CN117948292A - 一种具有降温功能的气质联用仪用分子涡轮泵 - Google Patents

Abstract

本发明涉及分子涡轮泵技术领域，具体公开了一种具有降温功能的气质联用仪用分子涡轮泵，包括泵体，以及设置在泵体内的驱动部、转轴、动叶片以及静叶片；泵体包括有上泵壳和下泵壳，上泵壳上设置有滤网快拆组件和冷却循环组件，下泵壳上设置有与冷却循环组件连接的功能箱；本发明通过外部设置的功能箱利用冷却液循环，对其支撑的转轴转动摩擦部进行有效降温，以代替传统的泵身散热鳍配合外部风扇降温，提高了转轴轴端的降温效率，减少了其因高温影响工作稳定性的情况，降低了操作人员对其检修维护的频率；通过设置的滤网快拆组件，无需从泵体上完全分离真空法兰，达到便捷更换滤网的效果，规避了更换滤网时紧固用的零部件掉落至泵体内部的情况。

Description

一种具有降温功能的气质联用仪用分子涡轮泵

技术领域

本发明涉及分子涡轮泵技术领域，特别是涉及一种具有降温功能的气质联用仪用分子涡轮泵。

背景技术

气质联用仪中使用分子涡轮泵主要是为了提供适当的气体流动和真空环境，以支持样品的分析；分子涡轮泵是一种能够提供高真空环境的泵，它通过旋转叶轮将气体从进气口吸入并排出，从而产生真空。在气质联用仪中，分子涡轮泵通常用于以下几个方面：气相色谱（GC）部分：在气相色谱中，分子涡轮泵用于创建足够的真空环境，以便气态样品可以通过色谱柱进行分离。这有助于提高柱子的分辨率和分离效果；质谱（MS）部分：在质谱仪部分，分子涡轮泵用于创建高真空环境，以确保在离子化和质谱分析过程中，仪器内部的气体分子数量足够低，从而避免干扰质谱信号的产生。

然而，现有的分子涡轮泵在气质联用仪内使用中还存在以下问题，一、由于分子涡轮泵的转速很高，其在运行时，泵的旋转部件需要轴承和其他驱动机械来支持其高速旋转，这些部件在运行过程中产生的热量，以及气体分子与旋转叶片表面的碰撞所产生热量，虽然单个气体分子与叶片的相互作用产生的热量非常小，但大量的分子作用累积起来会导致泵的整体温度升高，从而影响泵的运转稳定性以及零部件的使用寿命，需要工作人员定期对其进行检测维护，传统的分子涡轮泵仅是在泵身部位设置多个散热鳍配合外部风扇进行散热，散热效果还有待进一步优化；

二、分子涡轮泵在配套气质联用仪设备使用时，大多安装在设备壳体内部，在更换滤网时，操作人员需要对真空法兰和泵体进行分离拆卸操作，方能取下使用后的滤网，再更换新的滤网，在此过程中，一是真空法兰与泵体分离更换滤网，存在操作费时费力的情况；二是在两者分离操作过程中，存在紧固用的零部件掉落至泵体内部的风险，可能会导致涡轮泵叶片损坏造成泵体无法正常运转或需要繁琐维修的情况。

因此，我们提供一种具有降温功能的气质联用仪用分子涡轮泵，通过外部设置功能箱利用冷却液循环对其内部的转动摩擦部进行有效降温，以代替传统的散热鳍配合外部风扇降温，提高了转动连接部的降温效果，降低了操作人员对其检修维护的频率；通过设置的滤网快拆组件，无需从泵体上完全分离真空法兰，即可达到更换滤网的效果，避免了紧固用的零部件掉落至泵体内部的情况。

发明内容

（一）要解决的技术问题

本发明所要解决的问题是提供一种具有降温功能的气质联用仪用分子涡轮泵，以克服现有技术中的缺陷。

（二）技术方案

为解决所述技术问题，本发明提供一种具有降温功能的气质联用仪用分子涡轮泵，包括泵体，以及设置在泵体内的驱动部、转轴、动叶片以及静叶片；所述泵体包括有上泵壳和下泵壳，所述上泵壳上设置有滤网快拆组件和冷却循环组件，所述下泵壳上设置有与冷却循环组件连接的功能箱；

所述滤网快拆组件包括有与上泵壳连接的真空法兰，所述真空法兰与上泵壳之间滑动连接有滑板，所述滑板上安装有滤网和多个密封胶圈，所述真空法兰的一侧端与滑板的一侧端均呈U形设置；在首次连接真空法兰与连接法兰时，手持拉手先将安装好滤网的滑板推滑至U形滑槽内，使滤网对泵体内叶片起动防护作用，再拧紧多个紧固螺栓，使真空法兰和连接法兰紧固密封连接，在此过程中，滑板上的多个密封胶圈紧密抵触U形滑槽，使真空法兰保持密封性；在需要更换滤网时，仅需稍微拧松真空法兰上的多个紧固螺栓，无需将其完全拆卸分离，通过拉手将滑板从U形滑槽内拉出后更换新的滤网，再将滑板推送至U形滑槽内，再紧固螺栓即可，使本分子涡轮泵的滤网更换操作快捷、简单，且避免了传统式完全分离真空法兰存在紧固件掉落至泵体内部的风险。

所述冷却循环组件包括设置在上泵壳内的连接件，连接件和连接部在起到支撑转轴的同时，又对其转动连接的轴端进行有效降温处理，防止其因高速旋转产生的摩擦热影响其工作性能和使用寿命，所述连接件包括有与转轴转动连接的连接部，所述上泵壳的外围设置有与连接件连通的第一进液管和第二进液管以及回液管，所述功能箱内设置有与回液管连通的冷却舱，所述冷却舱内设置有多个冷却片，所述功能箱内还设置有与冷却舱连通的小型水泵抽液口，所述小型水泵的送液口与第一进液管和第二进液管之间连通有送液管；

通过注液口向冷却舱内加注冷却液，冷却液采用防冻型的，启动小型水泵，使其抽液口抽取冷却舱内冷却液，并通过送液口输送至送液管内，送液管内冷却液通过三通接头分别流通至第一进液管和第二进液管内，第一进液管和第二进液管内的冷却液又通过第一进液接头和第二进液接头，分别流通至第一连接管和第二连接管内后进入换热舱，换热舱内冷却液储满后通过第三连接管和回液管以及回液口回流至冷却舱内，直至注液口溢出冷却液后停止加注并封盖注液口，封盖设置有单向进气口。

当分子涡轮泵运行时，小型水泵和半导体制冷片工作，小型水泵将冷却舱内冷却液通过送液管和第一进液管以及第二进液管，分别输送至换热舱内，换热舱内的冷却液又通过回液管回流至冷却舱内，从而使冷却液在连接件和连接部内循环流通，连接部对转轴的轴端以及轴承滚珠进行有效吸热，使其工作温度得到有效降低，叶片运转所抽取的气体分子经过倾斜式设置的连接件表面后得到冷却，再由泵体内部传送至排风口处，对泵体内部起到良好的换热效果；根据帕尔贴效应，与N型半导体和P型半导体冷端连接的冷却片对冷却舱内冷却液进行冷却降温处理，使连接件和连接部内的冷却液得到更高效的冷却置换，从而提高分子涡轮泵的工作时的降温效果，使其运行稳定，减小了零部件因产生高温存在稳定性较差或使用寿命缩短的情况。

进一步的，所述滤网快拆组件还包括设置在上泵壳上端的连接法兰，所述连接法兰呈U形设置，所述连接法兰上开设有第一凹槽，所述真空法兰上开设有第二凹槽，所述真空法兰与连接法兰通过螺栓连接，所述第一凹槽和第二凹槽配合形成U形滑槽，所述滑板与U形滑槽滑动连接。

进一步的，所述滑板上开设有通孔，所述滑板的通孔侧壁设置有卡凸，所述滤网的外围边坐落在卡凸上，所述滤网位于通孔内，所述滑板的一端设置有拉手。

进一步的，所述滑板上开设有多个胶圈槽，多个所述密封胶圈套设在多个胶圈槽上，多个所述密封胶圈位于滤网与拉手之间，多个密封胶圈弹性抵触第一凹槽和第二凹槽的槽壁。

进一步的，所述冷却循环组件还包括与连接件连通的第一进液接头和第二进液接头以及回液接头，所述连接件包括圆周阵列式设置在上泵壳内壁上的第一连接管和第二连接管以及第三连接管，所述第一连接管和第二连接管内设置有进液通道，所述第一连接管通过第一进液接头与第一进液管连通，所述第二连接管通过第二进液接头与第二进液管连通。

进一步的，所述第一进液管与第二进液管之间连接有三通接头，所述送液管与送液口以及三通接头连通，所述第三连接管内设置有与连接部以及回液管连通的回液通道，所述第三连接管通过回液接头与回液管连通，所述冷却舱通过回液口与回液管连通。

进一步的，所述连接部内设置有与送液管和回液管连通的换热舱，所述连接部的上端螺栓连接有密封盖，所述连接部的下端设置有呈内凹状的配合部，所述配合部与转轴的轴端转动连接有轴承滚珠，所述连接部内开设有多个与换热舱连通的换热槽，多个所述换热槽围绕配合部设置，换热舱内冷却液流通至换热槽内，换热舱和换热槽流通的冷却液对轴端和轴承滚珠起到良好的吸热降温效果。

进一步的，所述第一连接管和第二连接管以及第三连接管在上泵壳内壁上均呈倾斜式设置。

进一步的，所述功能箱内设置有多个P型半导体和N型半导体，多个所述P型半导体和N型半导体连接有金属导体和陶瓷片并形成冷却端和放热端，多个所述冷却片连接在陶瓷片的冷却端上。

进一步的，小型水泵的抽液口位于冷却片一侧，所述下泵壳上设置有接线端和排风口，所述功能箱上设置有与冷却舱连通的注液口。

（三）有益效果

本发明提供的一种具有降温功能的气质联用仪用分子涡轮泵与现有技术相比较，具有以下有益效果：

1、本发明通过外部设置功能箱利用冷却液循环对其内部的转动摩擦部进行有效降温，以代替传统的散热鳍配合外部风扇降温，提高了转动连接部的降温效果，降低了操作人员对其检修维护的频率；通过设置的滤网快拆组件，无需从泵体上完全分离真空法兰，即可达到更换滤网的效果，避免了紧固用的零部件掉落至泵体内部的情况。

2、本发明中的连接件和连接部在起到支撑转轴的同时，又对其转动连接的轴端进行有效降温处理，防止其因高速旋转产生的摩擦热影响其工作性能和使用寿命。

3、本发明中的叶片运转所抽取的气体分子经过倾斜式设置的连接件表面后得到冷却，再由泵体内部传送至排风口处，达到对泵体内部起到良好的换热效果，连接件在起到支撑降温转轴的同时，又起到冷却经过其表面的气体分子的效果。

4、本发明中的冷却舱内冷却片利用帕尔贴效应，使与N型半导体和P型半导体冷端连接的冷却片，对冷却舱内冷却液进行冷却降温处理，使连接件和连接部内的冷却液得到更高效的冷却置换，从而提高分子涡轮泵工作时的散热效率，使其运行稳定，减小了零部件因产生高温存在稳定性较差或使用寿命缩短的情况。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1为本发明的第一立体图；

图2为本发明的第二立体图；

图3为本发明的主视结构示意图；

图4为本发明的右视结构示意图；

图5为本发明的左视结构示意图；

图6为本发明的俯视结构示意图；

图7为本发明的真空法兰与上泵壳以及滑板分离示意图；

图8为本发明的真空法兰和上泵壳与下泵壳以及滑板分离示意图；

图9为本发明的上泵壳结构示意图；

图10为本发明的冷却液水路分布示意图；

图11为本发明的左视剖切示意图；

图12为本发明的图11中A处放大图；

图13为本发明的功能箱结构示意图；

图中各个附图标记的对应的部件名称是：1、上泵壳；101、连接法兰；102、第一凹槽；2、下泵壳；201、排风口；3、真空法兰；301、第二凹槽；4、功能箱；401、送液口；402、回液口；403、注液口；404、冷却舱；405、小型水泵；406、冷却片；5、送液管；501、三通接头；6、第一进液管；601、第一进液接头；7、第二进液管；701、第二进液接头；8、回液管；801、回液接头；9、滑板；901、拉手；902、卡凸；903、胶圈槽；10、滤网；11、密封胶圈；12、连接件；1201、第一连接管；1202、第二连接管；1203、第三连接管；1204、进液通道；1205、回液通道；13、连接部；1301、换热舱；1302、换热槽；1303、密封盖；1304、配合部；14、动叶片；15、静叶片；16、驱动部；17、转轴；1701、轴端；1702、轴承滚珠。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本申请进行详细描述。

以下通过特定的具体实例说明本申请的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本申请的其他优点与功效。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。本申请还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本申请的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

要说明的是，下文描述在所附权利要求书的范围内的实施例的各种方面。应显而易见，本文中所描述的方面可体现于广泛多种形式中，且本文中所描述的任何特定结构及/或功能仅为说明性的。基于本申请，所属领域的技术人员应了解，本文中所描述的一个方面可与任何其它方面独立地实施，且可以各种方式组合这些方面中的两者或两者以上。举例来说，可使用本文中所阐述的任何数目和方面来实施设备及/或实践方法。另外，可使用除了本文中所阐述的方面中的一或多者之外的其它结构及/或功能性实施此设备及/或实践此方法。

还需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本申请的基本构想，图式中仅显示与本申请中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。

另外，在以下描述中，提供具体细节是为了便于透彻理解实例。然而，所属领域的技术人员将理解，可在没有这些特定细节的情况下实践。

以下结合附图，说明本申请各实施例提供的技术方案。

参阅图1至图13，本发明提供一种具有降温功能的气质联用仪用分子涡轮泵，包括泵体，以及设置在泵体内的驱动部16、转轴17、动叶片14以及静叶片15；泵体包括有上泵壳1和下泵壳2，上泵壳1上设置有滤网快拆组件和冷却循环组件，下泵壳2上设置有与冷却循环组件连接的功能箱4。

参阅图2和图6至图8，滤网快拆组件包括有与上泵壳1连接的真空法兰3，真空法兰3与上泵壳1之间滑动连接有滑板9，滑板9上安装有滤网10和多个密封胶圈11，真空法兰3的一侧端与滑板9的一侧端均呈U形设置；滤网快拆组件还包括设置在上泵壳1上端的连接法兰101，连接法兰101呈U形设置，连接法兰101上开设有第一凹槽102，真空法兰3上开设有第二凹槽301，真空法兰3与连接法兰101通过螺栓连接，第一凹槽102和第二凹槽301配合形成U形滑槽，滑板9与U形滑槽滑动连接；滑板9上开设有通孔，滑板9的通孔侧壁设置有卡凸902，滤网10的外围边坐落在卡凸902上，滤网10位于通孔内，滑板9的一端设置有拉手901；滑板9上开设有多个胶圈槽903，多个密封胶圈11套设在多个胶圈槽903上，多个密封胶圈11位于滤网10与拉手901之间，多个密封胶圈11弹性抵触第一凹槽102和第二凹槽301的槽壁。

在首次连接真空法兰3与连接法兰101时，手持拉手901先将安装好滤网10的滑板9推滑至U形滑槽内，使滤网10对泵体内叶片起动防护作用，再拧紧多个紧固螺栓，使真空法兰3和连接法兰101紧固密封连接，在此过程中，滑板9上的多个密封胶圈11紧密抵触U形滑槽，使真空法兰3保持密封性；在需要更换滤网10时，仅需稍微拧松真空法兰3上的多个紧固螺栓，无需将其完全拆卸分离，通过拉手901将滑板9从U形滑槽内拉出后更换新的滤网10，再将滑板9推送至U形滑槽内，再紧固螺栓即可，使本分子涡轮泵的滤网10更换操作快捷、简单，且避免了传统式完全分离真空法兰3存在紧固件掉落至泵体内部的风险。

参阅图1至图5和图8至图13，冷却循环组件包括设置在上泵壳1内的连接件12，连接件12和连接部13在起到支撑转轴17的同时，又对其转动连接的轴端1701进行有效降温处理，防止其因高速旋转产生的摩擦热影响其工作性能和使用寿命，连接件12包括有与转轴17转动连接的连接部13，上泵壳1的外围设置有与连接件12连通的第一进液管6和第二进液管7以及回液管8，功能箱4内设置有与回液管8连通的冷却舱404，冷却舱404内设置有多个冷却片406，功能箱4内还设置有与冷却舱404连通的小型水泵405抽液口，小型水泵405的送液口401与第一进液管6和第二进液管7之间连通有送液管5。

参阅图9至图13，冷却循环组件还包括与连接件12连通的第一进液接头601和第二进液接头701以及回液接头801，连接件12包括圆周阵列式设置在上泵壳1内壁上的第一连接管1201和第二连接管1202以及第三连接管1203，第一连接管1201和第二连接管1202内设置有进液通道1204，第一连接管1201通过第一进液接头601与第一进液管6连通，第二连接管1202通过第二进液接头701与第二进液管7连通，第一进液管6与第二进液管7之间连接有三通接头501，送液管5与送液口401以及三通接头501连通，第三连接管1203内设置有与连接部13以及回液管8连通的回液通道1205，第三连接管1203通过回液接头801与回液管8连通，冷却舱404通过回液口402与回液管8连通。

参阅图9和图11至图12，连接部13内设置有与送液管5和回液管8连通的换热舱1301，连接部13的上端螺栓连接有密封盖1303，连接部13的下端设置有呈内凹状的配合部1304，配合部1304与转轴17的轴端1701转动连接有轴承滚珠1702，连接部13内开设有多个与换热舱1301连通的换热槽1302，多个换热槽1302围绕配合部1304设置，换热舱1301内的冷却液流通至换热槽1302内，换热舱1301和换热槽1302流通的冷却液对轴端1701和轴承滚珠1702起到良好的吸热降温效果。

参阅图9和图10，第一连接管1201和第二连接管1202以及第三连接管1203在上泵壳1内壁上均呈倾斜式设置。

参阅图10和图13，功能箱4内设置有多个P型半导体和N型半导体，多个P型半导体和N型半导体连接有金属导体和陶瓷片并形成冷却端和放热端，多个冷却片406连接在陶瓷片的冷却端上，小型水泵405的抽液口位于冷却片406一侧，下泵壳2上设置有接线端和排风口201，功能箱4上设置有与冷却舱404连通的注液口403。

通过注液口403向冷却舱404内加注冷却液，冷却液采用防冻型的，启动小型水泵405，使其抽液口抽取冷却舱404内冷却液，并通过送液口401输送至送液管5内，送液管5内冷却液通过三通接头501分别流通至第一进液管6和第二进液管7内，第一进液管6和第二进液管7内的冷却液又通过第一进液接头601和第二进液接头701，分别流通至第一连接管1201和第二连接管1202内后进入换热舱1301，换热舱1301内冷却液储满后通过第三连接管1203和回液管8以及回液口402回流至冷却舱404内，直至注液口403溢出冷却液后停止加注并封盖注液口403，封盖设置有单向进气口。

本实施例提供的一种具有降温功能的气质联用仪用分子涡轮泵：

当分子涡轮泵运行时，小型水泵405和半导体制冷片工作，小型水泵405将冷却舱404内冷却液通过送液管5和第一进液管6以及第二进液管7，分别输送至换热舱1301内，换热舱1301内的冷却液又通过回液管8回流至冷却舱404内，从而使冷却液在连接件12和连接部13内循环流通，连接部13对转轴17的轴端1701以及轴承滚珠1702进行有效吸热，使其工作温度得到有效降低，叶片运转所抽取的气体分子经过倾斜式设置的连接件12表面后得到冷却，再由泵体内部传送至排风口201处，对泵体内部起到良好的换热效果；根据帕尔贴效应，与N型半导体和P型半导体冷端连接的冷却片406对冷却舱404内冷却液进行冷却降温处理，使连接件12和连接部13内的冷却液得到更高效的冷却置换，从而提高分子涡轮泵的工作时的降温效果，使其运行稳定，减小了零部件因产生高温存在稳定性较差或使用寿命缩短的情况。

本说明书中各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可，每个实施例侧重说明的都是与其他实施例的不同之处。

以上所述，仅为本申请的具体实施方式，但本申请的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本申请的保护范围之内。因此，本申请的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种具有降温功能的气质联用仪用分子涡轮泵，包括泵体，以及设置在泵体内的驱动部（16）、转轴（17）、动叶片（14）以及静叶片（15）；其特征在于：所述泵体包括有上泵壳（1）和下泵壳（2），所述上泵壳（1）上设置有滤网快拆组件和冷却循环组件，所述下泵壳（2）上设置有与冷却循环组件连接的功能箱（4）；

所述滤网快拆组件包括有与上泵壳（1）连接的真空法兰（3），所述真空法兰（3）与上泵壳（1）之间滑动连接有滑板（9），所述滑板（9）上安装有滤网（10）和多个密封胶圈（11），所述真空法兰（3）的一侧端与滑板（9）的一侧端均呈U形设置；

所述冷却循环组件包括设置在上泵壳（1）内的连接件（12），所述连接件（12）包括有与转轴（17）转动连接的连接部（13），所述上泵壳（1）的外围设置有与连接件（12）连通的第一进液管（6）和第二进液管（7）以及回液管（8），所述功能箱（4）内设置有与回液管（8）连通的冷却舱（404），所述冷却舱（404）内设置有多个冷却片（406），所述功能箱（4）内还设置有与冷却舱（404）连通的小型水泵（405）抽液口，所述小型水泵（405）的送液口（401）与第一进液管（6）和第二进液管（7）之间连通有送液管（5）。

2.如权利要求1所述的具有降温功能的气质联用仪用分子涡轮泵，其特征在于：所述滤网快拆组件还包括设置在上泵壳（1）上端的连接法兰（101），所述连接法兰（101）呈U形设置，所述连接法兰（101）上开设有第一凹槽（102），所述真空法兰（3）上开设有第二凹槽（301），所述真空法兰（3）与连接法兰（101）通过螺栓连接，所述第一凹槽（102）和第二凹槽（301）配合形成U形滑槽，所述滑板（9）与U形滑槽滑动连接。

3.如权利要求2所述的具有降温功能的气质联用仪用分子涡轮泵，其特征在于：所述滑板（9）上开设有通孔，所述滑板（9）的通孔侧壁设置有卡凸（902），所述滤网（10）的外围边坐落在卡凸（902）上，所述滤网（10）位于通孔内，所述滑板（9）的一端设置有拉手（901）。

4.如权利要求3所述的具有降温功能的气质联用仪用分子涡轮泵，其特征在于：所述滑板（9）上开设有多个胶圈槽（903），多个所述密封胶圈（11）套设在多个胶圈槽（903）上，多个所述密封胶圈（11）位于滤网（10）与拉手（901）之间，多个密封胶圈（11）弹性抵触第一凹槽（102）和第二凹槽（301）的槽壁。

5.如权利要求1所述的具有降温功能的气质联用仪用分子涡轮泵，其特征在于：所述冷却循环组件还包括与连接件（12）连通的第一进液接头（601）和第二进液接头（701）以及回液接头（801），所述连接件（12）包括圆周阵列式设置在上泵壳（1）内壁上的第一连接管（1201）和第二连接管（1202）以及第三连接管（1203），所述第一连接管（1201）和第二连接管（1202）内设置有进液通道（1204），所述第一连接管（1201）通过第一进液接头（601）与第一进液管（6）连通，所述第二连接管（1202）通过第二进液接头（701）与第二进液管（7）连通。

6.如权利要求5所述的具有降温功能的气质联用仪用分子涡轮泵，其特征在于：所述第一进液管（6）与第二进液管（7）之间连接有三通接头（501），所述送液管（5）与送液口（401）以及三通接头（501）连通，所述第三连接管（1203）内设置有与连接部（13）以及回液管（8）连通的回液通道（1205），所述第三连接管（1203）通过回液接头（801）与回液管（8）连通，所述冷却舱（404）通过回液口（402）与回液管（8）连通。

7.如权利要求6所述的具有降温功能的气质联用仪用分子涡轮泵，其特征在于：所述连接部（13）内设置有与送液管（5）和回液管（8）连通的换热舱（1301），所述连接部（13）的上端螺栓连接有密封盖（1303），所述连接部（13）的下端设置有呈内凹状的配合部（1304），所述配合部（1304）与转轴（17）的轴端（1701）转动连接有轴承滚珠（1702），所述连接部（13）内开设有多个与换热舱（1301）连通的换热槽（1302），多个所述换热槽（1302）围绕配合部（1304）设置。

8.如权利要求7所述的具有降温功能的气质联用仪用分子涡轮泵，其特征在于：所述第一连接管（1201）和第二连接管（1202）以及第三连接管（1203）在上泵壳（1）内壁上均呈倾斜式设置。

9.如权利要求1所述的具有降温功能的气质联用仪用分子涡轮泵，其特征在于：所述功能箱（4）内设置有多个P型半导体和N型半导体，多个所述P型半导体和N型半导体连接有金属导体和陶瓷片并形成冷却端和放热端，多个所述冷却片（406）连接在陶瓷片的冷却端上。

10.如权利要求9所述的具有降温功能的气质联用仪用分子涡轮泵，其特征在于：小型水泵（405）的抽液口位于冷却片（406）一侧，所述下泵壳（2）上设置有接线端和排风口（201），所述功能箱（4）上设置有与冷却舱（404）连通的注液口（403）。