CN117385341B - 化学气相沉积设备及其气体喷淋头 - Google Patents
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Abstract
一种化学气相沉积设备及其气体喷淋头，气体喷淋头包含通过紧固件固定在反应腔顶盖下方的气体分配板和冷却板，冷却板上具有多个出气通道，利用加强筋对冷却板的出气通道进行加固，调整位于出气通道内的加强筋的位置，将靠近紧固件的加强筋错位设置，使得应力不会被传递至紧固件的位置，有效缓解冷却板上的应力集中，有效减少冷却板产生裂纹。
Description
技术领域
本发明涉及半导体领域，尤其涉及一种化学气相沉积设备及其气体喷淋头。
背景技术
目前的沉积设备中，通过设置在反应腔顶部的气体喷淋头将反应气体引入反应腔中，气体喷淋头的下方设置有可旋转的托盘，反应气体对设置在托盘上的基片进行沉积处理，沉积处理过程中，通过安装在托盘下方的加热器对托盘和托盘上放置的基片进行加热以达到合适的反应温度。受热后的托盘会产生热辐射，气体喷淋头下部的冷却板受到下方托盘的热辐射导致热变形，产生很多应力集中的地方，在热力循环作用下，应力变大的地方就容易萌生裂纹，并随着时间的推移，裂纹会慢慢扩大，最终影响气体喷淋头的寿命。
这里的陈述仅提供与本发明有关的背景技术，而并不必然地构成现有技术。
发明内容
本发明的目的在于提供一种沉积设备及其气体喷淋头，有效缓和气体喷淋头的冷却板上的应力集中，有效减少冷却板产生裂纹。
为了达到上述目的，本发明提供一种气体喷淋头，包含：
气体分配板，具有多个进气通道；
冷却板，其位于所述气体分配板下方，所述冷却板具有多个出气通道，所述出气通道与所述进气通道连通，且多个所述出气通道沿第一方向排布，所述冷却板沿第一方向包含中轴区和位于所述中轴区两侧的外围区；
多个紧固件，其位于所述中轴区，且沿第二方向排布，所述第二方向垂直于所述第一方向，所述紧固件用于固定连接所述气体分配板和所述冷却板；
至少一个第一加强筋和至少一个第二加强筋，所述第一加强筋设置于所述中轴区的所述出气通道中，所述第二加强筋设置于所述外围区的出气通道中，且所述第一加强筋和所述第二加强筋沿所述第一方向不位于同一条直线上。
所述进气通道包含第一进气通道和第二进气通道；所述出气通道包含第一出气通道和第二出气通道；
所述第一进气通道与所述第一出气通道连通，所述第二进气通道与所述第二出气通道连通，且所述第一进气通道与所述第二进气通道沿第一方向相互间隔排布，所述第一出气通道与所述第二出气通道沿第一方向相互间隔排布。
所述第一出气通道包含在竖直方向上相互连通的第一出气上部和第一出气下部，所述第一出气上部为纵长型槽状开口，所述第一出气下部为喇叭状开口，所述喇叭状开口的大小由所述第一出气上部至所述冷却板的下表面逐渐增大；所述第二出气通道为纵长型槽状开口；所述第一出气上部和所述第二出气通道沿所述第一方向相互平行设置，所述纵长型槽状开口的相邻侧壁之间通过弧形面过渡连接，所述喇叭状开口的相邻侧壁之间通过弧形面过渡连接。
所述冷却板还包含第三出气通道，所述第三出气通道设置在所述外围区的最外侧，所述第三出气通道连接所述第二进气通道；所述第三出气通道包含在竖直方向上相互连通的第三出气上部和第三出气下部，所述第三出气上部为纵长型槽状开口，所述第三出气下部为向远离所述中轴区延伸的半喇叭状开口，所述半喇叭状开口的大小由所述第三出气上部至所述冷却板的下表面逐渐增大，且所述纵长型槽状开口的相邻侧壁之间通过弧形面过渡连接，所述半喇叭状开口向远离中轴区延伸的部分包括一弧形面。
所述气体喷淋头还包含吹扫气体通道，所述吹扫气体通道用于输入吹扫气体；
所述吹扫气体通道包含在竖直方向上相互连通的多个第一吹扫气体通道和一个第二吹扫气体通道，所述第一吹扫气体通道贯穿所述气体分配板和所述冷却板，多个所述第一吹扫气体通道沿所述第二方向排布，所述紧固件设置于相邻的所述第一吹扫气体通道之间，所述第二吹扫气体通道位于所述紧固件下方。
所述第二吹扫气体通道的穹顶部为弧形面，且所述第二吹扫气体通道由所述穹顶部至所述冷却板的下表面的横截面积逐渐增大，呈等腰梯形喇叭槽状开口，所述等腰梯形喇叭槽状开口的相邻侧壁之间通过弧形面过渡连接。
所述第二吹扫气体通道在其长度方向上平行于所述第一出气通道和所述第二出气通道。
所述中轴区的每个所述出气通道中均设置至少一个所述第一加强筋；所述外围区的出气通道中均设置至少一个所述第二加强筋。
所述冷却板还包含至少一条冷却液通道，所述冷却液通道平行于所述冷却板的上表面和下表面，所述冷却液通道布置在所述第一出气通道和所述第二出气通道之间。
所述冷却板的材料采用不锈钢材质。
本发明还提供一种沉积设备，包含：
反应腔，包含反应腔侧壁和设置在所述反应腔侧壁顶部的反应腔顶盖；
所述的气体喷淋头，其固定设置在所述反应腔顶盖的下方；
托盘，其设置在所述气体喷淋头下方，用于支撑基片；
加热装置，其设置在所述托盘下方，用于加热基片；
旋转机构，其连接所述托盘，用于带动所述托盘和基片在水平方向上旋转。
所述反应腔顶盖上具有多个第一通孔，所述气体分配板上具有多个第二通孔，所述冷却板上具有多个连接孔，所述第一通孔、所述第二通孔和所述连接孔的位置对应匹配，所述紧固件设置在所述第一通孔、第二通孔和连接孔内。
所述紧固件为螺钉或螺柱，所述螺钉或螺柱具有外螺纹，所述第一通孔、所述第二通孔和所述连接孔内壁具有与所述螺钉或螺柱相匹配的内螺纹。
所述托盘的材质采用石墨。
所述沉积设备还包含第一气体源和第二气体源，所述第一气体源连接所述气体分配板中的第一进气通道，所述第二气体源连接所述气体分配板中的第二进气通道。
所述沉积设备还包含吹扫气体源，所述吹扫气体源连接所述气体喷淋头中的吹扫气体通道。
所述沉积设备还包含冷却液循环泵，所述冷却液循环泵分别连接所述冷却液通道的进口和出口。
与现有技术相比，本发明的技术方案至少具有如下有益效果：
本发明提供的气体喷淋头中，利用第一加强筋和第二加强筋对冷却板的出气通道进行加固，防止出气通道因应力产生变形。所述冷却板沿出气通道排布的第一方向上划分为中轴区和位于所述中轴区两侧的外围区，由于中轴区的气体通道内的第一加强筋与外围区的气体通道内的第二加强筋不在一条直线上，则应力沿第二加强筋向第一加强筋传递的过程中被中断，使得应力不会被传递至紧固件的位置，因此，有效防止紧固件的位置产生裂纹。
附图说明
图1是本发明实施例中提供的一种沉积设备的结构示意图。
图2是图1中气体喷淋头的剖面示意图。
图3是图2中冷却板的俯视图。
图4是图2中冷却板显示了加强筋的俯视图。
图5是图2中冷却板的剖面示意图。
图6是图4中的外围区的局部示意图。
具体实施方式
以下根据图1～图6，具体说明本发明的较佳实施例。
如图1所示，本发明提供一种化学气相沉积设备，包含一反应腔1，所述反应腔1具有反应腔侧壁102和设置在所述反应腔侧壁102顶部的反应腔顶盖101，在所述反应腔顶盖101的下方固定设置一气体喷淋头2，所述气体喷淋头2下方设置一托盘3，所述托盘3上放置多个基片4，所述托盘3下方设置一旋转机构6，用于带动所述托盘3和基片4沿托盘3的中心轴旋转，所述托盘3下方设置有加热装置5，用于加热托盘3和基片4。
所述气体喷淋头2包含设置在所述反应腔顶盖101下方的气体分配板201和设置在所述气体分配板201下方的冷却板202，采用多个紧固件203将所述气体分配板201和所述冷却板202固定在所述反应腔顶盖101的下方，具体地，在所述反应腔顶盖101上设置多个第一通孔103，所述第一通孔103贯穿所述反应腔顶盖101，相应地，所述气体分配板201上设置多个第二通孔204，所述第二通孔204贯穿所述气体分配板201，所述冷却板202上也设置多个连接孔205，所述连接孔205在所述冷却板202的上表面向下延伸一定深度，并未贯穿所述冷却板202，所述第一通孔103、所述第二通孔204和所述连接孔205的位置对应匹配，所述紧固件203可采用螺钉或螺柱，所述螺钉或螺柱具有外螺纹，所述第一通孔103、第二通孔204和连接孔205的内壁具有与所述螺钉或螺柱相匹配的内螺纹，所述紧固件203依次经过所述第一通孔103和第二通孔204旋紧至所述连接孔205内，实现了所述气体分配板201和所述冷却板202与所述反应腔顶盖101的固定连接。
如图2所示，所述气体分配板201中具有多个第一进气通道206和多个第二进气通道207，所述第一进气通道206连接至位于所述反应腔1外部的第一气体源701（如图1所示），用于将所述第一气体源701中的第一气体引入所述气体喷淋头2，所述第一气体通常为MO源（高纯有机金属化合物）气体，例如：TMGa（三甲基镓）、 TMAl（三甲基铝）、TEGa（三乙基镓）、Cp2Mg（P型掺杂剂）或TMIn（三甲基铟），所述第二进气通道207连接至位于所述反应腔1外部的第二气体源702（如图1所示），用于将所述第二气体源702中的第二气体引入所述气体喷淋头2，所述第二气体通常为氨气。相应地，所述冷却板202中具有多个第一出气通道208和多个第二出气通道209，所述第一出气通道208与所述气体分配板201中的第一进气通道206连通，所述第二出气通道209与所述气体分配板201中的第二进气通道207连通，所述第一出气通道208和所述第二出气通道209均贯穿所述冷却板202的上表面和下表面，用于将来自第一气体源701和第二气体源702中的反应气体送入所述反应腔1中。
如图2所示，所述第一进气通道206和所述第二进气通道207之间沿第一方向交替间隔排布且相互隔离，相应地，所述第一出气通道208和所述第二出气通道209之间同样沿第一方向交替间隔排布且相互隔离，使得来自第一气体源701和第二气体源702中的两种反应气体都可以均匀地经过所述气体喷淋头2扩散至所述反应腔1中，并均匀地沉积到位于托盘3上的基片顶部，获得均匀的沉积制程效果。如图2和图3所示，所述第二出气通道209为纵长型槽状开口。而所述第一出气通道208进一步包含在竖直方向上相互连通的第一出气上部2081和第一出气下部2082，所述第一出气上部2081为纵长型槽状开口，所述第一出气下部2082为等腰梯形喇叭状开口，所述等腰梯形喇叭状开口的大小由所述第一出气上部2081至所述冷却板202的下表面逐渐增大，面积逐渐增大的喇叭状开口使得通过所述第一出气通道208进入反应腔1的第一反应气体的气流速度放缓，令所述第一反应气体和通过所述第二出气通道209进入反应腔1的第二反应气体可以充分混合。
如图2和图3所示，当所述第一出气通道208和所述第二出气通道209沿第一方向交替间隔排布至所述冷却板202的最外侧时，此时应当排布一条所述第二出气通道209，所述冷却板202的边缘仍会有剩余的位置，无法最高效地利用所述冷却板202上的所有空间来获得最优排布，则对第二出气通道209的形貌进行修正，即在第二出气通道209靠近出气端的部分，将其修正为向外延伸的结构，即形成具有不同于第二出气通道209形貌的新的出气通道，即：在最外侧形成第三出气通道215。所述第三出气通道215连接所述第二进气通道207，进一步，所述第三出气通道215包含在竖直方向上相互连通的第三出气上部2151和第三出气下部2152，所述第三出气上部2151为纵长型槽状开口，所述第三出气下部2152为向外延伸的直角梯形喇叭状开口，所述直角梯形喇叭状开口的大小由所述第三出气上部2151至所述冷却板的下表面逐渐增大，所述直角梯形喇叭状开口中和所述纵长型槽状开口和所述等腰梯形喇叭状开口的结构，可以令所述冷却板202的边缘位置得到合理利用，令反应气体可以更均匀地经过所述气体喷淋头2扩散至所述反应腔1中，并均匀地沉积到位于托盘3上的基片顶部，获得更均匀的沉积制程效果。
如图3所示，因所述第一出气通道208与所述第二出气通道209沿第一方向排布，则多个所述紧固件203沿着与所述第一方向相互垂直的第二方向排布，所述第二方向可以沿所述冷却板202的直径方向，以避免所述紧固件203影响所述第一出气通道208和所述第二出气通道209的排布，继而导致进入反应腔1内的反应气体分布不均，同时也避免所述第一出气通道208和所述第二出气通道209令所述紧固件203的安装空间不足，继而导致所述冷却板202和所述气体分配板201发生连接不稳甚至漏气串气等事故。
如图2和图3所示，所述气体喷淋头2还包含吹扫气体通道，用于输入吹扫气体，所述吹扫气体通道包含在竖直方向上相互连通的多个第一吹扫气体通道216（见图3）和多个第二吹扫气体通道217（见图2），多个所述第一吹扫气体通道216连接至位于所述反应腔1外部的吹扫气体源703（如图1所示），用于将所述吹扫气体源703中的吹扫气体引入所述气体喷淋头2，所述第一吹扫气体通道216贯穿所述气体分配板201并延伸进入所述冷却板202，多个所述第一吹扫气体通道216沿所述第二方向排布，所述紧固件203设置于相邻的所述第一吹扫气体通道216之间，所述第二吹扫气体通道217位于所述紧固件203下方。如图2所示，所述冷却板202还包含至少一条冷却液通道210，所述冷却液通道210的进口和出口分别连接至位于所述反应腔1外部的冷却液循环泵8（如图1所示），来自所述冷却液循环泵8的冷却液通过所述冷却液通道210在所述冷却板202中流动，所述冷却液通道210平行于所述冷却板202的上表面和下表面，所述冷却液通道210布置在所述第一出气通道208、所述第二出气通道209和所述第三出气通道215之间，以获得更好的制冷效果。
如图3所示，所述第一出气通道208和所述第二出气通道209呈纵长型槽状开口，且所述第一出气通道208和所述第二出气通道209沿所述第一方向相互平行设置，以使得所述第一出气通道208和所述第二出气通道209的出气面积尽可能地最大，并且可以在冷却板202上尽可能多地布置所述第一出气通道208和所述第二出气通道209，从而获得更加均匀的出气效果。
由于将所述第一出气通道208和所述第二出气通道209设置为纵长型，为了提高刚度，通常会在所述第一出气通道208和所述第二出气通道209内设置加强筋23，加强筋23的数量根据实际情况而定，加强筋23的数量与出气通道的长度成正比例关系，出气通道越长，需要的加强筋23越多，所述第一出气通道208和所述第二出气通道209中至少需要设置一个加强筋23。如图3所示，本领域的技术人员通常的认知是将位于不同的出气通道中的加强筋23设置在同一条直线上，认为其获得的效果相当于增加了一整根的加强筋，是最好的支撑效果。而且由于在制备所述冷却板202时，加强筋23和出气通道是一体成型的，所以在加工的时候，如果将加强筋23与紧固件203设置在一条直线上，则只要将所述加强筋23的位置与安装紧固件203的连接孔205对齐即可，更容易加工。但是本发明的技术人员经过多次的仿真测试后发现，如图1所示，在沉积制程中，通过加热装置5对所述托盘3和放置在托盘3上的基片4进行加热以达到合适的反应温度，托盘3的材质通常使用石墨，具有很好的导热性，石墨托盘3产生大量的热辐射，所述气体喷淋头2上的冷却板202的材质一般采用不锈钢材质，所述冷却板202受到下方石墨托盘3产生的热辐射导致热变形，热变形时产生的应力沿着设置在一条直线上的多个加强筋23依次传递，最终将应力传递至紧固件203所在的连接孔205处，导致连接孔205处的局部应力升高，令冷却板202在应力集中变大的位置处产生裂纹，导致器件损坏。
基于上述发现，本发明提供一种加强筋的设置方案，如图4所示，将所述冷却板202沿所述第一方向划分为中轴区21和位于所述中轴区21两侧的外围区22，所述中轴区21的范围涵盖了沿所述第二方向排布的多个紧固件203和吹扫气体通道，以及沿所述第一方向设置在所述紧固件203两侧的部分第一出气通道208和部分第二出气通道209。在本实施例中，所述中轴区21和两个所述外围区22基本将所述冷却板202沿所述第一方向分为三部分。在位于所述中轴区内的所述第一出气通道208的第一出气上部2081内和所述第二出气通道209内设置至少一个第一加强筋211，在位于所述外围区22内的所述第一出气通道208的第一出气上部2081内、所述第二出气通道209内和所述第三出气通道215的第三出气上部2151内设置至少一个第二加强筋212，由于所述第一加强筋211靠近所述紧固件203，而所述第二加强筋212相对远离所述紧固件203，因此本发明令所述第一加强筋211和所述第二加强筋212沿所述第一方向不位于同一条直线上。本发明利用第一加强筋211和第二加强筋212对冷却板202的出气通道进行加固，防止出气通道因应力产生变形，并且通过将靠近所述紧固件203的加强筋错位设置，令第一加强筋211和第二加强筋212不共线，使应力传递中断，以避免应力沿直线传递至所述紧固件203附近，减少所述紧固件203附近的应力变化，有效缓解所述冷却板202上的应力集中，避免产生裂纹。通过仿真测试可知，采用本发明优化结构后的冷却板，塑性应变从优化前的0.745%下降至优化后的0.356%，塑性应变减小了52.2%，优化效果非常明显。
在本发明的一个实施例中，如图5所示，将所述第二吹扫气体通道217的穹顶部2171设置为弧形面，弧形面的曲率半径较小，能够有效缓和应力集中。且所述第二吹扫气体通道217由所述穹顶部2171至所述冷却板202的下表面的横截面积逐渐增大，呈等腰梯形喇叭槽状开口，通过将所述第二吹扫气体通道217的形状设置为与所述第一出气通道208的第一出气下部2082的形状保持一致，减少了紧固件203下方与其他区域的应力差异。所述第二吹扫气体通道217在其长度方向上平行于所述第一出气通道208和所述第二出气通道209，以防止所述第二吹扫气体通道217与所述第一出气通道208或所述第二出气通道209发生接触穿通。
在本发明的实施例中，将所述第一出气通道208的呈纵长型槽状开口的所述第一出气上部2081的相邻侧壁之间通过第二弧形面214过渡连接（如图4所示），呈纵长型槽状开口的所述第二出气通道209的相邻侧壁之间也通过第二弧形面214过渡连接（如图4所示），所述第三出气通道215的呈纵长型槽状开口的所述第三出气上部2151的相邻侧壁之间也通过第二弧形面214过渡连接（如图4所示），同样地，所述第一出气通道208的呈等腰梯形喇叭状开口的所述第一出气下部2082的相邻侧壁之间通过第一弧形面213过渡连接（如图6所示），所述第三出气通道215的呈半喇叭状开口的所述第三出气下部2152向外延伸的部分为一第一弧形面213（如图6所示），呈等腰梯形喇叭槽状开口的所述第二吹扫气体通道217（见图5）的相邻侧壁之间也通过弧形面过渡连接，所述弧形面的曲率半径较小，能够有效缓和应力集中。
本发明提供的气体喷淋头中，利用第一加强筋211和第二加强筋212对冷却板202的出气通道进行加固，防止出气通道因应力产生变形。所述冷却板沿出气通道排布的第一方向上划分为中轴区和位于所述中轴区两侧的外围区，由于中轴区的气体通道内的第一加强筋与外围区的气体通道内的第二加强筋不在一条直线上，则应力沿第二加强筋向第一加强筋传递的过程中被中断，使得应力不会被传递至紧固件的位置，因此，有效减少冷却板产生裂纹。同时在紧固件下方设置第二吹扫气体通道，从而减少了紧固件下方与其他区域的应力差异。冷却板上的所有出气通道的相邻侧壁之间、第二吹扫气体通道的相邻侧壁之间和第二吹扫气体通道的穹顶部均通过弧形面过渡连接，弧形面的曲率半径较小，能够有效缓和应力集中。
需要说明的是，在本发明的实施例中，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述实施例，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
尽管本发明的内容已经通过上述优选实施例作了详细介绍，但应当认识到上述的描述不应被认为是对本发明的限制。在本领域技术人员阅读了上述内容后，对于本发明的多种修改和替代都将是显而易见的。因此，本发明的保护范围应由所附的权利要求来限定。
Claims (16)
1.一种气体喷淋头，其特征在于，包含：
气体分配板，具有多个进气通道，所述进气通道包含第一进气通道和第二进气通道，且所述第一进气通道与所述第二进气通道沿第一方向相互间隔排布；
冷却板，其位于所述气体分配板下方，所述冷却板具有多个出气通道，所述出气通道包含第一出气通道和第二出气通道，所述第一出气通道和所述第二出气通道呈纵长型，所述第一出气通道包含在竖直方向上相互连通的第一出气上部和第一出气下部，所述第一出气通道与所述第一进气通道连通，所述第二出气通道与所述第二进气通道连通，且所述第一出气通道与所述第二出气通道沿第一方向相互间隔排布，所述冷却板沿第一方向包含中轴区和位于所述中轴区两侧的外围区；
多个紧固件，其位于所述中轴区，且沿第二方向排布，所述第二方向垂直于所述第一方向，所述紧固件用于固定连接所述气体分配板和所述冷却板；
至少一个第一加强筋和至少一个第二加强筋，所述第一加强筋设置于所述中轴区内的所述第一出气通道的第一出气上部和所述第二出气通道中，所述第二加强筋设置于所述外围区内的所述第一出气通道的第一出气上部和所述第二出气通道中，且所述第一加强筋和所述第二加强筋沿所述第一方向不位于同一条直线上。
2.如权利要求1所述的气体喷淋头，其特征在于，所述第一出气上部为纵长型槽状开口，所述第一出气下部为喇叭状开口，所述喇叭状开口的大小由所述第一出气上部至所述冷却板的下表面逐渐增大；所述第二出气通道为纵长型槽状开口；所述第一出气上部和所述第二出气通道沿所述第一方向相互平行设置，所述纵长型槽状开口的相邻侧壁之间通过弧形面过渡连接，所述喇叭状开口的相邻侧壁之间通过弧形面过渡连接。
3.如权利要求2所述的气体喷淋头，其特征在于，所述冷却板还包含第三出气通道，所述第三出气通道设置在所述外围区的最外侧，所述第三出气通道连接所述第二进气通道；所述第三出气通道包含在竖直方向上相互连通的第三出气上部和第三出气下部，所述第三出气上部为纵长型槽状开口，所述第三出气下部为向远离所述中轴区延伸的半喇叭状开口，所述半喇叭状开口的大小由所述第三出气上部至所述冷却板的下表面逐渐增大，且所述纵长型槽状开口的相邻侧壁之间通过弧形面过渡连接，所述半喇叭状开口向外延伸的部分包括一弧形面。
4.如权利要求1所述的气体喷淋头，其特征在于，所述气体喷淋头还包含吹扫气体通道，所述吹扫气体通道用于输入吹扫气体；
所述吹扫气体通道包含相互连通的多个第一吹扫气体通道和多个第二吹扫气体通道，所述第一吹扫气体通道贯穿所述气体分配板和所述冷却板，多个所述第一吹扫气体通道沿所述第二方向排布，所述紧固件设置于相邻的所述第一吹扫气体通道之间，所述第二吹扫气体通道位于所述紧固件下方。
5.如权利要求4所述的气体喷淋头，其特征在于，所述第二吹扫气体通道的穹顶部为弧形面，且所述第二吹扫气体通道由所述穹顶部至所述冷却板的下表面的横截面积逐渐增大，呈等腰梯形喇叭槽状开口，所述等腰梯形喇叭槽状开口的相邻侧壁之间通过弧形面过渡连接。
6.如权利要求5所述的气体喷淋头，其特征在于，所述第二吹扫气体通道在其长度方向上平行于所述第一出气通道和所述第二出气通道。
7.如权利要求1所述的气体喷淋头，其特征在于，所述中轴区的每个所述出气通道中均设置至少一个所述第一加强筋；所述外围区的出气通道中均设置至少一个所述第二加强筋。
8.如权利要求1所述的气体喷淋头，其特征在于，所述冷却板还包含至少一条冷却液通道，所述冷却液通道平行于所述冷却板的上表面和下表面，所述冷却液通道布置在所述第一出气通道和所述第二出气通道之间。
9.如权利要求1所述的气体喷淋头，其特征在于，所述冷却板的材料采用不锈钢材质。
10.一种化学气相沉积设备，其特征在于，包含：
反应腔，包含反应腔侧壁和设置在所述反应腔侧壁顶部的反应腔顶盖；
如权利要求1-9中任意一项所述的气体喷淋头，其固定设置在所述反应腔顶盖的下方；
托盘，其设置在所述气体喷淋头下方，用于支撑基片；
加热装置，其设置在所述托盘下方，用于加热基片；
旋转机构，其连接所述托盘，用于带动所述托盘和基片在水平方向上旋转。
11.如权利要求10所述的化学气相沉积设备，其特征在于，所述反应腔顶盖上具有多个第一通孔，所述气体分配板上具有多个第二通孔，所述冷却板上具有多个连接孔，所述第一通孔、所述第二通孔和所述连接孔的位置对应匹配，所述紧固件设置在所述第一通孔、第二通孔和连接孔内。
12.如权利要求11所述的化学气相沉积设备，其特征在于，所述紧固件为螺钉或螺柱，所述螺钉或螺柱具有外螺纹，所述第一通孔、所述第二通孔和所述连接孔内壁具有与所述螺钉或螺柱相匹配的内螺纹。
13.如权利要求10所述的化学气相沉积设备，其特征在于，所述托盘的材质采用石墨。
14.如权利要求10所述的化学气相沉积设备，其特征在于，所述沉积设备还包含第一气体源和第二气体源，所述第一气体源连接所述气体分配板中的第一进气通道，所述第二气体源连接所述气体分配板中的第二进气通道。
15.如权利要求14所述的化学气相沉积设备，其特征在于，所述沉积设备还包含吹扫气体源，所述吹扫气体源连接所述气体喷淋头中的吹扫气体通道。
16.如权利要求10所述的化学气相沉积设备，其特征在于，所述沉积设备还包含冷却液循环泵，所述冷却液循环泵分别连接所述冷却液通道的进口和出口。
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