CN117332749A - 一种版图检测方法、电子设备及存储介质 - Google Patents

Abstract

本发明涉及计算机光刻技术领域，特别涉及一种版图检测方法、电子设备及存储介质。所述版图检测方法，包括以下步骤：获取版图图形信息；基于图形信息进行图形冲突检测；基于图形冲突检测结果构建冲突关系图；基于冲突关系图寻找最小基础环组合；找到最小基础环组合中的奇数环并输出其图形信息。本发明基于版图的图形信息将图形之间相互的冲突关系简化为图论中点、线的连接关系，并基于点线连接形成的回路确定外轮廓环和基础环的形状，构建出了图形的冲突关系图，进而将奇数环问题归结为图论问题中寻找最小基础环组合的问题，通过此方法，简化了计算规模，提高了计算的总体效率。

Description

一种版图检测方法、电子设备及存储介质

【技术领域】

本发明涉及计算机光刻技术领域，特别涉及一种版图检测方法、电子设备及存储介质。

【背景技术】

在半导体先进制造领域中，随着芯片特征尺寸的进一步缩小，对光刻机分辨率的要求越来越高，目前，1.35NA的193nm浸没式光刻机能够提供36-40nm的分辨率，可以满足28nm逻辑技术节点的要求。但对于更小尺寸的芯片，就需要采用双重曝光技术(DoublePatterning Technology，简称DPT)，将原始光刻图形拆分为两个或多个掩模，利用多次曝光和刻蚀来实现原始设计的图形。

然而，在双重曝光技术的拆解中，不可避免地会遇见“奇数环问题”，即无法将掩膜图形无冲突的分配到两张版图中。对于有图形冲突的设计版图，通常，需要将设计版图中的奇数环问题报告给设计人员，便于版图设计人员进行修改调试，以便在设计端解决问题。但是，在一张完整的设计版图中要准确的识别出存在的奇数环是一个NP-complete问题，其庞大的计算量非常耗费计算机的运行时间和内存。

【发明内容】

为了解决现有设计版图奇数环识别运算效率低的问题，本发明提供一种版图检测方法、电子设备及存储介质。

本发明为解决上述技术问题，提供如下的技术方案：一种版图检测方法，包括以下步骤：获取版图图形信息；基于图形信息进行图形冲突检测；基于图形冲突检测结果构建冲突关系图；基于冲突关系图寻找最小基础环组合；找到最小基础环组合中的奇数环并输出其图形信息。

优选地，图形冲突检测包括以下步骤：在版图图形周围设置规则检测区域；获取规则检测区域与相邻图形的位置信息；判断规则检测区域与相邻图形是否相交；若规则检测区域与相邻图形相交，则规则检测区域对应的图形与其相邻图形存在冲突关系。

优选地，构建冲突关系图包括以下步骤：将版图中的图形简化为点，并保留点的位置信息；将存在冲突关系的图形简化的点用边连接，得到冲突关系图。

优选地，构建冲突关系图后对所述冲突关系图进行点简化和点双连通简化。

优选地，点简化包括以下步骤：获取冲突关系图上各点上连接的边的数量；将连接的边的数量小于2的点及其边删除，获得冲突关系简化图。

优选地，点双连通简化包括以下步骤：基于冲突关系简化图判断图中是否存在割点；若存在割点，则通过割点将冲突关系简化图分割，获得多个双连通分量。

优选地，寻找最小基础环组合包括以下步骤：获取双连通分量上任一外轮廓点；以所述外轮廓点为起点沿边的方向向外遍历至回到起点，获得外轮廓环；基于所述外轮廓环获取任一外轮廓边；以所述外轮廓边为起点沿边的方向向内遍历至回到起点，获得基础环；若存在未遍历过的外轮廓边，以未遍历过的外轮廓边为起点，沿边的方向向内遍历至回到起点，获得其余基础环，直到所有外轮廓边均被遍历过。

优选地，外轮廓环遍历过程中，若遇到多边节点，选择靠近环外部的边前进；基础环遍历过程中，若遇到多边节点，选择靠近环内部的边前进。

优选地，找到奇数环并输出其图形信息包括以下步骤：获取所有基础环上点的数量；筛选出点数为奇数的基础环，定义为奇数环；还原筛选出的奇数环的图形信息，并输出所述图形信息。

本发明为解决上述技术问题，提供又一技术方案如下：一种电子设备，包括存储器、处理器及存储在存储器上的计算机程序，所述处理器执行上述计算机程序以实现如上任一项所述的版图检测方法的步骤。

本发明为解决上述技术问题，还提供一技术方案如下：一种存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如上任一项所述的版图检测方法的步骤。

与现有技术相比，本发明所提供的一种版图检测方法及电子设备，具有如下的有益效果：

1.本发明实施例提供的一种版图检测方法，包括以下步骤：获取版图图形信息；基于图形信息进行图形冲突检测；基于图形冲突检测结果构建冲突关系图；基于冲突关系图寻找最小基础环组合；找到最小基础环组合中的奇数环并输出其图形信息。

可以理解地，本发明通过获取版图上的图形信息，基于图形的位置信息和图形之间的冲突关系构建出冲突关系图，再从冲突关系图的最小基础环组合中找出奇数环。通过冲突关系图的构建，将奇数环问题，也即NP-complete问题归结为图论问题中寻找最小基础环组合的问题，通过转换计算模型，进而缩减了计算规模，降低了计算占用的内存，提高了计算运行的效率。

2.本发明实施例提供的图形冲突检测包括以下步骤：在版图图形周围设置规则检测区域；获取规则检测区域与相邻图形的位置信息；判断规则检测区域与相邻图形是否相交；若规则检测区域与相邻图形相交，则规则检测区域对应的图形与其相邻图形存在冲突关系。

可以理解地，本发明所提供的冲突检测方法的核心为：通过图形与相邻图形规则检测区域的相交与否来判定图形是否冲突。具体的，以版图图形为中心，在图形的四周设置规则检测区域，应理解，规则检测区域的大小根据版图能正常曝光的间距来确定。若一图形与其相邻图形的规则检测区域相交，即说明该图形与该规则检测区域对应的图形两者的间距过小，存在冲突。通过此设计，可以快速且准确地找出相互之间间隔间隙较小的图形。

3.本发明实施例提供的构建冲突关系图包括以下步骤：将版图中的图形简化为点，并保留点的位置信息；将存在冲突关系的图形简化的点用边连接，得到冲突关系图。

可以理解地，将版图中的图形保留位置信息后简化成图论中的点，具体的可以以图形的质心或几何中心等充当图论中的点，用边表示图形的冲突关系，即两具有冲突关系的图形简化的点用边连接。

通过上述设计，可以将版图中复杂的图形关系简化成点线图，进而减轻计算规模；冲突关系图的构建中保留了点的位置关系，使得图中基础环的形状为固定状态，避免了后期使用算法搜寻时得到不符合期望的基础环组合。

4.本发明实施例中构建冲突关系图后对所述冲突关系图进行点简化和点双连通简化。

可以理解地，通过前述方法构建的冲突关系图，图中通常会存在不与其他点有冲突关系或只与一个点有冲突关系的点，这样的点所代表的图形在版图拆分的过程中并不会出现无法将掩膜图形无冲突的分配到两张版图中的情况，也即，这样的点与我们要找的“奇数环”无关。因此，在构建冲突关系图后将此类不影响后续计算的点清除，可以进一步减轻了后续的计算负担，提高运算速率。

5.本发明实施例点简化包括以下步骤：获取冲突关系图上各点上连接的边的数量；将连接的边的数量小于2的点及其边删除，获得冲突关系简化图。

可以理解地，通过将边的数量少于2的点及与其连接的边删除掉，对冲突关系图做了进一步简化，避免了无关图形信息对后期运算的干扰，使得后续的运算更加简便。

6.本发明实施例点双连通简化包括以下步骤：基于冲突关系简化图判断图中是否存在割点；若存在割点，则通过割点将冲突关系简化图分割，获得多个双连通分量。

具体的，本实施例通过版图上图形之间的冲突关系构建的关系冲突图，其具体为双连通图，应理解，部分双连通图存在割点，割点同时属于多个双连通图分量，通过割点可以将双连通图拆分成多个连通的双连通图分量。以结构更为简单的双连通图分量为单位进行基础环搜索，使得搜索目标更加清晰，减轻了搜索量，提高了搜索速度。

7.本发明实施例中的寻找最小基础环组合包括以下步骤：获取双连通分量上任一外轮廓点；以所述外轮廓点为起点沿边的方向向外遍历至回到起点，获得外轮廓环；基于所述外轮廓环获取任一外轮廓边；以所述外轮廓边为起点沿边的方向向内遍历至回到起点，获得基础环；若存在未遍历过的外轮廓边，以未遍历过的外轮廓边为起点，沿边的方向向内遍历至回到起点，获得其余基础环，直到所有外轮廓边均被遍历过。

可以理解地，本实施例以双连通分量为单位，通过遍历搜索的方式获取双连通分量的外轮廓环，再基于外轮廓环的边遍历搜索获得基础环。

通过基础环和外轮廓环的获取，可以将寻找所有奇数环的问题转换为寻找最小基础环组合的问题，简化了计算规模，提高了总体的运算效率。

8.本发明实施例外轮廓环遍历过程中，若遇到多边节点，选择靠近环外部的边前进；基础环遍历过程中，若遇到多边节点，选择靠近环内部的边前进。

可以理解地，外轮廓环指双连通分量最外围的点线连接形成的环，一个双连通分量只有一个外轮廓环；基础环由双连通分量外围和/或内部的点线连接形成的环，可以有多个。

通过规定外轮廓环和基础环遍历过程中边的选择的规则，使得其在遍历搜索的过程中可以始终选择正确的边前进，避免遍历得到的外轮廓环或基础环不符合预期目标，进而使得后续运算出现错误。

9.本发明实施例找到奇数环并输出其图形信息包括以下步骤：获取所有基础环上点的数量；筛选出点数为奇数的基础环，定义为奇数环；还原筛选出的奇数环的图形信息，并输出所述图形信息。

可以理解地，通过遍历搜索获得的基础环中既有奇数环，也有偶数环，而在双重曝光技术的拆解中，只有奇数环会引起冲突，而偶数环不会。因此，本实施例提供的版图检测方法最终仅输出奇数环即可。

为了便于版图设计人员对冲突图形有更清晰的认识，本实施例在输出奇数环时将获取的奇数环还原为初始图形，最终以图形信息输出，而非简化后的点线环的方式输出。通过此设计，使得版图设计人员可以清晰地知道初始版图中的冲突图形，便于后期的修改调试。

10.本发明实施例提供一种电子设备，包括存储器、处理器及存储在存储器上的计算机程序，所述处理器执行上述计算机程序以实现如上任一项所述的版图检测方法的步骤。

可以理解地，所述电子设备具有实现版图检测方法任一步骤的功能，其具备本发明提供的一种版图检测方法的所有有益效果，在此不再赘述。

11.本发明实施例提供一种存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如上任一项所述的版图检测方法的步骤。

可以理解地，所述存储介质具有实现版图检测方法任一步骤的功能，其具备本发明提供的一种版图检测方法的所有有益效果，在此不再赘述。

【附图说明】

图1是本发明第一实施例提供的一种版图检测方法的步骤流程图。

图2是本发明第一实施例提供的一种版图检测方法的奇数环的结构示意图。

图3是本发明第一实施例提供的一种版图检测方法的图形冲突检测的步骤流程图。

图4是本发明第一实施例提供的一种版图检测方法的规则检测区域的结构示意图。

图5是本发明第一实施例提供的一种版图检测方法的构建冲突关系图的步骤流程图。

图6是本发明第一实施例提供的一种版图检测方法的冲突关系图的结构示意图。

图7是本发明第一实施例提供的一种版图检测方法的未保留位置信息的冲突关系对比图。

图8是本发明第一实施例提供的一种版图检测方法的点简化的步骤流程图。

图9是本发明第一实施例提供的一种版图检测方法的未进行点简化的冲突关系图。

图10是本发明第一实施例提供的一种版图检测方法的经过点简化后的冲突关系图。

图11是本发明第一实施例提供的一种版图检测方法的点双连通简化的步骤流程图。

图12是本发明第一实施例提供的一种版图检测方法的经过点双连通简化后的冲突关系图。

图13是本发明第一实施例提供的一种版图检测方法的寻找最小基础环组合的步骤流程图。

图14是本发明第一实施例提供的一种版图检测方法的寻找最小基础环组合的结构示意图。

图15是本发明第一实施例提供的一种版图检测方法的找到奇数环并输出其图形信息的步骤流程图。

图16是本发明第一实施例提供的一种版图检测方法的奇数环图形信息的结构示意图。

图17是本发明第二实施例提供的一种电子设备的结构示意图。

附图标识说明：

100、电子设备；101、处理器；102、存储器。

【具体实施方式】

为了使本发明的目的，技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施实例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

在本发明所提供的实施例中，应理解，“与A对应的B”表示B与A相关联，根据A可以确定B。但还应理解，根据A确定B并不意味着仅仅根据A确定B，还可以根据A和/或其他信息确定B。

应理解，说明书通篇中提到的“一个实施例”或“一实施例”意味着与实施例有关的特定特征、结构或特性包括在本发明的至少一个实施例中。因此，在整个说明书各处出现的“在一个实施例中”或“在一实施例中”未必一定指相同的实施例。此外，这些特定特征、结构或特性可以任意适合的方式结合在一个或多个实施例中。本领域技术人员也应该知悉，说明书中所描述的实施例均属于可选实施例，所涉及的动作和模块并不一定是本发明所必需的。

在本发明的各种实施例中，应理解，上述各过程的序号的大小并不意味着执行顺序的必然先后，各过程的执行顺序应以其功能和内在逻辑确定，而不应对本发明实施例的实施过程构成任何限定。

在本发明的附图中的流程图和框图，图示了按照本申请各种实施例的系统、方法和计算机程序产品的可能实现的体系架构、功能和操作。在这点上，流程图或框图中的每个方框可以代表一个模块、程序段、或代码的一部分，该模块、程序段、或代码的一部分包含一个或多个用于实现规定的逻辑功能的可执行指令。也应当注意，在有些作为替换的实现方案中，方框中所标注的功能也可以不同于附图中所标注的顺序发生。例如，两个接连地表示的方框实际上可以基本并行的执行，它们有时也可以按相反的顺序执行，在此基于涉及的功能而确定。需要特别注意的是，框图和/或流程图中的每个方框、以及框图和/或流程图中的方框的组合，可以用执行规定的功能或操作的专用的基于硬件的系统来实现，或者可以用专用硬件与计算机指令的组合来实现。

请参阅图1，本发明第一实施例提供一种版图检测方法，用于几何图形关系中的最小基础环组合，该版图检测方法具体包括以下步骤：

步骤S1：获取版图图形信息；

步骤S2：基于图形信息进行图形冲突检测；

步骤S3：基于图形冲突检测结果构建冲突关系图；

步骤S4：基于冲突关系图寻找最小基础环组合；

步骤S5：找到最小基础环组合中的奇数环并输出其图形信息。

需要说明的是，步骤S1中的版图具体指芯片的设计版图，其中版图图形信息的获取可以通过oas、gds、def、dxf等格式图形文件，或其他可以提供版图图形信息的文件数据。

具体的，图形信息包括但不限于图形的大小、形状、位置、密度等信息。

本实施例根据版图上获取到的图形信息及冲突关系，构建冲突关系图，基于冲突关系图进行遍历搜索获取最小基础环组合，并从最小基础环组合中找到奇数环。应理解，本实施例提供的版图检测方法步骤S5中的奇数环，其对应到版图上即为相互冲突，在双重曝光技术的拆解中无法无冲突地分配到两张版图上的奇数个图形的组合。

请一并结合图2，图2中的A-B-D，B-C-D即为奇数环。以奇数环A-B-D为例，在采用双重曝光技术将图2的图形分配到两张版图上的时候，若A分配到版图1，B分配到版图2，那么无论D分配到版图1还是版图2中，都会产生图形的冲突。

本发明通过构建关系冲突图寻找最小基础环组合，巧妙地将寻找奇数环的NP-complete问题转化为寻找最小基础环组合的问题，简化了计算模型，进而缩减了计算规模，降低了计算占用的内存，提高了计算运行的效率。

进一步地，请一并参阅图3和图4，在上述步骤S2中，图形冲突检测包括以下步骤：

步骤S21：在版图图形周围设置规则检测区域；

步骤S22：获取规则检测区域与相邻图形的位置信息；

步骤S23：判断规则检测区域与相邻图形是否相交；

步骤S24：若规则检测区域与相邻图形相交，则规则检测区域对应的图形与其相邻图形存在冲突关系。

需要说明的是，规则检测区域设置在版图图形的外围，其具体包括有空间规则检查区域和角对角规则检查区域。所述空间规则检查区域以版图图形边为界限向图形外扩充，所述角对角规则检查区域以版图图形的角为界限向图形外扩充。

可选地，空间规则检查区域为矩形，角对角规则检查区域为扇形。空间规则检查区域和角对角规则检查区域的组合在对应的图形外围圈出一片完全密闭的规则检测区域，所述规则检测区域的外轮廓点到图对应图形的最短距离均相等。使得在任意方向判定图形是否冲突的条件相等，由于图形之间位置关系的不同导致将不冲突的图形判定为冲突图形，进而影响后续运算的准确性。

进一步地，请参阅图5、图6及图7，在上述步骤S3中，构建冲突关系图包括以下步骤：

步骤S31：将版图中的图形简化为点，并保留点的位置信息；

步骤S32：将存在冲突关系的图形简化的点用边连接，得到冲突关系图。

可以理解地，版图上一般存在多个大小、形状不同的多边形，且各图形之间的间距不同。为了便于后期运算，将版图上的图形简化为点，将图形间的冲突关系标识为边，以得到由点、线构成的冲突关系图。

本实施例中，将版图中的图形保留位置信息简化成图论中的点，具体的可以以图形的质心或几何中心等充当图论中的点，用边表示图形的冲突关系，即两具有冲突关系的图形简化的点用边连接，具体可参阅图6，将版图上复杂的图形关系转换为图论，简化了运算模型，减少了计算量，提高了运算速度。

具体的，本实施例在构建的冲突关系图时保留了点的位置信息，即本实施例所构造的冲突关系图上点的位置是固定不变的，对应的，由点跟边所构成的环的形状也是确定的，如此，可以避免在后期搜索外轮廓环或基础环的过程中，找到不符合预期的外轮廓环或基础环组合，进而影响输出结果的准确度。

可以理解地，保留位置信息的意义在于，避免寻找的最小基础环组合与实际图形存在偏差。请结合图7所示，图7展示的两幅冲突关系图，其冲突关系一致，但由于没有保留点的位置信息，在搜寻过程中会出现部分节点的位置不同的情况，即边H-G-F-E、H-A-B-C-E的包围关系不同；上面的冲突关系图以H-A-B-C-E为外轮廓边，H-G-F-E为内部边，其得到的最小基础环组合为H-A-B-C-E-F-G+H-G-F-E；下面的冲突关系图将H-G-F-E作为外轮廓边，H-A-B-C-E为内部边，其得到的最小基础环组合为H-A-B-C-E+H-A-B-C-E-F-G。显然，图7展示的两幅冲突关系一致的冲突关系图寻找到的最小基础环组合并不一致，会出现不符合预期的搜寻结果。

可选地，版图图形简化的点可以选择图形的质心、重心或其他几何中心，只要能够代表原图形的位置信息，且最终构造的冲突关系图中的环不与版图图形发生冲突即可。

进一步地，构建冲突关系图后对所述冲突关系图进行点简化和点双连通简化。

需要说明的是，点双连通分量定义：在一张连通的无向图中，对于任意两个点u和v，删去除u、v外任一点，都不能使u、v不连通，则此图点双连通。一个无向图中的每一个极大点双连通子图称作此无向图的点双连通分量。若删除一个点能使图的连通分量数量增加，则称该点为割点。

可以理解地，基于上述方法构建的冲突关系图上会存在某些独立或不构成环的点，这些点对后续的计算不产生正向影响；除此之外，由于版图中图形关系的复杂性较高，基于图形位置信息及图形间冲突关系构建的冲突关系图上，点线的关系复杂，通常会出现存在多个割点的双连通图。

因此，在一种可能的实施方式中，在基于图形位置信息及图形间冲突关系构建出冲突关系图，需要对该冲突关系图进行点简化和点双连通简化，进一步削弱冲突关系图的复杂程度，进而减少后续的运算量，提高整体运行效率。

可以理解地，通过前述方法构建的冲突关系图，图中存在不与其他点有冲突关系或只与一个点有冲突关系的点，这样的点所代表的图形在版图拆分的过程中并不会存在无法将掩膜图形无冲突的分配到两张版图中的情况，也即，这样的点与我们要找的“奇数环”无关。在构建冲突关系图后将不影响后续计算的点清除，进一步减轻了后续的计算负担，提高运算速率。

进一步地，请一并参阅图8，点简化包括以下步骤：

步骤S33：获取冲突关系图上各点上连接的边的数量；

步骤S34：将连接的边的数量小于2的点及其边删除，获得冲突关系简化图。

需要说明的是，请一并结合图9和图10，在一种可能的实施方式中，版图上的某些图形不与其他图形存在冲突关系，或仅与一个相邻图形存在冲突关系，因此，该种图形在版图拆解中可以无冲突地分配到两张版图上。应理解，定义点的度为点上连接的边的个数，上述提及的图形在本实施例构建的冲突关系图中的存在形式为：该点的度小于2，也即该点的度为0或1。

可以理解地，当点的度为0时，该点在冲突关系图上是单独存在的，即该点没有与之相连的边；当点的度为1时，表示该点有一条连接的边，即其与一个图形存在冲突关系。应理解，当点的度小于2时，该点不能与其他点构成环，其所对应的版图图形在双重曝光技术拆解过程中也可以无冲突地被分配到两个图形中。

具体的，冲突关系图的点简化的核心为：删除点的度小于2的点及该点的边。通过此设计，进一步简化了冲突关系图，避免了无关的点对后续图论运算产生影响，减少了内存的占用，使得计算更加流畅，运行速度更快。

进一步地，请一并结合图11及图12，点双连通简化包括以下步骤：

步骤S35：基于冲突关系简化图判断图中是否存在割点；

步骤S36：若存在割点，则通过割点将冲突关系简化图分割，获得多个双连通分量。

具体的，本实施例通过版图上的图形之间冲突关系图构建的关系冲突图，其具体为双连通图，应理解，部分双连通图存在割点，割点同时属于多个双连通图分量，通过割点可以将双连通图拆分成多个连通的双连通图分量。以双连通图分量为单位进行基础环搜索，使得搜索目标更加清晰，减轻了搜索量，提高了搜索速度。

特别地，对冲突关系图进行点简化和点双连通简化的先后顺序可以转换。也即可以对冲突关系图进行点简化后，再对完成点简化的冲突关系图进行点双连通简化以拆分出点双连通分量；也可以是先对冲突关系图进行点双连通简化拆分出多个点双连通分量后，再对冲突关系图进行点简化。总之，只要简化后的冲突关系图上不存在点的度小于2的点，和不存在拥有割点的双连通图即可，具体的操作顺序在此不做过多限制。

进一步地，请一并参阅图13和图14，在步骤S4中，寻找最小基础环组合包括以下步骤：

步骤S41：获取双连通分量上任一外轮廓点；

步骤S42：以所述外轮廓点为起点沿边的方向向外遍历至回到起点，获得外轮廓环；

步骤S43：基于所述外轮廓环获取任一外轮廓边；

步骤S44：以所述外轮廓边为起点沿边的方向向内遍历至回到起点，获得基础环；

步骤S45：若存在未遍历过的外轮廓边，以未遍历过的外轮廓边为起点，沿边的方向向内遍历至回到起点，获得其余基础环，直到所有外轮廓边均被遍历过。

进一步地，外轮廓环遍历过程中，若遇到多边节点，选择靠近环外部的边前进；基础环遍历过程中，若遇到多边节点，选择靠近环内部的边前进。

需要说明的是，外轮廓环指双连通分量最外围的点线连接形成的环，一个双连通分量只有一个外轮廓环；基础环由双连通分量外围和/或内部的点线连接形成的环，基础环上有且只有一个由点和边首尾相连构成的环，应理解，一个双连通分量通常包括有多个基础环。

特别地，在步骤S1中，所选取的外轮廓起点通常为坐标极值点，具体选择哪一个坐标的极值可以根据实际情况进行预设，应理解，通过提前预设坐标方向，限缩了外轮廓点的选择范围，可以更快速地获取点位。

在一种可能的实施方式中，选取双连通分量外轮廓点中的坐标极值点作为外轮廓点为起点，从该起点逆时针沿边方向遍历，应理解，以逆时针方向遍历时，右手方向处于环外部，因此外轮廓环的遍历过程中遵循右手定则，即从节点出发时选择最右边的边前进，直到最终遍历回到起点，形成外轮廓环。

进一步的，基于上述形成的外轮廓环，确定一外轮廓边为起点，以顺时针方向遍历，应理解，此时的右手方向处于环内部，从起点出发遵循右手定则，即选择最右端的边进行遍历，直到最终遍历回到起点，形成基础环。

具体的，基础环遍历经过的外轮廓边通常少用外轮廓环拥有的边，也即经过一次基础环遍历后，仍有外轮廓边，或是说仍有其他基础环未被遍历。从未遍历的外轮廓边中选择一条边，按照上述基础环的遍历步骤遍历，获得其余基础环，直到所有外轮廓边都经过遍历。

应理解，通过上述步骤得到的基础环组合即为最小基础环组合。

特别地，在寻找外轮廓环和基础环时，也可以遵循左手定则，当外轮廓环以顺时针方向遍历、基础环以逆时针方向遍历时，其应遵循左手定则。也即，在遍历过程中遵循左手定则或右手定则，取决于遍历的外轮廓环或基础环遍历的方向，具体可以根据实际情况进行设定。

可以理解地，通过基础环和外轮廓环的获取，可以将寻找所有奇数环的问题转换为寻找最小基础环组合的问题，简化了计算规模，提高了计算的总体效率；通过规定外轮廓环和基础环遍历过程中边的选择的规则，也即右手定则或左手定则，使得其在遍历搜索的过程中可以选择正确的边前进，避免得到的外轮廓环或基础环不符合预期目标，使得后续运算出现错误。

进一步地，请一并结合图15及图16，在步骤S5中，找到奇数环并输出其图形信息包括以下步骤：

步骤S51：获取所有基础环上点的数量；

步骤S52：筛选出点数为奇数的基础环，定义为奇数环；

步骤S53：还原筛选出的奇数环的图形信息，并输出所述图形信息。

可以理解地，本实施例获得的最小基础环组合中既存在有奇数环，也存在有偶数环。但在双重曝光技术的拆解中，只有奇数环的图形组合会引起冲突，而偶数环不会。因此，本实施例提供的版图检测方法最终需要输出的是基础环中的奇数环。

需要说明的是，奇数环为点的个数为奇数的基础环，也即由奇数个存在双边冲突的点构成的环。奇数环对应的版图图形组合在双重曝光技术拆解中无法将图形无冲突的分配到两张版图上。

应理解，奇数环上的点是由版图图形简化形成的，本实施例在输出奇数环时将获取的奇数环还原为版图图形，最终以图形信息输出，而非简化后的点线环的方式输出，如图16黑边加粗的为奇数环图形。通过输出奇数环对应的图形信息，使得版图设计人员可以直观明了地观察到版图中存在冲突的图形，进而对版图进行修改调试，使得后续双层曝光技术拆解得以顺利进行。

进一步地，请参阅图17，本发明的第二实施例还提供了一种电子设备，包括存储器、处理器及存储在存储器上的计算机程序，所述处理器执行上述计算机程序以实现如上任一项所述的版图检测方法的步骤。

具体的，该电子设备100可以是智能手机、平板电脑、计算机或者便携式计算机等设备。

可以理解地，处理器101可以包括一个或者多个用于处理数据的核以及消息矩阵单元。处理器101利用各种接口和线路连接整个电子设备内的各个部分，通过运行或执行储存在存储器102内的指令、程序、代码集或指令集，以及调用存储在存储器102内的数据，执行电子设备100的各种功能和处理数据。

可选地，处理器101可以采用数字信号处理、现场可编程门阵列、可编辑逻辑阵列中的至少一种硬件形式来实现。处理器101可集成中央处理器、图像处理器和调制解码器等中的一种或几种的组合。其中，调制解码器也可以不集成到处理器中，单独通过一块通信芯片进行实现。

存储器102可以包括随机存储器，也可以包括只读存储器，存储器102可用于储存指令、程序、代码、代码集或指令集。存储器102可包括存储程序区和存储数据区，其中存储程序区可存储用于实现操作系统的指令、用于实现至少一个功能的指令、用于实现上述各个方法实施例的指令等；存储数据区还可以存储终端在使用中所创建的数据等。

进一步地，本发明的第三实施例还提供了一种存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如上任一项所述的版图检测方法的步骤。

在具体实施中，所述存储介质可以是诸如闪存、随机存取存储器、只读存储器、硬盘、光盘、磁盘等。可选地，计算机可读储存介质包括非易失性计算机可读介质。存储介质具有执行上述基于DAG的任务调度方法中的任意方法步骤的程序代码的存储空间。这些程序代码可以从一个或者多个计算机程序产品中读出或者写入到这一个或者多个计算机程序产品中。程序代码可以例如以适当形式进行压缩。

在一种可能的实施方式中，还提供了一种计算机程序产品或计算机程序，该计算机程序产品或计算机程序包括计算机指令，该计算机指令存储在所述存储介质中。计算机设备的处理器从存储介质读取该计算机指令，处理器执行该计算机指令，使得该计算机设备执行上述各种可选实现方式中描述的基于DAG的任务调度方法。

与现有技术相比，本发明所提供的一种版图检测方法及电子设备，具有如下的有益效果：

1.本发明实施例提供的一种版图检测方法，包括以下步骤：获取版图图形信息；基于图形信息进行图形冲突检测；基于图形冲突检测结果构建冲突关系图；基于冲突关系图寻找最小基础环组合；找到最小基础环组合中的奇数环并输出其图形信息。

可以理解地，本发明通过获取版图上的图形信息，基于图形的位置信息和图形之间的冲突关系构建出冲突关系图，再从冲突关系图的最小基础环组合中找出奇数环。通过冲突关系图的构建，将奇数环问题，也即NP-complete问题归结为图论问题中寻找最小基础环组合的问题，通过转换计算模型，进而缩减了计算规模，降低了计算占用的内存，提高了计算运行的效率。

2.本发明实施例提供的图形冲突检测包括以下步骤：在版图图形周围设置规则检测区域；获取规则检测区域与相邻图形的位置信息；判断规则检测区域与相邻图形是否相交；若规则检测区域与相邻图形相交，则规则检测区域对应的图形与其相邻图形存在冲突关系。

可以理解地，本发明所提供的冲突检测方法的核心为：通过图形与相邻图形规则检测区域的相交与否来判定图形是否冲突。具体的，以版图图形为中心，在图形的四周设置规则检测区域，

应理解，规则检测区域的大小根据版图能正常曝光的间距来确定。若一图形与其相邻图形的规则检测区域相交，即说明该图形与该规则检测区域对应的图形两者的间距过小，存在冲突。通过此设计，可以快速且准确地找出相互之间间隔间隙较小的图形。

3.本发明实施例提供的构建冲突关系图包括以下步骤：将版图中的图形简化为点，并保留点的位置信息；将存在冲突关系的图形简化的点用边连接，得到冲突关系图。

可以理解地，将版图中的图形保留位置信息后简化成图论中的点，具体的可以以图形的质心或几何中心等充当图论中的点，用边表示图形的冲突关系，即两具有冲突关系的图形简化的点用边连接。

通过上述设计，可以将版图中复杂的图形关系简化成点线图，进而减轻计算规模；冲突关系图的构建中保留了点的位置关系，使得图中基础环的形状为固定状态，避免了后期使用算法搜寻时得到不符合期望的基础环组合。

4.本发明实施例中构建冲突关系图后对所述冲突关系图进行点简化和点双连通简化。

可以理解地，通过前述方法构建的冲突关系图，图中通常会存在不与其他点有冲突关系或只与一个点有冲突关系的点，这样的点所代表的图形在版图拆分的过程中并不会出现无法将掩膜图形无冲突的分配到两张版图中的情况，也即，这样的点与我们要找的“奇数环”无关。因此，在构建冲突关系图后将此类不影响后续计算的点清除，可以进一步减轻了后续的计算负担，提高运算速率。

5.本发明实施例点简化包括以下步骤：获取冲突关系图上各点上连接的边的数量；将连接的边的数量小于2的点及其边删除，获得冲突关系简化图。

可以理解地，通过将边的数量少于2的点及与其连接的边删除掉，对冲突关系图做了进一步简化，避免了无关图形信息对后期运算的干扰，使得后续的运算更加简便。

6.本发明实施例点双连通简化包括以下步骤：基于冲突关系简化图判断图中是否存在割点；若存在割点，则通过割点将冲突关系简化图分割，获得多个双连通分量。

具体的，本实施例通过版图上图形之间的冲突关系构建的关系冲突图，其具体为双连通图，应理解，部分双连通图存在割点，割点同时属于多个双连通图分量，通过割点可以将双连通图拆分成多个连通的双连通图分量。以结构更为简单的双连通图分量为单位进行基础环搜索，使得搜索目标更加清晰，减轻了搜索量，提高了搜索速度。

7.本发明实施例中的寻找最小基础环组合包括以下步骤：获取双连通分量上任一外轮廓点；以所述外轮廓点为起点沿边的方向向外遍历至回到起点，获得外轮廓环；基于所述外轮廓环获取任一外轮廓边；以所述外轮廓边为起点沿边的方向向内遍历至回到起点，获得基础环；若存在未遍历过的外轮廓边，以未遍历过的外轮廓边为起点，沿边的方向向内遍历至回到起点，获得其余基础环，直到所有外轮廓边均被遍历过。

可以理解地，本实施例以双连通分量为单位，通过遍历搜索的方式获取双连通分量的外轮廓环，再基于外轮廓环的边遍历搜索获得基础环。

通过基础环和外轮廓环的获取，可以将寻找所有奇数环的问题转换为寻找最小基础环组合的问题，简化了计算规模，提高了总体的运算效率。

8.本发明实施例外轮廓环遍历过程中，若遇到多边节点，选择靠近环外部的边前进；基础环遍历过程中，若遇到多边节点，选择靠近环内部的边前进。

可以理解地，外轮廓环指双连通分量最外围的点线连接形成的环，一个双连通分量只有一个外轮廓环；基础环由双连通分量外围和/或内部的点线连接形成的环，可以有多个。

通过规定外轮廓环和基础环遍历过程中边的选择的规则，使得其在遍历搜索的过程中可以始终选择正确的边前进，避免遍历得到的外轮廓环或基础环不符合预期目标，进而使得后续运算出现错误。

9.本发明实施例找到奇数环并输出其图形信息包括以下步骤：获取所有基础环上点的数量；筛选出点数为奇数的基础环，定义为奇数环；还原筛选出的奇数环的图形信息，并输出所述图形信息。

可以理解地，通过遍历搜索获得的基础环中既有奇数环，也有偶数环，而在双重曝光技术的拆解中，只有奇数环会引起冲突，而偶数环不会。因此，本实施例提供的版图检测方法最终仅输出奇数环即可。

为了便于版图设计人员对冲突图形有更清晰的认识，本实施例在输出奇数环时将获取的奇数环还原为初始图形，最终以图形信息输出，而非简化后的点线环的方式输出。通过此设计，使得版图设计人员可以清晰地知道初始版图中的冲突图形，便于后期的修改调试。

10.本发明实施例提供一种电子设备，包括存储器、处理器及存储在存储器上的计算机程序，所述处理器执行上述计算机程序以实现如上任一项所述的版图检测方法的步骤。

可以理解地，所述电子设备具有实现版图检测方法任一步骤的功能，其具备本发明提供的一种版图检测方法的所有有益效果，在此不再赘述。

11.本发明实施例提供一种存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如上任一项所述的版图检测方法的步骤。

可以理解地，所述存储介质具有实现版图检测方法任一步骤的功能，其具备本发明提供的一种版图检测方法的所有有益效果，在此不再赘述。

以上对本发明实施例公开的一种版图检测方法、电子设备及存储介质进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制，凡在本发明的原则之内所做的任何修改，等同替换和改进等均应包含本发明的保护范围之内。

Claims (11)

1.一种版图检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

获取版图图形信息；

基于图形信息进行图形冲突检测；

基于图形冲突检测结果构建冲突关系图；

基于冲突关系图寻找最小基础环组合；

找到最小基础环组合中的奇数环并输出其图形信息。

2.如权利要求1所述的版图检测方法，其特征在于，图形冲突检测包括以下步骤：

在版图图形周围设置规则检测区域；

获取规则检测区域与相邻图形的位置信息；

判断规则检测区域与相邻图形是否相交；

若规则检测区域与相邻图形相交，则规则检测区域对应的图形与其相邻图形存在冲突关系。

3.如权利要求2所述的版图检测方法，其特征在于，构建冲突关系图包括以下步骤：

将版图中的图形简化为点，并保留点的位置信息；

将存在冲突关系的图形简化的点用边连接，得到冲突关系图。

4.如权利要求3所述的版图检测方法，其特征在于：构建冲突关系图后对所述冲突关系图进行点简化和点双连通简化。

5.如权利要求4所述的版图检测方法，其特征在于，点简化包括以下步骤：

获取冲突关系图上各点上连接的边的数量；

将连接的边的数量小于2的点及其边删除，获得冲突关系简化图。

6.如权利要求4所述的版图检测方法，其特征在于，点双连通简化包括以下步骤：

基于冲突关系简化图判断图中是否存在割点；

若存在割点，则通过割点将冲突关系简化图分割，获得多个双连通分量。

7.如权利要求1所述的版图检测方法，其特征在于：寻找最小基础环组合包括以下步骤：

获取双连通分量上任一外轮廓点；

以所述外轮廓点为起点沿边的方向向外遍历至回到起点，获得外轮廓环；

基于所述外轮廓环获取任一外轮廓边；

以所述外轮廓边为起点沿边的方向向内遍历至回到起点，获得基础环；

若存在未遍历过的外轮廓边，以未遍历过的外轮廓边为起点，沿边的方向向内遍历至回到起点，获得其余基础环，直到所有外轮廓边均被遍历过。

8.如权利要求7所述的版图检测方法，其特征在于：外轮廓环遍历过程中，若遇到多边节点，选择靠近环外部的边前进；基础环遍历过程中，若遇到多边节点，选择靠近环内部的边前进。

9.如权利要求1所述的版图检测方法，其特征在于，找到奇数环并输出其图形信息包括以下步骤：

获取所有基础环上点的数量；

筛选出点数为奇数的基础环，定义为奇数环；

还原筛选出的奇数环的图形信息，并输出所述图形信息。

10.一种电子设备，其特征在于：包括存储器、处理器及存储在存储器上的计算机程序，所述处理器执行上述计算机程序以实现如权利要求1-9任一项所述的版图检测方法的步骤。

11.一种存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于：所述计算机程序被处理器执行时实现如权利要求1-9任一项所述的版图检测方法的步骤。