CN117524969A - 一种批量装载基片的载具、处理设备及其使用方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开一种批量装载基片的载具、处理设备及其使用方法，其中，该载具设置有处理通道，所述处理通道内设置有至少一个处理工位，所述处理工位包括固定部件和可滑动部件，所述载具包括旁板，所述旁板设置有安装构件，所述安装构件设置有所述第一安装孔，所述第一安装孔用于装配所述可滑动部件。采用上述方案，可滑动部件具体是在安装构件的第一安装孔内进行滑动，而不直接和旁板进行接触，当第一安装孔处发生损坏时，直接对该安装构件进行更换即可，而无需对整个旁板进行整体拆装，维护作业相对简单，效率也可以较高。

Description

一种批量装载基片的载具、处理设备及其使用方法
技术领域
本发明涉及光伏设备技术领域，具体涉及一种批量装载基片的载具、处理设备及其使用方法。
背景技术
在对半导体基片进行镀膜等处理时，需要配置处理设备。在实际生产中，产量因素是重要的考虑因素，待处理基片需要进行批量化准备，在批量化准备时需要设计相应的载具。在对基片的一个面进行例如镀膜等处理时，通常需要将另外一个面遮挡或保护起来，例如在太阳能电池片的生产过程中，在同一腔室内进行大批量基片的同时处理，在保证批量的情形下，还需要对基片的一个面进行遮挡。目前采用的可行的方式是将两个基片叠放，互相利用基片进行遮挡，在该方式下，需要保证两个基片之间的贴合良好，在不贴合良好的情况下会对不期望进行处理的表面进行处理，例如产生绕镀。
为解决上述技术问题，已经设计出了相关的载具，通过固定部件和可滑动部件的相互作用，使两个基片贴合良好。具体来讲，是在载具的旁板上直接开孔，可滑动部件可以在开孔内进行滑动装配，但这种实现方案会造成旁板的直接磨损。当旁板出现严重的磨损损坏时，需要对整个载具进行拆装更换，作业极其繁琐。
另外，在具体操作时，可滑动部件的滑动安装位置也不易进行调控。
因此，如何提供一种方案，以克服或者缓解上述的至少部分缺陷，仍是本领域技术人员亟待解决的技术问题。
发明内容
本发明的目的是提供一种批量装载基片的载具、处理设备及其使用方法，其中，该处理设备包括旁板，旁板设置有安装构件，安装构件设置有第一安装孔，用于实现可滑动部件的安装以及滑动，能够避免可滑动部件对于旁板的直接磨损。
为解决上述技术问题，本发明提供一种批量装载基片的载具，所述载具设置有处理通道，所述处理通道内设置有至少一个处理工位，所述处理工位包括固定部件和可滑动部件，所述载具包括旁板，所述旁板设置有安装构件，所述安装构件设置有所述第一安装孔，所述第一安装孔用于装配所述可滑动部件。
采用上述方案，可滑动部件具体是在安装构件的第一安装孔内进行滑动，而不直接和旁板进行接触，当第一安装孔处发生损坏时，直接对该安装构件进行更换即可，而无需对整个旁板进行整体拆装，维护作业相对简单，效率也可以较高。
可选地，所述安装构件为反应钝化块。
可选地，所述反应钝化块的材质和所述可滑动部件的材质不同。
可选地，所述反应钝化块的材质为不锈钢镀铁氟龙、铝合金、石墨中的任一者。
可选地，所述第一安装孔为台阶孔，所述台阶孔包括小径孔段和大径孔段，所述可滑动部件滑动装配于所述小径孔段。
可选地，沿所述旁板外壁面指向所述旁板内壁面的方向上，所述大径孔段和所述小径孔段依次排布。
可选地，所述可滑动部件为压紧部件。
可选地，所述可滑动部件的外表面配置有反应钝化层。
可选地，所述载具包括相对设置的两个旁板，所述可滑动部件滑动装配于所述旁板，至少一个所述旁板滑动装配有锁件，所述可滑动部件设置有锁槽，所述锁件能够嵌入所述锁槽。
可选地，所述旁板配置有第二安装孔，所述锁件配置在所述第二安装孔内，并能够在所述第二安装孔内进行滑动。
可选地，所述第二安装孔内设置有垫片，在所述旁板的厚度方向上，所述垫片和所述锁件依次布置。
可选地，所述垫片可拆卸地装配于所述旁板，以便更换不同厚度的所述垫片。
本发明还提供一种处理设备，包括加热部件、供气部件、抽气部件和载具，其中，所述载具为上述的批量装载基片的载具。
本发明还提供一种处理设备的使用方法，适用于上述的处理设备，所述可滑动部件为压紧部件，所述使用方法包括如下步骤：步骤S1，将基片组安装于所述处理工位，所述基片组包括多个相贴合的待处理基片；步骤S2，控制所述压紧部件在所述第一安装孔内进行滑动，以压紧所述基片组中的各所述待处理基片；步骤S3，对所述基片组进行处理。
可选地，所述旁板滑动装配有锁件，所述压紧部件设置有锁槽；所述步骤S2还包括：使得所述锁件嵌入所述锁槽内。
附图说明
图1为本发明所提供处理设备的载具的结构简图；
图2为图1的侧视简图；
图3为压紧部件、反应钝化块和旁板的连接结构简图；
图4为压紧部件、锁件、垫片和旁板的连接结构简图；
图5为本发明所提供处理设备的使用方法的流程示意图。
附图标记说明如下：
1载具、11处理通道、12处理工位、13旁板、131反应钝化块、131a第一安装孔、131a-1大径孔段、131a-2小径孔段、131b凸牙、132第二安装孔；
2压紧部件、21锁槽；
3锁件；
4垫片。
具体实施方式
为了使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步的详细说明。
在本发明实施例中，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。
在本发明实施例的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，“连接”可以是可拆卸地连接，也可以是不可拆卸地连接；可以是直接连接，也可以通过中间媒介间接连接。
本发明实施例中所提到的方位用语，例如，“内”、“外”等，仅是参考附图的方向，因此，使用的方位用语是为了更好、更清楚地说明及理解本发明实施例，而不是指示或暗指所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明实施例的限制。此外，除非本申请中另有说明，否则本申请中所述的“多个”是指两个或两个以上。
在本发明实施例的描述中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者装置不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者装置所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括该要素的过程、方法、物品或者装置中还存在另外的相同要素。
请参考图1-图4，图1为本发明所提供处理设备的载具的结构简图，图2为图1的测视简图，图3为压紧部件、反应钝化块和旁板的连接结构简图，图4为压紧部件、锁件、垫片和旁板的连接结构简图。
如图1所示，本发明提供一种处理设备，包括载具1，该载具1具体可以为批量装载基片的载具。载具1设置有处理通道11，该处理通道11具有通道延伸方向(图1中的左右方向)。处理通道11内设置有处理工位12。处理工位12的数量可以为一个；或者，处理工位12的数量也可以为多个，此时，各处理工位12可以在通道延伸方向上进行排布。
处理工位12配置有固定设置的固定部件(图中未示出)，固定部件用于支承基片组(图中未示出)，该基片组包括相对接贴合的多个待处理基片，该待处理基片具体可以为硅片等形式的半导体基片。在多个待处理基片相对接贴合的方向上，两端的两个待处理基片的外侧面为待处理面，其余的各面均为非处理面；例如，在基片组包括两个待处理基片时，两个待处理基片相对接贴合的两个面为非处理面，待处理基片均具有和非处理面相对设置的面，该面为待处理面。
在具体实施中，可以采用处理用介质对待处理面进行处理，具体的处理工艺在此不作限定。示例性的，处理工艺可以为镀膜工艺，例如原子层沉积(Atomic LayerDeposition，ALD)工艺、低压力化学气相沉积(Low Pressure Chemical VaporDeposition，LPCVD)工艺等，相应地，处理用介质可以为成膜气体。
固定部件的具体结构并非本发明的重点，在此不做细化说明，在实际应用中，本领域技术人员可以参照相关技术进行理解。
在本发明实施例中，处理设备还包括可滑动部件，结合图2，处理设备可以包括旁板13，旁板13可以设置有第一安装孔131a，可滑动部件可以安装于第一安装孔131a，并能够在第一安装孔131a内进行滑动，以实现相应的功能。上述可滑动部件可以为压紧部件2，压紧部件2用于对基片组中的多待处理基片进行压紧；如此设置，通过压紧部件2的压紧，可以大幅地提升多个待处理基片对接贴合的紧密性，进而可以较大程度地避免处理用介质进入相邻的两待处理基片之间，以及由此而造成的非处理面被处理用介质处理，有利于提升产品质量。
详细而言，压紧部件2可以配置有压紧槽，压紧槽可以包括槽底壁和两个槽侧壁，压紧部件2具体可以是通过槽侧壁对基片组进行压紧，从而提升基片组的多个待处理基片的贴合紧密性。
固定部件可以同时承载多个基片组，相应的，压紧部件2也可以同时压紧多个基片组，可实现对于基片的批量化装载。
进一步地，处理工位12处可以配置有安装构件，该安装构件设置有第一安装孔131a，可滑动部件可以在安装构件的第一安装孔131a内进行滑动。这样，当第一安装孔131a处发生损坏时，直接对该安装构件进行更换即可，而无需对处理设备进行整体拆装，维护作业相对简单，效率也可以较高。
结合图2和图3，载具1可以包括相对设置的两个旁板13，两个旁板13中的至少一者可以设置有前述的安装构件；安装构件的设置可以避免压紧部件2和旁板13之间的直接磨损，有利于保证旁板13的使用寿命。该安装构件具体可以为反应钝化块131，反应钝化块131可以设置有第一安装孔131a，压紧部件2的轴向端部可以滑动装配于第一安装孔131a，以便调整压紧部件2对于基片组的压紧状态。
反应钝化块131具体是指不易和处理用介质发生反应部件，此处的“不易”指不发生反应或者发生反应的量很少，这样，在处理设备内使用时，安装构件处不产生或极少产生镀膜粉块产物等杂质，压紧部件2在第一安装孔131a内的滑动不易产生卡滞，更有利于保证压紧部件2滑动的顺畅性。
进一步地，可滑动部件的外表面也可以配置有反应钝化层，该反应钝化层具体是指不易和处理用介质发生反应的膜层，此处的“不易”指不发生反应或者发生反应的量很少，这样，在处理设备内使用时，可滑动部件的表面也不产生或极少产生镀膜粉块产物等杂质，可滑动部件在第一安装孔131a内的滑动也不产生卡滞，更有利于保证可滑动部件滑动的顺畅性。
反应钝化块131以及反应钝化层的材质在此不作限定，在实际应用中，本领域技术人员可以根据具体需要进行设置，只要是能够满足使用的要求即可。示例性的，反应钝化块131、反应钝化层的材质包括但不限于不锈钢镀铁氟龙(表面镀有铁氟龙的不锈钢)、铝合金、石墨等。
在一些可选的实施方式中，反应钝化块131的材质和压紧部件2的材质可以不同，这样，可以进一步地减少压紧部件2和反应钝化块131之间的摩擦力，进而提升压紧部件2动作的顺畅性。
第一安装孔131a可以为台阶孔，台阶孔可以包括大径孔段131a-1和小径孔段131a-2，前述的压紧部件2可以滑动装配于小径孔段131a-2。这样，压紧部件2和反应钝化块131的接触面积可以较小，能够更大程度地减少压紧部件2和反应钝化块131之间的摩擦力，以提升压紧部件2动作的顺畅性；并且，反应钝化块131用于形成小径孔段131a-2的壁部，还可以对积聚在压紧部件2的镀膜粉块产物等杂质进行刮除，能够减少杂质进入小径孔段131a-2和压紧部件2之间的可能性，以及由此而造成的压紧部件2滑动卡滞的现象。
这里，本发明实施例并不限定小径孔段131a-2的形成方式，在实际应用中，本领域技术人员可以根据具体需要进行设置，只要是能够满足使用的要求即可。示例性的，如图3所示，小径孔段131a-2可以是由上下两个凸牙131b围合形成，两个凸牙131b均可以对积聚在压紧部件2的杂质进行刮除；应理解，在本发明实施例的另一些实施方式中，上下两个凸牙131b中也可以仅存在一个。
沿旁板13外壁面指向旁板13内壁面的方向上，图3中为自左向右的方向上，大径孔段131a-1和小径孔段131a-2可以依次排布。采用这种方案，由于小径孔段131a-2更为靠近旁板13的内壁面，反应钝化块131用于形成小径孔段131a-2的壁部可以更好地对杂质进行刮除，以减少杂质进入第一安装孔131a和压紧部件2之间的可能性，对于提升压紧部件2的滑动顺畅性具有更为积极的意义。
在一些可选的实施方式中，两旁板13中的至少一个可以滑动装配有锁件3，压紧部件2可以设置有锁槽21，锁件3能够嵌入锁槽21，以对压紧部件2的压紧状态进行锁定。
锁件3可以滑动装配于旁板13的内壁面。或者，锁件3还可以滑动装配于旁板13的外壁面。再或者，旁板13可以配置有第二安装孔132，锁件3可以滑动装配于第二安装孔132内；这样，锁件3相当于是滑动装配在旁板13的内部，能够减少处理通道11内的镀膜粉块产物等杂质对于锁件3的影响，同时，又可以避免锁件3对于旁板13外壁面空间的占用，有利于提升旁板13外壁面的光洁度。
第二安装孔132具体可以是在上下方向进行延伸，此时，锁件3可以是在上下方向上进行滑动。或者，第二安装孔132也可以是在其他方向上进行延伸，例如在处理通道11的通道延伸方向(图4中垂直于纸面的方向)上进行延伸，只要是锁件3在相应第二安装孔132内进行滑动时能够滑出或者嵌入锁槽21内即可。
锁件3可以是手动操作的部件，例如锁件3可以配置有把手，工作人员可以通过该把手对锁件3进行操作，以实现对于压紧部件2的锁定或者解锁。除此之外，锁件3也可以为半自动化的部件，例如锁件3可以依靠自身重力嵌入锁槽21内，但需要通过手动等方式和锁槽21相脱离；或者，锁件3也可以为自动化的部件，例如锁件3可以配置驱动部件，以通过驱动部件来控制锁件3进行位移，驱动部件包括但不限于电机、直线气缸、直线油缸等，需要说明的是，在驱动部件为电机时，还可以配置丝杠机构、齿轮齿条机构等形式的位移转换机构，以便将电机输出的旋转位移转换为压紧部件2所需要的直线位移。最佳的使用方式是锁件3在压紧部件2横向移动时，锁槽21移动对应到锁件3位置处时，锁件3在自身重力作用下嵌入锁槽21内，解除锁定的方式可以采用自动化部件进行。
进一步地，第二安装孔132内还可以设置有垫片4，在旁板13的厚度方向(图4中的左右方向)上，垫片4和锁件3可以依次布置。垫片4的设置，可以改变锁件3和压紧部件2的嵌入位置，进而可以调整压紧部件2对于基片组的压紧程度。
在实际使用中，垫片4和旁板13可以为可拆卸的连接，例如螺钉连接、卡接等，以方便地对垫片4进行更换，从而可以方便地调整压紧部件2相对旁板13的滑移量，以改变压紧部件2对于基片组的压紧效果，同时，也可以适应对于不同尺寸的基片组进行镀膜处理，能够提升本发明所提供处理设备的处理对象范围，以提升兼容性。可更换厚度的垫片4结合通过重力自动落下的锁件3能调整压紧部件2的位移距离，从而实现载具对于不同厚度基片不同位移距离的要求。
在本发明所提供的方案中，无论是反应钝化块131的设置，还是垫片4的设置，均可以是在原有旁板13上进行再加工，使用成本相对较低，可以方便地进行推广使用。
除了载具1外，处理设备还可以配置有其他的功能部件，用于实现对基片的处理，例如可以为加热部件、供气部件、抽气部件等，用于实现特定的工艺。
请参考图5，图5为本发明所提供处理设备的使用方法的流程示意图。
本发明实施例还提供一种处理设备的使用方法，适用于前述各实施方式所涉及的处理设备。如图5所示，该使用方法包括下述的步骤S1、步骤S2和步骤S3。
步骤S1，将基片组安装于处理工位12。具体可以是安装于处理工位12的固定部件。
步骤S2，控制压紧部件2在第一安装孔131a内进行滑动，以压紧基片组中的各待处理基片，以减少处理用介质对于待处理基片的非处理面的处理。
对于旁板13内滑动装配有锁件3、压紧部件2设置有锁槽21的实施方式，上述步骤S2还可以包括：使得锁件3嵌入锁槽21内，以通过锁件3和锁槽21的配合，来实现对于压紧部件2的锁定装配。
对于第一安装孔131a为台阶孔、台阶孔包括大径孔段131a-1和小径孔段131a-2、压紧部件2滑动装配于小径孔段131a-2的实施方式，上述步骤S2还可以包括：通过用于形成小径孔段131a-2的壁部刮除压紧部件2的杂质，以减少压紧部件2在第一安装孔131a内发生滑动卡滞的现象，有利于保证压紧部件2滑动的顺畅性。
步骤S3，对基片组进行处理，具体可以为镀膜处理等。
以上仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (15)

1.一种批量装载基片的载具，其特征在于，所述载具(1)设置有处理通道(11)，所述处理通道(11)内设置有至少一个处理工位(12)，所述处理工位(12)包括固定部件和可滑动部件，所述载具(1)包括旁板(13)，所述旁板(13)设置有安装构件，所述安装构件设置有第一安装孔(131a)，所述第一安装孔(131a)用于装配所述可滑动部件。
2.根据权利要求1所述批量装载基片的载具，其特征在于，所述安装构件为反应钝化块(131)。
3.根据权利要求2所述批量装载基片的载具，其特征在于，所述反应钝化块(131)的材质和所述可滑动部件的材质不同。
4.根据权利要求2所述批量装载基片的载具，其特征在于，所述反应钝化块(131)的材质为不锈钢镀铁氟龙、铝合金、石墨中的任一者。
5.根据权利要求1所述批量装载基片的载具，其特征在于，所述第一安装孔(131a)为台阶孔，所述台阶孔包括大径孔段(131a-1)和小径孔段(131a-2)，所述可滑动部件滑动装配于所述小径孔段(131a-2)。
6.根据权利要求5所述批量装载基片的载具，其特征在于，沿所述旁板(13)外壁面指向所述旁板(13)内壁面的方向上，所述大径孔段(131a-1)和所述小径孔段(131a-2)依次排布。
7.根据权利要求1所述批量装载基片的载具，其特征在于，所述可滑动部件为压紧部件(2)。
8.根据权利要求1-7中任一项所述批量装载基片的载具，其特征在于，所述可滑动部件的外表面配置有反应钝化层。
9.根据权利要求1-7中任一项所述批量装载基片的载具，其特征在于，所述可滑动部件滑动装配于所述旁板(13)，所述旁板(13)滑动装配有锁件(3)，所述可滑动部件设置有锁槽(21)，所述锁件(3)能够嵌入所述锁槽(21)。
10.根据权利要求9所述批量装载基片的载具，其特征在于，所述旁板(13)配置有第二安装孔(132)，所述锁件(3)配置在所述第二安装孔(132)内，并能够在所述第二安装孔(132)内进行滑动。
11.根据权利要求10所述批量装载基片的载具，其特征在于，所述第二安装孔(132)内设置有垫片(4)，在所述旁板(13)的厚度方向上，所述垫片(4)和所述锁件(3)依次布置。
12.根据权利要求11所述批量装载基片的载具，其特征在于，所述垫片(4)可拆卸地装配于所述旁板(13)，以便更换不同厚度的所述垫片(4)。
13.一种处理设备，其特征在于，包括加热部件、供气部件、抽气部件和载具(1)，所述载具(1)为权利要求1-12中任一项所述批量装载基片的载具。
14.一种处理设备的使用方法，其特征在于，适用于权利要求13所述处理设备，所述可滑动部件为压紧部件(2)，所述使用方法包括如下步骤：
步骤S1，将基片组安装于所述处理工位(12)，所述基片组包括多个相贴合的待处理基片；
步骤S2，控制所述压紧部件(2)在所述第一安装孔(131a)内进行滑动，以压紧所述基片组中的各所述待处理基片；
步骤S3，对所述基片组进行处理。
15.根据权利要求14所述处理设备的使用方法，其特征在于，所述旁板(13)滑动装配有锁件(3)，所述压紧部件(2)设置有锁槽(21)；
所述步骤S2还包括：使得所述锁件(3)嵌入所述锁槽(21)内。
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