CN117368820A - 一种校准装置、差分夹具以及相关装置和系统 - Google Patents

Abstract

本申请实施例提供了一种校准装置、差分夹具以及相关装置和系统，其中，该校准装置包括：非等长反射校准件，上述非等长反射校准件用于校准确定基于差分夹具获取的差分信号的散射参数；其中，上述非等长反射校准件包括第一线路和第二线路，上述第一线路的电长度与上述第二线路的电长度不相等，且上述第一线路的长度与上述第二线路的长度之间差值在预设范围内，上述预设范围基于上述差分信号的带宽确定。实施本申请实施例可以在使用差分夹具的情况下，精准的获得差分信号的散射参数。

Description

一种校准装置、差分夹具以及相关装置和系统

技术领域

本申请涉及通信技术领域，尤其涉及一种校准装置、差分夹具以及相关装置和系统。

背景技术

随着通信技术的发展，各种差分器件和差分连接器日益增多，差分信号传输速率的也在提升，但传输速率提升的同时会导致此类器件在传输过程中出现信号完整性问题，例如串扰、振铃、地弹、阻抗不匹配等现象，导致传输链路性能恶化。因此，需要对此类器件输出的差分信号的散射参数进行检测，以评估传输结构的性能。例如，可以使用矢量网络分析仪进行检测。

但是该矢量网络分析仪的端口是由同轴线引出，很多情况下，相关差分器件并没有对应的同轴接头与矢量网络分析仪相连接。对此，可以通过差分夹具将差分器件的接头与矢量网络分析仪的接头进行连接，使得矢量网络分析仪可以通过差分夹具检测差分器件输出的差分信号。但差分夹具虽然实现了被测差分器件与矢量网络分析仪的连接，但也引入了测量误差。

针对该测量误差，目前通常是通过直通-反射-延时线(Through-Reflect-Line，TRL)等校准方式消除差分夹具带来的误差。其中，针对该TRL的校准方式，需要专门的校准件实现对差分夹具的去嵌。但由于现有校准件的制备工艺复杂(例如：在校准件中引入了负载)，且无法消除近端串扰与远端串扰等问题，导致了实际校准精度低。

因此，如何在使用差分夹具的情况下，精准的获得差分信号的散射参数，是亟需解决的技术问题。

发明内容

本申请实施例提供一种校准装置、差分夹具以及相关装置和系统，以在使用差分夹具的情况下，精准的获得差分信号的散射参数。

第一方面，本申请实施例提供了一种校准装置，可包括：非等长反射校准件，上述非等长反射校准件用于校准确定基于差分夹具获取的差分信号的散射参数；其中，上述非等长反射校准件包括第一线路和第二线路，上述第一线路的电长度与上述第二线路的电长度不相等，且上述第一线路的长度与上述第二线路的长度之间差值在预设范围内，上述预设范围基于上述差分信号的带宽确定。

为了保证矢量网络分析仪获取的差分信号的精度，在使用了差分夹具的情况下，需要对差分夹具去嵌，即，消除差分夹具对差分信号的影响。然而，现有基于TRL校准方式的校准件无法消除在校准过程中的近端串扰与远端串扰等问题，降低了TRL校准方式的校准精度，对此，本申请第一方面实施例提供了一种校准装置可解决该问题。具体的，该校准装置包括非等长反射校准件，该非等长反射校准件可以用于校准确定差分信号的散射参数S，该差分信号为待去嵌校准的基于差分夹具获取的差分信号，该散射参数可以反映出差分器件传输差分信号时的差模、共模以及差共模转换的传输特征。其中，该非等长反射校准件包括两个线路(即，第一线路和第二线路)，且该两个线路之间长度的差值在预设范围内，该预设范围可以根据待测差分信号的带宽确定，示例性的，该预设范围可以为2μm-500μm；该带宽可以指待测差分信号最高频率与最低频率之差。在校准过程中，上述第一线路和第二线路可以与差分夹具连接，以获取差分夹具对应的散射参数。该差分夹具对应的散射参数可以在后续获取差分信号的散射参数后，利用相关误差模型对其进行去嵌校正。最重要的是，该两个线路的电长度不同，其中，电长度可以是线路的物理长度(即机械长度或几何长度)乘以电或电磁信号在该线路中的传输时间(如：时间为T1)与这一信号在自由空间中通过跟线路的物理长度一样的距离时所需的时间(如：时间为T2)的比来表示，即： 如：该第一线路的电长度为上述第一线路的第一端与上述第一线路的第二端之间的长度乘以差分信号在该线路中的传输时间与该差分信号在自由空间中通过第一端与第二端之间的长度所需的时间的比。其中，由于第一线路的电长度与第二线路的电长度不同，使得第一线路对应的反射状态系数与第二线路的对应的反射状态系数不同，例如：第一线路的反射状态系数为1时，第二线路的反射状态系数可以为0.8。进而在后续校准过程中，可以利用相关误差模型计算获得第一线路与第二线路之间由于近端串扰和/或远端串扰造成的误差，以在后续对差分信号的散射参数进行去嵌校正的过程中消除近端串扰和/或远端串扰造成的误差，提高校准精度，使得在使用差分夹具的情况下，可以更加精准的获得差分信号的散射参数。

在一种可能实现的方式中，上述预设范围中的最大值与上述差分信号的带宽的大小呈反比。

在本申请实施例中，预设范围中的最大值与上述差分信号的带宽的大小呈反比。即，差分信号的带宽越大时，预设范围中的最大值越小。当待检测差分信号的带宽越大时，说明其差分信号的频率波动越大，其差别也越大，因此，此时为了第一线路和第二线路之间的差距过大时，造成校准精度不佳，所以预设范围中的最大值与上述差分信号的带宽的大小呈反比，以确保其校准精度较高。同时，预设范围中的最大值越小，第一线路和第二线路的差距也越小。

在一种可能实现的方式中，上述第一线路和上述第二线路的材质均为金属导体。

在本申请实施例中，由于金属导体可以导电，因此，第一线路和第二线路的材质可以为金属导体。例如：其材质可以为铜、无氧铜、金、铝、铁等等。另外，为了减小材质不同造成的校准误差，其第一线路和第二线路的材质需要保持一致。

在一种可能实现的方式中，上述非等长反射校准件包括两个线路组，且上述两个线路组沿第一方向呈轴对称分布；每个上述线路组包括沿第二方向平行分布的上述第一线路和上述第二线路，其中，上述第一方向与上述第二方向互相垂直。

在本申请实施例中，为了保证矢量网络分析仪需要两个差分探针获取差分信号，非等长反射校准件需要两个线路组对其进行校准，而且为了保证两个差分探针获取信号的一致性，所以该两个线路组在结构上需要保持一致性，在分布上沿第一方向呈轴对称分布，以减小误差。

在一种可能实现的方式中，上述第一线路的上述第一端与上述第二线路的上述第三端在上述第一方向上齐平，上述第一线路的上述第二端与预设参考面之间的第一距离与上述第二线路的上述第四端与上述预设参考面之间的第二距离不相等；上述第一距离与上述第二距离均与上述差分信号的带宽成反比，且上述第一距离与上述第二距离均小于或等于预设阈值。

在本申请实施例中，在确定预设参考面后，第一线路与第二线路的一端需要保持齐平，可以保证差分探针在获取差分信号的一致性，以减小误差。第一线路与第二线路与预设参考面的距离不同，可以使得第一路线与第二路线的反射状态系数不同，进而确定预设参考面附近第一线路与第二线路之间的近端串扰与远端串扰造成的误差，提高非等长反射校准件的校准精度，减小检测误差。

在一种可能实现的方式中，每个上述线路组还包括多个接地线路；上述多个接地线路与上述第一线路和上述第二线路沿上述第一方向间隔分布，每个上述接地线路沿上述第二方向与上述第一线路平行分布，每个上述接地线路的第五端均与上述第一端沿上述第一方向齐平。

在本申请实施例中，差分探针往往有多种结构，例如：GSSG结构和GSGSG结构等，为了使得非等长反射校准件适用于多种差分探针，非等长反射校准件的每个线路组还包括多个接地线路，与差分探针的接地端口对应。为了保证差分探针每个端口获取差分信号的一致性，接地线路的一端也需要与第一线路和第二线路的一端齐平，以减小检测误差。

在一种可能实现的方式中，上述差分夹具为差分探针；上述第一线路的上述第一端对应上述差分探针的第一信号端口，上述第二线路的上述第三端对应上述差分探针的第二信号端口；其中，上述差分探针用于通过上述第一信号端口和上述第二信号端口获取基于上述差分夹具输出的上述差分信号，上述第一信号端口用于获取第一子信号，上述第二信号端口用于获取第二子信号，上述第一子信号与上述第二子信号构成上述差分信号。

在本申请实施例中，非等长反射校准件中的第一线路和第二线路分别对应差分探针的两个信号端口，以获得差分信号的散射参数，进而可以反映出其差模、共模以及差共模转换的传输特征。

在一种可能实现的方式中，上述非等长反射校准件为非等长开短路校准件，其中，上述第一线路为短路、上述第二线路为开路，或者上述第一线路为开路、上述第二线路为短路。

在本申请实施例中，非等长开短路校准件不包含负载电路，可以省去匹配负载的加工过程，利用常规电路刻蚀即可完成开路和短路的制作，避免了因工艺的差异，造成非等长开路校准件中两个线路组彼此之间不一致，使得非等长开短路校准件中两个线路组的一致性更容易实现和控制，更好的减小检测误差。

在一种可能实现的方式中，上述非等长反射校准件为非等长开路校准件，上述第一线路和上述第二线路均为开路。

在本申请实施例中，非等长开路校准件包括两个开路，不包含负载电路，可以省去匹配负载的加工过程，利用常规电路刻蚀即可完成开路的制作，避免了因工艺的差异，造成非等长开路校准件中两个线路组彼此之间不一致，使得非等长开路校准件中两个线路组的一致性更容易实现和控制，更好的减小检测误差。

在一种可能实现的方式中，上述非等长反射校准件为非等长短路校准件，上述第一线路和上述第二线路均为短路。

在本申请实施例中，非等长短路校准件包括两个短路，不包含负载电路，可以省去匹配负载的加工过程，利用常规电路刻蚀即可完成短路的制作，避免了因工艺的差异，造成非等长开路校准件中两个线路组彼此之间不一致，使得非等长短路校准件中两个线路组的一致性更容易实现和控制，更好的减小检测误差。

在一种可能实现的方式中，上述装置还包括直通校准件和延时线校准件。

在本申请实施例中，该校准装置还包括直通校准件和延时线校准件，通过设置夹具的延时和损耗，来消除夹具的延时和损耗的影响，使得矢量网络分析仪通过测量上述2个传输标准件和1个反射标准件来决定误差模型，以减小检测误差。

第二方面，本申请实施例提供了一种差分夹具，上述差分夹具包括差分探针和与上述第一方面实施例提供的校准装置电连接，其中，上述差分探针用于获取基于差分夹具获取的差分信号，上述校准装置用于校准确定上述差分信号的散射参数。

第三方面，本申请实施例提供了一种矢量网络分析仪，该矢量网络分析仪包括差分夹具和上述第一方面实施例提供的校准装置，其中，上述差分夹具用于获取差分信号，上述校准装置用于校准确定上述差分信号的散射参数。

第四方面，本申请实施例提供一种校准系统，上述系统包括矢量网络分析仪、差分探针和上述第一方面实施例提供的校准装置，其中，上述适量网络分析仪通过上述差分探针获取差分信号，上述校准装置用于校准确定上述差分信号的散射参数。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或背景技术中的技术方案，下面将对本申请实施例或背景技术中所需要使用的附图进行说明。

图1是本申请实施例提供的一种矢量网络分析仪与待检测差分器件的检测场景示意图。

图2是本申请实施例提供的几种差分夹具的结构示意图。

图3是本申请实施例提供的一种校准系统架构示意图。

图4是本申请实施例提供的一种校准装置的结构示意图。

图5是本申请实施例提供的另一种校准装置的结构示意图。

图6是本申请实施例提供的一种非等长反射校准件的结构示意图。

图7是本申请实施例基于图2提供的一种非等长反射校准件的结构示意图。

图8是本申请实施例提供的几种非等长开短路校准件的线路组结构示意图。

图9是本申请实施例提供的几种非等长开路校准件的线路组结构示意图。

图10是本申请实施例提供的几种非等长短路校准件的线路组结构示意图。

图11是本申请实施例提供的另一种非等长短路校准件的线路组结构示意图。

图12是本申请实施例提供的一种直通校准件和延时线校准件结构示意图。

图13是本申请实施例提供的一种基于直通校准件校准应用场景示意图。

图14是本申请实施例提供的一种基于延时线校准件校准应用场景示意图。

图15A是本申请实施例提供的一种基于非等长反射校准件校准应用场景示意图。

图15B是本申请实施例提供的另一种基于非等长反射校准件校准应用场景示意图。

图16是本申请实施例基于待检测差分器件的应用场景示意图。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例进行描述。

本申请的说明书和权利要求书及所述附图中的术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”和“第五”等是用于区别不同对象，而不是用于描述特定顺序。此外，术语“包括”和“具有”以及它们任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。例如包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元，而是可选地还包括没有列出的步骤或单元，或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。

应当理解，在本申请中，“至少一个(项)”是指一个或者多个，“多个”是指两个或两个以上。“和/或”，用于描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，“A和/或B”可以表示：只存在A，只存在B以及同时存在A和B三种情况，其中A，B可以是单数或者复数。字符“/”一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。“以下至少一项(个)”或其类似表达，是指这些项中的任意组合，包括单项(个)或复数项(个)的任意组合。例如，a，b或c中的至少一项(个)，可以表示：a，b，c，“a和b”，“a和c”，“b和c”，或“a和b和c”，其中a，b，c可以是单个，也可以是多个。

在本文中提及“实施例”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本文所描述的实施例可以与其它实施例相结合。

首先，为了便于理解本申请实施例，以下具体分析本申请实施例所需要解决的技术问题以及应用场景。

现有技术中，往往会通过矢量网络分析仪(Vector Network Analysar，VNA)测量差分器件，通过VNA测得的差分器件输出的差分信号的散射参数S来分析链路信息。一般情况下，VNA自身的端口由同轴线引出，通过精密的标准校准件或者电子校准件进行测量前的校准，将校准参考面推移到同轴线末端。然而，很多情况下，待检测差分器件(Devise UnderTest，DUT)的差分线的两端并不带同轴连接器，VNA与DUT的对接需要额外的转接结构(即，差分夹具)，该转接结构的引入使得VNA当前的校准无法测得DUT真实且精确的传输特性。一种常见的方法是，请参考附图1，图1是本申请实施例提供的一种矢量网络分析仪与待检测差分器件的检测场景示意图。如图1所示，VNA通过差分探针与DUT对接，再通过校准或去嵌的方式，将校准参考面校准至该差分探针的末端，去掉差分探针的影响，最终得到DUT本身的S参数。本申请实施例中的校准装置也适用于上述场景。

其中，需要说明的是，差分探针属于差分夹具的其中一种。请参考附图2，图2是本申请实施例提供的几种差分夹具的结构示意图。如图2所示，该差分夹具为差分探针，该差分探针除了上述图1所示的GSSG结构，还有GSGSG结构。而且，差分探针包括多个端口，如GSSG结构的差分探针，包括四个信号探针，分别对应DUT的四个端口。例如，两个G端探针，分别用于获取DUT接地端输出的信号；两个S端探针，分别用于获取DUT接地端输出的差分信号。本申请实施例对差分夹具的具体结构和类型并不做具体的限定。

现有的具体校准方式是将差分夹具的其中一根信号线(如：差分)分别与不同类型校准件对接，对测得的S参数按二端口SOLT方法校准。但是该方法忽略了校准参考面附近各个通道之间的近端串扰与远端串扰。例如：GSSG结构的差分探针，存在两个S端探针(如上述图2所示：信号探针P和信号探针N)用于获取差分信号，由于差分探针中的信号探针P和信号探针N之间距离非常近，或造成两个探针获取的信号之间发生近端串扰与远端串扰，这种误差无法忽略。而且，随着差分探针中的信号探针P和信号探针N之间的间距逐渐减小或者对输出更高频差分信号的DUT进行测试，该原因造成的误差会表现更加明显，导致校准结果出现很大偏差。

对此，本申请实施例提供了一种校准装置可解决该问题。具体的，该校准装置包括非等长反射校准件，非等长反射校准件包括两个电长度不相等的线路(即，第一线路和第二线路)，由于上述非等长反射校准件中第一线路的电长度与第二线路的电长度不同，使得第一线路对应的反射状态系数与第二线路的对应的反射状态系数不同，例如：第一线路的反射状态系数为1时，第二线路的反射状态系数可以为0.8。进而在后续校准过程中，可以利用相关误差模型计算获得第一线路与第二线路之间由于近端串扰和/或远端串扰造成的误差，以在后续对差分信号的散射参数进行去嵌校正的过程中消除近端串扰和/或远端串扰造成的误差，提高校准精度，使得在使用差分夹具的情况下，可以更加精准的获得差分信号的散射参数。其中，该校准装置的具体结构可以对应参考下述相关实施例，本申请实施例在此暂不赘述。

基于上述提出的技术问题，也为了便于理解本申请实施例，下面先对本申请实施例所基于的其中一种网络架构进行描述。

请参阅图3，图3是本申请实施例提供的一种校准系统架构示意图。如图3所示：本申请中的校准系统可以包括：矢量网络分析仪10、差分探针20和校准装置30。其中，

矢量网络分析仪10是一种电磁波能量的测试设备。它既能测量单端口网络或两端口网络的各种参数幅值。例如：在本申请实施例中，所述适量网络分析仪10可以测量待检测差分器件的差分信号，以确定待检测差分器件传输结构的性能。

差分探针20是一种差分夹具，在待检测差分器件没有同轴转接头，无法与适量网络分析仪10直接连接时，该差分探针20可以连接所述适量网络分析仪10和待检测差分器件，以使的适量网络分析仪10可以测量待检测差分器件的差分信号，以确定待检测差分器件传输结构的性能。例如：在矢量网络分析仪10检测的两端口网络的情况下，为了获取信号的一致性，可以通过两个一样结构的差分探针对待检测差分器件进行测量。该差分探针的结构可以对应参考上述图2所示实施例，本申请实施例对此不再赘述。

校准装置30可以在通过如差分探针20等的差分夹具进行测量信号时，用于消除差分夹具带来的误差。例如：在本申请实施例中，如图3所示校准系统架构，在矢量网络分析仪10通过差分探针20测量待检测差分器件的差分信号的散射参数，以确定待检测差分器件传输结构的性能的情况下，矢量网络分析仪10可以通过该校准装置30对差分探针20进行校准，以确定基于差分探针20获取的差分信号的散射参数。

可以理解的是，图3中的校准系统架构只是本申请实施例中的一种示例性的实施方式，本申请实施例中的校准系统架构包括但不仅限于以上校准系统架构。例如：在适量网络分析仪10测量单端口网络时，可以只通过一个差分探针20对其进行测量。

基于上述校准系统架构，本申请实施例提供一种应用于上述校准系统架构中的校准装置，以在使用差分夹具的情况下，精准的获得差分信号的散射参数。请参见图4，图4是本申请实施例提供的一种校准装置的结构示意图。

如图4所示，该校准装置，可包括：非等长反射校准件，上述非等长反射校准件用于校准确定基于差分夹具获取的差分信号的散射参数；其中，上述非等长反射校准件包括第一线路和第二线路，上述第一线路的电长度与上述第二线路的电长度不相等，且上述第一线路的长度与上述第二线路的长度之间差值在预设范围内，上述预设范围基于上述差分信号的带宽确定。

需要说明的是，本申请基于的校准方式，是通过校准或去嵌的方式，将校准参考面校准至该差分夹具的末端，去掉差分夹具的影响，获取待检测差分器件真实输出的差分信号(如上述图1所示)。因此，校准参考面可以至少预设至差分夹具的末端。例如：如图4所示，预设参考面即为预先设置的校准参考面，其位置处于第二线路的末端。

具体的，如图4所示，该非等长反射校准件包括两个电长度不相等的线路(即，第一线路和第二线路)，其中，电长度可以是线路的物理长度(即机械长度或几何长度)乘以电或电磁信号在该线路中的传输时间(如：时间为T1)与这一信号在自由空间中通过跟线路的物理长度一样的距离时所需的时间(如：时间为T2)的比来表示，即： 如：该第一线路的电长度为上述第一线路的第一端与上述第一线路的第二端之间的长度乘以差分信号在该线路中的传输时间T1与该差分信号在自由空间中通过第一端与第二端之间的长度的传输时间T2的比。如：第一线路包括第一端a和第二端b；第二线路包括第三端c和第四端d。对应的，第一线路的电长度为第一端a和第二端b之间的长度/>第二线路的电长度为第三端c和第四端d之间的长度/>

因此，第一线路的电长度与第二线路的电长度不同，使得第一线路对应的反射状态系数与第二线路的对应的反射状态系数不同，其中，又由于预设校准面处于第二线路的末端，即第四端d的位置，因此，在第一线路和第二线路电长度不相等且均为开路的情况下，第一线路的反射状态系数小于1，第二线路的反射状态系数等于1。在第一线路对应的反射状态系数与第二线路的对应的反射状态系数不同的情况下，矢量分析仪可以基于TRL校准方式确定预设参考面附近的近端串扰与远端串扰，对测量数据的影响；再结合该数据可以获得DUT本身的16项S参数数据(即：散射参数)，提高校准精度。该散射参数可以反映出待检测差分器件传输差分信号时的差模、共模以及差共模转换的传输特征。

另外，为了保证校准精度，线路的电阻和横截面积需要保持一定的范围，因此，第一线路的长度和第二线路的长度分别对应的长度范围也要对应处于一定的范围(例如：线路的长度一般处于150μm-500μm)，该电长度的具体大小与线路的电阻大小和横截面均相关。当线路的材质和电阻大小一定时，线路的横截面越大，线路的长度越长。

需要说明的是，由于第一线路和第二线路对应的是差分夹具不同的信号端口，而且该差分夹具获取的是差分信号，因此，为了保证差分信号的基本信号特征，上述第一线路的长度与上述第二线路的长度之间差值在预设范围内，而上述预设范围基于上述差分信号的带宽确定。带宽可以指待测差分信号最高频率与最低频率之差。可选的，该预设范围也可以基于差分信号的频率确定。

还需要说明的是，该非等长反射校准件制作于基底上，该基底可以是印制电路板(Printed Circuit Board)PCB板或者陶瓷等，对此，本申请实施例并不做具体的限制。该基底的材质需要与待检测差分器件所对应基底的材质保持一致，以减小误差。

可选的，上述预设范围中的最大值与上述差分信号的带宽的大小呈反比。

在本申请实施例中，预设范围中的最大值是指第一线路与第二线路差距的最大值，该预设范围中的最大值与上述差分信号的带宽的大小呈反比。即，差分信号的带宽越大时，预设范围中的最大值越小，即第一线路与第二线路的差距越小。当待检测差分信号的带宽越大时，说明其差分信号的频率波动越大，其差别也越大，因此，此时为了第一线路和第二线路之间的差距过大时，造成校准精度不佳，所以预设范围中的最大值与上述差分信号的带宽的大小呈反比，以确保其校准精度较高。例如：待检测差分信号的带宽为100GHZ的情况下，其预设范围的最大值可以是小于或等于12μm；待检测差分信号的带宽为10GHZ的情况下，其预设范围的最大值可以是小于或等于40μm。本申请对此不作具体的限定。另外，为了避免校准过程中的近端串扰和远端串扰以及相关制备工艺的差异，预设范围中的最小值一般需要大于或等于2μm，以使的第一线路与第二线路的反射状态系数的数值不同。

可选的，上述第一线路和上述第二线路的材质均为金属导体。

在一些实施例中，由于金属导体可以导电，因此，第一线路和第二线路的材质可以为金属导体。例如：其材质可以为铜、无氧铜、金、铝、铁等等。另外，为了减小材质不同造成的校准误差，其第一线路和第二线路的材质、电路损耗、电导率或阻抗中的至少一个保持一致。在另一些实施例中，第一线路和第二线路可以为传输线。对第一线路和第二线路的具体材质，本申请实施例并不做具体的限制。

可选的，上述非等长反射校准件包括两个线路组，且上述两个线路组沿第一方向呈轴对称分布；每个上述线路组包括沿第二方向平行分布的上述第一线路和上述第二线路，其中，上述第一方向与上述第二方向互相垂直。

请参见图5，图5是本申请实施例提供的另一种校准装置的结构示意图。如图5所示，为了保证矢量网络分析仪在测量两端口网络结构时需要两个差分夹具获取差分信号，对应的非等长反射校准件需要两个线路组分别对两个差分夹具其进行校准，而且为了保证两个差分探针获取信号的一致性，该非等长反射校准件包括两个线路组，该两个线路组在结构上需要保持一致且呈轴对称分布，其对称轴与第一方向平行、与第二方向垂直。而且为了减小校准误差，每个线路组中的第一线路和第二线路均沿第二方向平行分布，防止第一线路和第二线路之间互相倾斜时，造成信号间串扰或对应的反射状态系数不准确，进而导致校准精度不高等问题。

可选的，上述第一线路的上述第一端与上述第二线路的上述第三端在上述第一方向上齐平，上述第一线路的上述第二端与预设参考面之间的第一距离与上述第二线路的上述第四端与上述预设参考面之间的第二距离不相等；上述第一距离与上述第二距离均与上述差分信号的带宽成反比，且上述第一距离与上述第二距离均小于或等于预设阈值。

以非等长反射校准件中的一个线路组为例，请参见图6，图6是本申请实施例提供的一种非等长反射校准件的结构示意图。如图6中(1)所示，在第一线路的第一端a与第二线路的第三端c在上述第一方向上齐平的情况下，第一线路的上述第二端b与预设参考面之间的第一距离L1与上述第二线路的上述第四端d与上述预设参考面之间的第二距离L2不相等，且均未达到预设参考面，可以使得第一线路的电长度与第二线路的电长度不相等，如：L1小于L2，进而使得第一线路对应的反射状态系数与第二线路的对应的反射状态系数不同。

需要说明的是，该第一距离为第一线路的第二端(不与第二线路齐平的一端)与预设参考面之间距离，因此，该第一线路可以处于未达到预设参考面、与预设参考面重合、超过预设参考面中的其中任意一种状态，如上述图6中(2)所示，第一线路处于超过预设参考面的状态。同理可知，第二线路也可以未达到预设参考面、与预设参考面重合、超过预设参考面中的其中任意一种状态。

另外，还需要说明的是，在确保第一线路的长度与上述第二线路的长度之间差值在预设范围内的情况下，上述第一距离与上述第二距离均小于或等于预设阈值，该预设阈值的大小与预设范围的大小不相关。第一距离与上述第二距离与上述差分信号的带宽成反比，也因此，预设阈值也可以基于差分信号的带宽确定。例如：待检测差分信号的带宽为100GHZ的情况下，其预设阈值可以是小于或等于10μm；待检测差分信号的带宽为10GHZ的情况下，其预设阈值可以是小于或等于20μm，本申请对此不作具体的限定。

另外，基于该非等长反射校准件，矢量网络分析仪获得的差分信号的差模和共模反射系数可以分别为：

差模反射系数：

差共模反射系数：

其中，j为虚部，M1为第一线路对应的反射状态系数，M2为第二线路对应的反射状态系数。当线路的类型不同时，反射状态系数对应的正负号也不同。例如：当第一线路为开路时，M1大于0且小于或等于1；当第一线路为短路时，M1大于或等于-1且小于0；同理，当第二线路为开路时，M2大于0且小于或等于1；当第二线路为短路时，M2大于或等于-1且小于0。

B为传播常数，由第一线路和第二线路的材质决定。

L1的大小为第一线路的第二端b与预设参考面之间的第一距离的大小；L2的大小为第二线路的第四端d与上述预设参考面之间的第二距离的大小。而且，该距离未达到预设参考面时L1和L2的数值为负，与预设参考面重合时为0，超出预设参考面时L1和L2的数值为正。例如：如上述图6中(1)所示，L1和L2均小于0；如上述图6中(2)所示，L1大于0且L2均小于0。

另外，为了避免校准过程中的近端串扰和远端串扰以及相关制备工艺的差异，需要避免在后续计算过程中，L1和L2正负号相反时L1和L2相加为0，或者L1和L2正负号相同时L1和L2相减为0，因此，上述第一线路的上述第二端与预设参考面之间的第一距离与上述第二线路的上述第四端与上述预设参考面之间的第二距离不相等，即，L1和L2的数值也不同。

因此，本申请实施例需要预先确定预设参考面，才可以获得对应的差模、共模或差共模反射系数。

而且在确定预设参考面后，第一线路与第二线路的一端需要保持齐平，可以保证差分探针在获取差分信号的一致性，以减小误差。第一线路与第二线路与预设参考面的距离不同，可以使得第一路线与第二路线的反射状态系数不同，进而确定预设参考面附近第一线路与第二线路之间的近端串扰与远端串扰造成的误差，提高非等长反射校准件的校准精度，减小检测误差。

可选的，每个上述线路组还包括多个接地线路；上述多个接地线路与上述第一线路和上述第二线路沿上述第一方向间隔分布，每个上述接地线路沿上述第二方向与上述第一线路平行分布，每个上述接地线路的第五端均与上述第一端沿上述第一方向齐平。

如上述图2所示，差分探针往往有多种结构，例如：GSSG结构和GSGSG结构等，为了使得非等长反射校准件适用于多种差分探针，非等长反射校准件的每个线路组还包括多个接地线路，与差分探针的接地端口对应。请参见图7，图7是本申请实施例基于图2提供的一种非等长反射校准件的结构示意图。如图7中(1)所示，每个上述线路组还包括多个接地线路，为了保证差分探针每个端口获取差分信号的一致性，接地线路的一端也需要与第一线路和第二线路的一端齐平，以减小检测误差。也可以理解的是，接地线路与与第一线路和第二线路齐平的一端为第五端。

另外，如图7中(1)所示的非等长反射校准件适用于上述图2中GSSG结构的差分探针，如图7中(2)所示的非等长反射校准件适用于上述图2中GSGSG结构的差分探针，其中，接地线路的长度本申请实施例并不做具体的限制，例如：接地线路的长度可以大于第一线路的长度，也可以小于第一线路的长度。又例如：两个线路组的接地线路可以直接对应连接，对此，本申请实施例并不做具体的限制。

可选的，上述差分夹具为差分探针；上述第一线路的上述第一端对应差分探针的第一信号端口，上述第二线路的上述第三端对应上述差分探针的第二信号端口；其中，上述差分探针用于通过上述第一信号端口和上述第二信号端口获取基于上述差分夹具输出的上述差分信号，上述第一信号端口用于获取第一子信号，上述第二信号端口用于获取第二子信号，上述第一子信号与上述第二子信号构成上述差分信号。

其中，如上述图2中GSSG结构的差分探针所示，差分探针包括第一信号端口P和第二信号端口N，对应的，该GSSG结构的差分探针与上述图7中(1)所示的非等长反射校准件中的第一线路和第二线路分别对应，例如：差分探针的第一信号端口P与第一线路对应，第二信号端口N与第二线路对应。进而以获得差分信号的散射参数，进而可以反映出其差模、共模以及差共模转换的传输特征。另外，该差分探针的第一信号端口P用于获取第一子信号，第二信号端口N用于获取第二子信号，其中该第一子信号与第二子信号的相位不同，可以构成差分信号。

需要说明的是，非等长反射校准件中每个线路组内的第一线路与第二线路在第一方向上的间距，与对应差分探针中第一信号端口与第二信号端口之间在第一方向上的间距保持一致，进而保证差分探针获取反射系数的一致性，以减小校准误差。

同理，非等长反射校准件中每个线路组内相邻线路之间在第一方向上的间距均需要与对应的差分夹具对应的端口在第一方向上的间距保持一致。

可选的，上述非等长反射校准件为非等长开短路校准件，其中，上述第一线路为短路、上述第二线路为开路，或者上述第一线路为开路、上述第二线路为短路。

本申请实施例中的非等长反射校准件为非等长开短路校准件，即第一线路和第二线路中一个为开路一个为短路。以非等长开短路校准件中的一个线路组为例，请参见图8，图8是本申请实施例提供的几种非等长开短路校准件的线路组结构示意图。如图8中(1)所示，第一线路为短路，第二线路为开路，基于上述图6的相关描述可知，第一线路超过了预设参考面，第二线路与预设参考面重合，因此该非等长开短路校准件的差模反射系数Sdd11大于0，差共模反射系数Sdc11小于0；如图8中(2)所示，第一线路为短路，第二线路为开路，基于上述图6的相关描述可知，第一线路未达到预设参考面，第二线路与预设参考面重合，因此该非等长开短路校准件的差模反射系数Sdd11大于0，差共模反射系数Sdc11小于0；如图8中(3)所示，第一线路为开路、第一线路与预设参考面重合，第二线路为短路、第二线路超过了预设参考面，基于上述图6的相关描述可知，该非等长开短路校准件的差模反射系数Sdd11大于0，差共模反射系数Sdc11大于0；如图8中(4)所示，第一线路为开路、第一线路与预设参考面重合，第二线路为短路、第二线路未达到预设参考面，基于上述图6的相关描述可知，该非等长开短路校准件的差模反射系数Sdd11大于0，差共模反射系数Sdc11大于0。

需要说明的是，上述图8所示的几种非等长开短路校准件的线路组结构只是本申请实施例中的示例性的方式，本申请实施例并不仅限于上述几种结构。例如：第二线路为开路时，该第二线路可以超过预设参考面或未达到预设参考面。又例如：当差分探针为GSGSG结构时，第一线路和第二线路之间还存在接地线路。

还需要说明的是，由上述差模反射系数公式和差共模反射系数公式可知，上述图8所示的几种非等长开短路校准件的线路组结构只适用于第一子信号与上述第二子信号之间相位偏差不是180°的差分信号。

还需要说明的是，由于非等长开短路校准件不包含负载电路，可以省去匹配负载的加工过程，利用常规电路刻蚀即可完成开路和短路的制作，避免了因工艺的差异，造成非等长开短路校准件中两个线路组彼此之间不一致，造成校准误差。

可选的，上述非等长反射校准件为非等长开路校准件，上述第一线路和上述第二线路均为开路。

在本申请实施例中，非等长反射校准件为非等长开路校准件，即第一线路和第二线路中均为开路。以非等长开路校准件中的一个线路组为例，请参见图9，图9是本申请实施例提供的几种非等长开路校准件的线路组结构示意图。第一线路和第二线路均为开路，如图9中(1)所示，第一线路超过了预设参考面，第二线路与预设参考面重合，基于上述图6的相关描述可知，该非等长开路校准件的差模反射系数Sdd11大于0，差共模反射系数Sdc11小于0；如图9中(2)所示，第一线路未达到预设参考面，第二线路与预设参考面重合，基于上述图6的相关描述可知，该非等长开路校准件的差模反射系数Sdd11大于0，差共模反射系数Sdc11小于0。

该非等长开路校准件包括两个开路，不包含负载电路，可以省去匹配负载的加工过程，利用常规电路刻蚀即可完成开路的制作，避免了因工艺的差异，造成非等长开路校准件中两个线路组彼此之间不一致，使得非等长开路校准件中两个线路组的一致性更容易实现和控制，更好的减小检测误差。而且，相较于上述非等长开短路校准件，该非等长开路校准件不仅适用于第一子信号与第二子信号之间相位偏差不是180°的差分信号，还适用于第一子信号与第二子信号之间相位偏差是180°的差分信号。

可选的，上述非等长反射校准件为非等长短路校准件，上述第一线路和上述第二线路均为短路。

在本申请实施例中，非等长反射校准件为非等长短路校准件，即第一线路和第二线路中均为短路。以非等长短路校准件中的一个线路组为例，请参见图10，图10是本申请实施例提供的几种非等长短路校准件的线路组结构示意图。第一线路和第二线路均为短路，如图10中(1)所示，第一线路和第二线路均超过了预设参考面，基于上述图6的相关描述可知，该非等长开路校准件的差模反射系数Sdd11小于0，差共模反射系数Sdc11大于0；如图10中(2)所示，第一线路未达到预设参考面，第二线路超过了预设参考面，基于上述图6的相关描述可知，该非等长开路校准件的差模反射系数Sdd11小于0，差共模反射系数Sdc11大于0。

该非等长短路校准件包括两个短路，同上述非等长开短路校准件和非等长开路校准件，该非等长短路校准件也不包含负载电路，可以省去匹配负载的加工过程，利用常规电路刻蚀即可完成开路的制作，使得非等长短路校准件中两个线路组的一致性更容易实现和控制，更好的减小检测误差。而且，相较于上述非等长开短路校准件，该非等长短路校准件同非等长开路校准件一致，不仅适用于第一子信号与上述第二子信号之间相位偏差不是180°的差分信号，还适用于第一子信号与上述第二子信号之间相位偏差是180°的差分信号。

需要说明的是，上述图8和图10所示的非等长反射校准件的短路结构中，线路与接地线路之间短接区域在第二方向上的短接长度或短接面积并不做具体的限制，例如：可以短接线路的三分之一或四分之一长度。另外，其短接区域在线路上的位置一般在线路靠近预设参考面的一端，但还可以位于线路中间，对此，本申请实施例不做具体的限制。

还需要说明的是，上述图8-图10所示的非等长反射校准件的线路组结构只是适用于上述图2中GSSG结构的差分探针的线路组。本申请对线路组中接地线路以及第一线路和第二线路的分布位置和结构，并不做具体的限定。例如：以适用于上述图2中GSGSG结构的差分探针的线路组为例，请参见图11，图11是本申请实施例提供的另一种非等长短路校准件的线路组结构示意图。如图11所示，该非等长短路校准件中的其中一个线路组包括三个间隔平行排布的接地线路，第一线路和第二线路分别与相邻的两个接地线路短接。该非等长短路校准件的线路组结构适用于上述图2中GSGSG结构的差分探针。此时，该非等长短路校准件的差模反射系数Sdd11小于0，差共模反射系数Sdc11大于0。

在一种可能实现的方式中，上述装置还包括直通校准件和延时线校准件。

在本申请实施例中，该校准装置还包括直通校准件和延时线校准件，使得矢量网络分析仪通过测量上述2个传输标准件和1个反射标准件来决定误差模型，以减小检测误差。其中，该直通校准件和延时线校准件均包括沿第二方向平行分布的多个线路，该直通校准件中线路的长度小于延时线校准件中线路的长度。

请参见图12，图12是本申请实施例提供的一种直通校准件和延时线校准件结构示意图。如图12中(1)所示，该直通校准件包括沿第二方向平行分布的多个线路，该多个线路的两端均沿第一方向齐平，以便于对差分夹具进行校准。如图12中(2)所示，该延时线校准件也包括沿第二方向平行分布的多个线路，该多个线路的两端也均沿第一方向齐平，以便于对差分夹具进行校准。由上述图12中(1)和(2)所示，该延时线校准件中线路的长度大于直通校准件中线路的长度，而且该直通校准件和延时线校准件中多个线路的数量与对应的差分夹具的端口或探针数量一一对应；该直通校准件和延时线校准件中多个线路中相邻线路之间的间距也与对应的差分夹具对应相邻的端口或探针之间的间距一致。

另外，需要说明的是，直通校准件中线路的电长度为0时，直通校准件无损耗，无反射，对应的传输系数为1；电长度不为0时，直通标准件的特性阻抗必须和延时线校准件相同，无须知道损耗，如果直通标准件用作设为参考测量面，电气长度具体值必须知道，同时，如果此时群时延设为0的话，预设参考测量面位于直通标准件的中间。

还需要说明的是，该直通校准件和延时线校准件也可以制作于基底上，该基底可以是印制电路板(Printed Circuit Board)PCB板或者陶瓷等，对此，本申请实施例并不做具体的限制。

另外，基于上述图2所示的GSSG结构的差分探针，以及上述图4-图12所示实施例提供的校准装置的结构，结合本申请中提供的校准方法，示例性的说明本申请实施例涉及的相关应用场景。

其中，矢量网络分析仪10通过差分探针GSSG检测待检测差分器件的差分信号。为了降低差分探针GSSG对差分信号的影响，在此之前，矢量网络分析仪10可以先通过该差分探针GSSG连接校准装置，以减小误差。

上述矢量网络分析仪10引出四根同轴线，该四根同轴线分别与两个差分探针GSSG连接，该差分探针GSSG包括：两个S端探针(如上述图2所示：信号探针P和信号探针N)和两个G端探针，从上到下依次为探针G、信号探针P、信号探针N、探针G。相关校准步骤请参考下述图13-图15B的相关实施例。

步骤一：请参见图13，图13是本申请实施例提供的一种基于直通校准件校准应用场景示意图。如图13中所示，

直通(through)标准件位于PCB板上，该直通校准件包含4根长条形的金属短线，该4根金属短线可以认为本申请实施例中的四条线路，其中，每根金属短线的长宽为150um×75um，上下相邻金属短线的间距为200um(该间距由差分探针各个相邻探针间距决定，本例采用GSSG200型号探针)。4根金属短线从上到下分别为地1(001)，信号N(002)，信号P(003)，地2(004)，作为直通校准件。取两个差分探针GSSG，分别从直通校准件左右两端，将探针四个针尖与直通校准件的地1(001)，信号N(002)，信号P(003)，地2(004)连接。探针的另一边连接矢量网络分析仪10，即可以开始测试获得直通校准件对应的散射参数S。

步骤二：请参见图14，图14是本申请实施例提供的一种基于延时线校准件校准应用场景示意图。如图14中所示，

延时线(line)校准件位于上述场景一中的PCB板上，该延时线校准件也包含4根长条形金属短线，长宽为2000um×75um，上下相邻金属短线的间距为200um。其宽度与上述步骤一中直通校准件的金属短线保持一致，该4根金属短线从上到下分别为地1(005)，信号N(006)，信号P(007)，地2(008)，作为延时线校准件。取两个差分探针GSSG，分别从延时线校准件左右两端，分别将差分探针GSSG的四个探针与延时线校准件的地1(005)，信号N(006)，信号P(007)，地2(008)连接。差分探针GSSG的另一边连接矢量网络分析仪10，即可以开始测试获得延时线校准件对应的散射参数S。

步骤三：以非等长反射校准件为非等长开路校准件为例，请参见图15A，图15A是本申请实施例提供的一种基于非等长反射校准件校准应用场景示意图。如图15A中所示，

非等长开路校准件位于PCB板上，包含6根长条形金属线，分别为地1(009)，信号N1(010)，信号N2(011)，信号P1(012)，信号P2(013)，地2(014)，作为非等长开路校准件。6根长条的宽均为75um，上下相邻长条间距200um。地1(009)与地2(014)作为不同线路组的接地线路，其长度均为2000um，信号N1(010)与信号N2(011)作为不同线路组的第一线路，其长度均为240um，信号P1(012)与信号P2(013)作为不同线路组的第二线路，其长度均为140um。取两个差分探针GSSG，将一个差分探针GSSG的四个探针分别与非等长开路校准件左侧的地1(009)，信号N1(010)，信号P1(012)，地2(014)对应接触，将另一个差分探针GSSG的四个探针分别与非等长开路校准件右侧的地1(009)，信号N2(011)，信号P2(013)，地2(014)对应接触。差分探针GSSG的另一边连接矢量网络分析仪10，开始测试获得非等长开路校准件对应的散射参数S。

以非等长反射校准件为非等长短路校准件为例，请参见图15B，图15B是本申请实施例提供的另一种基于非等长反射校准件校准应用场景示意图。如图15B中所示，

非等长短路校准件位于PCB板上，包含6根长条形金属线，分别为地1(025)，信号N1(026)，信号N2(027)，信号P1(028)，信号P2(029)，地2(030)，作为非等长短路校准件。6根长条的宽均为75um，上下相邻长条间距200um。地1(025)与地2(030)的长度为2000um，信号N1(026)与信号N2(027)的长度为240um，分别与地1(025)短接，信号P1(028)与信号P2(029)的长度为140um，分别于地2(030)短接。取两个差分探针GSSG，将一个差分探针GSSG的四个探针与非等长短路校准件左侧的地1(025)，信号N1(026)，信号P1(028)，地2(030)接触，将另一各差分探针GSSG的四个探针与非等长短路校准件右侧的地1(025)，信号N2(027)，信号P2(029)，地2(030)接触。差分探针GSSG的另一边连接矢量网络分析仪10，开始测试获得非等长开路校准件对应的散射参数S。

其中，需要说明的是，上述图15B所示的实施例仅仅是将非等长开路校准件替换为非等长短路校准件，在另一些可能实现的实施例中，该非等长反射校准件还可以为非等长开短路校准件，对此本申请实施例不再赘述。

步骤四：请参见图16，图16是本申请实施例基于待检测差分器件的应用场景示意图。如图16中所示，

测试待检测差分器件DUT，DUT为上述PCB上某四端口未知待检测差分器件，DUT的左右两侧分别包含4个焊盘，每个焊盘的长宽均为500um×75um，上下相邻焊盘的间距200um。DUT左侧末端焊盘从上到下分别为地1(017)，信号N1(018)，信号P1(019)，地2(020)，DUT右侧末端焊盘从上到下分别为地3(021)，信号N2(022)，信号P2(023)，地4(024)。取两个差分探针GSSG，将一个差分探针GSSG的四个探针与DUT左侧的地1(017)，信号N1(018)，信号P1(019)，地2(020)接触，将另一个差分探针GSSG的四个探针与DUT右侧的地3(021)，信号N2(022)，信号P2(023)，地4(024)接触，差分探针GSSG的另一边连接矢量网络分析仪10，开始测试获得DUT带差分夹具的四端口散射参数S。

使用上述4组(步骤一至步骤四)测试数据，根据多模TRL校准方式去嵌计算，获得DUT本身的16项S参数。可以理解为：根据through与line的测试结果，计算得到传输线差模和共模的复传播常数，并且按照传输方向排序得传播常数矩阵；再利用反射件测试结果以及传播常数矩阵，反向计算反射校准件本身S参数，如果该S参数Sdd11＞0，则符号系数为1，如果该S参数SDD11＜0，则符号系数为-1，同理如Sdc11＞0，则符号系数为-1，如果Sdc11＜0，则符号系数为1。

因此，综上所述，本申请第一方面实施例提供了一种校准装置可在使用差分夹具的情况下，精准的获得差分信号的散射参数。具体的，具体的，该校准装置包括非等长反射校准件，该非等长反射校准件可以用于校准确定差分信号的散射参数S，该差分信号为待去嵌校准的基于差分夹具获取的差分信号，该散射参数可以反映出差分器件传输差分信号时的差模、共模以及差共模转换的传输特征。其中，该非等长反射校准件包括两个线路(即，第一线路和第二线路)，且该两个线路之间长度的差值在预设范围内，该预设范围可以根据待测差分信号的带宽确定，示例性的，该预设范围可以为2μm-500μm；该带宽可以指待测差分信号最高频率与最低频率之差。在校准过程中，上述第一线路和第二线路可以与差分夹具连接，以获取差分夹具对应的散射参数。该差分夹具对应的散射参数可以在后续获取差分信号的散射参数后，利用相关误差模型对其进行去嵌校正。最重要的是，该两个线路的电长度不同，其中，电长度可以是线路的物理长度(即机械长度或几何长度)乘以电或电磁信号在该线路中的传输时间(如：时间为T1)与这一信号在自由空间中通过跟线路的物理长度一样的距离时所需的时间(如：时间为T2)的比来表示，即：如：该第一线路的电长度为上述第一线路的第一端与上述第一线路的第二端之间的长度乘以差分信号在该线路中的传输时间与该差分信号在自由空间中通过第一端与第二端之间的长度所需的时间的比。第一线路的电长度与第二线路的电长度不同，使得第一线路对应的反射状态系数与第二线路的对应的反射状态系数不同，例如：第一线路的反射状态系数为1时，第二线路的反射状态系数可以为0.8。进而在后续校准过程中，可以利用相关误差模型计算获得第一线路与第二线路之间由于近端串扰和/或远端串扰造成的误差，以在后续对差分信号的散射参数进行去嵌校正的过程中消除近端串扰和/或远端串扰造成的误差，提高校准精度，使得在使用差分夹具的情况下，可以更加精准的获得差分信号的散射参数。

在上述实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详述的部分，可以参见其他实施例的相关描述。

需要说明的是，对于前述的各方法实施例，为了简单描述，故将其都表述为一系列的动作组合，但是本领域技术人员应该知悉，本申请并不受所描述的动作顺序的限制，因为依据本申请，某些步骤可能可以采用其他顺序或者同时进行。其次，本领域技术人员也应该知悉，说明书中所描述的实施例均属于优选实施例，所涉及的动作和模块并不一定是本申请所必须的。

在本申请所提供的几个实施例中，应该理解到，所揭露的装置，可通过其它的方式实现。例如，以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，例如上述单元的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，例如多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个系统，或一些特征可以忽略，或不执行。另一点，所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些接口，装置或单元的间接耦合或通信连接，可以是电性或其它的形式。

上述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部单元来实现本实施例方案的目的。

以上所述，以上实施例仅用以说明本申请的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本申请进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (14)

1.一种校准装置，其特征在于，所述装置包括：非等长反射校准件，所述非等长反射校准件用于校准确定基于差分夹具获取的差分信号的散射参数；

其中，所述非等长反射校准件包括第一线路和第二线路，所述第一线路的电长度与所述第二线路的电长度不相等，且所述第一线路的长度与所述第二线路的长度之间差值在预设范围内，所述预设范围基于所述差分信号的带宽确定。

2.根据权利要求1所述装置，其特征在于，所述预设范围中的最大值与所述差分信号的带宽的大小呈反比。

3.根据权利要求1或2所述装置，其特征在于，所述第一线路和所述第二线路的材质均为金属导体。

4.根据权利要求1-3任意一项所述装置，其特征在于，所述非等长反射校准件包括两个线路组，且所述两个线路组沿第一方向呈轴对称分布；

每个所述线路组包括沿第二方向平行分布的所述第一线路和所述第二线路，其中，所述第一方向与所述第二方向互相垂直。

5.根据权利要求4所述装置，其特征在于，所述第一线路的所述第一端与所述第二线路的所述第三端在所述第一方向上齐平，所述第一线路的所述第二端与预设参考面之间的第一距离与所述第二线路的所述第四端与所述预设参考面之间的第二距离不相等；

所述第一距离与所述第二距离均与所述差分信号的带宽成反比，且所述第一距离与所述第二距离均小于或等于预设阈值。

6.根据权利要求4或5所述装置，其特征在于，每个所述线路组还包括多个接地线路；所述多个接地线路与所述第一线路和所述第二线路沿所述第一方向间隔分布，每个所述接地线路沿所述第二方向与所述第一线路平行分布，每个所述接地线路的第五端均与所述第一端沿所述第一方向齐平。

7.根据权利要求1-6任意一项所述装置，其特征在于，所述差分夹具为差分探针；所述第一线路的所述第一端对应所述差分探针的第一信号端口，所述第二线路的所述第三端对应所述差分探针的第二信号端口；

其中，所述差分探针用于通过所述第一信号端口和所述第二信号端口获取基于所述差分夹具输出的所述差分信号，所述第一信号端口用于获取第一子信号，所述第二信号端口用于获取第二子信号，所述第一子信号与所述第二子信号构成所述差分信号。

8.根据权利要求1-7任意一项所述装置，其特征在于，所述非等长反射校准件为非等长开短路校准件，其中，所述第一线路为短路、所述第二线路为开路，或者所述第一线路为开路、所述第二线路为短路。

9.根据权利要求1-7任意一项所述装置，其特征在于，所述非等长反射校准件为非等长开路校准件，所述第一线路和所述第二线路均为开路。

10.根据权利要求1-7任意一项所述装置，其特征在于，所述非等长反射校准件为非等长短路校准件，所述第一线路和所述第二线路均为短路。

11.根据权利要求1-10任意一项所述装置，其特征在于，所述装置还包括直通校准件和延时线校准件。

12.一种差分夹具，其特征在于，所述差分夹具包括差分探针与如权利要求1-11中任意一项校准装置，其中，所述差分探针用于获取差分信号，所述校准装置用于校准确定所述差分信号的散射参数。

13.一种矢量网络分析仪，其特征在于，所述矢量网络分析仪包括差分夹具和如权利要求1-11中任意一项校准装置，其中，所述矢量网络分析仪通过所述差分夹具用于获取差分信号，所述校准装置用于校准确定所述差分信号的散射参数。

14.一种校准系统，其特征在于，所述系统包括矢量网络分析仪、差分探针和如权利要求1-11中任意一项校准装置，其中，所述适量网络分析仪用于通过所述差分探针获取基于差分夹具获取的差分信号，所述校准装置用于校准确定所述差分信号的散射参数。