CN117226608B - 一种用于分光棱镜镀膜的抛光控制方法及系统 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种用于分光棱镜镀膜的抛光控制方法及系统，涉及数据处理技术领域，该方法包括：配置目标抛光控制方案；结合镀膜标准与镀膜影响因素，配置因素系数矩阵；通过拟真镀膜作业，获取预测制造棱镜，对其进行压克现象检测，确定压克检测结果，进行分光特性检测，生成特性检测三元组；以因素系数矩阵为限制，结合压克检测结果与特性检测三元组确定补偿寻优约束，进而确定优化抛光控制方案，进行目标分光棱镜的抛光控制。本发明解决了现有技术中人工操作分光棱镜镀膜抛光的效率低、质量差的技术问题，达到了通过设计专用治具进行分光棱镜镀膜抛光，提高抛光镀膜的质量和抛光作业效率的技术效果。

Description

一种用于分光棱镜镀膜的抛光控制方法及系统

技术领域

本发明涉及数据处理技术领域，具体涉及一种用于分光棱镜镀膜的抛光控制方法及系统。

背景技术

由于分光棱镜的分光镀膜层较多，镀膜后会出现批量的压克不良，镀膜表面存在灰尘、污点、指印等脏污，影响分光棱镜的质量，所以在镀膜前需要进行膜面抛光来减少压克的产生，但目前多使用人工手抛镀膜面，因人工操作的不稳定性和效率低，导致镀膜抛光效果差，作业效率低。

发明内容

本申请提供了一种用于分光棱镜镀膜的抛光控制方法及系统，用于解决现有技术中人工操作分光棱镜镀膜抛光的效率低、质量差的技术问题。

本申请的第一个方面，提供了一种用于分光棱镜镀膜的抛光控制方法，所述方法包括：基于目标分光棱镜的制造需求，配置用于抛光设备的目标抛光控制方案；结合镀膜标准与镀膜影响因素，确定因素特征值并进行矩阵化，配置因素系数矩阵；结合构建的可视化拟真处理模型，对基于所述目标抛光控制方案作业获取的目标抛光棱镜进行拟真镀膜作业，获取预测制造棱镜，所述可视化拟真处理模型基于数字孪生技术于连接的可视化仿真平台进行搭建；对所述预测制造棱镜进行压克现象检测，确定压克检测结果，所述压克检测结果为包括压克现象－压克比例－压克位置－改性限度的检测序列；对所述预测制造棱镜进行分光特性检测，生成特性检测三元组，其中，特性检测维度包括透射特性、反射特性与偏振特性；以所述因素系数矩阵为限制，结合所述压克检测结果与所述特性检测三元组确定补偿寻优约束，对所述目标抛光控制方案进行补偿调整与寻优分析，确定优化抛光控制方案；基于所述优化抛光控制方案，进行所述目标分光棱镜的抛光控制。

本申请的第二个方面，提供了一种用于分光棱镜镀膜的抛光控制方法系统，所述系统包括：目标抛光控制方案配置模块，所述目标抛光控制方案配置模块用于基于目标分光棱镜的制造需求，配置用于抛光设备的目标抛光控制方案；因素系数矩阵配置模块，所述因素系数矩阵配置模块用于结合镀膜标准与镀膜影响因素，确定因素特征值并进行矩阵化，配置因素系数矩阵；预测制造棱镜获取模块，所述预测制造棱镜获取模块用于结合构建的可视化拟真处理模型，对基于所述目标抛光控制方案作业获取的目标抛光棱镜进行拟真镀膜作业，获取预测制造棱镜，所述可视化拟真处理模型基于数字孪生技术于连接的可视化仿真平台进行搭建；压克检测结果确定模块，所述压克检测结果确定模块用于对所述预测制造棱镜进行压克现象检测，确定压克检测结果，所述压克检测结果为包括压克现象－压克比例－压克位置－改性限度的检测序列；特性检测三元组生成模块，所述特性检测三元组生成模块用于对所述预测制造棱镜进行分光特性检测， 生成特性检测三元组，其中，特性检测维度包括透射特性、反射特性与偏振特性；优化抛光控制方案确定模块，所述优化抛光控制方案确定模块用于以所述因素系数矩阵为限制，结合所述压克检测结果与所述特性检测三元组确定补偿寻优约束，对所述目标抛光控制方案进行补偿调整与寻优分析，确定优化抛光控制方案；抛光控制模块，所述抛光控制模块用于基于所述优化抛光控制方案，进行所述目标分光棱镜的抛光控制。

本申请中提供的一个或多个技术方案，至少具有如下技术效果或优点：

本申请提供的一种用于分光棱镜镀膜的抛光控制方法，涉及数据处理技术领域，通过配置目标抛光控制方案，并结合镀膜标准与镀膜影响因素，配置因素系数矩阵，然后通过拟真镀膜作业，获取预测制造棱镜，并对其进行压克现象检测，确定压克检测结果，对其进行分光特性检测，生成特性检测三元组；接着以因素系数矩阵为限制，结合压克检测结果与特性检测三元组确定补偿寻优约束，通过补偿寻优约束确定优化抛光控制方案，最后基于优化抛光控制方案，进行目标分光棱镜的抛光控制，解决了现有技术中，由于人工操作力度的不稳定性，导致分光棱镜镀膜抛光效率低、质量差的技术问题，实现了通过设计专用治具进行分光棱镜镀膜抛光，减少对人工操作的依赖，进而减少压克比例，提高抛光镀膜的均匀性和抛光作业效率的技术效果。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例提供的一种用于分光棱镜镀膜的抛光控制方法流程示意图；

图2为本申请实施例提供的一种用于分光棱镜镀膜的抛光控制方法中确定压克检测结果的流程示意图；

图3为本申请实施例提供的一种用于分光棱镜镀膜的抛光控制方法中生成特性检测三元组的流程示意图；

图4为本申请实施例提供的一种用于分光棱镜镀膜的抛光控制方法系统结构示意图。

附图标记说明：目标抛光控制方案配置模块11，因素系数矩阵配置模块12，预测制造棱镜获取模块13，压克检测结果确定模块14，特性检测三元组生成模块15，优化抛光控制方案确定模块16，抛光控制模块17。

具体实施方式

本申请提供了一种用于分光棱镜镀膜的抛光控制方法，用于解决现有技术中人工操作分光棱镜镀膜抛光的效率低、质量差的技术问题。

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本申请的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或服务器不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或模块。

实施例一

如图1所示，本申请提供了一种用于分光棱镜镀膜的抛光控制方法，所述方法包括：

P100：基于目标分光棱镜的制造需求，配置用于抛光设备的目标抛光控制方案；

具体的，根据目标分光棱镜的制造需求，如目标分光棱镜的分光比、折射率、主截面形状等制造需求，结合抛光设备的设备性能，配置相应的目标抛光控制方案，也就是初始抛光控制方案，包括抛光次数、抛光位置、抛光角度等设计参数，作为目标分光棱镜的基础抛光控制方案，后续将此方案进行优化调整，来得到最佳的抛光方案。

P200：结合镀膜标准与镀膜影响因素，确定因素特征值并进行矩阵化，配置因素系数矩阵；

其中，根据目标分光棱镜的镀膜工艺原理，获取镀膜标准与镀膜影响因素，所述镀膜标准包括标准膜厚、膜层数量、模料等，所述镀膜影响因素包括温度、真空度等环境影响，以及镀膜过程控制的影响，基于镀膜标准与镀膜影响因素，确定目标分光棱镜的镀膜的影响因素特征值，并将其进行矩阵化，得到因素系数矩阵，可以作为目标分光棱镜镀膜的抛光控制参数调整约束，也就是在所述因素系数矩阵的约束下，进行目标分光棱镜镀膜的抛光控制参数调整，以达到镀膜标准，并规避环境等因素的影响。

进一步的，本申请实施例步骤P200还包括：

P210：基于镀膜标准，确定一维特征值，所述一维特征值包括膜厚、膜料与膜层分布；

P220：基于所述镀膜影响因素，确定二维特征值，所述二维特征值包括环境影响因素与镀膜控制影响因素；

P230：以所述镀膜标准与所述镀膜影响因素为矩阵行，以不同制造需求为矩阵列，以所述一维特征值与所述二维特征值为矩阵项，搭建所述因素系数矩阵。

在本申请一种可能的实施例中，基于镀膜标准，从镀膜标准维度确定一维特征值，包括膜厚、膜料与膜层分布，基于所述镀膜影响因素，从所述镀膜影响因素维度确定二维特征值，包括环境影响因素与镀膜控制影响因素，其中，所述环境影响因素又包括基底温度、真空度、环境洁净度、环境湿度等。进一步的，将所述镀膜标准与所述镀膜影响因素作为矩阵行，将不同的分光棱镜制造需求作为矩阵列，将所述一维特征值与所述二维特征值作为矩阵项，构建所述因素系数矩阵，可以作为目标分光棱镜镀膜的抛光控制参数调整约束。

P300：结合构建的可视化拟真处理模型，对基于所述目标抛光控制方案作业获取的目标抛光棱镜进行拟真镀膜作业，获取预测制造棱镜，所述可视化拟真处理模型基于数字孪生技术于连接的可视化仿真平台进行搭建；

示例性的，基于数字孪生技术在连接的可视化仿真平台内搭建可视化拟真处理模型，所述可视化拟真处理模型是用来进行目标分光棱镜镀膜的抛光控制模拟的数字模型，可以模拟目标抛光棱镜镀膜抛光的工艺、环境、抛光效果等，使用所述可视化拟真处理模型，基于所述目标抛光控制方案对目标抛光棱镜进行拟真镀膜作业，通过数字模拟镀膜抛光，得到数字模拟抛光棱镜模型，以此作为预测制造棱镜，所述预测制造棱镜可以在一定程度上反映真实的目标抛光棱镜在抛光后的状态，包括压克现象，因此可以为后续的方案优化提供优化参考。

P400：对所述预测制造棱镜进行压克现象检测，确定压克检测结果，所述压克检测结果为包括压克现象－压克比例－压克位置－改性限度的检测序列；

可选的，对所述预测制造棱镜进行压克现象检测，也就是检测数字模拟抛光棱镜镀膜表面的灰尘、污点、指印等脏污的范围、位置、类型等，以此作为压克检测结果，所述压克检测结果为包括压克现象－压克比例－压克位置－改性限度的检测序列，所述压克现象就是脏污的类型，所述压克比例就是脏污的范围大小，所述压克位置就是脏污的位置坐标，所述改性限度就是脏污能被去除或修复的程度，比如污点能够被抛光变淡的程度。所述压克检测结果可以作为目标抛光控制方案的优化依据。

进一步的，如图2所示，本申请实施例步骤P400还包括：

P410：针对多元化压克现象，配置适配检测方式；

P420：基于所述适配检测方式，对所述预测制造棱镜进行压克现象检测，确定检测压克现象并进行压克特征识别提取，结合压克数据库进行映射匹配，确定特征匹配信息；

P430：对所述压克现象、所述压克特征与所述特征匹配信息进行序列化整合，生成所述压克检测结果。

示例性的，针对不同的压克现象，选择适配的检测方式，例如针对划痕采用反射光检测，并基于适配的检测方式，对所述预测制造棱镜进行压克现象检测，来确定检测压克现象，例如划痕、污点等，并进行压克特征识别提取，然后将提取到的压克特征在压克数据库中进行映射匹配，根据匹配到的压克数据库中的压克数据样本的类型，确定目标分光棱镜镀膜的压克特征匹配信息，如划痕的深度、长度等，进一步的，将所述压克现象、所述压克特征与所述特征匹配信息进行序列化整合，生成所述压克检测结果，作为抛光方案优化的参考数据。

进一步的，本申请实施例步骤P430还包括：

P431：对所述预测制造棱镜进行局域性划分，确定多组局域检测窗口，所述多组局域检测窗口对应于所述分光棱镜的多个棱镜面；

P432：对所述多组局域检测窗口进行压克现象检测，获取多组压克检测结果；

P433：以棱镜面为基准，对所述多组压克检测结果进行综合性分析，确定整体特征状态，所述整体特征状态包括镀膜均匀度、表面致密度；

P434：基于所述多组压克检测结果与所述整体特征状态，作为所述压克检测结果。

其中，以所述分光棱镜的多个棱镜面为划分标准，将所述预测制造棱镜进行局域性划分，划分为多个压克检测区域，并设定对应的多组局域检测窗口，也就是压克数据检测窗口，所述多组局域检测窗口对应于所述分光棱镜的多个棱镜面。分别基于所述多组局域检测窗口，对所述预测制造棱镜进行压克现象检测，获取多组压克检测结果，包括多个棱镜面的压克检测数据，进一步的，以单个棱镜面为基准，对所述多组压克检测结果进行综合性分析，所述综合性分析也就是对单个棱镜面的整体性分析，确定单个棱镜面的整体特征状态，包括镀膜均匀度、表面致密度。最后将所述多组压克检测结果与所述整体特征状态共同作为所述压克检测结果。

P500：通对所述预测制造棱镜进行分光特性检测，生成特性检测三元组，其中，所述特性检测维度包括透射特性、反射特性与偏振特性；

具体的，通过光照模拟试验，对所述预测制造棱镜进行分光特性检测，所述分光特性检测的维度包括透射特性、反射特性与偏振特性三个维度，由三个维度的分光特性检测结果组成特性检测三元组，后续可以将特性检测三元组为基准进行反向递推与抛光补偿，也就是以最终能效为基准进行前置的控制补偿，以进行柔性自适应抛光校准。

进一步的，如图3所示，本申请实施例步骤P500还包括：

P510：获取所述目标分光棱镜的标准分光特性，基于标准分光特征确定临界特性阈值；

P520：配置多元化测试光束，对所述预测制造棱镜进行分光特性检测，确定基于透射特性、反射特性与偏振特性的多组检测结果；

P530：对所述多组检测结果进行规整与表征转换，生成所述特性检测三元组。

示例性的，通过目标分光棱镜的制造需求，获取所述目标分光棱镜的标准分光特性，包括标准透射特性、标准反射特性与标准偏振特性，并基于标准分光特征确定临界特性阈值，所述临界特性阈值也就是目标分光棱镜的各分光特性的阈值，也就是质量最低标准。进一步的，配置多元化测试光束，也就是多个不同强度和照射范围的测试光束，分别使用所述多元化测试光束对所述预测制造棱镜进行照射，来对所述预测制造棱镜进行分光特性检测，获得多个透射特性、反射特性与偏振特性，分别将其与临界特性阈值进行差值计算，判断所述预测制造棱镜的分光特性与临界特性阈值的差异度，由此获得包含透射特性、反射特性与偏振特性的多组检测结果。最后，将所述多组检测结果进行规整与表征转换，所述表征转换就是数据格式转换，生成所述特性检测三元组。

进一步的，本申请实施例步骤P520还包括：

P521：基于所述目标分光棱镜的不同入射角度与测试光束特征，对所述临界特性阈值进行一次校准，确定多个调整特性阈值；

P522：获取测试环境光线特征，对所述多个调整特性阈值进行二次校准，确定多个适应性特性阈值，所述多个适应性特性阈值与所述多元化测试光束一一对应；

P523：以所述多个适应性特性阈值为基准，对所述多元化测试光束进行多维度分光特性检测，确定多组检测结果，所述多组检测结果标识有基于检测特性与所述多个适应性特征阈值的差异度。

可选的，根据所述目标分光棱镜的不同入射角度与不同测试光束特征，针对不同入射角度与不同测试光束特征的光束照射试验，对所述临界特性阈值进行一次校准，确定多个调整特性阈值。进一步的，通过环境模拟数据提取，获取测试环境光线特征，基于测试环境光线特征，对所述多个调整特性阈值进行二次校准，确定多个适应性特性阈值，所述多个适应性特性阈值与所述多元化测试光束一一对应。

进一步的，以所述多个适应性特性阈值为基准，对所述多元化测试光束进行多个维度的分光特性检测，并将检测数据与对应的所述多个适应性特性阈值进行差值计算，获得多个差异度，由多个分光特性检测数据和多个差异度组成多组检测结果。

进一步的，本申请实施例步骤P523还包括：

P523-1：基于所述多元化测试光束提取第一测试光束，于所述目标分光棱镜进行测试，获取第一光路；

P523-2：基于所述第一光路，确定第一分光面、第二分光面直至第N分光面；

P523-3：基于所述第一分光面，确定第一透射检测结果、第一反射检测结果与第一偏振检测结果，作为第一分光面检测结果；

P523-4：遍历N个分光面进行分光特性分析，直至完成第N分光面检测结果的检测；

P523-5：对所述第一分光面检测结果直至所述第N分光面检测结果与所述N个分光面进行映射，获取一组检测结果。

具体的，从所述多元化测试光束中随机提取一个测试光束作为第一测试光束，使用第一测试光束对所述目标分光棱镜进行测试，获取第一光路，也就是所述第一测试光束在所述目标分光棱镜中的反射光路，基于所述第一光路，确定所述第一光路经过的第一分光面、第二分光面直至第N分光面。进一步的，基于所述第一分光面，确定第一透射检测结果、第一反射检测结果与第一偏振检测结果，作为第一分光面检测结果，以此类推，遍历N个分光面进行分光特性分析，直至完成第N分光面检测结果的检测，进一步的，对所述第一分光面检测结果至所述第N分光面检测结果与所述N个分光面进行映射，也就是进行分光特性差异度计算，获取基于所述第一光路的一组检测结果。

P600：以所述因素系数矩阵为限制，结合所述压克检测结果与所述特性检测三元组确定补偿寻优约束，对所述目标抛光控制方案进行补偿调整与寻优分析，确定优化抛光控制方案；

应当理解的是，以所述因素系数矩阵为所述目标抛光控制方案的调整约束，结合所述压克检测结果与所述特性检测三元组确定补偿寻优约束，所述补偿寻优约束就是所述目标抛光控制方案的参数调整范围，基于补偿寻优约束，对所述目标抛光控制方案进行补偿调整，得到多个优化后的目标抛光控制方案，进而使用寻优算法进行方案寻优，示例性地，使用入侵杂草优化算法进行方案寻优，该算法模拟杂草种子在自然界的扩散、生长、繁殖和竞争性消亡的基本过程，具有很强的鲁棒性和自适应性，能够有效地收敛于问题的最优解。通过构建适应度函数计算每个方案的适应度，再根据适应度大小选择最优方案，进而确定优化抛光控制方案。

P700：基于所述优化抛光控制方案，进行所述目标分光棱镜的抛光控制。

具体的，根据所述优化抛光控制方案，设置抛光设备的抛光次数、抛光位置、抛光角度等抛光参数，对所述目标分光棱镜进行抛光控制，以减少压克比例，提高目标分光棱镜的质量，同时提高抛光作业效率。

综上所述，本申请实施例至少具有如下技术效果：

本申请通过配置目标抛光控制方案，并结合镀膜标准与镀膜影响因素，配置因素系数矩阵，然后通过拟真镀膜作业，获取预测制造棱镜，并对其进行压克现象检测，确定压克检测结果，对其进行分光特性检测，生成特性检测三元组；接着以因素系数矩阵为限制，结合压克检测结果与特性检测三元组确定补偿寻优约束，通过补偿寻优约束确定优化抛光控制方案，最后基于优化抛光控制方案，进行目标分光棱镜的抛光控制。

达到了通过设计专用治具进行分光棱镜镀膜抛光，减少对人工操作的依赖，进而减少压克比例，提高抛光镀膜的均匀性和抛光作业效率的技术效果。

实施例二

基于与前述实施例中一种用于分光棱镜镀膜的抛光控制方法相同的发明构思，如图4所示，本申请提供了一种用于分光棱镜镀膜的抛光控制方法系统，本申请实施例中的系统与方法实施例基于同样的发明构思。其中，所述系统包括：

目标抛光控制方案配置模块11，所述目标抛光控制方案配置模块11用于基于目标分光棱镜的制造需求，配置用于抛光设备的目标抛光控制方案；

因素系数矩阵配置模块12，所述因素系数矩阵配置模块12用于结合镀膜标准与镀膜影响因素，确定因素特征值并进行矩阵化，配置因素系数矩阵；

预测制造棱镜获取模块13，所述预测制造棱镜获取模块13用于结合构建的可视化拟真处理模型，对基于所述目标抛光控制方案作业获取的目标抛光棱镜进行拟真镀膜作业，获取预测制造棱镜，所述可视化拟真处理模型基于数字孪生技术于连接的可视化仿真平台进行搭建；

压克检测结果确定模块14，所述压克检测结果确定模块14用于对所述预测制造棱镜进行压克现象检测，确定压克检测结果，所述压克检测结果为包括压克现象－压克比例－压克位置－改性限度的检测序列；

特性检测三元组生成模块15，所述特性检测三元组生成模块15用于对所述预测制造棱镜进行分光特性检测， 生成特性检测三元组，其中，特性检测维度包括透射特性、反射特性与偏振特性；

优化抛光控制方案确定模块16，所述优化抛光控制方案确定模块16用于以所述因素系数矩阵为限制，结合所述压克检测结果与所述特性检测三元组确定补偿寻优约束，对所述目标抛光控制方案进行补偿调整与寻优分析，确定优化抛光控制方案；

抛光控制模块17，所述抛光控制模块17用于基于所述优化抛光控制方案，进行所述目标分光棱镜的抛光控制。

进一步的，所述因素系数矩阵配置模块12还用于执行以下步骤：

基于镀膜标准，确定一维特征值，所述一维特征值包括膜厚、膜料与膜层分布；

基于所述镀膜影响因素，确定二维特征值，所述二维特征值包括环境影响因素与镀膜控制影响因素；

以所述镀膜标准与所述镀膜影响因素为矩阵行，以不同制造需求为矩阵列，以所述一维特征值与所述二维特征值为矩阵项，搭建所述因素系数矩阵。

进一步的，所述压克检测结果确定模块14还用于执行以下步骤：

针对多元化压克现象，配置适配检测方式；

基于所述适配检测方式，对所述预测制造棱镜进行压克现象检测，确定检测压克现象并进行压克特征识别提取，结合压克数据库进行映射匹配，确定特征匹配信息；

对所述压克现象、所述压克特征与所述特征匹配信息进行序列化整合，生成所述压克检测结果。

进一步的，所述压克检测结果确定模块14还用于执行以下步骤：

对所述预测制造棱镜进行局域性划分，确定多组局域检测窗口，所述多组局域检测窗口对应于所述分光棱镜的多个棱镜面；

对所述多组局域检测窗口进行压克现象检测，获取多组压克检测结果；

以棱镜面为基准，对所述多组压克检测结果进行综合性分析，确定整体特征状态，所述整体特征状态包括镀膜均匀度、表面致密度；

基于所述多组压克检测结果与所述整体特征状态，作为所述压克检测结果。

进一步的，所述特性检测三元组生成模块15还用于执行以下步骤：

获取所述目标分光棱镜的标准分光特性，基于标准分光特征确定临界特性阈值；

配置多元化测试光束，对所述预测制造棱镜进行分光特性检测，确定基于透射特性、反射特性与偏振特性的多组检测结果；

对所述多组检测结果进行规整与表征转换，生成所述特性检测三元组。

进一步的，所述特性检测三元组生成模块15还用于执行以下步骤：

基于所述目标分光棱镜的不同入射角度与测试光束特征，对所述临界特性阈值进行一次校准，确定多个调整特性阈值；

获取测试环境光线特征，对所述多个调整特性阈值进行二次校准，确定多个适应性特性阈值，所述多个适应性特性阈值与所述多元化测试光束一一对应；

以所述多个适应性特性阈值为基准，对所述多元化测试光束进行多维度分光特性检测，确定多组检测结果，所述多组检测结果标识有基于检测特性与所述多个适应性特征阈值的差异度。

进一步的，所述特性检测三元组生成模块15还用于执行以下步骤：

基于所述多元化测试光束提取第一测试光束，于所述目标分光棱镜进行测试，获取第一光路；

基于所述第一光路，确定第一分光面、第二分光面直至第N分光面；

基于所述第一分光面，确定第一透射检测结果、第一反射检测结果与第一偏振检测结果，作为第一分光面检测结果；

遍历N个分光面进行分光特性分析，直至完成第N分光面检测结果的检测；

对所述第一分光面检测结果直至所述第N分光面检测结果与所述N个分光面进行映射，获取一组检测结果。

需要说明的是，上述本申请实施例先后顺序仅仅为了描述，不代表实施例的优劣。且上述对本说明书特定实施例进行了描述。其它实施例在所附权利要求书的范围内。在一些情况下，在权利要求书中记载的动作或步骤可以按照不同于实施例中的顺序来执行并且仍然可以实现期望的结果。另外，在附图中描绘的过程不一定要求示出的特定顺序或者连续顺序才能实现期望的结果。在某些实施方式中，多任务处理和并行处理也是可以的或者可能是有利的。

以上所述仅为本申请的较佳实施例，并不用以限制本申请，凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

本说明书和附图仅仅是本申请的示例性说明，且视为已覆盖本申请范围内的任意和所有修改、变化、组合或等同物。显然，本领域的技术人员可以对本申请进行各种改动和变型而不脱离本申请的范围。这样，倘若本申请的这些修改和变型属于本申请及其等同技术的范围之内，则本申请意图包括这些改动和变型在内。

Claims (8)

1.一种用于分光棱镜镀膜的抛光控制方法，其特征在于，所述方法包括：

基于目标分光棱镜的制造需求，配置用于抛光设备的目标抛光控制方案；

结合镀膜标准与镀膜影响因素，确定因素特征值并进行矩阵化，配置因素系数矩阵；

结合构建的可视化拟真处理模型，对基于所述目标抛光控制方案作业获取的目标抛光棱镜进行拟真镀膜作业，获取预测制造棱镜，所述可视化拟真处理模型基于数字孪生技术于连接的可视化仿真平台进行搭建；

对所述预测制造棱镜进行压克现象检测，确定压克检测结果，所述压克检测结果为包括压克现象－压克比例－压克位置－改性限度的检测序列；

对所述预测制造棱镜进行分光特性检测，生成特性检测三元组，其中，特性检测维度包括透射特性、反射特性与偏振特性；

以所述因素系数矩阵为限制，结合所述压克检测结果与所述特性检测三元组确定补偿寻优约束，对所述目标抛光控制方案进行补偿调整与寻优分析，确定优化抛光控制方案；

基于所述优化抛光控制方案，进行所述目标分光棱镜的抛光控制。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述配置因素系数矩阵，所述方法包括：

基于镀膜标准，确定一维特征值，所述一维特征值包括膜厚、膜料与膜层分布；

基于所述镀膜影响因素，确定二维特征值，所述二维特征值包括环境影响因素与镀膜控制影响因素；

以所述镀膜标准与所述镀膜影响因素为矩阵行，以不同制造需求为矩阵列，以所述一维特征值与所述二维特征值为矩阵项，搭建所述因素系数矩阵。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对所述预测制造棱镜进行压克现象检测，确定压克检测结果，所述方法还包括：

针对多元化压克现象，配置适配检测方式；

基于所述适配检测方式，对所述预测制造棱镜进行压克现象检测，确定检测压克现象并进行压克特征识别提取，结合压克数据库进行映射匹配，确定特征匹配信息；

对所述压克现象、所述压克特征与所述特征匹配信息进行序列化整合，生成所述压克检测结果。

4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，所述生成所述压克检测结果，所述方法还包括：

对所述预测制造棱镜进行局域性划分，确定多组局域检测窗口，所述多组局域检测窗口对应于所述分光棱镜的多个棱镜面；

对所述多组局域检测窗口进行压克现象检测，获取多组压克检测结果；

以棱镜面为基准，对所述多组压克检测结果进行综合性分析，确定整体特征状态，所述整体特征状态包括镀膜均匀度、表面致密度；

基于所述多组压克检测结果与所述整体特征状态，作为所述压克检测结果。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对所述预测制造棱镜进行分光特性检测，生成特性检测三元组，所述方法还包括：

获取所述目标分光棱镜的标准分光特性，基于标准分光特征确定临界特性阈值；

配置多元化测试光束，对所述预测制造棱镜进行分光特性检测，确定基于透射特性、反射特性与偏振特性的多组检测结果；

对所述多组检测结果进行规整与表征转换，生成所述特性检测三元组。

6.如权利要求5所述的方法，其特征在于，所述配置多元化测试光束，对所述预测制造棱镜进行分光特性检测，所述方法还包括：

基于所述目标分光棱镜的不同入射角度与测试光束特征，对所述临界特性阈值进行一次校准，确定多个调整特性阈值；

获取测试环境光线特征，对所述多个调整特性阈值进行二次校准，确定多个适应性特性阈值，所述多个适应性特性阈值与所述多元化测试光束一一对应；

以所述多个适应性特性阈值为基准，对所述多元化测试光束进行多维度分光特性检测，确定多组检测结果，所述多组检测结果标识有基于检测特性与所述多个适应性特征阈值的差异度。

7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，所述对所述多元化测试光束进行多维度分光特性检测，所述方法还包括：

基于所述多元化测试光束提取第一测试光束，于所述目标分光棱镜进行测试，获取第一光路；

基于所述第一光路，确定第一分光面、第二分光面直至第N分光面；

基于所述第一分光面，确定第一透射检测结果、第一反射检测结果与第一偏振检测结果，作为第一分光面检测结果；

遍历N个分光面进行分光特性分析，直至完成第N分光面检测结果的检测；

对所述第一分光面检测结果直至所述第N分光面检测结果与所述N个分光面进行映射，获取一组检测结果。

8.一种用于分光棱镜镀膜的抛光控制方法系统，其特征在于，所述系统包括：

目标抛光控制方案配置模块，所述目标抛光控制方案配置模块用于基于目标分光棱镜的制造需求，配置用于抛光设备的目标抛光控制方案；

因素系数矩阵配置模块，所述因素系数矩阵配置模块用于结合镀膜标准与镀膜影响因素，确定因素特征值并进行矩阵化，配置因素系数矩阵；

预测制造棱镜获取模块，所述预测制造棱镜获取模块用于结合构建的可视化拟真处理模型，对基于所述目标抛光控制方案作业获取的目标抛光棱镜进行拟真镀膜作业，获取预测制造棱镜，所述可视化拟真处理模型基于数字孪生技术于连接的可视化仿真平台进行搭建；

压克检测结果确定模块，所述压克检测结果确定模块用于对所述预测制造棱镜进行压克现象检测，确定压克检测结果，所述压克检测结果为包括压克现象－压克比例－压克位置－改性限度的检测序列；

特性检测三元组生成模块，所述特性检测三元组生成模块用于对所述预测制造棱镜进行分光特性检测， 生成特性检测三元组，其中，特性检测维度包括透射特性、反射特性与偏振特性；

优化抛光控制方案确定模块，所述优化抛光控制方案确定模块用于以所述因素系数矩阵为限制，结合所述压克检测结果与所述特性检测三元组确定补偿寻优约束，对所述目标抛光控制方案进行补偿调整与寻优分析，确定优化抛光控制方案；

抛光控制模块，所述抛光控制模块用于基于所述优化抛光控制方案，进行所述目标分光棱镜的抛光控制。