CN117664976A - 电子部件检测装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种电子部件检测装置。具体地，根据本发明的一个实施例，包括，反射光输出部；反射部，提供从电子部件的外观的至少一部分到所述反射光输出部的光移动路径，并反射从电子部件的外观的至少一部分入射的光；及旋转部，所述旋转部旋转所述反射部，使得所述反射部绕预定的旋转轴线旋转。

Description

电子部件检测装置

技术领域

本发明涉及一种电子部件检测装置。

背景技术

半导体原件等电子部件经过一定的制造工艺进行制造。制造的电子部件可以通过外观等进行检测判定是否合格或不良。被判定为合格的电子部件按照等级分类存放，被判定为不良的电子部件被废弃。

为了进行电子部件的检测，可以使用电子部件外观自动检测设备。电子部件外观自动检测设备将拍摄到的电子部件外观通过与存储的合格的外观图像数据进行比较来判定电子部件的外观是否合格或者不良。

通过电子部件外观自动检测装置自动检测电子部件的外观，可以相对较快的速度进行检测。但是，由于相机性能等电子部件外观自动检测装置的局限，可能会导致无法信任检测结果。也就是说，电子部件外观自动检测设备可能会判定为合格，但实际上是不良的电子部件，也可能会判定为不良，但实际上是合格的电子部件。举例来说，即使是被判定为合格的电子部件，在电子部件外观自动检测设备中，通过将外观合格的图像数据与之进行比较的过程中，可能会由于数据处理错误和教学误差等原因导致存在异常情况。另外，在电子部件上附着的杂质没有被清除的情况下，通过电子部件外观自动检测装置检测，将附着在电子部件上的异物判定为缺陷，并判定为不良。因此，由于需要废弃这些错误判定的电子部件，会导致成本损失。

另外，如果不是肉眼检测，电子部件存在无法确定的不良，尽管肉眼检测可以确定不良，但电子部件外观自动检测装置可能无法确定不良。

前述问题即使提高电子部件外观自动检测装置的相机性能也没能得到解决，并还在发生。

现有技术文献

专利文献

韩国授权登记专利公报，10-1425137号(2014.07.24.登记)

发明内容

解决的技术问题

本发明是鉴于上述背景而提出的，其目的在于提供一种能够容易且精确地检测电子部件的电子部件检测装置。

另外，本发明的实施例旨在提供一种电子部件检测装置，其在检测电子部件之后能够再次精确地检测电子部件中对检测结果有怀疑的部分。

解决问题的手段

根据本发明的一方面,可以提供一种电子部件检测装置,所述电子部件检测装置包括:反射光输出部；反射部，提供从电子部件的外观至少一部分到所述反射光输出部的光移动路径，并且反射从所述电子部件外观的至少一部分入射的光；及旋转部，旋转所述反射部，使得所述反射部对预定的旋转轴线旋转。

另外,提供一种电子部件检测装置，所述反射部反射光,使得所述光移动路径的某一部分沿平行于所述旋转轴线的方向上延伸。

另外,提供一种电子部件检测装置，所述反射部反射光，使得所述光移动路径的某一部分沿着所述旋转轴线延伸。

另外,提供一种电子部件检测装置，所述反射部反射光，使得所述光移动路径的另一部分沿垂直于所述旋转轴线的方向延伸，所述光移动路径的所述另一部分通过所述反射部旋转，以所述旋转轴线为中心旋转。

另外,提供一种电子部件检测装置，所述反射部包括：第一镜子，所述第一镜子反射从所述电子部件外观的至少一部分入射的光；第二镜子，所述第二镜子反射从所述第一镜子入射的光。

另外,提供一种电子部件检测装置，所述第一镜子设置为所述第一镜子的反射面相对于所述旋转轴线以预定角度倾斜,所述第二镜子设置为反射从所述第一镜子入射的光，使得与所述旋转轴线平行的方向行进。

另外,提供一种电子部件检测装置，所述旋转部包括支撑所述第一镜子的旋转盘部,使得所述第一镜子旋转所述电子部件的至少一部分的周围，所述反射部还包括支撑所述第一镜子的第一镜子支撑构件,所述第一镜子支撑构件连接到所述旋转盘部。

另外,提供一种电子部件检测装置，所述旋转部还包括用于旋转所述旋转盘的盘旋转驱动单元,在所述旋转盘的中心形成有轴定位孔,所述盘旋转驱动单元包括一端位于所述轴定位孔中的盘旋转轴,所述第一镜子支撑构件连接到所述盘旋转轴的一端。

另外,提供一种电子部件检测装置，所述反射部还包括支撑所述第二镜子的第二镜子支撑构件,所述第二镜子支撑构件连接到所述盘旋转轴的一端。

另外,提供一种电子部件检测装置，在所述盘旋转轴的中心形成有光通过孔,所述第二镜子设置在所述第二镜子支撑构件,使得反射从所述第一镜子入射的光，并通过所述光通过孔。

另外,提供一种电子部件检测装置,所述电子部件检测装置还包括等待待检测的电子部件或检测后的电子部件的待机部。

另外,提供一种电子部件检测装置，所述部件待机部包括:第一部件嵌合构件,形成有用于嵌合所述电子部件的某一部分的第一嵌合槽；第二部件嵌合构件,形成有用于嵌合所述电子部件的另一部分的第二嵌合槽；及嵌合部件移动单元,用于移动所述第一部件嵌合构件和所述第二部件嵌合构件中一个。

另外,提供一种电子部件检测装置,所述电子部件检测装置包括用于把持所述电子部件的部件把持器,还包部件移动部，用于使所述部件把持器在所述部件待机部和所述反射部之间以前后方向，垂直于所述前后方向的左右方向，及垂直于每个所述前后方向和左右方向的上下方向移动。

另外,提供一种电子部件检测装置,所述部件把持器包括：把持手，用于把持所述电子部件；把持本体，用于把持所述把持手；以及把持手旋转单元，设置在所述把池本体，用于旋转所述把持手。

另外,提供一种电子部件检测装置，所述部件移动部包括：移动部底座，用于支撑所述反射部，所述旋转部，及所述部件待机部；前后方向移动本体，所述前后方向移动本体在所述移动部底座可左右方向移动设置；以及左右方向移动本体，所述左右方向移动体在所述前后方向移动本体向所述左右方向可移动,并将所述部件把持器向所述上下方向可移动设置。

另外,提供一种电子部件检测装置，所述部件移动部还包括:前后方向移动驱动单元，所述前后方向移动驱动单元设置在所述移动部底座，用于连接所述前后方向移动本体，并将所述前后方向移动本体向所述前后方向移动；左右方向移动驱动单元，所述左右方向移动驱动单元设置在所述前后方向移动本体，用于连接所述左右方向移动本体，并将所述左右方向移动本体向所述左右方向移动；以及上下方向移动驱动单元，所述上下方向移动驱动单元设置在所述左右方向移动本体，用于连接所述部件把持器，并将所述部件把持器向所述上下方向移动。

另外,提供一种电子部件检测装置，还包括设置在所述反射光输出部包括相机的部件拍摄部，所述部件拍摄部用于拍摄移动所述光移动路径的光。

另外,提供一种电子部件检测装置，还包括向所述电子部件喷射空气的鼓风机，用于去除附着在所述电子部件上的异物。

发明的效果

根据本发明的实施例，可以容易且精确地检测电子部件。

另外，根据本发明的实施例，检测电子部件后可以再次对检测结果有怀疑的电子部件的部分进行精确检测的效果。

图式简单说明

图1是示出本发明实施例的电子部件检测装置的示意图；

图2是示出图1的电子部件检测装置中的部件拍摄部、反射部、旋转部和部件待机部从部件移动部分离的示意图；

图3是示出图1的电子部件检测装置中的部件拍摄部、反射部、旋转部和反射光输出部的示意图；

图4是示出图1的电子部件检测装备的部件拍摄部、反射部和旋转部的分解图；

图5是示出在图1的电子部件检测装置的部件待机部的待机部底座分解图；

图6是示出图1的电子部件检测装置去除待机部底座的部件待机部的底面图；

图7是示出图1的电子部件检测装备的部件待机部件的操作图；

图8是示出图1的电子部件检测装置的部件移动部的分解图；

图9是示出图1的电子部件检测装置的部件移动部的部件把持器的示意图；

图10是示出图1的电子部件检测装置的部件移动部的移动部底座和前后方向移动驱动单元的示意图；

图11是示出图1的电子部件检测装备的部件移动部的前后方向移动本体和左右方向移动驱动单元的示意图；

图12是示出图1的电子部件检测装置的部件移动部的左右方向移动本体和上下方向移动驱动单元的示意图；

图13和图14是示出图1的电子部件外观检测装置操作的示意图。

具体实施方式

如下，为了说明本发明的技术思想，结合附图详细说明具体实施例。

同时,在说明本发明时,如果认为相关的公知构成或功能的具体说明有可能混淆本发明的要旨,则省略其详细说明。

另外，当提到某个组成部分与另一个组成部分进行“连接”或“支撑”时，应理解这个另一个组成部分可以直接与之连接或支持，但也可以存在其他中间组成部分。

本说明书中使用的术语仅仅是为了说明特定的实施例，并非旨在限定发明。除非在上下文中明确表示不同含义，否则单数表示包含复数的表达方式。

另外，在本说明书中，前、后、上、下、左、右等表达方式是以每个附图上单独表示的箭头方向为参考进行说明的，如果目标方向发生变化，则可能会以不同的方式描述。同样的原因，在附件图纸中，某些组成部分可能被夸大、省略或概略图示，并且每个组成部分的尺寸不能完全反映实际尺寸。

另外，包括序数词，诸如第一、第二等的术语可以用于描述各种构成要素，但是不限于这些术语。这些术语仅用于区分一个构成要素与另一个构成要素。

说明书中使用的"包括"的含义是将特定特性、领域、整数、阶段、动作、要素和/或成分具体化，不排除其他特定特性、领域、整数、阶段、动作、要素和成分及/或群的存在或附加。

以下，参照图1～图12，对本发明根据一实施例的电子部件检测装置1的具体结构进行说明。电子部件检测装置1能够检测电子部件2。例如，可以通过电子部件外观自动检测装置(未示出)等检测一次外观的电子部件2，或者对经过一次外观检测的电子部件2的特定部位为进行肉眼二次检测，可以使用电子部件检测装置1。例如，电子部件2可以是半导体元件。参照图1和图2，电子部件检测装置1可包括部件拍摄部100、反射部200、旋转部300、部件待机部400、部件移动部500和鼓风机600。、反射光输出部700和显示器(未示出)。

参照图2至图4，为检测电子部件2部件拍摄部100对电子部件2的外观的至少一部分进行拍摄，提供电子部件2的外观至少一部分的图像。通过部件拍摄部100提供的电子部件2的外观的至少一部分图像，操作者可检测电子部件2。例如，拍摄对自动电子部件外观检测装置的检测结果怀疑的电子部件2的部分外观。另外，操作者可以通过肉眼检测部件拍摄部100拍摄的电子部件2的部分外观图像来检测电子部件2。部件拍摄部100可包括相机110和相机支撑构件120。

相机110可拍摄电子部件2的外观的至少一部分。相机110可以设置在反射光输出部700中。另外，相机110拍摄由反射部200提供的从电子部件2的至少一部分移动到反射光输出部700的光移动路径PL的光。

相机支撑构件120可支撑相机110。例如，相机110通过螺栓(未示出)等连接到相机支撑构件120，相机支撑构件120可以支撑相机110。

参照图3和图4，反射部200提供从电子部件2的外观的至少一部分到反射光输出部700的光移动路径PL，并且反射从电子部件2的外观的至少一部分入射的光。将反射部200提供的光移动路径PL通过从电子部件2的外观的至少一部分入射，并反射部200反射的光的移动，设置在反射光输出部700的相机110可拍摄外观的至少一部分。

当反射部200通过旋转器300旋转时，反射部200可以反射光，使得光移动路径PL的某一部分在与旋转轴线平行的方向上延伸。另外，反射部200可以反射光，使得光移动路径PL的某一部分沿着所述旋转轴线延伸。另外，反射部200可以反射光，使得光移动路径PL的另一部分在垂直于旋转轴线的方向朝向旋转轴线延伸。同时，当反射部200旋转时，光移动路径PL的另一部分绕旋转轴线的中心旋转。反射部200包括第一镜子210、第一镜子支撑构件220、第二镜子230、第二镜子支撑构件240、第三镜子250和第三镜子支撑构件260。

第一镜子210可以反射从电子部件2的外观的至少一部分入射的光。第一镜子210设置为所述第一镜子210的反射面在反射部200被旋转部300旋转时与旋转轴线预定角度倾斜。第一镜子210设置在第一镜子支撑构件220上，并且在被第一镜子支撑构件220支撑的状态下，能够反射从电子部件2的外的至少一部分入射的光。

第一镜子支撑构件220可以支撑第一镜子210。第一镜子210在第一镜子支撑构件220中设置为所述第一镜子210的反射面与反射部200被旋转部300旋转时的旋转轴线预定角度倾斜。通过将第一镜子210在第一镜子支撑构件220的如上设置，第一镜子210容易地反射从电子部件2的外观的至少一部分入射的光。

第一镜子支撑构件220可连接于旋转盘部310包括的后述的旋转盘部310。连接至第一镜子支撑构件220的旋转盘部310形成有后述的轴定位孔311-1，旋转部300包括盘旋转轴321，盘旋转轴321的一端设置于轴定位孔311-1。另外，第一镜子支撑构件220可以连接到盘旋转轴321的一端。当与第一镜子支撑构件220连接的盘旋转轴321旋转时，旋转盘部310旋转，并且第一镜子支撑构件220绕旋转盘部310的中心旋转。由于第一镜子支撑构件220的旋转，由第一镜子支撑构件220支撑的第一镜子210可以围绕电子部件2的至少一部分旋转。

第二镜子230可以反射从第一镜子210入射的光。第二镜子230设置为反射从第一镜子210入射的光，使反射部200通过旋转部300旋转能够与旋转轴线平行的方向行进。第二镜子230设置在第二镜子支撑构件240上，并且通过第二镜子支撑构件240支撑的状态能够反射从第一镜子210入射的光。

第二镜子支撑构件240可以支撑第二镜子230。在第二镜子支撑构件240中第二镜子230被设置为，反射从第一镜子210入射的光，并且反射部200通过旋转部300旋转时与旋转轴线平行方向进行。例如，在第二镜子支撑构件240，第二镜子230可以与第一镜子210相对设置。第二镜子支撑构件240连接到旋转部300的盘旋转轴321的一端，并且通过盘旋转轴321的旋转，第二镜子支撑构件240以盘旋转轴321的中心旋转。通过第二镜子支撑构件240旋转，第二镜子支撑构件240支撑的第二镜子230也可以绕盘旋转轴321的中心旋转。

第二镜子支撑构件240设置有第二镜子230,反射从第一镜子210入射的光，使得穿过形成在盘旋转轴321上的后述光通过孔321-1。例如,在第二镜子支撑构件240中,第二镜子230与第一镜子210相对设置,并且反射从第一镜子210入射的光,从而可以通过盘旋转轴321-1的光通孔321-1。。

第三镜子250反射从第二镜子230入射的光。例如，第三镜子250反射从第二镜子230反射并穿过旋转部300的盘旋转轴321的光通过孔321-1的光。从第三镜子250反射的光可以行进至反射光输出部700。

第三镜子支撑构件260可以支撑第三镜子250。例如，第三镜子支撑构件260可以设置为邻近旋转部300的盘旋转轴321的光通过孔321-1的出光侧。

同时，可以省略第三镜子250和第三镜子支撑构件260。在这种情况下，虽然未示出，但是反射光输出部700可以形成在旋转部300的盘旋转轴321的光通过孔321-1的出光侧。另外，穿过旋转部300的盘旋转轴321的光通过孔321-1的光可以直接行进至反射光输出部700。换句话说，相机110设置在旋转部300的盘旋转轴321的光通过孔321-1的出光侧，可拍摄穿过旋转部300的盘旋转轴321的光通过孔321-1的光。

旋转部300可以旋转反射部200，使得反射部200绕预定旋转轴线旋转。例如，旋转部300可以将反射部200的第一镜子210和第二镜子230围绕电子部件2的至少一部分旋转。通过旋转部300旋转第一镜子210和第二镜子230的电子部件2的至少一部分周围，相机110可以从多个角度拍摄电子部件2的至少一部分。另外，通过旋转部300旋转第一镜子210和第二镜子230的电子部件2的至少一部分周围，相机110可以从多个角度拍摄电子部件2的多个部分。另外，操作者可以从多个角度检测电子部件2的至少一部分。另外，操作者可以从多个角度检测电子部件2的多个部分。例如，通过旋转部300将第一镜子210和第二镜子230的电子部件2的至少一部分的360度旋转，相机110可以360度角度拍摄电子部件2的至少一部分。另外，通过旋转部300旋转第一镜子210和第二镜子230的电子部件2的至少不一部分的360度旋转，相机110把电子部件2的多个部分360度拍摄。另外，操作者可以从360度角检测电子部件2的至少一部分。另外，操作者可以从360度角度检测电子部件2的多个部分。

旋转部300可包括旋转盘部310和盘旋转驱动单元320。

旋转盘部310可以支撑反射部200的第一镜子210围绕电子部件2的至少一部分旋转。例如，支撑第一镜子210的第一镜子支撑构件220连接到旋转盘部310，第一镜子210能够支撑旋转电子部件2的至少一部分的周围。旋转盘部310可包括旋转盘311和镜子保护构件312。

旋转盘311可以支撑第一镜子210。支撑第一镜子210的第一镜子支撑构件220连接到旋转盘311的至少一部分，使得旋转盘311能够支撑第一镜子210。轴定位孔311-1可形成在旋转盘311的中心。盘旋转驱动单元320的盘旋转轴321的一端可位于轴定位孔311-1中。另外，第一镜子支撑构件220可连接到轴定位孔311-1周向的旋转盘311的部分。

镜子保护构件312可以与旋转板311形成镜子保护空间SP。第一镜子210和第二镜子230可以位于镜子保护空间SP内。通过将第一镜子210和第二镜子230位于在镜子保护空间SP内，可以防止外部异物等附着到第一镜子210或第二镜子230，并第一镜子210或第二镜子230免受外部异物等损坏。镜子保护构件312具有大致环形形状并且可以连接到旋转盘311的外周。

盘旋转驱动单元320可以旋转盘部310旋转。盘旋转驱动单元320包括盘旋转轴321、盘旋转驱动电机322、盘旋转驱动皮带323、盘旋转用轴承324、轴承支撑构件325和旋转驱动单元底座326。

盘旋转轴321的一端可位于旋转盘部310的轴定位孔311-1中。连接旋转盘部310的反射部200的第一镜子支撑构件220可以连接到盘旋转轴321的一端。因此，当盘旋转轴321旋转时，旋转盘部310可以绕盘旋转轴321旋转。另外，反射部200的第二镜子支撑构件240可以连接到盘旋转轴321。当盘旋转轴321旋转时，旋转盘部310围绕盘旋转轴321旋转，另外，反射部200的第二镜子支撑构件240连接盘旋转轴321，并且当盘旋转轴321旋转，第二镜子支撑构件240围绕盘旋转轴321旋转。换句话说，通过盘旋转轴321的旋转，第一镜子支撑构件220和第二镜子支撑构件240旋转，并且第一镜子210和第二镜子230旋转。

光通过孔321-1可以形成在盘旋转轴321的中心。从反射部200的第二镜子230反射的光可以穿过盘旋转轴321的光通过孔321-1。另外，盘旋转用从动滑轮321-2可以连接到盘旋转轴321的另一侧。

盘旋转驱动电机322可为旋转盘部310提供旋转驱动力。盘旋转用驱动滑轮322-1可以连接到盘旋转驱动电机322。另外，盘旋转驱动皮带323可以连接到盘旋转用从动滑轮321-2和盘旋转用驱动滑轮322-1。盘旋转用轴承324可支撑盘旋转轴321旋转。轴承支撑构件325可以支撑盘旋转用轴承324。另外，盘旋转驱动电机322可以连接至轴承支撑构件325。旋转驱动单元底座326可以支撑轴承支撑构件325。

板旋转驱动电机322从而旋转盘旋转用驱动滑轮322-1时，盘旋转驱动皮带323可以进行环形导轨运动。根据盘旋转驱动皮带323的环形导轨运动，盘旋转用从动滑轮321-2旋转并且盘旋转轴321旋转，从而旋转盘部310。

参照图5至图7，待检测的电子部件2或检测后的电子部件2可以在部件待机部400中等待。部件待机部件400可包括第一部件嵌合构件410、第二部件嵌合构件420、嵌合构件移动单元430和待机部件底座440。

第一嵌合槽411可形成在第一部件嵌合构件410中。电子部件2的某一部分可以嵌合到第一嵌合槽411中。多个第一嵌合槽411可分别形成在第一部件嵌合构件410中以第一部件嵌合构件410的长度方向彼此间隔开。

第二嵌合槽421可形成在第二部件嵌合构件420中。电子部件2的另一部分可以嵌合到第二嵌合槽421中。多个第一嵌合槽411可分别形成在第二部件嵌合构件410中彼此间隔开。

同时，第一部件嵌合构件410的第一嵌合槽411和第二部件嵌合构件420的第二嵌合槽421的垂直横截面可相互对称的形状。例如，第一部件嵌合构件410的第一嵌合槽411的垂直横截面具有与字母对称的形状，第二部件嵌合构件420的第二嵌合槽421的垂直横截面具有字母/>的形状。另外，电子部件2的一侧的下部的角部嵌合第一部件嵌合构件410的第一嵌合槽411中，电子部件2的另一侧的下部的角部嵌合到第二部件嵌合构件420的第二嵌合槽421中。

部件待机部400可包括多对第一部件嵌合构件410和第二部件嵌合构件420。例如，部件待机部400可以包括两对第一部件嵌合构件410和第二部件嵌合构件420。

嵌合构件移动单元430可以移动第一部件嵌合构件410或第二部件嵌合构件420中的一个。通过由嵌合构件移动单元430移动第一部分嵌合构件410和第二部分嵌合构件420中的一个，第一部分嵌合构件410和第二部分嵌合构件420之间的距离可以改变。另外，电子部件2的多种长度的一部分和其他部分分别嵌合在第一部件嵌合构件410的第一嵌合槽411和第二部件嵌合构件420的第二嵌合槽421中。嵌合构件移动单元430可包括嵌合构件连接构件431、嵌合构件连接辅助构件432、螺钉构件433和嵌合构件移动驱动电机434。

嵌合构件连接构件431可以连接到第一部件嵌合构件410或第二部件嵌合构件420中的一个。嵌合构件连接辅助构件432可以连接到嵌合构件连接构件431。螺钉构件433可穿过嵌合构件连接辅助构件432并连接到嵌合构件连接辅助构件432。嵌合构件移动驱动电机434可以连接至螺钉构件433。当嵌合构件移动驱动电机434驱动时，螺钉构件433旋转，使得嵌合构件连接辅助构件432能够沿着螺钉构件433移动。通过嵌合构件连接辅助构件432沿着螺纹构件433的移动，嵌合构件连接构件431移动，并且移动与嵌合部件连接构件431连接的第一部分嵌合构件410和第二部分嵌合构件420中的一个。

待机部底座440可以支撑第一部件嵌合构件410、第二部件嵌合构件420和嵌合构件移动单元430。待机部底座440可包括待机部底座基板441和嵌合构件移动导轨442。

在第一部分嵌合构件410和第二部分嵌合构件420中，未连接至嵌合构件移动单元430的部分可以固定至待机部底座基板441。例如，第一部件嵌合构件410可以固定至待机部底座基板441。

一对嵌合构件移动导轨442可以彼此间隔预定距离地设置在待机部底座基板441上。另外，在第一部件嵌合构件410和第二部件嵌合构件420中，连接到嵌合构件移动单元430的可移动地连接到一对嵌合构件移动导轨442。例如，第二部件嵌合构件420可以连接到嵌合构件移动单元430并且可移动地连接到一对嵌合构件移动导轨442。并且，第二部件嵌合构件420可以通过嵌合构件移动单元430沿着嵌合构件移动导轨442移动。

参照图8至图12,部件移动部500可以把持电子部件2。另外,部件移动部500可构成为被把持的电子部件2在部件待机部400和反射部200之间的移动方向的前后方向、与前后方向垂直的左右方向以及前后方向和左右方向各自垂直的上下方向上移动。部件移动部500可以包括部件把持器510、移动部底座520、前后方向移动本体530、前后方向移动驱动单元540、左右方向移动本体550、左右方向移动驱动单元560和上下方向移动驱动单元570。

部件把持器510可以把持电子部件2。部件把持器510可包括把持手511、把持本体512和把持手旋转单元513。

把持手511能够把持电子部件2。把持手511包括手本体511-1、第一把持构件511-2、第二把持构件511-3、第一把持构件移动导轨511-4和第二把持构件移动导轨511-5、把持用驱动滑轮511-6、把持用从动滑轮511-7、把持部件移动皮带511-8、第一把持部件连接构件511-9、第二把持构件连接构件、及把持部件移动驱动电机511-10。

手本体511-1可支撑第一把持构件511-2、第二把持构件511-3、第一把持构件移动导轨511-4和第二把持构件移动导轨511-5、把持用驱动滑轮511-6、把持用从动滑轮511-7、把持构件移动皮带511-8、第一把持构件连接构件511-9、第二把持构件连接构件和把持构件移动驱动电机511-10。

第一把持构件511-2可移动地设置在手主体511-1上。第一把持构件511-2中形成有第一把持槽511-g1，并且电子部件2的某一部分可嵌合到第一把持槽511-g1中。例如，电子部件2的一侧的上侧的侧面可以嵌合到第一把持构件511-2的第一把持槽511-g1中。

第二把持构件511-3可移动地设置在手主体511-1上。第二把持构件511-3中形成有第二把持槽(未示出)，并且电子部件2的另一部分可以嵌合到第二把持槽中。例如，电子部件2的另一侧的上侧可以嵌合到第二把持槽中。

通过电子部件2的某一部分被嵌合到第一把持构件511-2的第一把持槽511-g1中，并且电子部件2的另一部分嵌合到第二把持构件511-3的第二把持槽，电子部件2可以被把持在第一把持构件511-2和第二把持构件511-3之间。另外，由于第一把持构件511-2和第二把持构件511-3可移动地设置在手主体511-1中，所以第一把持构件511-2和第二把持构件511-3对应电子部件2的长度可移动。另外，把持手511可以把持各种长度的电子部件2。

第一把持构件移动导轨511-4可以设置在手主体511-1上。第一把持构件511-2可以连接到第一把持构件移动导轨511-4，并且可移动。

第二把持构件移动导轨511-5可以设置在手主体511-1上。第二把持构件511-3可以连接到第二把持构件移动导轨511-5，并且可移动。

把持用驱动滑轮511-6可旋转地设置在手主体511-1上。另外，把持用从动滑轮511-7可旋转地设置在手主体511-1上。另外，把持部件移动皮带511-8可以设置在手主体511-1上，使得把持用驱动滑轮511-6和把持用从动滑轮511-7连接。第一把持构件连接构件511-9可以连接到位于把持用驱动滑轮511-6和把持用从动滑轮511-7之间的把持构件移动皮带511-8的一部分。另外，第二把持部件连接部件(未示出)可以连接到位于把持用驱动滑轮511-6和把持用从动滑轮511-7之间的把持构件移动皮带511-8的另一部分。把持构件移动驱动电机511-10可以设置在手主体511-1中。

当把持构件移动驱动电机511-10被驱动时，驱动滑轮511-6旋转，从而把持构件移动皮带511-8可环形导轨上移动。由此，第一把持构件连接构件511-9和第二把持构件连接构件彼此接近或远离，从而第一把持构件511-2和第二把持构件511-3彼此接近或远离。因此，把持手511能够把持各种长度的电子部件2。

把持体512可支撑把持手511。例如，通过把持本体512支撑的连接于把持手511的把持手旋转单元513，把持本体512可支撑把持手511。

把持手旋转部513可以设置在把持本体512上，使把持手511旋转。把持手旋转单元513可包括把持手旋转轴513-1、把持手旋转驱动电机513-2、把持手旋转用驱动滑轮513-3、把持手旋转用从动滑轮513-4、把持手旋转皮带513-5和把持手旋转用轴承513-6。

把持手旋转轴513-1可以穿过把持主体512并连接到把持手511的手主体511-1。把持手旋转驱动电机513-2可以设置在把持体512中。旋转用把持手的驱动滑轮513-3可以连接到把持手旋转驱动电机513-2。把持手旋转用从动滑轮513-4可连接至把持手旋转轴513-1。把持手旋转皮带513-5可连接到把持手旋转用驱动滑轮513-3和把持手旋转用从动滑轮513-4。把持手旋转用轴承513-6可设置在把持本体512上，使把持手旋转轴513-1旋转并支撑。

当把持手旋转驱动电机513-2驱动时，把持手旋转带513-5进行环形导轨运动，使把持手旋转轴513-1能够旋转。通过旋转把持手旋转轴513-1，可以旋转连接到把持手旋转轴513-1的把持手511。

移动部底座520可以支撑部件拍摄部100、反射部200、旋转部300、部件待机部400、鼓风机600和显示器。另外，反射光输出部700可以形成在移动部底座520上。移动部底座520可包括移动部底座基板521和背景挡板522。

相机支撑构件120支撑相机110，移动部底座基板521可以支撑相机支撑构件120。另外，移动部底座基板521可以支撑第三镜子支撑构件260，第三镜子支撑构件260支撑第三镜子250。另外，移动部底座基板521可以支撑旋转部300的旋转驱动单元底座326。另外，移动部底座基板521可以支撑部件待机单元400的待机部底座440。另外，移动部底座基板521可以支撑鼓风机600。另外，反射光输出部700可以形成在移动部底座基板521上的预定空间中。另外，移动部底座基板521可以支撑显示器。

背景挡板522可以设置在移动部底座基板521上遮挡电子部件2周围的背景，从而不拍摄除了电子部件2之外的物体。

前后方向移动本体530可以设置在移动部底座520上能够前后方向上移动。通过前后方向移动本体530在移动部底座520上前后移动，部件把持器510把持的电子部件2能够前后方向移动。

前后方向移动驱动单元540设置在移动部底座520上，使连接到前后方向移动本体530，并且能够使前后方向移动本体530在移动部底座520上向前后方向移动。前后方向移动驱动单元540可包括第一前后方向移动导轨541、第二前后方向移动导轨542、第一前后方向移动构件543、第二前后方向移动构件544、前后方向移动驱动电机545、前后方向移动用驱动滑轮546、前后方向移动用从动滑轮547、前后方向移动皮带548和前后方向移动连接构件549。

第一前后方向移动导轨541和第二前后方向移动导轨542可彼此间隔预定距离在移动部底座520前后方向设置。第一前后方向移动构件543可活动连接至第一前后方向移动导轨541，并可连接至前后方向移动本体530。第二前后方向移动构件544可移动地连接到第二前后方向移动导轨542，并且可以连接到前后方向移动体530。前后方向移动驱动电机545可设置在移动部底座520上，并邻近第一前后方向移动导轨541的一侧。前后方向移动用驱动滑轮546可以连接至前后方向移动驱动电机545。前后方向移动用从动滑轮547可旋转地设置在邻近第一前后方向移动导轨541的另一侧的移动部底座520上。前后方向移动皮带548可连接到前后方向移动用驱动滑轮546和前后方向移动用从动滑轮547。前后方向移动连接构件549可以连接至第一前后方向移动构件543和前后方向移动皮带548。

当前后方向移动驱动电机545驱动时，前后方向移动皮带548进行环形导轨运动，从而使第一前后方向移动构件543和第二前后方向移动构件544分别沿第一前后方向移动导轨541和第二前后方向移动导轨542向前后方向移动。因此前后方向移动本体530可以在移动部底座520上前后方向移动。

左右方向移动本体550可配置在前后方向移动本体530上,并左右方向移动。通过左右方向移动本体550在前后方向移动本体530向左右方向移动,把持在部件把持器510上的电子部件2向左右方向移动。

左右方向移动驱动单元560设置在前后方向移动本体530上以连接至左右移动本体550，将左右方向移动本体550在前后方向移动本体530上向左右方向移动。左右方向移动驱动单元560可包括一对左右方向移动导轨561、左右方向移动构件562、左右方向移动驱动电机563、左右方向移动用驱动滑轮564、第一左右方向移动用从动滑轮565、左右方向移动驱动皮带566、第二左右方向移动用从动皮滑轮567、左右方向移动皮带568以及左右后方向移动连接构件569。

一对左右方向移动导轨561可以在左右方向上彼此间隔预定距离地设置在前后移动本体530上。左右方向移动构件562可移动连接于一对左右方向移动导轨561，并可连接于左右方向移动本体550。左右方向移动驱动电机563邻接于一对左右方向移动导轨561的一侧设置在前后方向移动本体530上。左右方向移动用驱动滑轮564可以连接到左右方向移动驱动电机563。第一左右方向移动用从动滑轮565可邻接于一对左右方向移动导轨561的一侧可旋转地设置在前后方向移动本体530上。左右方向移动驱动皮带566可连接至左右方向移动用驱动滑轮564和第一左右方向移动用从动滑轮565。第二左右方向移动用从动滑轮567邻接于一对左右方向移动导轨561另一侧，并可旋转设置在前后方向移动本体530上。左右方向移动皮带568可连接到第一左右方向移动用从动滑轮565和第二左右方向移动用从动滑轮567。左右方向移动连接构件569可以连接到左右方向移动构件562和左右方向移动皮带568。

当左右方向移动驱动电机563驱动时，驱动皮带566进行环形导轨移动，并且左右方向移动皮带568也可以进行环形导轨移动。由于左右方向移动皮带568的环形导轨运动，左右方向移动构件562可以沿着一对左右方向移动导轨561在左右方向上移动。因此，与左右方向移动构件562连接的左右方向移动本体550在前后方向移动本体530上能够向左右方向移动。

上下方向移动驱动单元570设置在左右方向移动本体550，以连接到部件把持器510并且能够沿上下方向移动部件把持器510。通过由上下方向移动驱动单元570进行的部件把持器510的上下方向移动，由部件把持器510把持的电子部件2向上下方向上移动。上下方向移动驱动单元570可包括一对上下方向移动导轨571、上下方向移动构件572、上下方向移动驱动电机573、上下方向移动用驱动滑轮574、上下方向移动用旋转轴575、上下方向移动用从动滑轮576、上下方向移动皮带577以及上下方向移动连接构件578。

一对上下方向移动导轨571可以彼此间隔预定距离以上下方向设置在左右方向移动本体550。上下方向移动构件572可移动地连接到一对上下方向移动导轨571并且可以连接到部件把持器510。例如，部件把持器510的把持本体512可以连接至上下方向移动构件572。上下移动移动驱动电机573邻接于一对上下方向移动导轨571中的一个的一侧，并设置在左右方向移动体550上。上下方向移动用驱动滑轮574可以连接至上下方向移动驱动电机573。上下方向移动用从动滑轮576可与上下方向移动用旋转轴575连接。上下方向移动皮带577可连接到上下方向移动用驱动皮滑轮574和上下方向移动用从动滑轮576上。上下方向移动连接构件578可以通过上下移动用旋转轴575穿过并连接到上下移动旋转轴575。另外,上下方向移动连接构件578可以连接到上下方向移动构件572。

当上下方向移动驱动电机573驱动时，上下方向移动皮带577进行环形导轨移动，上下方向移动用旋转轴575旋转，上下方向移动链接构件678在上下方向移动用旋转轴575上向上下方向移动。因此,上下方向移动构件572沿着一对上下方向移动导轨571向上下方向移动,并且连接到上下方向移动构件572的部件把持器510在左右方向移动本体550上向上下方向移动。

吹风机600可以将空气喷射到电子部件2上以去除附着到电子部件2的异物。鼓风机600设置在部件待机部400和反射部200之间,通过部件移动部500将空气喷射到从部件待机部400移动到反射部200的待检测的电子部件2上,以此去除附着在待检测的电子部件2上的异物。另外,为不干扰光移动路径PL，鼓风机600设置在第一镜子支撑构件220和第二镜子支撑构件240之间,,并且通过向移动到反射器200的待检测电子部件2喷射空气，去除附着在待检测电子部件2上的异物。。

反射光输出部700可以是输出由反射部200反射的光的空间。换句话说，在反射光输出部700中，从电子部件2外观的至少一部分入射的光经过反射部200输出。相机110可以设置在反射光输出部700中。

同时，在上述实施例中，虽然描述了通过部件拍摄部100来检测电子部件2，但是本发明的思想不一定限于此。例如，可以是省略上述的部件拍摄部100，并且操作者可以通过肉眼检测从反射光输出部700输出的光来检测电子部件2。

显示器(未示出)可以显示由相机110拍摄的电子部件2外观的至少一部分的图像。显示器可以连接到相机110并显示由相机110拍摄的电子部件2外观的至少一部分的图像。显示器可以设置在部件移动部件500的移动部底座基板521上以连接到相机110。另外，显示部可以设置在电子部件检测装置1的外部以连接到相机110。显示在显示部上的由相机110拍摄的电子部件2的外观的至少一部分的图像可以被放大或缩小。另外，可以调整在显示部上显示的由相机110拍摄的电子部件2的外观的至少一部分的图像的清晰度或屏幕亮度。换句话说，可以调整在显示部上显示的由相机110拍摄的电子部件2的外部的至少一部分的图像的亮度或饱和度。另外，操作者可以放大或缩小显示在显示部上的由相机110拍摄的电子部件2的外观的至少一部分的图像，或者在调整显示部显示的照相机110拍摄的电子部件2的外观的至少一部分图像的亮度或饱和度等的同时,可以检测电子部件2的外观。

以下，参照图13和图14，对具有上述结构的本发明的实施例的电子部件检测装置1的作用及效果进行说明。

部件移动部500的部件把持器510通过前后方向移动本体530、前后方向移动驱动单元540、左右方向移动本体550、左右方向移动驱动单元560、及上下方向移动驱动单元570向前后方向、左右方向、上下方向移动。另外，部件移动部500的部件把持器510的把持手511能够把持电子部件2，并且把持手511通过把持手旋转单元513旋转。

通过此类操作，部件移动部500的部件把持器510可以前后方向移动到在部件待机部400中等待的待检测的电子部件2。已经移动到待检测的电子部件2的部件移动部500的部件把持器510可以在上下方向上移动以把持在部件待机部400中等待的电子部件2。在这种情况下，部件把持器510的把持手511的第一把持构件511-2和第二把持构件511-3之间的距离可以被调节以对应电子部件2的长度。

待检测的电子部件2可以在被部件把持器510把持的状态朝向反射部200的第一镜子210向前后方向移动。当待检测的电子部件2向反射部200的第一镜子210移动过程中，鼓风机600将空气喷射到待检测的电子部件2，去除附着在待检测的电子部件2的异物。。

当电子部件2移动到反射部200的第一镜子210时，来自电子部件2的至少一部分的光通过第一镜子210、第二镜子230和第三镜子210，入射到部件拍摄部100的相机110，并通过相机110拍摄电子部件2的外观。

在这种状态下，部件把持器510向前后方向、左右方向、上下方向移动，使得通过相机110拍摄电子部件2的待检测的部分。由相机110拍摄的电子部件2的至少一部分的图像可以显示在显示器上。另外，操作者可以通过显示器上显示的电子部件2的至少一部分的图像用肉眼检测电子部件2的至少一部分的外观。操作者可以放大或缩小在显示部上显示的由相机110拍摄的电子部件2的外观的至少一部分的图像，或者，调整显示部显示的相机110拍摄的电子部件2的外观至少一部分的图像亮度或饱和度等同时,可以检测电子部件2的外观。。

在这种情况下，旋转部300的旋转盘部310旋转，使反射部200的第一镜子210围绕电子部件2的待检测部分旋转。从而相机110可以以各种角度拍摄电子部件2的待检测部分，对电子部件2的外观进行更精确的肉眼检测。另外，相机110可以以各种角度拍摄电子部件2的各个部分，从而对电子部件2的外观进行更精确的肉眼检测。例如，相机110可以以360度的角度拍摄电子部件2的待检测的部分，或者相机110可以以360度的角度拍摄电子部件2的各个部分。能够更精确地肉眼检测电子部件2的外观。另一方面，当把持电子部件2的部件把持器510的把持手511旋转时，仅通过移动部件把持器510无法拍摄的电子部件2的部分也被相机110拍摄。因此，能够更容易地检测电子部件2的外观。

外观检测结束后的电子部件2由部件把持器510把持的状态下向部件待机部400前后方向移动。移动到部件待机部400的检测完的电子部件2向上下方向移动，并嵌合到部件待机部400的第一部件嵌合构件410和第二部件嵌合构件420中，并等待。

在电子部件外观自动检测装置等中，能够以比较快速地自动检测电子部件2的外观。即使使用性能较好的相机，电子部件外观自动检测装置的检测结果也可能存在误差。另外，即使电子部件2上附着有异物，电子部件外观自动检测装置的检测结果也可能存在误差。另外，如果不是肉眼，有无法确认不良的情况，或者，如果用肉眼检测，能够更准确的确认不良的情况。

为了弥补此类电子部件外观自动检测装置的缺陷，对电子部件外观自动检测装置的检测结果有怀疑的电子部件2或电子部件2的部分，利用本发明的电子部件检测装置装1，再次用肉眼仔细检测。当电子部件外观自动检测装置的检测结果有疑问时，可以使用电子部件检测装置1对电子部件2进行二次肉眼检测，但也可以通过电子部件外观自动检测装置进行检测的电子部件2中的一部分取样来进行。

虽然如上对本发明的实施例以具体实施形态来说明，但这仅仅是示例，本发明不限于此，并且应该理解为遵循本说明书中公开的技术思想具有最宽的范围。本领域技术人员可以通过组合/替换所公开的实施例来实现未指定形状的构思，但这也不脱离本发明的范围。另外，本领域技术人员可以容易地改变或修改基于本说明书所公开的实施例，很显然，这样的改变或修改也落入本发明的范围内。

附图标记说明

1：电子部件检测装置2：电子部件

100：部件拍摄部110：相机

120：相机支撑构件200：反射部

210：第一镜子220：第一镜子支撑构件

230：第二镜子240：第二镜子支撑构件

250：第三镜子260：第三镜子支撑构件

300：旋转部310：旋转盘部

311：旋转盘311-1：轴定位孔

312：镜子保护构件320：盘旋转驱动单元

321：盘旋转轴321-1：光通过孔

321-2：盘旋转用从动滑轮322：盘旋转驱动电机

322-1：盘旋转用驱动滑轮323：盘旋转驱动皮带

324：盘旋转用轴承 325：轴承支撑构件

326：旋转驱动单元底座 400：部件待机部

410：第一部件嵌合构件411：第1嵌合槽

420：第二部件嵌合构件421：第二嵌合槽

430：嵌合构件移动单元431：嵌合构件连接构件

432：嵌合构件连接辅助构件433:螺丝构件

434：嵌合构件移动驱动电机440:待机部底座

441：待机部底座基座442：嵌合构件移动导轨

500：部件移动部510：部件把持器

511：把持手511-1：手本体

511-2：第一把持构件511-3：第二把持构件

511-g1：第一把持槽511-4：第一把持构件移动导轨

511-5：第二把持构件移动导轨511-6：把持用驱动滑轮

511-7：把持用从动滑轮511-8：把持构件移动皮带

511-9：第一把持构件连接构件511-10:把持构件移动驱动电机

512：把持本体513：把持手旋转单元

513-1：把持手旋转轴513-2：把持手旋转驱动电机

513-3：把持手旋转用驱动滑轮

513-4：把持手旋转用从动滑轮

513-5：把持手旋转皮带513-6：把持手旋转用轴承

520：移动部底座521：移动部底座基板

522：背景挡板530：前后方向移动本体

540：前后方向移动驱动单元541：第一前后方向移动导轨

542：第二前后方向移动导轨543：第一前后方向移动构件

544：第二前后方向移动构件545：前后方向移动驱动电机

546：前后方向移动用驱动滑轮547：前后方向移动用从动滑轮

548：前后方向移动皮带549：前后方向移动连接构件

550：左右方向移动本体560：左右方向移动驱动单元

561：左右方向移动导轨562：左右方向移动构件

563：左右方向移动驱动电机564：左右方向移动用驱动滑轮

565：第一左右方向移动用从动滑轮

566：左右方向移动驱动皮带

567：第二左右方向移动用从动滑轮

568：左右方向移动皮带

569：左右方向移动连接构件570：上下方向移动驱动单元

571：上下方向移动导轨572：上下方向移动构件

573：上下方向移动驱动电机574：上下方向移动用驱动滑轮

575：上下方向移动用旋转轴576：上下方向移动用从动滑轮

577：上下方向移动皮带578：上下方向移动连接构件

600：鼓风机700：反射光输出部

PL：光移动路径SP：镜子保护空间

Claims (18)

1.一种电子部件检测装置，包括，反射光输出部；

反射部，提供从电子部件的外观的至少一部分到所述反射光输出部的光移动路径，并反射从所述电子部件的外观的至少一部分入射的光；及

旋转部，所述旋转部旋转所述反射部，使得所述反射部绕预定的旋转轴线旋转。

2.根据权利要求1所述的电子部件检测装置，其中，

所述反射部反射光，使得所述光移动路径的某一部分平行于所述旋转轴线的方向延伸。

3.根据权利要求2所述的电子部件检测装置，其中，

所述反射部反射光，使得所述光移动路径的某一部分沿所述旋转轴线延伸。

4.根据权利要求3所述的电子部件检测装置，其中，

所述反射部反射光，使得所述光移动路径的另一部分沿垂直于所述旋转轴线的方向向所述旋转轴线延伸，并且所述光移动路径的所述另一部分通过所述反射部的旋转而围绕所述旋转轴线旋转。

5.根据权利要求1所述的电子部件检测装置，其中，

所述反射部包括，

第一镜子，反射从所述电子部件的外观的至少一部分入射的光；及

第二镜子，反射从所述第一镜子入射的光。

6.根据权利要求5所述的电子部件检测装置，其中，

所述第一镜子设置为所述第一镜子的反射面相对于所述旋转轴线以预定角度倾斜，

所述第二镜子设置为反射从所述第一镜子入射的光，并沿平行于所述旋转轴线的方向行进。

7.根据权利要求5所述的电子部件检测装置，其中，

所述旋转部包括，

旋转盘部，支撑所述第一镜子，使得所述第一镜子围绕所述电子部件的至少一部分旋转，

所述反射部还包括，支撑所述第一镜子的第一镜子支撑构件，

所述第一镜子支撑构件连接至所述旋转盘部。

8.根据权利要求7所述的电子部件检测装置，其中，

所述旋转部还包括旋转所述旋转盘部的盘旋转驱动单元，

所述旋转盘部中心设有轴定位孔，

所述盘旋转驱动单元包括一端位于所述轴定位孔的盘旋转轴，

所述第一镜子支撑件连接至所述盘旋转轴的一端。

9.根据权利要求8所述的电子部件检测装置，其中，

所述反射部还包括支撑所述第二镜子的第二镜子支撑构件，

所述第二镜子支撑件连接至所述盘旋转轴的一端。

10.根据权利要求9所述的电子部件检测装置，其中，

所述盘旋转轴的中心形成有透光孔，

所述第二镜子设置在所述第二镜子支撑构件上，使得反射从所述第一镜子入射的光，并穿过所述透光孔。

11.根据权利要求1所述的电子部件检测装置，其中，

还包括部件待机部，所述部件待机部等待待检测电子部件或检测后的电子部件。

12.根据权利要求11所述的电子部件检测装置，其中，

所述部件待机部包括，

第一部件嵌合构件，形成有嵌合电子部件的某一部分的第一嵌合槽；

第二部件嵌合构件，形成有嵌合电子部件的另一部分的第二嵌合槽；及

嵌合构件移动单元，移动所述第一部件嵌合构件和所述第二部件嵌合构件中的一个。

13.根据权利要求11所述的电子部件检测装置，其中，还包括，

部件把持器，所述部件把持器把持所述电子部件；

部件移动部，使所述部件把持器在所述部件待机部和所述反射部之间移动的前后方向、与所述前后方向垂直的左右方向和所述前后方向和与每个所述左右方向垂直的上下方向上移动。

14.根据权利要求13所述的电子部件检测装置，其中，

所述部件把持器包括，

把持所述电子部件的把持手；

支撑所述把持手的把持体体；及

设置在所述把持体上用于旋转所述把持手的把持手旋转单元。

15.根据权利要求13所述的电子部件检测装置，其中，

所述部件移动部包括，

移动部底座，支撑所述反射部、所述旋转部和所述部件待机部；

前后方向移动本体，设置在所述移动部底座上，向所述前后方向上移动；及

左右方向移动本体，设置在所述前后方向移动本体上，向所述左右方向移动，并设置为所述部件把持器向所述上下方向可移动。

16.根据权利要求15所述的电子部件检测装置，其中，

所述部件移动部还包括，

前后方向移动驱动单元，设置在所述移动部底座上，使得连接至所述前后方向移动本体，并将所述前后移动本体向所述前后方向移动；

左右方向移动驱动单元，设置在所述前后方向移动本体上，使得连接至所述左右方向移动本体，并将所述左右方移动本体向所述左后方向移动；及

上下方向移动驱动单元，设置在所述左右方向移动本体，使得连接至所述部件把持器，并将所述部件把持器向所述上下方向移动。

17.根据权利要求1所述的电子部件检测装置，其中，还包括，

部件拍摄部，所述部件拍摄部包括相机，设置在所述反射光输出部，用于拍摄经过所述光移动路径的光。

18.根据权利要求1所述的电子部件检测装置，其中，还包括，

鼓风机，向所述电子部件喷射空气以去除附着在所述电子部件上的异物。