CN117848686A - 测试设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种测试设备，该设备包括流体源、主循环管路、调压部件、第一测试组件和第二测试组件，主循环管路的两端分别与流体源的进口和出口连通，调压部件、第一测试组件、待测部件和第二测试组件依次设置于主循环管路上；调压部件用于调节待测部件的上游侧的流体压力；第一测试组件用于检测待测部件的上游侧的流体流量和流体压力；第二测试组件用于检测待测部件的下游侧的流体流量和流体压力；测试设备还包括执行控制模块，用于通过控制调压部件调节流体压力，并根据第一测试组件和第二测试组件检测到流量值和压力值分析待测部件的性能；这样，通过控制和检测待测部件的进出液流量和压力，能够测试待测部件的多种性能。

Description

测试设备

技术领域

本发明涉及仪表制造领域，具体地，涉及一种测试设备。

背景技术

随着光伏和半导体清洗领域的技术要求越来越高，产品更新迭代周期也越来越短，因此需在短期研发出技术指标更高的耐腐蚀液体截止阀、流量计、压力传感器等零部件。相应的，在研发过程中，液体截止阀、流量计、压力传感器等零部件也需要作多次性能测试。

但目前用于测试上述零部件性能的测试设备功能通常独立单一的，例如：高压测试设备只能做零部件的爆破测试、流量测试设备仅能够测试零部件的流量范围。因此，在测试同一零部件的不同性能时，需要将被测样件在不同的测试设备之间切换，导致测试周期较长，且容易造成被测样件受到污染。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种测试设备，其能够测试待测部件的工作压力阈值、流通能力等多种性能。

为实现本发明的目的而提供一种测试设备，用于测试待测部件的性能，所述测试设备包括流体循环模块和执行控制模块，其中，

所述流体循环模块包括流体源、主循环管路、调压部件、第一测试组件和第二测试组件，所述主循环管路的两端分别与所述流体源的进口和出口连通，所述调压部件、所述第一测试组件、所述待测部件和所述第二测试组件依次设置于所述主循环管路上；所述调压部件用于调节所述待测部件的上游侧的流体压力；所述第一测试组件用于检测所述待测部件的上游侧的流体流量和流体压力；所述第二测试组件用于检测所述待测部件的下游侧的流体流量和流体压力；

所述执行控制模块分别与所述调压部件、所述第一测试组件和第二测试组件电连接，用于通过控制所述调压部件调节流体压力，并根据所述第一测试组件和第二测试组件检测到流量值和压力值分析所述待测部件的性能。

可选的，所述第一测试组件包括第一压力传感器和第一流量计；

所述第二测试组件包括第二流量计和第二压力传感器；

所述执行控制模块用于控制所述调压部件使所述待测部件的上游侧的流体压力持续上升；并根据第一流量计和所述第二流量计的检测结果实时判断二者是否一致；并在二者不一致时，获取所述第一压力传感器的检测结果，将之作为所述待测部件的实际工作压力阈值；

还用于根据所述第一压力传感器和所述第二压力传感器的检测结果，控制所述调压部件调节流体压力，直至所述待测部件两端的流体压力差达到预设压力差值；并获取所述第二流量计的检测结果，将之作为所述待测部件的流通能力。

可选的，所述测试设备还包括保护箱和第一漏液检测器，所述待测部件和所述第一漏液传感器均设置于所述保护箱内，所述第一漏液检测器用于检测所述待测部件是否发生漏液；

所述流体循环模块还包括设置于所述主循环管路且位于所述待测部件的下游侧的第一截止阀；

所述执行控制模块用于控制所述第一截止阀将所述主循环管路断开，并控制所述调压部件将所述主循环管路内部流体压力调节为持续上升；直至所述第一漏液检测器检测到所述待测部件发生漏液时，获取所述第一压力传感器的检测结果，并将之作为所述待测部件的爆破阈值压力。

可选的，所述流体源包括储液箱和调温器；

所述储液箱用于盛装所述测试流体；

所述调温器用于调节所述储液箱内部流体温度；

所述执行控制模块用于控制所述调温器将所述测试流体调节至多个不同预设测试温度；并用于在多个所述预设测试温度下，分别控制所述调压部件调节所述待测部件上游侧的流体压力在所述待测部件的预设工作压力阈值内持续上升；并根据所述第一流量计和所述第二流量计的检测结果实时判断二者是否一致；并在二者不一致时，获取当前所述预设测试温度，将之作为所述待测部件的工作温度阈值。

可选的，所述调压部件位于所述第一压力传感器的上游，所述第一流量计位于所述第一压力传感器的下游；

所述第二流量计位于所述第二压力传感器的上游，所述第一截止阀位于所述第二压力传感器的下游。

可选的，所述流体循环模块包括气动泵，所述气动泵具有进气端和动力输出端，所述动力输出端与所述主循环管路连接，用于驱动所述主循环管路中的流体循环流动；

所述测试设备还包括供气模块，所述供气模块包括压缩气源和第一气路，所述第一气路的进气端与所述压缩气源连通，所述第一气路的出气端与所述气动泵的进气端连通，以为所述气动泵提供动力。

可选的，所述待测部件为气动阀，所述供气模块还包括第二气路；所述第二气路的进气端与所述压缩气源连通，所述第二气路的出气端与所述气动阀的进气端连通，以驱动所述气动阀开闭或调节所述气动阀的开度。

可选的，所述流体循环模块还包括至少一条第一旁通管路；所有所述第一旁通管路的出液口均与所述主循环管路连通，且位于所述待测部件与所述第二测试组件之间；

所述待测部件具有至少两个端口，其中的两个端口分别与所述主循环管路连通，其余的端口则与相应的所述第一旁通管路的进液口连通；

所有所述第一旁通管路中设置第二截止阀，用于控制所述第一旁通管路通断。

可选的，所述测试设备还包括离子检测装置和取液管路；所述离子检测装置用于检测其内部流体的离子浓度；

所述取液管路的进液端与所述主循环管路连通；所述取液管路的出液端与所述离子检测装置的连通；

所述取液管路中设置有第三截止阀，用于控制所述取液管路的通断。

可选的，所述测试设备还包括过滤组件，所述过滤组件包括过滤器、排气管和排液管；

所述过滤器与所述主循环管路连接，用于过滤所述主循环管路内部流体中的杂质；所述主循环管路中还设置有第四截止阀，所述第四截止阀位于所述过滤器的下游侧；

所述过滤器包括滤芯主体以及与所述主循环管路连通的废气口和废液口，所述滤芯主体位于所述主循环管路中；

所述排气管分别与所述过滤器的废气口和所述储液箱连通，用以将所述过滤器中存积的气体回收至所述储液箱中；

所述排液管与所述过滤器的废液口连通，用于将所述过滤器中存积的液体排出。

可选的，所述主循环管路中还设置有第五截止阀，所述第五截止阀设置于所述储液箱的出液口附近，用于控制所述储液箱的出液口开闭；

所述测试设备还包括排废管路，所述排废管路的进液口与所述主循环管路连通，且连通处位于所述第五截止阀的下游侧以及所述调压部件的上游侧；

所述排废管路中还设置有第六截止阀，用于控制所述排废管路的通断；

所述排液管的出液口与所述排废管路连通，且连通处位于所述第六截止阀的下游侧。

可选的，所述测试设备还包括箱体，用于保护所述测试设备的其它部件；所述箱体的底面倾斜设置；

所述测试设备还包括第二漏液传感器，所述第二漏液传感器设置于所述箱体的底面的最低处，用于检测所述测试设备的其它部件是否发生漏液。

本发明具有以下有益效果：

本发明提供的测试设备，其包括流体源以及两端分别与流体源连通的主循环管路，以使流体在主循环管路形成循环流动；而且，待测部件能够连接在主循环管路中，以向待测部件内部通入流体。测试设备还包括调压部件、第一测试组件和第二测试组件，其中，调压部件设置于第一测试组件的上游侧，用于调节待测部件的上游侧的流体压力，以调节待测部件的进液压力；第一测试组件设置于待测部件的上游侧，用于检测待测部件的上游侧的流体流量和流体压力；第二测试组件设置于待测部件的下游侧，用于检测待测部件的下游侧的流体流量和流体压力。

而且，该测试设备还包括执行控制模块，其能够通过调节待测部件的进液压力，并根据待测部件的进液侧和出液侧的流体压力和流体流量分析出待测部件的工作压力阈值、流通能力等多种性能参数，即该测试设备集成了多种测试功能。

因此，在对待测部件进行不同性能测试时，无需将待测部件从主循环管路上拆下，以能够省去拆装以及运输待测部件所需的时长，从而可以大大提高测试效率，而且能够降低待测部件被污染的可能性。

附图说明

图1为本发明实施例1提供的测试设备结构简图。

具体实施方式

为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图来对本发明提供的测试设备进行详细描述。

本实施例提供一种测试设备，用于测试待测部件的多种性能。例如为：截止阀、流量计、压力传感器等部件，可以根据待测部件的类型选取相应的测试方式。这些部件在正式投入生产或使用之前，往往需要对其工作温度范围、工作压力阈值、流通能力、爆破压力阈值等性能进行测试。

本实施例中的测试设备包括流体循环模块和执行控制模块。其中，流体循环模块包括：流体源3、主循环管路1、调压部件2、第一测试组件4和第二测试组件5。

其中，流体源3用于存储测试流体；具体的，测试流体可以根据待测部件的实际工作环境来选择，以使测试结果更能够符合实际工况，例如，若待测部件为设置在半导体清洗设备进液管路中的液体流量计，则测试流体可以选择清洗药液。

流体源3具有进口和出口。如图1所示，主循环管路1的两端分别与流体源3的进口和出口连通，以使测试流体在主循环管路1中循环流动，并能够循环利用测试流体；调压部件2、第一测试组件4、待测部件和第二测试组件5依次设置于主循环管路1上；而且，如图1所示，待测部件可拆卸地与主循环管路1相连接，以在进行测试前将待测部件安装在主循环管路1中，再在完成多种测试后将待测部件从主循环管路1中拆下。具体的，截止阀、流量计等内部具有流道的部件可以采用端部与主循环管路1连通的安装方式，压力传感器等不具有流道的部件可以采用检测端设置于主循环管路1内部的安装方式。

如上述，调压部件2位于第一测试组件4、待测部件以及第二测试组件5的上游侧，其用于调节待测部件的上游侧的流体压力，相当于调节待测部件的进液压力；具体的，调压部件2例如为调压阀。

第一测试组件4位于待测部件的上游侧，其用于检测待测部件的上游侧的流体流量和流体压力，相当于检测待测部件的进液流量和进液压力；第二测试组件5位于待测部件的下游侧，其用于检测待测部件的下游侧的流体流量和流体压力，相当于检测待测部件的出液流量和出液压力。

执行控制模块6分别与调压部件2、第一测试组件4和第二测试组件5电连接，以向调压部件2发送控制信号，并接收第一测试组件4和第二测试组件5检测到的数据。执行控制模块用于通过控制调压部件2调节流体压力，并根据第一测试组件4和第二测试组件5检测到流量值和压力值分析待测部件的性能。具体的，在得知待测部件的进液侧和出液侧的流体流量和流体压力，可以分析出工作压力阈值和流通能力等多种性能。

这样，在将待测部件安装在主循环管路1中后，即可完成上述多种性能的自动测试，以能够省去拆装以及搬运待测部件所用的时长，这样大大提高了测试效率，而且降低了待测部件被污染的可能。

具体的，在一些实施例中，如图1所示，位于待测部件上游的第一测试组件4包括第一压力传感器41和第一流量计42；其中，第一压力传感器41的检测端设置于主循环管路1中，用于检测待测部件的上游侧的流体压力；第一流量计42设置于主循环管路1中，用于检测待测部件的上游侧的流体流量。

位于待测部件下游的第二测试组件5包括第二流量计51和第二压力传感器52；其中，第二流量计51设置于主循环管路1中，用于检测待测部件的下游侧的液体流量；第二压力传感器52的检测端设置于主循环管路1中，用于检测待测部件的下游侧的流体压力。

执行控制模块6用于控制调压部件2调节主循环管路1内部液体压力，以使待测部件的上游侧的流体压力持续上升；并根据第一流量计42和第二流量计51的检测结果实时判断二者是否一致；并在二者不一致时，获取第一压力传感器41的检测结果，将之作为待测部件的实际工作压力阈值。

具体的，工作压力阈值是指在该压力范围内部件能够准确地工作。若部件的实际工作压力低于工作压力阈值，则其进液流量与出液流量能够相等；而若部件的实际工作压力超出工作压力阈值，则其进液流量与出液流量会不同，进而可能会在实际应用中造成工艺误差。因此，通过获取待测部件的上游侧和下游侧流体流量不一致时的压力临界值，能够得出待测部件的工作压力阈值。

而且，执行控制模块6还用于根据第一压力传感器41和第二压力传感器52的检测结果，控制调压部件2调节流体压力，直至待测部件两端的流体压力差达到预设压力差值；并获取第二流量计51的检测结果，将之作为待测部件的流通能力。

具体的，待测部件的流通能力是指在一定压力条件下，待测部件能够流过的最大流量，以表征待测部件的流通能力。具体的，上述预设压力差值例如为1psig。

在一些实施例中，测试设备还包括保护箱71和第一漏液检测器72；其中，待测部件和第一漏液传感器均设置于保护箱71内，第一漏液检测器72用于检测待测部件是否发生漏液。具体的，如图1所示，保护箱71能够在待测部件发生漏液时避免液体继续下落，以保护位于待测部件下方的其它部件，相应的，第一漏液检测器72可以通过检测保护箱71内是否存在积液来检测待测部件是否发生漏液。流体循环模块还包括设置于主循环管路1且位于待测部件的下游侧的第一截止阀11，第一截止阀11用于控制待测部件下游侧的主循环管路1的通断。

执行控制模块6用于控制第一截止阀11将主循环管路1断开，并控制调压部件2调节待测部件上游侧的流体压力，以使主循环管路1内部流体压力持续上升；直至漏液检测器7检测到待测部件发生漏液时，获取第一压力传感器41的检测结果，将之作为待测部件的爆破阈值压力。

具体的，爆破阈值压力是指部件能够承受的最大内部压力。若部件的实际工作压力达到了爆破阈值压力，则部件自身或其与管路的连接处会发生漏液，导致部件失效。

在一些优选的实施例中，第一流量计42位于第一压力传感器41的下游，即第一流量计42较为靠近待测部件，以使检测到的液体流量尽可能地接近待测部件的进液流量，从而提高测试的准确度。第二流量计51位于第二压力传感器52的上游，即第二流量计51较为靠近待测部件，以使检测到的液体流量尽可能地接近待测部件的出液流量，从而提高测试的准确度。第一截止阀11位于第二压力传感器52的下游，以能够控制主循环管路1与流体源3之间的通断。

在一些实施例中，流体源3包括储液箱31和调温器32。储液箱31用于盛装测试流体；如上述，测试流体可以根据待测部件实际工作环境来选择，而若测试流体为具有腐蚀性的清洗药液，则储液箱31可以选用耐酸碱材料制成。调温器32用于调节储液箱31内部液体温度，以调节待测部件的进液温度。

执行控制模块6还用于控制调温器32将测试流体调节至多个不同预设测试温度；并在多个预设测试温度下，分别控制调压部件2调节待测部件上游侧的流体压力在待测部件的预设工作压力阈值内持续上升；并根据第一流量计42和第二流量计51的检测结果实时判断二者是否一致；并在二者不一致时，获取当前预设测试温度，将之作为待测部件的工作温度阈值。

具体的，工作温度阈值是指在工作温度阈值限定的温度范围内，部件在预设工作压力阈值内能够准确工作。若部件的实际工作温度在工作温度阈值内，且其实际工作压力在工作压力阈值内，则其进液流量与出液流量能够相等；而若部件的实际工作温度超出工作温度阈值，即使其实际工作压力在工作压力阈值内，则其进液流量与出液流量也会不相同，进而可能会在实际应用中造成工艺误差。因此，在指定工作压力下，通过调整调温器的温度来调节测试温度，并试验出待测部件上游侧和下游侧流体流量不一致时的温度临界值，能够得出待测部件的工作温度阈值。

在一些优选的实施例中，储液箱31内部还设置有液位传感器33。液位传感器33用于检测储液箱31内部液面高度，以及时检测到储液箱31内部液面以下降至预设最低液面。优选的，储液箱31上开有补液口，液位传感器能够向执行控制模块6发送信号，以在储液箱31内部液面以下降至预设最低液面时发出警报，从而及时提醒操作人员进行补液，防止调温器32干烧；或者，储液箱31与补液管路连通，且补液管路中设置有由执行控制模块6控制的截止阀，以在储液箱31内部液面以下降至预设最低液面时控制补液管路对储液箱31进行自动补液，并在液面上升至预设最高液面时控制补液管路停止补液。

在一些实施例中，测试设备还包括过滤组件8，过滤组件8包括过滤器81、排气管82和排液管83。过滤器81与主循环管路1连接，过滤器用于过滤主循环管路1内部流体中的杂质，以避免输送至待测部件内部的液体影响测试结果，也能够避免对待测部件造成污染。

过滤器81包括滤芯主体以及与主循环管路1连通的废气口和废液口，滤芯主体位于主循环管路1中，用以对主循环管路1中的流体进行过滤。排气管82分别与过滤器81的废气口和储液箱连通，用以将过滤器81中存积的气体回收至储液箱中，以在使用清洗药液时利用排气管82回收过滤器81中可能存在的气体，以使回收的气体在储液箱内部液化，从而对其进行再利用。排液管83与过滤器81的废液口连通，用于将过滤器81中存积的液体排出，以在对过滤器81进行检修时，利用排液管83排出过滤器81中存积的废液。具体的，排气管82和排液管83中均设置有用于控制管路通断的截止阀。

主循环管路1中还设置有第四截止阀14，第四截止阀14位于过滤器81的下游侧，以在对过滤器81进行安装或检修时阻断其与待测部件的连接。

在一些实施例中，主循环管路1中还设置有第五截止阀15，第五截止阀15设置于储液箱的出液口附近，用于控制储液箱的出液口开闭。测试设备还包括排废管路17，排废管路17的进液口与主循环管路1连通，且连通处位于第五截止阀15的下游侧以及调压部件2的上游侧。排废管路17中还设置有第六截止阀16，用于控制排废管路17的通断。而且排液管83的出液口与排废管路17连通，且连通处位于第六截止阀16的下游侧，这样，在排液管83进行排液时，可以通过关闭第六截止阀16将排液管83与排废管路17的上游管段阻断，以避免废液回流至主循环管路1中。

在一些实施例中，流体循环模块包括气动泵93，气动泵93具有进气端和动力输出端，动力输出端与主循环管路1连接，用于驱动主循环管路1中的流体循环流动；具体的，气动泵93可以采用气动风囊泵。需要说明的是，为了较为清晰地描述供气组件9的构造，图1未示出气动泵93与流体源3的连接关系。

测试设备还包括供气模块，供气模块包括压缩气源和第一气路91，第一气路91的进气端与压缩气源连通，第一气路91的出气端与气动泵的进气端连通，以为气动泵提供动力。优选的，如图1所示，第一气路91中设置有用于调节气体压力的调压阀，还设置有用以控制通断的电磁截止阀，

在一些实施例中，待测部件可以为气动阀，即以气体压力为动力进行开度调节的阀门，例如为气动隔膜阀。相应的，测试设备还包括至少一条第二气路92；第二气路92的进气端与压缩气源连通，第二气路92的出气端用于与气动阀的进气端连通，以作为气动阀的动力源，驱动气动阀进行开闭阀动作。

在一些优选的实施例中，如图1所示，流体循环模块还包括至少一条第一旁通管路18。所有第一旁通管路18的出液口均与主循环管路1连通，且位于待测部件与第二测试组件5之间。

待测部件具有至少两个端口，其中的两个端口分别与主循环管路1连通，其余的端口则与相应的第一旁通管路18的进液口连通。所有第一旁通管路18中设置第二截止阀12，用于控制第一旁通管路18通断。这样，通过控制第一旁通管路18中的第二截止阀12的开闭，能够切换待测部件内部的相应的待测试流体通道，从而省去了为了切换待测试的液体流道而进行拆装的时长，进一步地提高了测试效率。优选的，第一旁通管路18中的第二截止阀12的开闭可以由执行控制模块6进行控制，以实现自动切换待测试的液体流道。

在一些优选的实施例中，上述第二气路92数量可以由待测部件内部液体流道数量决定；具体的，若待测部件为二通阀，即内部具有一条液体流道，则第二气路92数量可以为一条；若待测部件为三通阀，即内部具有两条液体流道，则第二气路92数量可以为两条，以分别控制两条液体流道的开闭和开度，依次类推。

在一些待测部件的应用场景中，通常对液体内部离子含量由严格的要求，因此需要避免待测部件引入离子，相应的，在一些待测部件投入使用之前需要对其实际工作中可能产生的离子量进行测试。为了实现这一功能，在一些实施例中，如图1所示，测试设备还包括离子检测装置和取液管路19，其中，离子检测装置用于检测其内部液体的离子浓度。取液管路19的进液端与主循环管路1连通，取液管路19的出液端与离子检测装置的连通，用以将主循环管路1内部液体传输至离子检测装置内部。而且，取液管路19中设置有第三截止阀13，其用于控制取液管路19的通断，以在需要取液时将取液管路19开启，并在取得足量的液体后对之进行离子浓度测试。在现有技术中，传统的离子分析仪通常只能在待测部件静态浸泡一定时长后，检测金属离子和非金属离子浓度。可见，与现有技术相比，本实施例采用的取液管路19的取样速度较快，而且在待测部件的出液端进行取样而得到的样本液体，更趋近于待测部件的实际工作情况，因此测试结果更为准确。

在一些优选的实施例中，测试设备的执行控制模块6还用于通过控制第三截止阀13的开关来控制取液管路19的通断，以实现液体的自动采样。而且，执行控制模块6还可以接收离子检测装置的检测数据，以便于对离子数据进行分析。

在一些实施例中，上述执行控制模块6包括计算模块、人机交互模块以及线路模块。其中，线路模块包括多条连接线，多条连接线分别将上述多个阀门的信号端、压力传感器的信号端、流量计的信号端、调温器32的信号端与计算模块上相应的端口连接，以使计算模块能够控制相应阀门，并能够接收相应的流量数据和压力数据，以及能够控制调温器32的输出功率。计算模块还用于对接收到的流量数据和压力数据进行分析和判断，以执行上述多种测试过程，并得出测试结果。具体的，计算模块可以采用PLC(可编程逻辑执行控制模块)。人机交互模块包括触摸屏以及多个电气元件；其中，触摸屏与计算模块连接，用于显示测试结果，并由操作人员手动输入工艺参数，例如待测部件的预设工作压力阈值；多个电气元件包括停止按钮、启动按钮和急停按钮等，以在设备漏电、加热器干烧或漏液等异常情况发生时由操作人员进行人工干预，从而避免测试设备发生不可逆的损伤。

另外，执行控制模块6还可以包括接触器、继电器、时控开关、漏电保护器等电路保护元件，以为执行控制模块6供电的电源发生断电、电压波动、电流浪涌等异常情况时，对计算模块进行保护，避免损坏。

在一些实施例中，测试设备还包括箱体(图中未示出)，用于安装并保护测试设备的其它部件。优选的，箱体由耐酸碱的材料制成，以适应于测试流体为腐蚀性液体的检测条件。而且，箱体的底面倾斜设置；测试设备还包括第二漏液传感器(图中未示出)，第二漏液传感器设置于箱体的底面的最低处，用于检测测试设备的其它部件是否发生漏液。优选的，箱体底面上的最低处还开设有排液口，以使存积在底面上的液体向排液口流动，以促进液体的排出。

在一些优选的实施例中，箱体内部还设置有隔板，隔板用于将上述流体源3、第一测试组件4、第二测试组件5、主循环管路1与其他部件隔开。进一步的，箱体中还开设有排风口，用以排出测试过程中可能产生的有害气体，例如测试液体受热气化形成的酸性或碱性气体。

在一些实施例中，箱体的底部还设置有多个地脚，以适应于不同的放置环境。而且，箱体的底部还设置有滑轮，以便于运送。

作为另一种技术方案，本实施例还提供一种应用于上述设备的性能测试流程，其包括：步骤S0：将待测部件安装于主循环管路中；

进行工作压力阈值测试步骤，包括：

步骤S11：使第四截止阀14、第五截止阀15保持开启，以使主循环管路1连通，并使待测部件与主循环管路1连通；

步骤S12：控制调压部件2调节主循环管路1内部流体压力，以使主循环管路1内部流体压力持续上升；

步骤S13：获取第一流量计42和第二流量计检测到的主循环管路1内部流体流量和压力；

步骤S14：实时判断待测部件上游侧和下游侧的流体流量是否一致；若是，则继续将主循环管路1内部流体压力调高；若否，则将第一压力传感器41检测到的压力值作为待测部件的工作压力阈值。

进行流通能力测试步骤，包括：

步骤S21：使第四截止阀14、第五截止阀15保持开启，以使主循环管路1连通，并使待测部件与主循环管路1连通；

步骤S22：控制调压部件2调节流体压力，直至待测部件上游侧和下游侧的流体压力差达到预设压力差值；

步骤S23：将第二流量计检测到的流体流量值作为待测部件的流通能力。

进行爆破阈值压力测试步骤，包括：

步骤S31：使第四截止阀14保持开启，第一截止阀11保持关闭，以使待测部件上游侧的主循环管路1连通，使待测部件下游侧的主循环管路1截止；

步骤S32：控制调压部件2调节主循环管路1内部流体压力，以使待测部件上游侧的流体压力持续上升；

步骤S33：当漏液检测器检测到待测部件发生漏液时，获取第一压力传感器41检测到的流体压力值，并将之作为待测部件的爆破阈值压力。

进行工作温度阈值测试步骤，包括：

步骤S41：使第四截止阀14、第五截止阀15保持开启，第二截止阀12保持关闭，以使主循环管路1连通，并使待测部件内部待测液路与主循环管路1连通；

步骤S42：控制流体源的调温器将储液箱内部流体调节至多个不同预设测试温度；

步骤S43：在多个预设测试温度下，分别控制调压部件2调节主循环管路1内部流体压力在待测部件的预设工作压力阈值内持续上升；

步骤S44：实时判断第一流量计42和第二流量计的检测结果是否一致；若是，则继续调节主循环管路1内部流体压力；若否，则获取当前预设测试温度，将之作为待测部件的工作温度阈值。

进行离子检测步骤，包括：

步骤S51：使第四截止阀14、第五截止阀15保持开启，以使主循环管路1连通；并开启第三截止阀13，以使取液管路19连通；

步骤S52：控制离子检测装置检测其内部流体的离子浓度，并获取检测结果。

还需要说明的是，进行上述测试工作压力阈值的步骤、测试流通能力的步骤、测试工作温度阈值的步骤的先后顺序不限，但上述测试爆破阈值压力的步骤应当最后执行。

以上，本实施例提供的测试设备，通过在待测部件的进液侧和出液侧的液体流量进行控制，并对待测部件的进液侧和出液侧的液体压力和流量进行检测，以能够在将待测部件安装在主循环管路中后，对待测部件的工作压力阈值、流通能力、爆破压力阈值以及工作温度阈值等多种性能进行测试，即，本实施例提供的测试设备集成了多种测试功能，从而在对待测部件进行多种性能测试过程之间切换时，可以省去拆装以及运输待测部件所需的时长，这样，大大提高了测试效率，而且降低了待测部件被污染的可能性。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (12)

1.一种测试设备，用于测试待测部件的性能，其特征在于，所述测试设备包括流体循环模块和执行控制模块，其中，

所述流体循环模块包括流体源、主循环管路、调压部件、第一测试组件和第二测试组件，所述主循环管路的两端分别与所述流体源的进口和出口连通，所述调压部件、所述第一测试组件、所述待测部件和所述第二测试组件依次设置于所述主循环管路上；所述调压部件用于调节所述待测部件的上游侧的流体压力；所述第一测试组件用于检测所述待测部件的上游侧的流体流量和流体压力；所述第二测试组件用于检测所述待测部件的下游侧的流体流量和流体压力；

所述执行控制模块分别与所述调压部件、所述第一测试组件和第二测试组件电连接，用于通过控制所述调压部件调节流体压力，并根据所述第一测试组件和第二测试组件检测到流量值和压力值分析所述待测部件的性能。

2.根据权利要求1所述的测试设备，其特征在于，所述第一测试组件包括第一压力传感器和第一流量计；

所述第二测试组件包括第二流量计和第二压力传感器；

所述执行控制模块用于控制所述调压部件使所述待测部件的上游侧的流体压力持续上升；并根据第一流量计和所述第二流量计的检测结果实时判断二者是否一致；并在二者不一致时，获取所述第一压力传感器的检测结果，将之作为所述待测部件的实际工作压力阈值；

还用于根据所述第一压力传感器和所述第二压力传感器的检测结果，控制所述调压部件调节流体压力，直至所述待测部件两端的流体压力差达到预设压力差值；并获取所述第二流量计的检测结果，将之作为所述待测部件的流通能力。

3.根据权利要求2所述的测试设备，其特征在于，所述测试设备还包括保护箱和第一漏液检测器，所述待测部件和所述第一漏液传感器均设置于所述保护箱内，所述第一漏液检测器用于检测所述待测部件是否发生漏液；

所述流体循环模块还包括设置于所述主循环管路且位于所述待测部件的下游侧的第一截止阀；

所述执行控制模块用于控制所述第一截止阀将所述主循环管路断开，并控制所述调压部件将所述主循环管路内部流体压力调节为持续上升；直至所述第一漏液检测器检测到所述待测部件发生漏液时，获取所述第一压力传感器的检测结果，并将之作为所述待测部件的爆破阈值压力。

4.根据权利要求2所述的测试设备，其特征在于，所述流体源包括储液箱和调温器；

所述储液箱用于盛装所述测试流体；

所述调温器用于调节所述储液箱内部流体温度；

所述执行控制模块用于控制所述调温器将所述测试流体调节至多个不同预设测试温度；并用于在多个所述预设测试温度下，分别控制所述调压部件调节所述待测部件上游侧的流体压力在所述待测部件的预设工作压力阈值内持续上升；并根据所述第一流量计和所述第二流量计的检测结果实时判断二者是否一致；并在二者不一致时，获取当前所述预设测试温度，将之作为所述待测部件的工作温度阈值。

5.根据权利要求3所述的测试设备，其特征在于，所述调压部件位于所述第一压力传感器的上游，所述第一流量计位于所述第一压力传感器的下游；

所述第二流量计位于所述第二压力传感器的上游，所述第一截止阀位于所述第二压力传感器的下游。

6.根据权利要求1所述的测试设备，其特征在于，所述流体循环模块包括气动泵，所述气动泵具有进气端和动力输出端，所述动力输出端与所述主循环管路连接，用于驱动所述主循环管路中的流体循环流动；

所述测试设备还包括供气模块，所述供气模块包括压缩气源和第一气路，所述第一气路的进气端与所述压缩气源连通，所述第一气路的出气端与所述气动泵的进气端连通，以为所述气动泵提供动力。

7.根据权利要求6所述的测试设备，其特征在于，所述待测部件为气动阀，所述供气模块还包括第二气路；所述第二气路的进气端与所述压缩气源连通，所述第二气路的出气端与所述气动阀的进气端连通，以驱动所述气动阀开闭或调节所述气动阀的开度。

8.根据权利要求7所述的测试设备，其特征在于，所述流体循环模块还包括至少一条第一旁通管路；所有所述第一旁通管路的出液口均与所述主循环管路连通，且位于所述待测部件与所述第二测试组件之间；

所述待测部件具有至少两个端口，其中的两个端口分别与所述主循环管路连通，其余的端口则与相应的所述第一旁通管路的进液口连通；

所有所述第一旁通管路中设置第二截止阀，用于控制所述第一旁通管路通断。

9.根据权利要求1所述的测试设备，其特征在于，所述测试设备还包括离子检测装置和取液管路；所述离子检测装置用于检测其内部流体的离子浓度；

所述取液管路的进液端与所述主循环管路连通；所述取液管路的出液端与所述离子检测装置的连通；

所述取液管路中设置有第三截止阀，用于控制所述取液管路的通断。

10.根据权利要求4所述的测试设备，其特征在于，所述测试设备还包括过滤组件，所述过滤组件包括过滤器、排气管和排液管；

所述过滤器与所述主循环管路连接，用于过滤所述主循环管路内部流体中的杂质；所述主循环管路中还设置有第四截止阀，所述第四截止阀位于所述过滤器的下游侧；

所述过滤器包括滤芯主体以及与所述主循环管路连通的废气口和废液口，所述滤芯主体位于所述主循环管路中；

所述排气管分别与所述过滤器的废气口和所述储液箱连通，用以将所述过滤器中存积的气体回收至所述储液箱中；

所述排液管与所述过滤器的废液口连通，用于将所述过滤器中存积的液体排出。

11.根据权利要求10所述的测试设备，其特征在于，所述主循环管路中还设置有第五截止阀，所述第五截止阀设置于所述储液箱的出液口附近，用于控制所述储液箱的出液口开闭；

所述测试设备还包括排废管路，所述排废管路的进液口与所述主循环管路连通，且连通处位于所述第五截止阀的下游侧以及所述调压部件的上游侧；

所述排废管路中还设置有第六截止阀，用于控制所述排废管路的通断；

所述排液管的出液口与所述排废管路连通，且连通处位于所述第六截止阀的下游侧。

12.根据权利要求1所述的测试设备，其特征在于，所述测试设备还包括箱体，用于保护所述测试设备的其它部件；所述箱体的底面倾斜设置；

所述测试设备还包括第二漏液传感器，所述第二漏液传感器设置于所述箱体的底面的最低处，用于检测所述测试设备的其它部件是否发生漏液。