CN117763639A - 一种工艺配方配置方法 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种工艺配方配置方法，基于预设配置文件中用于配置工艺配方编辑界面的界面配置信息，构建工艺配方编辑界面；基于工艺配方编辑界面上的编辑操作，确定工艺配方编辑界面上编辑好的工艺配方信息；基于预设配置文件中用于配置工艺配方文件的文件配置信息，及工艺配方信息，生成包含工艺配方信息的工艺配方文件。可见，本申请统一工艺配方的配置规范，若工艺配方增加新的工艺参数，无需代码修改，只修改配置文件即可，以减少工艺配方编辑界面的代码开发周期。

Description

一种工艺配方配置方法

技术领域

本申请涉及半导体工艺领域，尤其涉及一种工艺配方配置方法。

背景技术

在半导体工艺持续优化的过程中，需要不断地升级半导体设备的工艺配方编辑界面(用于配置工艺配方使用)，以满足半导体工艺的要求。现有的工艺配方配置方案为：一个工艺配方由多个工艺步(工艺配方的编辑、存储与执行的最小操作单位)组成，每个工艺步需要存储操控半导体设备用到的所有参数(包括流量、温度、控制类型、时间等参数)；在工艺配方编辑界面上以气路图形式显示每个工艺步的参数内容，具体通过点击工艺配方编辑界面上的按钮查看和编辑每个工艺步的参数内容；将每个工艺步的参数内容写入工艺配方文件，工艺配方配置完成。若工艺配方增加新的工艺参数，需要重新从代码级进行工艺配方编辑界面的修改，但这种方式下，工艺配方编辑界面的代码开发周期较长。

发明内容

本申请的目的是提供一种工艺配方配置方法，统一工艺配方的配置规范，若工艺配方增加新的工艺参数，无需代码修改，只修改配置文件即可，以减少工艺配方编辑界面的代码开发周期。

为解决上述技术问题，本申请提供了一种工艺配方配置方法，包括：

基于预设配置文件中用于配置工艺配方编辑界面的界面配置信息，构建所述工艺配方编辑界面；

基于所述工艺配方编辑界面上的编辑操作，确定所述工艺配方编辑界面上编辑好的工艺配方信息；

基于所述预设配置文件中用于配置工艺配方文件的文件配置信息，及所述工艺配方信息，生成包含所述工艺配方信息的所述工艺配方文件。

可选地，所述界面配置信息包括：所述工艺配方编辑界面的每一列的列名称，及所述每一列包含的待显示变量的变量名称；

所述基于预设配置文件中用于配置工艺配方编辑界面的界面配置信息，构建所述工艺配方编辑界面，包括：

基于所述每一列的列名称和所述待显示变量的变量名称，构建用于显示所述每一列的列名称和所述待显示变量的变量名称的工艺配方编辑界面。

可选地，所述界面配置信息还包括：所述列名称和所述待显示变量的变量名称中有文本显示需求的目标名称对应的显示文本信息；

所述基于预设配置文件中用于配置工艺配方编辑界面的界面配置信息，构建所述工艺配方编辑界面，还包括：

基于所述目标名称对应的显示文本信息，更新所述工艺配方编辑界面上显示的所述目标名称。

可选地，所述工艺配方配置方法还包括：

将所述目标名称及其对应的所述显示文本信息以键值对形式存储至文本映射表中；其中，所述目标名称为key，所述显示文本信息为value；

所述基于所述目标名称对应的显示文本信息，更新所述工艺配方编辑界面上显示的所述目标名称，包括：

查找所述文本映射表，确定所述目标名称对应的所述显示文本信息；

将所述工艺配方编辑界面上所述目标名称的原显示内容更新为所述显示文本信息对应的显示内容。

可选地，所述界面配置信息还包括：所述工艺配方编辑界面的目标列包含的隐含变量的变量名称，及所述每一列包含的每个变量的变量配置信息；所述变量配置信息包括以下至少一种信息：变量初始值、变量编辑方式、变量类型、变量有效范围；

所述基于预设配置文件中用于配置工艺配方编辑界面的界面配置信息，构建所述工艺配方编辑界面，还包括：

基于所述每一列包含的每个变量的变量配置信息，相应配置所述每一列包含的每个变量。

可选地，所述工艺配方配置方法还包括：

为每个所述变量创建用于填充变量信息的变量信息结构体；其中，所述变量信息包括变量名称和变量配置信息；

将每个所述变量的变量名称及其对应的所述变量信息结构体以键值对形式存储至信息映射表中；其中，所述变量名称为key，所述变量信息结构体为value；

所述基于所述每一列包含的每个变量的变量配置信息，相应配置所述每一列包含的每个变量，包括：

查找每个所述变量对应的所述变量信息结构体，以基于所述变量信息结构体中的变量配置信息相应配置每个所述变量。

可选地，所述基于所述工艺配方编辑界面上的编辑操作，确定所述工艺配方编辑界面上编辑好的工艺配方信息，包括：

基于所述工艺配方编辑界面上的新建操作，在所述工艺配方编辑界面上显示第一个工艺步对应的工艺步编辑界面；

基于所述工艺配方编辑界面上的插入操作，在所述工艺配方编辑界面上显示新的工艺步对应的工艺步编辑界面；

基于每个所述工艺步编辑界面上针对每个所述变量在相应变量配置信息指导下的变量值编辑操作，确定每个工艺步下每个所述变量的变量值信息，以得到由多个所述工艺步对应的所述变量值信息组成的所述工艺配方信息。

可选地，所述工艺配方配置方法还包括：

将目标工艺步下每个所述变量的变量名称及其对应的所述变量值信息以键值对形式存储至所述目标工艺步对应的目标映射表中；其中，所述目标工艺步为任一所述工艺步；所述变量名称为key，所述变量值信息为value。

可选地，所述文件配置信息包括：主函数配置信息和模板配置信息；所述主函数配置信息包括：包含单指令、条件指令和用于调用所述模板配置信息的模板调用指令的主工艺指令；

所述基于所述预设配置文件中用于配置工艺配方文件的文件配置信息，及所述工艺配方信息，生成包含所述工艺配方信息的所述工艺配方文件，包括：

依次读取所述主函数配置信息包含的每条指令，若读取的所述指令为单指令，则将所述单指令直接存储至第一指令集合链表中；若读取的所述指令为非单指令，则按照预设非单指令转换策略，将所述非单指令转换后再存储至所述第一指令集合链表中；其中，所述非单指令包括所述条件指令和所述模板调用指令；

在所述目标工艺步下，基于所述第一指令集合链表中存储的每条指令的指令类型及所述目标工艺步对应的工艺配方信息，确定每条所述指令对应的替换指令，以得到由所述目标工艺步对应的所有所述替换指令组合而成的工艺步配方指令；其中，所述指令类型包括单指令、条件指令、模板调用指令；

将每个所述工艺步对应的工艺步配方指令均写入所述工艺配方文件中。

可选地，所述模板配置信息包括：模板名称和多个子工艺指令；

所述基于所述预设配置文件中用于配置工艺配方文件的文件配置信息，及所述工艺配方信息，生成包含所述工艺配方信息的所述工艺配方文件，还包括：

依次读取所述模板配置信息包含的每条指令，若读取的所述指令为单指令，则将所述单指令直接存储至第二指令集合链表中；若读取的所述指令为非单指令，则按照所述预设非单指令转换策略，将所述非单指令转换后再存储至所述第二指令集合链表中；

所述在所述目标工艺步下，基于所述第一指令集合链表中存储的每条指令的指令类型及所述目标工艺步对应的工艺配方信息，确定每条所述指令对应的替换指令，以得到由所述目标工艺步对应的所有所述替换指令组合而成的工艺步配方指令；将每个所述工艺步对应的工艺步配方指令均写入所述工艺配方文件中，包括：

在所述目标工艺步下，依次读取所述第一指令集合链表中存储的每条指令，若读取的所述指令为单指令，则基于所述目标映射表将所述单指令中的变量名称更新为其对应的变量值信息，并将更新后的所述单指令写入内存流中；若读取的所述指令为所述模板调用指令的转换指令，则将所述模板调用指令对应的所述第二指令集合链表中的指令写入所述内存流中；若读取的所述指令为所述条件指令的转换指令，则基于所述目标映射表确定所述条件指令下的待执行指令，并将所述待执行指令中的变量名称更新为其对应的变量值信息，以将更新后的所述待执行指令写入所述内存流中；

将所述内存流中每个所述工艺步对应的缓存内容均写入所述工艺配方文件中。

可选地，所述工艺配方配置方法还包括：

将所述模板配置信息的模板名称及其对应的所述第二指令集合链表以键值对形式存储至指令映射表中；其中，所述模板名称为key，所述第二指令集合链表value；

所述将所述模板调用指令对应的所述第二指令集合链表中的指令写入所述内存流中，包括：

将所述模板调用指令中包含的模板名称作为待查找模板名称，并从所述指令映射表找到与所述待查找模板名称对应的第二指令集合链表，以将找到的所述第二指令集合链表中的指令写入所述内存流中。

本申请提供了一种工艺配方配置方法，基于预设配置文件中用于配置工艺配方编辑界面的界面配置信息，构建工艺配方编辑界面；基于工艺配方编辑界面上的编辑操作，确定工艺配方编辑界面上编辑好的工艺配方信息；基于预设配置文件中用于配置工艺配方文件的文件配置信息，及工艺配方信息，生成包含工艺配方信息的工艺配方文件。可见，本申请统一工艺配方的配置规范，若工艺配方增加新的工艺参数，无需代码修改，只修改配置文件即可，以减少工艺配方编辑界面的代码开发周期。

附图说明

为了更清楚地说明本申请或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例提供的一种工艺配方配置方法的流程图；

图2为本申请实施例提供的一种工艺配方配置方法的原理图；

图3为本申请实施例提供的一种界面配置信息的格式展示图；

图4为本申请实施例提供的一种工艺配方编辑界面的初版示意图；

图5为本申请实施例提供的一种工艺配方编辑界面的终版示意图；

图6为本申请实施例提供的一种工艺配方编辑示意图；

图7为本申请实施例提供的一种编辑完成的工艺配方示意图；

图8为本申请实施例提供的一种文件配置信息的格式展示图；

图9为本申请实施例提供的一种工艺配方文件的内容展示图。

具体实施方式

本申请的核心是提供一种工艺配方配置方法，统一工艺配方的配置规范，若工艺配方增加新的工艺参数，无需代码修改，只修改配置文件即可，以减少工艺配方编辑界面的代码开发周期。

为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

在半导体工艺持续优化的过程中，需要不断地升级半导体设备的工艺配方编辑界面，以满足半导体工艺的要求。现有的工艺配方配置方案为：一个工艺配方由多个工艺步组成，每个工艺步需要存储操控半导体设备用到的所有参数；在工艺配方编辑界面上以气路图形式显示每个工艺步的参数内容，具体通过点击工艺配方编辑界面上的按钮查看和编辑每个工艺步的参数内容；将每个工艺步的参数内容写入工艺配方文件，工艺配方配置完成。若工艺配方增加新的工艺参数，需要重新从代码级进行工艺配方编辑界面的修改，但这种方式下，工艺配方编辑界面的代码开发周期较长。

针对上述技术问题，本申请提供了一种新的工艺配方配置方法。请参照图1，图1为本申请实施例提供的一种工艺配方配置方法的流程图。该工艺配方配置方法包括如下步骤：

步骤S101：基于预设配置文件中用于配置工艺配方编辑界面的界面配置信息，构建工艺配方编辑界面。

步骤S102：基于工艺配方编辑界面上的编辑操作，确定工艺配方编辑界面上编辑好的工艺配方信息。

步骤S103：基于预设配置文件中用于配置工艺配方文件的文件配置信息，及工艺配方信息，生成包含工艺配方信息的工艺配方文件。

本申请实施例中，配置文件是提前设置好的。配置文件由两部分信息组成，分别是用于配置工艺配方编辑界面的界面配置信息和用于配置工艺配方文件的文件配置信息。

具体应用中，首先，基于预设配置文件中的界面配置信息，可自动构建工艺配方编辑界面，以供用户进行编辑工艺配方的操作；然后，基于工艺配方编辑界面上的编辑操作，可自动确定工艺配方编辑界面上编辑好的工艺配方信息；最后，基于预设配置文件中的文件配置信息及工艺配方信息，自动生成包含工艺配方信息的工艺配方文件，工艺配方配置结束，以根据生成的工艺配方文件进行后续工艺操作。

本申请提供的工艺配方配置方法，统一了工艺配方的配置规范，若工艺配方增加新的工艺参数，无需代码修改，只修改配置文件即可，从而减少了工艺配方编辑界面的代码开发周期。

在上述实施例的基础上：

作为一种可选的实施例，界面配置信息包括：工艺配方编辑界面的每一列的列名称，及每一列包含的待显示变量的变量名称；

步骤S101“基于预设配置文件中用于配置工艺配方编辑界面的界面配置信息，构建工艺配方编辑界面”，包括如下步骤：

基于每一列的列名称和待显示变量的变量名称，构建用于显示每一列的列名称和待显示变量的变量名称的工艺配方编辑界面。

本申请实施例中，工艺配方编辑界面的每一列包含的待显示变量可以为一个，也可以为多个。若工艺配方编辑界面的第N列包含的待显示变量为一个，则将此待显示变量的变量名称作为第N列的列名称，则在初版的工艺配方编辑界面上，只需显示第N列包含的一个待显示变量的变量名称，等同于显示了第N列的列名称。若工艺配方编辑界面的第N列包含的待显示变量为多个，则在初版的工艺配方编辑界面上，同时显示第N列的列名称和第N列包含的多个待显示变量的变量名称，且第N列包含的待显示变量的变量名称在第N列的列名称的下方显示。

作为一种可选的实施例，界面配置信息还包括：列名称和待显示变量的变量名称中有文本显示需求的目标名称对应的显示文本信息；

步骤S101“基于预设配置文件中用于配置工艺配方编辑界面的界面配置信息，构建工艺配方编辑界面”，还包括如下步骤：

基于目标名称对应的显示文本信息，更新工艺配方编辑界面上显示的目标名称。

本申请实施例中，在初版的工艺配方编辑界面上，每一列的列名称和每一列包含的待显示变量的变量名称都是以“字母”/“字母+数字”形式(如SN、N2)显示。考虑到以“字母”/“字母+数字”形式显示的变量名称中，有的变量名称在业内已实现规范统一，如氮气用“N2”表示，气体质量流量控制器用“MFC”表示；而有的变量名称在业内未实现规范统一，如对于步号的表示，并未有规范统一的“字母”/“字母+数字”形式的变量名称，因此，为了便于用户理解工艺配方编辑界面上显示的各变量的含义，这些未有规范统一的变量名称的显示变量用文本显示。基于此，对于工艺配方编辑界面上显示的列名称和变量名称中存在有文本显示需求的名称(称为目标名称)，在终版的工艺配方编辑界面上，将目标名称的原显示内容更新为目标名称对应的显示文本信息(如SN有文本显示需求，SN对应的显示文本信息是“步号”，则将工艺配方编辑界面上显示的“SN”更新为“步号”)。

作为一种可选的实施例，工艺配方配置方法还包括如下步骤：

将目标名称及其对应的显示文本信息以键值对形式存储至文本映射表中；其中，目标名称为key，显示文本信息为value；

基于目标名称对应的显示文本信息，更新工艺配方编辑界面上显示的目标名称，包括如下步骤：

查找文本映射表，确定目标名称对应的显示文本信息；

将工艺配方编辑界面上目标名称的原显示内容更新为显示文本信息对应的显示内容。

本申请实施例中，映射表是一种按照键(key)-值(value)对形式存储元素的容器。以目标名称为key，以显示文本信息为value，将显示文本信息存储至映射表(称为文本映射表)中，用于工艺配方编辑界面上目标名称的更新。

作为一种可选的实施例，界面配置信息还包括：工艺配方编辑界面的目标列包含的隐含变量的变量名称，及每一列包含的每个变量的变量配置信息；变量配置信息包括以下至少一种信息：变量初始值、变量编辑方式、变量类型、变量有效范围；

步骤S101“基于预设配置文件中用于配置工艺配方编辑界面的界面配置信息，构建工艺配方编辑界面”，还包括如下步骤：

基于每一列包含的每个变量的变量配置信息，相应配置每一列包含的每个变量。

本申请实施例中，工艺配方编辑界面上每一列包含的每个变量(待显示变量/待显示变量+隐含变量，同时包含待显示变量和隐含变量的列称为目标列，待显示变量直接显示于工艺配方编辑界面上；隐含变量不直接显示于工艺配方编辑界面上，在响应工艺配方编辑界面上目标列的变量编辑指令时，才弹出显示有目标列的待显示变量和隐含变量的变量编辑界面)的变量配置信息包括以下至少一种信息：

1)变量初始值，用于界面初始化；

2)变量编辑方式，包括Auto、CheckBox、RadioBtn、未指定编辑方式；其中，Auto指以默认值为初始值，自动加1或减1；CheckBox指通过复选框(提供几个选项，可多选)对变量进行编辑；RadioBtn指通过单选框(提供几个选项，只可单选)对变量进行编辑；未指定编辑方式，在未指定编辑方式的情况下，变量是通过编辑框(用户可输入数值)进行编辑；

3)变量类型，包括tm(时间类型，界面显示形式为：HH:MM:SS(时:分:秒))、ul(4字节无符号整型)、l(4字节有符号整型)、flt(4字节浮点型)、db(8字节浮点型)、bo(布尔型)；

4)变量有效范围，包括变量下限值和变量上限值。

作为一种可选的实施例，工艺配方配置方法还包括如下步骤：

为每个变量创建用于填充变量信息的变量信息结构体；其中，变量信息包括变量名称和变量配置信息；

将每个变量的变量名称及其对应的变量信息结构体以键值对形式存储至信息映射表中；其中，变量名称为key，变量信息结构体为value；

基于每一列包含的每个变量的变量配置信息，相应配置每一列包含的每个变量，包括如下步骤：

查找每个变量对应的变量信息结构体，以基于变量信息结构体中的变量配置信息相应配置每个变量。

本申请实施例中，以变量名称为key，以变量信息结构体为value，将变量信息结构体存储至映射表(称为信息映射表)中，用于变量配置。变量信息结构体的内容如下表1所示：

表1

作为一种可选的实施例，步骤S102“基于工艺配方编辑界面上的编辑操作，确定工艺配方编辑界面上编辑好的工艺配方信息”，包括如下步骤：

基于工艺配方编辑界面上的新建操作，在工艺配方编辑界面上显示第一个工艺步对应的工艺步编辑界面；

基于工艺配方编辑界面上的插入操作，在工艺配方编辑界面上显示新的工艺步对应的工艺步编辑界面；

基于每个工艺步编辑界面上针对每个变量在相应变量配置信息指导下的变量值编辑操作，确定每个工艺步下每个变量的变量值信息，以得到由多个工艺步对应的变量值信息组成的工艺配方信息。

本申请实施例中，工艺配方编辑界面上包含新建按钮、插入按钮等按钮，当“新建”按钮被点击时，工艺配方编辑界面上自动显示第一个工艺步对应的工艺步编辑界面；当“插入”按钮被点击时，工艺配方编辑界面上自动显示新的工艺步对应的工艺步编辑界面。用户可根据实际需求，在工艺步编辑界面编辑该工艺步下每个变量的变量值信息，以最终得到由多个工艺步对应的变量值信息组成的工艺配方信息。

作为一种可选的实施例，工艺配方配置方法还包括如下步骤：

将目标工艺步下每个变量的变量名称及其对应的变量值信息以键值对形式存储至目标工艺步对应的目标映射表中；其中，目标工艺步为任一工艺步；变量名称为key，变量值信息为value。

本申请实施例中，每个工艺步都对应一个变量名称和变量值信息的映射表，以目标工艺步为例，在目标工艺步下，以变量名称为key，以变量值信息为value，将变量值信息存储至目标工艺步对应的映射表(称为目标映射表)中。

作为一种可选的实施例，文件配置信息包括：主函数配置信息和模板配置信息；主函数配置信息包括：包含单指令、条件指令和用于调用模板配置信息的模板调用指令的主工艺指令；

步骤S103“基于预设配置文件中用于配置工艺配方文件的文件配置信息，及工艺配方信息，生成包含工艺配方信息的工艺配方文件”，包括如下步骤：

依次读取主函数配置信息包含的每条指令，若读取的指令为单指令，则将单指令直接存储至第一指令集合链表中；若读取的指令为非单指令，则按照预设非单指令转换策略，将非单指令转换后再存储至第一指令集合链表中；其中，非单指令包括条件指令和模板调用指令；

在目标工艺步下，基于第一指令集合链表中存储的每条指令的指令类型及目标工艺步对应的工艺配方信息，确定每条指令对应的替换指令，以得到由目标工艺步对应的所有替换指令组合而成的工艺步配方指令；其中，指令类型包括单指令、条件指令、模板调用指令；

将每个工艺步对应的工艺步配方指令均写入工艺配方文件中。

本申请实施例中，主函数配置信息的主工艺指令可包括单指令和非单指令，主函数配置信息的非单指令可包括条件指令和模板调用指令。

作为一种可选的实施例，模板配置信息包括：模板名称和多个子工艺指令；

基于预设配置文件中用于配置工艺配方文件的文件配置信息，及工艺配方信息，生成包含工艺配方信息的工艺配方文件，还包括：

依次读取模板配置信息包含的每条指令，若读取的指令为单指令，则将单指令直接存储至第二指令集合链表中；若读取的指令为非单指令，则按照预设非单指令转换策略，将非单指令转换后再存储至第二指令集合链表中；

在目标工艺步下，基于第一指令集合链表中存储的每条指令的指令类型及目标工艺步对应的工艺配方信息，确定每条指令对应的替换指令，以得到由目标工艺步对应的所有替换指令组合而成的工艺步配方指令；将每个工艺步对应的工艺步配方指令均写入工艺配方文件中，包括：

在目标工艺步下，依次读取第一指令集合链表中存储的每条指令，若读取的指令为单指令，则基于目标映射表将单指令中的变量名称更新为其对应的变量值信息，并将更新后的单指令写入内存流中；若读取的指令为模板调用指令的转换指令，则将模板调用指令对应的第二指令集合链表中的指令写入内存流中；若读取的指令为条件指令的转换指令，则基于目标映射表确定条件指令下的待执行指令，并将待执行指令中的变量名称更新为其对应的变量值信息，以将更新后的待执行指令写入内存流中；

将内存流中每个工艺步对应的缓存内容均写入工艺配方文件中。

本申请实施例中，模板配置信息的多个子工艺指令可只包括单指令，也可包括单指令和非单指令。文件配置信息中可包含一个模板配置信息，也可包含多个模板配置信息，每个模板配置信息均对应一个第二指令集合链表。

作为一种可选的实施例，工艺配方配置方法还包括如下步骤：

将模板配置信息的模板名称及其对应的第二指令集合链表以键值对形式存储至指令映射表中；其中，模板名称为key，第二指令集合链表value；

将模板调用指令对应的第二指令集合链表中的指令写入内存流中，包括如下步骤：

将模板调用指令中包含的模板名称作为待查找模板名称，并从指令映射表找到与待查找模板名称对应的第二指令集合链表，以将找到的第二指令集合链表中的指令写入内存流中。

基于上述工艺配方配置方法，给出一种具体的实施例：

1)配置文件与整体过程

a、配置文件格式

配置文件中每项是以#begin和#end作为开始与结束标志，#begin后面是该项属性的关键字，如下表2所示：

表2

b、整体过程

配置文件由两部分信息组成，分别是用于配置工艺配方编辑界面的界面配置信息和用于配置工艺配方文件的文件配置信息，具体过程如图2所示。

2)构建界面过程

a、配置文件规范

界面配置信息包括3部分，分别是关键字col项、name项和range项，如图3所示。

col代表工艺配方编辑界面的列，col项下的内容代表该列的内容，格式为：

例如：Tube1＝flt.[0.0:1300.0]表示变量Tube1的类型是flt型，取值范围在0.0到1300.0之间(包括0.0和1300.0)。

b、界面构建过程

工艺配方编辑界面构建过程分为解析col项、name项和range项三部分，解析col项具体过程如下：

①加载配置文件，解析col项，获取列名称，例如，图3中的SN对应图4中SN列。

②解析col项包含的内容，创建变量信息结构体(如上表1所示)，将变量的初始值保存在变量信息结构体中；通过解析via后的关键字获取该变量的编辑方式，将该变量的编辑方式保存在变量信息结构体中。通过对col项解析，可以填充变量信息结构体中的变量名称、变量编辑方式和变量初始值三项，变量的类型和有效范围在解析range项时进行填充，具体参见解析range项具体过程。例如，图3中EnbChg＝0via CheckBox，表示变量EnbChg的初始值为0(EnbChg＝0，表示工艺时间tm只有工艺人员有权编辑；EnbChg＝1，表示其它人员也可编辑)，通过复选框对该变量进行修改；Fill＝0via CheckBox，表示变量Fill的初始值为0(Fill表示充气，其值不同，设备开的阀门也不同)，通过复选框对该变量进行修改。

③以变量名称为Key，以变量信息结构体为Value，将变量信息结构体存储到信息映射表(Map1)中。

④生成工艺配方编辑界面初版，如图4所示(有的列只包含待显示变量，有的列同时包含待显示变量和隐含变量，比如，SN列只包含待显示变量SN，PRESSURE列既包含待显示变量Press(压力)和Angle(角度)，又包含隐含变量PCtrl(压控)、ACtrl(角控)和Fill)。

解析range项具体过程如下：

①解析range项包含的内容，获取变量的类型和有效范围。如图3所示，Tube1变量的类型为flt型，有效范围在0.0到1300.0之间(包括0.0和1300.0)。

②通过变量名称(例如图2的Tube1)在信息映射表(Map1)中查找到该变量的变量信息结构体，将变量的类型和有效范围储存在变量信息结构体中。

解析name项具体过程如下：

①解析name项包含的内容，获取变量对应的显示文本信息，例如图3中SN对应的显示文本信息是“步号”。

②以变量名称为Key，以显示文本信息为Value，将显示文本信息存储到文本映射表(Map2)中。

③通过查找文本映射表(Map2)，将工艺配方编辑界面上使用变量名称的位置用显示文本信息进行代替，例如图4中SN使用“步号”进行代替。

④生成工艺配方编辑界面终版，如图5所示。

在工艺配方编辑界面编辑工艺配方的过程：

①点击“新建”按钮，自动生成第一个工艺步。

②用户根据实际需求，编辑该步的变量。当用户对变量进行编辑时，通过变量信息结构体中的变量编辑方式项指定用户的编辑方式，通过变量有效范围对用户输入的变量值进行检验，如果输入的变量值不在变量有效范围之内，则会提示用户变量有效范围，如图6所示，变量Tube2未指定编辑方式，因此使用编辑框进行编辑，变量Tube2的变量有效范围是0.0到1300.0之间(包括0.0和1300.0)，点击编辑框时会给予相应提示。

③点击“插入”按钮，插入新的工艺步，用户根据实际需求，编辑该步的变量，同上一步。对每个工艺步都会建立变量名称和用户输入的变量值的Map映射表n(n＝1…n)，用于工艺配方信息保存在工艺配方文件中使用，具体参见生成工艺配方文件过程。

④重复上一步操作，直到整个工艺配方编辑完成，如图7所示。

通过上述方法统一了工艺配方编辑界面生成的配置文件规范，任意添加工艺参数，无需代码修改，只需按规范修改配置文件即可，减少了工艺配方编辑界面在代码方面的开发周期。

3)生成工艺配方文件过程

a、配置文件规范

文件配置信息包括两部分信息，分别是main项(主函数配置信息)和template项(模板配置信息)，以换行符进行指令的分割，如图8所示(template项表示设备开的阀门，Valve.OPEN(a1,a2)，第一个参数a1表示阀门标识，即第几个阀门，第二参数a2表示阀门开关状态，1为开，0为关)。

其中，main项是生成工艺配方文件的入口，该项下内容分3种情况，分别是单指令、条件指令和call指令(模板调用指令)。

单指令格式为：指令名称(参数1、参数2、参数3、参数4)，指令中出现“$变量名”表示在实际情况下使用该变量的界面输入值进行代替。例如：Tmpr.Set(1,$Tube1)，Tmpr.Set代表温度设定，1代表第一温区，$Tube1代表Tube1变量的值，例如图7中第一工艺步的500.0，第二工艺步的700.0等，该指令的含义是往第一温区设定Tube1变量的值作为目标温度。

条件指令：条件指令是以#if和#endif作为开始与结束标志，格式为：

其中，根据实际情况，#else分支可以没有。条件指令根据“判断条件”执行不同指令，如果条件为真，则执行#if下面的指令；如果条件为假，则执行#else下面的指令。

call指令格式为：call子工艺指令集名称，通过关键字call即可调用子工艺指令集。例如：call tapFillA表示调用tapFillA子工艺指令集。tapFillA是使用关键字template项定义的，具体格式和上述一样。其中，子工艺指令集中可以通过call调用其它子工艺指令集，但是不能在内部递归调用自己。

b、工艺配方文件生成过程

工艺配方文件生成过程包括两部分，一部分是解析配置文件中main项和template项，生成第一/第二指令集合链表和指令映射表(Map3)；另一部分是将用户在工艺配方编辑界面编辑的工艺配方信息保存到工艺配方文件中。

解析配置文件中main项具体过程如下：

①一条一条读取main项包含的指令。

②对指令进行解析，如果是单指令，则直接存储至第一指令集合链表中；如果是特殊指令(非单指令)，则将指令进行转换后再存储至第一指令集合链表中。特殊指令在第一指令集合链表的存储形式如下表3所示。

表3

解析配置文件中template项与解析main项相似，具体过程如下：

①解析template项，获取子工艺指令集合的名称，例如图8中的tpaFillA和tpaFillB。

②一条一条读取template项包含的指令。

③对指令进行解析，如果是单指令，则直接存储至第二指令集合链表中；如果是特殊指令，则将指令进行转换后再存储至第二工艺指令集合链表中，存储形式如上表3所示。

④以子工艺指令集合的名称为Key，以第二指令集合链表为Value，将第二指令集合链表存储至指令映射表(Map3)中。例如，图8中template tpaFillA可以生成一个第二指令集合链表，template tpaFillB可以生成另一个第二指令集合链表，将两个第二指令集合链表通过名称进行区分储存在指令映射表(Map3)中。使用template的目的是将mian中多次重复调用的指令建立一个子工艺指令集合，当使用相同子工艺指令集合的地方都可以使用template代替，减少冗余操作，提高可读性。修改了template中的指令，所有用到该模板的地方都会生效，如果只使用单指令的话需要修改所有地方，操作比较复杂，容易出错。

工艺配方文件具体生成过程如下：

①建立临时的内存流。

②置位第一指令集合链表(即找到第一指令集合链表的头部)，然后一条一条读取指令，根据具体情况进行转换后将指令写入内存流中：

如果是单指令，并且指令中存在“$变量名称”，则使用用户输入的变量值进行代替，即根据变量名称在Map映射表n(n＝1…n)中查找用户输入的变量值，然后使用该变量值进行代替，例如Tmpr.Set(1,$Tube1)中的$Tube1，在图7中第一工艺步使用500.0代替。

如果指令是“##子工艺指令集合名称”格式，则在指令映射表(Map3)中找到该子工艺指令集合名称对应的第二指令集链表，使用该第二指令集链表中的指令进行代替。例如图6中call tpaFillA，在指令映射表(Map3)查找到tpaFillA对应的第二指令集链表，使用该第二指令集链表中的内容进行代替。

如果指令是“#$条件”格式，则根据具体变量条件，选择写入#$后的指令或#&后的指令。例如图7中第一工艺步中控压方式是压控，可以在Map映射表n(n＝1…n)中查到PCtrl变量值是1，满足$PCtrl＝1，因此将#$后的指令写入内存流中，即Pressure.VATSet(0,$Press,$Angle)，其中$Press和$Angle参照单指令处理方式。

③重复上一步操作，直到将所有工艺步的信息都写入到内存流中。

④将内存流中的内容写入工艺配方文件中，并将工艺配方文件保存在硬盘中，如图9所示。

通过上述方法以纯文本形式将工艺配方信息保存在工艺配方文件中，可以在不同计算机上查看；为工艺人员提供高灵活性的工艺配方编辑界面，提高了工艺工程师的研发效率；使用统一的工艺配方编辑组件，减少了软件工程师的工作强度；若工艺配方增加新的工艺参数，无需代码修改，只修改配置文件即可，减少了工艺配方编辑界面的代码开发周期。

本领域普通技术人员可知，随着技术的发展和新场景的出现，本申请实施例提供的技术方案对于类似的技术问题，同样适用。

本申请的说明书和权利要求书中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的术语在适当情况下可以互换，这仅仅是描述本申请的实施例中对相同属性的对象在描述时所采用的区分方式。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，以便包含一系列单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于那些单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它单元。

通过以上的实施方式的描述，本领域的技术人员可以清楚地了解到各实施方式可借助软件加必需的通用硬件平台的方式来实现，当然也可以通过硬件。基于这样的理解，上述技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品可以存储在计算机可读存储介质中，如ROM/RAM、磁碟、光盘等，包括若干指令用以使得一台计算机设备(可以是个人计算机，服务器，或者网络设备等)执行各个实施例或者实施例的某些部分的方法。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本申请的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本申请进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (11)

1.一种工艺配方配置方法，其特征在于，包括：

基于预设配置文件中用于配置工艺配方编辑界面的界面配置信息，构建所述工艺配方编辑界面；

基于所述工艺配方编辑界面上的编辑操作，确定所述工艺配方编辑界面上编辑好的工艺配方信息；

基于所述预设配置文件中用于配置工艺配方文件的文件配置信息，及所述工艺配方信息，生成包含所述工艺配方信息的所述工艺配方文件。

2.如权利要求1所述的工艺配方配置方法，其特征在于，所述界面配置信息包括：所述工艺配方编辑界面的每一列的列名称，及所述每一列包含的待显示变量的变量名称；

所述基于预设配置文件中用于配置工艺配方编辑界面的界面配置信息，构建所述工艺配方编辑界面，包括：

基于所述每一列的列名称和所述待显示变量的变量名称，构建用于显示所述每一列的列名称和所述待显示变量的变量名称的工艺配方编辑界面。

3.如权利要求2所述的工艺配方配置方法，其特征在于，所述界面配置信息还包括：所述列名称和所述待显示变量的变量名称中有文本显示需求的目标名称对应的显示文本信息；

所述基于预设配置文件中用于配置工艺配方编辑界面的界面配置信息，构建所述工艺配方编辑界面，还包括：

基于所述目标名称对应的显示文本信息，更新所述工艺配方编辑界面上显示的所述目标名称。

4.如权利要求3所述的工艺配方配置方法，其特征在于，所述工艺配方配置方法还包括：

将所述目标名称及其对应的所述显示文本信息以键值对形式存储至文本映射表中；其中，所述目标名称为key，所述显示文本信息为value；

所述基于所述目标名称对应的显示文本信息，更新所述工艺配方编辑界面上显示的所述目标名称，包括：

查找所述文本映射表，确定所述目标名称对应的所述显示文本信息；

将所述工艺配方编辑界面上所述目标名称的原显示内容更新为所述显示文本信息对应的显示内容。

5.如权利要求2-4任一项所述的工艺配方配置方法，其特征在于，所述界面配置信息还包括：所述工艺配方编辑界面的目标列包含的隐含变量的变量名称，及所述每一列包含的每个变量的变量配置信息；所述变量配置信息包括以下至少一种信息：变量初始值、变量编辑方式、变量类型、变量有效范围；

所述基于预设配置文件中用于配置工艺配方编辑界面的界面配置信息，构建所述工艺配方编辑界面，还包括：

基于所述每一列包含的每个变量的变量配置信息，相应配置所述每一列包含的每个变量。

6.如权利要求5所述的工艺配方配置方法，其特征在于，所述工艺配方配置方法还包括：

为每个所述变量创建用于填充变量信息的变量信息结构体；其中，所述变量信息包括变量名称和变量配置信息；

将每个所述变量的变量名称及其对应的所述变量信息结构体以键值对形式存储至信息映射表中；其中，所述变量名称为key，所述变量信息结构体为value；

所述基于所述每一列包含的每个变量的变量配置信息，相应配置所述每一列包含的每个变量，包括：

查找每个所述变量对应的所述变量信息结构体，以基于所述变量信息结构体中的变量配置信息相应配置每个所述变量。

7.如权利要求5所述的工艺配方配置方法，其特征在于，所述基于所述工艺配方编辑界面上的编辑操作，确定所述工艺配方编辑界面上编辑好的工艺配方信息，包括：

基于所述工艺配方编辑界面上的新建操作，在所述工艺配方编辑界面上显示第一个工艺步对应的工艺步编辑界面；

基于所述工艺配方编辑界面上的插入操作，在所述工艺配方编辑界面上显示新的工艺步对应的工艺步编辑界面；

基于每个所述工艺步编辑界面上针对每个所述变量在相应变量配置信息指导下的变量值编辑操作，确定每个所述工艺步下每个所述变量的变量值信息，以得到由多个所述工艺步对应的所述变量值信息组成的所述工艺配方信息。

8.如权利要求7所述的工艺配方配置方法，其特征在于，所述工艺配方配置方法还包括：

将目标工艺步下每个所述变量的变量名称及其对应的所述变量值信息以键值对形式存储至所述目标工艺步对应的目标映射表中；其中，所述目标工艺步为任一所述工艺步；所述变量名称为key，所述变量值信息为value。

9.如权利要求8所述的工艺配方配置方法，其特征在于，所述文件配置信息包括：主函数配置信息和模板配置信息；所述主函数配置信息包括：包含单指令、条件指令和用于调用所述模板配置信息的模板调用指令的主工艺指令；

所述基于所述预设配置文件中用于配置工艺配方文件的文件配置信息，及所述工艺配方信息，生成包含所述工艺配方信息的所述工艺配方文件，包括：

依次读取所述主函数配置信息包含的每条指令，若读取的所述指令为单指令，则将所述单指令直接存储至第一指令集合链表中；若读取的所述指令为非单指令，则按照预设非单指令转换策略，将所述非单指令转换后再存储至所述第一指令集合链表中；其中，所述非单指令包括所述条件指令和所述模板调用指令；

在所述目标工艺步下，基于所述第一指令集合链表中存储的每条指令的指令类型及所述目标工艺步对应的工艺配方信息，确定每条所述指令对应的替换指令，以得到由所述目标工艺步对应的所有所述替换指令组合而成的工艺步配方指令；其中，所述指令类型包括单指令、条件指令、模板调用指令；

将每个所述工艺步对应的工艺步配方指令均写入所述工艺配方文件中。

10.如权利要求9所述的工艺配方配置方法，其特征在于，所述模板配置信息包括：模板名称和多个子工艺指令；

所述基于所述预设配置文件中用于配置工艺配方文件的文件配置信息，及所述工艺配方信息，生成包含所述工艺配方信息的所述工艺配方文件，还包括：

依次读取所述模板配置信息包含的每条指令，若读取的所述指令为单指令，则将所述单指令直接存储至第二指令集合链表中；若读取的所述指令为非单指令，则按照所述预设非单指令转换策略，将所述非单指令转换后再存储至所述第二指令集合链表中；

所述在所述目标工艺步下，基于所述第一指令集合链表中存储的每条指令的指令类型及所述目标工艺步对应的工艺配方信息，确定每条所述指令对应的替换指令，以得到由所述目标工艺步对应的所有所述替换指令组合而成的工艺步配方指令；将每个所述工艺步对应的工艺步配方指令均写入所述工艺配方文件中，包括：

在所述目标工艺步下，依次读取所述第一指令集合链表中存储的每条指令，若读取的所述指令为单指令，则基于所述目标映射表将所述单指令中的变量名称更新为其对应的变量值信息，并将更新后的所述单指令写入内存流中；若读取的所述指令为所述模板调用指令的转换指令，则将所述模板调用指令对应的所述第二指令集合链表中的指令写入所述内存流中；若读取的所述指令为所述条件指令的转换指令，则基于所述目标映射表确定所述条件指令下的待执行指令，并将所述待执行指令中的变量名称更新为其对应的变量值信息，以将更新后的所述待执行指令写入所述内存流中；

将所述内存流中每个所述工艺步对应的缓存内容均写入所述工艺配方文件中。

11.如权利要求10所述的工艺配方配置方法，其特征在于，所述工艺配方配置方法还包括：

将所述模板配置信息的模板名称及其对应的所述第二指令集合链表以键值对形式存储至指令映射表中；其中，所述模板名称为key，所述第二指令集合链表value；

所述将所述模板调用指令对应的所述第二指令集合链表中的指令写入所述内存流中，包括：

将所述模板调用指令中包含的模板名称作为待查找模板名称，并从所述指令映射表找到与所述待查找模板名称对应的第二指令集合链表，以将找到的所述第二指令集合链表中的指令写入所述内存流中。