CN117677559A - 空中搬送车 - Google Patents

Abstract

空中搬送车(1)的保持被搬送物(90)的主体部(3)悬挂支承于行驶部(2)。空中搬送车(1)包括：基座部(23)，其悬挂于行驶部(2)；支承部(21)，其设置于主体部(3)，并借助在水平方向上延伸的转动轴(26)能够转动地支承于基座部(23)；以及一对减震器(30、30)，其以在与转动轴(26)延伸的第一方向及铅直方向双方正交的第二方向上夹着转动轴(26)的方式设置，并设置为与主体部(3)接触。

Description

空中搬送车

技术领域

本发明的一个方面涉及空中搬送车。

背景技术

专利文献1中公开了一种无人搬送车，其包括台车、借助防振用的减震器安装于台车的无人搬送车主体、和安装于无人搬送车主体的移载装置。在专利文献1的无人搬送车中，能够减小在行驶中向物品传递的振动。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2001-298065号公报

发明内容

发明要解决的课题

但是，根据上述现有的无人搬送车，虽然能够在行驶中减小向物品(被搬送物)传递的振动，但被搬送物有时会发生摆动。特别是，在保持被搬送物的主体部悬挂支承于行驶部的构成的空中搬送车中，被搬送物产生的摆动变大。

因而，本发明一个方面的目的在于，提供能够抑制来自行驶部的振动向被搬送物传播且抑制被搬送物发生摆动的空中搬送车。

用于解决课题的手段

本发明一个方面的空中搬送车将保持搬送物的主体部悬挂支承于行驶部，该空中搬送车包括：基座部，其悬挂于行驶部；支承部，其设置于主体部，并将基座部借助在水平方向上延伸的转动轴能够转动地支承；以及一对减震器，其在与转动轴延伸的第一方向及铅直方向双方正交的第二方向上，以夹着转动轴的方式设置于基座部，并构成为与主体部接触。

在该构成的空中搬送车中，从行驶部传播的振动由能够转动地支承于主体部的基座部吸收，并且，主体部与行驶部的相对位置关系(主体部相对于行驶部的姿态)由减震器稳定地维持。其结果，能够抑制来自行驶部的振动向被搬送物传播且抑制被搬送物发生摆动。

在本发明一个方面的空中搬送车中，也可以是，转动轴以在与行驶部的行驶方向及铅直方向双方正交的方向上延伸的方式配置，并且，在行驶部的行驶方向上配置于主体部的中央部，一对减震器以在行驶部的行驶方向上夹着转动轴的方式设置。在该构成中，当容许行驶部的角度相对于主体部变化时，由于仅在行驶部的行驶方向上容许角度变化，因此在被搬送物向与行驶方向正交的左右方向(横方向)的移载时，能够将主体部倾斜维持为最小限度。

在本发明一个方面的空中搬送车中，也可以是，基座部借助从行驶部朝向铅直方向下方延伸的一对悬挂部件悬挂于行驶部，基座部能够将悬挂部件以悬挂部件的延伸方向为转动轴而绕轴转动地支承。在该构成中，能够抑制在悬挂部件中的向行驶部的安装部分与向基座部的安装部分之间产生扭转应力。

也可以是，本发明一个方面的空中搬送车的行驶部具有通过在与配置于行驶轨道的磁性板之间产生的磁力而使该行驶部加速或制动的行驶驱动部。在具有这样的行驶驱动部的空中行驶车中，由于作为行驶驱动部的一部分的电磁铁(LDM(Linear DC Motor：直线直流电动机))与磁性板隔着微小间隙配置，因此，若由于主体部的姿态变化而行驶部被向上方顶起，则行驶驱动部与磁性板可能碰撞。在该构成的空中搬送车中，由于与主体部直接接触的减震器和与行驶部连接的悬挂部件以在俯视观察时相互不重叠的方式配置，因此能够抑制主体部的姿态变化直接将行驶部顶起。其结果，能够减少行驶驱动部与磁性板碰撞的可能。

在本发明一个方面的空中搬送车中，也可以是，减震器具有橡胶部件和弹簧部件。在该构成中，由于能够容易地通过压缩弹簧部件而对使减震器产生的加压进行调节，因此能够更加稳定地维持主体部与行驶部的相对位置关系。

在本发明一个方面的空中搬送车中，也可以是，支承部借助橡胶衬套将转动轴能够转动地支承。根据该构成，不仅能够有效抑制转动轴的转动方向上的振动的传播，也能够有效抑制其他方向上的振动、如来自行驶部的振动向被搬送物传播。

发明效果

根据本发明的一个方面，能够抑制来自行驶部的振动向被搬送物传播且抑制被搬送物发生摆动。

附图说明

图1是从侧面观察一个实施方式的空中搬送车的侧视图。

图2是从斜上方观察图1的空中搬送车的主体框架的立体图。

图3是从斜上方观察防振单元的立体图。

图4是从侧面观察防振单元的侧视图。

图5是将防振单元沿着前后方向剖切的剖视图。

图6是示出减震器的内部构成的剖切立体图。

图7的(A)及图7的(B)分别是说明被加压的减震器的动作的图。

具体实施方式

以下，参照附图说明一个实施方式的空中搬送车1。在附图的说明中，对相同的要素标注同一附图标记，并省略重复的说明。

图1所示的空中搬送车1沿着设置于洁净室的顶棚等比地面高的位置的行驶轨道R行驶。空中搬送车1例如在保管设备与规定的装载端口之间搬送被搬送物90。被搬送物90的例子中包含保存多个半导体晶片的FOUP(Front Opening Unified Pod：前开式晶圆传送盒)及保存玻璃基板的网袋舱(reticule pod)等容器以及普通部件等。上述容器具有保持于空中搬送车1的凸缘98。

在以下的说明中，为便于说明，将图1中的左右方向(X轴方向)设为空中搬送车1的前后方向(第二方向)。将图1中的上下方向(Z轴方向)设为空中搬送车1的上下方向(铅直方向)。将图1中的进深方向(Y轴方向)设为空中搬送车1的左右方向或宽度方向(第一方向)。X轴方向、Y轴方向及Z轴方向相互正交。

如图1及图2所示，空中搬送车1包括行驶部2、主体部3、升降部10。行驶部2使空中搬送车1沿着行驶轨道R移动。行驶部2配置在行驶轨道R内。

行驶部2具有前方行驶体2A和后方行驶体2B。设置于前方行驶体2A的连结部2D与设置于后方行驶体2B的连结部2D通过连结轴2E能够转动地连结。前方行驶体2A及后方行驶体2B各自设有行驶辊2C、2C和行驶驱动部2M、2M。本实施方式的行驶驱动部2M是通过在与配置在行驶轨道R的上表面的磁性板P之间产生的磁力而使空中搬送车1加速或制动的LDM(Linear DC Motor：直线直流电动机)。

主体部3悬挂支承于行驶部2。更详细来说，从行驶部2向铅直方向下方延伸的一对悬挂部件2F、2F与设置于主体部3的主体框架4的防振单元20连接，由此，主体部3悬挂支承于行驶部2。需要说明的是，防振单元20的详细如后详细说明。主体部3具有主体框架4、水平驱动部5、旋转驱动部6、升降驱动部7、升降部10、一对罩8、8、控制器80。

水平驱动部5固定于主体框架4的下部。水平驱动部5使旋转驱动部6、升降驱动部7及升降部10在水平面内在与行驶轨道R的延伸方向正交的方向(左右方向)上移动。旋转驱动部6使升降驱动部7及升降部10在水平面内旋转。升降驱动部7通过四根带9的卷起及放出而使升降部10升降。需要说明的是，升降驱动部7中的带9也可以使用线材及绳等适当的吊持部件。

升降部10设置为能够通过升降驱动部7而升降，作为空中搬送车1中的升降台发挥功能。升降部10具有把持被搬送物90的保持装置11，并且，通过带9而相对于作为主体部的水平驱动部5、旋转驱动部6及升降驱动部7升降。保持装置11保持被搬送物90。保持装置11包括形成为L字状的一对臂12、12、固定于各臂12、12的爪部13、13、和使一对臂12、12开闭的开闭机构15。

开闭机构15使一对臂12、12在相互接近的方向及相互分离的方向上移动。一对臂12、12通过开闭机构15的动作而在前后方向上进退。由此，固定于臂12、12的一对爪部13、13开闭。

在本实施方式中，在一对爪部13、13为打开状态时，调节保持装置11(升降部10)的高度位置(下降)，以使得爪部13的保持面与凸缘98的下表面的高度相比位于下方。并且，通过在该状态下使得一对爪部13、13成为闭合状态，从而爪部13、13的保持面进入凸缘98的下表面的下方，以该状态使升降部10上升，从而由一对爪部13、13保持(把持)凸缘98，进行被搬送物90的支承。

一对罩8、8以覆盖水平驱动部5、旋转驱动部6、升降驱动部7、升降部10及保持装置11的方式设置在行驶方向的前后。在升降部10上升至上升端的状态下，一对罩8、8在保持装置11的下方形成收容被搬送物90的空间。一对罩8、8各自具有落下防止机构8A和摆动抑制机构8B。在升降部10上升至上升端的状态下，落下防止机构8A防止由保持装置11保持的被搬送物90落下。摆动抑制机构8B抑制在行驶时保持于保持装置11的被搬送物90在空中搬送车1的前后方向(行驶方向)及左右方向上摆动。

控制器80是由CPU(Central Processing Unit：中央处理单元)、ROM(Read OnlyMemory：只读存储器)及RAM(Random Access Memory：随机存取存储器)等构成的电子控制单元。控制器80控制空中搬送车1中的各种动作。具体来说，控制器80对行驶部2、水平驱动部5、旋转驱动部6、升降驱动部7进行控制。控制器80能够构成为将例如ROM中保存的程序加载到RAM上并由CPU执行的软件。控制器80也可以构成为基于电子电路等的硬件。控制器80使用行驶轨道R的供电部(供电线)或馈电线等与上位控制器(未图示)进行通信。

说明防振单元20。如图3～图5所示，防振单元20包括一对支承部21、21、基座部23、一对减震器30、30。

一对支承部21、21在左右方向上隔开间隔排列，并固定于主体框架4的上表面4a。一对支承部21、21例如通过螺钉22等部件固定于主体框架4。在一对支承部21、21上架设有在左右方向上水平延伸的一根转动轴26。更详细来说，一对支承部21、21各自形成有供转动轴26穿插的穿插孔21a。在穿插孔21a中内插有筒状的树脂衬套27，转动轴26内插于树脂衬套27中。即，转动轴26借助树脂衬套27支承于一对支承部21、21。转动轴26在前后方向上配置在主体框架4的大致中央部，也可以对应于主体框架4的重心位置等向前或后偏移。

基座部23借助一对悬挂部件2F、2F悬挂于行驶部2。基座部23是在前后方向上延伸的部件。在基座部23上形成有能够供一对悬挂部件2F、2F穿插的穿插孔23a、23a。穿插孔23a、23a形成在基座部23的前后方向上的两端部。另外，在穿插孔23a的内周面设有能够绕沿着悬挂部件2F的延伸方向的轴转动地支承悬挂部件2F的轴承23b。

基座部23以无法相对于转动轴26转动的方式设置。更详细来说，转动轴26插入到在基座部23上形成的穿插孔23c中，转动轴26与基座部23通过螺钉24A固定。基座部23借助在水平方向上延伸的转动轴26以能够转动的状态支承于一对支承部21、21。换言之，一对支承部21、21将与基座部23一体地转动的转动轴26能够转动地支承。

一对减震器30、30在前后方向上夹着转动轴26设置，并设置为与主体框架4的上表面4a接触。另外，减震器30内插于在基座部23上形成的穿插孔23d中，以一部分朝向下方(主体框架4的上表面4a)突出的方式设置。减震器30吸收在与主体框架4的上表面4a接触时产生的能量。

如图5及图6所示，减震器30具有橡胶部件31、弹簧部件32、接触部33、收容部34、缓冲部35。橡胶部件31具有弹性力，由例如聚氨酯橡胶等材料形成。弹簧部件32以供橡胶部件31内插的方式配置。弹簧部件32的弹性力也可以大于橡胶部件31的弹性力。由此，若弹簧部件32收缩一定程度，则橡胶部件31的弹性力追加于接触部33。接触部33是与主体框架4的上表面4a接触的部件。接触部33下部的与主体框架4的上表面4a接触的部分由超高分子量聚乙烯等具有耐压缩性的材料形成。在接触部33的上部形成与橡胶部件31的下端及弹簧部件32的下端接触的凸缘部33a。本实施方式的弹簧部件32以被施加压缩的状态、即被加压的状态与接触部33相接。收容部34收容橡胶部件31、弹簧部件32及接触部33的一部分。缓冲部35是被设置用于防止由接触部33的上下移动引起的磨损的树脂衬套。

在基座部23上设有覆盖穿插孔23d的上部开口的盖部28。盖部28利用螺钉28A等固定于基座部23。在盖部28的中央部设有调节减震器30对向主体框架4的按压量(接触部33从基座部23突出的突出量)的调节用螺钉29。调节用螺钉29的顶端与收容部34的上表面34a抵接。从基座部23的下表面突出的接触部33的突出量能够通过使盖部28的调节用螺钉29旋转来调节。

说明上述实施方式的空中搬送车1中的作用效果。如图4所示，在上述实施方式的空中搬送车1中，从行驶部2传播的振动由能够转动地支承于主体部3(主体框架4)的基座部23吸收。此外，在上述实施方式的空中搬送车1中，即使在由于行驶部2在行驶中爬上层差等而行驶部2倾斜的情况下，重量值相对于行驶部2相对较大的主体部3也由于惯性力而欲要维持其姿态。另外，在上述实施方式的空中搬送车1中，主体部3与行驶部2的相对位置关系由减震器30稳定地维持。其结果，能够抑制来自行驶部2的振动向被搬送物90传播，且抑制被搬送物90发生摆动。

在上述实施方式的空中搬送车1中，如图5所示，转动轴26以在左右方向上延伸的方式配置，并且，在行驶部2的行驶方向上配置在主体部3的中央部，一对减震器30、30以在行驶部2的行驶方向上夹着转动轴26的方式设置。由此，当容许行驶部2的角度相对于主体部3变化时，由于仅在行驶部2的行驶方向上容许角度变化，因此能够在被搬送物90向左右方向(横方向)的移载时使主体部3的倾斜维持为最小限度。

在上述实施方式的空中搬送车1中，悬挂部件2F、2F借助轴承23b能够以悬挂部件2F、2F的延伸方向为转动轴而绕轴转动地支承于基座部23。因此，能够抑制在悬挂部件2F、2F中的向行驶部2的安装部分与向基座部23的安装部分之间产生扭转应力。

在上述实施方式的空中搬送车1中，由于与主体部3直接接触的一对减震器30、30和与行驶部2连接的一对悬挂部件2F、2F配置为在俯视观察时相互不重叠，因此能够抑制主体部3的姿态变化直接将行驶部2顶起。由此，能够减少构成行驶驱动部2M的LDM与磁性板P碰撞的可能。

在上述实施方式的空中搬送车1中，如图6所示，减震器30具有橡胶部件31和弹簧部件32，因此，能够容易地通过压缩弹簧部件32而对减震器30产生的加压进行调节。本实施方式的减震器30进行规定的加压。另外，在本实施方式的空中搬送车1中，如图7的(A)所示，在行驶部2及主体部3双方没有倾斜的情况下，减震器30的接触部33与主体框架4的上表面4a以接触部33不对主体框架4作用力的状态相互接触。需要说明的是，使调节用螺钉29旋转来调节接触部33的突出量，由此能够使接触部33与主体框架4的上表面4a接触。

在此，在行驶部2向前方加速的情况下，如图7的(B)所示，在转动自如状态的基座部23作用向前侧沉陷的力。但是，在被加压的减震器30中，即使作用有基座部23的前侧沉陷的力，在作用规定以上的力(即，作为加压，是弹簧部件32被施加的力以上的力)之前，弹簧部件32及橡胶部件31都不会被压缩，基座部23不会相对于主体框架4倾斜。在上述实施方式的减震器30中，设定能够承受由于设想的加速度而产生的力的加压。通过这样的构成，能够抑制主体框架4的姿态在空中搬送车1的加速时发生变化。即，能够在空中搬送车1的加速时抑制被搬送物90发生摆动。

在本实施方式的空中搬送车1中，由于前后方向双方的减震器30、30被实施上述加压，因此，虽然没有图7的(B)所示的图示，但在空中搬送车1的减速时，也能够抑制主体框架4的姿态发生变化。即，在本实施方式中，由于设定能够承受由于设想的减速度而产生的力的加压，因此能够抑制被搬送物90在空中搬送车1的减速时发生摆动。

以上对一个实施方式进行了说明，但本发明的一个方面不限于上述实施方式。能够在不脱离发明主旨的范围内进行多种变更。

在上述实施方式的空中搬送车1中，一对支承部21、21借助树脂衬套27将转动轴26能够转动地支承，若将树脂衬套27变更为例如由腈橡胶等形成的橡胶衬套，则通过橡胶衬套的扭转，不仅有效抑制转动轴26的转动方向上的振动的传播，还能够有效抑制来自行驶部2的振动等其他方向上的振动向被搬送物90传播。

在上述实施方式中，举出基座部23仅在前后方向上(以在左右方向上延伸的轴为转动轴)能够转动地构成的例子进行了说明，但也可以构成为基座部23仅在左右方向上(以在前后方向上延伸的轴为转动轴)能够转动。

在上述实施方式及变形例中，举出行驶部2具有能够相互转动的前方行驶体2A和后方行驶体2B的例子进行了说明，但也可以由单个行驶体形成。

在上述实施方式及变形例中，说明了转动轴26借助树脂衬套27支承于一对支承部21、21的例子。并且，内插于一对支承部21、21各自的穿插孔21a中的树脂衬套27、27也可以由硬度相互不同的材料形成。例如，通过使左右的树脂衬套27、27相互不同，从而在从Z轴方向观察时的防振单元20的重心位置与主体部3的重心位置不同的情况下、在将被搬送物90在左右方向(横方向)上移载的情况下，能够容易地维持主体部3相对于行驶部2的相对位置关系(主体部3相对于行驶部2的姿态)。

附图标记说明

1…空中搬送车、2…行驶部、2F…悬挂部件、3…主体部、4…主体框架、4a…上表面、20…防振单元、21…支承部、23…基座部、23a…穿插孔、23b…轴承、23c…穿插孔、23d…穿插孔、24A…螺钉、26…转动轴、27…树脂衬套、28…盖部、28A…螺钉、29…调节用螺钉、30…减震器、31…橡胶部件、32…弹簧部件、33…接触部、34…收容部。

Claims (6)

1.一种空中搬送车，其将保持被搬送物的主体部悬挂支承于行驶部，所述空中搬送车的特征在于，包括：

基座部，其悬挂于所述行驶部；

支承部，其设置于所述主体部，并借助在水平方向上延伸的转动轴将所述基座部能够转动地支承；以及

一对减震器，其在与所述转动轴延伸的第一方向及铅直方向双方正交的第二方向上，以夹着所述转动轴的方式设置于所述基座部，并构成为与所述主体部接触。

2.根据权利要求1所述的空中搬送车，其特征在于，

所述转动轴以在与所述行驶部的行驶方向及铅直方向双方正交的方向上延伸的方式配置，并且，在所述行驶部的行驶方向上配置在所述主体部的中央部，

所述一对减震器以在所述行驶部的行驶方向上夹着所述转动轴的方式设置。

3.根据权利要求2所述的空中搬送车，其特征在于，

所述基座部借助从所述行驶部朝向铅直方向下方延伸的一对悬挂部件悬挂于所述行驶部，

所述基座部能够将所述悬挂部件以所述悬挂部件的延伸方向为转动轴而绕轴转动地支承。

4.根据权利要求3所述的空中搬送车，其特征在于，

所述行驶部具有行驶驱动部，该行驶驱动部通过在与配置于行驶轨道的磁性板之间产生的磁力而使所述行驶部加速或制动，

在从铅直方向观察的俯视观察时，所述一对悬挂部件与所述一对减震器配置为相互不重叠。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的空中搬送车，其特征在于，

所述减震器具有橡胶部件和弹簧部件。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的空中搬送车，其特征在于，

所述支承部借助橡胶衬套将所述转动轴能够转动地支承。