CN117702082A - 炉体组件、气相沉积设备、以及气相沉积方法 - Google Patents

Abstract

本申请涉及气相沉积技术领域，尤其涉及一种炉体组件、气相沉积设备、以及气相沉积方法，以解决气相沉积设备通过机械手臂将工件送入子炉体的炉膛中，结构复杂，运送工件时稳定性差，并需要较大的工作空间的问题。该炉体组件中，第一驱动结构和送料平台可以自动运送待沉积件，通过第一驱动单元驱动第一长齿轮旋转，第一长齿轮与第一齿轮组件啮合，使得第一齿轮组件被驱动，从而带动第一滚轮组件滚动，进而将待沉积件送入炉膛中，通过齿轮传动和滚轮滚动的方式进行送料，结构简单、紧凑、可靠性高，传动更加平稳，从而使得缓存的待沉积件可以更加平稳地被送入炉膛中，提高了炉体组件结构的紧凑性、可靠性、运行的稳定性，节省了炉体组件占用的空间。

Description

炉体组件、气相沉积设备、以及气相沉积方法

技术领域

本申请涉及气相沉积技术领域，尤其涉及一种炉体组件、气相沉积设备、以及气相沉积方法。

背景技术

气相沉积设备具有沿竖直方向层叠设置多个子炉体。通过将多个工件分别放入子炉体的炉膛中进行气相沉积，得到沉积好的工件。

但是，气相沉积设备的送料机构为机械手臂。机械手臂通末端用于承载工件，通过升降、旋转等动作将工件送入子炉体的炉膛中进行沉积，机械手臂结构复杂，运送工件时稳定性差，并且需要较大的工作空间。

发明内容

有鉴于此，本申请实施例提供了一种炉体组件、气相沉积设备、以及气相沉积方法，以解决气相沉积设备通过机械手臂将工件送入子炉体的炉膛中，结构复杂，运送工件时稳定性差，并需要较大的工作空间的问题。

第一方面，本申请一实施例提供了一种炉体组件，应用于气相沉积设备，被配置为容纳待沉积件，对待沉积件进行气相沉积，得到已沉积件，炉体组件包括：多个子炉体，多个子炉体沿竖直方向层叠设置，其中，子炉体包括第一炉门和具有炉膛的子本体，通过关闭或打开第一炉门来封闭或暴露炉膛，其中，在待沉积件在炉膛中进行气相沉积的情况下，第一炉门处于关闭状态，在待沉积件在炉膛中完成气相沉积成为已沉积件的情况下，第一炉门被打开；送料平台，被配置为缓存待沉积件，其中，在第一炉门被打开的情况下，送料平台将待沉积件送入炉膛；第一驱动结构，与送料平台连接，被配置为驱动送料平台升降，以将送料平台驱动至多个子炉体中的已被打开第一炉门的子炉体所在的高度或即将被打开第一炉门的子炉体所在的高度；其中，送料平台包括：送料平台本体，送料平台本体具有第一通孔；第一滚轮组件，由送料平台本体的下表面穿过第一通孔并凸出送料平台本体的上表面，在送料平台上缓存有待沉积件的情况下，第一滚轮组件受到待沉积件施加的压力，并在第一炉门被打开的情况下，第一滚轮组件通过滚动来带动待沉积件运动，以将待沉积件送入炉膛；第一驱动结构包括：第一驱动单元、以及与第一驱动单元连接的第一长齿轮，第一长齿轮竖直设置；其中，送料平台还包括第一齿轮组件，第一齿轮组件与第一长齿轮啮合设置，并与第一滚轮组件连接，第一驱动结构被配置为驱动第一长齿轮旋转，以驱动第一齿轮组件带动第一滚轮组件滚动。

结合第一方面，在第一方面的某些实现方式中，子炉体还包括第二炉门，通过关闭或打开第二炉门来封闭或暴露炉膛，其中，在待沉积件在炉膛中进行气相沉积的情况下，第二炉门处于关闭状态，在待沉积件在炉膛中完成气相沉积成为已沉积件的情况下，第二炉门被打开；其中，炉体组件还包括：出料平台，被配置为缓存已沉积件，其中，在第二炉门被打开的情况下，已沉积件由炉膛输送至出料平台；第二驱动结构，与出料平台连接，被配置为驱动出料平台升降，以将出料平台驱动至多个子炉体中的已被打开第二炉门的子炉体所在的高度或即将被打开第二炉门的子炉体所在的高度。

结合第一方面，在第一方面的某些实现方式中，炉体组件还包括：炉内运输组件，设置于炉膛中，被配置为在送料平台将待沉积件送入炉膛的情况下，将待沉积件运输至炉膛的中心区域，和/或在第二炉门打开的情况下，将已沉积件由炉膛的中心区域运输至出料平台。

结合第一方面，在第一方面的某些实现方式中，炉体组件还包括：冷却装置，设置于出料平台下方，并被配置为在出料平台缓存已沉积件的情况下，对已沉积件进行冷却。

结合第一方面，在第一方面的某些实现方式中，第一驱动结构还包括：与第一驱动单元连接的第一螺杆；其中，第一螺杆竖直设置，送料平台与第一螺杆螺接，第一驱动单元还被配置为驱动第一螺杆旋转，以利用第一螺杆的旋转力驱动送料平台升降。

结合第一方面，在第一方面的某些实现方式中，炉体组件还包括：喷淋头，设置于炉膛的顶部，并具有辐向设置的多个喷淋孔。

结合第一方面，在第一方面的某些实现方式中，子炉体具有第一轨道和第二轨道，第一炉门的上端和第一炉门的下端分别插接于第一轨道和第二轨道中；其中，第一炉门被配置为沿第一轨道和第二轨道滑动，以封闭或暴露炉膛。

结合第一方面，在第一方面的某些实现方式中，炉体组件还包括：定时装置，被配置为在定时装置到达预设时间的情况下，第一炉门被打开。

第二方面，本申请一实施例提供了一种气相沉积设备，包括：第一方面任一项提及的炉体组件。

第三方面，本申请一实施例提供了一种气相沉积方法，应用于第一方面任一项提及的炉体组件，其中，炉体组件应用于气相沉积设备，被配置为容纳待沉积件，对待沉积件进行气相沉积，得到已沉积件；其中，气相沉积方法包括：将待沉积件放置于送料平台；在炉膛中的待沉积件完成气相沉积成为已沉积件的情况下，第一炉门被打开；第一驱动结构驱动送料平台升降至已被打开第一炉门的子炉体所在的高度；送料平台将待沉积件送入炉膛；第一炉门被关闭，以封闭炉膛；对待沉积件进行气相沉积，以获得已沉积件；其中，送料平台将待沉积件送入炉膛，包括：第一驱动单元驱动第一长齿轮旋转，以驱动第一齿轮组件带动第一滚轮组件滚动；送料平台中的第一滚轮组件通过滚动来带动待沉积件运动，以将待沉积件送入炉膛。

本申请实施例提供的炉体组件，第一驱动结构和送料平台可以自动运送待沉积件，通过第一驱动单元驱动第一长齿轮旋转，第一长齿轮与第一齿轮组件啮合，使得第一齿轮组件被驱动，从而带动第一滚轮组件滚动，进而使送料平台可以将待沉积件送入炉膛中，并且送料平台的所有结构均可以设置在子炉体外，简化了送料平台的结构，通过齿轮传动和滚轮滚动的方式进行送料，结构简单、紧凑、可靠性高，传动更加平稳，从而使得缓存的待沉积件可以更加平稳地被送入炉膛中，提高了炉体组件结构的紧凑性、可靠性、运行的稳定性，节省了炉体组件占用的空间，通过送料平台缓存待沉积件，有利于加快生产节奏，提高生产效率。此外，由于传动相关的部件可以均为刚性物体，不易磨损变形，有利于延长炉体组件的使用寿命。

附图说明

通过结合附图对本申请实施例进行更详细的描述，本申请的上述以及其他目的、特征和优势将变得更加明显。附图用来提供对本申请实施例的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本申请实施例一起用于解释本申请，并不构成对本申请的限制。在附图中，相同的参考标号通常代表相同部件或步骤。

图1所示为本申请一实施例提供的适用于炉体组件的应用场景的结构示意图。

图2所示为本申请一实施例提供的炉体组件的结构示意图。

图3所示为本申请一实施例提供的图2所示炉体组件沿A-A线方向的剖视图。

图4所示为本申请一实施例提供的炉体组件的俯视视角示意图。

图5所示为本申请一实施例提供的第一滚轮组件、第一齿轮组件和第一长齿轮的结构示意图。

图6所示为本申请一实施例提供的适用于子炉体的应用场景的结构示意图。

图7所示为本申请一实施例提供的子炉体的俯视视角的局部结构示意图。

图8所示为本申请一实施例提供的气相沉积方法的流程示意图。

图9所示为本申请一实施例提供的送料平台将待沉积件送入炉膛的流程示意图。

图10所示为本申请另一实施例提供的气相沉积方法的流程示意图。

图11所示为本申请又一实施例提供的气相沉积方法的流程示意图。

图12所示为本申请一实施例提供的气相沉积方法的部分流程示意图。

图13所示为本申请另一实施例提供的气相沉积方法的部分流程示意图。

图14所示为本申请又一实施例提供的气相沉积方法的部分流程示意图。

附图标记：

1、气相沉积设备；10、炉体组件；11、子炉体；110、第一炉门；111、子本体；1110、炉膛；1111、密封槽；1112、密封垫层；112、第二炉门；113、第一轨道；114、第二轨道；115、第三轨道；116、第四轨道；12、送料平台；120、送料平台本体；1200、第一通孔；121、第一滚轮组件；1210、第一滚轮；122、第一齿轮组件；1220、第一锥齿轮；1221、第一齿轮；13、第一驱动结构；131、第一螺杆；132、第一长齿轮；14、出料平台；140、散热孔；141、出料平台本体；1410、第二通孔；142、第二滚轮组件；1420、第二滚轮；143、第二齿轮组件；15、第二驱动结构；151、第二螺杆；152、第二长齿轮；16、炉内运输组件；160、滚筒组件；17、冷却装置；170、冷风发生组件；171、集风罩；172、输风管；173、冷风喷头；18、基座；19、第二机箱；20、待沉积件；30、已沉积件；40、第三齿轮；41、喷淋头；410、喷淋孔；42、固定支架；43、第一机箱；44、齿条；45、支撑件。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

气相沉积设备具有沿竖直方向层叠设置多个子炉体。通过将多个工件分别放入子炉体的炉膛中进行气相沉积，得到沉积好的工件。

但是，气相沉积设备的送料机构为机械手臂。机械手臂通末端用于承载工件，通过升降、旋转等动作将工件送入子炉体的炉膛中进行沉积，机械手臂结构复杂，运送工件时稳定性差，并且需要较大的工作空间。

针对以上问题，本申请提供了一种炉体组件、气相沉积设备、以及气相沉积方法。下面结合附图和具体实施例详细描述腔盖开合装置和加工设备的具体结构，以及气相沉积方法的具体步骤。

图1所示为本申请一实施例提供的适用于炉体组件的应用场景的结构示意图。图2所示为本申请一实施例提供的炉体组件的结构示意图。图3所示为本申请一实施例提供的图2所示炉体组件沿A-A线方向的剖视图。图4所示为本申请一实施例提供的炉体组件的俯视视角示意图。

如图1至图4所示，炉体组件10应用于气相沉积设备1，被配置为容纳待沉积件20，对待沉积件20进行气相沉积，得到已沉积件30。

炉体组件10包括：多个子炉体11、送料平台12和第一驱动结构13。

多个子炉体11沿竖直方向层叠设置。子炉体11包括第一炉门110和具有炉膛1110的子本体111。通过关闭或打开第一炉门110来封闭或暴露炉膛1110。在待沉积件20在炉膛1110中进行气相沉积的情况下，第一炉门110处于关闭状态。在待沉积件20在炉膛1110中完成气相沉积成为已沉积件30的情况下，第一炉门110被打开。

送料平台12被配置为缓存待沉积件20。在第一炉门110被打开的情况下，送料平台12将待沉积件20送入炉膛1110。第一驱动结构13与送料平台12连接，被配置为驱动送料平台12升降，以将送料平台12驱动至多个子炉体11中的已被打开第一炉门110的子炉体11所在的高度或即将被打开第一炉门110的子炉体11所在的高度。

送料平台12包括：送料平台本体120和第一滚轮组件121。送料平台本体120具有第一通孔1200。第一滚轮组件121由送料平台本体120的下表面穿过第一通孔1200并凸出送料平台本体120的上表面。在送料平台12上缓存有待沉积件20的情况下，第一滚轮组件121受到待沉积件20施加的压力，并在第一炉门110被打开的情况下，第一滚轮组件121通过滚动来带动待沉积件20运动，以将待沉积件20送入炉膛1110。

第一驱动结构13还包括：第一驱动单元（图中未示出）、以及与第一驱动单元连接的第一长齿轮132。第一长齿轮132竖直设置。

送料平台12还包括第一齿轮组件122。第一齿轮组件122与第一长齿轮132啮合设置，并与第一滚轮组件121连接。第一驱动单元还被配置为驱动第一长齿轮132旋转，以驱动第一齿轮组件132带动第一滚轮组件121滚动。

具体地，气相沉积设备1可以为任意用于对待沉积件进行气相沉积的设备。示例性地，气相沉积设备1可以用于对待沉积件进行物理气相沉积或者化学气相沉积。炉体组件10可以作为气相沉积设备1对待沉积件进行气相沉积的场所，还可以被称为镀膜腔体、雾化腔体等。示例性地，气相沉积设备可以被配置为对待沉积件进行化学气相沉积，在待沉积件的表面沉积沉积TiC或TiN膜层。

炉体组件10包括多个子炉体11。每个子炉体11具有炉膛1110，均可以进行气相沉积。每个子炉体11进行气相沉积的起始时间可以相同，也可以不同。每个子炉体11进行气相沉积的条件可以相同，也可以不同。示例性地，每个子炉体11进行气相沉积的条件是可以分别控制的。示例性地，每个子炉体内的结构可以相同，也可以不同。这样设置，提高了沉积多个待沉积件时操作的灵活性、气相沉积条件设置的灵活性、以及子炉体结构设置的灵活性。示例性地，多个子炉体11之间可以是互不连通的。子炉体11的数量和外形可以根据实际需求进行设置。示例性地，如图2所示，子炉体11的数量可以是4个。子炉体11的外形可以是立方体。示例性地，第一炉门110设置于子炉体11的侧面。示例性地，第一炉门110的门口可以作为子炉体11的送料口。

送料平台12可以为任意能够承载或缓存待沉积件20，并可以将待沉积件20送入炉膛1110的结构。具体地，送料平台12可以通过第一炉门110的门口将待沉积件20送入炉膛1110。在一些实施例中，送料平台可以包括传送装置，如传送带。送料平台的上表面为传送带的上表面形成的平面。传送带的上表面可以承载或缓存待沉积件。当送料平台上的待沉积件需要被送入炉膛中时，传送带带动待沉积件移动，从而使待沉积件被送入炉膛中。在一些实施例中，送料平台可以包括机械臂，机械臂可以夹持或者承托待沉积件，以对待沉积件进行承载或缓存，并在需要的时候将待沉积件送入炉膛中。

在一些实施例中，待沉积件在炉膛中进行气相沉积时，支撑件支撑待沉积件在炉膛中进行气相沉积。因此，在送料平台上，可以放置或者缓存排版好的待沉积件和支撑件。换句话说，送料平台可以缓存承载有待沉积件的支撑件。在第一炉门被打开的情况下，送料平台可以将承载有待沉积件的支撑件送入炉膛中。

第一驱动结构13可以为任意能够实现被驱动件升降的结构。示例性地，第一驱动结构可以包括液压驱动装置、气动升降装置、电动升降装置中的一种或者几种的组合。示例性地，第一驱动结构可以包括液压升降机、气动升降机、直线电机、齿轮驱动结构等的一种或几种的组合。

在一些实施例中，多个子炉体中的目的子炉体中未进行气相沉积，目的子炉体的第一炉门可以处于打开状态。待沉积件排版于送料平台后，第一驱动结构驱动承载有待沉积件的送料平台至目的子炉体的高度，送料平台将待沉积件通过第一炉门的门口送入目的子炉体的炉膛中。当送料平台将待沉积件送入目的子炉体的炉膛中后，送料平台可以被第一驱动结构升降至第一预设高度。第一预设高度可以是送料平台被放置下一个待沉积件的高度。

当待沉积件在炉膛中进行气相沉积时，第一炉门为关闭状态。当待沉积件在炉膛中完成气相沉积成为已沉积件的情况下，第一炉门被打开。示例性地，第一炉门被打开后，炉膛被暴露在空气中，可以对炉膛内的已沉积件进行散热。当已沉积件散热完毕后，可以将已沉积件从炉膛中取出。

在一些实施例中，多个子炉体中的目的子炉体正在对待沉积件进行气相沉积，目的子炉体的第一炉门处于关闭状态。此时，可以将下一个需要此目的子炉体进行气相沉积的待沉积件预先放置或排版于送料平台上，送料平台对此待沉积件进行缓存。当目的子炉体的第一炉门已被打开或即将被打开时，第一驱动结构将缓存有此待沉积件的送料平台送至目的子炉体所在的高度。当需要对此待沉积件进行气相沉积时，送料平台将此缓存的待沉积件送入目的子炉体的炉膛中。这样设置有利于加快生产节奏，提高生产效率。目的子炉体可以为任意已被打开或即将被打开第一炉门的子炉体，也可以是指定的子炉体。示例性地，预设位置的子炉体可以根据实际需求进行指定。

在一些实施例中，排版好一个子炉体对应的待沉积件后，便可将排版好的待沉积件送入对应子炉体中进行气相沉积。然后对下一个子炉体对应的待沉积件进行排版，将排版好的待沉积件送入对应子炉体中进行气相沉积。即，逐个对各个子炉体送入待沉积件进行气相沉积。通过逐个对各个子炉体送入待沉积件进行气相沉积，可以逐个对各个子炉体中的已沉积件进行散热，使得可以逐个取出各个子炉体中的待沉积件，不必等所有待沉积件排版好之后再进行气相沉积，也不必等所有待沉积件气相沉积成已沉积件后在进行散热、取出等操作，缩短了多个待沉积件沉积成已沉积件的时间，缩短了生产周期，提高了生产效率。

在一些实施例中，第一炉门的门口还可以作为出料口。当待沉积件在炉膛中完成气相沉积成为已沉积件，第一炉门被打开后，送料平台还可以用于将已沉积件从炉膛中取出。示例性地，送料平台将已沉积件从炉膛中取出后，第一驱动结构可以驱动送料平台升降至第二预设高度，以对已沉积件进行下一步操作。第二预设高度可以根据对缓存于送料平台的已沉积件的下一步操作进行设置。示例性地，第二预设高度可以是从送料平台取走已沉积件时送料平台的高度。

在一些实施例中，炉体组件的送料平台的数量可以有多个。换句话说，第一驱动结构可以连接多个送料平台，并驱动多个送料平台升降。这样设置能够对多个子炉体进行送料，进一步提高了炉体组件的自动化水平，缩短生产周期，提高生产效率。示例性地，第一驱动结构可以驱动多个送料平台同步升降，也可以驱动多个送料平台各自升降。

每个子炉体的炉膛均可以独立地对待沉积件进行气相沉积，使得不同子炉体的沉积质量不会互相影响，有利于在沉积出现问题时保全部分待沉积件，降低整个炉体组件中的已沉积件全部报废的风险，有利于提高已沉积件的合格率，并且，对待沉积件进行气相沉积时，可以以子炉体为单位进行操作，提高了操作的灵活性，有利于缩短生产周期，提高生产效率，通过送料平台缓存待沉积件，有利于加快生产节奏，进一步提高生产效率，由于第一驱动结构和送料平台可以自动运送待沉积件，提高了炉体组件的自动化水平，降低了人工成本，并进一步提高了生产效率。

送料平台本体120可以用于为第一滚轮组件121提供支撑。示例性地，第一滚轮组件121中可以包括多个第一滚轮1210。示例性地，送料平台本体120与第一滚轮组件121或第一滚轮组件121包括的第一滚轮1210可转动连接。

本实施例提供的炉体组件，通过设置第一滚轮组件，使得送料平台能够将待沉积件送入子炉体中，便于待沉积件的缓存与运输，并使得送料平台的所有结构均可以设置在子炉体外，简化了送料平台的结构。

具体地，第一驱动单元可以包括任意能够驱动第一螺杆131转动的结构。示例性地，第一驱动单元包括电机、减速器、联轴器等结构。在一些实施例中，如图2所示，炉体组件10还包括第二机箱19，第一驱动单元设置于第二机箱19中。示例性地，第二机箱19设置于基座18上。

示例性地，第一长齿轮132可以包括直齿轮。第一长齿轮132的长度可以根据送料平台12的升降距离进行设置。第一齿轮组件的具体结构可以根据实际需求进行设置。

通过驱动第一长齿轮旋转，实现驱动第一齿轮组件带动第一滚轮组件滚动，这种驱动第一滚轮组件的结构简单、可靠，传动更加平稳，使得缓存的待沉积件或者承载有待沉积件的支撑件可以更加平稳地被送入炉膛中。

本实施例提供的炉体组件中，第一驱动结构和送料平台可以自动运送待沉积件，通过第一驱动单元驱动第一长齿轮旋转，第一长齿轮与第一齿轮组件啮合，使得第一齿轮组件被驱动，从而带动第一滚轮组件滚动，进而使送料平台可以将待沉积件送入炉膛中，并且送料平台的所有结构均可以设置在子炉体外，简化了送料平台的结构，通过齿轮传动和滚轮滚动的方式进行送料，结构简单、紧凑、可靠性高，传动更加平稳，从而使得缓存的待沉积件可以更加平稳地被送入炉膛中，提高了炉体组件结构的紧凑性、可靠性、运行的稳定性，节省了炉体组件占用的空间，通过送料平台缓存待沉积件，有利于加快生产节奏，提高生产效率。此外，由于传动相关的部件可以均为刚性物体，不易磨损变形，有利于延长炉体组件的使用寿命。

在一些实施例中，如图2至图4所示，子炉体11还包括第二炉门112。通过关闭或打开第二炉门112来封闭或暴露炉膛1110。在待沉积件20在炉膛1110中进行气相沉积的情况下，第二炉门112处于关闭状态。在待沉积件20在炉膛1110中完成气相沉积成为已沉积件30的情况下，第二炉门112被打开。

炉体组件10还包括：出料平台14和第二驱动结构15。

出料平台14被配置为缓存已沉积件30。在第二炉门112被打开的情况下，已沉积件30由炉膛1110输送至出料平台14。

第二驱动结构15与出料平台14连接，被配置为驱动出料平台14升降，以将出料平台14驱动至多个子炉体11中的已被打开第二炉门112的子炉体11所在的高度或即将被打开第二炉门112的子炉体11所在的高度。

具体地，第二炉门112的门口可以作为子炉体11的出料口。已沉积件30可以由第二炉门112的门口输送至出料平台14。第二炉门112的位置可以根据实际需求进行设置。示例性地，第一炉门110和第二炉门112平行设置。示例性地，参考图2，子炉体11的外形为多棱柱，第一炉门110和第二炉门112平行设置于子炉体11的两个侧面。

当待沉积件在炉膛中进行气相沉积的情况下，第二炉门处于关闭状态。当待沉积件在炉膛中完成气相沉积成为已沉积件的情况下，第二炉门被打开。示例性地，第二炉门被打开后，炉膛被暴露在空气中，可以对炉膛内的已沉积件进行散热。示例性地，当待沉积件在炉膛中完成气相沉积成为已沉积件的情况下，第一炉门和第二炉门可以均被打开，以更好地对已沉积件进行散热。示例性地，已沉积件从子炉体的炉膛中输送出去时，第一炉门可以是打开状态，第一驱动结构可以将缓存有待沉积件的送料平台升降至此子炉体所在的高度，送料平台将待沉积件送入此子炉体的炉膛中，或者缓存有待沉积件的送料平台已预先升降至此子炉体所在的高度，需要对待沉积件进行气相沉积时，将待沉积件送入此子炉体的炉膛中。

出料平台14可以为任意能够承载或缓存已沉积件30的结构。在一些实施例中，出料平台14具有散热孔140。这样设置便于以已沉积件30在出料平台14可以快速地继续散热。在一些实施例中，出料平台可以缓存承载有已沉积件的支撑件。

在一些实施例中，出料平台14可以被配置为输送已沉积件30。示例性地，出料平台14可以将已沉积件30由炉膛1110或者第二炉门112的门口输送至出料平台14。在一些实施例中，出料平台可以包括传送装置，如传送带。出料平台的上表面为传送带的上表面形成的平面。传送带的上表面可以承载或缓存已沉积件。在已沉积件或承载有已沉积件的支撑件接触传送带的上表面的情况下，传送带将已沉积件或承载有已沉积件的支撑件输送至出料平台。

在一些实施例中，出料平台可以包括机械臂，机械臂可以夹持或者承托已沉积件或承载有已沉积件的支撑件。当已沉积件或承载有已沉积件的支撑件需要从炉膛中取出至出料平台时，机械臂可以夹持或者承托已沉积件或承载有已沉积件的支撑件输送至出料平台。

第二驱动结构15可以为任意能够实现被驱动件升降的结构。示例性地，第二驱动结构可以包括液压驱动装置、气动升降装置、电动升降装置中的一种或者几种的组合。示例性地，第二驱动结构可以包括液压升降机、气动升降机、直线电机、齿轮驱动结构等的一种或者几种的组合。

在一些实施例中，第二驱动结构可以驱动出料平台至多个子炉体中的已被打开第二炉门的目的子炉体所在的高度。出料平台到达被打开第二炉门的目的子炉体所在的高度后，已沉积件由炉膛输送至出料平台，出料平台缓存该已沉积件。缓存有已沉积件的出料平台可以继续被第二驱动结构升降至第三预设高度。第三预设高度可以根据对缓存于出料平台的已沉积件的下一步操作进行设置。示例性地，第三预设高度可以是从出料平台取走已沉积件时送料平台的高度。

在一些实施例中，第二驱动结构还可以驱动出料平台至多个子炉体中的即将被打开第二炉门的子炉体所在的高度。这样设置，在第二炉门还未打开时，即子炉体还在进行气相沉积时，就将出料平台预先驱动至此子炉体所在的高度，有利于加快生产节奏，提高生产效率。

在一些实施例中，炉体组件的出料平台的数量可以有多个。换句话说，第二驱动结构可以连接多个出料平台，并驱动多个出料平台升降。这样设置可以对多个子炉体中的已沉积件同时进行缓存，进一步提高了炉体组件的自动化水平，缩短了生产周期，提高了生产效率。示例性地，第二驱动结构可以驱动多个出料平台同步升降，也可以驱动多个出料平台各自升降。

本实施例提供的子炉体还包括第二炉门，炉体组件还包括出料平台和第二驱动结构，待沉积件在炉膛中完成气相沉积成为已沉积件后，第二炉门被打开，有利于加快已沉积件的散热，并且使得已沉积件可以由第二炉门的门口出料，被输送至出料平台，进而使得送料平台能够缓存待沉积件，并将缓存的待沉积件送入子炉体中，有利于加快生产节奏，提高生产效率。此外通过设置出料平台和第二驱动结构，进一步提高了炉体组件的自动化水平，有利于缩短生产周期，进一步提高生产效率。

在一些实施例中，如图2和图3所示，炉体组件10还包括：炉内运输组件16。炉内运输组件16设置于炉膛1110中，被配置为在送料平台12将待沉积件20送入炉膛1110的情况下，将待沉积件20运输至炉膛1110的中心区域。炉内运输组件16还可以被配置为在第二炉门112打开的情况下，将已沉积件30由炉膛1110的中心区域运输至出料平台14。

具体地，炉内运输组件16可以是任意能够运输被运输件，且经过气相沉积工艺以后仍可正常运输的结构。示例性地，如图2和图3所示，炉内运输组件16可以包括滚筒组件160、以及与滚筒组件160的连接第三驱动结构（图中未示出）。第三驱动结构可以被配置驱动滚筒组件160滚动。示例性地，如图2所示，炉体组件10还包括第一机箱43。示例性地，每个子炉体11均设置一个第一机箱43。第三驱动结构可以设置于第一机箱43中。示例性地，第三驱动结构可以包括电机和齿轮组。示例性地，第三驱动结构可以驱动滚筒组件滚动，以使滚筒组件带动待沉积件移动，使其被精准地输送至炉膛的中心区域，还可以使滚筒组件带动已沉积件由炉膛的中心区域运输至出料平台。

示例性地，第一驱动结构驱动送料平台升降至子炉体所在的高度后，子炉体中的炉内运输组件的运输待沉积件或承载有待沉积件的支撑件的表面，与送料平台运输或缓存待沉积件或承载有待沉积件的支撑件的表面在同一平面，以使待沉积件或承载有待沉积件平稳地被送入炉膛的中心区域。示例性地，第二驱动结构驱动出料平台升降至子炉体所在的高度后，子炉体中的炉内运输组件的运输待沉积件或承载有待沉积件的支撑件的表面，与出料平台运输或缓存待沉积件或承载有待沉积件的支撑件的表面在同一平面，以使待沉积件或承载有待沉积件被平稳地由炉膛的中心区域输送至出料平台。

本实施例提供的炉体组件，子炉体的炉膛中还设置有炉内运输组件，使得送料平台将待沉积件送入炉膛时，待沉积件可以被精准地运输至炉膛的中心区域，有利于提高待沉积件的气相沉积效果，炉内运输组件还可以在第二炉门打开时将已沉积件由炉膛的中心区域运输至出料平台，由于炉内运输组件能够实现待沉积件或者已沉积件在子炉体炉膛中的运输，有利于简化送料平台和出料平台的结构，降低炉体组件结构的复杂度。

在一些实施例中，如图3所示，炉体组件10还包括冷却装置17。冷却装置17设置于出料平台14下方，并被配置为在出料平台14缓存已沉积件30的情况下，对已沉积件30进行冷却。

具体地，冷却装置17可以是任意能够对出料平台上的已沉积件进行冷却的结构。示例性地，冷却装置可以设置于出料平台的下表面，与出料平台的下表面连接，以对出料平台上的已沉积件进行冷却。示例性地，如图3所示，冷却装置17可以包括依次连通的冷风发生组件170、集风罩171、输风管172和冷风喷头173。冷风发生组件170产生的冷风经过锥形的集风罩171后，被集中到输风管172，并经由冷风喷头173喷出。这种冷却装置结构简单，并且集风罩可以将冷风集中，节省风能损耗，通过冷风喷头喷出冷风，可以增加出风面积，加快对已沉积件的冷却。

示例性地，冷却装置可以设置于出料平台下方的任意位置。示例性地，图3所示，炉体组件10还包括基座18，设置于多个子炉体11的底部，对多个子炉体11提供支撑。示例性地，如图3所示，冷却装置17可以设置于基座18。示例性地，出料平台14缓存已沉积件30后，第二驱动结构15驱动出料平台14至冷却装置17的上方，以对已沉积件30进行冷却。

本实施例提供的炉体组件还包括冷却装置，设置于出料平台下方，并被配置为在出料平台缓存已沉积件的情况下，对已沉积件进行冷却，使得已沉积件可以加快散热，缩短了已沉积件的冷却时间，加快了生产节奏，提高了生产效率。

在一些实施例中，如图2至图4所示，第一驱动结构13还包括：与第一驱动单元连接的第一螺杆131。第一螺杆131竖直设置。送料平台12与第一螺杆131螺接。第一驱动单元被配置为驱动第一螺杆131旋转，以利用第一螺杆131的旋转力驱动送料平台12升降。

示例性地，与送料平台螺接的第一螺杆可以有一根或者多根。示例性地，与送料平台螺接的第一螺杆可以有两根，设置于送料平台的两侧，结构简单，并且能平稳地驱动送料平台升降。

本实施例提供的炉体组件，送料平台与第一螺杆螺接，第一驱动单元可以驱动第一螺杆旋转，并利用第一螺杆的旋转力驱动送料平台升降，结构简单，升降稳定，有利于降低炉体组件的制造和维护成本。

在一些实施例中，如图2至图4所示，第二驱动结构15包括：第二驱动单元（图中未示出）、以及与第二驱动单元连接的第二螺杆151。第二螺杆151竖直设置。出料平台14与第二螺杆151螺接。第二驱动单元被配置为驱动第二螺杆151旋转，以利用第二螺杆151的旋转力驱动出料平台14升降。

在一些实施例中，如图3所示，出料平台14包括：出料平台本体141和第二滚轮组件142。

出料平台本体141具有第二通孔1410。第二滚轮组件142由出料平台本体141的下表面穿过第二通孔1410并凸出出料平台本体141的上表面。在出料平台14上缓存有已沉积件30的情况下，第二滚轮组件142受到已沉积件30施加的压力，并在第二炉门112被打开的情况下，第二滚轮组件142通过滚动来带动已沉积件30运动，以将已沉积件30送入炉膛1110。

具体地，出料平台本体141可以用于为第二滚轮组件142提供支撑。示例性地，第二滚轮组件142中可以包括多个第二滚轮1420。示例性地，出料平台本体141与第二滚轮组件142或第二滚轮组件142包括的第二滚轮1420可转动连接。

本实施例提供的炉体组件，通过设置第二滚轮组件，使得出料平台能够将已沉积件由第二炉门的门口运输至出料平台，便于已沉积件的缓存与运输，并使得出料平台的所有结构均可以设置在子炉体外，简化了出料平台的结构。

图5所示为本申请一实施例提供的第一滚轮组件、第一齿轮组件和第一长齿轮的结构示意图。

在一些实施例中，如图5所示，第一滚轮组件121包括：多个第一滚轮1210。第一滚轮1210的滚动轴线与第一长齿轮132转动轴线垂直。第一齿轮组件122包括：啮合的第一锥齿轮1220、以及多个第一齿轮1221。

第一齿轮1221与第一滚轮1210的端面连接，并且与第一滚轮1210的端面连接的第一齿轮1221的旋转轴线与第一滚轮组件121的滚动轴线共线，以使第一齿轮1221旋转时带动第一滚轮1210滚动。第一锥齿轮1220与第一长齿轮132啮合，并且第一锥齿轮1220的旋转轴线与第一长齿轮132的旋转轴线平行。第一齿轮1221的旋转轴线与第一锥齿轮1220的旋转轴线垂直，以使第一锥齿轮1220旋转时，第一齿轮1221绕与第一锥齿轮1220垂直的旋转轴线旋转，从而使得第一长齿轮132可以驱动第一齿轮组件122带动第一滚轮组件121滚动。

示例性地，第一齿轮1221可以是直齿轮也可以是锥齿轮。示例性地，与第一锥齿轮1220啮合的第一齿轮1221为锥齿轮。第一齿轮1221的数量可以根据第一滚轮的数量进行设置。

本实施例提供的第一齿轮组件可以使第一长齿轮的旋转运动转化为第一滚轮绕垂直于第一长齿轮的旋转轴线的滚动轴线的滚动，结构简单，传动可靠、平稳。

在一些实施例中，如图2至图4所示，第二驱动结构15还包括：第二长齿轮152。第二长齿轮152竖直设置，并与第二驱动单元（图中未示出）连接。

出料平台14还包括第二齿轮组件143。第二齿轮组件143与第二长齿轮152啮合设置，并与第二滚轮组件142连接。第二驱动单元还被配置为驱动第二长齿轮152旋转，以驱动第二齿轮组件143带动第二滚轮组件142滚动。

示例性地，第二长齿轮152可以包括直齿轮。第二长齿轮152的长度可以根据出料平台14的升降距离进行设置。第二滚轮组件的具体结构可以根据实际需求进行设置。

在一些实施例中，第二滚轮组件包括：多个第二滚轮。第二滚轮的滚动轴线与第二长齿轮转动轴线垂直。第二齿轮组件包括：啮合的第二锥齿轮、以及多个第二齿轮。

第二齿轮与第二滚轮的端面连接，并且与第二滚轮的端面连接的第二齿轮的旋转轴线与第二滚轮组件的滚动轴线共线，以使第二齿轮旋转时带动第二滚轮滚动。第二锥齿轮与第二长齿轮啮合，并且第二锥齿轮的旋转轴线与第二长齿轮的旋转轴线平行。第二齿轮的旋转轴线与第二锥齿轮的旋转轴线垂直，以使第二锥齿轮旋转时，第二齿轮绕与第二锥齿轮垂直的旋转轴线旋转，从而使得第二长齿轮可以驱动第二齿轮组件带动第二滚轮组件滚动。

示例性地，第二齿轮可以是直齿轮也可以是锥齿轮。示例性地，与第二锥齿啮合的第二齿轮为锥齿轮。第二齿轮的数量可以根据第二滚轮的数量进行设置。

在一些实施例中，如图2至图4所示，炉体组件10还可以包括一个或多个固定支架42。固定支架42竖直设置。固定支架42可以与第一螺杆131、第一长齿轮132、第二螺杆151、第二长齿轮152中的至少一个构件连接，以对其提供支撑。示例性地，固定支架42可以与第一螺杆131、第一长齿轮132、第二螺杆151、第二长齿轮152中的至少一个构件的端部连接。示例性地，固定支架42竖直设置于基座18上，并与基座18连接。

在一些实施例中，如图2和图3所示，子炉体11具有第一轨道113和第二轨道114。第一炉门110的上端和第一炉门110的下端分别插接于第一轨道113和第二轨道114中。第一炉门110被配置为沿第一轨道113和第二轨道114滑动，以封闭或暴露炉膛。

由于第一炉门是推拉设置的，能够节省第一炉门所占用的工作空间，使得炉体组件的结构更加紧凑，并且由于第一炉门的上端和第一炉门的下端是分别插接于第一轨道和第二轨道中的，在第一炉门封闭炉膛时，第一轨道和第二轨道与第一炉门的插接配合还可以提高子炉体的密封性。

第一炉门被打开和被关闭的方式可以根据实际需求进行设置。在一些实施例中，如图2至图4所示，第一炉门110靠近炉膛1110的一侧设置有齿条44。设置于第二机箱19处的第三齿轮40与齿条44啮合，以使第三齿轮40旋转带动第一炉门110在第一轨道113和第二轨道114中滑动。示例性地，第三齿轮40被第三驱动结构驱动旋转。

在一些实施例中，如图2和图3所示，子炉体11具有第三轨道115和第四轨道116。第二炉门112的上端和第二炉门112的下端分别插接于第三轨道115和第四轨道116中。第二炉门112被配置为沿第三轨道115和第四轨道116滑动，以封闭或暴露炉膛。

第二炉门被打开和被关闭的方式可以根据实际需求进行设置。在一些实施例中，如图2至图4所示，第二炉门112靠近炉膛1110的一侧设置有齿条44。设置于第二机箱19处的第三齿轮40与齿条44啮合，以使第三齿轮40旋转带动第二炉门112在第三轨道115和第四轨道116中滑动。示例性地，第三齿轮40被第三驱动结构驱动旋转。

图6所示为本申请一实施例提供的适用于子炉体的应用场景的结构示意图。

在一些实施例中，如图3和图6所示，炉体组件10还包括喷淋头41。喷淋头41设置于炉膛1110的顶部，并具有辐向设置的多个喷淋孔410。

具体地，喷淋头41可以被配置为对待沉积件进行气相沉积的情况下，由多个喷淋孔410喷入反应气体。示例性地，喷淋头41可以由实体结构打孔加工而成，以避免漏气、失压。

由于喷淋头设置于炉膛的顶部，可以从上往下喷入反应气体，并且喷淋孔辐向设置，可以从不同角度喷向四周，子炉体空间较小，反应气体便能呈球状走向与待加工件靠拢，使得待加工件侧面沉积的膜层也足够的均匀，提高了待沉积件表面沉积的膜层的均匀性，并且，还能加强沉积操作的速度，避免因侧壁高度差而影响到沉积加工的时间，实用性强。

在一些实施例中，如图6所示，待沉积件20被支撑架45支撑，以对待沉积件20的表面进行气相沉积。通过喷淋头设置于炉膛的顶部，反应气体可以呈球状走向与待加工件靠拢，使得待加工件侧面以及下表面沉积的膜层也足够的均匀，提高了待沉积件表面沉积的膜层的均匀性。

图7所示为本申请一实施例提供的子炉体的俯视视角的局部结构示意图。

如图7所示，子炉本体111具有竖直设置的密封槽1111，被配置为在第一炉门110封闭炉膛的情况下，第一炉门110的端部插接于密封槽111。这样设置可以提高子炉体11的密封性。

示例性地，在第一炉门110封闭炉膛的情况下，第一炉门110的左端部插接于密封槽111。示例性地，密封槽1111槽内的表面设置有密封垫层1112。密封垫层1112的材料可以为弹性材料。通过第一炉门110的端部挤压密封垫层1112实现密封，进一步提高了子炉体11的密封性。示例性地，子炉本体111具有多个竖直设置的密封槽1111。示例性地，在第二炉门封闭炉膛的情况下，第二炉门的端部插接于密封槽。

在一些实施例中，炉体组件还可以包括定时装置。定时装置被配置为在定时装置到达预设时间的情况下，第一炉门和/或第二炉门被打开。定时装置还可以被配置为在定时装置到达预设时间的情况下，送料平台和/或出料平台被升降至预设高度。

在一些实施例中，炉体组件还可以包括位置传感器。位置传感器可以检测待沉积件、已沉积件、送料平台、出料平台、第一炉门、第二炉门等的位置，以获取其位置信息，以更好地实现炉体组件的自动化控制。

上文详细描述了本申请的炉体组件实施例，下面详细描述本申请的气相沉积设备实施例。应理解，炉体组件实施例的描述与气相沉积设备实施例的描述相互对应，因此，未详细描述的部分可以参见前面炉体组件实施例。

如图1所示，本申请一实施例提供了一种气相沉积设备。该气相沉积设备1包括上述任意实施例提及的炉体组件10。

具体地，如上文所述，气相沉积设备1可以为任意用于对待沉积件进行气相沉积的设备。示例性地，气相沉积设备1可以用于对待沉积件进行物理气相沉积或者化学气相沉积。炉体组件10可以作为气相沉积设备1对待沉积件进行气相沉积的场所，还可以被称为镀膜腔体、雾化腔体等。示例性地，气相沉积设备可以被配置为对待沉积件进行化学气相沉积，在待沉积件的表面沉积沉积TiC或TiN膜层。

气相沉积设备还可以包括其他结构。示例性地，气相沉积设备还包括加热装置，被配置为在待沉积件在子炉体中进行气相沉积的情况下，对子炉体进行加热。

本实施例提供气相沉积设备中，第一驱动结构和送料平台可以自动运送待沉积件，通过第一驱动单元驱动第一长齿轮旋转，第一长齿轮与第一齿轮组件啮合，使得第一齿轮组件被驱动，从而带动第一滚轮组件滚动，进而使送料平台可以将待沉积件送入炉膛中，并且送料平台的所有结构均可以设置在子炉体外，简化了送料平台的结构，通过齿轮传动和滚轮滚动的方式进行送料，结构简单、紧凑、可靠性高，传动更加平稳，从而使得缓存的待沉积件可以更加平稳地被送入炉膛中，提高了炉体组件结构的紧凑性、可靠性、运行的稳定性，节省了炉体组件占用的空间，通过送料平台缓存待沉积件，有利于加快生产节奏，提高生产效率。此外，由于传动相关的部件可以均为刚性物体，不易磨损变形，有利于延长炉体组件的使用寿命。

上文详细描述了本申请的炉体组件实施例，详细描述本申请的气相沉积方法实施例。应理解，炉体组件实施例的描述与气相沉积方法实施例的描述相互对应，因此，未详细描述的部分可以参见前面炉体组件实施例。

图8所示为本申请一实施例提供的气相沉积方法的流程示意图。

如图8所示，本申请一实施例提供了一种气相沉积方法。该气相沉积方法应用于上述任意实施例提及的炉体组件。炉体组件应用于气相沉积设备，被配置为容纳待沉积件，对待沉积件进行气相沉积，得到已沉积件。气相沉积方法包括如下步骤。

S10：将待沉积件放置于送料平台。

S20：在炉膛中的待沉积件完成气相沉积成为已沉积件的情况下，第一炉门被打开。

S30：第一驱动结构驱动送料平台升降至已被打开第一炉门的子炉体所在的高度。

S40：送料平台将待沉积件送入炉膛。

S50：第一炉门被关闭，以封闭炉膛。

S60：对待沉积件进行气相沉积，以获得已沉积件。

图9所示为本申请一实施例提供的送料平台将待沉积件送入炉膛的流程示意图。

如图9所示，步骤S40：送料平台将待沉积件送入炉膛，包括如下步骤。

步骤S41：第一驱动单元驱动第一长齿轮旋转，以驱动第一齿轮组件带动第一滚轮组件滚动。

步骤S42：送料平台中的第一滚轮组件滚动来带动待沉积件运动，以将待沉积件送入炉膛。

本实施例提供的气相沉积方法，第一驱动结构和送料平台可以自动运送待沉积件，通过第一驱动单元驱动第一长齿轮旋转，第一长齿轮与第一齿轮组件啮合，使得第一齿轮组件被驱动，从而带动第一滚轮组件滚动，进而使送料平台可以将待沉积件送入炉膛中，并且送料平台的所有结构均可以设置在子炉体外，简化了送料平台的结构，通过齿轮传动和滚轮滚动的方式进行送料，结构简单、紧凑、可靠性高，传动更加平稳，从而使得缓存的待沉积件可以更加平稳地被送入炉膛中，提高了炉体组件结构的紧凑性、可靠性、运行的稳定性，节省了炉体组件占用的空间，通过送料平台缓存待沉积件，有利于加快生产节奏，提高生产效率。此外，由于传动相关的部件可以均为刚性物体，不易磨损变形，有利于延长炉体组件的使用寿命。

图10所示为本申请另一实施例提供的气相沉积方法的流程示意图。

如图10所示，气相沉积方法可以包括以下步骤。

S10：将待沉积件放置于送料平台。

S70：第一驱动结构驱动送料平台升降至即将被打开第一炉门的子炉体所在的高度。

S80：在即将被打开第一炉门的炉膛中，在待沉积件完成气相沉积成为已沉积件的情况下，第一炉门被打开。

S40：送料平台将待沉积件送入炉膛。

S50：第一炉门被关闭，以封闭炉膛；

S60：对待沉积件进行气相沉积，以获得已沉积件。

本实施例提供的气相沉积方法可以将缓存有待沉积件的送料平台提前升降至即将被打开第一炉门的子炉体所在的高度，以在第一炉门打开后需要将待沉积件送入该子炉体时，送料平台可以将该待沉积件送入该子炉体，有利于加快生产节奏，提高生产效率。

图11所示为本申请又一实施例提供的气相沉积方法的流程示意图。

如图11所示，气相沉积方法包括如下步骤。

S10：将待沉积件放置于送料平台。

S90：在炉膛中没有待沉积件和已沉积件的情况下，第一炉门被打开。

S30：第一驱动结构驱动送料平台升降至已被打开第一炉门的子炉体所在的高度。

S40：送料平台将待沉积件送入炉膛。

S50：第一炉门被关闭，以封闭炉膛；

S60：对待沉积件进行气相沉积，以获得已沉积件。

图12所示为本申请一实施例提供的气相沉积方法的部分流程示意图。

子炉体还包括第二炉门，通过关闭或打开第二炉门来封闭或暴露炉膛，其中，在待沉积件在炉膛中进行气相沉积的情况下，第二炉门处于关闭状态，在待沉积件在炉膛中完成气相沉积成为已沉积件的情况下，第二炉门被打开。

炉体组件还包括：出料平台和第二驱动结构。出料平台被配置为缓存已沉积件。在第二炉门被打开的情况下，已沉积件由炉膛输送至出料平台。第二驱动结构与出料平台连接，被配置为驱动出料平台升降，以将出料平台驱动至多个子炉体中的已被打开第二炉门的子炉体所在的高度或即将被打开第二炉门的子炉体所在的高度。

如图12所示，本实施例提供的气相沉积方法，在步骤S60：对待沉积件进行气相沉积，以获得已沉积件之后，还包括如下步骤。

S100：获得已沉积件的子炉体的第二炉门被打开，或第一炉门和第二炉门均被打开。

S110：第二驱动结构驱动出料平台升降至已被打开第二炉门的子炉体所在的高度。

S120：已沉积件由炉膛输送至出料平台。

图13所示为本申请另一实施例提供的气相沉积方法的部分流程示意图。

如图13所示，本实施例提供的气相沉积方法，在步骤S60：对待沉积件进行气相沉积，以获得已沉积件之后，还包括如下步骤。

S130：第二驱动平台驱动出料平台升降至即将被打开第二炉门的子炉体所在的高度。

S140：在即将被打开第二炉门的炉膛中，在待沉积件完成气相沉积成为已沉积件的情况下，第二炉门被打开。

S120：已沉积件由炉膛输送至出料平台。

在一些实施例中，炉体组件还包括炉内运输组件。炉内运输组件设置于炉膛中，被配置为在送料平台将待沉积件送入炉膛的情况下，将待沉积件运输至炉膛的中心区域，和/或在第二炉门打开的情况下，将已沉积件由炉膛的中心区域运输至出料平台。本实施例提供的气相沉积方法，在步骤S40：送料平台将待沉积件送入炉膛之后，还包括：炉内运输组件将待沉积件运输至炉膛的中心区域。

在一些实施例中，在步骤S120：已沉积件由炉膛输送至出料平台，包括：炉内运输组件将已沉积件由炉膛的中心区域运输至出料平台。

图14所示为本申请又一实施例提供的气相沉积方法的部分流程示意图。

在一些实施例中，炉体组件还包括冷却装置，设置于出料平台下方，并被配置为在出料平台缓存已沉积件的情况下，对已沉积件进行冷却。

如图14所示，本实施例中的气相沉积方法，在步骤S120：已沉积件由炉膛输送至出料平台之后，还包括如下步骤。

S150：第二驱动结构驱动出料平台升降至冷却装置的上方。

S160：冷却装置被启动，以对缓存于出料平台的已沉积件进行冷却。

在一些实施例中，第一驱动结构还包括：与第一驱动单元连接的第一螺杆。第一螺杆竖直设置，送料平台与第一螺杆螺接，第一驱动单元还被配置为驱动第一螺杆旋转，以利用第一螺杆的旋转力驱动送料平台升降。本实施例中的气相沉积方法中，步骤S30：第一驱动结构驱动送料平台升降至已被打开第一炉门的子炉体所在的高度，包括：第一驱动单元驱动第一螺杆旋转，使第一螺杆驱动送料平台升降至已被打开第一炉门的子炉体所在的高度。

在一些实施例中，步骤S70：第一驱动结构驱动送料平台升降至即将被打开第一炉门的子炉体所在的高度，包括：第一驱动单元驱动第一螺杆旋转，使第一螺杆驱动送料平台升降至即将被打开第一炉门的子炉体所在的高度。

在一些实施例中，炉体组件还包括喷淋头，设置于炉膛子炉体的顶部，并具有辐向设置的多个喷淋孔。本实施例中的气相沉积方法中，步骤S60：对待沉积件进行气相沉积，以获得已沉积件，包括：喷淋头被打开，对待沉积件进行气相沉积，以获得已沉积件。

此外，尽管在附图中以特定顺序描述了本申请中方法的各个步骤，但是，这并非要求或者暗示必须按照该特定顺序来执行这些步骤，或是必须执行全部所示的步骤才能实现期望的结果。附加的或备选的，可以省略某些步骤，将多个步骤合并为一个步骤执行，以及/或者将一个步骤分解为多个步骤执行等。

以上结合具体实施例描述了本申请的基本原理，但是，需要指出的是，在本申请中提及的优点、优势、效果等仅是示例而非限制，不能认为这些优点、优势、效果等是本申请的各个实施例必须具备的。另外，上述公开的具体细节仅是为了示例的作用和便于理解的作用，而非限制，上述细节并不限制本申请为必须采用上述具体的细节来实现。

本申请中涉及的器件、装置、设备、系统的方框图仅作为例示性的例子并且不意图要求或暗示必须按照方框图示出的方式进行连接、布置、配置。如本领域技术人员将认识到的，可以按任意方式连接、布置、配置这些器件、装置、设备、系统。诸如“包括”、“包含”、“具有”等等的词语是开放性词汇，指“包括但不限于”，且可与其互换使用。这里所使用的词汇“或”和“和”指词汇“和/或”，且可与其互换使用，除非上下文明确指示不是如此。这里所使用的词汇“诸如”指词组“诸如但不限于”，且可与其互换使用。

还需要指出的是，在本申请的装置、设备和方法中，各部件或各步骤是可以分解和/或重新组合的。这些分解和/或重新组合应视为本申请的等效方案。

提供所公开的方面的以上描述以使本领域的任何技术人员能够做出或者使用本申请。对这些方面的各种修改对于本领域技术人员而言是非常显而易见的，并且在此定义的一般原理可以应用于其他方面而不脱离本申请的范围。因此，本申请不意图被限制到在此示出的方面，而是按照与在此公开的原理和新颖的特征一致的最宽范围。

为了例示和描述的目的已经给出了以上描述。此外，此描述不意图将本申请的实施例限制到在此公开的形式。尽管以上已经讨论了多个示例方面和实施例，但是本领域技术人员将认识到其某些变型、修改、改变、添加和子组合。

Claims (8)

1.一种炉体组件，其特征在于，应用于气相沉积设备，被配置为容纳待沉积件，对所述待沉积件进行气相沉积，得到已沉积件，所述炉体组件包括：

多个子炉体，多个所述子炉体沿竖直方向层叠设置，其中，所述子炉体包括第一炉门和具有炉膛的子本体，通过关闭或打开所述第一炉门来封闭或暴露所述炉膛，其中，在所述待沉积件在所述炉膛中进行气相沉积的情况下，所述第一炉门处于关闭状态，在所述待沉积件在所述炉膛中完成气相沉积成为所述已沉积件的情况下，所述第一炉门被打开；

送料平台，被配置为缓存所述待沉积件，其中，在所述第一炉门被打开的情况下，所述送料平台将所述待沉积件送入所述炉膛；

第一驱动结构，与所述送料平台连接，被配置为驱动所述送料平台升降，以将所述送料平台驱动至多个所述子炉体中的已被打开所述第一炉门的所述子炉体所在的高度或即将被打开所述第一炉门的所述子炉体所在的高度；

其中，所述送料平台包括：送料平台本体，所述送料平台本体具有第一通孔；第一滚轮组件，由所述送料平台本体的下表面穿过所述第一通孔并凸出所述送料平台本体的上表面，在所述送料平台上缓存有所述待沉积件的情况下，所述第一滚轮组件受到所述待沉积件施加的压力，并在所述第一炉门被打开的情况下，所述第一滚轮组件通过滚动来带动所述待沉积件运动，以将所述待沉积件送入所述炉膛；

所述第一驱动结构包括：第一驱动单元、以及与所述第一驱动单元连接的第一长齿轮，所述第一长齿轮竖直设置；

其中，所述送料平台还包括第一齿轮组件，所述第一齿轮组件与所述第一长齿轮啮合设置，并与所述第一滚轮组件连接，所述第一驱动结构被配置为驱动所述第一长齿轮旋转，以驱动所述第一齿轮组件带动所述第一滚轮组件滚动。

2.根据权利要求1所述的炉体组件，其特征在于，所述子炉体还包括第二炉门，通过关闭或打开所述第二炉门来封闭或暴露所述炉膛，其中，在所述待沉积件在所述炉膛中进行气相沉积的情况下，所述第二炉门处于关闭状态，在所述待沉积件在所述炉膛中完成气相沉积成为所述已沉积件的情况下，所述第二炉门被打开；

其中，所述炉体组件还包括：

出料平台，被配置为缓存所述已沉积件，其中，在所述第二炉门被打开的情况下，所述已沉积件由所述炉膛输送至所述出料平台；

第二驱动结构，与所述出料平台连接，被配置为驱动所述出料平台升降，以将所述出料平台驱动至多个所述子炉体中的已被打开所述第二炉门的所述子炉体所在的高度或即将被打开所述第二炉门的所述子炉体所在的高度。

3.根据权利要求2所述的炉体组件，其特征在于，还包括：

炉内运输组件，设置于所述炉膛中，被配置为在所述送料平台将所述待沉积件送入所述炉膛的情况下，将所述待沉积件运输至所述炉膛的中心区域，和/或在所述第二炉门打开的情况下，将所述已沉积件由所述炉膛的中心区域运输至所述出料平台。

4.根据权利要求2所述的炉体组件，其特征在于，还包括：

冷却装置，设置于所述出料平台下方，并被配置为在所述出料平台缓存所述已沉积件的情况下，对所述已沉积件进行冷却。

5.根据权利要求1至4任一项所述的炉体组件，其特征在于，

所述第一驱动结构还包括：与所述第一驱动单元连接的第一螺杆；

其中，所述第一螺杆竖直设置，所述送料平台与所述第一螺杆螺接，所述第一驱动单元还被配置为驱动所述第一螺杆旋转，以利用所述第一螺杆的旋转力驱动所述送料平台升降。

6.根据权利要求1至4任一项所述的炉体组件，其特征在于，还包括：

喷淋头，设置于所述炉膛的顶部，并具有辐向设置的多个喷淋孔。

7.一种气相沉积设备，其特征在于，包括：

如权利要求1至6任一项所述的炉体组件。

8.一种气相沉积方法，其特征在于，应用于权利要求1至6任一项所述的炉体组件，其中，所述炉体组件应用于气相沉积设备，被配置为容纳待沉积件，对所述待沉积件进行气相沉积，得到已沉积件；

其中，所述气相沉积方法包括：

将所述待沉积件放置于送料平台；

在炉膛中的待沉积件完成气相沉积成为已沉积件的情况下，第一炉门被打开；

第一驱动结构驱动所述送料平台升降至已被打开所述第一炉门的子炉体所在的高度；

所述送料平台将所述待沉积件送入所述炉膛；

所述第一炉门被关闭，以封闭所述炉膛；

对所述待沉积件进行气相沉积，以获得所述已沉积件；

其中，所述送料平台将所述待沉积件送入所述炉膛，包括：

所述第一驱动单元驱动所述第一长齿轮旋转，以驱动所述第一齿轮组件带动所述第一滚轮组件滚动；

所述送料平台中的所述第一滚轮组件通过滚动来带动所述待沉积件运动，以将所述待沉积件送入所述炉膛。