CN117260988A - 一种多并联光学镜面加工装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种多并联光学镜面加工装置，属于光学镜片加工技术领域，解决了镜面加工设备使用范围局限的问题。其技术方案为：包括工作平台、支撑机构、竖直移动机构、水平移动机构、球面运动支链机构、刀具系统、上平台和下平台，支撑机构设置在工作平台上，竖直移动机构设置在工作平台上，水平移动机构连接在竖直移动机构的升降端，上平台连接在水平移动机构的活动端，球面运动支链机构的两端分别和上平台和下平台连接，下平台上设有伸缩调节驱动件，刀具系统设置在伸缩调节驱动件的伸缩轴上，球面运动支链机构的所有转动副轴线、伸缩调节驱动件的轴线和刀具系统的轴线交于一点。本发明对镜面加工精度高，且适用于不同规格的镜面加工。

Description

一种多并联光学镜面加工装置
技术领域
本发明涉及光学镜片加工技术领域，尤其涉及一种多并联光学镜面加工装置。
背景技术
现代光学系统正朝着大口径、高精度、高分辨率及高功率的方向快速发展，对大型光学镜面的需求日益增长，因此对光学镜面的加工精度有了更高的要求。传统串联加工机床结构简单，但存在刚度低负载能力差，误差累加导致精度低等问题。采用并联机构，使整个装置承载能力高、刚度大、结构稳定、精度高、易实现高速运动。
相关技术中，公开号为CN108608063A的发明专利公开了一种并联五轴光学镜面加工装备，包括加工单元、大镜面支撑架单元以及镜面旋转固定单元，加工单元包括加工刀具单元、静平台、五条UPS驱动支链，在镜面加工过程中，将待加工大镜面通过大镜面卡盘定位固定在镜面旋转台上，加工的过程中，镜面处于旋转状态，通过五组UPS驱动支链的长度变化调节动平台的姿态变化，从而控制对镜面的加工位置和角度，之后再通过刀具对镜面表面加工，该装备对于镜面加工具有较高的加工精度。
针对上述相关技术，通过五条UPS驱动支链能够带动刀具在特定空间内实现任意点位的移动，但是由于五条UPS驱动支链共同对刀具进行限定，当刀具移动至特定点位时，刀具的角度也是特定的，不能够针对刀具的角度进行自由调整，因此相关技术中的镜面加工设备只能够加工特定规格的镜面，使用范围较为局限。
发明内容
本发明的目的在于提供一种多并联光学镜面加工装置，对镜面球面轮廓的加工精度较高，且能够适用于不同规格的镜面加工，应用范围广泛。
为了实现上述发明目的，本发明采用技术方案具体为：一种多并联光学镜面加工装置，包括工作平台、支撑机构、竖直移动机构、水平移动机构、球面运动支链机构、刀具系统、上平台和下平台，所述支撑机构设置在所述工作平台上，所述支撑机构用于对镜面进行支撑固定，所述竖直移动机构设置在所述工作平台上，所述水平移动机构连接在所述竖直移动机构的升降端，所述上平台连接在所述水平移动机构的水平活动端，所述球面运动支链机构设置在上平台上，所述下平台连接在所述球面运动支链机构的活动端，所述下平台上设置有伸缩调节驱动件，所述刀具系统设置在所述伸缩调节驱动件的伸缩轴上，所述球面运动支链机构的所有转动副轴线、所述伸缩调节驱动件的轴线和所述刀具系统的轴线交于空间中的一点。
通过采用上述技术方案，在对镜面进行加工时，将镜面放置在支撑机构处，支撑机构对镜面进行支撑固定，根据镜面所需加工的口径，通过伸缩调节驱动件调整刀具系统中刀头的位置，使得刀具系统中的刀头端部和球面运动支链机构的球心间距和所需加工的口径保持一致，调好刀具系统的位置后，之后再通过水平移动机构和竖直移动机构带动刀具系统靠近镜面的加工位置移动，之后刀具系统对镜面进行加工，在加工过程中，球面运动支链机构带动刀具系统移动，刀具系统的运行轨迹为球面，刀具系统对镜面加工出球面轮廓。本发明对镜面球面轮廓的加工精度较高，且便于调节刀具系统加工球面的半径，能够适用于不同规格的镜面加工，应用范围广泛。
进一步地，所述球面运动支链机构包括至少三组球面运动支链组件，多组所述球面运动支链组件呈圆周阵列设置在所述上平台上，所述球面运动支链组件包括驱动电机、主动支链杆和被动支链杆，所述驱动电机设置在所述上平台上，所述主动支链杆的一端和所述驱动电机的输出轴连接，所述被动支链杆的一端转动设置在所述主动支链杆远离所述驱动电机的一端，所述被动支链杆的另一端和所述下平台球铰连接，所述驱动电机的轴线、所述主动支链杆和被动支链杆之间的转动轴线交于空间中的一点。
通过采用上述技术方案，球面运动支链机构工作时，驱动电机的输出轴转动，带动主动支链杆转动，主动支链杆带动被动支链杆转动，被动支链杆带动下平台和刀具系统移动，多组球面运动支链组件共同配合，使得刀具系统的运行轨迹为球面轨迹，且通过至少三组球面运动支链组件能够带动刀具系统在球面的任意方向上移动。
进一步地，所述主动支链杆为主动弧形支链杆，所述被动支链杆为被动弧形支链杆，所述主动弧形支链杆的曲率中心和所述被动弧形支链杆的曲率中心重合，所述驱动电机的轴线、所述主动支链杆和被动支链杆之间的转动轴线交于所述主动弧形支链杆的曲率中心。
通过采用上述技术方案，弧形结构的主动弧形支链杆和被动弧形支链杆结构简单，且弧形结构相比于其他形状结构更加便于控制球面运动支链机构的球心位置以及球面运动支链机构运行轨迹的球面半径。
进一步地，所述主动弧形支链杆弯曲弧度的范围为50°-60°，所述被动弧形支链杆弯曲弧度的范围为50°-60°。
通过采用上述技术方案，主动弧形支链杆和被动弧形支链杆的弯曲弧度在上述范围时，当主动弧形支链杆转动时，被动弧形支链杆的摆动角度更大，即提高了刀具系统刀头的摆动角度的范围，能够适用于更多规格的镜面加工，提高了该装置的应用范围。
进一步地，所述驱动电机的输出轴和竖直方向的夹角范围为30°-50°。
通过采用上述技术方案，驱动电机的输出轴的角度位于该范围时，当驱动电机的输出轴转动时，更加容易带动刀具系统的轴线偏移，有助于提高刀具系统的角度偏移量，能够适用于更多规格的镜面加工。
进一步地，所述竖直移动机构包括至少三个支撑柱和至少三个升降电机，所述支撑柱和所述升降电机一一配合设置，多个所述支撑柱设置在所述工作平台上，且多个所述支撑柱呈圆周阵列环绕支撑机构设置，所述升降电机设置在所述支撑柱上，所述水平移动机构和多个所述升降电机的升降端连接。
通过采用上述技术方案，竖直移动机构进行工作时，升降电机带动水平移动机构、球面运动支链机构和刀具系统同步升降移动，便于调整刀具系统和镜面的间距。
进一步地，所述水平移动机构包括至少三个转动电机和至少三组连杆组件，所述转动电机和所述连杆组件一一配合设置，多个所述转动电机设置在所述竖直移动机构的升降端，所述转动电机的输出轴竖直设置，所述连杆组件的一端和所述转动电机的输出轴连接，所述连杆组件的另一端和所述上平台转动连接。
通过采用上述技术方案，水平移动机构工作时，转动电机带动连杆组件动作，从而带动上平台移动，在多组转动电机和连杆组件的共同作用下，能够带动上平台、下平台和刀具系统在水平方向上移动，便于调整刀具系统在镜面上的加工位置。
进一步地，所述连杆组件包括第一连杆、第二连杆、第一连接销和第二连接销，所述第一连杆和所述转动电机的输出轴固定连接，所述第一连接销分别和所述第一连杆和所述第二连杆连接，所述第一连杆和所述第二连杆通过所述第一连接销转动连接，所述第二连接销分别和所述第二连杆和所述上平台连接，所述第二连杆和所述上平台通过所述第二连接销转动连接，所述转动电机输出轴的轴线、所述第一连接销的轴线和所述第二连接销的轴线均呈竖直设置。
通过采用上述技术方案，转动电机的输出轴转动时，带动第一连杆和第二连杆转动，在多组连杆组件的共同作用下，能够带动上平台、下平台和刀具系统在水平面的任意方向移动，便于调整刀具系统的加工位置，结构简单，且传动方式稳定。
进一步地，所述支撑机构包括多个支撑筒、多个支撑杆和多个真空吸盘，所述支撑筒、所述支撑杆和所述真空吸盘一一配合设置，多个所述支撑筒呈圆周阵列设置在所述工作平台上，所述支撑杆螺纹连接在所述支撑筒上，所述支撑杆的螺纹轴线竖直设置，所述真空吸盘设置在所述支撑杆顶部。
通过采用上述技术方案，在进行加工前，需要将镜面放置在支撑杆上，并通过真空吸盘对镜面进行吸附固定，由于部分规格镜面的底面是球面或者其他弧面轮廓，通过调整支撑杆在支撑筒内的安装深度，使得多个真空吸盘均能够和镜面底面接触，有助于提高对镜面的支撑效果，通过调整支撑杆在支撑筒内的安装深度，也能够调整镜面的水平度，有助于提高对镜面的加工精度。
进一步地，所述伸缩调节驱动件为音圈电机。
通过采用上述技术方案，音圈电机的输出轴能够伸缩运动，且便于控制音圈电机输出轴的伸缩长度，便于控制刀具系统距离
与现有技术相比，本发明的有益效果为：
1、本发明通过设置球面运动支链机构，球面运动支链机构能够带动刀具系统在球面上运动，有助于提高对镜面的加工精度，通过设置伸缩调节驱动件能够调整刀具系统的刀头位置，从而能够改变刀具系统刀头端部运行的球面半径，能够适用于不同规格的镜面加工。
2、本发明通过设置水平移动机构和竖直移动机构，水平移动机构和竖直移动机构分别能够带动刀具系统在水平方向上和竖直方向上移动，便于调整刀具系统的加工位置，能够适用于不同规格的镜面加工。
3、本发明支撑机构包括多个支撑筒、多个支撑杆和多个真空吸盘，支撑杆和支撑筒螺纹连接，由于部分规格镜面的底面是球面或者其他非平面轮廓，通过调整支撑杆在支撑筒内的安装深度，使得多个真空吸盘均能够和镜面底面的接触，有助于提高对镜面的支撑效果，通过调整支撑杆在支撑筒内的安装深度，也能够调整镜面的水平度，有助于提高对镜面的加工精度。
附图说明
附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。
图1为本发明实施例一种多并联光学镜面加工装置和镜面配合状态的结构示意图。
图2为本发明实施例一种多并联光学镜面加工装置的结构示意图。
图3为本发明实施例球面运动支链机构和刀具系统的结构示意图。
图4为本发明实施例支撑机构的结构示意图。
图5为本发明实施例支撑机构在工作平台上排布方式的示意图。
其中，附图标记为：1、工作平台；2、支撑机构；21、支撑筒；22、支撑杆；23、真空吸盘；3、竖直移动机构；31、支撑柱；32、升降电机；4、水平移动机构；41、转动电机；42、连杆组件；421、第一连杆；422、第二连杆；423、第一连接销；424、第二连接销；5、球面运动支链机构；51、球面运动支链组件；511、驱动电机；512、主动支链杆；5121、主动弧形支链杆；513、被动支链杆；5131、被动弧形支链杆；6、刀具系统；61、刀具电机；62、刀头；7、上平台；8、下平台；9、伸缩调节驱动件；91、音圈电机。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。当然，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
实施例：
参见图1至图3，本发明提供其技术方案为，一种多并联光学镜面加工装置，包括工作平台1、支撑机构2、竖直移动机构3、水平移动机构4、球面运动支链机构5、刀具系统6、上平台7和下平台8，支撑机构2可拆卸安装在工作平台1上，支撑机构2用于对镜面进行支撑固定。竖直移动机构3可拆卸安装在工作平台1上，水平移动机构4连接在竖直升降机构的升降端，竖直移动机构3能够带动水平移动机构4升降移动。上平台7连接在水平移动机构4的水平活动端，水平移动机构4能够带动上平台7在水平方向上移动。球面运动支链机构5一端安装在在上平台7底部，下平台8连接在球面运动支链机构5底部的活动端。下平台8中间区域安装有伸缩调节驱动件9，刀具系统6设置在伸缩调节驱动件9的伸缩轴上，球面运动支链机构5的所有转动副轴线、伸缩调节驱动件9的轴线和刀具系统6的轴线交于空间中的一点，设该点为球心O。
参照图3，在本实施例中，刀具系统6包括刀具电机61和刀头62，刀头62同轴固定在刀具电机61的输出轴上，刀具电机61可拆卸安装在伸缩调节驱动件9的伸缩轴上，且刀具电机61输出轴的轴线和伸缩调节驱动件9的伸缩轴的轴线同轴设置。
参照图3，球面运动支链机构5包括至少三组球面运动支链组件51，多组球面运动支链组件51呈圆周阵列设置在上平台7上，球面运动支链组件51包括驱动电机511、主动支链杆512和被动支链杆513，驱动电机511可拆卸安装在在上平台7上。主动支链杆512的一端安装在驱动电机511的输出轴上，驱动电机511用于驱动主动支撑杆22转动。被动支链杆513的一端铰接连接在主动支链杆512远离驱动电机511的一端，被动支链杆513的另一端和下平台8球铰连接，驱动电机511的轴线、主动支链杆512和被动支链杆513之间的铰接轴线交于球心O。
参照图3，在本实施例中，球面运动支链组件51设有三组，上平台7和下平台8均为等边三角板结构，且上平台7的面积大于下平台8的面积。三个驱动电机511分别安装在上平台7的三个边角位置，被动支链杆513的底端分别和下平台8的三个边角位置球铰连接，伸缩调节驱动件9安装在下平台8的中间位置。采用大面积的上平台7、小面积的下平台8的结构设计，下平台8具有更加广泛的活动空间，球面运动支链机构5带动下平台8偏转的角度范围更大，即能够提高刀头62角度的偏移范围，能够适用于更多规格大角度镜面的加工，提高了该装置整体的适用范围。此外，下平台8的结构较小，球面运动支链机构5带动下平台8摆动过程中，下平台8不易和镜面出现干涉。
球面运动支链机构5工作时，驱动电机511的输出轴转动，带动主动支链杆512转动，主动支链杆512带动被动支链杆513转动，被动支链杆513带动下平台8和刀具系统6移动，多组球面运动支链组件51共同配合，使得刀具系统6的运行轨迹为球面轨迹，且通过至少三组球面运动支链组件51能够带动刀具系统6在以O点为圆心球面的任意方向上移动。
参照图3，在本实施例中，伸缩调节驱动件9为音圈电机91，刀具电机61固定在音圈电机91的输出轴上，音圈电机91的输出轴能够伸缩运动，音圈电机91输出轴的伸缩长度便于控制，且控制精度较高，通过控制音圈电机91输出轴的伸缩长度，便于控制刀具系统6中刀头62端部距离球心O的间距，便于对球面的加工半径进行调整。
参见图1和图3，在对镜面进行加工时，将镜面放置在支撑机构2处，支撑机构2对镜面进行支撑固定，根据镜面所需加工的球面半径，通过音圈电机91调整刀具系统6中刀头62的位置，使得刀具系统6中的刀头62端部和球面运动支链机构5的球心O间距和所需加工的口径保持一致，调好刀具系统6的位置后，之后再通过水平移动机构4和竖直移动机构3带动刀具系统6靠近镜面的加工位置移动，之后刀具系统6的刀头62对镜面进行加工，在加工过程中，球面运动支链机构5带动刀具系统6以球心O做球面移动，刀具系统6对镜面加工出球面轮廓。本发明对镜面球面轮廓的加工精度较高，且便于调节刀具系统6加工球面的半径，能够适用于不同规格的镜面加工，应用范围广泛。
参照图3，在本实施例中，主动支链杆512为主动弧形支链杆5121，被动支链杆513为被动弧形支链杆5131，主动弧形支链杆5121的曲率中心和被动弧形支链杆5131的曲率中心交于球心O，驱动电机511的轴线、主动支链杆512和被动支链杆513之间的转动轴线交于主动弧形支链杆5121的球心O。弧形结构的主动弧形支链杆5121和被动弧形支链杆5131均为弧形结构，弧形结构简单，且弧形结构相比于其他形状结构更加便于控制球面运动支链机构5的球心位置以及球面运动支链机构5运行轨迹的球面半径，能够减少设计过程中的计算过程。
设驱动电机511的输出轴和竖直方向的夹角范围α，α的范围为30°-50°，驱动电机511的输出轴的角度位于该范围时，当驱动电机511的输出轴转动时，更加容易带动刀具系统6的刀头62偏移，有助于提高刀头62的角度偏移量，能够适用于更多规格的镜面加工。具体地，在本实施例中，α＝40°。
设主动弧形支链杆5121弯曲弧度为β，设被动弧形支链杆5131弯曲弧度为γ，其中β的范围为50°-60°，γ的范围为50°-60°，主动弧形支链杆5121和被动弧形支链杆5131的弯曲弧度在上述范围时，当主动弧形支链杆5121转动时，被动弧形支链杆5131的摆动角度更大，即有利于提高刀具系统6刀头62的摆动角度的范围，能够适用于更多规格的镜面加工，提高了该装置的应用范围。具体地，在本实施例中，β＝55°，γ＝55°。
参照图1和图2，竖直移动机构3包括三个支撑柱31和三个升降电机32，支撑柱31和升降电机32一一配合设置，三个支撑柱31安装在工作平台1上，且三个支撑柱31呈圆周阵列环绕支撑机构2设置，升降电机32可拆卸安装在支撑柱31上，水平移动机构4和三个升降电机32的升降端连接。三个升降电机32同步工作，能够带动水平移动机构4、上平台7、下平台8和球面运动支链机构5在竖直方向上升降移动，通过三组升降电机32共同工作，能够提高运行的稳定性。通过该种方式便于调整刀头62和镜面的间距。
参照图1和图2，水平移动机构4包括三个转动电机41和三组连杆组件42，转动电机41和连杆组件42一一配合设置，三个转动电机41分别安装在三个升降电机32的升降端，转动电机41的输出轴竖直设置。连杆组件42的两端分别和转动电机41和上平台7连接。连杆组件42包括第一连杆421、第二连杆422、第一连接销423和第二连接销424，第一连杆421的一端和转动电机41的输出轴固定连接，第一连接销423转动安装在第一连杆421远离转动电机41的另一端，第一连接销423的轴线竖直设置。第二连杆422的一端和第一连接销423转动连接，第一连杆421和第二连杆422通过第一连接销423转动连接。第二连接销424转动安装在第二连杆422远离第一连杆421的一端，第二连接销424的轴线竖直设置，第二连接销424安装在上平台7的边角处。需要补充的是，三个第二连接销424呈圆周阵列安装在上平台7的三个边角处。
当水平移动机构4工作时，转动电机41的输出轴转动，带动第一连杆421和第二连杆422转动，在多组连杆组件42的共同作用下，能够带动上平台7、下平台8和刀具系统6在水平面的任意方向移动，结构简单，且传动方式稳定。通过该种方式能够调整刀头62和镜面之间的位置，水平移动机构4和竖直移动机构3共同作用下，能够带动刀头62在特定空间内任意方向移动，便于调整刀头62和镜面之间的接触位置。
通过竖直移动机构3、水平移动机构4和球面运动支链机构5共同作用下，能够自由的调整刀头62的位置和角度，调节范围较广，能够适用于多种规格的镜面加工。
参照图2和图4，支撑机构2安装于工作平台1的中间位置，支撑机构2包括多个支撑筒21、多个支撑杆22和多个真空吸盘23，支撑筒21、支撑杆22和真空吸盘23一一配合设置，支撑筒21的轴线竖直设置，多个支撑筒21呈圆周阵列安装在工作平台1上，支撑杆22螺纹连接在支撑筒21上，支撑杆22的螺纹轴线竖直设置，真空吸盘23设置在支撑杆22顶部。当对镜面进行固定时，将待加工的镜面放置在真空吸盘23上，真空吸盘23对镜面进行吸附固定。
需要补充的是，此处的真空吸盘23可以通过真空泵提供动力，真空泵可以对真空吸盘23抽真空处理，以便于真空吸盘23对镜面的吸附固定。真空吸盘23也可以不借助真空泵等驱动设备，仅依靠真空吸盘23自身的结构，通过将空气挤压出真空吸盘23的方式，使得真空吸盘23形成真空，从而对镜面吸附固定。以上两种方式均可以使得真空吸盘23对镜面进行吸附固定，可以根据具体使用需求进行选择。
参照图2和图5，在本实施例中，支撑筒21、支撑杆22和真空吸盘23的数量均设有九个，其中三个相互配合的支撑筒21、支撑杆22和真空吸盘23位于内环，六个相互配合的支撑筒21、支撑杆22和真空吸盘23位于外环，通过该种设置，支撑机构2能够对不同规格的镜面进行固定。例如，部分规格镜面的底面是球面或者其他弧面轮廓，通过调整支撑杆22在支撑筒21内的安装深度，可以使得位于外环和位于内环的真空吸盘23形成高度差，使得多个真空吸盘23均能够和镜面的表面保持贴合，有助于提高对镜面的支撑固定效果，通过该种方式也能够调节镜面的水平度进行调节，操作灵活，有助于提高对镜面的加工精度。
本发明实施例一种多并联光学镜面加工装置的实施原理为：在对镜面进行加工时，将待加工的镜面放置在多个真空吸盘23上进行固定，根据加工球面的半径，通过音圈电机91调整刀头62端部距离球心O的间距，该间距为球面的加工半径。之后通过水平移动机构4和竖直移动机构3带动刀具系统6移动，使得刀头62移动至镜面的加工位置，之后刀具电机61带动刀头62转动，对镜面进行加工，在加工过程中，通过球面运动支链机构5调节刀具的加工角度，在调节过程中，刀头62始终围绕球心O做球面运动，有助于提高对镜面球面轮廓的加工精度。本发明对镜面球面轮廓的加工精度较高，且便于调节刀具系统6加工球面的半径，能够适用于不同规格的镜面加工，应用范围广。
以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种多并联光学镜面加工装置，其特征在于，包括工作平台(1)、支撑机构(2)、竖直移动机构(3)、水平移动机构(4)、球面运动支链机构(5)、刀具系统(6)、上平台(7)和下平台(8)，所述支撑机构(2)设置在所述工作平台(1)上，所述支撑机构(2)用于对镜面进行支撑固定，所述竖直移动机构(3)设置在所述工作平台(1)上，所述水平移动机构(4)连接在所述竖直移动机构(3)的升降端，所述上平台(7)连接在所述水平移动机构(4)的水平活动端，所述球面运动支链机构(5)设置在上平台(7)上，所述下平台(8)连接在所述球面运动支链机构(5)的活动端，所述下平台(8)上设置有伸缩调节驱动件(9)，所述刀具系统(6)设置在所述伸缩调节驱动件(9)的伸缩轴上，所述球面运动支链机构(5)的所有转动副轴线、所述伸缩调节驱动件(9)的轴线和所述刀具系统(6)的轴线交于空间中的一点。
2.根据权利要求1所述的一种多并联光学镜面加工装置，其特征在于，所述球面运动支链机构(5)包括至少三组球面运动支链组件(51)，多组所述球面运动支链组件(51)呈圆周阵列设置在所述上平台(7)上，所述球面运动支链组件(51)包括驱动电机(511)、主动支链杆(512)和被动支链杆(513)，所述驱动电机(511)设置在所述上平台(7)上，所述主动支链杆(512)的一端和所述驱动电机(511)的输出轴连接，所述被动支链杆(513)的一端转动设置在所述主动支链杆(512)远离所述驱动电机(511)的一端，所述被动支链杆(513)的另一端和所述下平台(8)球铰连接，所述驱动电机(511)的轴线、所述主动支链杆(512)和被动支链杆(513)之间的转动轴线交于空间中的一点。
3.根据权利要求2所述的一种多并联光学镜面加工装置，其特征在于，所述主动支链杆(512)为主动弧形支链杆(5121)，所述被动支链杆(513)为被动弧形支链杆(5131)，所述主动弧形支链杆(5121)的曲率中心和所述被动弧形支链杆(5131)的曲率中心重合，所述驱动电机(511)的轴线、所述主动支链杆(512)和被动支链杆(513)之间的转动轴线交于所述主动弧形支链杆(5121)的曲率中心。
4.根据权利要求3所述的一种多并联光学镜面加工装置，其特征在于，所述主动弧形支链杆(5121)弯曲弧度的范围为50°-60°，所述被动弧形支链杆(5131)弯曲弧度的范围为50°-60°。
5.根据权利要求2-4任一项所述的一种多并联光学镜面加工装置，其特征在于，所述驱动电机(511)的输出轴和竖直方向的夹角范围为30°-50°。
6.根据权利要求1所述的一种多并联光学镜面加工装置，其特征在于，所述竖直移动机构(3)包括至少三个支撑柱(31)和至少三个升降电机(32)，所述支撑柱(31)和所述升降电机(32)一一配合设置，多个所述支撑柱(31)设置在所述工作平台(1)上，且多个所述支撑柱(31)呈圆周阵列环绕支撑机构(2)设置，所述升降电机(32)设置在所述支撑柱(31)上，所述水平移动机构(4)和多个所述升降电机(32)的升降端连接。
7.根据权利要求1所述的一种多并联光学镜面加工装置，其特征在于，所述水平移动机构(4)包括至少三个转动电机(41)和至少三组连杆组件(42)，所述转动电机(41)和所述连杆组件(42)一一配合设置，多个所述转动电机(41)设置在所述竖直移动机构(3)的升降端，所述转动电机(41)的输出轴竖直设置，所述连杆组件(42)的一端和所述转动电机(41)的输出轴连接，所述连杆组件(42)的另一端和所述上平台(7)转动连接。
8.根据权利要求7所述的一种多并联光学镜面加工装置，其特征在于，所述连杆组件(42)包括第一连杆(421)、第二连杆(422)、第一连接销(423)和第二连接销(424)，所述第一连杆(421)和所述转动电机(41)的输出轴固定连接，所述第一连接销(423)分别和所述第一连杆(421)和所述第二连杆(422)连接，所述第一连杆(421)和所述第二连杆(422)通过所述第一连接销(423)转动连接，所述第二连接销(424)分别和所述第二连杆(422)和所述上平台(7)连接，所述第二连杆(422)和所述上平台(7)通过所述第二连接销(424)转动连接，所述转动电机(41)输出轴的轴线、所述第一连接销(423)的轴线和所述第二连接销(424)的轴线均呈竖直设置。
9.根据权利要求1所述的一种多并联光学镜面加工装置，其特征在于，所述支撑机构(2)包括多个支撑筒(21)、多个支撑杆(22)和多个真空吸盘(23)，所述支撑筒(21)、所述支撑杆(22)和所述真空吸盘(23)一一配合设置，多个所述支撑筒(21)呈圆周阵列设置在所述工作平台(1)上，所述支撑杆(22)螺纹连接在所述支撑筒(21)上，所述支撑杆(22)的螺纹轴线竖直设置，所述真空吸盘(23)设置在所述支撑杆(22)顶部。
10.根据权利要求1所述的一种多并联光学镜面加工装置，其特征在于，所述伸缩调节驱动件(9)为音圈电机(91)。
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