CN117870075A - 一种晶圆检测精密空调的调控方法 - Google Patents
一种晶圆检测精密空调的调控方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN117870075A CN117870075A CN202311857162.2A CN202311857162A CN117870075A CN 117870075 A CN117870075 A CN 117870075A CN 202311857162 A CN202311857162 A CN 202311857162A CN 117870075 A CN117870075 A CN 117870075A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- key
- menu
- setting
- pressing
- operating system
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 title claims abstract description 27
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 22
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 17
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims abstract description 46
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims abstract description 10
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 8
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 8
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 3
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000003993 interaction Effects 0.000 abstract description 6
- 238000004378 air conditioning Methods 0.000 description 2
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Air Conditioning Control Device (AREA)
Abstract
本发明属于精密空调的技术领域，具体涉及一种晶圆检测精密空调的调控方法。本发明提供的一种晶圆检测精密空调的调控方法包括具体调控步骤为：步骤S1，接通电源，进入操作菜单；步骤S2，设定输入类型，长按菜单键3s，而后经上键和下键变更数值；步骤S3，设定控制方式，短按数次模式键，当显示cntl时按上键来设定；步骤S4，设定目标值SP，长按菜单键3s以上，通过上键、下键和移位键来变更数值；步骤S5，设定加热冷却，长按菜单键3s，短按数次模式键，当显示S‑HC时按上键和下键来设定；步骤S6，设定AT自整定；步骤S7，通信设定；步骤S8，操作系统运行。该调控方法有效提高精密空调的人机交互体验感。
Description
技术领域
本发明属于精密空调的技术领域，具体涉及一种晶圆检测精密空调的调控方法。
背景技术
精密空调是指能够充分满足特定环境条件要求的专用精密空调机（也称恒温恒湿空调），精密空调对环境条件的调整功能在半导体行业和精密医疗仪器的生产制造过程中起着关键性作用。众所周知，专用精密空调的控制系统功能比舒适性空调完善得多。。不少专用精密空调机生产企业专门开发一系列的控制器作为空调系统的组成部分。采用电子控制器或微机控制已经十分普遍，有些企业已经把模糊控制技术应用在专用空调系统中。但是，目前该类精密空调的控制较为复杂，需要较为专业的设定，在应用过程中，降低了人机的交互体验感。
发明内容
针对现有技术存在的不足，本发明提供一种晶圆检测精密空调的调控方法，目的在于解决因专用精密空调的控制复杂而导致应用过程中人机交互体验感降低的技术问题。
本发明提供的一种晶圆检测精密空调的调控方法，包括所述晶圆检测精密空调的操作系统包括菜单键、模式键、移位键、上键和下键，通过所述操作系统来调控所述晶圆检测精密空调，具体调控步骤为：步骤S1，接通电源，所述操作系统进入操作菜单；步骤S2，设定输入类型，长按所述菜单键3s，所述操作系统从所述操作菜单进入初始设定菜单，而后经所述上键和所述下键变更数值以设定所需的输入类型；步骤S3，设定控制方式，短按数次所述模式键，当所述操作系统显示cntl时按所述上键设定PID控制模式；步骤S4，设定目标值SP，长按所述菜单键3s以上，所述操作系统从所述初始设定菜单回到所述操作菜单，通过所述上键、所述下键和所述移位键来变更数值以设定所需的目标值；步骤S5，设定加热冷却，长按所述菜单键3s，所述操作系统从所述操作菜单进入所述初始设定菜单，短按数次所述模式键，当所述操作系统显示S-HC时按所述上键和所述下键来设定加热冷却H-C；步骤S6，设定AT自整定，短按所述菜单键，所述操作系统从所述初始设定菜单进入调整菜单，按所述模式键，当所述操作系统显示AT时按所述上键和所述下键设定为At-2；步骤S7，通信设定，长按所述菜单键3s以上，所述操作系统从所述调整菜单回到所述操作菜单，长按所述菜单键3s，所述操作系统从所述操作菜单进入所述初始设定菜单，短按所述菜单键，所述操作系统从所述初始设定菜单进入通信设定菜单，按所述模式键，根据所述操作系统显示内容经所述上键和所述下键来依次设定协议选择、从站地址、波特率、奇偶校验位和数据等待时间；步骤S8，所述操作系统结合上位机按上述设定条件开始运行。
在其他实施例中，在步骤S2中将所述变更数值设为1，所述输入类型为铂电阻Pt100，所述设定值1对应预设的温度范围。
在其他实施例中，在步骤S3中将经所述上键和所述下键更换所需的控制方式。
在其他实施例中，在步骤S4中持续按住所述上键和所述下键能快速增减数值。
在其他实施例中，在步骤S6中AT自整定执行中，所述操作系统的“TURE”指示灯常亮。
有益效果：本发明提供的一种晶圆检测精密空调的调控方法包括八个操作步骤，通过菜单键的相对长短按键时间来实现在操作菜单、初始设定菜单、调整菜单和通信设定菜单这四种命令菜单之间的切换，通过模式键、上/下键或移位键在相应命令菜单下结合操作系统显示内容的提示来实现各数值的设定。八个操作步骤通过“菜单键、模式键、移位键、上键和下键”这五个按键的组合操作实现了对精密空调的调控，该调控方法简洁易操作，按键命名与其调控功能相匹配并结合系统显示，有效提高了该精密空调应用中的人机交互体验感。
附图说明
图1为本发明实施例中一种晶圆检测精密空调的调控方法的结构框图。
具体实施方式
一种晶圆检测精密空调的调控方法，其中该晶圆检测精密空调的操作系统包括菜单键、模式键、移位键、上键和下键，通过操作系统来调控该晶圆检测精密空调。
如图1所示，一种晶圆检测精密空调的调控方法的具体调控步骤为：
步骤S1，接通电源，操作系统进入操作菜单。
该S1步骤是在作好前期的开机准备后，电源进线、通讯接头完成有效对接，打开总开关，接通电源，操作系统自动进入操作菜单，位后续各种调控条件的设定作好准备。
步骤S2，设定输入类型，长按菜单键3s，操作系统从操作菜单进入初始设定菜单，而后经上键和下键变更数值以设定所需的输入类型。
通过内部处理器的预设程序，该S2步骤中通过变更数值来实现输入类型的设定，一种数字对应代表一种设定类型，也即一种数字对应代表一种调控条件的数值范围，例如数值“5”代表热电偶传感器，且该传感器的规格为K，且该规格的传感器对应的温度范围为-200℃-1300℃；数值“1”代表铂电阻传感器，且该传感器规格为Pt100，且该规格的传感器对应的温度范围为-199.9℃-500℃。并且，将该预设定的输入类型与数值之间的对应关系制定出一份可供查阅的资料，在使用操作中，操作人员可参阅相关资料来进行设定。该操作步骤无需操作人员记忆或具备相关专业知识，对应例如表格资料即可完成操作，操作简单且便捷。
步骤S3，设定控制方式，短按数次模式键，当操作系统显示cntl时按上键设定PID控制模式。
该S3步骤中，PID控制模式在操作中均会同步显示对应字母简称，以提醒操作人员此时的控制模式的类型。此外，也可以通过上/下键来更换为其他的控制方式。也可以将对应信息制定出可供操作人员参考的资料，以更便捷地实现调控。
步骤S4，设定目标值SP，长按菜单键3s以上，操作系统从初始设定菜单回到操作菜单，通过上键、下键和移位键来变更数值以设定所需的目标值。
步骤S4中，在操作菜单中包括PV和SV两种显示数值，PV代表实际值，SV代表目标值，该步骤是对进行SV所对应的数值进行变更。其中，持续按住上键或下键能快速增减数值，以实现快速调节数值，方便操作，进一步提高人机交互的体验感。
步骤S5，设定加热冷却，长按菜单键3s，操作系统从操作菜单进入初始设定菜单，短按数次模式键，当操作系统显示S-HC时按上键和下键来设定加热冷却H-C。
在步骤S3和步骤S5中的设定条件，均在初始菜单中通过模式键来实现控制方式和加热冷却的设定。
步骤S6，设定AT自整定，短按菜单键，操作系统从初始设定菜单进入调整菜单，按模式键，当操作系统显示AT时按上键和下键设定为At-2。
在该步骤中AT自整定执行中，操作系统的“TURE”指示灯常亮，该设置能为操作人员的操作进行及时反馈，进一步提高人机交互的体验感。
步骤S7，通信设定，长按菜单键3s以上，操作系统从调整菜单回到操作菜单，长按菜单键3s，操作系统从操作菜单进入初始设定菜单，短按菜单键，操作系统从初始设定菜单进入通信设定菜单，按模式键，根据操作系统显示内容经上键和下键来依次设定协议选择、从站地址、波特率、奇偶校验位和数据等待时间。
步骤S8，操作系统结合上位机按上述设定条件开始运行。
上述八个操作步骤，通过“菜单键、模式键、移位键、上键、下键”五个按键的组合使用实现了对精密空调的调控，其中涉及“操作菜单、初始设定菜单、调整菜单和通信设定菜单”四种命令菜单。通过“菜单键”的不同按键时长来实现命令菜单之间的切换，通过“模式键、上/下键或移位键”在相应命令菜单下结合操作系统显示内容的提示来实现各数值的设定，且按键命名与其调控功能相匹配，使得该调控方法简单易操作，有效提高了该精密空调应用中的人机交互体验感。
以上实施方式是示例性的，其目的是说明本发明的技术构思及特点，以便熟悉此领域技术的人士能够了解本发明的内容并据以实施，并不能以此限制本发明的保护范围。凡根据本发明精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本发明的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种晶圆检测精密空调的调控方法，其特征在于：所述晶圆检测精密空调的操作系统包括菜单键、模式键、移位键、上键和下键，通过所述操作系统来调控所述晶圆检测精密空调，具体调控步骤为：
步骤S1，接通电源，所述操作系统进入操作菜单；
步骤S2，设定输入类型，长按所述菜单键3s，所述操作系统从所述操作菜单进入初始设定菜单，而后经所述上键和所述下键变更数值以设定所需的输入类型；
步骤S3，设定控制方式，短按数次所述模式键，当所述操作系统显示cntl时按所述上键设定PID控制模式；
步骤S4，设定目标值SP，长按所述菜单键3s以上，所述操作系统从所述初始设定菜单回到所述操作菜单，通过所述上键、所述下键和所述移位键来变更数值以设定所需的目标值；
步骤S5，设定加热冷却，长按所述菜单键3s，所述操作系统从所述操作菜单进入所述初始设定菜单，短按数次所述模式键，当所述操作系统显示S-HC时按所述上键和所述下键来设定加热冷却H-C；
步骤S6，设定AT自整定，短按所述菜单键，所述操作系统从所述初始设定菜单进入调整菜单，按所述模式键，当所述操作系统显示AT时按所述上键和所述下键设定为At-2；
步骤S7，通信设定，长按所述菜单键3s以上，所述操作系统从所述调整菜单回到所述操作菜单，长按所述菜单键3s，所述操作系统从所述操作菜单进入所述初始设定菜单，短按所述菜单键，所述操作系统从所述初始设定菜单进入通信设定菜单，按所述模式键，根据所述操作系统显示内容经所述上键和所述下键来依次设定协议选择、从站地址、波特率、奇偶校验位和数据等待时间；
步骤S8，所述操作系统结合上位机按上述设定条件开始运行。
2.根据权利要求1所述的晶圆检测精密空调的调控方法，其特征在于：在步骤S2中将所述变更数值设为1，所述输入类型为铂电阻Pt100，所述设定值1对应预设的温度范围。
3.根据权利要求1所述的晶圆检测精密空调的调控方法，其特征在于：在步骤S3中将经所述上键和所述下键更换所需的控制方式。
4.根据权利要求1所述的晶圆检测精密空调的调控方法，其特征在于：在步骤S4中持续按住所述上键和所述下键能快速增减数值。
5.根据权利要求1所述的晶圆检测精密空调的调控方法，其特征在于：在步骤S6中AT自整定执行中，所述操作系统的“TURE”指示灯常亮。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202311857162.2A CN117870075A (zh) | 2023-12-29 | 2023-12-29 | 一种晶圆检测精密空调的调控方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202311857162.2A CN117870075A (zh) | 2023-12-29 | 2023-12-29 | 一种晶圆检测精密空调的调控方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN117870075A true CN117870075A (zh) | 2024-04-12 |
Family
ID=90587793
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202311857162.2A Pending CN117870075A (zh) | 2023-12-29 | 2023-12-29 | 一种晶圆检测精密空调的调控方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN117870075A (zh) |
-
2023
- 2023-12-29 CN CN202311857162.2A patent/CN117870075A/zh active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US10579078B2 (en) | Interview programming for an HVAC controller | |
| US8387891B1 (en) | Programmable thermostat time/temperature display and method | |
| CN108413574A (zh) | 空调运行状态控制方法及空调系统 | |
| CN109780700A (zh) | 空调器的导风板调节方法、装置及计算机可读存储介质 | |
| US7280877B2 (en) | Facility control monitor method and facility control monitor apparatus | |
| CN117870075A (zh) | 一种晶圆检测精密空调的调控方法 | |
| CN205077118U (zh) | 一种成品退火炉全自动温度控制系统 | |
| CN101368778A (zh) | 一种施工现场大型氨制冷设备集中控制系统 | |
| CN109144136A (zh) | 一种用于三段加热式加热炉的温度控制系统和方法 | |
| US20040015268A1 (en) | Display and control unit, variety management apparatus, relay communication apparatus, communication device, and broadcast system | |
| CN107656438B (zh) | 一种控制方法、装置、存储介质及设备 | |
| CN201662321U (zh) | 新型浇铸压延铸石板材专用气烧辊道窑温计算机监控系统 | |
| JPH06231380A (ja) | プロセス表示装置 | |
| JP3274581B2 (ja) | プロセス監視装置 | |
| TWI684903B (zh) | 智能化操作面板 | |
| CN219087323U (zh) | 一种用于可视化便捷式多段恒温加热的控制电路装置 | |
| CN211577732U (zh) | 多通道pid整定性能测试的系统和设备 | |
| US11499737B2 (en) | Simplified system and method for setback programming of thermostats | |
| CN115059999B (zh) | 一种空调遥控器控制方法及系统 | |
| CN109884992B (zh) | 基于ocx控件的间歇式窑炉烧结工艺设定系统及方法 | |
| CN111142424B (zh) | 辅助动力装置的电子控制器在线监控方法 | |
| TWI717235B (zh) | 空調箱控制系統 | |
| CN111735176B (zh) | 一种基于形象识别的调试终端及电器设备的调试方法 | |
| CN111026000B (zh) | 一种高频热合仪的线性输出系统 | |
| JPH0567288A (ja) | ビル管理システム |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination |