CN117637516B - 一种硅通孔的测试结构 - Google Patents

Abstract

本发明涉及半导体技术领域，具体提供一种硅通孔的测试结构，包括测试装置、底座以及基板，底座固接于测试装置底壁，基板上开设有硅通孔和限位槽，测试装置内开设有测试腔，测试腔内设有测试机构和除尘机构，底座上设有夹持固定机构，基板连接于测试机构上，测试装置内设有处理模块。本发明对基板的硅通孔进行测试前能够对基板进行清洁灰尘，且不需要人工手动插入探针卡于硅通孔内，自动进行测试，方便快捷，设计巧妙，联动性高，实用性高，提高测试的效率。

Description

一种硅通孔的测试结构

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，具体涉及一种硅通孔的测试结构。

背景技术

中国专利公告号为CN210604723U，公布日为2020年05月22日，专利名称为“一种三维封装芯片硅通孔的测试装置”的实用新型专利申请，针对现有的测试装置不便于对探针卡进行移动，且不便于对待测晶圆进行固定的问题，现提出如下方案，其包括底座和位于底座上的探针卡，所述底座的底部固定安装有两个对称设置的竖板，竖板的顶部固定安装有同一个横梁，两个竖板相互靠近的一侧滑动安装有同一个连接座，且探针卡固定安装在连接座的底部，底座的顶部固定安装有承载座，承载座的顶部开设有放置槽，放置槽内放置有待测晶圆，连接座的底部固定安装有两个对称设置的竖杆，最终便于探针卡进行移动，且能够在探针卡移动的同时对待测晶圆进行固定，从而方便人们的检测。

但上述专利中，待测晶圆基板在测试前往往会沾染灰尘，从而影响探针卡和硅通孔的接触，影响测试结果。

发明内容

针对上述技术问题，本发明旨在提供一种硅通孔的测试结构，为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案来实现：

一种硅通孔的测试结构，包括测试装置、底座以及基板，底座固接于测试装置底壁，基板上开设有硅通孔和限位槽，测试装置内开设有测试腔，测试腔内设有测试机构和除尘机构；

除尘机构包括风机，风机设于测试腔侧壁；测试机构包括测试器、传动线、传动滑轮、第三永磁铁、按杆、限位片、连接座以及两个转动机构，底座上设有夹持固定机构，基板连接于测试机构上，测试装置内设有处理模块。

有益地，所述测试装置顶壁开设有进物孔，进物孔连通所述测试腔顶壁；

测试器滑动连接于测试腔后壁，测试器底壁设有探针卡，测试器上开设有第二通道和斜面缺口，第二通道内壁滑动连接有挡尘片，挡尘片下端延伸至测试器下方，挡尘片上端固接有第一连接片，第一连接片底壁和测试器顶壁相抵，传动滑轮转动连接于测试腔后壁，第三永磁铁滑动连接于测试腔侧壁，传动线一端和测试器顶壁固接，传动线另一端绕过传动滑轮和第三永磁铁顶壁固接，按杆固接于第三永磁铁顶壁，限位片固接于测试腔侧壁，第三永磁铁和限位片相抵，连接座固接于测试腔底壁；

连接座侧壁开设有连接槽，连接槽顶壁开设有第一传动槽，第一传动槽侧壁滑动连接有第二楔形块，第二楔形块通过第三弹性件和第一传动槽顶壁连接，第二楔形块顶壁固接有连接棒，连接棒上端延伸至连接座上方，连接棒上端固接有第四永磁铁，第四永磁铁和第三永磁铁磁性连接，连接座顶壁滑动连接有滑板，滑板侧壁固接有第三楔形块，第三楔形块顶壁和测试器底壁相抵，滑板通过第四弹性件和测试腔侧壁连接；

转动机构包括基座、限位条、第一永磁铁、第二永磁铁、第一弹性件、滑块、L形杆、连接耳、第二弹性件以及固定片，基座转动连接于滑块上，基座上开设有插槽，基座外侧壁通过第一通道和插槽侧壁连通，限位条滑动连接于第一通道内壁，第一永磁铁固接于限位条上，第一永磁铁通过第一弹性件和基座外侧壁连接，第二永磁铁固接于测试腔后壁，滑块滑动连接于测试腔底壁，连接耳固接于测试腔底壁，基座以及连接耳分别和L形杆转动连接，固定片固接于测试腔底壁，固定片通过第二弹性件和滑块连接；

其中一个滑块上固接有锁片、推条以及受风板，锁片顶壁固接有第一楔形块；

所述基板插入两个插槽内，所述限位槽设有两个，两个限位条分别插入两个限位槽内。

有益地，所述底座上开设有连通底座侧壁的传动腔，传动腔顶壁开设有第三通道，传动腔底壁开设有第二传动槽；

所述夹持固定机构包括延伸板、第五楔形块、滑条、第七弹性件以及限位板，延伸板上开设有连通延伸板底壁的收纳腔，收纳腔侧壁通过第四通道和延伸板外侧壁连通，收纳腔后壁通过转轴转动连接有夹杆，夹杆底壁固接有弹性缓冲块，夹杆通过第五弹性件和收纳腔顶壁连接，第四通道内壁滑动连接有传动杆，传动杆左端延伸至传动腔内，传动杆右端延伸至收纳腔内，传动杆上固接有第二连接片和第四楔形块，第二连接片位于收纳腔内，第二连接片通过第六弹性件和收纳腔侧壁连接，第四楔形块位于传动腔内；

限位板固接于延伸板顶壁，滑条滑动连接于第二传动槽侧壁，第五楔形块固接于滑条上端，第五楔形块延伸至传动腔内，滑条下端延伸至底座下方，第五楔形块通过第七弹性件和第二传动槽底壁连接。

有益地，所述测试腔底壁固接有测距传感器。

有益地，所述测试腔后壁固接有滑轨，所述测试器滑动连接于滑轨上。

有益地，所述弹性缓冲块是硅胶块。

有益地，所述第五弹性件是扭簧。

本发明具有以下有益效果为：

把进物孔设于测试装置顶壁，因为测试时人的视线是从上往下看，方便用户放置基板于测试机构上，通过一个风机即可对基板上的灰尘进行清理，竖直放置的基板可以防止灰尘重新掉落回基板上，风机还可以使基板转变为水平状态，且自动使测试器下降，探针卡插入基板的硅通孔内进行测试，不需要人工手动插入探针卡，不需要借助额外电力驱动部件，仅需按下按杆即可使测试机构复位，方便快捷，设计巧妙，联动性高，实用性高，提高测试效率；

能够通过左右移动延伸板，然后把底座放置于桌面上，即可实现非夹持和夹持两种状态，不需要借助电力驱动部件，也不需要传统夹持那样，利用人工费力地掰开夹子进行夹持，提高测试时测试装置的稳定性，提高测试质量。

附图说明

利用附图对本发明作进一步说明，但附图中的实施例不构成对本发明的任何限制，对于本领域的普通技术人员，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据以下附图获得其它的附图。

图1是本发明一种硅通孔的测试结构的结构示意图；

图2是本发明图1中连接座的放大图；

图3是本发明图1中基座的结构示意图；

图4是本发明图3中基座的立体图；

图5是本发明图1中转动机构的右视图。

附图标记：1、测试装置；2、底座；3、测试腔；4、进物孔；5、风机；6、基板；7、硅通孔；8、限位槽；9、基座；10、插槽；11、第一通道；12、限位条；13、第一永磁铁；131、第二永磁铁；14、第一弹性件；15、滑块；151、锁片；152、第一楔形块；153、推条；16、L形杆；17、连接耳；18、受风板；19、测距传感器；20、第二弹性件；21、固定片；22、测试器；23、探针卡；24、挡尘片；25、第一连接片；26、第二通道；27、斜面缺口；28、传动线；29、传动滑轮；30、第三永磁铁；31、按杆；32、限位片；33、连接座；34、连接槽；35、第一传动槽；36、第二楔形块；37、第三弹性件；38、连接棒；39、第四永磁铁；40、滑板；41、第三楔形块；42、第四弹性件；43、滑轨；44、传动腔；45、第三通道；46、第二传动槽；47、延伸板；48、收纳腔；49、夹杆；50、转轴；51、弹性缓冲块；52、第五弹性件；53、第四通道；54、传动杆；55、第二连接片；56、第六弹性件；57、第四楔形块；58、第五楔形块；59、滑条；60、第七弹性件；61、限位板。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明的描述中，需要说明的是，术语“竖直”、“上”、“下”、“水平”等指示的方位或者位置关系为基于附图所示的方位或者位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或者暗示所指的装置或者元件必须具有特定的方位，以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，“第一”、“第二”、“第三”、“第四”仅用于描述目的，而不能理解为指示或者暗示相对重要性。

本发明的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限制，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接，可以是机械连接，也可以是电连接，可以是直接连接，也可以是通过中间媒介相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

如图1-图5所示，一种硅通孔的测试结构，包括测试装置1、底座2以及基板6，底座2固接于测试装置1底壁，基板6上开设有硅通孔7和限位槽8，测试装置1内开设有测试腔3，测试腔3内设有测试机构和除尘机构，底座2上设有夹持固定机构，基板6连接于测试机构上，测试装置1内设有处理模块。

根据本发明的一种可选的实施方式中，所述除尘机构包括风机5，风机5设于所述测试腔3侧壁。

根据本发明的一种可选的实施方式中，所述测试装置1顶壁开设有进物孔4，进物孔4连通所述测试腔3顶壁；

测试机构包括测试器22、传动线28、传动滑轮29、第三永磁铁30、按杆31、限位片32、连接座33以及两个转动机构，测试器22滑动连接于测试腔3后壁，测试器22底壁设有探针卡23，测试器22上开设有第二通道26和斜面缺口27，第二通道26内壁滑动连接有挡尘片24，挡尘片24下端延伸至测试器22下方，挡尘片24上端固接有第一连接片25，第一连接片25底壁和测试器22顶壁相抵，传动滑轮29转动连接于测试腔3后壁，第三永磁铁30滑动连接于测试腔3侧壁，传动线28一端和测试器22顶壁固接，传动线28另一端绕过传动滑轮29和第三永磁铁30顶壁固接，按杆31固接于第三永磁铁30顶壁，限位片32固接于测试腔3侧壁，第三永磁铁30和限位片32相抵，连接座33固接于测试腔3底壁；

连接座33侧壁开设有连接槽34，连接槽34顶壁开设有第一传动槽35，第一传动槽35侧壁滑动连接有第二楔形块36，第二楔形块36通过第三弹性件37和第一传动槽35顶壁连接，第二楔形块36顶壁固接有连接棒38，连接棒38上端延伸至连接座33上方，连接棒38上端固接有第四永磁铁39，第四永磁铁39和第三永磁铁30磁性连接，连接座33顶壁滑动连接有滑板40，滑板40侧壁固接有第三楔形块41，第三楔形块41顶壁和测试器22底壁相抵，滑板40通过第四弹性件42和测试腔3侧壁连接；

转动机构包括基座9、限位条12、第一永磁铁13、第二永磁铁131、第一弹性件14、滑块15、L形杆16、连接耳17、第二弹性件20以及固定片21，基座9转动连接于滑块15上，基座9上开设有插槽10，基座9外侧壁通过第一通道11和插槽10侧壁连通，限位条12滑动连接于第一通道11内壁，第一永磁铁13固接于限位条12上，第一永磁铁13通过第一弹性件14和基座9外侧壁连接，第二永磁铁131固接于测试腔3后壁，滑块15滑动连接于测试腔3底壁，连接耳17固接于测试腔3底壁，基座9以及连接耳17分别和L形杆16转动连接，固定片21固接于测试腔3底壁，固定片21通过第二弹性件20和滑块15连接；

其中一个滑块15上固接有锁片151、推条153以及受风板18，锁片151顶壁固接有第一楔形块152；

所述基板6插入两个插槽10内，所述限位槽8设有两个，两个限位条12分别插入两个限位槽8内。

根据本发明的一种可选的实施方式中，所述底座2上开设有连通底座2侧壁的传动腔44，传动腔44顶壁开设有第三通道45，传动腔44底壁开设有第二传动槽46；

所述夹持固定机构包括延伸板47、第五楔形块58、滑条59、第七弹性件60以及限位板61，延伸板47上开设有连通延伸板47底壁的收纳腔48，收纳腔48侧壁通过第四通道53和延伸板47外侧壁连通，收纳腔48后壁通过转轴50转动连接有夹杆49，夹杆49底壁固接有弹性缓冲块51，夹杆49通过第五弹性件52和收纳腔48顶壁连接，第四通道53内壁滑动连接有传动杆54，传动杆54左端延伸至传动腔44内，传动杆54右端延伸至收纳腔48内，传动杆54上固接有第二连接片55和第四楔形块57，第二连接片55位于收纳腔48内，第二连接片55通过第六弹性件56和收纳腔48侧壁连接，第四楔形块57位于传动腔44内；

限位板61固接于延伸板47顶壁，滑条59滑动连接于第二传动槽46侧壁，第五楔形块58固接于滑条59上端，第五楔形块58延伸至传动腔44内，滑条59下端延伸至底座2下方，第五楔形块58通过第七弹性件60和第二传动槽46底壁连接。

根据本发明的一种可选的实施方式中，所述测试腔3底壁固接有测距传感器19。

根据本发明的一种可选的实施方式中，所述测试腔3后壁固接有滑轨43，所述测试器22滑动连接于滑轨43上。

实施例一：

初始状态时，两个第一永磁铁13被第二永磁铁131往右吸引，两个限位条12不插入插槽10内；

把基板6沿着进物孔4右壁垂直插入进物孔4内，即可使基板6插入两个插槽10内，当测距传感器19检测到基板6的靠近时，处理模块获取到测距传感器19的信息，处理模块控制风机5启动，风机5产生风，风吹向基板6和受风板18，基板6外壁以及硅通孔7内的灰尘会被吹走，从而达到清洁效果，以便于提高后续测试的准确性，防止灰尘影响测试，挡尘片24可以防止风把灰尘吹至探针卡23上，受风板18受到风力往左移动，从而带动两个滑块15左移，此过程中，通过L形杆16的带动，会使基板6以及两个基座9由竖直状态变为水平状态，两个第一永磁铁13失去第二永磁铁131的磁力，从而使限位条12在第一弹性件14弹力作用下插入限位槽8内，防止基板6在插槽10内发生位移，提高基板6稳定性，第一楔形块152插入连接槽34内，第一楔形块152移动至第二楔形块36左方，推条153推动滑板40左移，第三楔形块41解除对测试器22的限位，测试器22质量大于第三永磁铁30，测试器22在自身重力作用下沿着滑轨43下移，从而通过传动线28拉动第三永磁铁30上移，第四永磁铁39失去第三永磁铁30磁力后，第二楔形块36在第三弹性件37弹力作用下往下移动，从而对第一楔形块152和滑块15进行限位，使基板6保持当前水平状态，测试器22下移后，探针卡23会插入基板6上的硅通孔7进行测试，挡尘片24会被基板6顶起，停止风机5的运行，测试数据传输至处理模块进行分析和处理，处理模块可以把测试结果通过无线模块传输至外部终端设备，或者把测试结果直接显示于显示屏上，供用户记录和参考。

当测试完毕后，按下按杆31，带动第三永磁铁30下移复位，测试器22上移复位，挡尘片24在自身重力下掉落复位，探针卡23脱离硅通孔7，当第三永磁铁30和限位片32相抵后，第三永磁铁30把第四永磁铁39往上吸附，从而使第二楔形块36上移，第二楔形块36解除对第一楔形块152和滑块15的限位，滑块15在第二弹性件20弹力作用下右移复位，基板6由水平状态变为竖直状态，第二永磁铁131对两个第一永磁铁13进行磁力吸附，两个限位条12脱离限位槽8，用户即可取出基板6，完成单个基板6的整个硅通孔测试过程。

本实施例把进物孔4设于测试装置1顶壁，因为测试时人的视线是从上往下看，方便用户放置基板6于测试机构上，通过一个风机5即可对基板6上的灰尘进行清理，竖直放置的基板6可以防止灰尘重新掉落回基板6上，风机5还可以使基板6转变为水平状态，且自动使测试器22下降，探针卡23插入基板6的硅通孔7内进行测试，不需要人工手动插入探针卡23，不需要借助额外电力驱动部件，仅需按下按杆31即可使测试机构复位，方便快捷，设计巧妙，联动性高，实用性高，提高测试效率。

根据本发明的一种可选的实施方式中，所述弹性缓冲块51是硅胶块。

根据本发明的一种可选的实施方式中，所述第五弹性件52是扭簧。

实施例二：

当不需要对桌面进行夹持时，限位板61左壁和第三通道45左壁相抵，延伸板47收纳于传动腔44内，把底座2放置于桌面上，桌面推动滑条59和第五楔形块58上移，收纳腔48不与第四楔形块57相抵，因此延伸板47不会有任何联动。

当需要让底座2对桌面进行夹持时，把延伸板47往右拉出传动腔44外，直至限位板61右壁和第三通道45右壁相抵，把底座2放置于桌面边缘位置，桌面推动滑条59和第五楔形块58上移，第五楔形块58推动第四楔形块57左移，从而使传动杆54克服第六弹性件56弹力左移，传动杆54解除对夹杆49的限位，夹杆49在第五弹性件52的弹力作用下围绕着转轴50顺时针转动，从而使弹性缓冲块51和桌面底壁相抵，从而完成夹持固定，防止测试装置1在测试过程中发生位移，影响测试质量。

本实施例能够通过左右移动延伸板47，然后把底座2放置于桌面上，即可实现非夹持和夹持两种状态，不需要借助电力驱动部件，也不需要传统夹持那样，利用人工费力地掰开夹子进行夹持，提高测试时测试装置1的稳定性，提高测试质量。

本发明没有详细描述结构的部件、模块、机构以及装置均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。

最后应当说明的是，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对本发明保护范围的限制，尽管参照较佳实施例对本发明作了详细地说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本发明的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本发明技术方案的实质和范围。

Claims (6)

1.一种硅通孔的测试结构，其特征在于，包括测试装置（1）、底座（2）以及基板（6），底座（2）固接于测试装置（1）底壁，基板（6）上开设有硅通孔（7）和限位槽（8），测试装置（1）内开设有测试腔（3），测试腔（3）内设有测试机构和除尘机构；除尘机构包括风机（5），风机（5）设于测试腔（3）侧壁；测试机构包括测试器（22）、传动线（28）、传动滑轮（29）、第三永磁铁（30）、按杆（31）、限位片（32）、连接座（33）以及两个转动机构，底座（2）上设有夹持固定机构，基板（6）连接于测试机构上，测试装置（1）内设有处理模块；

测试装置（1）顶壁开设有进物孔（4），进物孔（4）连通测试腔（3）顶壁；

测试器（22）滑动连接于测试腔（3）后壁，测试器（22）底壁设有探针卡（23），测试器（22）上开设有第二通道（26）和斜面缺口（27），第二通道（26）内壁滑动连接有挡尘片（24），挡尘片（24）下端延伸至测试器（22）下方，挡尘片（24）上端固接有第一连接片（25），第一连接片（25）底壁和测试器（22）顶壁相抵，传动滑轮（29）转动连接于测试腔（3）后壁，第三永磁铁（30）滑动连接于测试腔（3）侧壁，传动线（28）一端和测试器（22）顶壁固接，传动线（28）另一端绕过传动滑轮（29）和第三永磁铁（30）顶壁固接，按杆（31）固接于第三永磁铁（30）顶壁，限位片（32）固接于测试腔（3）侧壁，第三永磁铁（30）和限位片（32）相抵，连接座（33）固接于测试腔（3）底壁；

连接座（33）侧壁开设有连接槽（34），连接槽（34）顶壁开设有第一传动槽（35），第一传动槽（35）侧壁滑动连接有第二楔形块（36），第三弹性件（37）设置在第二楔形块（36）的上表面，第二楔形块（36）通过第三弹性件（37）和第一传动槽（35）顶壁连接，第二楔形块（36）顶壁固接有连接棒（38），连接棒（38）上端延伸至连接座（33）上方，连接棒（38）上端固接有第四永磁铁（39），第四永磁铁（39）和第三永磁铁（30）磁性连接，连接座（33）顶壁滑动连接有滑板（40），滑板（40）侧壁固接有第三楔形块（41），第三楔形块（41）顶壁和测试器（22）底壁相抵，第四弹性件（42）设置在滑板（40）的侧面，滑板（40）通过第四弹性件（42）和测试腔（3）侧壁连接；

转动机构包括基座（9）、限位条（12）、第一永磁铁（13）、第二永磁铁（131）、第一弹性件（14）、滑块（15）、L形杆（16）、连接耳（17）、第二弹性件（20）以及固定片（21），基座（9）转动连接于滑块（15）上，基座（9）上开设有插槽（10），第一通道（11）贯穿基座（9）的侧壁，基座（9）外侧壁通过第一通道（11）和插槽（10）侧壁连通，限位条（12）滑动连接于第一通道（11）内壁，第一永磁铁（13）固接于限位条（12）上，第一永磁铁（13）通过第一弹性件（14）和基座（9）外侧壁连接，第二永磁铁（131）固接于测试腔（3）后壁，滑块（15）滑动连接于测试腔（3）底壁，连接耳（17）固接于测试腔（3）底壁，基座（9）以及连接耳（17）分别和L形杆（16）转动连接，固定片（21）固接于测试腔（3）底壁，固定片（21）通过第二弹性件（20）和滑块（15）连接；

其中一个滑块（15）上固接有锁片（151）、推条（153）以及受风板（18），锁片（151）顶壁固接有第一楔形块（152）；

基板（6）插入两个插槽（10）内，限位槽（8）设有两个，两个限位条（12）分别插入两个限位槽（8）内。

2.根据权利要求1所述的一种硅通孔的测试结构，其特征在于，底座（2）上开设有连通底座（2）侧壁的传动腔（44），传动腔（44）顶壁开设有第三通道（45），传动腔（44）底壁开设有第二传动槽（46）；

夹持固定机构包括延伸板（47）、第五楔形块（58）、滑条（59）、第七弹性件（60）以及限位板（61），延伸板（47）上开设有连通延伸板（47）底壁的收纳腔（48），第四通道（53）贯穿延伸板（47）的侧壁，收纳腔（48）侧壁通过第四通道（53）和延伸板（47）外侧壁连通，转轴（50）位于收纳腔（48）内，收纳腔（48）后壁通过转轴（50）转动连接有夹杆（49），夹杆（49）底壁固接有弹性缓冲块（51），第五弹性件（52）位于收纳腔（48）内，夹杆（49）通过第五弹性件（52）和收纳腔（48）顶壁连接，第四通道（53）内壁滑动连接有传动杆（54），传动杆（54）左端延伸至传动腔（44）内，传动杆（54）右端延伸至收纳腔（48）内，传动杆（54）上固接有第二连接片（55）和第四楔形块（57），第二连接片（55）位于收纳腔（48）内，第六弹性件（56）套设在传动杆（54）上靠近第二连接片（55）的一侧，第二连接片（55）通过第六弹性件（56）和收纳腔（48）侧壁连接，第四楔形块（57）位于传动腔（44）内；

限位板（61）固接于延伸板（47）顶壁，滑条（59）滑动连接于第二传动槽（46）侧壁，第五楔形块（58）固接于滑条（59）上端，第五楔形块（58）延伸至传动腔（44）内，滑条（59）下端延伸至底座（2）下方，第五楔形块（58）通过第七弹性件（60）和第二传动槽（46）底壁连接。

3.根据权利要求2所述的一种硅通孔的测试结构，其特征在于，测试腔（3）底壁固接有测距传感器（19）。

4.根据权利要求3所述的一种硅通孔的测试结构，其特征在于，测试腔（3）后壁固接有滑轨（43），测试器（22）滑动连接于滑轨（43）上。

5.根据权利要求4所述的一种硅通孔的测试结构，其特征在于，弹性缓冲块（51）是硅胶块。

6.根据权利要求5所述的一种硅通孔的测试结构，其特征在于，第五弹性件（52）是扭簧。