CN117962252A - 一种裁切模刀具损坏的检测结构 - Google Patents

Abstract

本发明涉及半导体塑封技术领域，公开了一种裁切模刀具损坏的检测结构，包括裁切模具、取料机构和视觉检测组件，裁切模具位于模切工位，取料机构位于模切工位和收料工位之间，取料机构包括夹爪组件，夹爪组件用于将模切完成片材从裁切模具中夹取并向收料工位处输送，视觉检测组件位于模切工位和收料工位之间的检测工位处，且视觉检测组件位于夹爪组件的运输轨迹下方。本发明可以在片材模切完成后运输的过程中进行检测，不占用生产时间，不影响生产效率，无需对刀具进行直接检测，可以进行多位置视觉检测，从而避免单一位置检测而导致的塑封体底部棱边阻挡检测视角的现象，极大的提高了检测精准性。

Description

一种裁切模刀具损坏的检测结构

技术领域

本发明涉及半导体塑封领域，更具体地说，它涉及一种裁切模刀具损坏的检测结构。

背景技术

半导体封装是指将通过测试的晶圆按照产品型号及功能需求加工得到独立芯片的过程。封装过程为：来自晶圆前道工艺的晶圆通过划片工艺后被切割为小的晶片（Die），然后将切割好的晶片用胶水贴装到相应的基板（引线框架）架的小岛上，再利用超细的金属（金锡铜铝）导线或者导电性树脂将晶片的接合焊盘（Bond Pad）连接到基板的相应引脚（Lead），并构成所要求的电路；然后再将基板片材置于注塑模具中进行注塑封装，使各晶片外形成注塑封装体。

在半导体塑封工艺中，经过塑封完基板片材的框架流道位置会有EMC残留在上面，需要将多余的流道上的EMC切掉，以便后续工艺继续进行，这就需要用到裁切模具去进行裁切，但在生产过程中难免会出现刀具损坏，导致产品无法裁切干净，或者造成产品损坏，为了避免出现批量性的不良损失，这就需要快速判别料片状态和模具状态，判断模具刀具是否损坏，而由于裁切刀具的位置限定，以及裁切刀具需要连续工作，因此不易于直接对裁切刀具进行检测，现有技术中通过裁切后的基板上的封装体的裁切后的效果进行检测即可判断刀具是否损坏。

而在裁切废料的过程中，会有部分废料附着在封装体上没有脱离，在后续检测时会影响检测结果，因此，在检测前需要抖动或者使用清洁设备将附着在封装体上的废料清除，但对于一些封装厚度较大，封装体质量较重的半导体而言，封装体在基板上的惯性较大，而基板本身为薄金属板，具有一定的弹性，因此，无论是抖动基板还是使用清洁设备清除封装体外围的碎料，均会带动封装体产生振动，而在检测封装体时，若封装体的振动仍未停止，就会影响对封装体的检测，导致误判。

发明内容

本发明提供一种裁切模刀具损坏的检测结构，解决相关技术中视觉检测模切后产品时片材中塑封体振动导致检测系统图像采集失误的技术问题。

本发明提供了一种裁切模刀具损坏的检测结构，包括裁切模具、取料机构和视觉检测组件，裁切模具位于模切工位，取料机构位于模切工位和收料工位之间，取料机构包括夹爪组件，夹爪组件用于将模切完成片材从裁切模具中夹取并向收料工位处输送，视觉检测组件位于模切工位和收料工位之间的检测工位处，且视觉检测组件位于夹爪组件的运输轨迹下方；

视觉检测组件包括视觉识别相机和光源，光源位于视觉识别相机上方，光源中部设置有镜头孔，视觉识别相机用于对经过检测工位的基板和塑封体进行视觉识别；

夹爪组件中设置有塑封体固定器，塑封体固定器在基板经过检测工位时，对基板上的各塑封体进行固定，避免检测过程中塑封体产生振动。

在一个优选的实施方式中，取料机构还包括横向驱动器和竖向驱动器，竖向驱动器设置在横向驱动器的输出端上，夹爪组件设置在竖向驱动器的输出端上，横向驱动器用于驱动竖向驱动器横向移动，竖向驱动器用于驱动夹爪组件竖向升降运动。

在一个优选的实施方式中，夹爪组件包括夹取座，夹取座的两侧均设置有夹爪，夹爪通过夹爪驱动器与夹取座连接，夹爪驱动器用于驱动两组夹爪相互靠近或相互远离，夹爪组件固定安装在竖向驱动器的输出端上，夹取座的底部设置有定位板，塑封体固定器固定安装在定位板的底部。

在一个优选的实施方式中，塑封体固定器为板状结构，塑封体固定器的底部对应各塑封体的位置处均设置有锥形凸起，锥形凸起的中部设置有负压吸附孔，定位板的内部设置有空腔，负压吸附孔与空腔连通，定位板上设置有抽气管，抽气管与空腔连通，抽气管连接抽气设备，抽气设备通过抽气管对定位板中抽气时在负压吸附孔处形成负压，该负压用于吸附塑封体。

在一个优选的实施方式中，锥形凸起上还设置有吹气孔，吹气孔倾斜设置，且吹气孔对应塑封体的棱边设置，定位板上还设置有吹气管，吹气管与空腔连通，且吹气管连接吹气设备，吹气孔与空腔连通，吹气管和抽气管中均设置有单向阀，吹气孔中设置有逆止组件，吹气孔吹出气流时，其吹出的气流方向经过塑封体的棱边设置，吹气设备连接低温气源，向吹气孔中输送低温气体。

在一个优选的实施方式中，逆止组件包括封堵球，吹气孔由小孔和大孔组成，小孔位于吹气孔靠近空腔的一端，封堵球的直径大于小孔的孔径且小于大孔的孔径，封堵球活动设于大孔的内部，吹气孔吹气时，封堵球离开小孔，吹气孔导通，当空腔中抽气时，封堵球对小孔进行封堵，吹气孔封闭。

在一个优选的实施方式中，大孔的内部安装有圆弧轨迹支撑架，圆弧轨迹支撑架为封堵球提供一个圆弧形运动轨迹，圆弧轨迹支撑架的直径大于封堵球的直径，小孔的中心线偏离圆弧轨迹支撑架的圆心设置。

在一个优选的实施方式中，夹爪的底部设置有托举部，托举部用于对基板边缘的底部进行托举，托举部的顶部设置有夹紧气囊，夹紧气囊连接有驱动气管，驱动气管连接充放气设备，定位板对应夹紧气囊的位置处均设置有柔性垫结构。

在一个优选的实施方式中，视觉检测组件的下方设置有相机驱动组件，视觉检测组件还包括升降座，视觉识别相机和光源均安装在升降座上，相机驱动组件包括X方向驱动器、Y方向驱动器和Z方向驱动器，Y方向驱动器安装在X方向驱动器的输出端上，Z方向驱动器安装在Y方向驱动器的输出端上，视觉识别相机安装在Z方向驱动器的输出端上，X方向驱动器用于驱动Y方向驱动器沿X轴方向移动，Y方向驱动器用于驱动Z方向驱动器沿Y轴方向移动，Z方向驱动器用于驱动升降座沿Z轴方向移动。

在一个优选的实施方式中，视觉识别相机的上方设置有透明盘，透明盘固定安装在转环上，升降座上固定安装有环座，转环转动安装在环座上，升降座上还安装有转动驱动器，转动驱动器用于驱动转环转动。

本发明的有益效果在于：本发明可以在片材模切完成后运输的过程中进行检测，不占用生产时间，不影响生产效率，且通过对裁切后的片材产品进行检测，无需对刀具进行直接检测，不影响刀具的正常工作，而将视觉识别相机和光源设置在夹爪组件的运输轨迹下方，在实际检测时，塑封体会经过不同位置，从而形成相对于视觉识别相机的不同视角，参照说明书附图，在图示中的三组不同位置处，视觉识别相机所能检测的相对视角不同，因此，通过在运输轨迹上进行多位置视觉检测，能够充分的检测出各塑封体的两端的位置情况，从而避免单一位置检测而导致的塑封体底部棱边阻挡检测视角的现象，极大的提高了检测精准性。

附图说明

图1是本发明的整体结构示意图。

图2是本发明检测状态示意图。

图3是本发明检测状态的右视图。

图4是本发明的塑封体运动过程中的三个不同位置的视觉检测视角示意图。

图5是本发明的夹爪组件的整体结构示意图。

图6是本发明的吹气通道吹气时的结构示意图。

图7是本发明图5的A部结构放大图。

图8是本发明基于图5结构的负压吸附孔抽气形成负压的状态图。

图9是本发明图5的B部结构放大图。

图10是本发明镜头遮挡组件的整体结构示意图。

图11是本发明透明盘旋转时碎料被甩出时的状态图。

图12是本发明所要切除的流道废料示意图。

图中：1、裁切模具；2、取料机构；21、夹爪组件；211、夹取座；2111、夹爪驱动器；212、夹爪；2121、托举部；213、定位板；2131、空腔；214、吹气管；215、抽气管；22、横向驱动器；23、竖向驱动器；3、视觉检测组件；31、视觉识别相机；32、光源；321、镜头孔；33、升降座；34、高度调节架；35、透明盘；36、环座；37、转环；38、转动驱动器；4、相机驱动组件；41、X方向驱动器；42、Y方向驱动器；43、Z方向驱动器；5、塑封体固定器；51、锥形凸起；52、负压吸附孔；53、吹气孔；531、小孔；532、大孔；533、圆弧轨迹支撑架；54、封堵球；6、基板；7、塑封体；71、流道废料；8、夹紧气囊；81、驱动气管。

具体实施方式

现在将参考示例实施方式讨论本文描述的主题。应该理解，讨论这些实施方式只是为了使得本领域技术人员能够更好地理解从而实现本文描述的主题，可以在不脱离本说明书内容的保护范围的情况下，对所讨论的元素的功能和排列进行改变。各个示例可以根据需要，省略、替代或者添加各种过程或组件。另外，相对一些示例所描述的特征在其他例子中也可以进行组合。

如图1至图11所示，一种裁切模刀具损坏的检测结构，包括裁切模具1、取料机构2和视觉检测组件3，裁切模具1位于模切工位，取料机构2位于模切工位和收料工位之间，取料机构2包括夹爪组件21，夹爪组件21用于将模切工位处模切完成的位于裁切模具1中的片材（基板6和塑封体7的组合体，其中，基板6为引线框架，塑封体7为注塑加工后形成在引线框架小岛上的对小岛上的晶片进行封装保护的塑封结构）向收料工位处输送，即夹爪组件21从裁切模具1中夹持模切完成后的片材并将其向收料工位处输送，视觉检测组件3位于模切工位和收料工位之间的检测工位处，且视觉检测组件3位于夹爪组件21的运输轨迹下方；

视觉检测组件3包括视觉识别相机31和光源32，光源32位于视觉识别相机31上方，光源32中部设置有镜头孔321，光源32用于对经过检测工位的基板6上的塑封体7进行照明，视觉识别相机31透过镜头孔321从下向上对经过检测工位的基板6和塑封体7进行视觉识别，用以检测如图12中所示的流道废料71是否被裁切干净，从而判断模切刀具是否受损；

夹爪组件21中设置有塑封体固定器5，塑封体固定器5在基板6经过检测工位时，对基板6上的各塑封体7进行固定，避免检测过程中塑封体7产生振动，从而提高检测精度。

需要说明的是，本实施方式是在已有生产设备中的取料机构的下方增设检测系统，可以在片材模切完成后运输的过程中进行检测，不占用生产时间，不影响生产效率，且通过对裁切后的片材产品进行检测，无需对刀具进行直接检测，不影响刀具的正常工作，而关于图像识别检测技术是广为运用的成熟技术，本实施例中不做赘述。

具体的，本发明主要是通过视觉系统来达到判断模具刀具是否损坏，通过视觉检测通过裁切模具裁切完的产品，检测其是否将流道及其他地方无用的EMC裁切干净，产品是否有损坏，如果出现异常，则报警，让人工检查模具刀具是否有损坏，快速排查原因和解决问题。视觉检测系统通过保存一些OK的产品照片，而后通过拍照图片进行对比，判断其相似度，相似度高则OK，低则判成NG，由此确定裁切模刀具是否损害。

主要结构则是由视觉识别相机31、光源32及相关安装件组成，根据产品大小的不同可以选择分段拍摄或者更换大视野的镜头，目前我方采用拍三次，将整个产品全部覆盖，通过视觉反馈的图像进行判别产品是否OK，如果视觉判断NG，则机台会报警，提示人员去检查产品和模具情况，从而快速解决问题，避免造成批量性的不良。

由于实施例将视觉识别相机31和光源32设置在夹爪组件21的运输轨迹下方，在实际检测时，塑封体7会经过不同位置，从而形成相对于视觉识别相机31的不同视角，参照说明书附图4，在图示中的三组不同位置处，视觉识别相机31所能检测的相对视角不同，因此，通过在运输轨迹上进行多位置视觉检测，能够充分的检测出各塑封体7的两端的位置情况，从而避免单一位置检测而导致的塑封体7底部棱边阻挡检测视角的现象，极大的提高了检测精准性。

在上述实施方式中，参照说明书附图1至图3，取料机构2还包括横向驱动器22和竖向驱动器23，竖向驱动器23设置在横向驱动器22的输出端上，夹爪组件21设置在竖向驱动器23的输出端上，横向驱动器22用于驱动竖向驱动器23横向移动，从而使夹爪组件21在模切工位和收料工位之间进行位置转换，竖向驱动器23用于驱动夹爪组件21竖向升降运动，从而实现在夹爪组件21抓取片材后将夹爪组件21提升使片材脱离裁切模具1，其中，横向驱动器22所控制行程较大，优选直线驱动导轨结构，例如电机丝杆结构，竖向驱动器23所需驱动行程较小，优选气缸结构。

进一步的，参照说明书附图3和图5，夹爪组件21包括夹取座211，夹取座211的两侧均设置有夹爪212，夹爪212通过夹爪驱动器2111与夹取座211连接，夹爪驱动器2111用于驱动两组夹爪212相互靠近或相互远离来实现对片材的取放夹持，夹爪驱动器2111优选气缸结构，夹爪组件21固定安装在竖向驱动器23的输出端上，夹取座211的底部设置有定位板213，塑封体固定器5固定安装在定位板213的底部。

在上述实施方式中，塑封体固定器5为板状结构，参照说明书附图5，塑封体固定器5的底部对应各塑封体7的位置处均设置有锥形凸起51，锥形凸起51的中部设置有负压吸附孔52，定位板213的内部设置有空腔2131，负压吸附孔52与空腔2131连通，定位板213上设置有抽气管215，抽气管215与空腔2131连通，抽气管215连接抽气设备，抽气设备通过抽气管215对定位板213中抽气时在负压吸附孔52处形成负压，该负压用于吸附塑封体7，使塑封体7贴合于锥形凸起51的底部，从而对塑封体7进行固定，确保检测时，各塑封体7都相对稳定，不会产生振动，进而确保视觉识别相机31进行图像识别时不会影响图像的采集，确保检测的精准性。

进一步的，参照说明书附图5和图6，锥形凸起51上还设置有吹气孔53，吹气孔53倾斜设置，且吹气孔53对应塑封体7的棱边设置，定位板213上还设置有吹气管214，吹气管214与空腔2131连通，且吹气管214连接吹气设备，吹气孔53与空腔2131连通，吹气管214和抽气管215中均设置有单向阀，吹气孔53中设置有逆止组件，在夹爪组件21从裁切模具1上抓取片材后，可以先关闭抽气管215，开启吹气管214，使吹气设备向空腔2131中吹气，从而使吹气孔53向外吹气，此时，在抽气管215中单向阀的作用下，能够避免气流从抽气管215输出，而吹气孔53吹出气流时，其吹出的气流方向经过塑封体7的棱边设置，进而可以借助各吹气孔53吹出的气流，将塑封体7表面附着的碎料吹走，同时，气流经过塑封体7的棱边时可以形成湍流，引起塑封体7振动，有利于使塑封体7表面附着的碎料脱离，从而避免附着的碎料影响检测结构的问题，同时，也能对模切后的片材进行有效清洁，而吹气设备连接低温气源，向吹气孔53中输送低温气体，从而可以同时对成型后的塑封体7进行有效降温，使塑封体7表面温度快速降低至室温，避免因塑封体7表面气体温度与其他位置气体温度不同形成的密度差而引起光线折射影响检测结果的问题。

需要说明的是，在吹气管214中单向阀以及吹气孔53中逆止组件的作用下，在对片材清洁完毕后，进入检测工位时，吹气设备关闭，吹气管214封闭，抽气设备开启，从空腔2131中抽气，而吹气孔53在逆止组件的作用下形成封堵，使负压吸附孔52产生负压对塑封体7进行吸附。

进一步的，参照说明书附图7，逆止组件包括封堵球54，吹气孔53由小孔531和大孔532组成，小孔531位于吹气孔53靠近空腔2131的一端，封堵球54的直径大于小孔531的孔径且小于大孔532的孔径，封堵球54活动设于大孔532的内部，进而形成一个简易的单向阀结构，在空腔2131中吹气时，对比说明书附图7，封堵球54离开小孔531，吹气孔53导通，当空腔2131中抽气时，参照说明书附图8，封堵球54对小孔531进行封堵，吹气孔53封闭。

进一步的，为提高对片材进行清洁时塑封体7的振动效果，参照说明书附图7和图8，大孔532的内部安装有圆弧轨迹支撑架533，圆弧轨迹支撑架533为封堵球54提供一个圆弧形运动轨迹，圆弧轨迹支撑架533的直径大于封堵球54的直径，小孔531的中心线偏离圆弧轨迹支撑架533的圆心设置，从而在吹气孔53吹气时，小孔531吹出的气流能够带动封堵球54沿圆弧轨迹支撑架533产生运动，进而在不改变大孔532最终吹出气流方向的前提下，使得大孔532吹出的气流大小不断变化，进而借助该变化以及基板6本身的金属弹性，能够更好的带动塑封体7产生振动，从而加快塑封体7表面附着碎料的脱离，进一步的提高结构的功能性和实用性。

进一步的，参照说明书附图5和图9，夹爪212的底部设置有托举部2121，托举部2121用于对基板6边缘的底部进行托举，托举部2121的顶部设置有夹紧气囊8，夹紧气囊8连接有驱动气管81，驱动气管81连接充放气设备，定位板213对应夹紧气囊8的位置处均设置有柔性垫结构，进而在前期夹持基板6时，在夹爪212靠近基板6后，可以通过向夹紧气囊8充气使基板6的边缘被上下夹紧，同时，借助夹紧气囊8和柔性垫的支持能够保证塑封体7产生有效的振动，而在负压吸附孔52负压吸附塑封体7后，塑封体7整体固定，此时可以增加夹紧气囊8的压力，提高对基板6的夹持力度，增加夹持稳定性，而夹持结束后，可以控制驱动气管81对夹紧气囊8进行放气，再控制夹爪212分离，即可解除夹持。

在上述实施方式中，面对不同的产品，还可以对视觉识别相机31的高度、位置等进行有效调节，以便于适应更多的图像拍摄角度，具体的，参照说明书附图2和图3，视觉检测组件3的下方设置有相机驱动组件4，视觉检测组件3还包括升降座33，视觉识别相机31和光源32均安装在升降座33上，相机驱动组件4包括X方向驱动器41、Y方向驱动器42和Z方向驱动器43，Y方向驱动器42安装在X方向驱动器41的输出端上，Z方向驱动器43安装在Y方向驱动器42的输出端上，视觉识别相机31安装在Z方向驱动器43的输出端上，X方向驱动器41用于驱动Y方向驱动器42沿X轴方向移动，Y方向驱动器42用于驱动Z方向驱动器43沿Y轴方向移动，Z方向驱动器43用于驱动升降座33沿Z轴方向移动，进而实现对视觉检测组件3的多位置移动，例如当塑封体7外围的流道废料71位置具有多样性时，在图像采集的过程中，还可以控制视觉识别相机31在夹爪组件21前进方向的两侧进行运动，以此捕捉塑封体7两侧的图像，增加检测效果，而相机驱动组件4还可以对视觉检测组件3进行多位移调节，从而适应最佳的图像识别位置。

参照说明书附图10，光源32通过高度调节架34与升降座33连接，高度调节架34由相互平行的两个板组成，且两个板上分别设置有多个安装孔，两个板之间的相对高度可以自由调整，调整后，通过使用螺栓对相应位置的安装孔进行固定，即可对光源32进行固定，从而能够调整光源32相对于视觉识别相机31的位置，进而调整光照效果。

在上述实施方式中，由于模切导致的碎料的产生，在夹爪组件21运动的过程中，可能会有残留的碎料下落到视觉识别相机31的镜头上，对镜头形成污染和阻挡，影响图像成像，因此，本实施例还提供以下技术方案，具体的，参照说明书附图10，视觉识别相机31的上方设置有透明盘35，透明盘35固定安装在转环37上，升降座33上固定安装有环座36，转环37转动安装在环座36上，升降座33上还安装有转动驱动器38，转动驱动器38用于驱动转环37转动。

需要说明的是，转动驱动器38可选用电机结构，电机通过齿轮结构与转环37形成传动连接，形成对透明盘35的转动驱动，进而当有碎料意外穿过镜头孔321下落时，会落在透明盘35上，而通过控制透明盘35转动，参照说明书附图11，使落在透明盘35上的碎料在离心力的作用下被甩出，从而保证透明盘35的有效透光，不会遮挡视觉识别相机31镜头，极大的保证了机构使用的稳定性。

上面对本实施例的实施例进行了描述，但是本实施例并不局限于上述的具体实施方式，上述的具体实施方式仅仅是示意性的，而不是限制性的，本领域的普通技术人员在本实施例的启示下，还可做出很多形式，均属于本实施例的保护之内。

Claims (10)

1.一种裁切模刀具损坏的检测结构，其特征在于，包括裁切模具（1）、取料机构（2）和视觉检测组件（3），所述裁切模具（1）位于模切工位，所述取料机构（2）位于模切工位和收料工位之间，所述取料机构（2）包括夹爪组件（21），所述夹爪组件（21）用于将模切完成片材从裁切模具（1）中夹取并向收料工位处输送，所述视觉检测组件（3）位于模切工位和收料工位之间的检测工位处，且所述视觉检测组件（3）位于夹爪组件（21）的运输轨迹下方；

所述视觉检测组件（3）包括视觉识别相机（31）和光源（32），所述光源（32）位于视觉识别相机（31）上方，所述光源（32）中部设置有镜头孔（321），所述视觉识别相机（31）用于对经过检测工位的基板（6）和塑封体（7）进行视觉识别；

所述夹爪组件（21）中设置有塑封体固定器（5），所述塑封体固定器（5）在基板（6）经过检测工位时，对基板（6）上的各塑封体（7）进行固定，避免检测过程中塑封体（7）产生振动。

2.根据权利要求1所述的一种裁切模刀具损坏的检测结构，其特征在于，所述取料机构（2）还包括横向驱动器（22）和竖向驱动器（23），所述竖向驱动器（23）设置在横向驱动器（22）的输出端上，所述夹爪组件（21）设置在竖向驱动器（23）的输出端上，所述横向驱动器（22）用于驱动竖向驱动器（23）横向移动，所述竖向驱动器（23）用于驱动夹爪组件（21）竖向升降运动。

3.根据权利要求2所述的一种裁切模刀具损坏的检测结构，其特征在于，所述夹爪组件（21）包括夹取座（211），所述夹取座（211）的两侧均设置有夹爪（212），所述夹爪（212）通过夹爪驱动器（2111）与夹取座（211）连接，所述夹爪驱动器（2111）用于驱动两组夹爪（212）相互靠近或相互远离，所述夹爪组件（21）固定安装在竖向驱动器（23）的输出端上，所述夹取座（211）的底部设置有定位板（213），所述塑封体固定器（5）固定安装在定位板（213）的底部。

4.根据权利要求3所述的一种裁切模刀具损坏的检测结构，其特征在于，所述塑封体固定器（5）为板状结构，所述塑封体固定器（5）的底部对应各塑封体（7）的位置处均设置有锥形凸起（51），所述锥形凸起（51）的中部设置有负压吸附孔（52），所述定位板（213）的内部设置有空腔（2131），所述负压吸附孔（52）与空腔（2131）连通，所述定位板（213）上设置有抽气管（215），所述抽气管（215）与空腔（2131）连通，所述抽气管（215）连接抽气设备，抽气设备通过所述抽气管（215）对定位板（213）中抽气时在负压吸附孔（52）处形成负压，该负压用于吸附塑封体（7）。

5.根据权利要求4所述的一种裁切模刀具损坏的检测结构，其特征在于，所述锥形凸起（51）上还设置有吹气孔（53），所述吹气孔（53）倾斜设置，且所述吹气孔（53）对应塑封体（7）的棱边设置，所述定位板（213）上还设置有吹气管（214），所述吹气管（214）与空腔（2131）连通，且所述吹气管（214）连接吹气设备，所述吹气孔（53）与空腔（2131）连通，所述吹气管（214）和抽气管（215）中均设置有单向阀，所述吹气孔（53）中设置有逆止组件，吹气孔（53）吹出气流时，其吹出的气流方向经过塑封体（7）的棱边设置，吹气设备连接低温气源，向吹气孔（53）中输送低温气体。

6.根据权利要求5所述的一种裁切模刀具损坏的检测结构，其特征在于，所述逆止组件包括封堵球（54），所述吹气孔（53）由小孔（531）和大孔（532）组成，所述小孔（531）位于吹气孔（53）靠近空腔（2131）的一端，所述封堵球（54）的直径大于小孔（531）的孔径且小于大孔（532）的孔径，所述封堵球（54）活动设于大孔（532）的内部，吹气孔（53）吹气时，封堵球（54）离开小孔（531），吹气孔（53）导通，当空腔（2131）中抽气时，封堵球（54）对小孔（531）进行封堵，吹气孔（53）封闭。

7.根据权利要求6所述的一种裁切模刀具损坏的检测结构，其特征在于，所述大孔（532）的内部安装有圆弧轨迹支撑架（533），所述圆弧轨迹支撑架（533）为封堵球（54）提供一个圆弧形运动轨迹，所述圆弧轨迹支撑架（533）的直径大于封堵球（54）的直径，所述小孔（531）的中心线偏离圆弧轨迹支撑架（533）的圆心设置。

8.根据权利要求7所述的一种裁切模刀具损坏的检测结构，其特征在于，所述夹爪（212）的底部设置有托举部（2121），所述托举部（2121）用于对基板（6）边缘的底部进行托举，所述托举部（2121）的顶部设置有夹紧气囊（8），所述夹紧气囊（8）连接有驱动气管（81），所述驱动气管（81）连接充放气设备，所述定位板（213）对应夹紧气囊（8）的位置处均设置有柔性垫结构。

9.根据权利要求8所述的一种裁切模刀具损坏的检测结构，其特征在于，所述视觉检测组件（3）的下方设置有相机驱动组件（4），所述视觉检测组件（3）还包括升降座（33），所述视觉识别相机（31）和光源（32）均安装在升降座（33）上，所述相机驱动组件（4）包括X方向驱动器（41）、Y方向驱动器（42）和Z方向驱动器（43），所述Y方向驱动器（42）安装在X方向驱动器（41）的输出端上，所述Z方向驱动器（43）安装在Y方向驱动器（42）的输出端上，所述视觉识别相机（31）安装在Z方向驱动器（43）的输出端上，所述X方向驱动器（41）用于驱动Y方向驱动器（42）沿X轴方向移动，所述Y方向驱动器（42）用于驱动Z方向驱动器（43）沿Y轴方向移动，所述Z方向驱动器（43）用于驱动升降座（33）沿Z轴方向移动。

10.根据权利要求9所述的一种裁切模刀具损坏的检测结构，其特征在于，所述视觉识别相机（31）的上方设置有透明盘（35），所述透明盘（35）固定安装在转环（37）上，所述升降座（33）上固定安装有环座（36），所述转环（37）转动安装在环座（36）上，所述升降座（33）上还安装有转动驱动器（38），所述转动驱动器（38）用于驱动转环（37）转动。