中，冲洗气体源504可连接到储料盒容器502。冲洗气体源504可经配置以将冲洗气体供应到储料盒容器的内部。冲洗气体源504可为用于通过驱除氧气、水分、颗粒物质、任何其它污染物或类似物而从储料盒容器冲洗此类污染物的任何适合气体。作为非限制性实例，冲洗气体可为氮气。作为非限制性实例，冲洗气体源504可为装纳冲洗气体的罐、到半导体制造操作的冲洗系统的连接或类似物。

光罩存储系统500包含多个光罩盒506。光罩盒506可为根据本文中描述的光罩盒506的任何实施例。光罩盒506各自可用于存储一个光罩。

在实施例中，光罩传送自动化系统508可包含在光罩存储系统500中。在实施例中，光罩传送自动化系统508定位于储料盒容器502内。光罩传送自动化系统508可经配置以例如在例如上文描述及图3中展示的操纵特征部314的特征部处与光罩盒506介接以敞开及闭合光罩盒。光罩传送自动化系统508可经进一步配置以接纳光罩盒510，例如EUV盒，且将光罩从光罩盒510传送到光罩盒506，或反之亦然。在实施例中，光罩盒510可为包含外盒及内盒的完整光罩盒。在实施例中，光罩盒510可仅为内盒。在实施例中，光罩传送自动化系统508可经配置以从储料盒容器502内取回光罩盒506。

图6展示根据实施例的光罩盒的剖面图。光罩盒600包含第一光罩盒段602及第二光罩盒段604。第一光罩盒段602及第二光罩盒段604界定光罩容纳空间606。光罩608可经保持在光罩容纳空间606中。光罩608可通过夹持在设置于第一光罩盒段602上的第一光罩接触件610与设置于第二光罩盒段604上的第二光罩接触件612之间而被固持在适当位置。第一光罩接触件610及第二光罩接触件612可通过设置于第一光罩盒段602及第二光罩盒段604上的第一及第二接口表面(未展示)的接口被驱动朝向彼此。第一及第二接口表面可为上文描述及图1到4中展示的对应第一及第二接口表面中的任一者。光罩接触件610、612的一起驱动可夹持光罩608。在实施例中，第一光罩接触件610及第二光罩接触件612可经定大小及/或定位，使得当光罩608被夹持在第一光罩接触件610与第二光罩接触件612之间时，间隙614在第一光罩盒段602与第二光罩盒段604之间形成。

方面：

应理解，方面1到15中的任一者可与方面16到18或19中的任一者组合。应理解，方面16到18中的任一者可与方面19组合。

方面1.一种物品，其包括：

光罩盒，所述光罩盒包含：

第一光罩盒段，其包含多个第一光罩接触件及多个闩锁，所述多个闩锁中的每一者包含第一接口表面；及

第二光罩盒段，其包含多个第二光罩接触件及多个第二接口表面；

其中所述多个闩锁的所述第一接口表面中的每一者经配置以当所述第一接口表面处于闩锁位置时接触所述多个第二接口表面中的一者；

所述第一接口表面及所述第二接口表面中的一者或两者是斜表面；

所述光罩盒经配置以将光罩容纳在光罩容纳空间中，使得当所述光罩位于所述光罩容纳空间内且所述第一接口表面接触所述第二接口表面时，由所述多个第一光罩接触件及所述多个第二光罩接触件夹持所述光罩。

方面2.根据方面1所述的物品，其中当所述光罩由所述多个第一光罩接触件及所述多个第二光罩接触件接触时，所述光罩盒界定从所述光罩盒的外部通过所述光罩空间的冲洗气体流动路径。

方面3.根据方面2所述的物品，其中所述冲洗气体流动路径由所述第一光罩盒段与所述第二光罩盒段之间的间隙形成。

方面4.根据方面3所述的物品，其中所述间隙在从0.5到6毫米(mm)的范围内。

方面5.根据方面3到4中任一方面所述的物品，其中所述间隙由所述多个第一光罩接触件及所述多个第二光罩接触件中的每一者的高度及所述光罩的厚度形成。

方面6.根据方面1到5中任一方面所述的物品，其中所述第一光罩盒段及所述第二光罩盒段中的至少一者包含多个光罩接触凸台，且其中所述第一多个光罩接触件中的至少一些或所述第二多个光罩接触件中的至少一些部分安置在所述多个光罩接触凸台中。

方面7.根据方面1到6中任一方面所述的物品，其中所述多个第一光罩接触件及所述多个第二光罩接触件包含聚醚醚酮(PEEK)材料。

方面8.根据方面1到7中任一方面所述的物品，其中所述第一光罩盒段及所述第二光罩盒段中的至少一者包含铝。

方面9.根据方面1到8中任一方面所述的物品，其中所述第一接口表面及所述第二接口表面两者是斜表面。

方面10.根据方面1到9中任一方面所述的物品，其中所述第二接口表面中的每一者安置在所述第二光罩盒段的外表面上。

方面11.根据方面10所述的物品，其中开口设置于所述第二光罩盒段上，所述开口经配置以容许包含所述第一接口表面的闩锁部件本体的部分通过所述开口，且其中所述开口邻近于所述第二接口表面中的每一者定位。

方面12.根据方面1到11中任一方面所述的物品，其中所述第二接口表面中的每一者安置在凸缘上，每一凸缘在组装所述光罩盒时突出朝向所述第一光罩盒段。

方面13.根据方面1到12中任一方面所述的物品，其中所述闩锁中的每一者包含：

通道；

闩锁部件本体，其经配置以可在所述通道内移动，所述闩锁部件本体包含所述多个第一接口表面中的一者；及

弹簧，所述弹簧经配置以沿着所述通道驱动所述闩锁部件本体，使得所述闩锁部件本体被驱动朝向所述闩锁位置。

方面14.根据方面13所述的物品，其中选择所述第一接口表面中的每一者及所述第二接口表面中的每一者的角度及所述第一接口表面中的每一者及所述第二接口表面中的每一者的摩擦系数，使得当所述第一接口表面接触所述第二接口表面时，闩锁主体阻挡从所述闩锁位置退出。

方面15.根据方面13到14中任一方面所述的物品，其中所述第一接口表面中的每一者及所述第二接口表面中的每一者的角度是30°或更小。

方面16.一种存储光罩的方法，其包括将所述光罩放置到光罩盒中，其中所述光罩盒包含：

第一光罩盒段，其包含多个第一光罩接触件及多个闩锁，所述多个闩锁中的每一者包含第一接口表面；及

第二光罩盒段，其包含多个第二光罩接触件及多个第二接口表面；

其中所述多个闩锁的所述第一接口表面中的每一者经配置以当所述第一接口表面处于闩锁位置时接触所述多个第二接口表面中的一者；

所述第一接口表面及所述第二接口表面中的一者或两者是斜表面；

所述光罩盒经配置以将光罩容纳在光罩容纳空间中，使得当所述光罩位于所述光罩容纳空间内且所述第一接口表面接触所述第二接口表面时，由所述多个第一光罩接触件及所述多个第二光罩接触件夹持所述光罩。

方面17.根据方面16所述的方法，其中当所述光罩由所述多个第一光罩接触件及所述多个第二光罩接触件接触时，所述光罩盒界定从所述光罩盒的外部通过所述光罩空间的冲洗气体流动路径，且其中所述方法进一步包括提供通过所述冲洗气体流动路径的冲洗气体流。

方面18.根据方面16到17中任一方面所述的方法，其中所述闩锁中的每一者包含：

通道；

闩锁部件本体，其经配置以可在所述通道内移动，所述闩锁部件本体包含所述多个第一接口表面中的一者；及

弹簧，所述弹簧经配置以沿着所述通道驱动所述闩锁部件本体，使得所述闩锁部件本体被驱动朝向所述闩锁位置；且

其中将所述光罩放置到所述物品中包含：

将所述闩锁部件本体中的每一者牵引到解锁位置中；

将所述第一光罩盒段及所述第二光罩盒段带到一起，使得所述光罩由所述多个第一光罩接触件及所述多个第二光罩接触件接触；及

释放所述闩锁部件本体中的每一者，使得所述弹簧可将所述闩锁部件本体驱动到所述闩锁位置。

方面19.一种光罩存储系统，其包含：

盒容器；

冲洗气体供应器；及

多个光罩盒，其各自经配置以装纳在所述盒容器内，每一光罩盒包含：

第一光罩盒段，其包含多个第一光罩接触件及多个闩锁，所述多个闩锁中的每一者包含第一接口表面；及

第二光罩盒段，其包含多个第二光罩接触件及多个第二接口表面；

其中所述多个闩锁的所述第一接口表面中的每一者经配置以当所述第一接口表面处于闩锁位置时接触所述多个第二接口表面中的一者；

所述第一接口表面及所述第二接口表面中的一者或两者是斜表面；

所述光罩盒经配置以将光罩容纳在光罩容纳空间中，使得当所述光罩位于所述光罩容纳空间内且所述第一接口表面接触所述第二接口表面时，由所述多个第一光罩接触件及所述多个第二光罩接触件夹持所述光罩。

本申请案中所公开的实例在所有方面中待被视为说明性且非限制性的。本发明的范围由所附权利要求书指示而非由前述描述指示；且在所附权利要求书的等效物的含义及范围内的所有改变希望涵括于其中。

Claims (19)

1.一种物品，其包括：

光罩盒，所述光罩盒包含：

第一光罩盒段，其包含多个第一光罩接触件及多个闩锁，所述多个闩锁中的每一者包含第一接口表面；及

第二光罩盒段，其包含多个第二光罩接触件及多个第二接口表面；

其中所述多个闩锁的所述第一接口表面中的每一者经配置以当所述第一接口表面处于闩锁位置时接触所述多个第二接口表面中的一者；

所述第一接口表面及所述第二接口表面中的一者或两者是斜表面；

所述光罩盒经配置以将光罩容纳在光罩容纳空间中，使得当所述光罩位于所述光罩容纳空间内且所述第一接口表面接触所述第二接口表面时，由所述多个第一光罩接触件及所述多个第二光罩接触件夹持所述光罩。

2.根据权利要求1所述的物品，其中当所述光罩由所述多个第一光罩接触件及所述多个第二光罩接触件接触时，所述光罩盒界定从所述光罩垫的外部通过所述光罩空间的冲洗气体流动路径。

3.根据权利要求2所述的物品，其中所述冲洗气体流动路径由所述第一光罩盒段与所述第二光罩盒段之间的间隙形成。

4.根据权利要求3所述的物品，其中所述间隙在从0.5到6毫米(mm)的范围内。

5.根据权利要求3所述的物品，其中所述间隙由所述多个第一光罩接触件及所述多个第二光罩接触件中的每一者的高度及所述光罩的厚度形成。

6.根据权利要求1到5中任一权利要求所述的物品，其中所述第一光罩盒段及所述第二光罩盒段中的至少一者包含多个光罩接触凸台，且其中所述第一多个光罩接触件中的至少一些或所述第二多个光罩接触件中的至少一些部分安置在所述多个光罩接触凸台中。

7.根据权利要求1到6中任一权利要求所述的物品，其中所述多个第一光罩接触件及所述多个第二光罩接触件包含聚醚醚酮(PEEK)材料。

8.根据权利要求1到7中任一权利要求所述的物品，其中所述第一光罩盒段及所述第二光罩盒段中的至少一者包含铝。

9.根据权利要求1到8中任一权利要求所述的物品，其中所述第一接口表面及所述第二接口表面两者是斜表面。

10.根据权利要求1到9中任一权利要求所述的物品，其中所述第二接口表面中的每一者安置在所述第二光罩盒段的外表面上。

11.根据权利要求10所述的物品，其中开口设置于所述第二光罩盒段上，所述开口经配置以容许包含所述第一接口表面的闩锁部件本体的部分通过所述开口，且其中所述开口邻近于所述第二接口表面中的每一者定位。

12.根据权利要求1到11中任一权利要求所述的物品，其中所述第二接口表面中的每一者安置在凸缘上，每一凸缘在组装所述光罩盒时突出朝向所述第一光罩盒段。

13.根据权利要求1到12中任一权利要求所述的物品，其中所述闩锁中的每一者包含：

通道；

闩锁部件本体，其经配置以可在所述通道内移动，所述闩锁部件本体包含所述多个第一接口表面中的一者；及

弹簧，所述弹簧经配置以沿着所述通道驱动所述闩锁部件本体，使得所述闩锁部件本体被驱动朝向所述闩锁位置。

14.根据权利要求13所述的物品，其中选择所述第一接口表面中的每一者及所述第二接口表面中的每一者的角度及所述第一接口表面中的每一者及所述第二接口表面中的每一者的摩擦系数，使得当所述第一接口表面接触所述第二接口表面时，闩锁主体阻挡从所述闩锁位置退出。

15.根据权利要求13所述的物品，其中所述第一接口表面中的每一者及所述第二接口表面中的每一者的角度是30°或更小。

16.一种存储光罩的方法，其包括将所述光罩放置到光罩盒中，其中所述光罩盒包含：

第一光罩盒段，其包含多个第一光罩接触件及多个闩锁，所述多个闩锁中的每一者包含第一接口表面；及

第二光罩盒段，其包含多个第二光罩接触件及多个第二接口表面；

其中所述多个闩锁的所述第一接口表面中的每一者经配置以当所述第一接口表面处于闩锁位置时接触所述多个第二接口表面中的一者；

所述第一接口表面及所述第二接口表面中的一者或两者是斜表面；

所述光罩盒经配置以将光罩容纳在光罩容纳空间中，使得当所述光罩位于所述光罩容纳空间内且所述第一接口表面接触所述第二接口表面时，由所述多个第一光罩接触件及所述多个第二光罩接触件夹持所述光罩。

17.根据权利要求16所述的方法，其中当所述光罩由所述多个第一光罩接触件及所述多个第二光罩接触件接触时，所述光罩盒界定从所述光罩盒的外部通过所述光罩空间的冲洗气体流动路径，且其中所述方法进一步包括提供通过所述冲洗气体流动路径的冲洗气体流。

18.根据权利要求16或17所述的方法，其中所述闩锁中的每一者包含：

通道；

闩锁部件本体，其经配置以可在所述通道内移动，所述闩锁部件本体包含所述多个第一接口表面中的一者；及

弹簧，所述弹簧经配置以沿着所述通道驱动所述闩锁部件本体，使得所述闩锁部件本体被驱动朝向所述闩锁位置；且

其中将所述光罩放置到所述物品中包含：

将所述闩锁部件本体中的每一者牵引到解锁位置中；

将所述第一光罩盒段及所述第二光罩盒段带到一起，使得所述光罩由所述多个第一光罩接触件及所述多个第二光罩接触件接触；及

释放所述闩锁部件本体中的每一者，使得所述弹簧可将所述闩锁部件本体驱动到所述闩锁位置。

19.一种光罩存储系统，其包含：

盒容器；

冲洗气体供应器；及

多个光罩盒，其各自经配置以装纳在所述盒容器内，每一光罩盒包含：

第一光罩盒段，其包含多个第一光罩接触件及多个闩锁，所述多个闩锁中的每一者包含第一接口表面；及

第二光罩盒段，其包含多个第二光罩接触件及多个第二接口表面；

其中所述多个闩锁的所述第一接口表面中的每一者经配置以当所述第一接口表面处于闩锁位置时接触所述多个第二接口表面中的一者；

所述第一接口表面及所述第二接口表面中的一者或两者是斜表面；

所述光罩盒经配置以将光罩容纳在光罩容纳空间中，使得当所述光罩位于所述光罩容纳空间内且所述第一接口表面接触所述第二接口表面时，由所述多个第一光罩接触件及所述多个第二光罩接触件夹持所述光罩。