CN117780976B - 一种大流量的气体质量流量控制器 - Google Patents

Abstract

本发明属于流量控制器技术领域，具体涉及一种大流量的气体质量流量控制器，该大流量的气体质量流量控制器包括控制器主体，所述控制器主体的内部从一端到另一端依次开设有进气孔、分流腔和出气孔，且所述进气孔和分流腔相互贯通，所述分流腔的上端开设有第一空腔，所述分流腔的下端开设有第二空腔，所述出气孔的上端开设有第一导流孔，所述出气孔的下端开设有第二导流孔，且所述出气孔和第一空腔通过第一导流孔相互贯通。本发明通过在控制器主体内部装配过滤部，使得装置能够对气体中的粉尘进行过滤，同时，通过调节导流隔板的位置，能够对第一空腔或第二空腔内部的过滤部进行更换，无需停工停产，关闭管道。

Description

一种大流量的气体质量流量控制器

技术领域

本发明属于流量控制器技术领域，具体涉及一种大流量的气体质量流量控制器。

背景技术

在现代工业过程控制、环境监测、医疗仪器以及科研实验等领域，气体质量流量控制器（MFC）扮演着至关重要的角色。气体质量流量控制器用于精确测量和调控流经管道的气体流量，确保工艺流程的稳定性和产品质量的一致性。随着技术的发展和市场需求的增长，对大流量、高精度、快速响应的气体质量流量控制器的需求日益增加。但是，现有的气体质量流量控制器在使用的过程中仍然存在以下问题：

1.气体质量流量控制器不具备过滤功能，通常需要在进气口前加装过滤元件（如：气体过滤器、流体过滤器等），通过过滤元件中的滤芯对空气中的粉尘进行过滤，避免气体中的粉尘进入到控制器内部，造成传感器和分流器堵塞，进一步引发测量误差和调控误差；

2.过滤元件在使用一段时间后，积累的粉尘会造成滤芯堵塞，进而降低管道气体流量，需要关闭管道，停止气体流动，不定期更换过滤元件，引发停工停产现象。

基于上述问题，本申请文件提出了一种大流量的气体质量流量控制器以改善上述问题。

发明内容

本发明的目的是提供一种大流量的气体质量流量控制器，通过在控制器主体内部装配过滤部，使得装置能够对气体中的粉尘进行过滤，同时，通过调节导流隔板的位置，能够对第一空腔或第二空腔内部的过滤部进行更换，无需停工停产，关闭管道。

本发明采取的技术方案具体如下：

一种大流量的气体质量流量控制器，包括控制器主体，所述控制器主体的内部从一端到另一端依次开设有进气孔、分流腔和出气孔，且所述进气孔和分流腔相互贯通，所述分流腔的上端开设有第一空腔，所述分流腔的下端开设有第二空腔，所述出气孔的上端开设有第一导流孔，所述出气孔的下端开设有第二导流孔，且所述出气孔和第一空腔通过第一导流孔相互贯通，所述出气孔、第一空腔和第一导流孔配合形成第一流道，所述出气孔和第二空腔通过第二导流孔相互贯通，所述出气孔、第二空腔和第二导流孔配合形成第二流道，所述分流腔的内部滑动连接有导流隔板，所述第一空腔和第二空腔相互远离的一端均螺纹连接有盖板，所述盖板的内部开设有操作孔，还包括：

两个过滤部，两个所述过滤部分别装配于第一空腔和第二空腔的内部，且所述过滤部和操作孔相适配；

两个止回部，两个所述止回部分别装配于第一导流孔和第二导流孔的内部；

其中，当所述导流隔板位于分流腔内部的上端时，所述第一流道为闭合状态，所述第二流道为开启状态，当所述导流隔板位于分流腔内部的下端时，所述第一流道为开启状态，所述第二流道为闭合状态。

在一种优选方案中，所述分流腔的直径记为D1，所述第一空腔和第二空腔的直径均记为D2，D1＞D2。

在一种优选方案中，所述分流腔内部的两端均固定有滑杆，且所述滑杆和导流隔板滑动连接。

在一种优选方案中，所述过滤部包括基座、波纹滤管、密封底板、螺纹轴杆和螺纹套管，两个所述过滤部内部的基座分别装配于第一空腔和第二空腔相互远离的一端，所述基座的内部开设有介质流道，所述波纹滤管固定于基座靠近分流腔的一端，且所述波纹滤管的形状为波纹状，所述密封底板固定于波纹滤管靠近分流腔的一端，所述螺纹轴杆转动连接于基座的内部，所述螺纹轴杆的下端延伸至波纹滤管内部，且所述螺纹轴杆和操作孔相适配，所述螺纹套管螺纹连接于螺纹轴杆的外侧，且所述螺纹套管和密封底板固定连接。

在一种优选方案中，所述基座的外侧开设有削边面，所述第一空腔和第二空腔的内部均开设有滑杆，且所述削边面和止转面相适配。

在一种优选方案中，所述密封底板靠近导流隔板的一端开设有限位凸台，所述导流隔板的上端和下端均开设有止转凹槽，且所述限位凸台和止转凹槽相适配。

在一种优选方案中，所述止回部包括止回芯和弹性元件，两个所述止回部中的止回芯分别滑动连接于第一导流孔和第二导流孔的内部，所述止回芯远离出气孔的一端开设有锥台面，所述止回芯的外侧开设有第三导流孔，所述弹性元件装配于止回芯内部。

在一种优选方案中，所述过滤部还包括定位杆，所述螺纹轴杆的内部开设有定位通孔，所述定位通孔和定位杆相适配，所述定位杆的外侧设置有定位标识，当所述定位标识和螺纹轴杆贴合时，所述导流隔板和进气孔相对应，其中，当所述定位标识和螺纹轴杆以及定位杆和螺纹套管之间均相互贴合时，所述导流隔板位于分流腔内部的中端，且所述导流隔板和进气孔相对应。

在一种优选方案中，所述定位标识的类型包括：刻度标识、凸台。

本发明取得的技术效果为：

本发明通过在控制器主体内部开设第一空腔和第二空腔，分别在第一空腔和第二空腔的内部装配波纹滤管，通过波纹滤管能够对流向出气孔的气体进行过滤，使得装置能够对气体中的粉尘进行过滤，使得装置具备过滤功能，无需在前端额外购置过滤元件，降低了购置成本；

本发明通过同步转动第一空腔和第二空腔内部的螺纹轴杆，使得螺纹轴杆带动密封底板和螺纹套管移动，通过两个过滤部内部的密封底板的配合带动导流隔板移动，使得第一流道和第二流道在开启状态和关闭状态之间进行切换，进而对第一空腔或第二空腔内部的过滤部进行更换，使得装置无需关闭管道，停止气体流动，即可实现对过滤部的更换，无需停工停产；

本发明通过定位杆和螺纹套管的配合，能够反馈导流隔板的位置，当导流隔板移动至分流腔内部的中端时，第一流道和第二流道均处于开启状态，通过两个过滤部内部波纹滤管的配合，能够提高装置的过滤效率。

附图说明

图1是本发明实施例一中整体的结构示意图；

图2是本发明实施例一中整体结构的仰视图；

图3是本发明实施例一中控制器主体的内部结构示意图；

图4是本发明实施例一中控制器主体内部的结构剖视图；

图5是本发明实施例一中控制器主体内部的装配示意图；

图6是本发明实施例一中过滤部的结构示意图；

图7是本发明实施例一中过滤部的结构仰视图；

图8是本发明实施例一中过滤部的结构爆炸图；

图9是本发明实施例一中止回部的结构示意图；

图10是本发明实施例一中止回部的结构剖视图；

图11是本发明实施例二中螺纹轴杆和定位杆的结构剖视图。

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

100、控制器主体；101、进气孔；102、分流腔；103、出气孔；104、第一空腔；105、第二空腔；106、第一导流孔；107、第二导流孔；108、导流隔板；109、盖板；110、滑杆；111、止转面；112、柱形空槽；113、贴合面；114、监测调控单元；115、进气接头；116、出气接头；

200、过滤部；

201、基座；202、波纹滤管；203、密封底板；204、螺纹轴杆；205、螺纹套管；206、介质流道；207、削边面；208、限位凸台；209、定位杆；210、定位标识；

300、止回部；

301、止回芯；302、弹性元件；303、锥台面；304、第三导流孔。

具体实施方式

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合说明书附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明，但是本发明还可以采用其他不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似推广，因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。

其次，此处所称的“一个实施例”或“实施例”是指可包含于本发明至少一个实现方式中的特定特征、结构或特性。在本说明书中不同地方出现的“在一个较佳的实施方式中”并非均指同一个实施例，也不是单独的或选择性的与其他实施例互相排斥的实施例。

再其次，本发明结合示意图进行详细描述，在详述本发明实施例时，为便于说明，表示器件结构的剖面图会不依一般比例作局部放大，而且示意图只是示例，其在此不应限制本发明保护的范围。此外，在实际制作中应包含长度、宽度及深度的三维空间尺寸。

实施例一

请参阅附图1至图5所示，为本发明第一个实施例，该实施例提供了一种大流量的气体质量流量控制器，包括控制器主体100，控制器主体100的内部从一端到另一端依次开设有进气孔101、分流腔102和出气孔103，且进气孔101和分流腔102相互贯通，气体在控制器主体100内部的流动方向为从进气孔101流向出气孔103，分流腔102的上端开设有第一空腔104，分流腔102的下端开设有第二空腔105，且分流腔102和第一空腔104以及分流腔102和第二空腔105之间均为相互贯通，出气孔103靠近分流腔102的一端的上端开设有第一导流孔106，出气孔103靠近分流腔102的一端的下端开设有第二导流孔107，且出气孔103和第一空腔104通过第一导流孔106相互贯通，出气孔103、第一空腔104和第一导流孔106配合形成第一流道，出气孔103和第二空腔105通过第二导流孔107相互贯通，出气孔103、第二空腔105和第二导流孔107配合形成第二流道，分流腔102的内部滑动连接有导流隔板108，导流隔板108的外侧套接有密封圈，第一空腔104和第二空腔105相互远离的一端均螺纹连接有盖板109，盖板109的内部开设有操作孔，还包括：

两个过滤部200，两个过滤部200分别装配于第一空腔104和第二空腔105的内部，且过滤部200和操作孔相适配；

两个止回部300，两个止回部300分别装配于第一导流孔106和第二导流孔107的内部；

其中，当导流隔板108位于分流腔102内部的上端时，第一流道为闭合状态，第二流道为开启状态，当导流隔板108位于分流腔102内部的下端时，第一流道为开启状态，第二流道为闭合状态。

进一步的，控制器主体100的上端装配有监测调控单元114，监测调控单元114用于对出气孔103内部的气体流量进行测量和调控，进气孔101内部远离监测调控单元114的一端螺纹连接有进气接头115，出气孔103内部远离进气接头115的一端螺纹连接有出气接头116，控制器主体100通过进气接头115和进气管道相连接，控制器主体100通过出气接头116和出气管道相连接。

具体的，监测调控单元114是现有的成熟技术，其主要应用原理可以分为：热式原理、差压式原理以及科里奥利原理，在本实施例中，以热式原理为例，监测调控单元114主要由流量传感器、流量调节阀门和放大控制器等部分构成，其中，流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理来感知气体的流量，流量调节阀门能够根据传感器的信号调节阀门开度，从而控制气体流量，放大控制器将流量传感器测得的流量信号进行放大，并与设定电压进行比较，得到一个差值信号，这个差值信号再次放大后用来控制调节阀门，实现闭环控制。其中，当气体流过传感器时，会带走一定的热量。流量传感器会检测到这种热量的变化，并将其转换为电信号，这个信号经过放大后，与设定的流量值进行比较，然后通过调节阀门来调整流量，直到实际流量与设定流量相等，通过这种方式，热式气体质量流量控制器能够实现对气体流量的精确控制，由于监测调控单元114是现有的成熟技术，在此，不做进一步的赘述。

在该实施方式中，在管道开启，气体流动时，通过在控制器主体100内部开设第一空腔104和第二空腔105，并在第一空腔104和第二空腔105内部分别装配过滤部200，通过过滤部200能够对流经控制器主体100内部的气体中的粉尘进行过滤，使得控制器主体100具备了气体过滤功能，无需在进气孔101之前额外加装过滤元件，能够有效降低购置成本，当第一流道为开启状态，第二流道为闭合状态，且第一空腔104内部的过滤部200长时间工作需要进行更换时（此时，导流隔板108位于分流腔102内部的底部），旋转第二空腔105下端的盖板109，将待更换的过滤部200放置于第二空腔105的内部，再次将盖板109旋拧装配于第二空腔105的下端，通过盖板109内部的操作孔驱动两个过滤部200同步运转，通过过滤部200推动导流隔板108移动，使得导流隔板108由分流腔102内部的底部移动至分流腔102内部的顶部，进而使得第二流道由闭合状态变换为开启状态，进气孔101内部的通过第二流道留至出气孔103内部，旋转第一空腔104上端的盖板109，将第一空腔104内部的过滤部200取出进行更换，即可完成对过滤部200的更换，同理，当第一流道为关闭状态，第二流道为开启状态时，也可以对第二空腔105内部的过滤部200进行更换，进而使得装置能够实现不关闭管道，实现无缝更换过滤部200的目的。

其次，请再次参阅图3，分流腔102的直径记为D1，第一空腔104和第二空腔105的直径均记为D2，D1＞D2。

在该实施方式中，通过上述方案设置，能够通过分流腔102对导流隔板108的行程进行限定，避免导流隔板108挤压第一空腔104或第二空腔105内部的过滤部200。

再其次，请一并参阅图3至图5所示，分流腔102内部的两端均固定有滑杆110，且滑杆110和导流隔板108滑动连接，且滑杆110和导流隔板108之间设置有密封元件。

在该实施方式中，滑杆110的设置，能够对导流隔板108形成限位，避免导流隔板108在移动的过程中发生自转。

其次，请再次参阅图6至图8所示，过滤部200包括基座201、波纹滤管202、密封底板203、螺纹轴杆204和螺纹套管205，两个过滤部200内部的基座201分别装配于第一空腔104和第二空腔105相互远离的一端，且基座201和第一空腔104以及基座201和第二空腔105之间均设置有多个密封圈，基座201的内部开设有介质流道206，且两个过滤部200内部的介质流道206分别与第一导流孔106、第二导流孔107相适配，波纹滤管202固定于基座201靠近分流腔102的一端，且波纹滤管202的形状为波纹状，密封底板203固定于波纹滤管202靠近分流腔102的一端，螺纹轴杆204转动连接于基座201的内部，螺纹轴杆204的上端设置有十字凹槽，螺纹轴杆204的下端延伸至波纹滤管202内部，且螺纹轴杆204和操作孔相适配，螺纹套管205螺纹连接于螺纹轴杆204的外侧，且螺纹套管205和密封底板203固定连接。

在此，由于波纹滤管202的形状为波纹状，波纹滤管202能够进行拉伸和压缩。

需要说明的是，与螺纹轴杆204配套使用的还有一旋拧工具，旋拧工具包括但不限于螺丝刀，扳手或其他能够带动螺纹轴杆204转动的工具，通过旋拧工具和十字凹槽的配合能够带动螺纹轴杆204转动。

在该实施方式中，当第一流道为开启状态，第二流道为闭合状态，且第一空腔104内部的过滤部200长时间工作需要进行更换时（此时，导流隔板108位于分流腔102内部的底部），旋转第二空腔105下端的盖板109，将待更换的过滤部200放置于第二空腔105的内部，并将盖板109装配于第二空腔105的下端，通过盖板109内部的操作孔，将配套使用的旋拧工具与螺纹轴杆204相连接，使得两个过滤部200内部的螺纹轴杆204同步转动，通过螺纹轴杆204和螺纹套管205的螺纹连接，使得螺纹轴杆204带动螺纹套管205移动，通过螺纹套管205和密封底板203的固定连接，使得螺纹套管205带动密封底板203移动，通过密封底板203和波纹滤管202的固定连接，使得密封底板203带动波纹滤管202伸缩（此时，位于第一空腔104内部的波纹滤管202由拉伸状态向压缩状态变换，第二空腔105内部的波纹滤管202由压缩状态变换为拉伸状态），同时，通过密封底板203推动导流隔板108移动，使得导流隔板108由分流腔102内部的底部移动至导流隔板108内部的顶部，此时，第一流道由开启状态变换为闭合状态，第二流道由闭合状态变换为开启状态，流经进气孔101内部的气流，通过第二流道流出控制器主体100，使得装置对过滤部200进行更换时，无需关闭管道，不会造成停工停产的情况，同理，当第一流道为关闭状态，第二流道为开启状态时，也可以对第二空腔105内部的过滤部200进行更换，进而使得装置能够实现不关闭管道，实现无缝更换过滤部200的目的。

请再次参阅图3和图8所示，基座201的外侧开设有削边面207，第一空腔104和第二空腔105的内部均开设有滑杆110，且削边面207和止转面111相适配。

在该实施方式中，削边面207和止转面111的设置，能够避免基座201装配于控制器主体100内部后发生转动，避免介质流道206和第一导流孔106或介质流道206和第二导流孔107无法适配的情况。

请再次参阅图4和图7所示，密封底板203靠近导流隔板108的一端开设有限位凸台208，导流隔板108的上端和下端均开设有止转凹槽，且限位凸台208和止转凹槽相适配。

在该实施方式中，由于限位凸台208和止转凹槽相适配，止转凹槽能够对限位凸台208形成限位，进而通过止转凹槽对密封底板203和螺纹套管205进行限位，在转动螺纹轴杆204时，使得螺纹轴杆204驱动密封底板203和螺纹套管205移动时，避免密封底板203和螺纹套管205发生自转。

请再次参阅图3、图4、图9和图10所示，第一导流孔106和第二导流孔107的内部均开设有柱形空槽112，两个柱形空槽112相互远离的一端均倾斜开设有贴合面113，止回部300包括止回芯301和弹性元件302，止回芯301滑动连接于柱形空槽112的内部，止回芯301远离出气孔103的一端开设有锥台面303，且锥台面303和贴合面113相适配，止回芯301的外侧开设有第三导流孔304，弹性元件302装配于止回芯301和柱形空槽112之间。

进一步的，弹性元件302始终处于压缩状态。

在该实施方式中，气体通过第一导流孔106内部流向出气孔103时（即第一流道为开启状态时），出气孔103内部的气流会流向第二导流孔107内部，位于第二导流孔107内部的止回芯301和第二导流孔107内部的贴合面113相贴合，能够避免气体从第二导流孔107内部流出，同理，气体通过第二导流孔107内部流向出气孔103时（即第二流道为开启状态时），通过止回芯301和弹性元件302的配合，能够避免出气孔103内部的气体通过第一导流孔106流出，通过止回芯301和弹性元件302的配合，能够对气流进行导向。

在一个具体的实施例中，气体从第一空腔104内部通过过滤部200流入第一导流孔106内部后，气体推动第一导流孔106内部的止回芯301向下移动，并通过该止回芯301对弹性元件302进行压缩，使得该止回芯301上的锥台面303和第一导流孔106内部的贴合面113远离，第一导流孔106内部的气体通过该止回芯301上的第三导流孔304流入出气孔103内部，同时，出气孔103内部的气体流入第二导流孔107内部后，会推动第二导流孔107内部的止回芯301和第二导流孔107内部的贴合面113紧密贴合，避免出气孔103内部的气体从第二导流孔107内部流出。

实施例二

本实施例是在实施例一的基础上做进一步的优化，其主要区别在于螺纹轴杆204，具体的：

请参阅图11所示，过滤部200还包括定位杆209，螺纹轴杆204的内部开设有定位通孔，定位通孔和定位杆209相适配，定位杆209的外侧设置有定位标识210，当定位标识210和螺纹轴杆204以及定位杆209和螺纹套管205之间均相互贴合时，导流隔板108位于分流腔102内部的中端，且导流隔板108和进气孔101相对应。

需要说明的是，当导流隔板108位于分流腔102内部的中端时，第一流道和第二流道均处于开启状态。

进一步的，在通过定位标识210对导流隔板108的位置进行定位时，需要关闭管道，停止气体流动，避免分流腔102内部气压过高将过滤部200顶出，进一步的，当需要更换过滤部200时，使得导流隔板108移动至分流腔102内部的顶部或底部，则无需关闭管道。

在该实施方式中，当第一流道为开启状态，第二流道为闭合状态，关闭管路，使得气体停止流动，取下第一空腔104上端和第二空腔105下端的盖板109，将定位杆209插接于第一空腔104内部的螺纹轴杆204中，直至定位标识210和螺纹轴杆204贴合，同时转动两个过滤部200内部的螺纹轴杆204，使得两个螺纹轴杆204同步转动，通过螺纹轴杆204带动密封底板203和螺纹套管205移动，并带动导流隔板108移动，当定位标识210和螺纹轴杆204开始脱离时，停止转动螺纹轴杆204，此时，第一空腔104内部的螺纹套管205和定位杆209贴合，导流隔板108移动至分流腔102内部的中端，且导流隔板108和进气孔101对应，此时，第一流道和第二流道均处于开启状态，进气孔101内部的气流可以同时通过两个过滤部200内部的波纹滤管202进行过滤，并流至出气孔103内部，使得装置能够提高对气体的过滤效率。

进一步的，定位标识210的类型包括：刻度标识（如：刻度线、数字标识等）、凸台或其他具有标识功能的标记（如：带有颜色的标识圈），在本实施例中，定位标识210优选为凸台。

具体的，当定位杆209的底部和第二空腔105的内部贴合时，定位标识210的设置，能够反馈导流隔板108的位置，便于使用人员调控导流隔板108的位置。

本发明的工作原理为：

当第一流道为开启状态，第二流道为闭合状态，且第一空腔104内部的过滤部200长时间工作需要进行更换时（此时，导流隔板108位于分流腔102内部的底部），旋转第二空腔105下端的盖板109，将待更换的过滤部200放置于第二空腔105的内部，并将盖板109装配于第二空腔105的下端，通过盖板109内部的操作孔，将配套使用的旋拧工具与螺纹轴杆204相连接，使得两个过滤部200内部的螺纹轴杆204同步转动，通过螺纹轴杆204带动密封底板203和螺纹套管205移动，并通过密封底板203推动导流隔板108移动，使得导流隔板108由分流腔102内部的底部移动至导流隔板108内部的顶部，此时，第一流道由开启状态变换为闭合状态，第二流道由闭合状态变换为开启状态，流经进气孔101内部的气流，通过第二流道流出控制器主体100，使得装置对过滤部200进行更换时，无需关闭管道，不会造成停工停产的情况，同理，当第一流道为关闭状态，第二流道为开启状态时，也可以对第二空腔105内部的过滤部200进行更换，进而使得装置能够实现不关闭管道，实现无缝更换过滤部200的目的。

以上仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。本发明中未具体描述和解释说明的结构、装置以及操作方法，如无特别说明和限定，均按照本领域的常规手段进行实施。

Claims (7)

1.一种大流量的气体质量流量控制器，包括控制器主体（100），其特征在于：所述控制器主体（100）的内部从一端到另一端依次开设有进气孔（101）、分流腔（102）和出气孔（103），且所述进气孔（101）和分流腔（102）相互贯通，所述分流腔（102）的上端开设有第一空腔（104），所述分流腔（102）的下端开设有第二空腔（105），所述出气孔（103）的上端开设有第一导流孔（106），所述出气孔（103）的下端开设有第二导流孔（107），且所述出气孔（103）和第一空腔（104）通过第一导流孔（106）相互贯通，所述出气孔（103）、第一空腔（104）和第一导流孔（106）配合形成第一流道，所述出气孔（103）和第二空腔（105）通过第二导流孔（107）相互贯通，所述出气孔（103）、第二空腔（105）和第二导流孔（107）配合形成第二流道，所述分流腔（102）的内部滑动连接有导流隔板（108），所述第一空腔（104）和第二空腔（105）相互远离的一端均螺纹连接有盖板（109），所述盖板（109）的内部开设有操作孔，还包括：

两个过滤部（200），两个所述过滤部（200）分别装配于第一空腔（104）和第二空腔（105）的内部，且所述过滤部（200）和操作孔相适配，所述过滤部（200）包括基座（201）、波纹滤管（202）、密封底板（203）、螺纹轴杆（204）和螺纹套管（205），两个所述过滤部（200）内部的基座（201）分别装配于第一空腔（104）和第二空腔（105）相互远离的一端，所述基座（201）的内部开设有介质流道（206），所述波纹滤管（202）固定于基座（201）靠近分流腔（102）的一端，且所述波纹滤管（202）的形状为波纹状，所述密封底板（203）固定于波纹滤管（202）靠近分流腔（102）的一端，所述螺纹轴杆（204）转动连接于基座（201）的内部，所述螺纹轴杆（204）的下端延伸至波纹滤管（202）内部，且所述螺纹轴杆（204）和操作孔相适配，所述螺纹套管（205）螺纹连接于螺纹轴杆（204）的外侧，且所述螺纹套管（205）和密封底板（203）固定连接；

所述过滤部（200）还包括定位杆（209），所述螺纹轴杆（204）的内部开设有定位通孔，所述定位通孔和定位杆（209）相适配，所述定位杆（209）的外侧设置有定位标识（210），当所述定位标识（210）和螺纹轴杆（204）贴合时，所述导流隔板（108）和进气孔（101）相对应，其中，当所述定位标识（210）和螺纹轴杆（204）以及定位杆（209）和螺纹套管（205）之间均相互贴合时，所述导流隔板（108）位于分流腔（102）内部的中端，且所述导流隔板（108）和进气孔（101）相对应；

两个止回部（300），两个所述止回部（300）分别装配于第一导流孔（106）和第二导流孔（107）的内部；

其中，当所述导流隔板（108）位于分流腔（102）内部的上端时，所述第一流道为闭合状态，所述第二流道为开启状态，当所述导流隔板（108）位于分流腔（102）内部的下端时，所述第一流道为开启状态，所述第二流道为闭合状态。

2.根据权利要求1所述的一种大流量的气体质量流量控制器，其特征在于：所述分流腔（102）的直径记为D1，所述第一空腔（104）和第二空腔（105）的直径均记为D2，D1＞D2。

3.根据权利要求1所述的一种大流量的气体质量流量控制器，其特征在于：所述分流腔（102）内部的两端均固定有滑杆（110），且所述滑杆（110）和导流隔板（108）滑动连接。

4.根据权利要求1所述的一种大流量的气体质量流量控制器，其特征在于：所述基座（201）的外侧开设有削边面（207），所述第一空腔（104）和第二空腔（105）的内部均开设有滑杆（110），且所述削边面（207）和止转面（111）相适配。

5.根据权利要求1所述的一种大流量的气体质量流量控制器，其特征在于：所述密封底板（203）靠近导流隔板（108）的一端开设有限位凸台（208），所述导流隔板（108）的上端和下端均开设有止转凹槽，且所述限位凸台（208）和止转凹槽相适配。

6.根据权利要求1所述的一种大流量的气体质量流量控制器，其特征在于：所述止回部（300）包括止回芯（301）和弹性元件（302），两个所述止回部（300）中的止回芯（301）分别滑动连接于第一导流孔（106）和第二导流孔（107）的内部，所述止回芯（301）远离出气孔（103）的一端开设有锥台面（303），所述止回芯（301）的外侧开设有第三导流孔（304），所述弹性元件（302）装配于止回芯（301）内部。

7.根据权利要求1所述的一种大流量的气体质量流量控制器，其特征在于：所述定位标识（210）的类型包括：刻度标识、凸台。