CN117836086A - 用于透射光学元件的支承件、具有这种支承件的激光加工装置以及使用这种支承件调节透射光学元件的位置的方法 - Google Patents
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 82
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 13
- 238000003754 machining Methods 0.000 title claims description 46
- 238000004590 computer program Methods 0.000 claims abstract description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 15
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 10
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 claims description 8
- 239000006059 cover glass Substances 0.000 claims description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 2
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 230000004886 head movement Effects 0.000 description 1
- 238000003698 laser cutting Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 1
- 230000008439 repair process Effects 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/064—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/36—Removing material
- B23K26/38—Removing material by boring or cutting
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/70—Auxiliary operations or equipment
- B23K26/702—Auxiliary equipment
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
- G02B7/023—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses permitting adjustment
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
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- General Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract
本发明涉及用于透射光学元件(105)的保持器(100),保持器(100)具有框架(110)和用于透射光学元件(105)的安装件(120)。安装件(120)通过两个调节元件(130)和布置在调节元件(130)之间的导引销(140)安装在框架(110)内,并且安装件相对于框架(110)的距离可以调节。调节元件(130)各自安装在框架(110)中,使得调节元件可以枢转并且能够在其相应的长度方面彼此独立地进行调节。调节元件(130)的安装件侧端部(132)可以各自在安装件(120)中枢转并且附接成使得调节元件可以沿相应的调节元件(130)的纵向方向移位。导引销(140)的框架侧端部(144)固定至框架(110),并且导引销(140)的框架侧端部(144)在X方向和Y方向上以可枢转的方式安装在框架(110)中并且能够沿导引销(140)的纵向方向滑动。还指定了一种用于调节透射光学元件(105)的位置的方法以及一种相应的计算机程序产品。
Description
技术领域
本发明涉及用于激光加工装置的透射光学元件的保持器、该保持器的用途、激光加工装置、用于对激光加工装置的透射光学元件的位置进行调节的方法以及计算机程序产品。
背景技术
在激光加工装置中,存在用于透射光学元件的保持器,该保持器带有包括线性导引件的调节机构。尽管线性导引件能够精确地调节光学元件,但是这些线性导引件是昂贵的并且容易磨损。其他调节机构导致不可重复且不精确的调节。已知的调节机构的可移动部件也容易受到材料磨损的影响。US2010/110570 A1公开了一种光学元件安装件,该光学元件安装件包括通过多个挠曲件悬挂在外部构件内的内部构件。相对于内部构件和光轴大致周向的切向挠曲件为Z轴旋转提供了切向约束。US2020/398373 A1描述了一种用于使电磁波束成形的光学装置,该光学装置具有光学元件和激励器器件,该光学元件定位在光束传播方向内,该激励器器件在功能上连接至光学元件,以用于沿着焦点振荡路径引起焦点在垂直于光束传播方向的平面的x方向和y方向中的至少一个方向上的振荡。无源导引元件可以布置在光学元件与附接件之间。根据US2011/100968A1,一种激光加工机器头、激光加工机器头监测系统以及监测激光加工机器的光学元件的方法以透光光学元件和光学元件保持器为特征,该光学元件保持器限定有腔,光学元件保持在该腔中以防止旋转。
发明内容
目的是指定一种用于透射光学元件的安装件,该安装件使得能够在很少磨损的情况下以可重复且精确的方式调节光学元件。
该目的通过根据权利要求1的用于透射光学元件的保持器、根据权利要求12的保持器的用途、根据权利要求13的用于对工件进行激光加工的激光加工装置以及根据权利要求14的用于调节透射光学元件的位置的方法来实现。
一个实施方式涉及一种用于激光加工装置的透射光学元件的保持器,该保持器具有用于接纳在激光加工装置的激光束导引单元中的框架,并且具有用于透射光学元件的安装件,其中,透射光学元件跨X方向和Y方向中的平面,其中,该安装件通过两个调节元件并且通过导引销安装在该框架内,并且能够在各自情况下在X方向和/或Y方向上调节安装件到框架的距离,其中,这两个调节元件在该平面中或平行于该平面地相对于彼此以80°至100°的角度偏移,该导引销在所述平面中或平行于所述平面地相对于该框架径向布置在这两个调节元件之间,特别是居中布置在这两个调节元件之间;其中,调节元件各自安装在框架中,使得调节元件可以在X方向和Y方向上枢转并且能够在安装件与框架之间彼此独立地调节调节元件的相应的长度;调节元件的安装件侧端部各自沿X方向和Y方向安装在安装件中,使得该安装件侧端部可以枢转并且能够沿相应的调节元件的纵向方向移位;导引销的安装件侧端部固定至安装件;并且导引销的框架侧端部安装在框架中,使得该框架侧端部可以在X方向和Y方向上枢转并且能够沿导引销的纵向方向移位。
通过对调节元件中的至少一个调节元件的长度进行调节,可以在X方向和/或Y方向上改变安装件在框架内的位置。调节元件可以在框架中枢转。此外,调节元件的安装件侧端部和导引销的框架侧端部可以在平面中沿X方向和/或Y方向枢转;例如,调节元件的安装件侧端部和导引销的框架侧端部可以在各自情况下在圆形路径区段上枢转。另外,调节元件的安装件侧端部可以各自在安装件中沿其纵向方向移动。此外,导引销的框架侧端部可以在框架中沿其纵向方向移位。这提供了安装件在框架中的稳定安装,同时安装件在平面内或平行于平面的各种位置是可实现的。后者通过调节元件可以在长度上彼此独立地进行调节的事实而得到促进。因此,保持器实现了安装件在X方向和Y方向上的精确且可重复的调节。如果用于激光束的透射光学元件设置在安装件中并且保持器布置在激光束导引单元中,则透射光学元件可以在激光束的光束路径中以与激光束的传播方向成一角度、例如与激光束的传播方向垂直地被调节。例如,光学元件可以精确地居中在激光束的光束路径中,其中,光学元件的光轴可以与激光束的中心轴线大致重合。保持器不需要线性导引件来移动光学元件。在保持器中实现的调节机构是低磨损的、完全限定的或非常精确地可调节的,并且实现了光学元件的位置的准线性变化。以这种方式,可以在没有昂贵的线性导引件的情况下精确地调节透射光学元件的位置。
框架可以具有用于接纳调节元件的两个贯通开口,并且调节元件可以安装、特别是弹性地安装在相应的贯通开口中,以用于沿X方向和Y方向枢转。安装件可以在其外侧部上具有用于接纳调节元件的安装件侧端部的第一凹部和第二凹部,其中,第一凹部和第二凹部布置成与贯通开口互补。以这种方式,实现了保持器的部件的精确配合。如果安装件经由调节元件连接至框架,则可以实现调节元件以及因此安装件在X方向和Y方向上的自由度。安装件在框架内的这种安装也使得安装件能够在激光束导引单元的快速运动期间、特别是在调节元件被弹性安装时高度稳定。
框架的贯通开口可以布置成偏移90°,并且安装件的第一凹部和第二凹部可以布置成偏移90°。当调节元件将框架和安装件连接时,所得到的调节元件的空间布置实现了安装件在框架内的大量可实现的位置。
框架可以在其内侧部上具有用于接纳导引销的框架侧端部的第三凹部,并且导引销的安装件侧端部可以在与第三凹部互补的位置中固定至安装件的外侧部。这种构型在激光束导引单元快速移动时促进了保持器的高稳定性。
第三凹部可以布置在框架的贯通开口之间。第三凹部可以居中布置在框架的贯通开口之间。导引销可以固定在安装件的第一凹部与第二凹部之间。导引销可以固定在安装件的第一凹部与第二凹部之间的中间。这些空间布置在激光束导引单元移动时促进了保持器的稳定性以及安装件在框架内可以到达的大量位置。
第一凹部和第二凹部中的至少一者可以在安装件内在X方向和Y方向上为盘形。这实现了调节元件以及因此安装件在X方向和Y方向上的自由度,同时避免了垂直于X方向和Y方向中的平面、即在Z方向上的自由度。第一凹部和第二凹部中的至少一者可以具有盘形的第一填充元件,该第一填充元件可以在相应的凹部内在X方向和Y方向上沿圆形旋转。第一填充元件可以具有用于接纳调节元件中的一个调节元件的安装侧端部的第一导引部。通过这些修改,促进了保持器的部件的配合精度及其稳定性。同时,避免了磨损和破裂,例如避免了接触或即将接触的移动部件的材料磨损。
第三凹部可以在框架内在X方向和Y方向上为盘形。这实现了导引销以及因此安装件在X方向和Y方向上的自由度,同时避免了垂直于X方向和Y方向中的平面、即在Z方向上的自由度。此外,第三凹部可以具有盘形的第二填充元件,该第二填充元件可以在第三凹部内在X方向和Y方向上沿圆形旋转。第二填充元件可以具有用于接纳导引销的框架侧端部的第二导引部。以这种方式,促进了保持器的部件的配合精度。当激光束导引单元快速移动时,这些修改也促进了保持器的高稳定性。同时,避免了磨损和破裂,例如避免了接触或即将接触的移动部件的材料磨损。
第一凹部和第二凹部中的至少一者可以具有通向安装件的外侧部的开口,该开口的直径小于相应凹部的直径。此外,第三凹部可以具有通向框架的内侧部的开口,该开口的直径小于第三凹部的直径。这在激光束导引单元快速移动时促进了安装件的稳定性。
透射光学元件可以设置在安装件中。此外,透射光学元件可以是选自光学元件、分束器、相位片、滤光器、光栅、透镜、光圈和保护玻璃的至少一个元件。透射光学元件可以借助于保持器定位在激光束加工装置的光束路径中和/或激光束加工装置的光束路径内。
可以提供用于调节元件中的至少一个调节元件的通道,该通道紧固在框架中,特别是紧固在框架的贯通开口中的一个贯通开口中。此外,在贯通开口和/或相关联的通道中的至少一者中可以设置侧向弹性弹簧元件,调节元件在X方向和Y方向上弹性地安装在贯通开口和/或相关联的通道内。安装件在框架内的这种弹性安装促进了安装件在激光束导引单元的快速运动期间的高稳定性。调节元件中的至少一个调节元件可以具有带有内螺纹的螺钉套筒以及带有与内螺纹互补的外螺纹的螺钉,其中,螺钉的外螺纹能够在螺钉套筒的内螺纹中旋转以调节该调节元件。可以通过转动螺钉来改变相关调节元件的长度。
选自透射光学元件、安装件、调节元件、导引销、衬套、弹簧元件、螺钉套筒、螺钉、第一填充元件和第二填充元件的至少一个元件可以是可更换的。这促进了保持器的维护或修理。此外,调节元件中的至少一个调节元件、特别是调节元件的螺钉可以设计成能够通过可控驱动器进行调节。调节元件中的至少一个调节元件、特别是调节元件的螺钉可以设置有用于调节该调节元件的可控驱动器。通过提供可控驱动器,可以实现自动居中机构,该自动居中机构例如经由激光加工装置的控制单元来控制。
另一实施方式涉及根据前述实施方式和变型中的任一者的保持器的用途,该保持器用于保持激光加工装置的透射光学元件并调节该透射光学元件在X方向和/或Y方向上的位置,特别是用于调节与激光加工装置的待被导引的激光束的传播方向成一定角度的位置。
另一实施方式涉及一种用于对工件进行激光加工的激光加工装置、特别是激光加工头,该激光加工装置具有根据上述实施方式和变型中的任一者的用于透射光学元件的保持器。保持器的框架可以结合到激光加工装置的激光束导引单元中。此外,设置在保持器的安装件中的透射光学元件可以定位在激光加工装置的光束路径中。
一个实施方式涉及一种用于调节激光加工装置、特别是根据前述实施方式的激光加工装置的透射光学元件的位置的方法,其中,透射光学元件设置在根据前述实施方式和变型中的任一者的保持器中,并且其中,通过对调节元件中的至少一个调节元件进行调节来调节透射光学元件在X方向和/或Y方向上的位置,特别是与激光加工装置的待被导引的激光束的传播方向成一定角度的位置。
通过用于调节激光加工装置的透射光学元件的位置的方法的上述实施方式,可以实现与用于激光加工装置的透射光学元件的保持器的实施方式相同的优点和功能,特别是具有相同和/或类似的特征。
另一实施方式涉及包括一个或更多个程序模块的计算机程序产品,一个或更多个程序模块使根据前述实施方式的激光加工装置执行根据前述实施方式的方法的步骤,特别是在程序模块被加载到激光加工装置的存储器中时执行根据前述实施方式的方法的步骤。
其他的特征和效率来自于以下对示例性实施方式、附图和从属权利要求的描述。在不脱离本发明的范围的情况下,以上提及的特征和下面描述的特征不仅可以在所指示的相应组合中使用,而且可以在其他组合中使用或单独使用。
附图说明
下面将参照附图基于示例性实施方式对本发明进行更详细的说明,附图同样公开了对本发明至关重要的特征。这些示例性实施方式仅用于说明的目的,而不应当被解释为限制性的。例如,对具有大量元件或部件的示例性实施方式的描述不应当被解释为以下效果:所有这些元件或部件对于实现方式都是必要的。确切地说,其他示例性实施方式也可以包含替代性元件和部件、更少的元件或部件、或附加的元件或部件。除非另有说明,否则不同示例性实施方式的元件或部件可以彼此结合。针对示例性实施方式中的一个示例性实施方式所描述的改型和变型也可以应用于其他示例性实施方式。为了避免重复,在不同的图中,相同的或彼此对应的元件由相同的附图标记表示,并且不进行多次说明。在附图中:
图1示意性地示出了根据第一实施方式的保持器;
图2示意性地示出了带有调节后的安装件的第一示例性实施方式的保持器;
图3示意性地示出了带有第一示例性实施方式的结合的保持器的激光加工装置;以及
图4示意性地示出了根据第二实施方式的保持器。
具体实施方式
图1示意性地示出了第一示例的用于透射光学元件105——也被称为光学元件——的保持器100。透射光学元件105、例如透镜在X方向和Y方向上跨平面E。
保持器100具有框架110和用于透射光学元件的安装件120。安装件120通过两个调节元件130和布置在调节元件130之间的导引销140安装在框架110内。在框架110的内侧部111与安装件120的外侧部121之间存在距离A和B。在本示例中,框架110的外侧部呈正方形,并且安装件120的用于容纳光学元件105的内侧部呈圆形。在其他示例中,可以选择框架110和安装件120的其他形状。
在本示例中,调节元件130呈调节螺钉(未示出)的形式,并且导引销140呈圆柱形销的形式。每个调节螺钉由具有内螺纹的螺钉套筒和具有与内螺纹互补的外螺纹的螺钉构成,其中,螺钉的外螺纹能够在螺钉套筒的内螺纹中旋转,以便调节该调节元件130。调节元件130可以在其相应的长度L方面彼此独立地进行调节。可以记录并存储调节后的长度L,以便于位置变化的可重复性。
框架110具有以角度α偏移的贯通开口112。在本示例中,提供了90°的角度作为角度α。调节元件130相对于安装件120径向布置在贯通开口112中。调节元件130在贯通开口112内具有侧向间隙,并且因此可以在贯通开口112内枢转。这允许每个调节元件130的框架侧端部132在圆形路径区段上枢转。
此外,在框架110中于贯通开口112之间的中心中设置有在X方向和Y方向上呈盘形的凹部114。盘形凹部114具有通向框架110的内侧部的开口115。导引销140的框架侧端部144以精确配合的方式布置在凹部114中,并且可以沿X方向和Y方向枢转。另外,导引销140的框架侧端部144可以在凹部114中沿导引销的纵向方向移位。
安装件120具有在X方向和Y方向上偏移90°的两个盘形凹部122。凹部122定位成与框架的贯通开口112互补。盘形凹部122各自具有通向安装件120的外侧部的开口123。在凹部122中,调节元件130的框架侧端部132以精确配合的方式布置,并且能够在圆形路径区段上沿X方向和Y方向枢转。此外,调节元件130的框架侧端部132在凹部122中设置成能够在相应的调节元件的纵向方向上移位。此外,导引销140通过其安装件侧端部142在凹部122之间的中间紧固在安装件120的外侧部上。
凹部122的通向安装件120的外侧部的开口123以及凹部114的通向框架110的内侧部的开口115与本示例中的相应凹部的最大直径相比具有较小的直径。因此,调节元件130和导引销140在X方向和Y方向上的偏转受到限制。
调节元件130的相应长度L、导引销140在凹部114内的长度、调节元件130的纵向方向相对于框架110的对角线形成的相应角度、以及导引销140的纵向方向相对于框架100的对角线所成的角度经由两个调节元件130、导引销140和五个枢转点是可变的。在本示例中,从框架的右下角到框架的左上角的对角线被选择为用于图1中示出的框架110中提到的角度的直线参考线。在图1中示出的安装件的位置中,调节元件130的纵向方向与框架110的对角线所成的相应角度为45°,并且导引销140的纵向方向与框架100的对角线所成的角度为0°。
通过对调节元件130中的至少一个调节元件的长度L进行调节,安装件120在框架110内的位置在X方向和/或Y方向上变化。换言之,安装件120与框架110之间的距离A和B改变。这可以在图2中从保持器120的经调节的位置看出,该经调节的位置以虚线示出。在图2中以虚线示出的安装件120的位置中,从图1中示出的安装件120的位置开始,距离A减小,而距离B增大。通过对调节元件130的长度L、导引销140在凹部114内的长度中的至少一者进行调节,调节元件130的纵向方向相对于框架110的对角线所形成的相应角度以及导引销140的纵向方向相对于框架100的对角线所形成的角度发生改变。由于调节元件130的长度L可以彼此独立地进行调节,因此可以用光学元件105的光轴接近围绕框架110的中心的区域中的几乎任何期望的点。另外,保持器100的调节机构可以被精确地调节。
为了将安装件120从图1中示出的位置调节至图2中以虚线示出的位置,使调节元件130变长。调节元件130的安装件侧端部132在安装件120的凹部122中沿调节元件的纵向方向移位。调节元件130在框架110的凹部122中枢转。调节元件130的安装件侧端部132和导引销140的框架侧端部144各自在圆形路径区段上、在平面E中或平行于平面E地沿X方向和/或Y方向枢转。另外,导引销140的框架侧端部144在框架110的凹部114中沿导引销的纵向方向移位。记录并存储调节后的长度L,以使安装件120的位置变化保持可重复。以这种方式,图2中以虚线示出的安装件120的位置可以精确、可重复且基本没有材料磨损地进行调节,同时安装件保持稳定地安装在框架中。
保持器100使得安装件120能够稳定地安装在框架110中,同时可以到达安装件120在平面E中或平行于平面E、即在X方向和/或Y方向上的各种位置。后者由于调节元件130可以在其长度L方面彼此独立地进行调节的事实而得到促进。因此,保持器实现了安装件在X方向和Y方向上的精确且可重复的调节。
图3示意性地示出了激光加工装置200的示例,该激光加工装置实施为具有切割头210的激光切割装置。该装置200具有用于产生激光束206的激光源204,激光束206借助于传输光纤208被导引到切割头210中。激光束206可以通过切割头210在Z方向上被导引到工件10上。该装置200包括切割头移动单元202、203,通过该切割头移动单元,切割头210以及因此在切割头中被导引的激光束206可以在X方向和/或Y方向上沿切割方向在工件10上移动。切割头移动单元包括桥架202和托架203,切割头210在桥架202上布置成能够沿X方向移动,桥架202可以在托架203上沿Y方向移动。通过切割头移动单元,切割头210也可以垂直于工件10、即在Z方向上移动。在本示例中,激光加工装置200具有带有存储器的控制单元(未示出)。切割头移动单元202、203通过有线或无线数据传输连接至控制单元。带有设置在安装件120中的光学元件105的图1的保持器100结合到切割头210中。在本示例中,调节元件130(在图3中未示出)布置在切割头210的外侧部上。保持器200定位成使得在操作期间产生的激光束206在垂直于平面E、即垂直于X方向和Y方向的Z方向上穿过光学元件105。
如果光学元件105在光束路径中的位置要在激光加工装置200的操作之外、例如在切割头210的维护期间在X方向和/或Y方向上改变,则手动操作位于切割头的外侧部上的调节元件130。以这种方式,光学元件105垂直于激光束206的传播方向地在激光束的的光束路径中移位。例如,光学元件精确地居中于激光束206的光学路径中,其中,光学元件105的光轴与激光束的中心轴线大致重合。
图4示意性地图示了作为第二示例的保持器300。与图1的保持器100相比,在保持器300的贯通开口112中额外地设置有弹性弹簧元件310,调节元件在贯通开口112内在X方向和Y方向上侧向弹性地安装。在本示例中,盘形凹部122和凹部114各自包括精确配合的可旋转盘形填充元件330,该填充元件330由低磨损、耐温度的塑料制成,以精确配合的方式安装。填充元件330的材料也可以包括金属或者由金属构成,金属例如为不锈钢、铝或黄铜。填充元件330各自包括导引部332,该导引部332用于以精确配合的方式接纳调节元件130的安装件侧端部132或者用于以精确配合的方式接纳导引销140的框架侧端部144。调节元件130的安装件侧端部132或导引销140的框架侧端部144可以在导引部332内移位。这些措施在切割头210快速移动时增加了保持器的稳定性。在其他示例中,在贯通开口112的内部紧固有用于接纳调节元件130和/或弹性弹簧元件310的通道(未示出)。
此外,保持器300的调节元件130、特别是调节元件130的螺钉各自设计成能够通过可控驱动器来调节,并且设置有用于调节该调节元件130的可控驱动器320,例如伺服马达。如果保持器300结合到激光加工装置200的切割头210中,则可控驱动器320以有线或无线数据传导的方式连接至激光加工装置的控制单元(未示出)。以这种方式,可控驱动器320实现为自动调节机构、例如自动居中机构,该自动调节机构经由激光加工装置200的控制单元来控制并且也可以在激光加工装置的操作期间使用。此外,保持器300或结合有保持器300的整个切割头210可以以这种方式小型化。
附图标记列表
10工件
100保持器
105透射光学元件
110框架
112贯通开口
114第三凹部
115开口
102安装件
122第一凹部、第二凹部
123开口
130调节元件
132调节元件的安装件侧端部
140导引销
142导引销的安装件侧端部
144导引销的框架侧端部
200激光加工装置
202桥架
203滑动器
204激光源
206激光束
208传输光纤
210激光加工头、切割头
300保持器
310弹簧元件
330第一填充元件、第二填充元件
332第一导引部、第二导引部
Claims (15)
1.一种用于激光加工装置(200)的透射光学元件(105)的保持器(100;300),
所述保持器具有:
框架(110),所述框架用于接纳在所述激光加工装置的激光束导引单元(210)中,并且具有
安装件(120),所述安装件用于所述透射光学元件,其中,所述透射光学元件跨X方向和Y方向中的平面(E),
其特征在于,
所述安装件(120)通过两个调节元件(130)并且通过导引销(140)安装在所述框架(110)内,并且能够在各自情况下在所述X方向和/或所述Y方向上调节所述安装件到所述框架(110)的距离(A,B),其中,所述两个调节元件在所述平面(E)中或平行于所述平面(E)地相对于彼此以80°至100°的角度(α)偏移,所述导引销在所述平面(E)中或平行于所述平面(E)地相对于所述框架径向布置在所述两个调节元件之间、特别是居中布置在所述两个调节元件之间;其中,
-所述调节元件(130)各自安装在所述框架(110)中,使得所述调节元件能够在所述X方向和所述Y方向上枢转,并且能够在所述安装件与所述框架之间彼此独立地调节所述调节元件的相应的长度(L);
-所述调节元件(130)的安装件侧端部(132)各自沿所述X方向和所述Y方向安装在所述安装件(120)中,使得所述调节元件能够枢转并且能够沿相应的调节元件的纵向方向移位;
-所述导引销(140)的安装件侧端部(142)固定至所述安装件(120);并且
-所述导引销(140)的框架侧端部(144)安装在所述框架(110)中,使得所述导引销能够在所述X方向和所述Y方向上枢转并且能够沿所述导引销的纵向方向移位。
2.根据权利要求1所述的保持器,其中,
所述框架(110)具有用于接纳所述调节元件(130)的两个贯通开口(112),并且所述调节元件安装在相应的贯通开口中、特别是弹性地安装在相应的贯通开口中,以用于沿所述X方向和所述Y方向枢转,和/或
所述安装件(120)在所述安装件的外侧部上具有第一凹部(122)和第二凹部(122),以用于接纳所述调节元件(130)的插座侧端部(132),其中,所述第一凹部和所述第二凹部布置成与所述贯通开口(112)互补。
3.根据权利要求2所述的保持器,其中,所述框架(110)的所述贯通开口(112)布置成偏移90°,并且所述安装件(120)的所述第一凹部和所述第二凹部(122)布置成偏移90°。
4.根据前述权利要求中的任一项所述的保持器,其中,
所述框架(110)在所述框架的内侧部(111)上具有第三凹部(114),以用于接纳所述导引销(140)的所述框架侧端部(144),和/或
所述导引销(140)的所述安装件侧端部(142)在与所述第三凹部(114)互补的位置中固定至所述安装件(120)的所述外侧部(121)。
5.根据权利要求2至4中的任一项所述的保持器,
其中,所述第三凹部(114)布置在所述框架的所述贯通开口(112)之间;和/或
其中,所述第三凹部(114)居中地布置在所述框架的所述贯通开口之间,和/或
其中,所述导引销(140)固定在所述安装件的所述第一凹部与所述第二凹部之间;和/或
其中,所述导引销居中固定在所述安装件的所述第一凹部与所述第二凹部之间。
6.根据权利要求2至5中的任一项所述的保持器,
其中,所述第一凹部和所述第二凹部(122)中的至少一者在所述安装件(120)内在所述X方向和所述Y方向上为盘形;和/或
其中,所述第一凹部和所述第二凹部(122)中的至少一者具有盘形的第一填充元件(330),所述第一填充元件能够在相应的凹部内在所述X方向和所述Y方向上沿圆形旋转;和/或
其中,所述第一填充元件(330)具有用于接纳所述调节元件中的一个调节元件的所述安装件侧端部(142)的第一导引部(332)。
7.根据权利要求4至6中的任一项所述的保持器,
其中,所述第三凹部(114)在所述框架(110)内在所述X方向和所述Y方向上形成为盘形;和/或
其中,所述第三凹部(114)具有盘形的第二填充元件(330),所述第二填充元件(330)能够在所述第三凹部内在所述X方向和所述Y方向上沿圆形旋转;和/或其中,所述第二填充元件(330)具有用于接纳所述导引销的所述框架侧端部(144)的第二导引部(332)。
8.根据权利要求2至7中的任一项所述的保持器,
其中,所述第一凹部和所述第二凹部(122)中的至少一者具有通向所述安装件(120)的所述外侧部的开口(123),所述开口具有与相应凹部的直径相比较小的直径;和/或
其中,所述第三凹部(114)具有通向所述框架(110)的所述内侧部的开口(115),所述开口的直径小于所述第三凹部的直径。
9.根据前述权利要求中的任一项所述的保持器,
其中,所述透射光学元件(105)设置在所述安装件中,和/或
其中,所述透射光学元件(105)是选自光学元件、分束器、相位片、滤光器、光栅、透镜、光圈和保护玻璃的至少一个元件;和/或
其中,所述透射光学元件(105)能够借助于所述保持器(100;300)定位在所述激光束加工装置(200)的光束路径中和/或所述激光束加工装置的光束路径内。
10.根据前述权利要求中的任一项所述的保持器,
其中,提供有用于所述调节元件(130)中的至少一个调节元件的衬套,所述衬套紧固在所述框架(110)中,特别是紧固在所述框架的所述贯通开口(112)中的一个贯通开口中;和/或
其中,在所述贯通开口和/或相关联的通道中的至少一者中设置有侧向弹性弹簧元件(310),所述调节元件(130)在所述X方向和所述Y方向上弹性地安装在所述贯通开口和/或相关联的通道内;和/或
其中,所述调节元件(130)中的至少一者具有带有内螺纹的螺钉套筒以及带有与所述内螺纹互补的外螺纹的螺钉,其中,所述螺钉的所述外螺纹能够在所述螺钉套筒的所述内螺纹中旋转以调节所述调节元件。
11.根据前述权利要求中的任一项所述的保持器,
其中,选自所述透射光学元件(105)、所述安装件(120)、所述调节元件(130)、所述导引销(140)、所述衬套、所述弹簧元件(310)、所述螺钉套筒、所述螺钉、所述第一填充元件(330)以及所述第二填充元件(330)的至少一个元件能够被更换;和/或
其中,所述调节元件中的至少一个调节元件、特别是所述调节元件的螺钉设计成能够通过可控驱动器进行调节;和/或
其中,所述调节元件中的至少一个调节元件、特别是所述调节元件的螺钉设置有用于调节所述调节元件的可控驱动器。
12.一种根据前述权利要求中的任一项的保持器(100;300)的用途,所述保持器用于保持激光加工装置(200)的透射光学元件(105)并调节所述透射光学元件在X方向和/或Y方向上的位置,特别是用于调节与所述激光加工装置的待被导引的激光束(206)的传播方向成一定角度的位置。
13.一种用于对工件(10)进行激光加工的激光加工装置(200)、特别是激光加工头(210),所述激光加工装置具有根据权利要求1至11中的任一项的用于透射光学元件(105)的保持器(100;300);
其中,所述保持器的框架(110)结合到所述激光加工装置的激光束导引单元中;和/或
其中,设置在所述保持器的所述安装件(120)中的透射光学元件(105)定位在所述激光加工装置的光束路径中。
14.一种用于调节激光加工装置、特别是根据权利要求13的激光加工装置(200)的透射光学元件(105)的位置的方法,其中,所述透射光学元件设置在根据权利要求1至11中的任一项的保持器(100;300)中,其中,所述透射光学元件(105)在X方向和/或Y方向上的位置、特别是与所述激光加工装置的待被导引的激光束(206)的传播方向成一定角度的位置通过对调节元件(130)中的至少一个调节元件进行调节来调节。
15.一种计算机程序产品,所述计算机程序产品包括一个或更多个程序模块,所述一个或更多个程序模块使根据权利要求13的激光加工装置(200)执行根据权利要求14的方法的步骤,特别是在所述程序模块被加载到所述激光加工装置的存储器中时执行根据权利要求14的方法的步骤。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP21192447.7 | 2021-08-20 | ||
EP21192447.7A EP4137263A1 (de) | 2021-08-20 | 2021-08-20 | Halterung für ein transmissives optisches element, laserbearbeitungvorrichtung mit einer solchen halterung und verfahren zum verstellen der position eines transmissiven optischen elements unter verwendung einer solchen halterung |
PCT/EP2022/073078 WO2023021138A1 (en) | 2021-08-20 | 2022-08-18 | Support for a transmissive optical element, laser processing device with such support, and process of adjusting the position of a transmissive optical element using such support |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN117836086A true CN117836086A (zh) | 2024-04-05 |
Family
ID=77431251
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202280055820.3A Pending CN117836086A (zh) | 2021-08-20 | 2022-08-18 | 用于透射光学元件的支承件、具有这种支承件的激光加工装置以及使用这种支承件调节透射光学元件的位置的方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
EP (2) | EP4137263A1 (zh) |
CN (1) | CN117836086A (zh) |
WO (1) | WO2023021138A1 (zh) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1612793A (zh) * | 2002-01-11 | 2005-05-04 | 电子科学工业公司 | 借助激光光斑放大来激光加工工件的方法 |
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CN102203929A (zh) * | 2008-10-30 | 2011-09-28 | 康宁股份有限公司 | 可进行x-y调整的光学装配件 |
CN111699069A (zh) * | 2018-01-29 | 2020-09-22 | 百超激光有限公司 | 用于使电磁波束定形状的光学装置及其用途、束处理装置及其用途以及束处理方法 |
-
2021
- 2021-08-20 EP EP21192447.7A patent/EP4137263A1/de not_active Withdrawn
-
2022
- 2022-08-18 CN CN202280055820.3A patent/CN117836086A/zh active Pending
- 2022-08-18 EP EP22765560.2A patent/EP4387806A1/en active Pending
- 2022-08-18 WO PCT/EP2022/073078 patent/WO2023021138A1/en active Application Filing
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP4137263A1 (de) | 2023-02-22 |
EP4387806A1 (en) | 2024-06-26 |
WO2023021138A1 (en) | 2023-02-23 |
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PB01 | Publication | ||
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