CN117480102A - 运送装置 - Google Patents

Abstract

该运送装置(100)具备磁尺(4)，该磁尺(4)包含沿着直线方向形成为直线状的直线移动用磁刻度(4)和沿着曲线方向形成为曲线状的曲线移动用磁刻度(5)。直线移动用磁刻度(4)及曲线移动用磁刻度(5)以互相分离的状态设置。

Description

运送装置

技术领域

本发明涉及运送装置，尤其涉及具备滑块和驱动模块的运送装置。

背景技术

以往，已知有具备滑块和驱动模块的运送装置。这样的运送装置例如公开于国际公开第2019/007199号。

在上述国际公开第2019/007199号中公开了具备移动体(滑块)和定子模块(驱动模块)的线性运送装置。移动体构成为通过在定子模块中产生的磁场而直线移动或曲线移动。

上述国际公开第2019/007199号的移动体包含基体、第一磁产生部及第二磁产生部。在基体以互相接触且相邻的状态安装有第一磁产生部及第二磁产生部。第一磁产生部产生用于检测移动体的直线移动时的位置的磁。第二磁产生部产生用于检测移动体的曲线移动时的位置的磁。

上述国际公开第2019/007199号的定子模块包含读取第一磁产生部及第二磁产生部各自的磁的磁读取部。在线性运送装置中，基于由磁读取部读取到的第一磁产生部及第二磁产生部各自的磁来检测移动体的位置。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2019/007199号。

发明内容

发明所要解决的课题

然而，在上述国际公开第2019/007199号的线性运送装置中，第一磁产生部及第二磁产生部以互相接触且相邻的状态安装于基体。因而，在上述国际公开第2019/007199号的线性运送装置中，可认为在第一磁产生部与第二磁产生部之间容易产生磁干涉。由此，在上述国际公开第2019/007199号的线性运送装置中，希望更可靠地抑制第一磁产生部(直线移动用磁刻度)及第二磁产生部(曲线移动用磁刻度)彼此的磁干涉。

本发明为了解决如上所述的课题而完成，本发明的1个目的在于提供能够更可靠地抑制直线移动用磁刻度及曲线移动用磁刻度彼此的磁干涉的运送装置。

用于解决课题的手段

本发明的一个方面的运送装置具备：滑块，能够沿着直线方向及曲线方向移动；驱动模块，使滑块沿着直线方向或曲线方向移动；磁尺，包含沿着直线方向形成为直线状的直线移动用磁刻度和沿着曲线方向形成为曲线状的曲线移动用磁刻度，设置于滑块和驱动模块中的一方；及磁传感器，设置于滑块和驱动模块中的另一方，检测直线移动用磁刻度及曲线移动用磁刻度各自的磁，直线移动用磁刻度及曲线移动用磁刻度以互相分离的状态设置。

在本发明的一个方面的运送装置中，如上所述，直线移动用磁刻度及曲线移动用磁刻度以互相分离的状态设置。由此，能够确保直线移动用磁刻度与曲线移动用磁刻度的距离，因此能够更可靠地抑制直线移动用磁刻度及曲线移动用磁刻度彼此的磁干涉。

在上述一个方面的运送装置中，优选的是，直线移动用磁刻度和曲线移动用磁刻度以互相分离的状态设置于同一面或不同的面。若这样构成，则能够将直线移动用磁刻度及曲线移动用磁刻度设置于同一构件的同一面或不同的面，因此与将直线移动用磁刻度及曲线移动用磁刻度各自设置于不同的构件的面的情况相比，能够抑制运送装置的部件件数的增加。

在上述一个方面的运送装置中，优选的是，磁尺设置于滑块，磁传感器设置于驱动模块。若这样构成，则由于驱动模块固定于预定的场所，所以与将磁传感器设置于如滑块那样移动的结构上的情况不同，能够容易地进行用于向磁传感器供给电力的供电设备与磁传感器的连接。

在该情况下，优选的是，滑块包含滑块框架，磁尺以直线移动用磁刻度及曲线移动用磁刻度相对于磁传感器在上下方向上或在与上下方向及滑块的移动方向正交的宽度方向上相向的状态配置于滑块框架的内侧。若这样构成，则能够将磁尺收纳于滑块框架的内侧，因此与滑块框架的大小相同且将磁尺配置于滑块框架的外侧的情况相比，能够抑制滑块的大型化。

在上述一个方面的运送装置中，优选的是，磁尺还包含一体地设置有直线移动用磁刻度及曲线移动用磁刻度的基部。若这样构成，则直线移动用磁刻度及曲线移动用磁刻度一体地设置于同一基部，因此，即使在基部因温度变化而发生了伸缩的情况下，也能够相对于直线移动用磁刻度及曲线移动用磁刻度产生与上述基部的伸缩对应的滑块的位置计测的误差。因此，能够使直线移动用磁刻度及曲线移动用磁刻度各自的位置计测的误差大致相等。其结果，能够使用相同的修正值来进行对滑块的直线移动时的位置计测的误差的修正和对滑块的曲线移动时的位置计测的误差的修正，因此能够容易地进行用于位置取得的控制。

在该情况下，优选的是，基部包含设置直线移动用磁刻度的第一面和设置曲线移动用磁刻度且是与第一面不同的面的第二面。若这样构成，则与直线移动用磁刻度和曲线移动用磁刻度在同一面中排列配置的情况相比，能够抑制直线移动用磁刻度和曲线移动用磁刻度的排列方向上的基部的尺寸的增大，因此能够抑制运送装置的上述排列方向上的大型化。

在具备与上述第一面不同的第二面的运送装置中，优选的是，第二面在基部中配置于第一面的背侧。若这样构成，则通过第一面构成基部的表侧的面并且第二面构成基部的背侧的面，能够以在俯视下直线移动用磁刻度和曲线移动用磁刻度重叠的方式配置，因此能够抑制基部的滑块的移动方向上的尺寸增大。

在上述第二面配置于基部的第一面的背侧的运送装置中，优选的是，磁尺具有磁隔断板，磁隔断板配置于直线移动用磁刻度与曲线移动用磁刻度之间，将从直线移动用磁刻度及曲线移动用磁刻度各自发出的磁隔断。若这样构成，则能够利用磁隔断板来抑制直线移动用磁刻度及曲线移动用磁刻度彼此的磁干涉，因此能够减小使直线移动用磁刻度及曲线移动用磁刻度彼此分离的距离。由此，能够使配置于直线移动用磁刻度与曲线移动用磁刻度之间的基部所需的厚度减小，因此能够抑制包含直线移动用磁刻度、曲线移动用磁刻度及基部的磁尺的大型化。

在具备上述第一面及第二面的运送装置中，优选的是，第二面和第一面互相大致正交。若这样构成，则由于在第一面设置直线移动用磁刻度并且在与第一面大致正交的第二面设置曲线移动用磁刻度，所以能够将检测直线移动用磁刻度的磁的磁传感器配置于检测曲线移动用磁刻度的磁的磁传感器的附近。其结果，能够使配置检测直线移动用磁刻度的磁的磁传感器和检测曲线移动用磁刻度的磁的磁传感器所需的空间紧凑。

在上述第二面与第一面正交的运送装置中，优选的是，第二面和第一面互相大致正交，第二面是与曲线移动用磁刻度的曲率对应的弯曲面。若这样构成，则由于第二面的弯曲面沿着滑块的曲线方向而形成，所以能够利用设置于第二面的曲线移动用磁刻度来合适地检测滑块的曲线移动时的位置。

在具备上述基部的运送装置中，优选的是，直线移动用磁刻度及曲线移动用磁刻度以在直线移动用磁刻度及曲线移动用磁刻度的排列方向上互相分离的状态设置于基部的同一面。若这样构成，则与在垂直于上述同一面的方向排列配置直线移动用磁刻度及曲线移动用磁刻度的情况相比，能够抑制在与上述同一面垂直的方向上用于设置直线移动用磁刻度及曲线移动用磁刻度的空间增大。

在上述一个方面的运送装置中，优选的是，磁尺还包含设置直线移动用磁刻度及曲线移动用磁刻度的基材部，曲线移动用磁刻度包含与作为曲线方向的第一曲线方向一致地形成的第一曲线刻度部和与不同于第一曲线方向的第二曲线方向一致地形成的第二曲线刻度部，基材部包含：直线用位置检测面，构成基材部的上表面或下表面，并且设置有直线移动用磁刻度；第一曲线用位置检测面，从直线用位置检测面突出，设置有第一曲线刻度部；及第二曲线用位置检测面，与第一曲线用位置检测面相向，设置有第二曲线刻度部。若这样构成，则能够利用第一曲线刻度部及第二曲线刻度部来进行滑块的第一曲线方向及第二曲线方向的多个曲线移动时的位置计测，因此即使在向互相相反的曲线方向曲线移动的情况下也能够进行位置计测。由此，能够使滑块移动的路径的自由度提高。

在上述一个方面的运送装置中，优选的是，磁尺设置于滑块，在滑块的移动方向上，直线移动用磁刻度的一侧端部和曲线移动用磁刻度的一侧端部配置于大致相同的位置，并且直线移动用磁刻度的另一侧端部和曲线移动用磁刻度的另一侧端部配置于大致相同的位置。若这样构成，则能够使直线移动用磁刻度及曲线移动用磁刻度的滑块的移动方向上的长度大致相同，因此，在使直线移动用磁刻度及曲线移动用磁刻度的任一方成为了与设置空间对应的最大的长度的情况下，能够使直线移动用磁刻度及曲线移动用磁刻度的另一方也成为相同的最大的长度。其结果，通过对应于最大的长度而配置磁传感器彼此的间隔，能够使磁传感器彼此的间隔成为最大限度而排列磁传感器，因此能够使进行滑块的位置计测所需的磁传感器的数量成为最小限度的数量。

发明效果

根据本发明，如上所述，能够更可靠地抑制直线移动用磁刻度及曲线移动用磁刻度彼此的磁干涉。

附图说明

图1是示出了第一实施方式的运送装置的俯视图。

图2是沿着图1的111-111线的剖视图。

图3是沿着图1的112-112线的剖视图。

图4是第一实施方式的运送装置的磁尺的俯视图。

图5是第一实施方式的运送装置的磁尺的仰视图。

图6是放大了图3的D部分的放大图。

图7是示出了第一实施方式的运送装置的滑块正在直线部分移动的状态的示意图。

图8是示出了第一实施方式的运送装置的滑块正在曲线部分移动的状态的示意图。

图9是将第二实施方式的运送装置的相当于图3的D部分的部分放大了的放大图。

图10是第三实施方式的运送装置的磁尺的俯视图。

图11是示出了第四实施方式的运送装置的磁尺的立体图。

图12是示出了第五实施方式的运送装置的磁尺的立体图。

图13是示出了第一实施方式的第一变形例的运送装置的背磁轭及磁尺的立体图。

图14是示出了第二实施方式的第二变形例的运送装置的磁尺及磁隔断板的剖视图。

图15是示出了第二实施方式的第三变形例的运送装置的磁尺及磁隔断板的剖视图。

图16是示出了第二实施方式的第三变形例的运送装置的磁尺及磁隔断板的立体图。

具体实施方式

以下，基于附图来说明将本发明具体化的实施方式。

[第一实施方式]

参照图1～图8，关于本发明的第一实施方式的运送装置100的结构进行说明。

(运送装置的结构)

如图1及图2所示，运送装置100铺设于架台101的上表面101a。另外，虽然未图示，但在架台101设置有执行基板等工件的移载、电子部件等向基板的安装作业等的各种机器人。各种机器人沿着后述的滑块3的环绕路径102配置。运送装置100是利用线性马达来使滑块3沿着环绕路径102移动的线性输送机。

运送装置100构成为使滑块3向各种机器人的作业位置移动。具体而言，运送装置100具备多个直线移动用驱动模块1、多个曲线移动用驱动模块2、多个滑块3、磁尺4、磁传感器5及磁传感器6。多个直线移动用驱动模块1及多个曲线移动用驱动模块2形成了滑块3的环绕路径102。需要说明的是，直线移动用驱动模块1及曲线移动用驱动模块2分别是权利要求书中的“驱动模块”的一例。

在此，将水平方向中的直线移动用驱动模块1延伸的方向设为X方向，将X方向中的一方设为X1方向，将X方向中的另一方设为X2方向。将水平方向中的与X方向正交的方向设为Y方向，将Y方向中的一方设为Y1方向，将Y方向中的另一方设为Y2方向。将与X方向及Y方向正交的方向设为Z方向(上下方向)，将Z方向中的一方设为Z1方向(上方向)，将Z方向中的另一方设为Z2方向(下方向)。另外，将滑块3的移动方向设为M方向，将M方向的一方向设为M1方向，将M方向的另一方向设为M2方向。另外，将与M方向及Z方向正交的宽度方向设为W方向，将W方向的一方向设为W1方向，将W方向的另一方向设为W2方向。

多个直线移动用驱动模块1各自是线性输送机模块。多个直线移动用驱动模块1配置于架台101上。多个直线移动用驱动模块1在X方向上连结成直线状。多个直线移动用驱动模块1分别配置于Y1方向侧及Y2方向侧。多个直线移动用驱动模块1各自的构造相同，因此关于配置于Y2方向侧且X1方向侧的1个直线移动用驱动模块1进行说明。

直线移动用驱动模块1是使滑块3沿着X1方向或X2方向的直线方向移动的装置。直线移动用驱动模块1构成为在机器人的作业位置处使滑块3停止并且在作业后使滑块3向下一机器人的作业位置移动。另外，在直线移动用驱动模块1中，也能够在作业中一边进行位置速度控制一边使滑块3移动，并在作业后使滑块3向下一机器人的作业位置移动。

具体而言，如图2所示，直线移动用驱动模块1包含支承构件11、导轨12及线性马达定子13。

支承构件11支承导轨12及线性马达定子13。支承构件11由铝等金属形成。这样，支承构件11是金属制的框架。需要说明的是，虽然示出了本实施方式的支承构件11为金属制的例子，但支承构件11也可以为树脂制。

导轨12具有引导滑块3的功能。导轨12配置于支承构件11的上表面的Y方向的中央部分。导轨12在X方向上延伸。线性马达定子13由多个电磁铁构成。需要说明的是，虽然示出了本实施方式的导轨12配置于支承构件11的上表面的Y方向的中央部分的例子，但导轨12也可以配置于支承构件11的上表面的从Y方向的中央部分偏置的位置。另外，导轨12还可以设置于支承构件11的侧面而非支承构件11的上表面。

如图1所示，多个曲线移动用驱动模块2各自是线性输送机模块。多个曲线移动用驱动模块2配置于架台101上。多个曲线移动用驱动模块2沿着曲线方向连结。多个曲线移动用驱动模块2分别配置于架台101上的X1方向侧及X2方向侧。多个曲线移动用驱动模块2各自的构造相同，因此关于配置于X1方向侧的1个曲线移动用驱动模块2进行说明。需要说明的是，曲线方向是沿着绕着在Z方向上延伸的中心轴线C1(或C2)的R方向(周向)的方向。

曲线移动用驱动模块2是使滑块3沿着R1方向或R2方向(曲线方向)移动的装置。曲线移动用驱动模块2构成为在机器人的作业位置处使滑块3停止并且在作业后使滑块3向下一机器人的作业位置移动。另外，在曲线移动用驱动模块2中，也能够在作业中一边进行位置速度控制一边使滑块3移动，并在作业后使滑块3向下一机器人的作业位置移动。

具体而言，如图3所示，曲线移动用驱动模块2包含支承构件21、导轨22及线性马达定子23。

支承构件21支承导轨22及线性马达定子23。支承构件21由铝等金属形成。这样，支承构件21是金属制的框架。需要说明的是，虽然示出了本实施方式的支承构件21为金属制的例子，但支承构件21也可以为树脂制。

导轨22具有引导滑块3的功能。导轨22配置于支承构件21的上表面的与中心轴线C1正交的方向的中央部分。导轨22沿着R方向延伸。线性马达定子23由多个电磁铁构成。需要说明的是，虽然示出了本实施方式的导轨22配置于支承构件21的上表面的与中心轴线C1正交的方向的中央部分的例子，但导轨22也可以配置于支承构件21的上表面的从与中心轴线C1正交的方向的中央部分偏置的位置。另外，导轨22还可以设置于支承构件21的侧面而非支承构件21的上表面。

如图1所示，滑块3在环绕路径102上配置有多个。多个滑块3均具有相同的结构，因此关于多个滑块3中的1个进行说明。

滑块3构成为能够沿着直线方向及曲线方向移动。在此，滑块3通过由导轨12引导而在直线方向上移动。滑块3通过由导轨22引导而在曲线方向上移动。在此，直线方向是沿着X方向的移动方向。另外，曲线方向是沿着R方向的移动方向。

这样，滑块3构成为在环绕路径102上呈直线及曲线状地滑动移动。具体而言，如图2及图3所示，滑块3包含滑块框架31、线性马达动子32及托架33。

滑块框架31由铝等金属材料形成。线性马达动子32设置于滑块框架31的设于在W方向上相向的一对内侧面34及内侧面35之间的内上表面36的W1方向侧。线性马达动子32具有背磁轭(未图示)和永久磁铁(未图示)。背磁轭是保持永久磁铁并且形成磁路的构件，由铁或钢等磁性体的铁系材料形成。永久磁铁以在M方向上N极和S极交替地朝向Z2方向的方式配置。永久磁铁以与线性马达定子13在Z方向上相向的方式配置。托架33是用于将磁尺4固定于滑块框架31的构件。托架33设置于一对内侧面34及内侧面35中的W2方向侧的内侧面34。托架33通过紧固构件而固定于滑块框架31。

在滑块3中，通过因向线性马达定子13(23)供给相位互相不同的电流而在线圈产生的磁通与线性马达动子32的永久磁铁的磁通的磁相互作用而生成推进力。即，滑块3能够通过上述推进力而在X方向或R方向上移动。

(磁尺)

如图2及图3所示，磁尺4是用于测定呈直线及曲线状地滑动移动的滑块3的位置的尺。磁尺4设置于滑块3。在此，磁尺4经由托架33而设置于滑块框架31。磁尺4以使直线移动用磁刻度41与磁传感器5在Z方向上相向并且使曲线移动用磁刻度42与磁传感器6在Z方向上相向的状态配置于滑块框架31的内侧。

磁尺4包含基部40、直线移动用磁刻度41及曲线移动用磁刻度42。

<基部>

基部40是由使用了铁氧体材料等的磁性体形成的板状构件。即，基部40在从Z1方向侧观察而具有以X方向为长度方向的矩形形状。基部40具有长方体形状。基部40的Z方向的厚度比基部40的Y方向的宽度小。在基部40通过磁化而记录有直线移动用磁刻度41及曲线移动用磁刻度42。

<直线移动用磁刻度及曲线移动用磁刻度>

如图2及图4所示，直线移动用磁刻度41为了在滑块3在直线移动用驱动模块1上移动时测定滑块3的位置而记录于基部40。直线移动用磁刻度41一体地设置于基部40。需要说明的是，在图2及图4中，将直线移动用磁刻度41在图中以虚线示出，但只不过是用于在图中将直线移动用磁刻度41视觉化的示意。

直线移动用磁刻度41沿着直线方向(X方向)形成为直线状。直线移动用磁刻度41在X方向(滑块3的移动方向(M方向))上具有长度L1。直线移动用磁刻度41在基部40设置有多个(3个)。多个直线移动用磁刻度41分别具有不同的磁化模式。即，在多个直线移动用磁刻度41的各自中，磁化模式的周期及相位不同。需要说明的是，直线移动用磁刻度41也可以不是在基部40设置3个，而是在基部40设置2个或4个以上。

多个直线移动用磁刻度41为了多个滑块3各自的识别及位置检测而使用。在此，滑块3的位置与磁化模式的周期及相位不同的多个直线移动用磁刻度41各自的磁的检测值的差值对应地设定。

如图3及图5所示，曲线移动用磁刻度42为了在滑块3在曲线移动用驱动模块2上移动时测定滑块3的位置而记录于基部40。曲线移动用磁刻度42一体地设置于基部40。需要说明的是，在图3及图5中，将曲线移动用磁刻度42在图中以虚线示出，但只不过是用于在图中将曲线移动用磁刻度42视觉化的示意。

曲线移动用磁刻度42沿着曲线方向(R方向)形成为曲线状。曲线移动用磁刻度42在M方向上具有长度L2。曲线移动用磁刻度42在基部40设置有多个(3个)。多个曲线移动用磁刻度42分别具有不同的磁化模式。即，在多个曲线移动用磁刻度42的各自中，磁化模式的周期及相位不同。需要说明的是，曲线移动用磁刻度42也可以不是在基部40设置3个，而是在基部40设置2个或4个以上。

多个曲线移动用磁刻度42为了多个滑块3各自的识别及位置检测而使用。在此，滑块3的位置与磁化模式的周期及相位不同的多个曲线移动用磁刻度42各自的磁的检测值的差值对应地设定。

(直线移动用磁刻度与曲线移动用磁刻度的位置关系)

在本实施方式中，如图6所示，直线移动用磁刻度41及曲线移动用磁刻度42以互相分离的状态一体地设置于基部40。直线移动用磁刻度41和曲线移动用磁刻度42以互相分离的状态一体地设置于基部40的不同的面。在图6中，将直线移动用磁刻度41及曲线移动用磁刻度42在图中以虚线示出，但只不过是用于在图中将直线移动用磁刻度41及曲线移动用磁刻度42视觉化的示意。

具体而言，直线移动用磁刻度41一体地设置于基部40的第一面40a。第一面40a是基部40的Z1方向侧的上表面。直线移动用磁刻度41与磁传感器5在Z方向上相向(参照图2)。曲线移动用磁刻度42一体地设置于基部40的第二面40b。第二面40b是基部40的Z2方向侧的下表面。这样，第二面40b在基部40中设置于第一面40a的背侧。曲线移动用磁刻度42与磁传感器6在Z方向上相向(参照图3)。

另外，如图7及图8所示，在滑块3的移动方向(M方向)上，直线移动用磁刻度41的一侧端部41a和曲线移动用磁刻度42的一侧端部42a配置于大致相同的位置。在此，直线移动用磁刻度41的一侧端部41a是直线移动用磁刻度41的M1方向侧的端部。曲线移动用磁刻度42的一侧端部42a是曲线移动用磁刻度42的M1方向侧的端部。

直线移动用磁刻度41的另一侧端部41b和曲线移动用磁刻度42的另一侧端部42b配置于大致相同的位置。在此，直线移动用磁刻度41的另一侧端部41b是直线移动用磁刻度41的M2方向侧的端部。曲线移动用磁刻度42的另一侧端部42b是曲线移动用磁刻度42的M2方向侧的端部。

(磁传感器)

如图7所示，磁传感器5设置于直线移动用驱动模块1。磁传感器5构成为检测直线移动用磁刻度41的磁。磁传感器5对应于直线移动用磁刻度41的X方向的长度L1(参照图4)而在M方向上以预定间距配置有多个。预定间距是比长度L1小的间隔。磁传感器5以与多个直线移动用磁刻度41相向的方式在W方向上以预定间距配置有多个(3个)。

如图8所示，磁传感器6设置于曲线移动用驱动模块2。磁传感器6构成为检测曲线移动用磁刻度42的磁。磁传感器6对应于曲线移动用磁刻度42的M方向的长度L2(参照图5)而在R方向上以预定间距配置有多个。预定间距是比长度L2小的间隔。磁传感器6以与多个曲线移动用磁刻度42相向的方式在与中心轴线C1(C2)正交的方向上以预定间距配置有多个(3个)。

(第一实施方式的效果)

在第一实施方式中，能够得到以下这样的效果。

在第一实施方式中，如上所述，直线移动用磁刻度41及曲线移动用磁刻度42以互相分离的状态设置。由此，能够确保直线移动用磁刻度41与曲线移动用磁刻度42的距离，因此能够更可靠地抑制直线移动用磁刻度41及曲线移动用磁刻度42彼此的磁干涉。

另外，在第一实施方式中，如上所述，直线移动用磁刻度41和曲线移动用磁刻度42以互相分离的状态设置于不同的面。由此，能够将直线移动用磁刻度41及曲线移动用磁刻度42设置于同一构件的不同的面，因此与将直线移动用磁刻度41及曲线移动用磁刻度42分别设置于不同的构件的面的情况相比，能够抑制运送装置100的部件件数的增加。

另外，在第一实施方式中，如上所述，磁尺4设置于滑块3。另外，磁传感器5及磁传感器6分别设置于直线移动用驱动模块1及曲线移动用驱动模块2。由此，由于直线移动用驱动模块1及曲线移动用驱动模块2固定于预定的场所，所以与将磁传感器5(6)设置于如滑块3那样移动的结构的情况不同，能够容易地进行用于向磁传感器5(6)供给电力的供电设备与磁传感器5(6)的连接。

另外，在第一实施方式中，如上所述，滑块3包含滑块框架31，磁尺4以直线移动用磁刻度41及曲线移动用磁刻度42相对于磁传感器5及磁传感器6分别在上下方向上相向的状态配置于该滑块框架31的内侧。由此，能够将磁尺4收纳于滑块框架31的内侧，因此与滑块框架31的大小相同且将磁尺4配置于滑块框架31的外侧的情况相比，能够抑制滑块3的大型化。

另外，在第一实施方式中，如上所述，磁尺4包含一体地设置有直线移动用磁刻度41及曲线移动用磁刻度42的基部40。由此，由于直线移动用磁刻度41及曲线移动用磁刻度42一体地设置于同一基部40，所以即使在基部40因温度变化而发生了伸缩的情况下，也能够相对于直线移动用磁刻度41及曲线移动用磁刻度42产生与基部40的伸缩对应的滑块3的位置计测的误差。因此，能够使直线移动用磁刻度41及曲线移动用磁刻度42各自的位置计测的误差大致相等。其结果，能够使用相同的修正值来进行对滑块3的直线移动时的位置计测的误差的修正和对滑块3的曲线移动时的位置计测的误差的修正，因此能够容易地进行用于位置取得的控制。

另外，在第一实施方式中，如上所述，基部40包含设置直线移动用磁刻度41的第一面40a和设置曲线移动用磁刻度42且是与第一面40a不同的面的第二面40b。由此，与直线移动用磁刻度41和曲线移动用磁刻度42在同一面中排列配置的情况相比，能够抑制直线移动用磁刻度41和曲线移动用磁刻度42的排列方向上的基部40的尺寸的增大，因此能够抑制运送装置100的上述排列方向上的大型化。

另外，在第一实施方式中，如上所述，第二面40b在基部40中配置于第一面40a的背侧。由此，通过第一面40a构成基部40的表侧的面并且第二面40b构成基部40的背侧的面，能够以在俯视下直线移动用磁刻度41和曲线移动用磁刻度42重叠的方式配置，因此能够抑制基部40的M方向上的尺寸增大。

另外，在第一实施方式中，如上所述，在滑块3的移动方向上，直线移动用磁刻度41的一侧端部41a和曲线移动用磁刻度42的一侧端部42a配置于大致相同的位置，并且直线移动用磁刻度41的另一侧端部41b和曲线移动用磁刻度42的另一侧端部42b配置于大致相同的位置。由此，能够使直线移动用磁刻度41及曲线移动用磁刻度42各自的M方向(滑块3的移动方向)上的长度L1及L2大致相同，因此，在使直线移动用磁刻度41及曲线移动用磁刻度42的任一方成为了与设置空间相符的最大的长度的情况下，能够使直线移动用磁刻度41及曲线移动用磁刻度42的另一方也成为相同的最大的长度。其结果，通过对应于最大的长度而配置磁传感器5(8)彼此的间隔，能够使磁传感器5(8)彼此的间隔成为最大限度而排列磁传感器5(8)，因此能够使进行滑块3的位置计测所需的磁传感器5及磁传感器6的数量成为最小限度的数量。

[第二实施方式]

参照图9，关于第二实施方式的运送装置200的磁尺204的结构进行说明。在第二实施方式中，与第一实施方式不同，磁尺204包含将直线移动用磁刻度41及曲线移动用磁刻度42各自的磁隔断的磁隔断板243。需要说明的是，在第二实施方式中，关于第一实施方式的相同的结构，省略详细的说明。

(基部)

如图9所示，第二实施方式的磁尺204包含配置于直线移动用磁刻度41与曲线移动用磁刻度42之间且将从直线移动用磁刻度41及曲线移动用磁刻度42各自发出的磁隔断的磁隔断板243。磁隔断板243由铁等强磁性体的金属形成。在图9中，将直线移动用磁刻度41及曲线移动用磁刻度42在图中以虚线示出，但只不过是用于在图中将直线移动用磁刻度41及曲线移动用磁刻度42视觉化的示意。

磁隔断板243在从Z1方向侧观察而具有以M方向为长度方向的矩形形状。磁隔断板243具有长方体形状。磁隔断板243的Z方向的厚度比磁隔断板243的W方向的宽度小。在磁隔断板243的第一面243a安装有记录了多个(3个)直线移动用磁刻度41的基部240。第一面243a是磁隔断板243的Z1方向侧的上表面。在磁隔断板243的第二面243b安装有记录了多个(3个)曲线移动用磁刻度42的基部240。第二面243b是磁隔断板243的Z2方向侧的下表面。需要说明的是，直线移动用磁刻度41也可以在基部240记录有2个或4个以上。另外，曲线移动用磁刻度42也可以在基部240记录有2个或4个以上。另外，第二实施方式的其他的结构与第一实施方式的结构相同，因此省略说明。

(第二实施方式的效果)

在第二实施方式中，与上述第一实施方式同样，直线移动用磁刻度41及曲线移动用磁刻度42以互相分离的状态设置。由此，能够更可靠地抑制直线移动用磁刻度41及曲线移动用磁刻度42彼此的磁干涉。

另外，在第二实施方式中，如上所述，磁尺204具有配置于直线移动用磁刻度41与曲线移动用磁刻度42之间且将从直线移动用磁刻度41及曲线移动用磁刻度42各自发出的磁隔断的磁隔断板243。由此，能够利用磁隔断板243来抑制直线移动用磁刻度41及曲线移动用磁刻度42彼此的磁干涉，因此能够减小使直线移动用磁刻度41及曲线移动用磁刻度42彼此分离的距离。其结果，能够使配置于直线移动用磁刻度41与曲线移动用磁刻度42之间的基部240所需的厚度减小，因此能够抑制包含直线移动用磁刻度41、曲线移动用磁刻度42及基部240的磁尺204的大型化。需要说明的是，第二实施方式的其他的效果与上述第一实施方式的效果是同样的。

[第三实施方式]

参照图10，关于第三实施方式的运送装置300的磁尺304的结构进行说明。在第三实施方式中，与第一实施方式不同，直线移动用磁刻度41及曲线移动用磁刻度42这两者设置于基部340的相同的面。需要说明的是，在第三实施方式中，关于与第一实施方式的结构相同的结构，省略说明。

(基部)

如图10所示，基部340是由使用了铁氧体材料等的磁性体形成的板状构件。基部340在从Z1方向侧观察而具有以M方向为长度方向的矩形形状。基部340具有长方体形状。基部340的Z方向的厚度比基部340的W方向的宽度小。在此，在图10中，将直线移动用磁刻度41及曲线移动用磁刻度42在图中以虚线示出，但只不过是用于在图中将直线移动用磁刻度41及曲线移动用磁刻度42视觉化的示意。

在此，直线移动用磁刻度41及曲线移动用磁刻度42这两者在基部340的同一面340a排列设置。同一面340a是基部340的上表面。直线移动用磁刻度41及曲线移动用磁刻度42以在直线移动用磁刻度41及曲线移动用磁刻度42的排列方向上互相分离的状态设置于基部340的同一面340a。具体而言，在多个直线移动用磁刻度41的一群与多个曲线移动用磁刻度42的一群之间设置有隔离空间S。

(第三实施方式的效果)

在第三实施方式中，能够得到以下这样的效果。

在第三实施方式中，与上述第一实施方式同样，直线移动用磁刻度41及曲线移动用磁刻度42以互相分离的状态设置。由此，能够更可靠地抑制直线移动用磁刻度41及曲线移动用磁刻度42彼此的磁干涉。

另外，在第三实施方式中，如上所述，直线移动用磁刻度41和曲线移动用磁刻度42以互相分离的状态设置于同一面340a。由此，能够将直线移动用磁刻度41及曲线移动用磁刻度42设置于同一构件的同一面340a，因此与将直线移动用磁刻度41及曲线移动用磁刻度42分别设置于不同的构件的面的情况相比，能够抑制运送装置300的部件件数的增加。

另外，在第三实施方式中，如上所述，在运送装置100中，直线移动用磁刻度41及曲线移动用磁刻度42以在直线移动用磁刻度41及曲线移动用磁刻度42的排列方向上互相分离的状态设置于基部340的同一面340a。由此，通过直线移动用磁刻度41及曲线移动用磁刻度42设置于基部340的同一面340a，与在垂直于上述同一面340a的方向上排列配置直线移动用磁刻度41及曲线移动用磁刻度42的情况相比，能够抑制在与上述同一面340a垂直的方向上用于设置直线移动用磁刻度41及曲线移动用磁刻度42的空间增大。需要说明的是，第三实施方式的其他的效果与上述第一实施方式的效果是同样的。

[第四实施方式]

参照图11，关于第四实施方式的运送装置400的磁尺404的结构进行说明。在第四实施方式中，与第一实施方式不同，在基部440中，第一面440a和第二面440b互相大致正交。需要说明的是，在第四实施方式中，关于与第一实施方式的结构相同的结构，省略说明。

(基部)

如图11所示，基部440由使用了铁氧体材料等的磁性体形成。基部440是在沿着Z方向的截面中具有大致L字形状的角铁。需要说明的是，在图11中，将直线移动用磁刻度41及曲线移动用磁刻度42在图中以虚线示出，但只不过是用于在图中将直线移动用磁刻度41及曲线移动用磁刻度42视觉化的示意。

在此，直线移动用磁刻度41记录于基部440的第一面440a。第一面440a是基部440的内侧面。曲线移动用磁刻度42记录于基部440的第二面440b。第二面440b是基部440的内底面。第二面440b和第一面440a互相大致正交。

(第四实施方式的效果)

在第四实施方式中，能够得到以下这样的效果。

在第四实施方式中，与上述第一实施方式同样，直线移动用磁刻度41及曲线移动用磁刻度42以互相分离的状态设置。由此，能够更可靠地抑制直线移动用磁刻度41及曲线移动用磁刻度42彼此的磁干涉。

另外，在第四实施方式中，如上所述，第二面440b和第一面440a互相大致正交。由此，由于在第一面440a设置直线移动用磁刻度41并且在与第一面440a大致正交的第二面440b设置曲线移动用磁刻度42，所以能够将检测直线移动用磁刻度41的磁的磁传感器5配置于检测曲线移动用磁刻度42的磁的磁传感器6的附近。其结果，能够使配置磁传感器5和磁传感器6所需的空间紧凑。需要说明的是，第四实施方式的其他的效果与上述第一实施方式的效果是同样的。

[第五实施方式]

参照图12，关于第五实施方式的运送装置500的磁尺504的结构进行说明。在第五实施方式中，与第一实施方式不同，第二面540b和第一面540a互相大致正交。需要说明的是，在第五实施方式中，关于与第一实施方式的结构相同的结构，省略说明。

(基部)

如图12所示，基部540由使用了铁氧体材料等的磁性体形成。需要说明的是，在图12中，将直线移动用磁刻度41及曲线移动用磁刻度42在图中以虚线示出，但只不过是用于在图中将直线移动用磁刻度41及曲线移动用磁刻度42视觉化的示意。

在此，直线移动用磁刻度41记录于基部540的第一面540a。第一面540a是基部540的上表面。曲线移动用磁刻度42记录于基部540的第二面540b。第二面540b是基部540的外侧面。第二面540b和第一面540a互相大致正交。第二面540b是与曲线移动用磁刻度42的曲率对应的弯曲面。

(第五实施方式的效果)

在第五实施方式中，能够得到以下这样的效果。

在第五实施方式中，与上述第一实施方式同样，直线移动用磁刻度41及曲线移动用磁刻度42以互相分离的状态设置。由此，能够更可靠地抑制直线移动用磁刻度41及曲线移动用磁刻度42彼此的磁干涉。

另外，在第五实施方式中，如上所述，第二面540b和第一面540a互相大致正交。第二面540b是与曲线移动用磁刻度42的曲率对应的弯曲面。由此，第二面540b的弯曲面沿着滑块3的曲线方向而形成，因此能够利用设置于第二面540b的曲线移动用磁刻度42来合适地检测滑块3的曲线移动时的位置。需要说明的是，第五实施方式的其他的效果与上述第一实施方式的效果是同样的。

[变形例]

需要说明的是，应该认为，本次公开的实施方式在所有方面都是例示而非限制性的内容。本发明的范围不是由上述的实施方式的说明表示而是由权利要求书表示，进一步包含与权利要求书等同的含义及范围内的所有变更(变形例)。

例如，在上述第一至第五实施方式中，示出了在磁尺4(204、304、404及504)中在基部40(240、340、440及540)一体地设置有直线移动用磁刻度41及曲线移动用磁刻度42的例子，但本发明不限于此。在本发明中，如图13所示的第一变形例那样，也可以不是在基部40而是在基材部640一体地设置1组直线移动用磁刻度41及2组曲线移动用磁刻度42。具体而言，运送装置600具备磁尺604和背磁轭607。磁尺604包含设置有直线移动用磁刻度41及曲线移动用磁刻度42的基材部640。曲线移动用磁刻度42包含与作为曲线方向的第一曲线方向一致而形成的第一曲线刻度部642a和与不同于第一曲线方向的第二曲线方向一致而形成的第二曲线刻度部642b。基材部640包含构成基材部640的下表面并且设置有直线移动用磁刻度41的直线用位置检测面640a。基材部640包含从直线用位置检测面640a突出且设置有第一曲线刻度部642a的第一曲线用位置检测面640b。基材部640包含与第一曲线用位置检测面640b相向且设置有第二曲线刻度部642b的第二曲线用位置检测面640c。由此，通过第一曲线刻度部642a及第二曲线刻度部642b，能够进行滑块3的第一曲线方向及第二曲线方向的多个曲线移动时的位置计测，因此，即使在向互相相反的曲线方向曲线移动的情况下也能够进行位置计测。由此，能够使滑块3移动的路径的自由度提高。在此，磁尺604可以通过将直线移动用磁刻度41、第一曲线刻度部642a及第二曲线刻度部642b各自磁化为磁性体后向基材部640粘接而形成。另外，磁尺604也可以通过将直线移动用磁刻度41、第一曲线刻度部642a及第二曲线刻度部642b各自磁化为粘接于基材部640的磁性体而形成。另外，磁尺604还可以通过将直线移动用磁刻度41、第一曲线刻度部642a及第二曲线刻度部642b各自磁化而成的多个磁性体向基材部640嵌件成形而形成。

另外，在上述第一至第五实施方式中，示出了直线移动用磁刻度41及曲线移动用磁刻度42各自一体地设置于基部40(240、340、440及540)的例子，但本发明不限于此。在本发明中，也可以将直线移动用磁刻度及曲线移动用磁刻度各自磁化而成的磁性体向基部粘接。

另外，在上述第一至第五实施方式中，示出了磁尺4(204、304、404及504)设置于滑块3的例子，但本发明不限于此。在本发明中，磁尺也可以设置于驱动模块。在该情况下，磁传感器设置于滑块而非驱动模块。

另外，在上述第一实施方式中，示出了磁尺4(204、304、404及504)配置于滑块框架31的内侧的例子，但本发明不限于此。在本发明中，磁尺也可以配置于滑块框架的外侧。

另外，在上述第一至第三实施方式中，示出了基部40(240、340、440及540)是Z方向的厚度比Y方向的宽度小的薄板的例子，但本发明不限于此。在本发明中，基部也可以是Y方向的厚度比Z方向的宽度小的薄板。

另外，在上述第三实施方式中，示出了同一面340a是基部40(240、340、440及540)的上表面的例子，但本发明不限于此。在本发明中，同一面也可以是上表面以外的下表面、侧面等。

另外，在上述第一至第五实施方式中，示出了运送装置100(200、300、400、500)是利用线性马达使滑块3沿着环绕路径102移动的线性输送机的例子，但本发明不限于此。在本发明中，运送装置也可以利用带式输送机驱动来使滑块驱动。另外，运送装置还可以是将在与滑块的直线移动方向正交的方向上连同滑块进行运送的运送机构组合而成的装置。

另外，在上述第一至第五实施方式中，示出了滑块3移动的路径是设置于水平面内的环状的环绕路径102的例子，但本发明不限于此。在本发明中，滑块移动的路径也可以是具有相对于水平面倾斜的斜坡的路径。

另外，在上述第一至第五实施方式中，示出了滑块3移动的路径是在俯视下为环状的环绕路径102的例子，但本发明不限于此。在本发明中，滑块移动的路径也可以不是环绕路径而是在俯视下为J字状的路径等。

另外，在上述第一至第五实施方式中，示出了直线移动用磁刻度41及曲线移动用磁刻度42各自设置有3个的例子，但本发明不限于此。在本发明中，直线移动用磁刻度及曲线移动用磁刻度也可以设置有2个或4个以上。

另外，在上述第四实施方式中，示出了基部440是在沿着Z方向(上下方向)的截面中具有大致L字形状的角铁的例子，但本发明不限于此。在本发明中，基部也可以是具有在上下方向上相向的第一面及第二面和连接第一面与第二面的连接面的具有大致C字形状的构件。

另外，在上述第四及第五实施方式中，示出了第二面440b(562)和第一面440a(561)互相大致正交的例子，但本发明不限于此。在本发明中，第二面和第一面也可以以锐角或钝角交叉。

另外，在上述第一实施方式中，示出了磁尺4以使直线移动用磁刻度41与磁传感器5在Z方向上相向并且使曲线移动用磁刻度42与磁传感器6在Z方向上相向的状态配置于滑块框架31的内侧的例子，但本发明不限于此。磁尺也可以以使直线移动用磁刻度与磁传感器在宽度方向上相向并且使曲线移动用磁刻度与磁传感器在宽度方向上相向的状态配置于滑块框架的内侧。

另外，在上述第二实施方式中，示出了记录有多个(3个)直线移动用磁刻度41的基部240安装于磁隔断板243的第一面243a并且记录有多个(3个)曲线移动用磁刻度42的基部240安装于磁隔断板243的第二面243b的例子，但本发明不限于此。在本发明中，如图14所示的第二变形例那样，也可以是记录有直线移动用磁刻度41的基部740在磁隔断板243的第一面243a安装有多个(3个)。另外，也可以是记录有曲线移动用磁刻度42的基部740在磁隔断板243的第二面243b安装有多个(3个)。需要说明的是，记录有直线移动用磁刻度41的基部740也可以在磁隔断板243的第一面243a安装有2个或4个以上。另外，记录有曲线移动用磁刻度42的基部740也可以在磁隔断板243的第二面243b安装有2个或4个以上。另外，在图14中，将直线移动用磁刻度41及曲线移动用磁刻度42在图中以虚线示出，但只不过是用于在图中将直线移动用磁刻度41及曲线移动用磁刻度42视觉化的示意。

另外，在上述第二实施方式中，示出了记录有多个(3个)直线移动用磁刻度41的基部240安装于磁隔断板243的第一面243a并且记录有多个(3个)曲线移动用磁刻度42的基部240安装于磁隔断板243的第二面243b的例子，但本发明不限于此。在本发明中，如图15及图16所示的第三变形例那样，也可以是记录有多个(3个)直线移动用磁刻度41及多个(3个)曲线移动用磁刻度42的基部840在磁隔断板243嵌件成形。需要说明的是，直线移动用磁刻度41也可以在基部840记录有2个或4个以上。另外，曲线移动用磁刻度42也可以在基部840记录有2个或4个以上。另外，在图15及图16中，将直线移动用磁刻度41及曲线移动用磁刻度42在图中以虚线示出，但只不过是用于在图中将直线移动用磁刻度41及曲线移动用磁刻度42视觉化的示意。

标号说明

1 直线移动用驱动模块(驱动模块)

2 曲线移动用驱动模块(驱动模块)

3 滑块

4、204、304、404、504磁尺

5磁传感器

6磁传感器

31滑块框架

40、240、340、440、540、740、840基部

40a、440a、540a第一面

40b、440b、540b第二面

41直线移动用磁刻度

41a一侧端部

41b另一侧端部

42曲线移动用磁刻度

42a一侧端部

42b另一侧端部

100、200、300、400、500、600运送装置

243磁隔断板

340a同一面

640基材部

640a直线用位置检测面

640b第一曲线用位置检测面

640c第二曲线用位置检测面

642a第一曲线刻度部

642b第二曲线刻度部。

Claims (13)

1.一种运送装置，具备：

滑块，能够沿着直线方向及曲线方向移动；

驱动模块，使所述滑块沿着所述直线方向或所述曲线方向移动；

磁尺，包含沿着所述直线方向形成为直线状的直线移动用磁刻度和沿着所述曲线方向形成为曲线状的曲线移动用磁刻度，设置于所述滑块及所述驱动模块中的一方；

磁传感器，设置于所述滑块及所述驱动模块中的另一方，检测所述直线移动用磁刻度及所述曲线移动用磁刻度各自的磁，

所述直线移动用磁刻度及所述曲线移动用磁刻度以互相分离的状态设置。

2.根据权利要求1所述的运送装置，其中，

所述直线移动用磁刻度和所述曲线移动用磁刻度以互相分离的状态设置于同一面或不同的面。

3.根据权利要求1或2所述的运送装置，其中，

所述磁尺设置于所述滑块，

所述磁传感器设置于所述驱动模块。

4.根据权利要求3所述的运送装置，其中，

所述滑块包含滑块框架，所述磁尺以所述直线移动用磁刻度及所述曲线移动用磁刻度相对于所述磁传感器而在上下方向上或在与所述上下方向及所述滑块的移动方向正交的宽度方向上相向的状态配置于所述滑块框架的内侧。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的运送装置，其中，

所述磁尺还包含一体地设置有所述直线移动用磁刻度及所述曲线移动用磁刻度的基部。

6.根据权利要求5所述的运送装置，其中，

所述基部包含：

第一面，设置所述直线移动用磁刻度；及

第二面，设置所述曲线移动用磁刻度，且是与所述第一面不同的面。

7.根据权利要求6所述的运送装置，其中，

所述第二面在所述基部中配置于所述第一面的背侧。

8.根据权利要求7所述的运送装置，其中，

所述基部具有磁隔断板，所述磁隔断板配置于所述直线移动用磁刻度与所述曲线移动用磁刻度之间，将从所述直线移动用磁刻度及所述曲线移动用磁刻度分别发出的磁隔断。

9.根据权利要求6所述的运送装置，其中，

所述第二面和所述第一面互相大致正交。

10.根据权利要求9所述的运送装置，其中，

所述第二面和所述第一面大致正交，

所述第二面是与所述曲线移动用磁刻度的曲率对应的弯曲面。

11.根据权利要求5所述的运送装置，其中，

所述直线移动用磁刻度及所述曲线移动用磁刻度以在所述直线移动用磁刻度及所述曲线移动用磁刻度的排列方向上互相分离的状态设置于所述基部的同一面。

12.根据权利要求1～3中任一项所述的运送装置，其中，

所述磁尺还包含设置所述直线移动用磁刻度及所述曲线移动用磁刻度的基材部，

所述曲线移动用磁刻度包含：

与作为所述曲线方向的第一曲线方向一致地形成的第一曲线刻度部；及

与不同于所述第一曲线方向的第二曲线方向一致地形成的第二曲线刻度部，

所述基材部包含：

直线用位置检测面，构成所述基材部的上表面或下表面，并且设置有所述直线移动用磁刻度；

第一曲线用位置检测面，从所述直线用位置检测面突出，设置有所述第一曲线刻度部；及

第二曲线用位置检测面，与所述第一曲线用位置检测面相向，设置有所述第二曲线刻度部。

13.根据权利要求1～12中任一项所述的运送装置，其中，

所述磁尺设置于所述滑块，

在所述滑块的移动方向上，所述直线移动用磁刻度的一侧端部和所述曲线移动用磁刻度的一侧端部配置于大致相同的位置，并且所述直线移动用磁刻度的另一侧端部和所述曲线移动用磁刻度的另一侧端部配置于大致相同的位置。