CN117753164A - 气体输送系统的尾气处理设备、方法及半导体工艺系统 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种气体输送系统的尾气处理设备、方法及半导体工艺系统，尾气处理设备包括气体输送单元、分析单元、回收单元、吸附单元、排气单元、吹扫单元和真空单元。其优点在于，通过将分析单元与气体输送单元连通并增加回收单元，可实时检测气体输送单元所输送的特殊工艺气体的纯度，若特殊工艺气体的纯度符合标准的情况下，可将特殊工艺气体回收并输送至工艺腔室；此外，通过设置吹扫单元和真空单元，可对整体设备管路及阀体进行吹扫，保证整体设备管路及阀体的洁净度。

Description

气体输送系统的尾气处理设备、方法及半导体工艺系统

技术领域

本发明涉及半导体生产技术领域，尤其涉及一种气体输送系统的尾气处理设备、方法及半导体工艺系统。

背景技术

半导体生产制造工艺中会使用到多种特殊气体、这些气体往往有剧毒、易燃、易爆等特点，容易造成作业人员中毒、破坏大气环境等危害，为避免这些危害的发生，这些气体都必须经过无害化处理，使之符合国家大气排放标准后，方可排入大气中。

现有技术中，特殊气体的尾气处理方案大多为将特殊工艺气体通过文丘里被抽到尾气处理装置的吸附罐进行反应吸收，反应后的无害气体排到EXHAUST(排气管)中；然而，现有技术中将特殊工艺气体直接通入吸附罐内进行反应吸收，较为浪费，可对特殊工艺气体进行二次利用；此外，将特殊工艺气体采用文丘里的方式输送至吸附罐内，其气体输送效率较低。

目前针对相关技术中存在的将特殊工艺气体直接通入吸附罐内进行反应吸收的方式较为浪费以及将特殊工艺气体采用文丘里的方式输送至吸附罐内的方式相率较低等问题，尚未提出有效的解决方案。

发明内容

本发明的目的是针对现有技术中的不足，提供一种气体输送系统的尾气处理设备、方法及半导体工艺系统，以解决相关技术中存在的将特殊工艺气体直接通入吸附罐内进行反应吸收的方式较为浪费以及将特殊工艺气体采用文丘里的方式输送至吸附罐内的方式相率较低等问题。

为实现上述目的，本发明采取的技术方案是：

第一方面，本发明提供一种气体输送系统的尾气处理设备，包括：

气体输送单元，所述气体输送单元与工艺气源连通，用于为特殊工艺气体的输送提供动力；

分析单元，所述分析单元与所述气体输送单元连通，用于对特殊工艺气体进行纯度分析；

回收单元，所述回收单元分别与所述气体输送单元、工艺腔室连通，用于在所述分析单元所监测的特殊工艺气体的纯度符合标准的情况下，将特殊工艺气体回收并输送至工艺腔室；

吸附单元，所述吸附单元与所述气体输送单元连通，用于在所述分析单元所监测的特殊工艺气体的纯度不符合标准的情况下，将特殊工艺气体进行吸附过滤得到过滤气体；

排气单元，所述排气单元与所述吸附单元连通，用于将过滤气体排出；

吹扫单元，所述吹扫单元分别与吹扫气源、所述气体输送单元、所述回收单元连通，用于进行吹扫；

真空单元，所述真空单元分别与动力气源、所述气体输送单元、所述吹扫单元连通，用于进行真空处理。

在其中的一些实施例中，所述气体输送单元包括：

气体输送元件，所述气体输送元件将工艺气源分别与所述分析单元、所述回收单元、所述吸附单元连通；

泵体元件，所述泵体元件设置于所述气体输送元件，用于为特殊工艺气体的输送提供动力；

第一阀元件，所述第一阀元件设置于所述气体输送元件与工艺气源、所述分析单元、所述回收单元、所述吸附单元连通的管路，用于控制该管路的流通。

在其中的一些实施例中，所述气体输送单元还包括：

旁通元件，所述旁通元件与所述气体输送元件连通，且所述旁通元件的第一端和第二端分别位于所述泵体元件的上下游；

第八阀元件，所述第八阀元件设置于所述旁通元件，用于控制所述旁通元件的流通。

在其中的一些实施例中，所述分析单元包括：

分析元件，所述分析元件分别与所述气体输送单元、所述真空单元连通，用于对特殊工艺气体进行纯度分析；

第二阀元件，所述第二阀元件设置于所述分析元件与所述气体输送单元、所述真空单元连通的管路，用于控制该管路的流通。

在其中的一些实施例中，所述回收单元包括：

回收元件，所述回收元件分别与所述气体输送单元、所述吹扫单元、工艺腔室连通，用于在所述分析单元所监测的特殊工艺气体的纯度符合标准的情况下，将特殊工艺气体回收；

第三阀元件，所述第三阀元件设置于所述回收元件与所述气体输送单元、工艺腔室连通的管路，用于控制该管路的流通。

在其中的一些实施例中，所述回收单元还包括：

第一压力监测元件，所述第一压力监测元件设置于所述回收元件与所述气体输送单元连通的管路，用于监测进入所述回收元件的特殊工艺气体的压力。

在其中的一些实施例中，所述回收单元还包括：

第二压力监测元件，所述第二压力监测元件与所述回收元件连通，用于监测所述回收元件内部的压力；

第九阀元件，所述第九阀元件设置于所述第二压力监测元件与所述回收元件连通的管路，用于控制该管路的流通。

在其中的一些实施例中，所述吸附单元包括：

第一吸附元件，所述第一吸附元件分别与所述气体输送单元、所述排气单元连通，用于在所述分析单元所监测的特殊工艺气体的纯度不符合标准的情况下，将特殊工艺气体进行吸附过滤得到过滤气体；

第一泄压元件，所述第一泄压元件分别与所述第一吸附元件、所述排气单元连通，用于在所述第一吸附元件的内部压力过大的情况下，对所述第一吸附元件进行泄压；

第四阀元件，所述第四阀元件设置于所述第一吸附元件与所述气体输送单元100连通的管路，用于控制该管路的流通。

在其中的一些实施例中，所述吸附单元还包括：

第二吸附元件，所述第二吸附元件分别与所述气体输送单元、所述排气单元连通，用于在所述第一吸附元件饱和的情况下，将特殊工艺气体输送至所述第二吸附元件进行吸附过滤；

第二泄压元件，所述第三泄压元件分别与所述第二吸附元件、所述排气单元连通，用于在所述第二吸附元件的内部压力过大的情况下，对所述第二吸附元件进行泄压；

第十阀元件，所述第十阀元件设置于所述第二吸附元件与所述气体输送单元100连通的管路，用于控制该管路的流通。

在其中的一些实施例中，所述排气单元包括：

排气元件，所述排气元件与所述吸附单元连通，用于将过滤气体排出；

第五阀元件，所述第五阀元件设置于所述排气元件与所述吸附单元连通的管路，用于控制该管路的流通。

在其中的一些实施例中，所述吹扫单元包括：

吹扫元件，所述吹扫元件分别与吹扫气源、所述气体输送单元、所述回收单元连通，用于进行吹扫；

第六阀元件，所述第六阀元件设置于所述吹扫元件与吹扫气源连通的管路，用于控制该管路的流通。

在其中的一些实施例中，所述吹扫单元还包括：

第三压力监测元件，所述第三压力监测元件设置于所述吹扫元件与所述吸附单元连通的管路，用于监测该管路内部的压力。

在其中的一些实施例中，所述真空单元包括：

真空元件，所述真空元件分别与动力气源、所述气体输送单元、所述吹扫单元连通，用于进行真空处理；

第七阀元件，所述第七阀元件设置于所述真空元件与动力气源、所述吹扫管路连通的管路，用于控制该管路的流通。

在其中的一些实施例中，还包括；

泄压单元，所述泄压单元分别与所述回收单元、所述真空单元连通，用于对所述回收单元泄压。

在其中的一些实施例中，所述泄压单元包括：

第三泄压元件，所述第三泄压元件分别与所述回收单元、所述真空单元连通，用于在所述回收单元内部的压力过大的情况下，对所述回收单元进行泄压；

第十一阀元件，所述第十一阀元件设置于所述第三泄压元件分别与所述回收单元、所述真空单元连通的管路，用于控制该管路的流通。

第二方面，本发明还提供一种气体输送系统的尾气处理方法，应用于如第一方面所述的尾气处理设备，包括；

气体输送单元获取特殊工艺气体；

分析单元对特殊工艺气体进行纯度分析；

在特殊工艺气体的纯度达到预设纯度的情况下，气体输送单元向回收单元输送特殊工艺气体；

在特殊工艺气体的纯度未达到预设纯度的情况下，气体输送单元向吸附单元输送特殊工艺气体；

吸附单元对特殊工艺气体进行吸附过滤，以产生过滤气体；

排气单元排出过滤气体。

在其中的一些实施例中，在气体输送单元获取特殊工艺气体之前，还包括：

吹扫单元利用吹扫气体对特殊气体输送系统进行吹扫；

在吹扫结束后，真空单元对特殊气体输送系统进行真空处理，以排出吹扫气体。

在其中的一些实施例中，还包括：

获取回收单元的内部压力；

在内部压力达到压力阈值的情况下，泄压单元对回收单元进行泄压。

第三方面，本发明还提供一种半导体工艺系统，包括：

如第一方面所述的尾气处理设备；

工艺腔室，所述工艺腔室与所述气体输送系统的所述回收单元连通，用于获取特殊气体。

本发明采用以上技术方案，与现有技术相比，具有如下技术效果：

本发明的一种气体输送系统的尾气处理设备、方法及半导体工艺系统，通过将分析单元与气体输送单元连通并增加回收单元，可实时检测气体输送单元所输送的特殊工艺气体的纯度，若特殊工艺气体的纯度符合标准的情况下，可将特殊工艺气体回收并输送至工艺腔室；此外，通过设置吹扫单元和真空单元，可对整体设备管路及阀体进行吹扫，保证整体设备管路及阀体的洁净度；再有，通过设置泄压单元，可对回收单元、吸附单元起到保护作用，防止回收单元、吸附单元内部压力过大所造成的生产事故，提升安全性。

附图说明

图1是根据本发明实施例的尾气处理设备的示意图(一)；

图2是根据本发明实施例的尾气处理设备的示意图(二)；

图3是根据本发明实施例的尾气处理设备的示意图(三)；

图4是根据本发明实施例的尾气处理设备的示意图(四)；

图5是根据本发明实施例的尾气处理设备的示意图(五)；

图6是根据本发明实施例的尾气处理设备的示意图(六)；

图7是根据本发明实施例的尾气处理设备的具体实施例。

其中的附图标记为：100、气体输送单元；110、气体输送元件；120、泵体元件；130、第一阀元件；140、旁通元件；150、第八阀元件；

200、分析单元；210、分析元件；220、第二阀元件；

300、回收单元；310、回收元件；320、第三阀元件；330、第一压力监测元件；340、第二压力监测元件；350、第九阀元件；

400、吸附单元；410、第一吸附元件；420、第一泄压元件；430、第四阀元件；440、第二吸附元件；450、第二泄压元件；460、第十阀元件；

500、排气单元；510、排气元件；520、第五阀元件；

600、吹扫单元；610、吹扫元件；620、第六阀元件；630、第三压力监测元件；

700、真空单元；710、真空元件；720、第七阀元件；

800、泄压单元；810、第三泄压元件；820、第十一阀元件。

具体实施方式

为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行描述和说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。基于本申请提供的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些示例或实施例，对于本领域的普通技术人员而言，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图将本申请应用于其他类似情景。此外，还可以理解的是，虽然这种开发过程中所作出的努力可能是复杂并且冗长的，然而对于与本申请公开的内容相关的本领域的普通技术人员而言，在本申请揭露的技术内容的基础上进行的一些设计，制造或者生产等变更只是常规的技术手段，不应当理解为本申请公开的内容不充分。

在本申请中提及“实施例”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域普通技术人员显式地和隐式地理解的是，本申请所描述的实施例在不冲突的情况下，可以与其它实施例相结合。

除非另作定义，本申请所涉及的技术术语或者科学术语应当为本申请所属技术领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本申请所涉及的“一”、“一个”、“一种”、“该”等类似词语并不表示数量限制，可表示单数或复数。本申请所涉及的术语“包括”、“包含”、“具有”以及它们任何变形，意图在于覆盖不排他的包含；例如包含了一系列步骤或模块(单元)的过程、方法、系统、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元，而是可以还包括没有列出的步骤或单元，或可以还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。本申请所涉及的“连接”、“相连”、“耦接”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电气的连接，不管是直接的还是间接的。本申请所涉及的“多个”是指两个或两个以上。“和/或”描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，“A和/或B”可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。字符“/”一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。本申请所涉及的术语“第一”、“第二”、“第三”等仅仅是区别类似的对象，不代表针对对象的特定排序。

实施例1

本发明的一个示意性实施例，如图1所示，一种气体输送系统的尾气处理设备，包括气体输送单元100、分析单元200、回收单元300、吸附单元400、排气单元500、吹扫单元600和真空单元700。其中，气体输送单元100与工艺气源连通，用于为特殊工艺气体的输送提供动力；分析单元200与气体输送单元100连通，用于对特殊工艺气体进行纯度分析；回收单元300分别与气体输送单元100、工艺腔室连通，用于在分析单元200所监测的特殊工艺气体的纯度符合标准的情况下，将特殊工艺气体回收；吸附单元400与气体输送单元100连通，用于在分析单元200所监测的特殊工艺气体的纯度不符合标准的情况下，将特殊工艺气体进行吸附过滤得到过滤气体；排气单元500与吸附单元400连通，用于将过滤气体排出；吹扫单元600分别与吹扫气源、气体输送单元100、回收单元300连通，用于对整体设备及管路进行吹扫；真空单元700分别与动力气源、气体输送单元100、吹扫单元600连通，用于进行真空处理。

需要说明的是，在特殊气体输送系统中，只有在进行更换钢瓶时才进行吹扫排气，且只有第一次排气全都是特殊工艺气体，所以采用回收单元300回收第一次排气的工艺气体，后续步骤中特殊工艺气体直接排入吸附单元400进行反应吸收。

如图2所示，气体输送单元100包括气体输送元件110、泵体元件120、第一阀元件130。其中，气体输送元件110将工艺气源分别与分析单元200、回收单元300、吸附单元400连通；泵体元件120设置于气体输送元件110，用于为特殊工艺气体的输送提供动力；第一阀元件130设置于气体输送元件110与工艺气源、分析单元200、回收单元300、吸附单元400连通的管路，用于控制该管路的流通。

具体地，气体输送元件110包括输送主管路、第一输送分支管路和第二输送分支管路。其中，输送主管路的第一端与工艺气源连通；第一输送分支管路的第一端与输送主管路的第二端连通，第一输送分支管路的第二端与回收单元300连通；第二输送分支管路的第一端与输送主管路的第二端连通，第二输送分支管路的第二端与吸附单元400连通。

需要说明的是，输送主管路的第一端和第二端分别为其长度方向的两端；第一输送分支管路的第一端和第二端分别为其长度方向的两端；第二输送分支管路的第一端和第二端分别为其长度方向的两端。

在其中的一些实施例中，输送主管路包括但不限于不锈钢管。

在其中的一些实施例中，第一输送分支管路包括但不限于不锈钢管。

在其中的一些实施例中，第二输送分支管路包括但不限于不锈钢管。

具体地，泵体元件120设置于输送主管路，并位于输送主管路分别与第一输送分支管路、第二输送分支管路的连通位置的上游，且泵体元件120可对后续流入回收单元300、吸附单元400的特殊工艺气体提供动力条件。

在其中的一些实施例中，泵体元件120包括但不限于柱塞泵。

具体地，第一阀元件130包括第一手动隔膜阀、第一气动隔膜阀、第二手动隔膜阀、第三手动隔膜阀、第二气动隔膜阀和第三气动隔膜阀。其中，第一手动隔膜阀设置于输送主管路；第一气动隔膜阀设置于输送主管路，并位于第一手动隔膜阀的下游；第二手动隔膜阀设置于输送主管路，并位于第一气动隔膜阀的下游、泵体元件120的上游；第三手动隔膜阀设置于输送主管路，并位于泵体元件120的下游；第二气动隔膜阀设置于第一输送分支管路；第三气动隔膜阀设置于第二输送分支管路。

在其中的一些实施例中，第一阀元件130包括但不限于隔膜阀。

需要说明的是，第一手动隔膜阀用于手动控制输送主管路的流通；第一气动隔膜阀用于在第一手动隔膜阀开启的情况下，根据系统指令自动控制输送主管路的流通；第二手动隔膜阀和第三手动隔膜阀可对泵体元件120进行隔离，从而便于更换泵体元件120；第二气动隔膜阀用于根据系统指令自动控制第一输送分支管路的流通；第三气动隔膜阀用于根据系统指令自动控制第二输送分支管路的流通。

如图2所示，分析单元200包括分析元件210和第二阀元件220。其中，分析元件210分别与气体输送单元100、真空单元700连通，用于对特殊工艺气体进行纯度分析；第二阀元件220设置于分析元件210与气体输送单元100、真空单元700连通的管路，用于控制该管路的流通。

具体地，分析元件210与气体输送元件110连通。

具体地，分析元件210包括分析管路和分析仪。其中，分析管路的第一端与输送主管路(或者第一输送分支管路)连通，分析管路的第二端与真空单元700连通；分析仪设置于分析管路，用于对流入分析管路内的特殊工艺气体进行分析。

需要说明的是，分析管路的第一端和第二端分别为其长度方向的两端。

在其中的一些实施例中，分析管路包括但不限于不锈钢管。

在其中的一些实施例中，分析仪包括但不限于气相色谱检测分析仪。

具体地，第二阀元件220包括第四气动隔膜阀。其中，第四气动隔膜阀设置于分析管路，并位于分析仪的上游。

在其中的一些实施例中，第二阀元件220包括但不限于隔膜阀。

需要说明的是，第四气动隔膜阀用于根据系统指令自动控制分析管路的流通。

如图2所示，回收单元300包括回收元件310和第三阀元件320。其中，回收元件310分别与气体输送单元100、吹扫单元600、工艺腔室连通，用于在分析单元200所监测的特殊工艺气体的纯度符合标准的情况下，将特殊工艺气体回收；第三阀元件320设置于回收元件310与气体输送单元100、工艺腔室连通的管路，用于控制该管路的流通。

具体地，回收元件310与气体输送元件110连通。

具体地，回收元件310包括回收管路、回收罐和输出管路。其中，回收管路的第一端与第一输送分支管路连通，回收管路的第二端与回收罐连通；回收罐呈钢瓶结构设置，且回收罐可将纯度符合标准的特殊工艺气体回收；输出管路的第一端回收罐连通，输出管路的第二端与工艺腔室连通，用于将回收罐内的特殊工艺气体输送至工艺腔室进行重新利用。

需要说明的是，回收管路的第一端和第二端分别为其长度方向的两端；输出管路的第一端和第二端分别为长度方向的两端。

在其中的一些实施例中，回收管路包括但不限于不锈钢管。

在其中的一些实施例中，回收罐包括但不限于钢瓶。

在其中的一些实施例中，输出管路包括但不限于不锈钢管。

具体地，第三阀元件320包括第一单向阀、第四手动隔膜阀和第五手动隔膜阀。其中，第一单向阀设置于回收管路；第四手动隔膜阀设置于回收管路，并位于第一单向阀的下游；第五手动隔膜阀设置于输出管路。

在其中的一些实施例中，第三阀元件320包括但不限于单向阀、隔膜阀。

需要说明的是，第一单向阀用于防止进入回收管路的特殊工艺气体逆流；第四手动隔膜阀用于手动控制回收管路与回收罐之间的流通；第五手动隔膜阀用于手动控制回收罐与工艺腔室之间的流通。

如图2所示，吸附单元400包括第一吸附元件410、第一泄压元件420和第四阀元件430。其中，第一吸附元件410分别与气体输送单元100、排气单元500连通，用于在分析单元200所监测的特殊工艺气体的纯度不符合标准的情况下，将特殊工艺气体进行吸附过滤并通过排气单元500排出；第一泄压元件420分别与第一吸附元件410、排气单元500连通，用于在第一吸附元件410的内部压力过大的情况下，对第一吸附元件410进行泄压；第四阀元件430设置于第一吸附元件410与气体输送单元100连通的管路，用于控制该管路的流通。

具体地，第一吸附元件410与气体输送元件110连通。

具体地，第一吸附元件410包括第一吸附管路和第一吸附罐。其中，第一吸附管路的第一端与第二输送分支管路连通，第一吸附管路的第二端与第一吸附罐连通；第一吸附罐呈中空罐体结构设置，可对特殊工艺气体进行过滤。

需要说明的是，第一吸附管路的第一端和第二端分别为其长度方向的两端。

在其中的一些实施例中，第一吸附管路包括但不限于不锈钢管。

在其中的一些实施例中，第一吸附罐包括但不限于分子筛。

具体地，第一泄压元件420包括第一泄压管路和第一泄压阀。其中，第一泄压管路的第一端与第一吸附罐连通，第一泄压管路的第二端与排气管路连通，且第一泄压管路与排气管路的连通处位于第二单向阀的上游；第一泄压阀设置于第一泄压管路，且第一泄压阀的预设阈值为1000psi，即在第一吸附罐的内部压力大于100psi的情况下，第一泄压阀自动对第一吸附罐进行泄压。

在其中的一些实施例中，第一泄压管路包括但不限于不锈钢管。

在其中的一些实施例中，第一泄压阀包括但不限于安全阀。

具体地，第四阀元件430包括第五气动隔膜阀和第六手动隔膜阀。其中，第五气动隔膜阀设置于第一吸附管路；第六手动隔膜阀设置于第一吸附管路，并位于第五气动隔膜阀的下游。

在其中的一些实施例中，第四阀元件430包括但不限于隔膜阀。

需要说明的是，第五气动隔膜阀用于根据系统指令自动控制第二输送分支管路与第一吸附管路的流通；第六手动隔膜阀用于手动控制第一吸附管路与第一吸附罐的流通。

如图2所示，排气单元500包括排气元件510和第五阀元件520。其中，排气元件510与吸附单元400连通，用于将过滤气体排出；第五阀元件520设置于排气元件510与吸附单元400连通的管路，用于控制该管路的流通。

具体地，排气元件510与第一吸附元件410连通。

具体地，排气元件510包括排气管路和鼓风机。其中，排气管路的第一端与第一吸附罐连通，排气管路的第二端与后续工艺设备连通；鼓风机设置于排气管路，用于为过滤气体的排出提供动力条件。

需要说明的是，排气管路的第一端和第二端分别为其长度方向的两端。

在其中的一些实施例中，排气管路包括但不限于不锈钢管。

在其中的一些实施例中，鼓风机包括但不限于通风鼓风机。

具体地，第五阀元件520包括第七手动隔膜阀和第二单向阀。其中，第七手动隔膜阀设置于排气管路；第二单向阀设置于排气管路，并位于第七手动隔膜阀的下游。

在其中的一些实施例中，第五阀元件520包括但不限于隔膜阀、单向阀。

需要说明的是，第七手动隔膜阀用于手动控制第一吸附罐与后续工艺设备的连通；第二单向阀用于防止气体逆流。

如图2所示，吹扫单元600包括吹扫元件610和第六阀元件620。其中，吹扫元件610分别与吹扫气源、气体输送单元100、回收单元300连通，用于进行吹扫；第六阀元件620设置于吹扫元件610与吹扫气源连通的管路，用于控制该管路的流通。

具体地，吹扫元件610分别与气体输送元件110、回收元件310连通。

具体地，吹扫元件610包括吹扫管路。其中，吹扫管路的第一端与吹扫气源连通，吹扫管路的第二端与第一输送分支管路、回收管路的连通处连通。

需要说明的是，吹扫管路的第一端和第二端分别为其长度方向的两端。

此外，吹扫气体为PN₂。

在其中的一些实施例中，吹扫管路包括但不限于不锈钢管。

具体地，第六阀元件620包括第八手动隔膜阀、第三单向阀和第六气动隔膜阀。其中，第八手动隔膜阀设置于吹扫管路；第三单向阀设置于吹扫管路，并位于第八手动隔膜阀的下游；第六气动隔膜阀设置于吹扫管路，并位于第三单向阀的下游。

在其中的一些实施例中，第六阀元件620包括但不限于单向阀、隔膜阀。

需要说明的是，第八手动隔膜阀用于手动控制气源于吹扫管路的流通；第三单向阀用于防止气体逆流；第六气动隔膜阀用于根据系统指令自动控制吹扫管路与第一输送分支管路的连通。

如图2所示，真空单元700包括真空元件710和第七阀元件720。其中，真空元件710分别与动力气源、气体输送单元100、排气单元500连通，用于进行真空处理；第七阀元件720设置于真空元件710与动力气源、吹扫单元600连通的管路，用于控制该管路的流通。

具体地，真空元件710分别与气体输送元件110、回收元件310连通。

具体地，真空元件710包括真空管路、真空发生器和供应管路。其中，真空管路的第一端与第一输送分支管路、回收管路的连通处连通，真空管路的第二端与第二输送分支管路连通；真空发生器设置于真空管路，将整体设备及管路内残留的吹扫气体排出；供应管路的第一端与动力气源连通，供应管路的第二端与真空发生器连通，用于提供向真空发生器提供动力气体。

需要说明的是，真空管路的第一端和第二端分别为其长度方向的两端；供应管路的第一端和第二端分别为其长度方向的两端。

真空发生器为采用文丘里的装置来形成真空，该装置需要一路动力气体。

在本实施例中，动力气体为GN₂。

在其中的一些实施例中，真空管路包括但不限于不锈钢管。

在其中的一些实施例中，真空发生器包括但不限于文丘里发生器。

在其中的一些实施例中，供应管路包括但不限于不锈钢管。

具体地，第七阀元件720包括第七气动隔膜阀、第四单向阀和第九手动隔膜阀。其中，第七气动隔膜阀设置于真空管路；第四单向阀设置于真空管路，并位于第七气动隔膜阀的下游；第九手动隔膜阀设置于供应管路。

在其中的一些实施例中，第七阀元件720包括但不限于隔膜阀、单向阀。

需要说明的是，第七气动隔膜阀用于根据系统指令自动控制真空管路与第一输送分支管路的流通；第四单向阀用于防止气体逆流；第九手动隔膜阀用于手动控制供应管路的流通。

本实施例的使用方法如下：

(一)运行前的管路清洗

手动打开第八手动隔膜阀、第六手动隔膜阀、第七手动隔膜阀，系统打开第六气动隔膜阀、第二气动隔膜阀、第三气动隔膜阀、第五气动隔膜阀，使得吹扫气体可通过依次通过吹扫管路、第一输送分支管路、第二输送分支管路、第一吸附管路、排气管路，可保证整体设备的管路和阀体的洁净度；

随后，手动关闭第八手动隔膜阀、第六手动隔膜阀并手动打开第九手动隔膜阀，系统打开第七气动隔膜阀并启动真空发生器，将整体设备的管路和阀体内的气体抽出。

(二)气体输送

手动开启第一手动隔膜阀、第二手动隔膜阀、第三手动隔膜阀，系统打开第一气动隔膜阀，使得特殊工艺气体可通过输出主管路、第一输送分支管路流向分析管路。

(三)气体分析

系统打开第四气动隔膜阀，使得特殊工艺气体可通过分析管路流向分析仪，对特殊工艺气体进行纯度分析。

(四)气体回收

在分析仪所监测的特殊工艺气体的纯度符合标准的情况下，手动打开第四手动隔膜阀，系统打开第二气动隔膜阀，使得特殊工艺气体可通过第一输送分支管路、回收管路进入回收罐。

(五)气体吸附过滤

在分析仪所监测的特殊工艺气体的纯度符合标准的情况下，手动打开第六手动隔膜阀，系统打开第三气动隔膜阀、第五气动隔膜阀，使得特殊工艺气体可通过第二输送分支管路、第一吸附管路进入第一吸附罐。

(六)排气

手动打开第七手动隔膜阀，使得经过第一吸附罐处理所产生的过滤气体可通过排气管路排出。

(七)泄压

在第一吸附罐的内部压力大于100psi的情况下，第一泄压阀自动对第一吸附罐进行泄压，使得第一吸附罐内部过多的气体可通过第一泄压管路、排气管路排出。

本实施例的优点在于，通过将分析单元与气体输送单元连通并增加回收单元，可实时检测气体输送单元所输送的特殊工艺气体的纯度，若特殊工艺气体的纯度符合标准的情况下，可将特殊工艺气体回收并输送至工艺腔室；此外，通过设置吹扫单元和真空单元，可对整体设备管路及阀体进行吹扫，保证整体设备管路及阀体的洁净度。

实施例2

本实施例为实施例1的一个变形实施例。

如图3所示，气体输送单元100还包括旁通元件140和第八阀元件150。其中，旁通元件140与气体输送元件110连通，且旁通元件140的第一端和第二端分别位于泵体元件120的上下游；第八阀元件150设置于旁通元件140，用于控制旁通元件140的流通。

具体地，旁通元件140包括旁通管路。其中，旁通管路的第一端与输送主管路连通，且旁通管路的第一端与输送主管路的连通处位于第一气动隔膜阀和第二手动隔膜阀之间，旁通管路的第二端与输送主管路连通，且旁通管路的第二端与输送主管路的连通处位于第三手动隔膜阀的下游。

在其中的一些实施例中，旁通管路包括但不限于不锈钢管。

需要说明的是，旁通管路可在泵体元件120失效的情况下，保持设备正常运行尾气处理的功能，可避免出现在泵体元件120更换过程中，整体设备中断运行的情况发生。

具体地，第八阀元件150包括第十手动隔膜阀。其中，第十手动隔膜阀设置于旁通管路，用于控制旁通管路的流通。

在其中的一些实施例中，第八阀元件150包括但不限于隔膜阀。

需要说明的是，第十手动隔膜阀用于手动控制旁通管路的流通。

如图3所示，回收单元300还包括第一压力监测元件330。其中，第一压力监测元件330设置于回收元件310与气体输送单元100连通的管路，用于监测进入回收元件310的特殊工艺气体的压力。

具体地，第一压力监测元件330设置于回收元件310与气体输送元件110连通的管路。

具体地，第一压力监测元件330包括第一连通管路和压力计。其中，第一连通管路的第一端与压力计连通，第一连通管路的第二端与回收管路连通。

需要说明的是，第一连通管路的第一端和第二端分别为其长度方向的两端。

在其中的一些实施例中，第一连通管路包括但不限于不锈钢管。

如图3所示，回收单元300还包括第二压力监测元件340和第九阀元件350。其中，第二压力监测元件340与回收元件310连通，用于监测回收元件310内部的压力；第九阀元件350设置于第二压力监测元件340与回收元件310连通的管路，用于控制该管路的流通。

具体地，第二压力监测元件340包括第二连通管路和第一压力表。其中，第二连通管路的第一端与回收罐连通，第二连通管路的第二端与第一压力表；第一压力表可对回收罐内部的压力进行实时显示，从而便于工作人员观察；第十一手动隔膜阀设置于第二连通管路，用于手动控制回收罐与第一压力表之间的流通。

在其中的一些实施例中，第二连通管路包括但不限于不锈钢管。

在其中的一些实施例中，第一压力表包括但不限于电子压力表、机械压力表。

具体地，第九阀元件350包括第十一手动隔膜阀。其中，第十一手动隔膜阀设置于第二连通管路，用于手动控制回收罐与第一压力表之间的流通。

在其中的一些实施例中，第九阀元件350包括但不限于隔膜阀。

需要说明的是，第十一手动隔膜阀用于手动控制第二连通管路的流通。

如图3所示，吹扫单元600还包括第三压力监测元件630。其中，第三压力监测元件630设置于吹扫元件610与吸附单元400连通的管路，用于监测该管路内部的压力。

具体地，第三压力监测元件630包括第三连通管路和第二压力表。其中，第三连通管路的第一端与吹扫管路连通，且第三连通管路的第一端与吹扫管路的连通处位于第八手动隔膜阀和第三单向阀之间，第三连通管路的第二端与第二压力表连通；第二压力表可对吹扫管路内的压力进行实时显示，从而便于工作人员观察。

在其中的一些实施例中，第三连通管路包括但不限于不锈钢管。

在其中的一些实施例中，第二压力表包括但不限于电子压力表、机械压力表。

本实施例的使用方法与实施例1相同，在此不做赘述。

本实施例的优点在于，通过旁通元件可在泵体元件失效的情况下，保持设备正常运行尾气处理的功能，可避免出现在泵体元件更换过程中，整体设备中断运行的情况发生；通过将第一压力监测元件、第二压力监测元件与回收元件连通、将第三压力监测元件与吹扫元件连通，可对输送至回收元件的气体压力、回收元件内部的压力进行实时显示以及对吹扫元件内的压力进行实时显示，从而便于工作人员观察，以便工作人员可即使发现出现压力异常的情况发生。

实施例3

本实施例为实施例1～2的一个变形实施例。

如图4所示，吸附单元400还包括第二吸附元件440、第二泄压元件450和第十阀元件460。其中，第二吸附元件440分别与气体输送单元100、排气单元500连通，用于在第一吸附元件410饱和的情况下，将特殊工艺气体输送至第二吸附元件440进行吸附过滤；第二泄压元件450分别与第二吸附元件440、排气单元500连通，用于在第二吸附元件440的内部压力过大的情况下，对第二吸附元件440进行泄压；第十阀元件460设置于第二吸附元件440与气体输送单元100连通的管路，用于控制该管路的流通。

具体地，第二吸附元件440分别与气体输送元件110、排气元件510连通。

具体地，第二吸附元件440包括第二吸附管路和第二吸附罐。其中，第二吸附管路的第一端与第二输送分支管路连通，第二吸附管路的第二端与第二吸附罐连通；第二吸附罐呈中空罐体结构设置，可对特殊工艺气体进行过滤。

需要说明的是，第二吸附管路的第一端和第二端分别为其长度方向的两端。

在其中的一些实施例中，第二吸附管路包括但不限于不锈钢管。

在其中的一些实施例中，第二吸附罐包括但不限于分子筛。

需要说明的是，在第一吸附罐的吸附过滤效率饱和的情况下，可自动切换至第二吸附罐，切换后可对第一吸附罐进行更换，可实现在更换第一吸附罐的过程中不中断整体设备的运行；此外，由于第二吸附罐只是在更换第一吸附罐的过程中临时使用，所以，第二吸附罐的容积比第一吸附罐的容积小。

具体地，第二泄压元件450包括第二泄压管路和第二泄压阀。其中，第二泄压管路的第一端与第二吸附罐连通，第二泄压管路的第二端与排气管路连通，且第二泄压管路与排气管路的连通处位于第二单向阀的上游；第二泄压阀设置于第二泄压管路，且第二泄压阀的预设阈值为1000psi，即在第二吸附罐的内部压力大于100psi的情况下，第二泄压阀自动对第二吸附罐进行泄压。

在其中的一些实施例中，第二泄压管路包括但不限于不锈钢管。

在其中的一些实施例中，第二泄压阀包括但不限于安全阀。

具体地，第十阀元件460包括第八气动隔膜阀和第十二手动隔膜阀。其中，第八气动隔膜阀设置于第二吸附管路；第十二手动隔膜阀设置于第二吸附管路，并位于第八气动隔膜阀的下游。

在其中的一些实施例中，第十阀元件460包括但不限于隔膜阀。

需要说明的是，第八气动隔膜阀用于根据系统指令自动控制第二输送分支管路与第二吸附管路的流通；第十二手动隔膜阀用于手动控制第二吸附管路与第一吸附罐的流通。

本实施例的使用方法如下：

在第一吸附罐的吸附过滤效率饱和的情况下，手动关闭第六手动隔膜阀、第七手动隔膜阀，系统关闭第五气动隔膜阀，并手动打开第十二手动隔膜阀、系统打开第八气动隔膜阀，实现切换至第二吸附罐。

本实施例的优点在于，在第一吸附罐的吸附过滤效率饱和的情况下，可自动切换至第二吸附罐，切换后可对第一吸附罐进行更换，可实现在更换第一吸附罐的过程中不中断整体设备的运行。

实施例4

本实施例为实施例1～3的一个变形实施例。

如图5所示，尾气处理设备还包括泄压单元800。其中，泄压单元800分别与回收单元300、真空单元700连通，用于对回收单元300泄压。

如图6所示，泄压单元800包括第三泄压元件810和第十一阀元件820。其中，第三泄压元件810分别与回收单元300、真空单元700连通，用于在回收单元300内部的压力过大的情况下，对回收单元300进行泄压；第十一阀元件820设置于第三泄压元件810分别与回收单元300、真空单元700连通的管路，用于控制该管路的流通。

具体地，第三泄压元件810分别与回收元件310、真空元件710连通。

更具体地，第三泄压元件810分别与第二压力监测元件340、真空元件710连通。

具体地，第三泄压元件810包括第三泄压管路和第三泄压阀。其中，第三泄压管路的第一端与回收罐连通，第三泄压管路的第二端与真空管路连通；第三泄压阀设置于第三泄压管路，且第三泄压阀的预设阈值为250psi，即在回收罐内部的压力大于250psi的情况下，第三泄压阀自动对回收罐进行泄压。

在其中的一些实施例中，第三泄压管路包括但不限于不锈钢管。

在其中的一些实施例中，第三泄压阀包括但不限于安全阀。

具体地，第十一阀元件820包括第五单向阀。其中，第五单向阀设置于第一泄压管路，并位于第一泄压阀的下游，用于防止气体逆流。

在其中的一些实施例中，第十一阀元件820包括但不限于单向阀。

本实施例的使用方法如下：

在回收罐内部的压力大于250psi的情况下，第一泄压阀自动对回收罐进行泄压，使得回收罐内部过多的气体可通过第一泄压管路、真空管路、第二输送分支管路、第一吸附管路进行第一吸附罐内进行吸附过滤处理。

本实施例的优点在于，通过设置泄压单元，可对回收单元起到保护作用，防止回收单元内部压力过大所造成的生产事故，提升安全性。

实施例5

本实施例涉及本发明的尾气处理方法，应用于如实施例1～实施例4所述的尾气处理设备。

本发明的一个示意性实施例，一种特殊气体输送系统的尾气处理方法，包括：

气体输送单元获取特殊工艺气体；

分析单元对特殊工艺气体进行纯度分析；

在特殊工艺气体的纯度达到预设纯度的情况下，气体输送单元向回收单元输送特殊工艺气体；

在特殊工艺气体的纯度未达到预设纯度的情况下，气体输送单元向吸附单元输送特殊工艺气体；

吸附单元对特殊工艺气体进行吸附过滤，以产生过滤气体；

排气单元排出过滤气体。

在其中的一些实施例中，在气体输送单元获取特殊工艺气体之前，还包括：

吹扫单元利用吹扫气体对特殊气体输送系统进行吹扫；

在吹扫结束后，真空单元对特殊气体输送系统进行真空处理，以排出吹扫气体。

在其中的一些实施例中，还包括：

获取回收单元的内部压力；

在内部压力达到压力阈值的情况下，泄压单元对回收单元进行泄压。

在其中的一些实施例中，尾气处理方法包括：

(一)运行前的管路清洗

打开第一阀元件130、第五阀元件520、第六阀元件620，使得吹扫气体可对管路进行吹扫，可保证整体设备的管路和阀体的洁净度；

随后，关闭第六阀元件620并开启第七阀元件720，系统启动真空元件710，将整体设备的管路和阀体内的气体抽出。

(二)气体输送

打开第一阀元件130，使得特殊工艺气体可通过气体输送元件110流向分析元件210。

(三)气体分析

打开第第二阀元件220，使得特殊工艺气体可流向分析元件210，对特殊工艺气体进行纯度分析。

(四)气体回收

特殊工艺气体的纯度符合标准的情况下，打开第三阀元件320，使得特殊工艺气体可流入回收元件310。

(五)气体吸附过滤

特殊工艺气体的纯度符合标准的情况下，打开第四阀元件430，使得特殊工艺气体可通过气体输送元件110流入第一吸附元件410。

(六)排气

手动打开第五阀元件520，使得经过第一吸附元件410处理所产生的过滤气体可排出。

(七)泄压

在回收元件310内部的压力大于250psi的情况下，第三泄压元件810自动对回收元件310进行泄压，使得回收罐内部过多的气体可通过管路进行第一吸附罐内进行吸附过滤处理；

在第一吸附元件410的内部压力大于100psi的情况下，第一泄压元件420自动对第一吸附元件410进行泄压，使得第一吸附罐内部过多的气体可排出；

在第二吸附元件440的内部压力大于100psi的情况下，第二泄压元件450自动对第二吸附元件440进行泄压，使得第二吸附罐内部过多的气体可排出。

(八)切换

在第一吸附元件410的吸附过滤效率饱和的情况下，关闭第四阀元件430并打开第十阀元件460，实现切换至第二吸附元件440。

更具体地，本实施例的液氨充装方法如下：

(1)手动打开第八手动隔膜阀、第六手动隔膜阀、第七手动隔膜阀，系统打开第六气动隔膜阀、第二气动隔膜阀、第三气动隔膜阀、第五气动隔膜阀，使得吹扫气体可通过依次通过吹扫管路、第一输送分支管路、第二输送分支管路、第一吸附管路、排气管路，可保证整体设备的管路和阀体的洁净度；

随后，手动关闭第八手动隔膜阀、第六手动隔膜阀并手动打开第九手动隔膜阀，系统打开第七气动隔膜阀并启动真空发生器，将整体设备的管路和阀体内的气体抽出。

(2)手动开启第一手动隔膜阀、第二手动隔膜阀、第三手动隔膜阀，系统打开第一气动隔膜阀，使得特殊工艺气体可通过输出主管路、第一输送分支管路流向分析管路。

(3)系统打开第四气动隔膜阀，使得特殊工艺气体可通过分析管路流向分析仪，对特殊工艺气体进行纯度分析。

(4)特殊工艺气体的纯度符合标准的情况下，手动打开第四手动隔膜阀，系统打开第二气动隔膜阀，使得特殊工艺气体可通过第一输送分支管路、回收管路进入回收罐。

(5)特殊工艺气体的纯度符合标准的情况下，手动打开第六手动隔膜阀，系统打开第三气动隔膜阀、第五气动隔膜阀，使得特殊工艺气体可通过第二输送分支管路、第一吸附管路进入第一吸附罐。

(6)手动打开第七手动隔膜阀，使得经过第一吸附罐处理所产生的过滤气体可通过排气管路排出。

(7)在回收罐内部的压力大于250psi的情况下，第三泄压阀自动对回收罐进行泄压，使得回收罐内部过多的气体可通过第三泄压管路、真空管路、第二输送分支管路、第一吸附管路进行第一吸附罐内进行吸附过滤处理；

在第一吸附罐的内部压力大于100psi的情况下，第一泄压阀自动对第一吸附罐进行泄压，使得第一吸附罐内部过多的气体可通过第一泄压管路、排气管路排出；

在第二吸附罐的内部压力大于100psi的情况下，第二泄压阀自动对第二吸附罐进行泄压，使得第二吸附罐内部过多的气体可通过第二泄压管路、排气管路排出。

(8)在第一吸附罐的吸附过滤效率饱和的情况下，手动关闭第六手动隔膜阀、第七手动隔膜阀，系统关闭第五气动隔膜阀，并手动打开第十二手动隔膜阀、系统打开第八气动隔膜阀，实现切换至第二吸附罐。

实施例6

本实施例涉及发明的半导体工艺系统。

本发明的一个示意性实施例，一种半导体工艺系统，包括如实施例1～实施例4任一所述的尾气处理设备。

进一步地，半导体工艺系统还包括若干工艺腔室，若干工艺腔室分别与尾气处理设备连通。

实施例7

本实施例为本发明的一个具体实施方式，与实施例1～实施例4相对应。

如图6所示，一种特殊气体输送系统的尾气处理设备包括气体输送模块、分析模块、回收模块、吸附模块、排气模块、吹扫模块、真空模块和泄压模块。

其中，气体输送模块包括工艺气体源、柱塞泵、手动隔膜阀MV01、手动隔膜阀MV02、手动隔膜阀MV03、手动隔膜阀MV04、气动隔膜阀PV01、气动隔膜阀PV04、气动隔膜阀PV05。

其中，分析模块包括气体分析仪、气动隔膜阀PV08。

其中，回收模块包括回收罐、单向阀CV3、手动隔膜阀MV11、手动隔膜阀MV12、手动隔膜阀MV15、压力表PG2。

其中，吸附模块包括吸附罐A、吸附罐B、手动隔膜阀MV05、手动隔膜阀MV07、气动隔膜阀PV02、气动隔膜阀PV03。

其中，排气模块包括鼓风机、单向阀CV1、单向阀CV2、手动隔膜阀MV06、手动隔膜阀MV08。

其中，吹扫模块包括手动隔膜阀MV09、压力表PG1、单向阀CV5、气动隔膜阀PV06。

其中，真空模块包括气动隔膜阀PV07、单向阀CV6、真空发生器VG、手动隔膜阀MV10。

其中，泄压模块包括安全阀SV、单向阀CV4、泄压阀RV1、泄压阀RV2。

本实施例的使用方法如下：

(1)手动打开MV05、MV06、MV07、MV08、MV09，系统打开PV02、PV03、PV04、PV05、PV06，使得吹扫气体可通过依次通过吹扫管路、第一输送分支管路、第二输送分支管路、第一吸附管路、排气管路，可保证整体设备的管路和阀体的洁净度；

随后，手动关闭MV06、MV08、MV09并手动打开MV10，系统打开PV07并启动VG，将整体设备的管路和阀体内的气体抽出。

(2)手动开启MV01、MV02、MV03，系统打开PV01，使得特殊工艺气体可通过输出主管路、第一输送分支管路流向气体分析仪。

(3)系统打开PV08，使得特殊工艺气体可通过分析管路流向气体分析仪，对特殊工艺气体进行纯度分析。

(4)特殊工艺气体的纯度符合标准的情况下，手动打开MV11，系统打开PV05，使得特殊工艺气体可通过第一输送分支管路、回收管路流入回收罐。

(5)特殊工艺气体的纯度符合标准的情况下，手动打开MV05，系统打开PV02、PV04，使得特殊工艺气体可通过第二输送分支管路、第一吸附管路进入吸附罐A。

(6)手动打开MV06，使得经过吸附罐A处理所产生的过滤气体可通过排气管路排出。

(7)在回收罐内部的压力大于250psi的情况下，SV自动对回收罐进行泄压，使得回收罐内部过多的气体可通过第三泄压管路、真空管路、第二输送分支管路、第一吸附管路进行吸附罐A内进行吸附过滤处理；

在吸附罐A的内部压力大于100psi的情况下，RV1自动对吸附罐A进行泄压，使得吸附罐A内部过多的气体可通过第一泄压管路、排气管路排出；

在吸附罐B的内部压力大于100psi的情况下，RV2自动对吸附罐B进行泄压，使得吸附罐B内部过多的气体可通过第二泄压管路、排气管路排出。

(8)在吸附罐A的吸附过滤效率饱和的情况下，手动关闭MV05、MV06，系统关闭PV02，并手动打开MV07、系统打开PV03，实现切换至吸附罐B。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种气体输送系统的尾气处理设备，其特征在于，包括：

气体输送单元，所述气体输送单元与工艺气源连通，用于为特殊工艺气体的输送提供动力；

分析单元，所述分析单元与所述气体输送单元连通，用于对特殊工艺气体进行纯度分析；

回收单元，所述回收单元分别与所述气体输送单元、工艺腔室连通，用于在所述分析单元所监测的特殊工艺气体的纯度符合标准的情况下，将特殊工艺气体回收并输送至工艺腔室；

吸附单元，所述吸附单元与所述气体输送单元连通，用于在所述分析单元所监测的特殊工艺气体的纯度不符合标准的情况下，将特殊工艺气体进行吸附过滤得到过滤气体；

排气单元，所述排气单元与所述吸附单元连通，用于将过滤气体排出；

吹扫单元，所述吹扫单元分别与吹扫气源、所述气体输送单元、所述回收单元连通，用于进行吹扫；

真空单元，所述真空单元分别与动力气源、所述气体输送单元、所述吹扫单元连通，用于进行真空处理。

2.根据权利要求1所述的尾气处理设备，其特征在于，所述气体输送单元包括：

气体输送元件，所述气体输送元件将工艺气源分别与所述分析单元、所述回收单元、所述吸附单元连通；

泵体元件，所述泵体元件设置于所述气体输送元件，用于为特殊工艺气体的输送提供动力；

第一阀元件，所述第一阀元件设置于所述气体输送元件与工艺气源、所述分析单元、所述回收单元、所述吸附单元连通的管路，用于控制该管路的流通；和/或

所述分析单元包括：

分析元件，所述分析元件分别与所述气体输送单元、所述真空单元连通，用于对特殊工艺气体进行纯度分析；

第二阀元件，所述第二阀元件设置于所述分析元件与所述气体输送单元、所述真空单元连通的管路，用于控制该管路的流通；和/或

所述回收单元包括：

回收元件，所述回收元件分别与所述气体输送单元、所述吹扫单元、工艺腔室连通，用于在所述分析单元所监测的特殊工艺气体的纯度符合标准的情况下，将特殊工艺气体回收；

第三阀元件，所述第三阀元件设置于所述回收元件与所述气体输送单元、工艺腔室连通的管路，用于控制该管路的流通；和/或

所述吸附单元包括：

第一吸附元件，所述第一吸附元件分别与所述气体输送单元、所述排气单元连通，用于在所述分析单元所监测的特殊工艺气体的纯度不符合标准的情况下，将特殊工艺气体进行吸附过滤得到过滤气体；

第一泄压元件，所述第一泄压元件分别与所述第一吸附元件、所述排气单元连通，用于在所述第一吸附元件的内部压力过大的情况下，对所述第一吸附元件进行泄压；

第四阀元件，所述第四阀元件设置于所述第一吸附元件与所述气体输送单元100连通的管路，用于控制该管路的流通；和/或

所述排气单元包括：

排气元件，所述排气元件与所述吸附单元连通，用于将过滤气体排出；

第五阀元件，所述第五阀元件设置于所述排气元件与所述吸附单元连通的管路，用于控制该管路的流通；和/或

所述吹扫单元包括：

吹扫元件，所述吹扫元件分别与吹扫气源、所述气体输送单元、所述回收单元连通，用于进行吹扫；

第六阀元件，所述第六阀元件设置于所述吹扫元件与吹扫气源连通的管路，用于控制该管路的流通；和/或

所述真空单元包括：

真空元件，所述真空元件分别与动力气源、所述气体输送单元、所述吹扫单元连通，用于进行真空处理；

第七阀元件，所述第七阀元件设置于所述真空元件与动力气源、所述吹扫单元连通的管路，用于控制该管路的流通。

3.根据权利要求2所述的尾气处理设备，其特征在于，所述气体输送单元还包括：

旁通元件，所述旁通元件与所述气体输送元件连通，且所述旁通元件的第一端和第二端分别位于所述泵体元件的上下游；

第八阀元件，所述第八阀元件设置于所述旁通元件，用于控制所述旁通元件的流通。

4.根据权利要求2所述的尾气处理设备，其特征在于，所述吸附单元还包括：

第二吸附元件，所述第二吸附元件分别与所述气体输送单元、所述排气单元连通，用于在所述第一吸附元件饱和的情况下，将特殊工艺气体输送至所述第二吸附元件进行吸附过滤；

第二泄压元件，所述第二泄压元件分别与所述第二吸附元件、所述排气单元连通，用于在所述第二吸附元件的内部压力过大的情况下，对所述第二吸附元件进行泄压；

第十阀元件，所述第十阀元件设置于所述第二吸附元件与所述气体输送单元100连通的管路，用于控制该管路的流通。

5.根据权利要求2所述的尾气处理设备，其特征在于，所述回收单元还包括：

第一压力监测元件，所述第一压力监测元件设置于所述回收元件与所述气体输送单元连通的管路，用于监测进入所述回收元件的特殊工艺气体的压力；和/或

所述回收单元还包括：

第二压力监测元件，所述第二压力监测元件与所述回收元件连通，用于监测所述回收元件内部的压力；

第九阀元件，所述第九阀元件设置于所述第二压力监测元件与所述回收元件连通的管路，用于控制该管路的流通；和/或

所述吹扫单元还包括：

第三压力监测元件，所述第三压力监测元件设置于所述吹扫元件与所述吸附单元连通的管路，用于监测该管路内部的压力。

6.根据权利要求1～5任一所述的尾气处理设备，其特征在于，还包括：

泄压单元，所述泄压单元分别与所述回收单元、所述真空单元连通，用于对所述回收单元泄压。

7.根据权利要求6所述的尾气处理设备，其特征在于，所述泄压单元包括：

第三泄压元件，所述第三泄压元件分别与所述回收单元、所述真空单元连通，用于在所述回收单元内部的压力过大的情况下，对所述回收单元进行泄压；

第十一阀元件，所述第十一阀元件设置于所述第三泄压元件分别与所述回收单元、所述真空单元连通的管路，用于控制该管路的流通。

8.一种特殊气体输送系统的尾气处理方法，应用于如权利要求1～7任一所述的尾气处理设备，其特征在于，包括；

气体输送单元获取特殊工艺气体；

分析单元对特殊工艺气体进行纯度分析；

在特殊工艺气体的纯度达到预设纯度的情况下，气体输送单元向回收单元输送特殊工艺气体；

在特殊工艺气体的纯度未达到预设纯度的情况下，气体输送单元向吸附单元输送特殊工艺气体；

吸附单元对特殊工艺气体进行吸附过滤，以产生过滤气体；

排气单元排出过滤气体。

9.根据权利要求8所述尾气处理方法，其特征在于，还包括：

在气体输送单元获取特殊工艺气体之前，吹扫单元利用吹扫气体对特殊气体输送系统进行吹扫；

在吹扫结束后，真空单元对特殊气体输送系统进行真空处理，以排出吹扫气体；和/或

获取回收单元的内部压力；

在内部压力达到压力阈值的情况下，泄压单元对回收单元进行泄压。

10.一种半导体工艺系统，其特征在于，包括：

如权利要求1～7任一所述的尾气处理设备；

工艺腔室，所述工艺腔室与所述气体输送系统的所述回收单元连通，用于获取特殊气体。