CN117289449A - 光模块 - Google Patents

Abstract

光模块具备反射镜单元、磁铁部、以及具有容纳磁铁部的凹部的封装。磁铁部包含沿着第一方向排列的多个磁铁。凹部具有沿着第一方向延伸且固定有磁铁部的上表面的底壁部、和沿着与第一方向交叉的第二方向延伸且与磁铁部的侧面相向的侧壁部。凹部具有由侧壁部划定且向下侧开口的开口部。反射镜单元配置在底壁部的与固定有磁铁部的第一表面相反侧的第二表面(41)上。侧壁部相对于磁铁部的底面向下侧突出。

Description

光模块

技术领域

本公开的一方面涉及光模块。

背景技术

在日本特表2013－508785号公报中记载有一种将具有可动反射镜部的反射镜器件配置在磁铁部上的光模块。在该光模块中，磁铁部包含沿着横向排列的三个磁铁。三个磁铁分别具有不同的磁方向。反射镜器件横跨配置在这三个磁铁上。

发明内容

发明所要解决的问题

如上所述的磁铁部通过将三个磁铁接合并一体化而形成，但因为磁铁彼此排斥，所以有时磁铁部的位置会沿上下方向偏离，在磁铁部的上表面及底面上会形成台阶部。如果在形成有台阶部的磁铁部的上表面上配置反射镜器件，则反射镜器件的倾斜度可能从目标角度偏离。从可靠性的观点来看，要求对光模块抑制这样的反射镜器件的倾斜度的偏离。

本公开的一方面的目的在于提供一种能够提高可靠性的光模块。

用于解决问题的技术方案

本公开的一方面提供一种光模块：“其具备：反射镜单元，其具有包含设置有线圈的可动反射镜部的反射镜器件；磁铁部，其具有上表面及底面和从所述上表面向所述底面延伸的侧面，产生作用于所述可动反射镜部的磁场；封装，其具有容纳所述磁铁部的凹部，所述磁铁部包含沿着第一方向排列的多个磁铁，所述凹部具有沿着第一方向延伸且固定有所述磁铁部的所述上表面的底壁部、和沿着与所述第一方向交叉的第二方向延伸且与所述磁铁部的所述侧面相向的侧壁部，如果将在所述第二方向上所述磁铁部相对于所述底壁部所在的一侧设为下侧，则所述凹部具有由所述侧壁部划定且向所述下侧开口的开口部，所述反射镜单元配置在所述底壁部的与固定有所述磁铁部的第一表面相反侧的第二表面上，所述侧壁部相对于所述磁铁部的所述底面向所述下侧突出”。

在该光模块中，在封装的凹部内容纳有磁铁部，在划定凹部的底壁部的第一表面上固定有磁铁部，在底壁部的与第一表面相反侧的第二表面上配置有反射镜单元。由此，即使在磁铁部的上表面形成有台阶部的情况下，也能够抑制由于该台阶部的影响而反射镜单元的倾斜度偏离。另外，凹部具有由侧壁部划定且向下侧开口的开口部。由此，能够将磁铁部从开口部配置到凹部内，能够设为磁铁部的底面不与封装接触的结构。由此，也能够抑制由于形成于磁铁部的台阶部的影响而引起的反射镜单元的倾斜度偏离。即，例如在通过嵌件成形将磁铁部嵌入封装内的结构的情况下，由于磁铁部的上表面或底面的台阶部的影响而在封装的表面上产生凹凸，因此，反射镜单元的倾斜度可能偏离，与此相对，在该光模块中，能够抑制这样的事态的发生。而且，划定凹部的侧壁部相对于磁铁部的底面向下侧突出。由此，能够将磁铁部可靠地容纳在封装内，能够抑制磁铁部的破损等。另外，例如在将光模块配置在搭载面上时，使侧壁部与搭载面抵接，而不与可形成台阶部的磁铁部的底面抵接，由此，能够高精度地配置光模块。由此，根据该光模块，能够提高可靠性。

本公开的一方面的光模块也可以是：“根据[1]所述的光模块，所述磁铁部的所述上表面通过粘接材料固定于所述底壁部，在所述磁铁部和所述侧壁部之间形成有间隙”。在该情况下，在将磁铁部通过粘接材料固定于底壁部时，能够使粘接材料进入到间隙中。因此，能够在进行该粘接时使磁铁部靠近底壁部，进而能够使磁铁部靠近反射镜单元。

本公开的一方面的光模块也可以是：“根据[2]所述的光模块，在从所述第二方向观察的情况下，所述间隙具有沿着一方向延伸的第一部分和沿着与所述第一部分的延伸方向交叉的方向延伸的第二部分”。在该情况下，显著地实现能够使上述的粘接材料进入到间隙中的作用效果。

本公开的一方面的光模块也可以是：“根据[2]或[3]所述的光模块，所述侧壁部具有第一侧壁部分和与所述第一侧壁部分相向的第二侧壁部分，所述间隙形成于所述磁铁部和所述第一侧壁部分之间，所述第二侧壁部分的厚度比所述第一侧壁部分的厚度厚”。在该情况下，能够形成用于使粘接材料进入的间隙，并且在从第二方向观察的情况下将磁铁部的中心配置于靠近封装的中心的位置。另外，本公开的一方面的光模块也可以是：“根据[4]所述的光模块，所述侧壁部还具有以与第一侧壁部分交叉的方式延伸的第三侧壁部分和与所述第三侧壁部分相向的第四侧壁部分，所述间隙形成于所述磁铁部和所述第三侧壁部分之间，所述第四侧壁部分的厚度比所述第三侧壁部分的厚度厚”。在该情况下，也能够形成用于使粘接材料进入的间隙，并且在从第二方向观察的情况下将磁铁部的中心配置于靠近封装的中心的位置。

本公开的一方面的光模块也可以是：“根据[1]～[4]中任一项所述的光模块，在从所述第二方向观察的情况下，所述磁铁部具有形成一角部的两个边部，所述两个边部中的至少一方从所述侧壁部分离”。在该情况下，能够抑制该一角部破损。另外，本发明的光模块也可以是，“根据[1]～[5]中任一项所述的光模块，在从所述第二方向观察的情况下，所述磁铁部具有四个角部，关于所述四个角部中的每一个，形成所述角部的两个边部中的至少一方从所述侧壁部分离”。在该情况下，能够抑制磁铁部的角部破损。

本公开的一方面的光模块也可以是：“根据[1]～[5]中任一项所述的光模块，在所述侧壁部，在与所述磁铁部的角部对应的位置形成有沿着所述第二方向延伸的槽部”。在该情况下，能够抑制磁铁部的角部破损，并且能够将磁铁部相对于侧壁部的定位容易化。

本公开的一方面的光模块也可以是：“根据[1]～[6]中任一项所述的光模块，所述反射镜单元通过粘接材料固定于所述底壁部的所述第二表面，在所述反射镜单元的侧面和所述底壁部的所述第二表面之间的边界部，由所述粘接材料形成有圆角”。在该情况下，能够将反射镜单元牢固地固定于底壁部。

本公开的一方面的光模块也可以是：“根据[1]～[7]中任一项所述的光模块，所述反射镜单元通过粘接材料固定于所述底壁部的所述第二表面，所述反射镜单元和所述底壁部的所述第二表面之间的所述粘接材料的厚度为10μm以上30μm以下”。例如通过使用粘度低的粘接材料，可将粘接材料形成为这样的厚度。通过使用粘度低的粘接材料，能够进一步抑制反射镜单元的倾斜度的偏离。

本公开的一方面的光模块也可以是：“根据[1]～[8]中任一项所述的光模块，所述多个磁铁按照海尔贝克阵列排列”。在该情况下，能够提高可动反射镜部附近的磁通密度。

本公开的一方面的光模块也可以是：“根据[1]～[9]中任一项所述的光模块，还具备用于将所述反射镜单元与外部电连接的电线，所述反射镜单元通过粘接材料在规定的粘接区域固定于所述底壁部的所述第二表面，所述电线在从所述第二方向观察的情况下与所述粘接区域重叠的位置与所述反射镜单元连接”。在该情况下，能够在连接电线时抑制反射镜单元破损。另外，能够将电线与反射镜单元良好地连接。

本公开的一方面的光模块也可以是：“根据[1]～[10]中任一项所述的光模块，所述底壁部的所述第二表面上配置有所述反射镜单元的区域被形成为平坦”。在该情况下，能够确保封装的强度，并且能够抑制封装的变形。另外，因为在平坦的区域配置反射镜单元，所以能够进一步抑制反射镜单元的倾斜度的偏离。

本公开的一方面的光模块也可以是：“根据[1]～[11]中任一项所述的光模块，在从所述第二方向观察的情况下，所述反射镜单元的外缘相对于所述磁铁部的外缘位于内侧”。在该情况下，能够使均匀的磁力作用于可动反射镜部。另外，在该情况下，因为磁力变均匀的区域变宽，所以即使反射镜单元的安装位置从目标位置偏离，也难以影响反射镜单元的特性。

本公开的一方面的光模块也可以是：“根据[1]～[12]中任一项所述的光模块，所述多个磁铁包含第一磁铁及第二磁铁，在所述磁铁部的所述上表面及所述底面中的至少一方，通过所述第一磁铁的表面和所述第二磁铁的表面之间的所述第二方向上的位置差异形成有台阶部”。即使在该情况下，通过上述的理由，根据该光模块，也能够提高可靠性。

发明效果

根据本公开的一方面，能够提供可以提高可靠性的光模块。

附图说明

图1是实施方式的光模块的立体图。

图2是反射镜器件的俯视图。

图3是沿着图1的III－III线的剖视图。

图4是沿着图1的IV－IV线的剖视图。

图5是光模块的横剖视图。

图6是第一变形例的光模块的剖视图。

图7是第二变形例的光模块的剖视图。

具体实施方式

以下，参照附图对本公开的实施方式进行详细说明。在以下的说明中，对相同或相当要素标注相同符号，并省略重复的说明。

[光模块]

如图1～图4所示，光模块1具备反射镜单元2、磁铁部3以及封装4。反射镜单元2及磁铁部3固定于封装4。首先，参照图2，对反射镜单元2进行说明。反射镜单元2在该例中仅由反射镜器件10构成，但也可以如后述还具备固定反射镜器件10的基体部件。以下，如各图所示，设定X方向(第一方向)、Y方向(第三方向)、Z方向(第二方向)进行说明。X方向、Y方向、Z方向为相互垂直的方向。在图1中，将反射镜器件10简化表示。

[反射镜器件(反射镜单元)]

反射镜器件10具有支承部11和能够相对于支承部11摆动的可动反射镜部12。可动反射镜部12具有可动部13、一对连结部14以及反射镜15。支承部11、可动部13及一对连结部14例如由SOI(Silicon on Insulator，绝缘体上硅)基板一体形成。即，反射镜器件10是使用半导体材料形成的MEMS(Micro Electro Mechanical Systems，微电子机械系统)器件。

支承部11例如形成为矩形框状。可动部13例如形成为矩形板状，在从光轴方向观察的情况下配置于支承部11的内侧(由支承部11包围)。光轴方向为与配置支承部11及可动反射镜部12的平面垂直的方向，在该例中为与反射镜15垂直的方向。在该例中，光轴方向与Z方向平行。可动部13以能够绕轴线A摆动的方式通过一对连结部14与支承部11连结。轴线A在该例中与Y方向平行。

可动部13包含第一部分131和第二部分132。在从光轴方向观察的情况下，第一部分131例如形成为圆形状。在从光轴方向观察的情况下，第二部分132例如形成为矩形环状。在从光轴方向观察的情况下，第一部分131配置于第二部分132的内侧(由第二部分132包围)，经由多个(在该例中为两个)连接部分133与第二部分132连接。在第一部分131和第二部分132之间，除了多个连接部分133之外形成有间隙。连接部分133例如位于第二部分132的矩形状的内缘中与轴线A平行的两个边的中央部。

一对连结部14在支承部11和可动部13之间的间隙中以夹持可动部13的方式配置在轴线A上。各连结部14在该例中形成为长方形板状且沿着轴线A延伸。各连结部14作为扭杆发挥作用。

反射镜15设置于可动部13的第一部分131。反射镜15形成于光轴方向上的第一部分131的一侧的表面。反射镜15由例如铝、铝系合金、金或银等金属材料形成为圆形、椭圆形或矩形的膜状。反射镜15中的与可动部13相反侧的表面构成与光轴方向垂直地延伸的反射镜面15a。在从光轴方向观察的情况下，反射镜15的中心与第一部分131的中心(反射镜器件10的中心)一致。在反射镜器件10中，因为在经由多个连接部分133与第二部分132连接的第一部分131设置有反射镜15，所以即使在可动部13以谐振频率水平绕轴线A摆动的情况下，也能够抑制在反射镜15上产生挠曲等变形。

而且，反射镜器件10具有线圈16和多个(在该例中为三个)电极焊盘17。线圈16设置于可动部13的第二部分132。在从光轴方向观察的情况下，线圈16在反射镜15的外侧的区域(即，第二部分132)以螺旋状(涡卷状)卷绕多次。由磁铁部3产生的磁场作用于线圈16。

线圈16由例如铜等金属材料构成，配置在形成于可动部13的表面的槽内。即，线圈16嵌入可动部13。线圈16的一端经由配线(图示省略)与一电极焊盘17连接，线圈16的另一端经由配线(图示省略)与其它电极焊盘17连接。在各电极焊盘17上连接有用于将反射镜器件10与外部电连接的电线18。电线18的一端与电极焊盘17连接，电线18的另一端与外部设备(例如电源装置等)连接。剩余的电极焊盘17与反射镜器件10具备的其它电气要素电连接。

对反射镜器件10的驱动方法的例子进行说明。作为一例，对线圈16施加高频的驱动电流。此时，因为由磁铁部3产生的磁场作用于线圈16，所以在线圈16上产生洛伦茨力。由此，可动部13例如以谐振频率水平绕轴线A摆动。通过这样驱动反射镜器件10，能够由反射镜15(反射镜面15a)反射来自规定的光源的光并进行扫描。作为另一例，也可以对线圈16施加恒定的大小的驱动电流。在该情况下，可动部13根据驱动电流的大小绕轴线A转动，在规定的转动角度停止。这样，可动部13也可以被静态驱动(线性驱动)。

[磁铁部]

参照图1、3、4，对磁铁部3进行说明。磁铁部3产生作用于可动反射镜部12(线圈16)的磁场。磁铁部3配置在形成于封装4内的凹部40内。以下，将磁铁部3相对于后述的封装4的底壁部41所在的一侧设为“下侧”，将与下侧相反的一侧(底壁部41相对于磁铁部3所在的一侧)设为“上侧”进行说明。这些“上侧”及“下侧”与图1、3、4中的下侧及上侧一致。这些“上侧”及“下侧”是为了便于说明而设定，不限定光模块1的使用方式。例如，光模块1可以在设定的“上侧”朝向垂直下侧的状态下使用，或者也可以在设定的“上侧”朝向水平方向的状态下使用。

磁铁部3具有上表面3a、与上表面3a相反侧的底面3b、以及从上表面3a向底面3b延伸且与上表面3a及底面3b连接的侧面3s。磁铁部3例如形成为大致长方体状。因此，在该例中，上表面3a及底面3b大致相互平行地延伸，侧面3s包含配置成四边形环状的四个表面。

磁铁部3包含沿着X方向(第一方向)排列的多个磁铁。在该例中，磁铁部3包含第一磁铁31(中央磁铁)和以夹持第一磁铁31的方式配置的第二磁铁32及第三磁铁33。即，第三磁铁33配置于在X方向上相对于第一磁铁31与第二磁铁32相反侧。第一磁铁31与第二磁铁32及第三磁铁33粘接，第一磁铁31、第二磁铁32及第三磁铁33一体化。第一磁铁31、第二磁铁32及第三磁铁33不限于粘接，可以通过等离子体接合或热接合等一体化，也可以通过使用树脂材料的嵌件成形而一体化。磁铁部3如上所述配置在封装4的凹部40内。第一磁铁31、第二磁铁32及第三磁铁33也可以在一体化后配置在凹部40内。或者，也可以是，一体化之前的第一磁铁31、第二磁铁32及第三磁铁33依次配置在凹部40内，在凹部40内将第一磁铁31、第二磁铁32及第三磁铁33一体化。

第一磁铁31、第二磁铁32及第三磁铁33分别为形成为长方体状的永磁铁。X方向上的第一磁铁31的宽度W1比X方向上的第二磁铁32的宽度W2及X方向上的第三磁铁33的宽度W3宽。在该例中，宽度W2与宽度W3相等。在该例中，Z方向(第二方向)上的第一磁铁31的长度比Z方向上的第二磁铁32的长度及第三磁铁33的长度长。Z方向(第二方向)为与X方向(第一方向)垂直的方向。上述的“上侧”及“下侧”是Z方向上的一侧及另一侧。此外，在本说明书中，某方向A上的某要素B的长度(宽度、厚度)是指方向A上的要素B的最大长度(最大宽度、最大厚度)。

第一磁铁31具有第一上表面31a及第一底面31b，第二磁铁32具有第二上表面32a及第二底面32b，第三磁铁33具有第三上表面33a及第三底面33b。第一上表面31a、第二上表面32a及第三上表面33a分别是第一磁铁31、第二磁铁32及第三磁铁33中的上侧的表面，第一底面31b、第二底面32b及第三底面33b分别是第一磁铁31、第二磁铁32及第三磁铁33中的下侧的表面。第一上表面31a、第二上表面32a及第三上表面33a形成磁铁部3中的上侧的表面即上表面3a，第一底面31b、第二底面32b及第三底面33b形成磁铁部3中的下侧的表面即底面3b。在该例中，第一上表面31a、第二上表面32a、第三上表面33a、第一底面31b、第二底面32b及第三底面33b分别是与Z方向垂直的平坦面。

在磁铁部3的上表面3a上形成有台阶部35。具体而言，第一磁铁31的第一上表面31a位于比第二磁铁32的第二上表面32a及第三磁铁33的第三上表面33a靠上侧(相对于第二上表面32a及第三上表面33a向上侧突出)。即，第二上表面32a及第三上表面33a位于比第一上表面31a靠下侧。由此，在第一上表面31a和第二上表面32a之间、及第一上表面31a和第三上表面33a之间形成有台阶部35。即，台阶部35通过第一上表面31a和第二上表面32a、第三上表面33a之间的Z方向上的位置差异而形成。在该例中，第二上表面32a及第三上表面33a位于同一平面上。

在磁铁部3的底面3b上形成有台阶部36。具体而言，第一磁铁31的第一底面31b位于比第二磁铁32的第二底面32b及第三磁铁33的第三底面33b靠下侧(相对于第二底面32b及第三底面33b向下侧突出)。即，第二底面32b及第三底面33b位于比第一底面31b靠上侧。由此，在第一底面31b和第二底面32b之间、及第一底面31b和第三底面33b之间形成有台阶部36。即，台阶部36通过第一底面31b和第二底面32b、第三底面33b之间的Z方向上的位置差异而形成。在该例中，第二底面32b及第三底面33b位于同一平面下。

第一磁铁31、第二磁铁32及第三磁铁33按照海尔贝克阵列排列。即，第一磁铁31，第二磁铁32及第三磁铁33以各自具有的两个磁极以海尔贝克阵列排列的方式排列。更具体而言，例如，第二磁铁32被配置为其第一磁极(例如N极)位于底面3b侧(第二底面32b侧)，且其第二磁极(例如S极)位于上表面3a侧(第二上表面32a侧)。第三磁铁33被配置为磁极向与第二磁铁32相反的方向排列。即，第三磁铁33被配置为其第一磁极位于上表面3a侧(第三上表面33a侧)，且其第二磁极位于底面3b侧(第三底面33b侧)。另一方面，第一磁铁31被配置为第一磁极位于第三磁铁33侧，且第二磁极位于第二磁铁32侧。这样，第一磁铁31具有沿着X方向排列的磁极，第二磁铁32及第三磁铁33具有沿着Z方向排列的磁极。换句话说，第一磁铁31在X方向上被磁化，第二磁铁32及第三磁铁33在Z方向上被磁化。在图3及图4中，在第一磁铁31、第二磁铁32及第三磁铁33中从第一磁极朝向第二磁极的方向由箭头表示。

[封装]

参照图1、3～5，对封装4进行说明。封装4例如由树脂材料形成，具有容纳磁铁部3的凹部40。凹部40由底壁部41及侧壁部42划定，形成为大致长方体状。在底壁部41的第一表面41a上固定有磁铁部3，在底壁部41的第二表面41b上固定有反射镜器件10。在Z方向上，磁铁部3相对于底壁部41位于下侧，在Z方向上，反射镜器件10相对于底壁部41位于上侧。

底壁部41例如形成为长方形板状，沿着X方向(以与Z方向交叉的方式)延伸。底壁部41具有第一表面41a和与第一表面41a相反侧的第二表面41b。第一表面41a是朝向下侧的表面，在封装4的内部划定凹部40。第二表面41b是朝向上侧的表面，露出到封装4的外部。第一表面41a及第二表面41b在该例中是相互平行的长方形状的平坦面。

在底壁部41的第二表面41b上固定有反射镜器件10。在该例中，反射镜器件10在支承部11通过粘接材料51(第二粘接材料)固定于第二表面41b。更具体而言，反射镜器件10在规定的粘接区域R固定于第二表面41b。粘接区域R在该例中被设定为在从Z方向观察的情况下与支承部11(反射镜器件10)的四个角部11a重叠。即，在该例中，反射镜器件10在支承部11的四个角部11a粘贴到第二表面41b上，在四个角部11a以外的部分未与第二表面41b粘接。如上所述，在该例中，第二表面41b的整体被形成为平坦。因此，第二表面41b上的配置有反射镜器件10的区域(在Z方向上与反射镜器件10重叠的区域)被形成为平坦。粘接区域R的位置不限于在从Z方向观察的情况下与支承部11的四个角部11a重叠的位置，可以设定于任意的位置。

如上所述，在反射镜器件10上连接有多根(在该例中为三根)电线18。各电线18在从Z方向观察的情况下与粘接区域R重叠的位置与反射镜器件10(电极焊盘17)连接。换句话说，电极焊盘17在反射镜器件10中设置于在从Z方向观察的情况下与粘接区域R重叠的位置。

如图3所示，在反射镜器件10的侧面10a(支承部11的侧面)和第二表面41b之间的边界部，由粘接材料51形成有圆角52(第二圆角)。圆角52通过在反射镜器件10的粘接时粘接材料51从反射镜器件10和第二表面41b之间向外侧露出而形成。反射镜器件10和第二表面41b之间的粘接材料51的厚度为10μm以上30μm以下。例如通过使用粘度低的粘接材料51，能够将粘接材料51形成为这样的厚度。作为这样的粘接材料51，可举出例如Ag膏、或由硅酮系、环氧系、丙烯酸酯系的材料构成的粘接材料等。圆角52至少形成于反射镜器件10的侧面10a和第二表面41b之间的边界部即可，例如也可以形成为在Z方向上与侧面10a的整体接触。

在底壁部41的第一表面41a上固定有容纳在凹部40内的磁铁部3。在该例中，磁铁部3在上表面3a上通过粘接材料53(第一粘接材料)固定于第一表面41a。粘接材料53在该例中配置于上表面3a的整体和第一表面41a之间。即，粘接材料53配置于第一磁铁31的第一上表面31a、第二磁铁32的第二上表面32a、及第三磁铁33的第三上表面33a中的每一个和第一表面41a之间。如上所述，在该例中，第一上表面31a位于比第二上表面32a及第三上表面33a靠上侧。换句话说，第二上表面32a及第三上表面33a位于比第一上表面31a靠下侧。因此，在第二上表面32a及第三上表面33a和第一表面41a之间，与第一上表面31a和第一表面41a之间相比，形成有Z方向上的厚度大的间隙。在该例中，在该间隙的整体中配置(填充)有粘接材料53。其结果，在第二上表面32a及第三上表面33a和第一表面41a之间，与第一上表面31a和第一表面41a之间相比，配置有更多的粘接材料53。

如图3及图4所示，在第二磁铁32的侧面32c(磁铁部3的侧面)和第一表面41a之间的边界部，由粘接材料53形成有圆角54(第一圆角)。圆角54通过在磁铁部3的粘接时粘接材料53从磁铁部3和第一表面41a之间向外侧露出而形成。作为粘接材料53，例如能够使用与粘接材料51相同的粘接材料。

如图3及图4所示，X方向上的反射镜器件10的宽度W5比X方向上的磁铁部3的宽度W4窄。同样，Y方向上的反射镜器件10的宽度比Y方向上的磁铁部3的宽度窄。Y方向(第三方向)为与X方向(第一方向)及Z方向(第二方向)双方垂直的方向。而且，反射镜器件10及磁铁部3被配置为在从Z方向观察的情况下反射镜器件10的外缘相对于磁铁部3的外缘位于内侧。在该例中，X方向上的第一磁铁31的宽度W1比X方向上的可动反射镜部12的宽度W6宽(图4)。在从Z方向观察的情况下，可动反射镜部12的外缘相对于第一磁铁31的外缘位于内侧。

侧壁部42例如形成为长方形框状，且沿着Z方向与底壁部41垂直地延伸。侧壁部42具有第一侧壁部分421、第二侧壁部分422、第三侧壁部分423及第四侧壁部分424。第一侧壁部分421在X方向上经由磁铁部3与第二侧壁部分422相向，第三侧壁部分423在Y方向上经由磁铁部3与第四侧壁部分424相向。第三侧壁部分423及第四侧壁部分424以与第一侧壁部分421及第二侧壁部分422交叉的方式(在该例中与第一侧壁部分421及第二侧壁部分422垂直地)延伸。各侧壁部分421～424形成为长方形状。侧壁部分421～424与磁铁部3的侧面3s相向，在从Z方向观察的情况下包围磁铁部3。

如图5所示，第二侧壁部分422的厚度T2比第一侧壁部分421的厚度T1厚，第四侧壁部分424的厚度T4比第三侧壁部分423的厚度T3厚。在该例中，厚度T2与厚度T4相等，厚度T1与厚度T3相等。关于侧壁部分421～424，侧壁部分的厚度是指侧壁部分的与延伸方向(Z方向)垂直的方向上的厚度。在该例中，厚度T1、T2是X方向上的厚度，厚度T3、T4是Y方向上的厚度。在该例中，各侧壁部分421～424的厚度在Z方向上恒定，但侧壁部分的厚度也可以在Z方向上不恒定(也可以变化)。在该情况下，侧壁部分的厚度是指厚度最大的位置处的厚度(最大厚度)。

如图3及图4所示，侧壁部42中的下侧的端部42a划定向下侧开口的凹部40的开口部40a。更具体而言，由端部42a的内缘划定开口部40a。在该例中，由侧壁部分421～424划定长方形状的开口部40a。由此，在将磁铁部3固定于底壁部41时，能够将磁铁部3从开口部40a配置到凹部40内。另外，在光模块1中，成为磁铁部3的下侧开放，且磁铁部3的底面3b不与封装4接触的结构。即，在从Z方向观察的情况下，侧壁部42相对于磁铁部3位于外侧，未与磁铁部3重叠。

在光模块1中，侧壁部42相对于磁铁部3的底面3b向下侧突出。即，侧壁部42中的下侧(与底壁部41相反侧)的端面42b位于比磁铁部3的底面3b靠下侧。在该例中，端面42b是与Z方向垂直的平坦面。如图4所示，在光模块1中，Z方向上的侧壁部42的长度L1比Z方向上的磁铁部3的长度L2(最大长度)长，其结果，侧壁部42相对于磁铁部3的底面3b向下侧突出。在该例中，长度L2是第一磁铁31的第一上表面31a和第一底面31b之间的距离。

如图5所示，在该例中，磁铁部3的侧面3s与第二侧壁部分422及第四侧壁部分424接触，未与第一侧壁部分421及第三侧壁部分423接触(从第一侧壁部分421及第三侧壁部分423分离)。由此，在磁铁部3和第一侧壁部分421及第三侧壁部分423之间形成有间隙60。间隙60可用作用于在将磁铁部3通过粘接材料53固定于底壁部41时使从磁铁部3和底壁部41之间露出的粘接材料53进入的空间。即，也可以在间隙60的一部分或全部填充粘接材料53。

间隙60具有形成于磁铁部3和第一侧壁部分421之间的第一部分61、和形成于磁铁部3和第三侧壁部分423之间的第二部分62。第一部分61是在从Z方向观察的情况下沿着Y方向延伸的部分，第二部分62是在从Z方向观察的情况下沿着X方向(与第一部分61的延伸方向交叉的方向)延伸的部分。在该例中，第一部分61的宽度(X方向上的宽度)比第二部分62的宽度(Y方向上的宽度)宽。在从Z方向观察的情况下，间隙60整体上形成为L字状。

在该例中，磁铁部3以在从Z方向观察的情况下磁铁部3的中心C1与封装4的中心C2一致的方式配置在凹部40内。如上所述，第二侧壁部分422的厚度T2比第一侧壁部分421的厚度T1厚，第四侧壁部分424的厚度T4比第三侧壁部分423的厚度T3厚。例如，厚度T2、T1之差与间隙60的第一部分61的宽度相等，厚度T4、T3之差与间隙60的第二部分62的宽度相等。由此，能够在磁铁部3和第一侧壁部分421及第三侧壁部分423之间形成间隙60，并且在从Z方向观察的情况下，使磁铁部3的中心C1与封装4的中心C2一致。

在从Z方向观察的情况下，磁铁部3具有四个角部P1、P2、P3、P4。在侧壁部42，在与角部P3对应的位置形成有沿着Z方向延伸的槽部45。槽部45在该例中形成于第二侧壁部分422和第四侧壁部分424之间的边界部分。槽部45例如在与Z方向垂直的截面上形成为中心角为270°的扇形状，在Z方向上遍及侧壁部42的整体延伸。通过形成槽部45，角部P3未与侧壁部42接触(从侧壁部42分离)。

在该例中，关于四个角部P1～P4中的每一个，形成角部的两个边部中的至少一方从侧壁部42分离。即，关于角部P3，如上所述，通过形成槽部45，构成角部P3的两个边部P3a、P3b双方从侧壁部42分离。关于角部P1，通过形成间隙60，构成角部P1的两个边部P1a、P1b双方从侧壁部42(第一侧壁部分421及第三侧壁部分423)分离。关于角部P2，通过形成间隙60的第二部分62，构成角部P2的两个边部P2a、P2b中的一方即边部P2a从侧壁部42(第三侧壁部分423)分离。关于角部P4，通过形成间隙60的第一部分61，构成角部P4的两个边部P4a、P4b中的一方即边部P4b从侧壁部42(第一侧壁部分421)分离。

[作用及效果]

在光模块1中，在封装4的凹部40内容纳有磁铁部3，在划定凹部40的底壁部41的第一表面41a上固定有磁铁部3，在底壁部41的与第一表面41a相反侧的第二表面41b上配置有反射镜器件10(反射镜单元2)。即，在底壁部41，磁铁部3的安装面和反射镜器件10的安装面具有表里的关系。由此，即使在磁铁部3的上表面3a上形成有台阶部35的情况下，也能够抑制由于该台阶部35的影响而反射镜器件10的倾斜度偏离。另外，凹部40具有由侧壁部42划定且向下侧开口的开口部40a。由此，能够将磁铁部3从开口部40a配置到凹部40内，能够设为磁铁部3的底面3b不与封装4接触的结构。由此，也能够抑制由于形成于磁铁部3的台阶部35、36的影响而反射镜器件10的倾斜度偏离。即，例如在通过嵌件成形将磁铁部3嵌入封装4内的结构的情况下，由于磁铁部3的上表面3a的台阶部35及底面3b的台阶部36的影响而在封装4的表面上产生凹凸，因此，反射镜器件10的倾斜度可能偏离，与此相对，在光模块1中，能够抑制这样的事态的发生。而且，划定凹部40的侧壁部42相对于磁铁部3的底面3b向下侧突出。由此，能够将磁铁部3可靠地容纳在封装4内，能够抑制磁铁部3的破损等。另外，例如在将光模块1配置在载台的搭载面上时，通过使侧壁部42与搭载面抵接，而不与可形成台阶部35的磁铁部3的底面3b抵接，能够将光模块1高精度地配置在载台上。由此，根据光模块1，能够提高可靠性。

磁铁部3的上表面3a通过粘接材料53固定于底壁部41，在磁铁部3和侧壁部42之间形成有间隙60。由此，在将磁铁部3通过粘接材料53固定于底壁部41时，能够使粘接材料53进入到间隙60中。因此，能够在进行该粘接时使磁铁部3靠近底壁部41，进而能够使磁铁部3靠近反射镜器件10。另外，在第一磁铁31上，磁极的排列方向(磁化方向)即X方向(第一方向)上的热膨胀量比与磁极的排列方向垂直的方向上的热膨胀量大，但通过在磁铁部3和在X方向上与磁铁部3相向的侧壁部42(第一侧壁部分421)之间形成间隙60(第一部分61)，能够抑制因磁铁部3的热膨胀而在封装4上产生形变。

在从Z方向(第二方向)观察的情况下，间隙60具有沿着一方向(Y方向)延伸的第一部分61和沿着与第一部分61的延伸方向交叉(正交)的方向(X方向)延伸的第二部分62。由此，显著地实现能够使上述的粘接材料53进入到间隙60中的作用效果。

侧壁部42具有第一侧壁部分421和与第一侧壁部分421相向的第二侧壁部分422，间隙60具有形成于磁铁部3和第一侧壁部分421之间的第一部分61，第二侧壁部分422的厚度T2比第一侧壁部分421的厚度T1厚。由此，能够形成用于使粘接材料53进入的间隙60，并且在从Z方向观察的情况下将磁铁部3的中心C1配置于靠近封装4的中心C2的位置。另外，侧壁部42具有以与第一侧壁部分421交叉的方式延伸的第三侧壁部分423和与第三侧壁部分423相向的第四侧壁部分424，间隙60具有形成于磁铁部3和第三侧壁部分423之间的第二部分62，第四侧壁部分424的厚度T4比第三侧壁部分423的厚度T3厚。由此，也能够形成用于使粘接材料53进入的间隙60，并且在从Z方向观察的情况下将磁铁部3的中心C1配置于靠近封装4的中心C2的位置。

形成磁铁部3的一角部(角部P1、P2、P3或P4)的两个边部(边部P1a、P1b、边部P2a、P2b、边部P3a、P3b、或边部P4a、P4b)中的至少一方从侧壁部42分离。由此，能够抑制该一角部破损。另外，在光模块1中，关于四个角部P1～P4中的每一个，形成角部的两个边部中的至少一方从侧壁部42分离。由此，能够抑制磁铁部3的角部P1～P4破损。

在侧壁部42，在与磁铁部3的角部P3对应的位置形成有沿着Z方向延伸的槽部45。由此，能够抑制磁铁部3的角部P3破损，并且能够将磁铁部3相对于侧壁部42的定位容易化。

反射镜器件10通过粘接材料51固定于底壁部41的第二表面41b，在反射镜器件10的侧面10a和底壁部41的第二表面41b之间的边界部，由粘接材料51形成有圆角52。由此，能够将反射镜器件10牢固地固定于底壁部41。

反射镜器件10和底壁部41的第二表面41b之间的粘接材料51的厚度为10μm以上30μm以下。例如通过使用粘度低的粘接材料51，可将粘接材料51形成为这样的厚度。通过使用粘度低的粘接材料51，能够进一步抑制反射镜器件10的倾斜度的偏离。

第一磁铁31、第二磁铁32及第三磁铁33按照海尔贝克阵列排列。由此，能够提高可动反射镜部12的附近的磁通密度。

光模块1具备用于将反射镜器件10与外部电连接的电线18，反射镜器件10通过粘接材料51在规定的粘接区域R固定于底壁部41的第二表面41b，电线18在从Z方向观察的情况下与粘接区域R重叠的位置与反射镜器件10连接。在该情况下，能够抑制在连接电线18时反射镜器件10破损。另外，能够将电线18与反射镜器件10良好地连接。即，如果在不与粘接区域R重叠的位置将电线18与反射镜器件10连接，则由于在反射镜器件10和第二表面41b之间存在空腔，从而可能使电线18不易与反射镜器件10连接，电线18和反射镜器件10之间的连接强度降低。与此相对，在实施方式的光模块1中，因为将电线18在与粘接区域R重叠的位置与反射镜器件10连接，所以能够抑制这样的事态，能够将电线18与反射镜器件10良好地连接。

底壁部41的第二表面41b上的配置有反射镜器件10的区域被形成为平坦。由此，与例如在该区域形成有凹部的情况相比，能够确保封装4的强度，并且能够抑制封装4的变形。另外，因为在平坦的区域配置反射镜器件10，所以能够进一步抑制反射镜器件10的倾斜度的偏离。

在从Z方向观察的情况下，反射镜器件10的外缘相对于磁铁部3的外缘位于内侧。由此，能够使均匀的磁力作用于可动反射镜部12。

在磁铁部3的上表面3a上，通过第一磁铁31的第一上表面31a和第二磁铁32的第二上表面32a及第三磁铁33的第三上表面33a之间的Z方向上的位置差异形成有台阶部35。另外，在磁铁部3的底面3b上，通过第一磁铁31的第一底面31b和第二磁铁32的第二底面32b及第三磁铁33的第三底面33b之间的Z方向上的位置差异形成有台阶部35。即使在该情况下，也能够通过上述的理由，根据光模块1，提高可靠性。

[变形例]

在图6所示的第一变形例中，第一磁铁31的第一上表面31a位于比第二磁铁32的第二上表面32a及第三磁铁33的第三上表面33a靠下侧。即，第二上表面32a及第三上表面33a位于比第一上表面31a靠上侧。由此，在第一变形例中，也在第一上表面31a和第二上表面32a之间、及第一上表面31a和第三上表面33a之间形成有台阶部35。在第一变形例中，也与上述实施方式同样，粘接材料53配置于磁铁部3的上表面3a的整体和底壁部41的第一表面41a之间。即，粘接材料53配置于第一上表面31a、第二上表面32a及第三上表面33a中的每一个和第一表面41a之间。在第一变形例中，在第一上表面31a和第一表面41a之间，与第二上表面32a及第三上表面33a和第一表面41a之间相比，形成有Z方向上的厚度大的间隙，在该间隙的整体中配置(填充)有粘接材料53。其结果，在第一上表面31a和第一表面41a之间，与第二上表面32a及第三上表面33a和第一表面41a之间相比，配置有更多的粘接材料53。根据这样的第一变形例，也能够与上述实施方式同样地提高可靠性。

如图7所示的第二变形例那样，第一磁铁31的第一上表面31a、第二磁铁32的第二上表面32a及第三磁铁33的第三上表面33a也可以位于同一平面上。在该情况下，在磁铁部3的上表面3a及底面3b上均未形成台阶部，上表面3a及底面3b的整体平坦。在第二变形例中，也与上述实施方式同样，粘接材料53配置于磁铁部3的上表面3a的整体和底壁部41的第一表面41a之间。根据这样的第二变形例，也能够与上述实施方式同样地提高可靠性。

本公开不限于上述实施方式及变形例。例如，对于各结构的材料及形状，不限于上述的材料及形状，能够采用各种材料及形状。例如，可动部13的外形状不限于矩形状，也可以是圆形状、椭圆形状、多边形状等任意的形状。在上述实施方式中，反射镜15也可以构成为使光衍射及反射的衍射光栅。在该情况下，例如反射镜15也可以沿着规定的衍射光栅图案形成。

在上述实施方式的反射镜器件10中，可动部13构成为能够绕一个轴线(轴线A)摆动，但可动部13也可以构成为能够绕两个轴线摆动。在该情况下，例如，可动部13具有第一可动部和包围第一可动部的框状的第二可动部。反射镜15设置于第一可动部。通过沿着轴线A延伸的一对连结部14将第二可动部与支承部11连结，通过沿着与轴线A垂直的轴线延伸的另外一对连结部将第一可动部与第二可动部连结。由此，第二可动部能够绕轴线A转动，第一可动部能够绕与轴线A垂直的轴线转动。其结果，能够使反射镜15(第一可动部)绕两个轴线摆动。在该情况下，可以是第一可动部及第二可动部双方静态摆动，或也可以是第一可动部以谐振频率水平摆动，第二可动部静态摆动。或者，在上述实施方式的反射镜器件10中，可动反射镜部12能够绕轴线摆动，但可动反射镜部12也可以构成为能够沿着光轴方向(与反射镜15交叉的方向)往复移动。

在上述实施方式中，反射镜单元2仅由反射镜器件10构成，但反射镜单元2还可以具备固定反射镜器件10的基体部件。基体部件例如是配线基板，也作为支承反射镜器件10的支承部件发挥作用。在该情况下，基体部件配置于反射镜器件10和封装4的底壁部41之间，反射镜单元2在基体部件上固定于底壁部41的第二表面41b。在反射镜单元2具备基体部件的情况下，电线18也可以与基体部件连接。在该情况下，也与上述实施方式同样，如果将通过粘接材料在底壁部41的第二表面41b上固定有基体部件的区域设为粘接区域，则电线18也可以在从Z方向观察的情况下与粘接区域重叠的位置与基体部件连接。在该情况下，能够在连接电线18时抑制反射镜单元2(基体部件)破损，并且能够将电线18与反射镜单元2(基体部件)良好地连接。

在上述实施方式中，磁铁部3的上表面3a固定于底壁部41的第一表面41a即可，上表面3a和第一表面41a之间的粘接区域可以适当地设定。例如，粘接材料53(第一粘接材料)也可以仅配置于第一磁铁31的第一上表面31a和第一表面41a之间而未配置于第二磁铁32的第二上表面32a及第三磁铁33的第三上表面33a和第一表面41a之间。或者，粘接材料53也可以仅配置于第二上表面32a及第三上表面33a和第一表面41a之间而未配置于第一上表面31a和第一表面41a之间。在第一变形例中，粘接材料53也可以仅配置于第一上表面31a和第一表面41a之间而未配置于第二上表面32a及第三上表面33a和第一表面41a之间。

磁铁部3的侧面3s也可以遍及整周从侧壁部42分离。在该情况下，在磁铁部3和侧壁部42之间遍及整周形成间隙60。在该情况下，关于磁铁部3的四个角部P1～P4中的每一个，形成角部的两个边部双方从侧壁部42分离。在上述实施方式中，间隙60也可以不具有第一部分61及第二部分62中的至少一方。可以不形成间隙60，磁铁部3的侧面3s也可以遍及整周与侧壁部42接触。也可以不形成槽部45。也可以不形成圆角52、54中的任一个或双方。反射镜器件10和底壁部41的第二表面41b之间的粘接材料51的厚度不限于10μm以上30μm以下。在磁铁部3的四个角部P1～P4中的任一个或全部中，构成角部的两个边部双方也可以与侧壁部42接触。在上述实施方式中，间隙60的第一部分61和第二部分62相连，但第一部分61和第二部分62也可以相互分离。例如，也可以通过从侧壁部42突出的突出部、或第一磁铁31、第二磁铁32或者第三磁铁33将第一部分61和第二部分62相互分隔。但是，在如上述实施方式那样第一部分61和第二部分62相连的情况下，能够均等地使粘接材料53进入。

第一磁铁31的宽度W1也可以比第二磁铁32的宽度W2及第三磁铁33的宽度W3窄。即，第二磁铁32的宽度W2及第三磁铁33的宽度W3也可以比第一磁铁31的宽度W1宽。侧壁部分421～424的厚度T1～T4也可以彼此相等。在上述实施方式中，磁铁部3包含沿着X方向(第一方向)排列的多个磁铁(第一磁铁31、第二磁铁32及第三磁铁33)，但第一磁铁31、第二磁铁32及第三磁铁33的排列方向也可以是任意的方向，例如也可以是Y方向。侧壁部42也可以包含从端部42a沿着XY平面(沿着与Z方向交叉的方向)延伸的部分。该部分被设置为在从Z方向观察的情况下不与磁铁部3重叠(相对于磁铁部3位于外侧)。

反射镜器件10可以通过电线18以外的单元与外部电连接，也可以省略电线18。电线18也可以在从Z方向观察的情况下不与粘接区域R重叠的位置与反射镜器件10(电极焊盘17)连接。换句话说，电极焊盘17也可以在反射镜器件10中设置于在从Z方向观察的情况下不与粘接区域R重叠的位置。底壁部41的第二表面41b上的配置有反射镜器件10的区域也可以不形成为平坦，例如也可以在该区域形成凸部或凹部。在从Z方向观察的情况下，反射镜器件10的外缘也可以相对于磁铁部3的外缘位于外侧。在从Z方向观察的情况下，可动反射镜部12的外缘也可以相对于第一磁铁31的外缘位于外侧。反射镜单元2及磁铁部3向底壁部41的固定方法不限于粘接，也可以是任意的方法。

在上述实施方式中，侧壁部42的延伸方向即第二方向(Z方向)与第一磁铁31、第二磁铁32及第三磁铁33的排列方向即第一方向(X方向)垂直，但第二方向与第一方向交叉即可，也可以以直角以外的角度与第一方向交叉。可以不在磁铁部3的上表面3a上形成台阶部35，上表面3a的整体也可以是平坦的。可以不在磁铁部3的底面3b上形成台阶部36，底面3b的整体也可以是平坦的。第二上表面32a和第三上表面33a也可以不位于同一平面上。第二底面32b和第三底面33b也可以不位于同一平面上。在上述实施方式及变形例中，第一磁铁31、第二磁铁32及第三磁铁33的名称是为了便于说明而设定的，第一磁铁31、第二磁铁32及第三磁铁33的名称能够交换。例如，也可以将第一磁铁31看作第二磁铁并且将第二磁铁32看作第一磁铁。另外，第一磁铁31、第二磁铁32及第三磁铁33排列的顺序不限于上述的例子。磁铁部3可以仅具备两个磁铁，也可以具备四个以上的磁铁。

Claims (13)

1.一种光模块，其具备：

反射镜单元，其具有包含设置有线圈的可动反射镜部的反射镜器件；

磁铁部，其具有上表面及底面和从所述上表面向所述底面延伸的侧面，被构成为产生作用于所述可动反射镜部的磁场；

封装，其具有容纳所述磁铁部的凹部，

所述磁铁部包含沿着第一方向排列的多个磁铁，

所述凹部具有沿着所述第一方向延伸且固定有所述磁铁部的所述上表面的底壁部、和沿着与所述第一方向交叉的第二方向延伸且与所述磁铁部的所述侧面相向的侧壁部，

将在所述第二方向上所述磁铁部相对于所述底壁部所在的一侧设为下侧，所述凹部具有由所述侧壁部划定且向所述下侧开口的开口部，

所述反射镜单元配置在所述底壁部的与固定有所述磁铁部的第一表面相反侧的第二表面上，

所述侧壁部相对于所述磁铁部的所述底面向所述下侧突出。

2.根据权利要求1所述的光模块，其中，

所述磁铁部的所述上表面通过粘接材料固定于所述底壁部，

在所述磁铁部和所述侧壁部之间形成有间隙。

3.根据权利要求2所述的光模块，其中，

在从所述第二方向观察的情况下，所述间隙具有沿着一方向延伸的第一部分和沿着与所述第一部分的延伸方向交叉的方向延伸的第二部分。

4.根据权利要求2或3所述的光模块，其中，

所述侧壁部具有第一侧壁部分和与所述第一侧壁部分相向的第二侧壁部分，

所述间隙形成于所述磁铁部和所述第一侧壁部分之间，

所述第二侧壁部分的厚度比所述第一侧壁部分的厚度厚。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的光模块，其中，

在从所述第二方向观察的情况下，所述磁铁部具有形成一角部的两个边部，

所述两个边部中的至少一方从所述侧壁部分离。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的光模块，其中，

在所述侧壁部，在与所述磁铁部的角部对应的位置形成有沿着所述第二方向延伸的槽部。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的光模块，其中，

所述反射镜单元通过粘接材料固定于所述底壁部的所述第二表面，

在所述反射镜单元的侧面和所述底壁部的所述第二表面之间的边界部，由所述粘接材料形成有圆角。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的光模块，其中，

所述反射镜单元通过粘接材料固定于所述底壁部的所述第二表面，

所述反射镜单元和所述底壁部的所述第二表面之间的所述粘接材料的厚度为10μm以上30μm以下。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的光模块，其中，

所述多个磁铁按照海尔贝克阵列排列。

10.根据权利要求1～9中任一项所述的光模块，其中，

还具备用于将所述反射镜单元与外部电连接的电线，

所述反射镜单元通过粘接材料在规定的粘接区域固定于所述底壁部的所述第二表面，

所述电线在从所述第二方向观察的情况下与所述粘接区域重叠的位置与所述反射镜单元连接。

11.根据权利要求1～10中任一项所述的光模块，其中，

所述底壁部的所述第二表面上的配置有所述反射镜单元的区域被形成为平坦。

12.根据权利要求1～11中任一项所述的光模块，其中，

在从所述第二方向观察的情况下，所述反射镜单元的外缘相对于所述磁铁部的外缘位于内侧。

13.根据权利要求1～12中任一项所述的光模块，其中，

所述多个磁铁包含第一磁铁及第二磁铁，

在所述磁铁部的所述上表面及所述底面中的至少一方，通过所述第一磁铁的表面和所述第二磁铁的表面之间的所述第二方向上的位置差异形成有台阶部。