CN117571817A - 一种基于悬臂梁和光反射的甲醛探测系统 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及甲醛探测技术领域,具体涉及一种基于悬臂梁和光反射的甲醛探测系统,包括悬臂梁系统、光学系统、敏感材料。悬臂梁系统包括底座、悬臂梁、振源、传感器。传感器用于探测悬臂梁的共振频率。光学系统包括光源、光探测器。敏感材料固定在悬臂梁上,敏感材料与甲醛反应,改变悬臂梁的共振频率。光源发出的光照射敏感材料,经敏感材料反射后,被光探测器收集。本发明在悬臂梁上引入敏感材料,敏感材料与甲醛反应或吸附甲醛后,敏感材料的力学特性发生变化,从而改变了悬臂梁的共振频率;另外,敏感材料吸附甲醛或者与甲醛反应后,改变了颜色。本发明从共振频率和颜色两方面实现甲醛探测,具有更高的灵敏度和准确性。

Description

一种基于悬臂梁和光反射的甲醛探测系统
技术领域
本发明涉及甲醛探测技术领域,具体涉及一种基于悬臂梁和光反射的甲醛探测系统。
背景技术
甲醛是一种广泛存在于室内环境中的挥发性有机化合物,来源包括家具、建筑材料、装饰品等。长期暴露于高浓度的甲醛环境可能对人体健康造成潜在威胁,包括但不限于呼吸系统疾病、皮肤过敏等。因此,对室内甲醛浓度的实时监测变得尤为重要。
传统的甲醛探测方法主要包括气相色谱法、光谱法和电化学法等(FormaldehydeGas Sensors: A Review, Sensors, 2013, 13(4), 4468-4484; FormaldehydeDetection Methods: A Review, Sensors and Actuators B: Chemical, 2018, 263,316-325; Recent Advances in Formaldehyde Sensing Technologies, Sensors andActuators B: Chemical, 2019, 281, 276-290)。这些方法在一定程度上可以实现对甲醛的检测,然而,它们普遍存在一些缺点:传统的气相色谱法对设备体积大、响应时间慢、操作复杂等问题,限制了其在实时监测中的应用。光谱法虽然灵敏度高,但仍然受到设备昂贵、需要专业人员操作和对环境光干扰等问题的制约,使其在大规模实时监测中应用受限。传统的电化学法由于其灵敏度和稳定性相对较低,容易受到干扰,使其在实际应用中存在一定的局限性。
面对传统甲醛探测方法的种种限制,迫切需要探索新原理的甲醛探测技术。通过引入新的技术原理,可以实现对甲醛浓度更加准确、高效、实时的监测,提高甲醛探测技术的可行性和实用性。另一方面,传统甲醛探测技术通常只基于一种检测原理,如光学效应或电化学效应,而无法全面、准确地获取有关甲醛浓度的信息。因此,探索同时基于两种效应的甲醛探测技术显得尤为重要。结合多种检测原理,可以提高甲醛探测的综合性能,增强其在实际应用中的适用性。
发明内容
为解决以上问题,本发明提供了一种基于悬臂梁和光反射的甲醛探测系统,包括悬臂梁系统、光学系统、敏感材料。悬臂梁系统包括底座、悬臂梁、振源、传感器。传感器用于探测悬臂梁的共振频率。光学系统包括光源、光探测器。敏感材料固定在悬臂梁上,敏感材料与甲醛反应,改变悬臂梁的共振频率。光源发出的光照射敏感材料,经敏感材料反射后,被光探测器收集。敏感材料与甲醛的反应,还改变了敏感材料的光反射特性。
本发明在悬臂梁上引入敏感材料,敏感材料与甲醛反应或吸附甲醛后,敏感材料的力学特性发生变化,从而改变了悬臂梁的共振频率;另外,敏感材料吸附甲醛或者与甲醛反应后,改变了颜色。本发明从共振频率和颜色两方面实现甲醛探测,具有更高的灵敏度。
更进一步地,敏感材料为木质纤维。
更进一步地,光源发射连续光谱,光探测器探测敏感材料的反射光谱。
更进一步地,振源采用电磁激励、压电激励、声波激励、机械激励或光学激励。
更进一步地,悬臂梁的材料为硅、铝、金属合金、半导体、金刚石。
更进一步地,木质纤维粘附在悬臂梁上。
更进一步地,木质纤维的方向沿悬臂梁的方向,以增强木质纤维与悬臂梁之间的作用。
更进一步地,悬臂梁上设有凹槽,木质纤维设置在凹槽内。
更进一步地,凹槽的截面为V形,凹槽沿悬臂梁方向。
更进一步地,凹槽延伸至悬臂梁的自由端。
本发明的有益效果:
(1)本发明在悬臂梁上设置敏感材料,敏感材料与甲醛反应或吸附甲醛后,敏感材料的力学特性发生变化,从而改变了悬臂梁的共振频率;另外,敏感材料吸附甲醛或者与甲醛反应后,改变了颜色。本发明从共振频率和颜色两方面实现甲醛探测,具有更高的灵敏度和准确性。
(2)本发明在将木质纤维的方向设置为悬臂梁方向,更多地改变了悬臂梁整体结构的弹性系数,更多地改变了悬臂梁的共振频率,提高了甲醛探测的灵敏度。
(3)本发明在悬臂梁上设置凹槽,将木质纤维设置在凹槽内,气体被限制在凹槽内,增强了甲醛与木质纤维的吸附作用,甲醛能够更多地改变木质纤维的力学特性和光学特性,提高了甲醛探测的灵敏度。
综合以上效果,本发明在甲醛探测技术领域具有良好的应用前景。
以下将结合附图对本发明做进一步详细说明。
附图说明
图1是一种悬臂梁和敏感材料位置的示意图。
图2是一种具有凹槽的悬臂梁的截面图。
图中:1、悬臂梁;2、敏感材料;11、固定端;12、自由端。
具体实施方式
为使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下参照附图并举实施例,对本申请作进一步详细说明。
本发明提供了一种基于悬臂梁和光反射的甲醛探测系统,包括悬臂梁系统、光学系统、敏感材料。悬臂梁系统包括底座、悬臂梁、振源、传感器。悬臂梁的材料为硅、铝、金属合金、半导体、金刚石。悬臂梁的长度大于10微米、小于1000微米,悬臂梁的宽度大于1微米、小于100微米,悬臂梁的厚度大于1微米、小于40微米。悬臂梁固定在底座上,底座的长度大于100微米、小于1000微米,底座的宽度大于10微纳、小于1000微米,底座的厚度大于50微米、小于500微米。振源作用到悬臂梁上,迫使悬臂梁振动。振源可以采用电磁激励(在悬臂梁上放置电磁激励器,通过电磁力使悬臂梁振动)、压电激励(利用压电材料,将压电陶瓷或晶体片附加到悬臂梁上,通过应用电场来激发压电材料,从而引起悬臂梁的振动)、声波激励(利用声波源产生的声波作用于悬臂梁,使得悬臂梁振动)、机械激励(通过直接施加机械力或震动源到悬臂梁上,使得悬臂梁振动)或光学激励(使用光学激励器,通过激光束或其他光学手段,将能量传递到悬臂梁上)。压电激励是利用压电材料将电能转换为机械振动,能够实现能量的高效转换,压电激励也可以实现精密振动控制,还具有体积小、重量轻、频率易调节等优点。本发明优选振源采用压电激励,除上述优点外,还免除了其他激励源影响甲醛分布。传感器用于探测悬臂梁的共振频率。测量悬臂梁的共振频率时,首先激励悬臂梁到振动状态;然后放置一个或多个传感器以监测悬臂梁的振动,传感器可以是振动传感器、加速度传感器、位移传感器等;然后通过适当的数据采集系统,记录传感器输出的信号,对记录的数据进行频谱分析,通过傅里叶变换等方法将信号从时域转换到频率,在频域中,识别共振频率的峰值。敏感材料固定在悬臂梁上,敏感材料与甲醛反应,改变悬臂梁的共振频率。总之,悬臂梁系统用于探测敏感材料吸附甲醛或和甲醛反应后,悬臂梁共振频率的变化,从力学角度实现甲醛探测。光学系统包括光源、光探测器;光源发出的光照射敏感材料,经敏感材料反射后,被光探测器收集,敏感材料与甲醛的反应,还改变了敏感材料的光反射特性。光学系统用于探测敏感材料吸附甲醛或和甲醛反应后,敏感材料的光学特性变化,从光学角度实现甲醛探测。
本发明在悬臂梁上设置敏感材料。敏感材料与甲醛反应或吸附甲醛后,敏感材料的力学特性发生变化,从而改变了悬臂梁的共振频率。另外,敏感材料吸附甲醛或者与甲醛反应后,敏感材料改变了颜色或者说改变了光学特性。本发明从力学特性和光学特性两方面实现甲醛探测,具有更高的灵敏度。当敏感材料吸附甲醛后或和甲醛反应后,只要能够改变自身的力学特性和光学特性,均能实现本发明的核心构思,这样的敏感材料也均在本发明的保护范围之内。
优选地,敏感材料为木质纤维,具体地,木质纤维粘附在悬臂梁上,所用的胶水为环氧树脂胶水、聚氨酯胶水、甲基丙烯酸纸胶水、硅橡胶。优选地,胶水中掺杂有活性炭。活性炭具有良好吸附甲醛的性能,将活性炭添加到胶水中,可以使胶水具有一定的吸附甲醛的能力,从而使得木质纤维也吸附更多的甲醛。木质纤维来自阔叶树种,例如白蜡木、橡木、枫木等,这些树种的木质纤维具有较好的吸附甲醛能力。另外,木质纤维还可以为竹材纤维和一些经过特殊处理的木材,如热处理、醋酸处理等,增强了木材的吸附性能。如图1所示,木质纤维2设置在悬臂梁1上,靠近自由端12、远离固定端11。木质纤维的结构是多孔的,包含许多微小的孔隙和纤维间隙。这些孔隙提供了较大的表面积,有助于甲醛分子的吸附。孔隙结构有助于增加与甲醛分子接触的表面积,从而提高吸附效率。另外,木质纤维的成分主要是纤维素、半纤维素和木质素等,这些天然的生物聚合物具有与甲醛分子相互作用的亲和性。特别是纤维素中含有大量的羟基,这些羟基可以与甲醛发生氢键相互作用,增加甲醛在木质纤维上的吸附能力。在甲醛环境中,木质纤维2中的纤维结构与甲醛发生缩合反应,导致木质纤维2变得更加坚硬和坚固,改变了木质纤维2的弹性系数,提高了悬臂梁1的共振频率。悬臂梁1的共振频率可以通过经典的振动理论来描述。一般来说,悬臂梁1的共振频率f与其长度L、杨氏模量E、截面惯性矩I和质量m之间存在关系。如果在悬臂梁1上附着了一个额外的材料,这个材料的硬度变化会影响到截面惯性矩I或杨氏模量E。具体地,悬臂梁共振频率的公式为:
其中:f是共振频率(Hz),L是悬臂梁的长度(m),E是杨氏模量(Pa),I是截面惯性矩(m^4),m是悬臂梁的质量(kg)。
在本发明中,木质纤维2吸附甲醛后,不仅改变了自身的硬度,而且甲醛与木质纤维2中的羟基反应形成甲醛脲,降低了木质纤维2的吸湿性,使其更稳定。另外,木质纤维2吸附甲醛后,与甲醛反应,木质纤维2的颜色发生变化,便于应该光学方法测试甲醛的浓度。优选地,悬臂梁1的表面为粗糙状,便于将木质纤维2通过胶水更牢固地粘附在悬臂梁表面。
优选地,光源发射连续光谱,光探测器探测敏感材料的反射光谱。光源可以为白炽灯、Xe弧光灯、激光等离子体光源。光探测器包括光谱仪或分光器。本发明可以采用单色光照射敏感材料,应用光强探测器进行探测,也能监测到敏感材料光学特性的变化。但是,优选地,本发明采用连续谱光谱光源,用光探测器探测敏感材料的反射光谱,能够更全面地反映敏感材料光反射特性的变化,实现更高准确度和灵敏度的甲醛探测。
优选地,如图1所示,木质纤维2的方向沿悬臂梁1的方向。在木质纤维2吸附甲醛变硬时,木质纤维2对悬臂梁1的作用更强,能够更多地改变悬臂梁1的共振频率,从而实现更高灵敏度的甲醛探测。
优选地,悬臂梁1上设有凹槽,木质纤维2设置在凹槽内。凹槽的截面为V形,凹槽沿悬臂梁1方向。木质纤维2贴附在凹槽的侧面,尤其是靠近V形底部的侧面。V形凹槽限制了气流,使得气流中的甲醛能够与木质纤维2更充分作用,更多地改变木质纤维2的力学特性,从而更多地改变悬臂梁1的共振频率。更进一步地,凹槽延伸至悬臂梁1的自由端12。在悬臂梁1振动时,凹槽中的空气从自由端一侧流出,也就是空气能够沿着V形凹槽更好地流动,这样更多空气中的甲醛能够与木质纤维2作用,更多地改变木质纤维2的力学特性,从而实现更高灵敏度的甲醛探测。
优选地,木质纤维2中掺杂有半导体量子点。制作时,可以将木质纤维2浸泡在半导体量子点溶液中,然后晾干。这些半导体量子点可以为CdSe(硒化镉)量子点、CdTe(碲化镉)量子点、InP(磷化铟)量子点、ZnS(硫化锌)量子点、PbS(硫化铅)量子点、碳量子点。这些半导体量子点的尺寸在几纳米至几十纳米之间,根据其荧光特性的需要设计尺寸。在木质纤维2中掺杂半导体量子点,当木质纤维2吸附甲醛时,木质纤维2的硬度改变更大,更多地改变悬臂梁1的共振频率。另一方面,木质纤维2变硬后,也改变了半导体量子点的周围环境,半导体量子点处于更大的压力之中,这些压力改变了半导体量子点的电子结构、能带结构以及晶格参数,从而影响了其光学性质。具体地,增加压力导致半导体量子点的能带结构发生变化,进而导致荧光波长的移动;压力变化还影响了电子和空穴的重新组合速率,进而影响了荧光的强度。因此,在探测木质纤维2反射光谱的基础上,再增设半导体量子点的激发光源和荧光探测装置,对半导体量子点的荧光特性进行探测,识别木质纤维2吸附甲醛后,半导体量子点荧光特性的变化,再从一个新的维度实现甲醛探测,使得甲醛探测具有更高的准确性和灵敏度。
总之,本发明提供了一种基于悬臂梁和光反射的甲醛探测系统,包括悬臂梁系统、光学系统、敏感材料。悬臂梁系统包括底座、悬臂梁1、振源、传感器。传感器用于探测悬臂梁1的共振频率。光学系统包括光源、光探测器。敏感材料固定在悬臂梁1上,敏感材料与甲醛反应,改变悬臂梁1的共振频率。光源发出的光照射敏感材料,经敏感材料反射后,被光探测器收集。本发明在悬臂梁1上引入敏感材料,敏感材料与甲醛反应或吸附甲醛后,敏感材料的力学特性发生变化,从而改变了悬臂梁1的共振频率;另外,敏感材料吸附甲醛或者与甲醛反应后,改变了颜色。本发明从共振频率和颜色两方面实现甲醛探测,具有更高的灵敏度和准确性,在甲醛探测技术领域具有良好的应用前景。
以上所述仅为本申请的较佳实施例而已,并不用以限制本申请,凡在本申请的精神和原则之内,所做的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本申请保护的范围之内。

Claims (10)

1.一种基于悬臂梁和光反射的甲醛探测系统,其特征在于:包括悬臂梁系统、光学系统、敏感材料;所述悬臂梁系统包括底座、悬臂梁、振源、传感器,所述传感器用于探测所述悬臂梁的共振频率;所述光学系统包括光源、光探测器;所述敏感材料固定在所述悬臂梁上,所述敏感材料与甲醛反应,改变所述悬臂梁的共振频率;所述光源发出的光照射所述敏感材料,经所述敏感材料反射后,被所述光探测器收集;所述敏感材料与甲醛的反应,还改变了所述敏感材料的光反射特性。
2.如权利要求1所述的基于悬臂梁和光反射的甲醛探测系统,其特征在于:所述敏感材料为木质纤维。
3.如权利要求2所述的基于悬臂梁和光反射的甲醛探测系统,其特征在于:所述光源发射连续光谱,所述光探测器探测所述敏感材料的反射光谱。
4.如权利要求2所述的基于悬臂梁和光反射的甲醛探测系统,其特征在于:所述振源采用电磁激励、压电激励、声波激励、机械激励或光学激励。
5.如权利要求2所述的基于悬臂梁和光反射的甲醛探测系统,其特征在于:所述悬臂梁的材料为硅、铝、金属合金、半导体、金刚石。
6.如权利要求2所述的基于悬臂梁和光反射的甲醛探测系统,其特征在于:所述木质纤维粘附在悬臂梁上。
7.如权利要求2-6任一项所述的基于悬臂梁和光反射的甲醛探测系统,其特征在于:所述木质纤维的方向沿所述悬臂梁的方向。
8.如权利要求7所述的基于悬臂梁和光反射的甲醛探测系统,其特征在于:所述悬臂梁上设有凹槽,所述木质纤维设置在凹槽内。
9.如权利要求8所述的基于悬臂梁和光反射的甲醛探测系统,其特征在于:所述凹槽的截面为V形,所述凹槽沿所述悬臂梁方向。
10.如权利要求9所述的基于悬臂梁和光反射的甲醛探测系统,其特征在于:所述凹槽延伸至所述悬臂梁的自由端。
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Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1719240A (zh) * 2005-08-05 2006-01-11 黑龙江大学 微悬臂梁谐振式酞菁锌薄膜气体传感器及其制备方法
CN101477029A (zh) * 2009-01-16 2009-07-08 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 提高谐振式超薄悬臂梁传感器灵敏度的表面应力敏感方法
CN102175764A (zh) * 2011-02-24 2011-09-07 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 功能化介孔材料为敏感材料的质量型化学传感器及方法
CN106841067A (zh) * 2017-01-17 2017-06-13 大连理工大学 一种基于选择性波段的气体传感器及其检测方法
CN108169428A (zh) * 2017-12-29 2018-06-15 华南师范大学 一种甲醛气体、湿度和温度集成监测设备
CN108226115A (zh) * 2017-12-29 2018-06-29 华南师范大学 一种用于甲醛气体、湿度和温度多功能检测的纳米复合敏感膜及其制备
CN117368123A (zh) * 2023-09-04 2024-01-09 南京邮电大学 一种悬臂梁式气体传感器的制作方法

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1719240A (zh) * 2005-08-05 2006-01-11 黑龙江大学 微悬臂梁谐振式酞菁锌薄膜气体传感器及其制备方法
CN101477029A (zh) * 2009-01-16 2009-07-08 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 提高谐振式超薄悬臂梁传感器灵敏度的表面应力敏感方法
CN102175764A (zh) * 2011-02-24 2011-09-07 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 功能化介孔材料为敏感材料的质量型化学传感器及方法
CN106841067A (zh) * 2017-01-17 2017-06-13 大连理工大学 一种基于选择性波段的气体传感器及其检测方法
CN108169428A (zh) * 2017-12-29 2018-06-15 华南师范大学 一种甲醛气体、湿度和温度集成监测设备
CN108226115A (zh) * 2017-12-29 2018-06-29 华南师范大学 一种用于甲醛气体、湿度和温度多功能检测的纳米复合敏感膜及其制备
CN117368123A (zh) * 2023-09-04 2024-01-09 南京邮电大学 一种悬臂梁式气体传感器的制作方法

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