CN117904700B - 一种炉口开放式提拉单晶炉 - Google Patents

Abstract

本发明属于晶体生长技术领域，具体的说是一种炉口开放式提拉单晶炉，包括底座，所述底座上端中部固定连接有炉体，所述炉体底部设置有用于对单晶硅原料进行加热的石墨加热器，所述底座上端左侧设置有用于对单晶硅原料进行粉碎的通孔伸缩式粉碎机构，本发明实现了可对粉碎辊上的粉碎齿起到一个回缩效果，使得当结块的单晶硅原料卡死粉碎辊时，使粉碎齿可快速的脱离结块单晶硅原料，使粉碎辊之间得以疏通，并且，对粉碎辊和粉碎齿冲洗后，可对粉碎辊表面残留的水分吸收，避免出现粉碎辊生锈的情况，并且，可对海绵刷吸收的水分挤出，便于后续再次使用；可在软轴断裂时，对籽晶起到一个紧急制动效果，进而避免了出现籽晶掉落至单晶硅液中的情况。

Description

一种炉口开放式提拉单晶炉

技术领域

本发明属于晶体生长技术领域，具体的说是一种炉口开放式提拉单晶炉。

背景技术

光伏单晶炉是一种利用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备；

在光伏单晶炉的运行过程中，首先把高纯度的单晶硅原料放入高纯石英坩埚，将其熔化，然后进行引晶、放肩、转肩、等径、收尾工艺，这样一个单晶拉制过程就基本完成，进行一定的保温冷却后就可以取出。

公开号为CN114717649B的一项专利申请公开了上提拉开放式单晶炉，炉体包括主炉室、副炉室和坩埚驱动组件，主炉室内部设有与籽晶配合的坩埚；副炉室内设有与籽晶相配合的绳体；坩埚驱动组件用于驱动坩埚在主炉室内转动或升降；提升驱动组件用于驱动绳体在副炉室内转动或升降；炉盖上设与视觉检测组件配合的检测窗。该开放式单晶炉结构稳定，可实时观察晶体生长情况。

但是，上述技术方案在实际应用过程中还存在以下不足：

当需要将单晶硅原料加入至炉体内部的坩埚时，没有对单晶硅原料起到一个粉碎效果，导致部分结块的单晶硅原料会集中在坩埚某一处，出现单晶硅原料分布不够均匀的情况，影响拉晶工作的效果，并且，现有的用于对单晶硅原料进行粉碎的装置，当粉碎辊被结块的单晶硅原料堵塞时，可能出现卡死的情况，影响粉碎工作的进行，并且，对粉碎辊进行清洗时，由于粉碎辊表面的粉碎齿为凸起状，所以不便在清洗完成后，对粉碎辊表面残留的水分进行均匀吸附，导致可能出现粉碎辊生锈的情况，不利于再次使用。

为此，本发明提供一种炉口开放式提拉单晶炉。

发明内容

为了弥补现有技术的不足，解决背景技术中所提出的至少一个技术问题。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：本发明所述的一种炉口开放式提拉单晶炉，包括底座，所述底座上端中部固定连接有炉体，所述炉体底部设置有用于对单晶硅原料进行加热的石墨加热器，所述底座上端左侧设置有用于对单晶硅原料进行粉碎的通孔伸缩式粉碎机构；

所述通孔伸缩式粉碎机构包括固定连接于底座左侧两端的支撑板，所述支撑板上端固定连接有粉碎箱，所述粉碎箱上端两侧均转动设置有粉碎辊，所述粉碎辊内腔壁前端中部固定连接有固定轴，所述固定轴后端固定连接有延伸板，所述延伸板滑动连接有多个滑套，所述滑套远离延伸板的一端固定连接有连接板，所述连接板远离滑套的一端固定连接有多个粉碎齿，所述粉碎齿与粉碎辊的通孔处插接，所述粉碎箱上端前侧滑动连接有限位杆，所述限位杆滑动连接有安装座，所述安装座下端两侧均固定连接有固定杆，所述固定杆两端均转动设置有第一连杆，所述第一连杆下端转动设置有弧形板，所述弧形板下端设置有海绵刷，所述弧形板中部转动设置有矩形板，所述矩形板上端固定连接有拉伸杆，所述拉伸杆与固定杆、安装座滑动相连，所述粉碎箱上端左侧两端均固定连接有长管，所述长管右侧设置有多个对准粉碎辊的喷头；

所述底座上端右侧还设置有提拉机构，所述提拉机构包括固定连接于底座上端两侧的限位柱，所述限位柱滑动连接有提升板，所述提升板中部滑动连接有提升块，所述提升块下端固定连接有夹持器，所述夹持器底部安装有籽晶。

优选的，所述粉碎箱前端面左侧上端固定连接有第一电机，所述第一电机输出端与左侧所述粉碎辊固定相连，所述粉碎辊后端中部固定连接有L型杆，所述L型杆后端固定连接有齿轮，两侧所述齿轮相互啮合。

优选的，所述粉碎辊后端中部通过调节轴转动设置有斜槽盘和蜗轮，所述滑套后端固定连接有导向柱，所述导向柱插入至斜槽盘的凹槽处并与其滑动相连，所述粉碎辊后端两侧均转动设置有蜗杆，所述蜗杆与蜗轮相互啮合。

优选的，所述粉碎箱上端后侧滑动连接有第二气缸，所述第二气缸活塞端与安装座固定相连。

优选的，所述安装座上端中部固定连接有第一气缸，所述第一气缸活塞端固定连接有升降杆，所述升降杆下端两侧均与拉伸杆固定相连，所述粉碎箱左端后侧固定连接有第三电机，所述第三电机输出端固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆与第二气缸底部螺纹相连。

优选的，所述底座上端左侧固定连接有水箱，所述水箱上端连通有水泵，所述水泵出水端连通有出水管，所述出水管右端与长管连通。

优选的，所述底座上端面右侧固定连接有外壳，所述底座上端右侧固定连接有提拉板，所述提拉板下端转动设置有缠绕辊，所述提拉板前端面下侧固定连接有第二电机，所述缠绕辊缠绕有软轴，所述提拉板上端右侧固定连接有第一支撑辊，所述提拉板上端左侧固定连接有第二支撑辊，所述软轴左端与提升块固定相连，所述软轴与第一支撑辊和第二支撑辊表面贴合。

优选的，所述提升块前侧下端固定连接有弹簧，所述弹簧下端与提升板固定相连。

优选的，所述提升块右端转动设置有第二连杆，所述第二连杆右端转动设置有插杆，所述插杆右端滑动连接有滑杆，所述滑杆左端固定连接于提升板。

优选的，所述底座上端右侧固定连接有槽板，所述槽板内侧设置有多个凸块。

本发明的有益效果如下：

1.本发明所述的一种炉口开放式提拉单晶炉，当粉碎辊使用一段时间后，粉碎辊以及粉碎齿表面会附着一定量的单晶硅原料，当出现粉碎辊被单晶硅原料卡死的情况时，使粉碎齿回缩，可使堵塞结块得以疏通，可利用喷头将水流喷向粉碎辊，配合粉碎辊转动，使粉碎辊可均匀的被水冲洗，使得粉碎辊表面的单晶硅原料被冲掉，当粉碎辊表面被冲洗干净后，使粉碎辊停止转动，使粉碎齿从粉碎辊的通孔处缩回至粉碎辊内部，使海绵刷与粉碎辊表面贴合，使海绵刷与粉碎辊表面摩擦，对粉碎辊表面残余的水分进行吸附，当海绵刷吸收水分过多时，使海绵刷从正对粉碎辊上方移开，使两侧海绵刷分别正对粉碎辊、粉碎箱所形成的空隙上方，使海绵刷中的水分挤出，避免出现海绵刷发霉滋生细菌的情况，并且，当结块的单晶硅原料卡死粉碎辊时，使粉碎齿可快速的脱离结块单晶硅原料，使粉碎辊之间得以疏通，并且，对粉碎辊和粉碎齿冲洗后，可利用粉碎齿回缩效果，使海绵刷与粉碎辊表面贴合，对粉碎辊表面残留的水分吸收，避免出现粉碎辊生锈的情况，并且，可对海绵刷吸收的水分挤出，进而避免了出现海绵刷发霉滋生细菌的情况。

2.本发明所述的一种炉口开放式提拉单晶炉，当软轴出现断裂时，弹簧复原，带动提升块向下移动，利用第二连杆带动插杆在滑杆上滑动，使插杆插入至槽板内侧的凹槽处，即可使提升板停止向下滑动，从而可在软轴断裂时，对籽晶起到一个紧急制动效果，进而避免了出现籽晶掉落至单晶硅液中的情况。

附图说明

下面结合附图对本发明作进一步说明。

图1是本发明完整立体结构示意图；

图2是本发明粉碎箱局部剖面、外壳隐藏立体结构示意图；

图3是通孔伸缩式粉碎机构处局部示意图；

图4是本发明粉碎辊局部立体结构示意图一；

图5是本发明海绵刷处局部立体结构示意图；

图6是本发明粉碎辊局部立体结构示意图二

图7是本发明粉碎箱完整立体结构示意图；

图8是图6中A处局部放大图；

图9是本发明完整立体结构示意图；

图10是本发明插杆处局部结构示意图一；

图11是本发明插杆处局部结构示意图二。

图中：1、底座；2、通孔伸缩式粉碎机构；20、水箱；21、水泵；22、出水管；23、支撑板；24、粉碎箱；25、第一电机；26、齿轮；27、粉碎辊；28、升降杆；29、第一气缸；210、安装座；211、拉伸杆；212、固定杆；213、第一连杆；214、矩形板；215、弧形板；216、海绵刷；217、第二气缸；218、限位杆；219、粉碎齿；220、连接板；221、滑套；222、延伸板；223、固定轴；224、斜槽盘；225、导向柱；226、调节轴；227、蜗轮；228、L型杆；229、蜗杆；230、螺纹杆；231、第三电机；232、长管；233、喷头；3、提拉机构；30、第二电机；31、提拉板；32、缠绕辊；33、软轴；34、第一支撑辊；35、第二支撑辊；36、限位柱；37、槽板；38、提升板；39、提升块；310、弹簧；311、夹持器；312、籽晶；313、第二连杆；314、插杆；315、滑杆；4、炉体；5、石墨加热器。

具体实施方式

为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。

实施例一

如图1-11所示，本发明实施例所述的一种炉口开放式提拉单晶炉，包括底座1，底座1上端中部固定连接有炉体4，炉体4底部设置有用于对单晶硅原料进行加热的石墨加热器5，底座1上端左侧设置有用于对单晶硅原料进行粉碎的通孔伸缩式粉碎机构2；

通孔伸缩式粉碎机构2包括固定连接于底座1左侧两端的支撑板23，支撑板23上端固定连接有粉碎箱24，粉碎箱24上端两侧均转动设置有粉碎辊27，粉碎辊27内腔壁前端中部固定连接有固定轴223，固定轴223后端固定连接有延伸板222，延伸板222滑动连接有多个滑套221，滑套221远离延伸板222的一端固定连接有连接板220，连接板220远离滑套221的一端固定连接有多个粉碎齿219，粉碎齿219与粉碎辊27的通孔处插接，粉碎箱24上端前侧滑动连接有限位杆218，限位杆218滑动连接有安装座210，安装座210下端两侧均固定连接有固定杆212，固定杆212两端均转动设置有第一连杆213，第一连杆213下端转动设置有弧形板215，弧形板215下端设置有海绵刷216，弧形板215中部转动设置有矩形板214，矩形板214上端固定连接有拉伸杆211，拉伸杆211与固定杆212、安装座210滑动相连，粉碎箱24上端左侧两端均固定连接有长管232，长管232右侧设置有多个对准粉碎辊27的喷头233；

底座1上端右侧还设置有提拉机构3，提拉机构3包括固定连接于底座1上端两侧的限位柱36，限位柱36滑动连接有提升板8，提升板8中部滑动连接有提升块39，提升块39下端固定连接有夹持器311，夹持器311底部安装有籽晶312。

具体的，当单晶炉进行单晶拉制工作时，先将单晶硅原料加入至单晶炉内部的石英坩埚内部，而单晶硅原料加入至石英坩埚前，需要对单晶硅原料进行粉碎，以确保使单晶硅原料在石英坩埚内部均匀分布，所以，单晶拉制工作前，先将单晶硅原料加入至粉碎箱24内部，并使单晶硅原料处于两个粉碎辊27之间，然后驱使两个粉碎辊27同时不同向转动，利用粉碎辊27上的粉碎齿219来对单晶硅原料进行破碎，破碎后的单晶硅原料落入至炉体4内部的石英坩埚，然后利用石墨加热器5来对单晶原料进行加热，使其熔化，然后利用关闭一段时间石墨加热器5，来对熔化的硅液稍做降温，然后利用夹持器311来对一根籽晶312进行固定，然后驱使提升板38在限位柱36上滑动，使籽晶312下降并插入至熔体表面，待籽晶312与熔体熔和后，慢慢向上拉籽晶312，晶体便会在籽晶312下端生长，接着,控制籽晶312生长出一段细颈，用于消除高温溶液对籽晶312的强烈热冲击而产生的原子排列的位错，这个过程就是引晶；随后，通过人员操作，并配合坩埚内部的结构，进行放肩工作；接着，当大部分硅溶液都已经完成结晶时，再将晶体逐渐缩小而形成一个尾形锥体，即可实现收尾工艺，这样一个单晶拉制过程就基本完成，进行一定的保温冷却后就可以取出，当粉碎辊27使用一段时间后，粉碎辊27以及粉碎齿219表面会附着一定量的单晶硅原料，甚至可能出现单晶硅原料结块在粉碎辊27以及粉碎齿219表面的情况，影响对单晶硅原料的粉碎效率，进而影响后续对单晶硅原料的熔化工作，甚至可能出现因单晶硅原料结块在两个粉碎辊27之间，而将粉碎辊27卡死的情况，当粉碎辊27以及粉碎齿219表面附着的单晶硅原料较少，且没有结块时，可利用向长管232输送水流，经喷头233将水流喷向粉碎辊27，并配合粉碎辊27的转动，即可使粉碎辊27可均匀的被水冲洗，使得附着在粉碎辊27以及粉碎齿219表面的单晶硅原料被冲掉，当粉碎辊27表面被冲洗干净后，使粉碎辊27停止转动，然后驱使多个滑套221在延伸板222上滑动，使连接板220向粉碎辊27轴心移动，即可使粉碎齿219从粉碎辊27的通孔处缩回至粉碎辊27内部，即可使粉碎辊27表面无凸起，然后驱使安装座210在限位杆218上向下滑动，使海绵刷216与粉碎辊27表面贴合，然后再使粉碎辊27转动，即可使海绵刷216与粉碎辊27表面摩擦，对粉碎辊27表面残余的水分进行吸附，避免粉碎辊27表面残余水分过多而造成生锈的情况，当海绵刷216吸收水分过多时，可再次驱使安装座210在限位杆218上向上滑动，使海绵刷216远离粉碎辊27，然后驱使限位杆218向左滑动，使海绵刷216从正对粉碎辊27上方移开，使两侧海绵刷216分别正对粉碎辊27、粉碎箱24所形成的空隙上方，然后驱使拉伸杆211向上滑动，即可使矩形板214向上滑动，使相邻的弧形板215和第一连杆213同时反向转动，使弧形板215对海绵刷216进行挤压，使海绵刷216中的水分挤出，使海绵刷216可快速干燥，防止了海绵刷216出现发霉滋生细菌的情况，至此，对粉碎辊27冲洗完成后，再次驱使多个滑套221在延伸板222上滑动，使粉碎齿219穿过粉碎辊27的通孔，并在粉碎辊27表面形成凸起，即可再次进行粉碎工作。

如图2和图6所示，粉碎箱24前端面左侧上端固定连接有第一电机25，第一电机25输出端与左侧粉碎辊27固定相连，粉碎辊27后端中部固定连接有L型杆228，L型杆228后端固定连接有齿轮26，两侧齿轮26相互啮合。

具体的，通过启动第一电机25带动左侧的粉碎辊27转动，在两侧齿轮26的相互配合下，即可使右侧的粉碎辊27转动，使左右两侧的粉碎辊27同时反向转动，即可对单晶硅原料进行破碎。

如图3、图5、图6所示，粉碎辊27后端中部通过调节轴226转动设置有斜槽盘224和蜗轮227，滑套221后端固定连接有导向柱225，导向柱225插入至斜槽盘224的凹槽处并与其滑动相连，粉碎辊27后端两侧均转动设置有蜗杆229，蜗杆229与蜗轮227相互啮合。

具体的，通过转动蜗杆229带动蜗轮227转动，即可使斜槽盘224转动，利用斜槽盘224的凹槽来带动导向柱225移动，使得滑套221在延伸板222上滑动，使粉碎齿219从粉碎辊27上的通孔缩回粉碎辊27内部，使得堵塞在粉碎辊27、粉碎齿219之间的单晶硅原料得以疏通。

如图4所示，粉碎箱24上端后侧滑动连接有第二气缸217，第二气缸217活塞端与安装座210固定相连。

具体的，利用第二气缸217带动安装座210在限位杆218上滑动，使得海绵刷216升降，当海绵刷216与粉碎辊27贴合时，即可对粉碎辊27表面残留的水分进行吸附。

如图4、图6、图7所示，安装座210上端中部固定连接有第一气缸29，第一气缸29活塞端固定连接有升降杆28，升降杆28下端两侧均与拉伸杆211固定相连，粉碎箱24左端后侧固定连接有第三电机231，第三电机231输出端固定连接有螺纹杆230，螺纹杆230与第二气缸217底部螺纹相连。

具体的，当海绵刷216对粉碎辊27表面的水分进行吸附后，再次驱使安装座210向上移动，然后利用第三电机231带动螺纹杆230转动，即可使第二气缸217向左移动，使海绵刷216向左移动，使两侧的海绵刷216对准粉碎辊27和粉碎箱24形成空隙，使得水分在挤出时，不会重新回到粉碎辊27，然后启动第一气缸29带动拉伸杆211移动，使得拉伸杆211带动矩形板214向上移动，使两侧的第一连杆213、弧形板215同时不同向转动，即可对海绵刷216进行挤压，使海绵刷216吸附的水分得以挤出，即可避免出现海绵刷216发霉和滋生细菌的情况。

如图1、图2所示，底座1上端左侧固定连接有水箱20，水箱20上端连通有水泵21，水泵21出水端连通有出水管22，出水管22右端与长管232连通。

具体的，通过利用水泵21将水箱20内部的水抽出，经出水管22后到达长管232，并从喷头233喷出，即可对粉碎辊27表面进行冲洗，以保证粉碎辊27和粉碎齿219表面的洁净度。

如图1所示，底座1上端面右侧固定连接有外壳316，底座1上端右侧固定连接有提拉板31，提拉板31下端转动设置有缠绕辊32，提拉板31前端面下侧固定连接有第二电机30，缠绕辊32缠绕有软轴33，提拉板31上端右侧固定连接有第一支撑辊34，提拉板31上端左侧固定连接有第二支撑辊35，软轴33左端与提升块39固定相连，软轴33与第一支撑辊34和第二支撑辊35表面贴合。

具体的，利用第二电机30带动缠绕辊32转动，即可对软轴33进行卷绕，使得软轴33对提升块39进行提拉，当夹持器311上端与提升板38底部贴合时，即可使提升板38在限位柱36上滑动，使得籽晶312被提拉，即可进行拉晶工作。

如图9和图10所示，提升块39前侧下端固定连接有弹簧310，弹簧310下端与提升板8固定相连。

具体的，利用弹簧310，可对提升块39复位，使得弹簧310在不被拉伸时，提升块39上端与提升板38贴合并抵住，使提升块39不会再下降，当提升块39提升时，弹簧310被拉伸，提升块39下侧与提升板38相抵，使提升块39与提升板38同步上升下降。

如图9和图10所示，提升块39右端转动设置有第二连杆313，第二连杆313右端转动设置有插杆314，插杆314右端滑动连接有滑杆315，滑杆315左端固定连接于提升板38。

具体的，当软轴33断裂时，提升块39失去向上的牵引力，弹簧310复位，即可使提升块39相对提升板38向下滑动，提升块39下降时，带动第二连杆313移动，第二连杆313带动插杆314在滑杆315上滑动。

如图9和图10所示，底座1上端右侧固定连接有槽板37，槽板37内侧设置有多个凸块。

具体的，当插杆314在滑杆315上向右滑动时，即可使插杆314插入设置槽板37内侧的凸块中，即可使提升板38停止下降，防止出现籽晶312掉落至熔化的硅液中的情况。

工作原理：当单晶炉进行单晶拉制工作时，先将单晶硅原料加入至单晶炉内部的石英坩埚内部，而单晶硅原料加入至石英坩埚前，需要对单晶硅原料进行粉碎，以确保使单晶硅原料在石英坩埚内部均匀分布，所以，单晶拉制工作前，先将单晶硅原料加入至粉碎箱24内部，并使单晶硅原料处于两个粉碎辊27之间，然后驱使两个粉碎辊27同时不同向转动，利用粉碎辊27上的粉碎齿219来对单晶硅原料进行破碎，破碎后的单晶硅原料落入至炉体4内部的石英坩埚，然后利用石墨加热器5来对单晶原料进行加热，使其熔化，然后利用石墨加热器5对熔化的硅液稍做降温，然后利用夹持器311来对一根籽晶312进行固定，然后驱使提升板38在限位柱36上滑动，使籽晶312下降并插入至熔体表面，待籽晶312与熔体熔和后，慢慢向上拉籽晶，晶体便会在籽晶312下端生长，接着,控制籽晶312生长出一段长为100mm左右、直径为3～5mm的细颈，用于消除高温溶液对籽晶312的强烈热冲击而产生的原子排列的位错，这个过程就是引晶；随后，放大晶体直径到工艺要求的大小，一般为75～300mm，这个过程称为放肩；接着，突然提高拉速进行转肩操作，使肩部近似直角；然后，进入等径工艺，通过控制热场温度和晶体提升速度，生长出一定直径规格大小的单晶柱体；最后，待大部分硅溶液都已经完成结晶时，再将晶体逐渐缩小而形成一个尾形锥体，称为收尾工艺，这样一个单晶拉制过程就基本完成，进行一定的保温冷却后就可以取出，当粉碎辊27使用一段时间后，粉碎辊27以及粉碎齿219表面会附着一定量的单晶硅原料，甚至可能出现单晶硅原料结块在粉碎辊27以及粉碎齿219表面的情况，影响对单晶硅原料的粉碎效率，进而影响后续对单晶硅原料的熔化工作，甚至可能出现因单晶硅原料结块在两个粉碎辊27之间，而将粉碎辊27卡死的情况，当粉碎辊27以及粉碎齿219表面附着的单晶硅原料较少，且没有结块时，可利用向长管232输送水流，经喷头233将水流喷向粉碎辊27，并配合粉碎辊27的转动，即可使粉碎辊27可均匀的被水冲洗，使得附着在粉碎辊27以及粉碎齿219表面的单晶硅原料被冲掉，当粉碎辊27表面被冲洗干净后，使粉碎辊27停止转动，然后驱使多个滑套221在延伸板222上滑动，使连接板220向粉碎辊27轴心移动，即可使粉碎齿219从粉碎辊27的通孔处缩回至粉碎辊27内部，即可使粉碎辊27表面无凸起，然后驱使安装座210在限位杆218上向下滑动，使海绵刷216与粉碎辊27表面贴合，然后再使粉碎辊27转动，即可使海绵刷216与粉碎辊270表面摩擦，对粉碎辊27表面残余的水分进行吸附，避免粉碎辊27表面残余水分过多而造成生锈的情况，当海绵刷216吸收水分过多时，可再次驱使安装座210在限位杆218上向上滑动，使海绵刷216远离粉碎辊27，然后驱使限位杆218向左滑动，使海绵刷216从正对粉碎辊27上方移开，使两侧海绵刷216分别正对粉碎辊27、粉碎箱24所形成的空隙上方，然后驱使拉伸杆211向上滑动，即可使矩形板214向上滑动，使相邻的弧形板215和第一连杆213同时反向转动，使弧形板215对海绵刷216进行挤压，使海绵刷216中的水分挤出，避免因海绵刷216中水分得不到挤出，从而出现发霉滋生细菌的情况，不利于后续使用，至此，对粉碎辊27冲洗完成后，再次驱使多个滑套221在延伸板222上滑动，使粉碎齿219穿过粉碎辊27的通孔，并在粉碎辊27表面形成凸起，即可再次进行粉碎工作。从而可对粉碎辊27上的粉碎齿219起到一个回缩效果，使得当结块的单晶硅原料卡死粉碎辊27时，使粉碎齿219可快速的脱离结块单晶硅原料，使粉碎辊27之间得以疏通，并且，对粉碎辊27和粉碎齿219冲洗后，可利用粉碎齿219回缩效果，使得可利用海绵刷216与粉碎辊27表面贴合，对粉碎辊27表面残留的水分吸收，避免出现粉碎辊27生锈的情况，并且，可对海绵刷216吸收的水分挤出，进而避免了出现海绵刷216发霉滋生细菌的情况，便于后续再次使用。

以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (6)

1.一种炉口开放式提拉单晶炉，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）上端中部固定连接有炉体（4），所述炉体（4）底部设置有用于对单晶硅原料进行加热的石墨加热器（5），所述底座（1）上端左侧设置有用于对单晶硅原料进行粉碎的通孔伸缩式粉碎机构（2）；

所述通孔伸缩式粉碎机构（2）包括固定连接于底座（1）左侧两端的支撑板（23），所述支撑板（23）上端固定连接有粉碎箱（24），所述粉碎箱（24）上端两侧均转动设置有粉碎辊（27），所述粉碎辊（27）内腔壁前端中部固定连接有固定轴（223），所述固定轴（223）后端固定连接有延伸板（222），所述延伸板（222）滑动连接有多个滑套（221），所述滑套（221）远离延伸板（222）的一端固定连接有连接板（220），所述连接板（220）远离滑套（221）的一端固定连接有多个粉碎齿（219），所述粉碎齿（219）与粉碎辊（27）的通孔处插接，所述粉碎箱（24）上端前侧滑动连接有限位杆（218），所述限位杆（218）滑动连接有安装座（210），所述安装座（210）下端两侧均固定连接有固定杆（212），所述固定杆（212）两端均转动设置有第一连杆（213），所述第一连杆（213）下端转动设置有弧形板（215），所述弧形板（215）下端设置有海绵刷（216），所述弧形板（215）中部转动设置有矩形板（214），所述矩形板（214）上端固定连接有拉伸杆（211），所述拉伸杆（211）与固定杆（212）、安装座（210）滑动相连，所述粉碎箱（24）上端左侧两端均固定连接有长管（232），所述长管（232）右侧设置有多个喷头（233）；

所述底座（1）上端右侧还设置有提拉机构（3），所述提拉机构（3）包括固定连接于底座（1）上端两侧的限位柱（36），所述限位柱（36）滑动连接有提升板（38），所述提升板（38）中部滑动连接有提升块（39），所述提升块（39）下端固定连接有夹持器（311），所述夹持器（311）底部安装有籽晶（312）；

所述底座（1）上端面右侧固定连接有外壳（316），所述底座（1）上端右侧固定连接有提拉板（31），所述提拉板（31）下端转动设置有缠绕辊（32），所述提拉板（31）前端面下侧固定连接有第二电机（30），所述缠绕辊（32）缠绕有软轴（33），所述提拉板（31）上端右侧固定连接有第一支撑辊（34），所述提拉板（31）上端左侧固定连接有第二支撑辊（35），所述软轴（33）左端与提升块（39）固定相连，所述软轴（33）与第一支撑辊（34）和第二支撑辊（35）表面贴合；

所述提升块（39）前侧下端固定连接有弹簧（310），所述弹簧（310）下端与提升板（38）固定相连；

所述提升块（39）右端转动设置有第二连杆（313），所述第二连杆（313）右端转动设置有插杆（314），所述插杆（314）右端滑动连接有滑杆（315），所述滑杆（315）左端固定连接于提升板（38）；

所述底座（1）上端右侧固定连接有槽板（37），所述槽板（37）内侧设置有多个凸块。

2.根据权利要求1所述的一种炉口开放式提拉单晶炉，其特征在于：所述粉碎箱（24）前端面左侧上端固定连接有第一电机（25），所述第一电机（25）输出端与左侧所述粉碎辊（27）固定相连，所述粉碎辊（27）后端中部固定连接有L型杆（228），所述L型杆（228）后端固定连接有齿轮（26），两侧所述齿轮（26）相互啮合。

3.根据权利要求1所述的一种炉口开放式提拉单晶炉，其特征在于：所述粉碎辊（27）后端中部通过调节轴（226）转动设置有斜槽盘（224）和蜗轮（227），所述滑套（221）后端固定连接有导向柱（225），所述导向柱（225）插入至斜槽盘（224）的凹槽处并与其滑动相连，所述粉碎辊（27）后端两侧均转动设置有蜗杆（229），所述蜗杆（229）与蜗轮（227）相互啮合。

4.根据权利要求1所述的一种炉口开放式提拉单晶炉，其特征在于：所述粉碎箱（24）上端后侧滑动连接有第二气缸（217），所述第二气缸（217）活塞端与安装座（210）固定相连。

5.根据权利要求1所述的一种炉口开放式提拉单晶炉，其特征在于：所述安装座（210）上端中部固定连接有第一气缸（29），所述第一气缸（29）活塞端固定连接有升降杆（28），所述升降杆（28）下端两侧均与拉伸杆（211）固定相连，所述粉碎箱（24）左端后侧固定连接有第三电机（231），所述第三电机（231）输出端固定连接有螺纹杆（230），所述螺纹杆（230）与第二气缸（217）底部螺纹相连。

6.根据权利要求1所述的一种炉口开放式提拉单晶炉，其特征在于：所述底座（1）上端左侧固定连接有水箱（20），所述水箱（20）上端连通有水泵（21），所述水泵（21）出水端连通有出水管（22），所述出水管（22）右端与长管（232）连通。