CN117406320A - 具有宽谱段宽角度衍射抑制效果的双层二维光栅结构 - Google Patents
具有宽谱段宽角度衍射抑制效果的双层二维光栅结构 Download PDFInfo
- Publication number
- CN117406320A CN117406320A CN202311703419.9A CN202311703419A CN117406320A CN 117406320 A CN117406320 A CN 117406320A CN 202311703419 A CN202311703419 A CN 202311703419A CN 117406320 A CN117406320 A CN 117406320A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- truncated cone
- layer
- wide
- grating
- double
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 title claims abstract description 24
- 230000000694 effects Effects 0.000 title claims abstract description 20
- 230000005764 inhibitory process Effects 0.000 title claims abstract description 14
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 80
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 44
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 claims abstract description 22
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims abstract description 22
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims abstract description 10
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 claims description 18
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 claims description 18
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 17
- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 claims description 16
- 230000001629 suppression Effects 0.000 claims description 11
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 claims description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 2
- 238000003672 processing method Methods 0.000 claims description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 37
- 238000012545 processing Methods 0.000 abstract description 9
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 12
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 7
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 4
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 4
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 230000006399 behavior Effects 0.000 description 2
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000000701 chemical imaging Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000013178 mathematical model Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
- 230000002195 synergetic effect Effects 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/18—Diffraction gratings
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/18—Diffraction gratings
- G02B2005/1804—Transmission gratings
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
Abstract
本发明涉及一种具有宽谱段宽角度衍射抑制效果的双层二维光栅结构，属于微纳光学技术领域，解决了目前存在的短波长谱带过宽所带来光学结构高深宽比的加工难度大、短波长激光复合性能差等问题，该结构包括沿入射光方向依次设置的蓝宝石基底、初层圆台结构透射光栅、二氧化硅膜层和次层圆台结构透射光栅，该结构通过应用类蛾眼圆台结构来实现宽谱段宽角度的减反增透，从而提升微结构加工性能；初层圆台结构透射光栅将入射光以不同的角度分散，分散后的光束通过二氧化硅膜层后照射在次层圆台结构透射光栅表面，光栅将光线重新耦合产生复合光束。该结构对衍射光有强抑制效果，使入射光集中于主级次，实现短波长多波段激光的高效复合。
Description
技术领域
本发明属于微纳光学技术领域，涉及一种具有宽谱段宽角度衍射抑制效果的双层二维光栅结构，更具体的，是一种可实现宽谱段、宽角度减反增透效果的类蛾眼圆台微纳结构。
背景技术
短波长光学技术在许多领域得到了广泛应用，包括光刻技术、激光器、显微镜、光通信等。但短波长谱带过宽也带来了相应的技术制造难题，过高深宽比的结构样式，例如微纳米尺度的光栅和光学透镜，此类复杂光学结构提高了加工难度，限制了短波长结构在加工时性能的提升。这些制造难题不仅影响了光学元件的性能，还增加了制造成本和时间成本。因而有必要攻克该部分困难，以使光学元件满足不同领域的高需求。
发明内容
针对现有技术的以上缺陷或改进需求，解决目前存在的短波长谱带过宽所带来光学结构高深宽比的加工难度大、短波长激光复合性能差等问题，本发明提供了一种具有宽谱段宽角度衍射抑制效果的双层二维光栅结构，通过双层光栅系统合并激光光束以获取激光特定波长部分。本双层二维光栅结构可灵活集成于多种宽波段光学窗口中，对次级次衍射光透过率具有强抑制效果，使入射光集中于主级次，实现短波长多波段激光的高效复合，在广谱段的光学探测和多波段光通信领域应用广泛。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：
一种具有宽谱段宽角度衍射抑制效果的双层二维光栅结构，包括沿入射光方向依次设置的蓝宝石基底、初层圆台结构透射光栅、二氧化硅膜层和次层圆台结构透射光栅，所述初层圆台结构透射光栅和所述次层圆台结构透射光栅均包括在光栅表面周期排列的圆台状微纳米结构；
所述初层圆台结构透射光栅和所述次层圆台结构透射光栅的圆台状微纳米结构中的单个圆台位置对称地分布在所述二氧化硅膜层的两侧，且单个圆台的顶端直径小于底端直径，所述圆台状微纳米结构的周期参数根据所需透射光波长数值与蓝宝石基底的折射率数值之差进行设定，高度参数根据所需透射光波长数值的二分之一进行设定；
入射光透过所述蓝宝石基底进入光栅结构，所述初层圆台结构透射光栅将入射光以不同的角度分散，分散后的光束通过所述二氧化硅膜层后照射在所述次层圆台结构透射光栅表面，所述次层圆台结构透射光栅将光线重新耦合产生复合光束。
本发明所构思的以上技术方案与现有技术相比，具备下列有益效果：
（1）本发明中利用类圆台结构的透射衍射光栅作为色散元件进行色散和光谱成像，一方面具有良好的散射均匀性、线性和灵敏度，另一方面可以通过调节光栅的周期、深度、线数及角度，实现对光场相位的灵活调整；
（2）本发明通过应用类蛾眼圆台结构来实现宽谱段宽角度的减反增透，从而规避短波长谱带过宽所带来高深宽比的加工难度，并提升微结构加工性能；该结构可灵活集成于多种宽波段光学窗口中，对衍射光有强抑制效果，可将次级衍射光透过率抑制至10-28次的数量级，使入射光集中于主级次，实现短波长多波段激光的高效复合，可用于广谱段的光学探测和多波段光通信领域。
附图说明
为了更明确地阐述本申请实施例或现有技术中的技术方案，以下简要介绍了所需使用的附图。显然，下文描述的附图仅仅是本申请中记录的一些实施例。对于该领域的技术人员而言，无需进行创造性劳动的前提下，可以根据这些附图推导出其他的附图。
图1为本发明实施例提供的双层二维光栅结构的二维示意图；
图2为本发明实施例提供的双层二维光栅结构的立体示意图；
图3为主级次不同波长入射光的透射率随衍射距离变化意图；
图4为-1级次不同波长入射光的透射率随衍射距离变化示意图；
图5为+1级次不同波长入射光的透射率随衍射距离变化示意图。
具体实施方式
为了更清晰地阐述本发明的目的、技术方案及优点，附图中详细展示了许多具体细节，以便全面理解本公开实施例。需要理解的是，在没有这些具体细节的情况下，仍然可以实施一个或多个实施例。
如图1所示，本发明实施例提供一种具有宽谱段、宽角度、衍射抑制效果的双层二维光栅结构，其为4层结构，沿入射光方向依次包括：蓝宝石基底1、初层圆台结构透射光栅2、二氧化硅膜层3以及次层圆台结构透射光栅4。
本实施例的双层二维光栅结构以蓝宝石层作为基底、采用二氧化硅膜层3来连接初层圆台结构透射光栅2与次层圆台结构透射光栅4，初层圆台结构透射光栅2由圆台状微纳米结构阵列排列于二氧化硅膜层3上表面，次层圆台结构透射光栅4与初层圆台结构透射光栅2关于二氧化硅膜层3对称分布，同样由圆台状微纳米结构阵列排列于二氧化硅膜层3下表面。初层圆台结构透射光栅2和次层圆台结构透射光栅4的圆台状微纳米结构中的单个圆台位置对称地分布在二氧化硅膜层3的两侧，每个圆台在垂直方向上具有一定的高度，而且圆台的顶端直径小于底端直径。本实施例的双层二维光栅结构用于宽波段光学窗口，入射光透过蓝宝石基底1进入光栅结构，初层圆台结构透射光栅2将入射光分光，并通过二氧化硅膜层3后，次层圆台结构透射光栅4依靠其特定结构将光线重新耦合，产生所需要的复合光束。
蓝宝石基底1透明性高、硬度高且涂覆抗反射涂层，作为结构基底，确保整个系统的稳定性与入射光透过率。蓝宝石基底1的材质为蓝宝石层，主要元素为Al2O3，其厚度可为5μm~10μm。
初层圆台结构透射光栅2呈现出圆台状的微纳米结构，其中每个圆台在垂直方向上具有一定的高度，而顶端直径较小，底端直径较大，此层旨在特定波长范围内实现对光的分散和调制，为后续光学处理提供输入。
次层圆台结构透射光栅4同样呈现圆台状的微纳米结构，但尺寸参数上与初层圆台结构透射光栅2有所不同，包括但不限于圆台的顶端直径、底端直径和圆台高度。通过设计其特定周期性结构，次层圆台结构透射光栅4有助于对光的频谱进行优化，以满足特定波段的要求，或者实现更广泛波段的光学复合。可以采用纳米压印加工方法或等离子刻蚀工艺在硅表面制造圆台结构，从而获得初层圆台结构透射光栅2和次层圆台结构透射光栅4，有效节省制造成本和时间成本。
二氧化硅膜层3连接初层圆台结构透射光栅2和次层圆台结构透射光栅4，为光学结构提供额外保护和稳定性。初层圆台结构透射光栅2和次层圆台结构透射光栅4通过二氧化硅膜层3相互支撑，保持稳定的结构，通过这一排列方式，可在不同波段光的入射情况下实现均匀的光学调制和复合激光的产生。二氧化硅膜层3的厚度应大于等于10μm，例如在10μm~15μm范围内。
初层圆台结构透射光栅2和次层圆台结构透射光栅4的圆台状微纳米结构的周期参数根据所需透射光波长数值与蓝宝石基底1的折射率数值之差进行设定，高度参数根据所需透射光波长数值的二分之一进行设定。具有减反增透效果的类蛾眼圆台结构的周期参数应满足周期参数的数值为所需透射光波长数值与蓝宝石基底1的折射率数值之差，高度（深度）应满足高度参数的数值为所需透射光波长数值的二分之一，故结构的深宽比应为蓝宝石基底1的折射率数值的二分之一。初层圆台结构透射光栅2和次层圆台结构透射光栅4中类蛾眼圆台结构的特有设计在光学系统中实现了宽谱段的减反效果，降低了反射损失，同时在宽角度范围内增透，提高了光学元件的透过率，而且有效规避了传统加工中面临的短波长谱带过宽所带来的高深宽比加工难度。
本实施例的双层二维光栅结构是一种短波长激光复合微纳结构，其立体结构如图2所示，圆台状微纳米结构为凸起，具体凸起数学模型抽象为圆台，圆台侧表面母线与二氧化硅膜层3之间的角度大于等于75°，圆台上表面顶端直径小于等于圆台的底端直径的二分之一，并且圆台的高度大于底端直径的绝对值。圆台结构中单个圆台的内定义面积为2μm*2μm，这样的阵列排布有效提升光束的分散和合成性能。
圆台结构透射光栅由圆台结构阵列排布构成，通过漫散射效应实现对入射光的吸收，将入射光前后聚集在两层圆台结构透射光栅表面，增强入射光与圆台结构透射光栅之间的耦合程度，实现对入射光最大程度的吸收。
初层圆台结构透射光栅2和次层圆台结构透射光栅4的高度分别为2.4185μm和3μm，圆台结构的高度决定了光栅结构的整体厚度，所设参数确保了透射光栅在短波长红外范围内具有优异的透过率；初层圆台结构透射光栅2和次层圆台结构透射光栅4的单个圆台顶端直径分别为1.6359μm和1.6398μm，通过调整顶端直径，可以改变光栅对不同波长的光的分散程度和方向，进而影响光的透射和反射行为；初层圆台结构透射光栅2和次层圆台结构透射光栅4的圆台底端直径分别为1.9978μm和1.6959μm，圆台底部的底端直径影响光栅的周期分布，对光的分散产生不同的影响。参数设置表明光栅结构，其中圆台尺寸经优化设计，可保证对入射光的有效分散以及对透射光的高度可调控。该设计能够优化光栅的性能，使其实现对光束耦合控制和调节。
入射混合光束自外界光源进入双层二维光栅结构，首先穿过蓝宝石基底1抵达初层圆台结构透射光栅2表面，不同波长的光束受光栅周期性结构的影响，以不同的角度分散，形成宽波段高分辨率的光谱带，分散后的光束随后通过二氧化硅膜层3，照射在次层圆台结构透射光栅4表面，次层圆台结构透射光栅4以其特定的结构使得这些波长分量以特定角度重新耦合，实现光学复合。整个结构通过元件间协同作用，实现了对入射光的分光、初步调制、频谱调制和最终复合的精确控制，为光学应用提供了高效的衍射抑制效果，实现波长选择性处理。
本实施例所提出的具有宽谱段宽角度衍射抑制效果的双层二维光栅结构，其几何参数，包括但不限于：圆台顶端直径、圆台底端直径、周期、结构深度/高度、光栅结构占空比、初层圆台结构透射光栅2与次层圆台结构透射光栅4之间的衍射距离上微小变化易引起其光学效果的变化。高度的变化可以影响光的传播路径、相位差和衍射效应，从而调节透射光栅的光学特性；圆台的顶端直径是指圆台顶部的横截面直径，圆台底部的底端直径可以影响光栅的整体形状和尺寸，通过调节其二者，可以调节光的传播路径和光栅的光学特性，进而影响光的透射和反射行为。
本实施例所提出的具有宽谱段宽角度衍射抑制效果的双层二维光栅结构，其入射短波长红外线波长范围为248nm~3.7μm，双层光栅结构中，初层圆台结构透射光栅2距离至次层圆台结构透射光栅3距离范围为10~15μm，根据上述数据对本实施例的双层二维光栅结构进行测试后，测试所得透射效率结果如图3至图5所示。根据测试结果可知，在本实施例的双层二维光栅结构中，波长对透射效率的影响具体表现在：短波长光（如248nm光）在透射效率方面表现出高振荡性，由高频相位因子组成低频包络因子相关的正弦函数图像；在中波长光（1550nm、2000nm、2500nm、3500nm）部分，波长主要影响其在透射效率方面正弦图像的振幅，如1550nm的光较其他波长光振幅更小，更稳定，透射率总体保持在99%~99.5%的范围，2000nm的光透射率总体保持在98%~100%的范围。波长对衍射效率的影响，体现在波长由短到长，相应的衍射效率由高到低再到高，但总体仍保留极低水平，次级衍射光透过率数值在10-28次左右，因此对衍射光有较强的抑制效果，可使入射光集中于主级次，实现短波长多波段激光的高效复合调控，可用于广谱段的光学探测和多波段光通信等领域，应用广泛，具有很强的推广价值。
本实施例所提出的具有宽谱段宽角度衍射抑制效果的双层二维光栅结构采用了类蛾眼圆台结构，基于蛾眼结构可以降低表面的反射率的原理，类蛾眼的圆台形结构使得材料表面的折射率沿深度方向呈现连续变化，从而减小折射率急剧变化引起的反射，保证结构的高透射性。入射光通过蓝宝石基底在初层光栅分光，再透过二氧化硅膜层在次层光栅以特定结构特定角度进行耦合的方式，成功地实现光束复合，产生所需要的短波长复合激光。该结构可灵活集成于多种宽波段光学窗口中，对次级次衍射光透过率具有强抑制效果，使入射光集中于主级次，实现短波长多波段激光的高效复合，在广谱段的光学探测和多波段光通信领域应用广泛。
总之，本发明涉及一种具有宽谱段宽角度衍射抑制效果的双层二维光栅结构，其应用范围广泛，可用于光学探测，应用于宽波段光学窗口；在光学通信方面，用于选择特定波长的光来传输信息；在激光器频率选择方面，用于选择和稳定激光器的输出波长；用于在光通信中同时传输多个波长的信号。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (9)
1.一种具有宽谱段宽角度衍射抑制效果的双层二维光栅结构，其特征在于，包括沿入射光方向依次设置的蓝宝石基底（1）、初层圆台结构透射光栅（2）、二氧化硅膜层（3）和次层圆台结构透射光栅（4），所述初层圆台结构透射光栅（2）和所述次层圆台结构透射光栅（4）均包括在光栅表面周期排列的圆台状微纳米结构；
所述初层圆台结构透射光栅（2）和所述次层圆台结构透射光栅（4）的圆台状微纳米结构中的单个圆台位置对称地分布在所述二氧化硅膜层（3）的两侧，且单个圆台的顶端直径小于底端直径，所述圆台状微纳米结构的周期参数根据所需透射光波长数值与蓝宝石基底（1）的折射率数值之差进行设定，高度参数根据所需透射光波长数值的二分之一进行设定；
入射光透过所述蓝宝石基底（1）进入光栅结构，所述初层圆台结构透射光栅（2）将入射光以不同的角度分散，分散后的光束通过所述二氧化硅膜层（3）后照射在所述次层圆台结构透射光栅（4）表面，所述次层圆台结构透射光栅（4）将光线重新耦合产生复合光束。
2.根据权利要求1所述的一种具有宽谱段宽角度衍射抑制效果的双层二维光栅结构，其特征在于，单个圆台的侧表面母线与所述二氧化硅膜层（3）之间的角度大于等于75°，圆台上表面的顶端直径小于等于圆台的底端直径的二分之一，且圆台的高度大于底端直径绝对值。
3.根据权利要求1所述的一种具有宽谱段宽角度衍射抑制效果的双层二维光栅结构，其特征在于，单个圆台的内定义面积为2μm*2μm。
4.根据权利要求1所述的一种具有宽谱段宽角度衍射抑制效果的双层二维光栅结构，其特征在于，所述初层圆台结构透射光栅（2）中圆台的高度为2.4185μm，圆台顶端直径为1.6359μm，圆台底端直径为1.9978μm。
5.根据权利要求1所述的一种具有宽谱段宽角度衍射抑制效果的双层二维光栅结构，其特征在于，所述次层圆台结构透射光栅（4）中圆台的高度为3μm，圆台顶端直径为1.6398μm，圆台底端直径为1.6959μm。
6.根据权利要求1所述的一种具有宽谱段宽角度衍射抑制效果的双层二维光栅结构，其特征在于，所述蓝宝石基底（1）的厚度为5μm~10μm。
7.根据权利要求1所述的一种具有宽谱段宽角度衍射抑制效果的双层二维光栅结构，其特征在于，所述二氧化硅膜层（3）的厚度为10μm~15μm。
8.根据权利要求1所述的一种具有宽谱段宽角度衍射抑制效果的双层二维光栅结构，其特征在于，所述复合光束的波长范围为248nm~3.7μm。
9.根据权利要求1所述的一种具有宽谱段宽角度衍射抑制效果的双层二维光栅结构，其特征在于，采用纳米压印加工方法或者等离子刻蚀工艺在硅表面制造圆台状微纳米结构。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202311703419.9A CN117406320B (zh) | 2023-12-13 | 2023-12-13 | 具有宽谱段宽角度衍射抑制效果的双层二维光栅结构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202311703419.9A CN117406320B (zh) | 2023-12-13 | 2023-12-13 | 具有宽谱段宽角度衍射抑制效果的双层二维光栅结构 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN117406320A true CN117406320A (zh) | 2024-01-16 |
| CN117406320B CN117406320B (zh) | 2024-02-13 |
Family
ID=89496500
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202311703419.9A Active CN117406320B (zh) | 2023-12-13 | 2023-12-13 | 具有宽谱段宽角度衍射抑制效果的双层二维光栅结构 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN117406320B (zh) |
Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20080055727A1 (en) * | 2006-09-04 | 2008-03-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Diffractive optical element and optical system having the same |
| JP2008233528A (ja) * | 2007-03-20 | 2008-10-02 | Asahi Glass Co Ltd | 反射型回折格子および分光装置 |
| JP2008242391A (ja) * | 2007-03-29 | 2008-10-09 | Canon Inc | 回折光学素子とそれを用いた光学系 |
| KR20090079764A (ko) * | 2008-03-07 | 2009-07-22 | (주)오픈베이스 | 파장 가변 장치 및 그 방법 |
| US20120327412A1 (en) * | 2011-06-23 | 2012-12-27 | Seiko Epson Corporation | Transmissive diffraction grating and detection apparatus |
| CN104570378A (zh) * | 2015-01-12 | 2015-04-29 | 苏州大学 | 一种宽带角度选择光学滤波器及其制备方法 |
| CN108008478A (zh) * | 2017-12-01 | 2018-05-08 | 暨南大学 | 基于金属多层介质膜的偏振选择反射式光栅 |
| CN113740940A (zh) * | 2021-09-06 | 2021-12-03 | 长春理工大学 | 一种宽带宽角度抗反射复合微纳结构表面及其制备方法 |
| CN114114474A (zh) * | 2021-09-06 | 2022-03-01 | 长春理工大学 | 一种抗损伤宽角度减反射复合微纳结构及其制备方法 |
| CN114609794A (zh) * | 2022-02-24 | 2022-06-10 | 暨南大学 | 基于金属倾斜圆台或圆柱二维光栅的正交偏振分束器 |
-
2023
- 2023-12-13 CN CN202311703419.9A patent/CN117406320B/zh active Active
Patent Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20080055727A1 (en) * | 2006-09-04 | 2008-03-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Diffractive optical element and optical system having the same |
| JP2008233528A (ja) * | 2007-03-20 | 2008-10-02 | Asahi Glass Co Ltd | 反射型回折格子および分光装置 |
| JP2008242391A (ja) * | 2007-03-29 | 2008-10-09 | Canon Inc | 回折光学素子とそれを用いた光学系 |
| KR20090079764A (ko) * | 2008-03-07 | 2009-07-22 | (주)오픈베이스 | 파장 가변 장치 및 그 방법 |
| US20120327412A1 (en) * | 2011-06-23 | 2012-12-27 | Seiko Epson Corporation | Transmissive diffraction grating and detection apparatus |
| CN104570378A (zh) * | 2015-01-12 | 2015-04-29 | 苏州大学 | 一种宽带角度选择光学滤波器及其制备方法 |
| CN108008478A (zh) * | 2017-12-01 | 2018-05-08 | 暨南大学 | 基于金属多层介质膜的偏振选择反射式光栅 |
| CN113740940A (zh) * | 2021-09-06 | 2021-12-03 | 长春理工大学 | 一种宽带宽角度抗反射复合微纳结构表面及其制备方法 |
| CN114114474A (zh) * | 2021-09-06 | 2022-03-01 | 长春理工大学 | 一种抗损伤宽角度减反射复合微纳结构及其制备方法 |
| CN114609794A (zh) * | 2022-02-24 | 2022-06-10 | 暨南大学 | 基于金属倾斜圆台或圆柱二维光栅的正交偏振分束器 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 卢鹭云;汪凯巍;白剑;: "基于光栅侧面耦合的宽光带集光技术", 红外与激光工程, no. 12, 25 December 2015 (2015-12-25) * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN117406320B (zh) | 2024-02-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN109669226B (zh) | 一种基于超表面透镜组阵列的激光雷达扫描装置及其设计方法 | |
| US7477827B2 (en) | Variable Optical Attenuator | |
| CN111448497B (zh) | 光波导上的抗反射涂层 | |
| CN105762632B (zh) | 大功率激光高亮度光谱合成系统 | |
| EP3963359A1 (en) | Planar luneburg lens system for two-dimensional optical beam steering | |
| CN110618480B (zh) | 一种90°偏转的光学元件、其使用方法及应用 | |
| CN103487876A (zh) | 一种用于3-5微米波段光波宽带低损耗传输的空芯光子带隙光纤 | |
| CN117406320B (zh) | 具有宽谱段宽角度衍射抑制效果的双层二维光栅结构 | |
| JP4556149B2 (ja) | 指向特性取得方法及び指向特性取得装置 | |
| CN109164517A (zh) | 一种产生远距离高分辨贝塞尔光束的双胶合轴锥镜及方法 | |
| EP2548060A1 (en) | Optical star coupler | |
| Ohtera et al. | Antireflection coatings for multilayer-type photonic crystals | |
| CN209640518U (zh) | 一种产生远距离高分辨贝塞尔光束的双胶合轴锥镜 | |
| CN110082906A (zh) | 基于不完整非对称awg的光学相控阵 | |
| Zhang et al. | Binary diffractive small lens array for THz imaging system | |
| CN108333681B (zh) | 基于部分透射式角反射镜组的片上集成部分反射器 | |
| CN203433143U (zh) | 一种用于3-5微米波段光波宽带低损耗传输的空芯光子带隙光纤 | |
| CN109164526A (zh) | 一种非偏振型窄带光学带通滤波器 | |
| CN107850492A (zh) | 光学干涉仪 | |
| CN114706151A (zh) | 一种基于仿生蛾眼结构的保偏宽谱聚焦中红外超构透镜 | |
| KR100903657B1 (ko) | 라인 빔 생성기 및 그 제조 방법 | |
| CN215986751U (zh) | 一种分光装置及系统 | |
| CN1246716C (zh) | 低回损蚀刻衍射光栅波分复用器 | |
| CN219143211U (zh) | 一种谱型可调的滤波器 | |
| KR100863196B1 (ko) | 라인 빔 생성 장치 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |