CN117392242B - 成像系统标定方法、装置、计算机设备和存储介质 - Google Patents
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- 238000003384 imaging method Methods 0.000 title claims abstract description 247
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 74
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 claims abstract description 109
- 238000004590 computer program Methods 0.000 claims description 28
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 23
- 230000003321 amplification Effects 0.000 abstract description 5
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 abstract description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 229910021389 graphene Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000013507 mapping Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
Classifications
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- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T7/00—Image analysis
- G06T7/80—Analysis of captured images to determine intrinsic or extrinsic camera parameters, i.e. camera calibration
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- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T2207/00—Indexing scheme for image analysis or image enhancement
- G06T2207/10—Image acquisition modality
- G06T2207/10056—Microscopic image
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- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T2207/00—Indexing scheme for image analysis or image enhancement
- G06T2207/30—Subject of image; Context of image processing
- G06T2207/30204—Marker
- G06T2207/30208—Marker matrix
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
本申请涉及一种成像系统标定方法、装置、计算机设备和存储介质。所述方法包括：通过根据扫描电子显微镜SEM的样品台运动前，SEM的成像系统采集的第一SEM图像，确定施加至样品台在世界坐标系下的第一运动量，然后根据第一SEM图像和基于第一运动量控制样品台运动后成像系统采集的第二SEM图像，确定在图像坐标系下的第二运动量，最后根据第一运动量、第二运动量和成像模型，对成像系统进行标定。由于本申请实施例中无需针对成像系统不同的放大倍数更换不同的定制化高精度标定模板，而是根据第一运动量、第二运动量和成像模型确定参数，从而对成像系统进行标定，因此简化了标定操作，提高了操作的灵活性，省时省力，节约了成本。
Description
技术领域
本申请涉及成像系统标定技术领域，特别是涉及一种成像系统标定方法、装置、计算机设备和存储介质。
背景技术
扫描电子显微镜（scanning electron microscope，SEM）具有非接触、精度高和测量范围广等优点，被广泛应用于材料科学、生命医学、微电子制造、半导体制造以及微纳操作与测量等领域中。在SEM的使用过程中，对SEM的成像系统进行标定是进行微纳米尺度检测的关键环节。
传统技术中，通常采用定制化的高精度标定模板，对SEM的成像系统进行标定。
但是，目前在成像系统的标定过程中，需要针对成像系统不同的放大倍数更换不同的定制化高精度标定模板，标定操作繁琐，耗时耗力。
发明内容
基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种能够简化标定操作，省时省力的成像系统标定方法、装置、计算机设备和存储介质。
第一方面，本申请提供了一种成像系统标定方法。该方法包括：
根据扫描电子显微镜SEM的样品台运动前，该SEM的成像系统采集的第一SEM图像，确定施加至该样品台在世界坐标系下的第一运动量；
根据该第一SEM图像和第二SEM图像，确定在图像坐标系下的第二运动量；该第二SEM图像为基于该第一运动量控制该样品台运动后该成像系统采集的图像；
根据该第一运动量、该第二运动量和成像模型，对该成像系统进行标定。
在其中一个实施例中，该根据该第一SEM图像和第二SEM图像，确定在图像坐标系下的第二运动量，包括：
根据该第一SEM图像和该第二SEM图像，利用模板匹配法确定在图像坐标系下的第二运动量。
在其中一个实施例中，该模板匹配法包括归一化积相关法NCC、平方差和法SSD、BBS算法、DDIS算法和CoTM算法中任一种。
在其中一个实施例中，该根据该第一运动量、该第二运动量和成像模型，对该成像系统进行标定，包括：
根据该第一运动量、该第二运动量和该成像模型确定单应矩阵；
对该单应矩阵进行分解得到该成像模型的内参参数和外参参数；
根据该内参参数和该外参参数对该成像系统进行标定。
在其中一个实施例中，该成像模型包括小孔成像模型、平行成像模型、透视成像模型、正交投影成像模型中任一种。
在其中一个实施例中，该根据扫描电子显微镜SEM的样品台运动前，该SEM的成像系统采集的第一SEM图像，确定施加至该样品台在世界坐标系下的第一运动量，包括：
确定该第一SEM图像的实际成像范围；
根据该实际成像范围，确定施加至该样品台在世界坐标系下的第一运动量。
在其中一个实施例中，该根据该实际成像范围，确定施加至该样品台在世界坐标系下的第一运动量，包括：
将预设倍数的实际成像范围作为施加至该样品台在世界坐标系下的第一运动量；该预设倍数不小于第一预设数值且不大于第二预设数值。
第二方面，本申请还提供了一种成像系统标定装置。该装置包括：
第一确定模块，用于根据扫描电子显微镜SEM的样品台运动前，该SEM的成像系统采集的第一SEM图像，确定施加至该样品台在世界坐标系下的第一运动量；
第二确定模块，用于根据该第一SEM图像和第二SEM图像，确定在图像坐标系下的第二运动量；该第二SEM图像为基于该第一运动量控制该样品台运动后该成像系统采集的图像；
标定模块，用于根据该第一运动量、该第二运动量和成像模型，对该成像系统进行标定。
第三方面，本申请还提供了一种计算机设备，包括存储器和处理器，该存储器存储有计算机程序，该处理器执行该计算机程序时实现上述任一方法的步骤。
第四方面，本申请还提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现上述任一方法的步骤。
上述成像系统标定方法、装置、计算机设备和存储介质，通过根据扫描电子显微镜SEM的样品台运动前，SEM的成像系统采集的第一SEM图像，确定施加至样品台在世界坐标系下的第一运动量，然后根据第一SEM图像和基于第一运动量控制样品台运动后成像系统采集的第二SEM图像，确定在图像坐标系下的第二运动量，最后根据第一运动量、第二运动量和成像模型，对成像系统进行标定。由于本申请实施例中无需针对成像系统不同的放大倍数更换不同的定制化高精度标定模板，而是根据第一运动量、第二运动量和成像模型确定参数，从而对成像系统进行标定，因此简化了标定操作，省时省力，并且节约了成本。
附图说明
图1是本申请实施例提供的一种扫描电子显微镜的结构示意图；
图2是本申请实施例提供的一种计算机设备的内部结构图；
图3是本申请实施例提供的一种成像系统标定方法的流程示意图；
图4是本申请实施例提供的另一种成像系统标定方法的流程示意图；
图5是本申请实施例提供的一种第一运动量确定方法的流程示意图；
图6是本申请实施例提供的一种扫描电子显微镜成像系统自标定方法的流程示意图；
图7是本申请实施例提供的一种成像系统标定装置的结构框图。
具体实施方式
为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。
扫描电子显微镜（scanning electron microscope，SEM）具有非接触、精度高和测量范围广等优点，被广泛应用于材料科学、生命医学、微电子制造、半导体制造以及微纳操作与测量等领域中。在SEM的使用过程中，对SEM的成像系统进行标定是进行微纳米尺度检测的关键环节。
传统技术中，通常采用定制化的高精度标定模板，对SEM的成像系统进行标定。
但是，目前在成像系统的标定过程中，需要针对成像系统不同的放大倍数更换不同的定制化高精度标定模板，标定操作繁琐，耗时耗力。
参照图1，图1是本申请实施例提供的一种扫描电子显微镜的结构示意图。如图1所示，101为成像系统、102为成像控制系统、103为样品台控制系统、104为样品台。成像系统101用于采集SEM图像，并将采集到的SEM图像发送给成像控制系统102。成像控制系统102用于获取成像系统101发送的SEM图像，处理成像系统101发送的SEM图像，并向样品台控制系统103发送控制指令。样品台控制系统103用于接收成像控制系统102发送的控制指令，并根据控制指令控制样品台104运动。样品台104用于放置样品。
本申请实施例提供的成像系统标定方法，可以应用于如图2所示的应用环境中。图2是本申请实施例提供的一种计算机设备的内部结构图，该计算机设备可以是服务器，其内部结构图可以如图2所示。该计算机设备包括通过系统总线连接的处理器、存储器和网络接口。其中，该计算机设备的处理器用于提供计算和控制能力。该计算机设备的存储器包括非易失性存储介质和内存储器。该非易失性存储介质存储有操作系统、计算机程序和数据库。本申请实施例中，计算机设备可以为控制系统102。该内存储器为非易失性存储介质中的操作系统和计算机程序的运行提供环境。该计算机设备的网络接口用于与外部的终端通过网络连接通信。该计算机程序被处理器执行时以实现一种成像系统标定方法。
本领域技术人员可以理解，图2中示出的结构，仅仅是与本申请方案相关的部分结构的框图，并不构成对本申请方案所应用于其上的计算机设备的限定，具体的计算机设备可以包括比图中所示更多或更少的部件，或者组合某些部件，或者具有不同的部件布置。
在一个实施例中，如图3所示，图3是本申请实施例提供的一种成像系统标定方法的流程示意图，该方法可以应用于图2中计算机设备，该方法包括以下步骤：
S301，根据扫描电子显微镜SEM的样品台运动前，SEM的成像系统采集的第一SEM图像，确定施加至样品台在世界坐标系下的第一运动量。
可选的，第一SEM图像可以为样品台104运动前，样品台的SEM图像或者放置于样品台104上样品的SEM图像。
在世界坐标系下样品台的第一运动量可以用于反映样品台104运动的实际距离。
具体的，在SEM的样品台104运动前，成像系统101可以采集样品台104或放置于样品台104上样品的第一SEM图像，并将第一SEM图像发送给SEM的成像控制系统102。成像控制系统102可以获取第一SEM图像，根据第一SEM图像确定施加至样品台104在世界坐标系下的第一运动量。样品台104可以根据第一运动量直线运动。其中，直线运动可以为水平方向上的直线运动或竖直方向上的直线运动。
S302，根据第一SEM图像和第二SEM图像，确定在图像坐标系下的第二运动量；第二SEM图像为基于第一运动量控制样品台运动后成像系统采集的图像。
图像坐标系下的第二运动量可以用于反映样品台运动的像素距离。
具体的，成像控制系统102根据第一SEM图像确定施加至样品台104在世界坐标系下的第一运动量，根据第一运动量生成控制指令，向样品台控制系统103发送控制指令。样品台控制系统103接收成像控制系统102发送的控制指令，并根据控制指令控制样品台104直线运动。将样品台104运动后成像系统101采集到的SEM图像作为第二SEM图像。成像控制系统102获取第二SEM图像，根据第一SEM图像和第二SEM图像，利用NCC算法、SSD算法、BBS算法、DDIS算法和CoTM算法中任一种模板匹配法，确定在图像坐标系下的第二运动量，第二运动量为像素值。
可选的，第二SEM图像可以为样品台运动后，样品台的SEM图像或者放置于样品台上样品的SEM图像。
S303，根据第一运动量、第二运动量和成像模型，对成像系统进行标定。
可选的，可以根据第一运动量和第二运动量，基于小孔成像模型、平行成像模型、透视成像模型、正交投影成像模型中任一种成像模型，确定成像模型的内参参数和外参参数，根据内参参数和外参参数对成像系统进行标定。
本申请实施例中，通过根据扫描电子显微镜SEM的样品台运动前，SEM的成像系统采集的第一SEM图像，确定施加至样品台在世界坐标系下的第一运动量，然后根据第一SEM图像和基于第一运动量控制样品台运动后成像系统采集的第二SEM图像，确定在图像坐标系下的第二运动量，最后根据第一运动量、第二运动量和成像模型，对成像系统进行标定。由于本申请实施例中无需针对成像系统不同的放大倍数更换不同的定制化高精度标定模板，而是根据第一运动量、第二运动量和成像模型确定参数，从而对成像系统进行标定，因此简化了标定操作，提高了操作的灵活性，省时省力，节约了成本。并且以样品台的直线运动量作为标定基准，更容易测量，提高了标定的准确性。
在上述实施例的基础上，上述的S302，根据第一SEM图像和第二SEM图像，确定在图像坐标系下的第二运动量，可以通过如下方式实现：
根据第一SEM图像和第二SEM图像，利用模板匹配法确定在图像坐标系下的第二运动量。
可选的，可以根据第一SEM图像和第二SEM图像，利用NCC算法、SSD算法、BBS算法、DDIS算法和CoTM算法中任一种模板匹配法，确定在图像坐标系下的第二运动量。
本申请实施例中，根据第一SEM图像和第二SEM图像，利用模板匹配法确定在图像坐标系下的第二运动量，从而可以根据第一运动量和第二运动量确定参数，对成像系统进行标定，简化了标定操作，并且以样品台的直线运动量作为标定基准，更容易测量，提高了标定的准确性。
在上述实施例的基础上，模板匹配法包括归一化积相关法NCC、平方差和法SSD、BBS算法、DDIS算法和CoTM算法中任一种。
本申请实施例中，可以根据实际需求选择NCC算法、SSD算法、BBS算法、DDIS算法和CoTM算法中任一种模板匹配法，确定在图像坐标系下的第二运动量，提高了标定操作的灵活性和准确性。
参照图4，图4是本申请实施例提供的另一种成像系统标定方法的流程示意图。本实施例涉及的是如何根据第一运动量、第二运动量和成像模型，对成像系统进行标定的一种可能的实现方式。在上述实施例的基础上，上述S303包括如下步骤：
S401，根据第一运动量、第二运动量和成像模型确定单应矩阵。
单应矩阵用于反映世界坐标系下的第一运动量，与图像坐标下的第二运动量之间的映射关系。
可选的，可以根据第一运动量和第二运动量，基于小孔成像模型、平行成像模型、透视成像模型、正交投影成像模型中任一种成像模型确定单应矩阵。
S402，对单应矩阵进行分解得到成像模型的内参参数和外参参数。
S403，根据内参参数和外参参数对成像系统进行标定。
具体的，可以对单应矩阵单应矩阵进行分解得到成像模型的内参参数和外参参数，将成像模型的内参参数和外参参数作为成像系统的内参参数和外参参数，根据成像系统的内参参数和外参参数对成像系统进行标定。
本申请实施例中，根据第一运动量、第二运动量和成像模型确定单应矩阵，对单应矩阵进行分解得到成像模型的内参参数和外参参数，根据内参参数和外参参数对成像系统进行标定。由于本申请实施例中，根据第一运动量、第二运动量和成像模型确定了成像系统的内参参数和外参参数，简化了标定操作，提高了操作的灵活性，省时省力，节约了成本。并且以样品台直线运动的第一运动量和第二运动量为标定基准，更容易测量，提高了标定的准确性。
在上述实施例的基础上，成像模型包括小孔成像模型、平行成像模型、透视成像模型、正交投影成像模型中任一种。
本申请实施例中，可以根据实际需求选择小孔成像模型、平行成像模型、透视成像模型、正交投影成像模型中任一种模成像模型，确定单应矩阵，提高了标定操作的灵活性和准确性。
参照图5，图5是本申请实施例提供的一种第一运动量确定方法的流程示意图。本实施涉及的是如何根据扫描电子显微镜SEM的样品台运动前，SEM的成像系统采集的第一SEM图像，确定施加至样品台在世界坐标系下的第一运动量的一种可能的实现方式。在上述实施例的基础上，上述S301包括如下步骤：
S501，确定第一SEM图像的实际成像范围。
第一SEM图像的实际成像范围与成像系统101的放大倍数成反比，即成像系统101的放大倍数越大，第一SEM图像的实际成像范围越小。
S502，根据实际成像范围，确定施加至样品台在世界坐标系下的第一运动量。
可选的，可以将将预设倍数的实际成像范围作为施加至样品台在世界坐标系下的第一运动量。
本申请实施例中，通过确定第一SEM图像的实际成像范围，根据实际成像范围，确定施加至样品台在世界坐标系下的第一运动量，从而控制样品台在合适的范围内直线运动，防止样品台的运动范围超出实际成像范围，影响标定操作的准确性。
在上述实施例的基础上，上述的S502，根据实际成像范围，确定施加至样品台在世界坐标系下的第一运动量，可以通过如下方式实现：
将预设倍数的实际成像范围作为施加至样品台在世界坐标系下的第一运动量；预设倍数不小于第一预设数值且不大于第二预设数值。
示例性的，假设步骤S501中确定的第一SEM图像的实际成像范围为50μm×10μm的矩形区域，第一预设数值为1/3，第二预设数值为2/3，预设倍数为1/2，则在长度为50μm的方向上，第一运动量为50μm的1/2，即第一运动量为25μm；类似的，在长度为10μm的方向上，第一运动量为10μm的1/2，即第一运动量为5μm。
本申请实施例中，通过将不小于第一预设数值且不大于第二预设数值的预设倍数的实际成像范围作为施加至样品台在世界坐标系下的第一运动量，从而控制样品台在合适的范围内直线运动，防止样品台的运动范围超出实际成像范围，影响标定操作的准确性。
参照图6，图6是本申请实施例提供的一种扫描电子显微镜成像系统自标定方法的流程示意图。该方法包括如下步骤：
S601，获取扫描电子显微镜SEM的样品台运动前，SEM的成像系统采集的第一SEM图像。
S602，确定第一SEM图像的实际成像范围。
S603，根据实际成像范围，确定施加至样品台在世界坐标系下的第一运动量。
S604，获取基于第一运动量控制样品台运动后成像系统采集的第二SEM图像。
S605，根据第一SEM图像和第二SEM图像，利用模板匹配法确定在图像坐标系下的第二运动量。
S606，根据第一运动量、第二运动量和成像模型确定单应矩阵。
S607，对单应矩阵进行分解得到成像模型的内参参数和外参参数。
S608，根据内参参数和外参参数对成像系统进行标定。
应该理解的是，虽然如上所述的各实施例所涉及的流程图中的各个步骤按照箭头的指示依次显示，但是这些步骤并不是必然按照箭头指示的顺序依次执行。除非本文中有明确的说明，这些步骤的执行并没有严格的顺序限制，这些步骤可以以其它的顺序执行。而且，如上所述的各实施例所涉及的流程图中的至少一部分步骤可以包括多个步骤或者多个阶段，这些步骤或者阶段并不必然是在同一时刻执行完成，而是可以在不同的时刻执行，这些步骤或者阶段的执行顺序也不必然是依次进行，而是可以与其它步骤或者其它步骤中的步骤或者阶段的至少一部分轮流或者交替地执行。
基于同样的发明构思，本申请实施例还提供了一种用于实现上述所涉及的成像系统标定方法的成像系统标定装置。该装置所提供的解决问题的实现方案与上述方法中所记载的实现方案相似，故下面所提供的一个或多个成像系统标定装置实施例中的具体限定可以参见上文中对于成像系统标定方法的限定，在此不再赘述。
在一个实施例中，如图7所示，图7是本申请实施例提供的一种成像系统标定装置的结构框图，该装置700包括：
第一确定模块701，用于根据扫描电子显微镜SEM的样品台运动前，SEM的成像系统采集的第一SEM图像，确定施加至样品台在世界坐标系下的第一运动量；
第二确定模块702，用于根据第一SEM图像和第二SEM图像，确定在图像坐标系下的第二运动量；第二SEM图像为基于第一运动量控制样品台运动后成像系统采集的图像；
标定模块703，用于根据第一运动量、第二运动量和成像模型，对成像系统进行标定。
在其中一个实施例中，第二确定模块702，具体用于根据第一SEM图像和第二SEM图像，利用模板匹配法确定在图像坐标系下的第二运动量。
在其中一个实施例中，模板匹配法包括归一化积相关法NCC、平方差和法SSD、BBS算法、DDIS算法和CoTM算法中任一种。
在其中一个实施例中，标定模块703包括：
第一确定单元，用于根据第一运动量、第二运动量和成像模型确定单应矩阵。
分解单元，用于对单应矩阵进行分解得到成像模型的内参参数和外参参数；
标定单元，用于根据内参参数和外参参数对成像系统进行标定。
在其中一个实施例中，成像模型包括小孔成像模型、平行成像模型、透视成像模型、正交投影成像模型中任一种。
在其中一个实施例中，第一确定模块701包括：
第二确定单元，用于确定第一SEM图像的实际成像范围。
第三确定单元，用于根据实际成像范围，确定施加至样品台在世界坐标系下的第一运动量。
在其中一个实施例中，第三确定单元，具体用于将预设倍数的实际成像范围作为施加至样品台在世界坐标系下的第一运动量；预设倍数不小于第一预设数值且不大于第二预设数值。
上述成像系统标定装置中的各个模块可全部或部分通过软件、硬件及其组合来实现。上述各模块可以硬件形式内嵌于或独立于计算机设备中的处理器中，也可以以软件形式存储于计算机设备中的存储器中，以便于处理器调用执行以上各个模块对应的操作。
在一个实施例中，提供了一种计算机设备，包括存储器和处理器，存储器中存储有计算机程序，该处理器执行计算机程序时实现以下步骤：
根据扫描电子显微镜SEM的样品台运动前，SEM的成像系统采集的第一SEM图像，确定施加至样品台在世界坐标系下的第一运动量；
根据第一SEM图像和第二SEM图像，确定在图像坐标系下的第二运动量；第二SEM图像为基于第一运动量控制样品台运动后成像系统采集的图像；
根据第一运动量、第二运动量和成像模型，对成像系统进行标定。
在一个实施例中，处理器执行计算机程序时还实现以下步骤：
根据第一SEM图像和第二SEM图像，利用模板匹配法确定在图像坐标系下的第二运动量。
在一个实施例中，模板匹配法包括归一化积相关法NCC、平方差和法SSD、BBS算法、DDIS算法和CoTM算法中任一种。
在一个实施例中，处理器执行计算机程序时还实现以下步骤：
根据第一运动量、第二运动量和成像模型确定单应矩阵；
对单应矩阵进行分解得到成像模型的内参参数和外参参数；
根据内参参数和外参参数对成像系统进行标定。
在一个实施例中，成像模型包括小孔成像模型、平行成像模型、透视成像模型、正交投影成像模型中任一种。
在一个实施例中，处理器执行计算机程序时还实现以下步骤：
确定第一SEM图像的实际成像范围；
根据实际成像范围，确定施加至样品台在世界坐标系下的第一运动量。
在一个实施例中，处理器执行计算机程序时还实现以下步骤：
将预设倍数的实际成像范围作为施加至样品台在世界坐标系下的第一运动量；预设倍数不小于第一预设数值且不大于第二预设数值。
在一个实施例中，提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，计算机程序被处理器执行时实现以下步骤：
根据扫描电子显微镜SEM的样品台运动前，SEM的成像系统采集的第一SEM图像，确定施加至样品台在世界坐标系下的第一运动量；
根据第一SEM图像和第二SEM图像，确定在图像坐标系下的第二运动量；第二SEM图像为基于第一运动量控制样品台运动后成像系统采集的图像；
根据第一运动量、第二运动量和成像模型，对成像系统进行标定。
在一个实施例中，计算机程序被处理器执行时还实现以下步骤：
根据第一SEM图像和第二SEM图像，利用模板匹配法确定在图像坐标系下的第二运动量。
在一个实施例中，模板匹配法包括归一化积相关法NCC、平方差和法SSD、BBS算法、DDIS算法和CoTM算法中任一种。
在一个实施例中，计算机程序被处理器执行时还实现以下步骤：
根据第一运动量、第二运动量和成像模型确定单应矩阵；
对单应矩阵进行分解得到成像模型的内参参数和外参参数；
根据内参参数和外参参数对成像系统进行标定。
在一个实施例中，成像模型包括小孔成像模型、平行成像模型、透视成像模型、正交投影成像模型中任一种。
在一个实施例中，计算机程序被处理器执行时还实现以下步骤：
确定第一SEM图像的实际成像范围；
根据实际成像范围，确定施加至样品台在世界坐标系下的第一运动量。
在一个实施例中，计算机程序被处理器执行时还实现以下步骤：
将预设倍数的实际成像范围作为施加至样品台在世界坐标系下的第一运动量；预设倍数不小于第一预设数值且不大于第二预设数值。
在一个实施例中，提供了一种计算机程序产品，包括计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现以下步骤：
根据扫描电子显微镜SEM的样品台运动前，SEM的成像系统采集的第一SEM图像，确定施加至样品台在世界坐标系下的第一运动量；
根据第一SEM图像和第二SEM图像，确定在图像坐标系下的第二运动量；第二SEM图像为基于第一运动量控制样品台运动后成像系统采集的图像；
根据第一运动量、第二运动量和成像模型，对成像系统进行标定。
在一个实施例中，计算机程序被处理器执行时还实现以下步骤：
根据第一SEM图像和第二SEM图像，利用模板匹配法确定在图像坐标系下的第二运动量。
在一个实施例中，模板匹配法包括归一化积相关法NCC、平方差和法SSD、BBS算法、DDIS算法和CoTM算法中任一种。
在一个实施例中，计算机程序被处理器执行时还实现以下步骤：
根据第一运动量、第二运动量和成像模型确定单应矩阵；
对单应矩阵进行分解得到成像模型的内参参数和外参参数；
根据内参参数和外参参数对成像系统进行标定。
在一个实施例中，成像模型包括小孔成像模型、平行成像模型、透视成像模型、正交投影成像模型中任一种。
在一个实施例中，计算机程序被处理器执行时还实现以下步骤：
确定第一SEM图像的实际成像范围；
根据实际成像范围，确定施加至样品台在世界坐标系下的第一运动量。
在一个实施例中，计算机程序被处理器执行时还实现以下步骤：
将预设倍数的实际成像范围作为施加至样品台在世界坐标系下的第一运动量；预设倍数不小于第一预设数值且不大于第二预设数值。
本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例方法中的全部或部分流程，是可以通过计算机程序来指令相关的硬件来完成，所述的计算机程序可存储于一非易失性计算机可读取存储介质中，该计算机程序在执行时，可包括如上述各方法的实施例的流程。其中，本申请所提供的各实施例中所使用的对存储器、数据库或其它介质的任何引用，均可包括非易失性和易失性存储器中的至少一种。非易失性存储器可包括只读存储器（Read-OnlyMemory，ROM）、磁带、软盘、闪存、光存储器、高密度嵌入式非易失性存储器、阻变存储器（ReRAM）、磁变存储器（Magnetoresistive Random Access Memory，MRAM）、铁电存储器（Ferroelectric Random Access Memory，FRAM）、相变存储器（Phase Change Memory，PCM）、石墨烯存储器等。易失性存储器可包括随机存取存储器（Random Access Memory，RAM）或外部高速缓冲存储器等。作为说明而非局限，RAM可以是多种形式，比如静态随机存取存储器（Static Random AccessMemory，SRAM）或动态随机存取存储器（Dynamic RandomAccess Memory，DRAM）等。本申请所提供的各实施例中所涉及的数据库可包括关系型数据库和非关系型数据库中至少一种。非关系型数据库可包括基于区块链的分布式数据库等，不限于此。本申请所提供的各实施例中所涉及的处理器可为通用处理器、中央处理器、图形处理器、数字信号处理器、可编程逻辑器、基于量子计算的数据处理逻辑器等，不限于此。
以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (8)
1.一种成像系统的标定方法，其特征在于，所述方法包括：
根据扫描电子显微镜SEM的样品台运动前，所述SEM的成像系统采集的第一SEM图像，确定施加至所述样品台在世界坐标系下的第一运动量；所述样品台根据所述第一运动量在水平方向或竖直方向上进行直线运动；
根据所述第一SEM图像和第二SEM图像，确定在图像坐标系下的第二运动量；所述第二SEM图像为基于所述第一运动量控制所述样品台运动后所述成像系统采集的图像；
根据所述第一运动量、所述第二运动量和成像模型，对所述成像系统进行标定；
其中，所述根据扫描电子显微镜SEM的样品台运动前，所述SEM的成像系统采集的第一SEM图像，确定施加至所述样品台在世界坐标系下的第一运动量，包括：
确定所述第一SEM图像的实际成像范围；
根据所述实际成像范围，确定施加至所述样品台在世界坐标系下的第一运动量；
所述根据所述实际成像范围，确定施加至所述样品台在世界坐标系下的第一运动量，包括：
将预设倍数的实际成像范围作为施加至所述样品台在世界坐标系下的第一运动量；所述预设倍数不小于第一预设数值且不大于第二预设数值，所述第一预设数值和所述第二预设数值均为小于1的数值。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述第一SEM图像和第二SEM图像，确定在图像坐标系下的第二运动量，包括：
根据所述第一SEM图像和所述第二SEM图像，利用模板匹配法确定在图像坐标系下的第二运动量。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述模板匹配法包括归一化积相关法NCC、平方差和法SSD、BBS算法、DDIS算法和CoTM算法中任一种。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述第一运动量、所述第二运动量和成像模型，对所述成像系统进行标定，包括：
根据所述第一运动量、所述第二运动量和所述成像模型确定单应矩阵；
对所述单应矩阵进行分解得到所述成像模型的内参参数和外参参数；
根据所述内参参数和所述外参参数对所述成像系统进行标定。
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述成像模型包括小孔成像模型、平行成像模型、透视成像模型、正交投影成像模型中任一种。
6.一种成像系统标定装置，其特征在于，所述装置包括：
第一确定模块，用于根据扫描电子显微镜SEM的样品台运动前，所述SEM的成像系统采集的第一SEM图像，确定施加至所述样品台在世界坐标系下的第一运动量；所述样品台根据所述第一运动量在水平方向或竖直方向上进行直线运动；
第二确定模块，用于根据所述第一SEM图像和第二SEM图像，确定在图像坐标系下的第二运动量；所述第二SEM图像为基于所述第一运动量控制所述样品台运动后所述成像系统采集的图像；
标定模块，用于根据所述第一运动量、所述第二运动量和成像模型，对所述成像系统进行标定；
其中，所述根据扫描电子显微镜SEM的样品台运动前，所述SEM的成像系统采集的第一SEM图像，确定施加至所述样品台在世界坐标系下的第一运动量，包括：
确定所述第一SEM图像的实际成像范围；
根据所述实际成像范围，确定施加至所述样品台在世界坐标系下的第一运动量；
所述根据所述实际成像范围，确定施加至所述样品台在世界坐标系下的第一运动量，包括：
将预设倍数的实际成像范围作为施加至所述样品台在世界坐标系下的第一运动量；所述预设倍数不小于第一预设数值且不大于第二预设数值，所述第一预设数值和所述第二预设数值均为小于1的数值。
7.一种计算机设备，包括存储器和处理器，所述存储器存储有计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述计算机程序时实现权利要求1至5中任一项所述的方法的步骤。
8.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现权利要求1至5中任一项所述的方法的步骤。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN202311689964.7A CN117392242B (zh) | 2023-12-11 | 2023-12-11 | 成像系统标定方法、装置、计算机设备和存储介质 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN202311689964.7A CN117392242B (zh) | 2023-12-11 | 2023-12-11 | 成像系统标定方法、装置、计算机设备和存储介质 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN117392242A CN117392242A (zh) | 2024-01-12 |
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Family
ID=89467049
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202311689964.7A Active CN117392242B (zh) | 2023-12-11 | 2023-12-11 | 成像系统标定方法、装置、计算机设备和存储介质 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN117392242B (zh) |
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|---|---|
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