CN117226302A - 激光切割控制方法、装置、设备以及存储介质 - Google Patents

Abstract

本申请实施例提供了一种激光切割控制方法、装置、设备以及存储介质，该方法包括：通过接收到上位机输出的点位关联信息时，在点位关联信息中的当前工作模式为周期触发模式的情况下，基于点位关联信息中的起始开光坐标、边界点坐标以及周期分段信息确定第一坐标序列；基于预设补偿规则对第一坐标序列进行坐标补偿得到第二坐标序列，以作为激光状态切换的目标位置序列；根据第二坐标序列以及获取到的实时切割位置信息控制激光器进行周期切割作业。实现了在激光驱动器内部实现开关光点位的计算过程，降低上位机与激光驱动器的数据传输量，减少数据传输所消耗的时间，有利于提高激光切割效率，同时降低开关光点位的数据丢失风险。

Description

激光切割控制方法、装置、设备以及存储介质

技术领域

本申请实施例涉及激光加工领域，尤其涉及一种激光切割控制方法、装置、设备以及存储介质。

背景技术

激光加工技术广泛应用于半导体制造行业，例如，通过激光切割可以进行晶圆切割得到多个芯片。常用的激光切割方式为两点触发或周期触发，其中在两点触发方式中仅设置一组开关光点来实现整条切割道开槽，而在周期触发方式中需要在一条切割道上通过不断切换开关光状态实现“虚线切割”，适用于异形芯片、不规则形状芯片组合或芯片偏移排布的晶圆切割。通常来说，上位机根据选择的激光切割方式计算出开关光坐标，并通过PLC将该计算结果输出至激光驱动器，由激光驱动器驱动激光器进行切割作业。

然而，与两点触发方式不同，在周期触发方式下，上位机需要将计算得到的数据量较大的开关光点位数据输出至激光驱动器，会导致在数据传输上消耗过多时间，造成不必要的延时，影响激光切割作业的效率。

发明内容

本申请实施例提供了一种激光切割控制方法、装置、设备以及存储介质，解决因上位机需要将数据量较大的计算结果输出至激光驱动器导致在数据传输上耗时过大，造成不必要的延时，影响激光切割作业的效率的问题，实现了在激光驱动器内部实现开关光点位的计算过程，降低上位机与激光驱动器的数据传输量，减少数据传输所消耗的时间，有利于提高激光切割效率，同时降低开关光点位的数据丢失风险。

第一方面，本申请实施例提供了一种激光切割控制方法，应用于激光驱动器，所述激光驱动器设置的工作模式包括周期触发模式；

所述激光切割控制方法包括：

接收到上位机输出的点位关联信息时，在所述点位关联信息中的当前工作模式为周期触发模式的情况下，基于所述点位关联信息中的起始开光坐标、边界点坐标以及周期分段信息确定第一坐标序列；

基于预设补偿规则对所述第一坐标序列进行坐标补偿得到第二坐标序列，以作为激光状态切换的目标位置序列；

根据所述第二坐标序列以及获取到的实时切割位置信息控制激光器进行周期切割作业。

可选的，所述边界点坐标包括起始边界坐标以及结束边界坐标，所述周期分段信息包括单位周期段数以及段距信息；

所述基于所述点位关联信息中的起始开光坐标、边界点坐标以及周期分段信息确定第一坐标序列，包括：

根据单位周期段数以及段距信息，确定单位周期内的分段序列；

将起始开光坐标作为计算基准点，并结合所述分段序列进行指向所述起始边界坐标以及结束边界坐标的坐标推算，得到第一坐标序列。

可选的，所述将起始开光坐标作为计算基准点，并结合所述分段序列进行指向所述起始边界坐标以及结束边界坐标的坐标推算，得到第一坐标序列，包括：

将起始开光坐标作为计算基准点按照倒序减去所述分段序列中的每一个元素值，并将每次计算结果添加至反推坐标序列，循环直至最近的计算结果小于所述起始边界坐标；

根据所述反推坐标序列的元素个数的奇偶性以及所述起始边界坐标，确定所述反推坐标序列的末端元素值；

将起始开光坐标作为计算基准点按照正序加上所述分段序列中的每一个元素值，并将每次计算结果添加至正推坐标序列，循环直至最近的计算结果大于所述结束边界坐标；

根据所述正推坐标序列的元素个数的奇偶性以及所述结束边界坐标，确定所述正推坐标序列的末端元素值；

将所述反推坐标序列以及正推坐标序列进行按序组合得到所述第一坐标序列。

可选的，所述基于预设补偿规则对所述第一坐标序列进行坐标补偿得到第二坐标序列，包括：

基于所述第一坐标序列中每个第一坐标点的坐标位置、设置的补偿起点以及补偿间隔，确定每个所述第一坐标点对应的补偿区间；

根据每个所述第一坐标点对应的补偿区间以及设置的参考补偿信息，确定每个所述第一坐标点对应的坐标补偿值；

根据每个所述第一坐标点对应的坐标补偿值，对所述第一坐标序列进行补偿得到第二坐标序列，所述第二坐标序列为激光状态切换的目标位置序列。

可选的，所述根据每个所述第一坐标点对应的补偿区间以及设置的参考补偿信息，确定每个所述第一坐标点对应的坐标补偿值，包括：

确定每个所述第一坐标点对应的补偿区间的第一端点坐标以及第二端点坐标，所述第二端点坐标大于所述第一端点坐标；

从设置的参考补偿信息中提取与每个所述第一坐标点对应的第一端点坐标以及第二端点坐标对应的第一补偿值以及第二补偿值；

根据每个所述第一坐标点位于对应的补偿区间的位置确定补偿比例；

基于每个所述第一坐标点对应的第一补偿值和第二补偿值的差值结果以及所述补偿比例，确定每个所述第一坐标点对应的坐标补偿值。

可选的，所述工作模式包括两点触发模式；

在所述接收到上位机输出的点位关联信息之后，还包括：

在所述点位关联信息中的当前工作模式为两点触发模式的情况下，将所述点位关联信息中的起始边界坐标确定为起始开光坐标，以及结束边界坐标确定为结束关光坐标；

根据所述起始开光坐标、结束关光坐标以及获取到的实时切割位置信息控制激光器进行两点切割作业。

可选的，在基于预设补偿规则对所述第一坐标序列进行坐标补偿得到第二坐标序列之后，还包括：

基于所述当前工作模式设置完成标志信息，并将所述完成标志信息输出至所述上位机。

第二方面，本申请实施例还提供了一种激光切割控制装置，所述激光切割控制装置包括：

点位确定单元，配置为接收到上位机输出的点位关联信息时，在所述点位关联信息中的当前工作模式为周期触发模式的情况下，基于所述点位关联信息中的起始开光坐标、边界点坐标以及周期分段信息确定第一坐标序列；

点位补偿单元，配置为基于预设补偿规则对所述第一坐标序列进行坐标补偿得到第二坐标序列，以作为激光状态切换的目标位置序列；

周期切割单元，配置为根据所述第二坐标序列以及获取到的实时切割位置信息控制激光器进行周期切割作业。

可选的，所述边界点坐标包括起始边界坐标以及结束边界坐标，所述周期分段信息包括单位周期段数以及段距信息；

点位确定单元，包括：

分段序列确定单元，配置为根据单位周期段数以及段距信息，确定单位周期内的分段序列；

点位推算模块，配置为将起始开光坐标作为计算基准点，并结合所述分段序列进行指向所述起始边界坐标以及结束边界坐标的坐标推算，得到第一坐标序列。

可选的，点位推算模块，还具体配置为

将起始开光坐标作为计算基准点按照倒序减去所述分段序列中的每一个元素值，并将每次计算结果添加至反推坐标序列，循环直至最近的计算结果小于所述起始边界坐标；

根据所述反推坐标序列的元素个数的奇偶性以及所述起始边界坐标，确定所述反推坐标序列的末端元素值；

将起始开光坐标作为计算基准点按照正序加上所述分段序列中的每一个元素值，并将每次计算结果添加至正推坐标序列，循环直至最近的计算结果大于所述结束边界坐标；

根据所述正推坐标序列的元素个数的奇偶性以及所述结束边界坐标，确定所述正推坐标序列的末端元素值；

将所述反推坐标序列以及正推坐标序列进行按序组合得到所述第一坐标序列。

可选的，点位补偿单元，包括：

补偿区间确定模块，配置为基于所述第一坐标序列中每个第一坐标点的坐标位置、设置的补偿起点以及补偿间隔，确定每个所述第一坐标点对应的补偿区间；

坐标补偿确定模块，配置为根据每个所述第一坐标点对应的补偿区间以及设置的参考补偿信息，确定每个所述第一坐标点对应的坐标补偿值；

序列补偿模块，配置为根据每个所述第一坐标点对应的坐标补偿值，对所述第一坐标序列进行补偿得到第二坐标序列，所述第二坐标序列为激光状态切换的目标位置序列。

可选的，坐标补偿确定模块，还具体配置为：

确定每个所述第一坐标点对应的补偿区间的第一端点坐标以及第二端点坐标，所述第二端点坐标大于所述第一端点坐标；

从设置的参考补偿信息中提取与每个所述第一坐标点对应的第一端点坐标以及第二端点坐标对应的第一补偿值以及第二补偿值；

根据每个所述第一坐标点位于对应的补偿区间的位置确定补偿比例；

基于每个所述第一坐标点对应的第一补偿值和第二补偿值的差值结果以及所述补偿比例，确定每个所述第一坐标点对应的坐标补偿值。

可选的，所述工作模式包括两点触发模式；

激光切割控制装置，还包括：

两点确定单元，配置为在所述点位关联信息中的当前工作模式为两点触发模式的情况下，将所述点位关联信息中的起始边界坐标确定为起始开光坐标，以及结束边界坐标确定为结束关光坐标；

两点切割单元，配置为根据所述起始开光坐标、结束关光坐标以及获取到的实时切割位置信息控制激光器进行两点切割作业。

可选的，激光切割控制装置，还包括：

完成信息输出单元，配置为基于所述当前工作模式设置完成标志信息，并将所述完成标志信息输出至所述上位机。

第三方面，本申请实施例还提供了一种激光切割控制设备，该设备包括：一个或多个处理器；存储装置，配置为存储一个或多个程序，当所述一个或多个程序被所述一个或多个处理器执行，使得所述一个或多个处理器实现本申请实施例所述的激光切割控制方法。

第四方面，本申请实施例还提供了一种存储计算机可执行指令的非易失性存储介质，所述计算机可执行指令在由计算机处理器执行时配置为执行本申请实施例所述的激光切割控制方法。

本申请实施例中，通过接收到上位机输出的点位关联信息时，在点位关联信息中的当前工作模式为周期触发模式的情况下，基于点位关联信息中的起始开光坐标、边界点坐标以及周期分段信息确定第一坐标序列；基于预设补偿规则对第一坐标序列进行坐标补偿得到第二坐标序列，以作为激光状态切换的目标位置序列；根据第二坐标序列以及获取到的实时切割位置信息控制激光器进行周期切割作业。实现了在激光驱动器内部实现开关光点位的计算过程，降低上位机与激光驱动器的数据传输量，减少数据传输所消耗的时间，有利于提高激光切割效率，同时降低开关光点位的数据丢失风险。

附图说明

图1为本申请实施例提供的一种激光切割控制方法的流程图；

图2为示例的用于异型芯片切割的点位关联信息的示意图；

图3为本申请实施例提供的一种确定第一坐标序列的方法的流程图；

图4为本申请实施例提供的一种确定第一坐标序列的具体推算过程的流程图；

图5为本申请实施例提供的一种激光切割定位推算的方法的示意图；

图6为本申请实施例提供的一种对第一坐标序列进行坐标补偿得到第二坐标序列的方法的流程图；

图7为本申请实施例提供的一种确定每个第一坐标点对应的坐标补偿值的方法的流程图；

图8为本申请实施例提供的一种激光切割控制装置的结构框图；

图9为本申请实施例提供的一种激光切割控制设备的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本申请实施例作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本申请实施例，而非对本申请实施例的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本申请实施例相关的部分而非全部结构。

本申请的说明书和权利要求书中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便本申请的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施，且“第一”、“第二”等所区分的对象通常为一类，并不限定对象的个数，例如第一对象可以是一个，也可以是多个。此外，说明书以及权利要求中“和/或”表示所连接对象的至少其中之一，字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。

图1为本申请实施例提供的一种激光切割控制方法的流程图，该激光切割控制方法应用于激光驱动器，其中，激光驱动器为将电信号转化为光信号驱动激光器工作的装置，可以控制激光器的输出功率、工作状态等参数。具体的，激光驱动器设置的工作模式可以包括两点触发模式以及周期触发模式，其中，两点触发模式为基于一组开关光点控制激光器实现整条切割道开槽，而周期触发模式为基于开关光点交替设置的坐标序列控制激光器实现一条切割道上开关光状态不断切换的“虚线切割”，相当于激光器在激光驱动器的控制作用下依照周期性规律交替开关光，适用于异形芯片、不规则形状芯片组合或芯片偏移排布的晶圆切割。如图1所示，该激光切割控制方法具体包括如下步骤：

步骤S101、接收到上位机输出的点位关联信息时，在点位关联信息中的当前工作模式为周期触发模式的情况下，基于点位关联信息中的起始开光坐标、边界点坐标以及周期分段信息确定第一坐标序列。

值得说明的是，上位机以及激光驱动器之间可以通过PLC进行数据传输，上位机可以通过PLC将用于激光切割控制的点位关联信息发送至激光驱动器，其中，点位关联信息可以包括当前工作模式、边界点坐标、起始开光坐标以及周期分段信息。具体的，激光驱动器设置的工作模式可以包括两点触发模式以及周期触发模式，两点触发模式可以进一步分为正方向运动触发以及反方向运动触发的两种模式，周期触发模式同样可以进一步分为正方向运动触发以及反方向运动触发的两种模式；边界点坐标可以包括起始边界坐标以及结束边界坐标，起始边界坐标可以是用于指示切割道的左边界轴坐标，结束边界坐标可以是用于指示切割道的右边界轴坐标，在两点触发模式下，边界点坐标可以直接作为开关光位置坐标，而在周期触发模式下，边界点坐标可以作为周期性推算的范围限定。周期分段信息可以包括单位周期段数以及段距信息，单位周期段数可以是一个完整周期所含的段数，例如，开光段均为相同长度，并且关光段也均为相同长度，那么段数可以是2；段距信息可以是定义一个完整周期中每段的距离值，例如，单位周期段数为2，那么段距信息会包括两个距离值。

此外，图2为示例的用于异型芯片切割的点位关联信息的示意图，如图2所示，单位周期段数为2，段距信息会包括两个距离值GAP[1]和GAP[2]，由于单位周期长度以及周期分布取决于晶圆大小以及芯片的特征图案，因而切割道上单位周期分布是确定的，在周期触发模式下，边界点坐标不一定是一个完整周期的开始，例如，起始边界坐标可能处于一个完整周期的某个开光段或关光段内部，不能以此为起点开始周期性推算。因而上位机会提供第一个完整周期的起点坐标，也就是起始开光坐标，激光驱动器会将该起始开光坐标作为周期性推算的起点。因而激光驱动器可以基于起始开光坐标以及周期分段信息来进行坐标推算得到激光器需要进行激光状态切换的位置点，并以边界点坐标为参考来确定推算停止位置，从而得到第一坐标序列，由于最后的推算位置不一定与边界点坐标重合，因而可以根据开关光分段来确定采用推算停止位置还是边界点位置的坐标作为第一坐标序列的末端位置坐标。

在一个实施例中，图3为本申请实施例提供的一种确定第一坐标序列的方法的流程图，边界点坐标包括起始边界坐标以及结束边界坐标，周期分段信息包括单位周期段数以及段距信息，如图3所示，确定第一坐标序列的具体过程包括以下步骤：

步骤S1011、根据单位周期段数以及段距信息，确定单位周期内的分段序列。

其中，单位周期段数可以是单位周期长度的划分段数，相当于在单位周期长度内开关光分段的段数，例如，单位周期段数为2，那么单位周期长度被划分为开光段以及关光段共两段，又例如，单位周期段数为3，那么单位周期长度被划分为开光段、关光段以及开光段共三段。此外，段距信息可以是确定单位周期长度内每段的长度值，可以是数值序列的形式，因而对应于单位周期段数为2，段距信息应该有两个长度值，对应于单位周期段数为3，段距信息应该有三个长度值。由此，可以确定单位周期内的分段序列，用于后续推算激光状态切换的位置点的参考数据。

步骤S1012、将起始开光坐标作为计算基准点，并结合分段序列进行指向起始边界坐标以及结束边界坐标的坐标推算，得到第一坐标序列。

其中，由于起始开光坐标位于起始边界点以及结束边界点之间，而起始开光坐标为切割道上第一个完整周期的起点坐标，可以以起始开光坐标作为计算基准点，将分段序列的元素值作为计算因子，来分为指向起始边界坐标以及结束边界坐标的两个方向的坐标推算，可以理解的是，指向起始边界坐标的坐标推算为减法运算，而指向结束边界坐标的坐标推算为加法运算，将推算得到的坐标存储到第一坐标序列，直到推算出的坐标恰好与边界点坐标重合或超出边界点坐标，可以停止坐标推算，并根据开关光分段分布确定该第一坐标序列的末端坐标值。

在一个实施例中，图4为本申请实施例提供的一种确定第一坐标序列的具体推算过程的流程图，如图4所示，

步骤S10121、将起始开光坐标作为计算基准点按照倒序减去分段序列中的每一个元素值，并将每次计算结果添加至反推坐标序列，循环直至最近的计算结果小于起始边界坐标。

示例的，图5为本申请实施例提供的一种激光切割定位推算的方法的示意图，如图5所示，起始开光坐标为origin，分段序列为GAP[1]、GAP[2]、…、GAP[n-1]、GAP[n]、那么以起始开光坐标作为计算基准点，按照倒序减去分段序列的元素值，即以origin为起算点依次减去GAP[n]、GAP[n-1]、…、GAP[1]，循环重复可以得到反推坐标序列NArray[0]~NArray[N]，其中NArray[0]为origin，并且循环停止条件可以是NArray[N]小于等于起始边界坐标且NArray[N-1]大于起始边界坐标。

步骤S10122、根据反推坐标序列的元素个数的奇偶性以及起始边界坐标，确定反推坐标序列的末端元素值。

具体的，通过推算得到反推坐标序列后，还需要进一步确定该反推坐标序列的末端元素值，由步骤S1021可以得到反推坐标序列NArray[0]~NArray[N]，由于origin为起始开光坐标，且NArray[0]=origin，根据NArray[0]=origin为开光坐标，NArray[1]为关光坐标，NArray[2]为开光坐标，NArray[3]为关光坐标的规律，可以推知N为奇数时，NArray[N]为关光坐标，N为偶数时，NArray[N]为开光坐标，因而，当N为奇数时，NArray[N]为关光坐标，那么根据激光器沿坐标递增方向进行移动可知，NArray[N]到NArray[N-1]为关光段，那么起始边界点也位于关光段，因而激光器真正开始出现动作切换的位置为NArray[N-1]，即开始激光开光，那么反推坐标序列可以将NArray[N]排除；当N为偶数时，NArray[N]为开光坐标，那么根据激光器沿坐标递增方向进行移动可知，NArray[N]到NArray[N-1]为开光段，那么起始边界点也位于开光段，因而激光器真正开始出现动作切换的位置为起始边界点，那么NArray[N]的坐标值应该修订为起始边界坐标。

步骤S10123、将起始开光坐标作为计算基准点按照正序加上分段序列中的每一个元素值，并将每次计算结果添加至正推坐标序列，循环直至最近的计算结果大于结束边界坐标。

示例的，如图5所示，起始开光坐标为origin，分段序列为GAP[1]、GAP[2]、…、GAP[n-1]、GAP[n]、那么以起始开光坐标作为计算基准点，按照正序加上分段序列的元素值，即以origin为起算点依次加上GAP[1]、GAP[2]、…、GAP[n]，循环重复可以得到正推坐标序列PArray[0]~PArray[M]，其中PArray[0]为origin，并且循环停止条件可以是PArray[M]大于等于结束边界坐标且PArray[M-1]小于结束边界坐标。

步骤S10124、根据正推坐标序列的元素个数的奇偶性以及结束边界坐标，确定正推坐标序列的末端元素值。

具体的，通过推算得到正推坐标序列后，还需要进一步确定该正推坐标序列的末端元素值，由步骤S1023可以得到正推坐标序列PArray[0]~PArray[M]，由于origin为起始开光坐标，且PArray[0]=origin，根据PArray[0]=origin为开光坐标，PArray[1]为关光坐标，PArray[2]为开光坐标，PArray[3]为关光坐标的规律，可以推知M为奇数时，PArray[M]为关光坐标，M为偶数时，PArray[M]为开光坐标，因而，当M为奇数时，PArray[M]为关光坐标，那么根据激光器沿坐标递增方向进行移动可知，PArray[M-1]到PArray[M]为开光段，那么结束边界点也位于开光段，由于在结束边界点激光器需要关光，因而PArray[M]的坐标值应该修订为结束边界坐标；当M为偶数时，PArray[M]为开光坐标，那么根据激光器沿坐标递增方向进行移动可知，PArray[M-1]到PArray[M]为关光段，那么结束边界点也位于关光段，由于激光器在PArray[M-1]已经完成激光关光，那么正推坐标序列可以将PArray[M]排除。

步骤S10125、将反推坐标序列以及正推坐标序列进行按序组合得到第一坐标序列。

其中，示例的，若根据步骤S1021~步骤S1024可以得到反推坐标序列NArray[N]到NArray[0]以及正推坐标序列PArray[0]~PArray[M]，那么由于NArray[0]以及 PArray[0]的坐标值均为origin，进行去重按序组合后可以得到第一坐标序列为NArray[N]到NArray[1]、origin、PArray[1]~PArray[M]。

由此，可以根据激光器的开关光状态的周期切换规律，通过坐标推算的方式确定第一坐标序列，该第一坐标序列为激光状态切换的预期位置序列，符合晶圆上芯片排布规律，为控制激光器进行开关光状态切换提供有效数据参考。

可选的，激光驱动器可以通过位置比较输出功能实现激光触发，根据编码器或光栅尺对于目标轴的位置反馈，通过输出端口规律性向激光器发送脉冲。在轴运动的状态下，每经过指定位置，驱动器将立即发送脉冲，触发激光器开、关光操作。由于当开关光点间隔小于500计数脉冲时，可能会导致激光器无法执行关光，出现常出光情况，因而需要将第一坐标序列的两端出现间隔小于500计数脉冲的开关光点组合删除。

步骤S102、基于预设补偿规则对第一坐标序列进行坐标补偿得到第二坐标序列，以作为激光状态切换的目标位置序列。

其中，由于直接应用第一坐标序列进行激光器的开关光控制可能会存在位置误差，需要对第一坐标序列进行坐标补偿才能提高点位的准确性，预设补偿规则可以是基于预先拟合的函数映射关系对坐标进行补偿计算，也可以是基于坐标位置以及补偿值对应设置的列表来进行补偿，本申请在此不作限制。

在一个实施例中，可以通过对切割路线设置固定点补偿的方式，将切割路线划分为不同的补偿区间，每个补偿区间对应设置参考补偿信息，图6为本申请实施例提供的一种对第一坐标序列进行坐标补偿得到第二坐标序列的方法的流程图，如图6所示，对第一坐标序列进行坐标补偿得到第二坐标序列的具体过程包括以下步骤：

步骤S1021、基于第一坐标序列中每个第一坐标点的坐标位置、设置的补偿起点以及补偿间隔，确定每个第一坐标点对应的补偿区间。

示例的，设定第一坐标序列为F Array[0]~F Array[K]，补偿起点的坐标值为a，补偿间隔为interval，fix为向下取整函数，那么计算F Array[k]对应的补偿区间可以通过公式：fix((F Array[k]-a)/interval)计算得到，用于计算F Array[k]前面有几个完整补偿区间，则F Array[k]处于第j个补偿区间，j=fix((F Array[k]-a)/interval)+1。

步骤S1022、根据每个第一坐标点对应的补偿区间以及设置的参考补偿信息，确定每个第一坐标点对应的坐标补偿值。

可选的，图7为本申请实施例提供的一种确定每个第一坐标点对应的坐标补偿值的方法的流程图，如图7所示，定每个第一坐标点对应的坐标补偿值的具体过程包括以下步骤：

步骤S10221、确定每个第一坐标点对应的补偿区间的第一端点坐标以及第二端点坐标，第二端点坐标大于第一端点坐标；

步骤S10222、从设置的参考补偿信息中提取与每个第一坐标点对应的第一端点坐标以及第二端点坐标对应的第一补偿值以及第二补偿值；

步骤S10223、根据每个第一坐标点位于对应的补偿区间的位置确定补偿比例；

步骤S10224、基于每个第一坐标点对应的第一补偿值和第二补偿值的差值结果以及补偿比例，确定每个第一坐标点对应的坐标补偿值。

示例的，设定第一坐标点F Array[k]处于第j个补偿区间，通过第j个补偿区间的两个端点坐标进行补偿值查询，可以从设置的参考补偿信息提取出该补偿区间的第一端点坐标对应的补偿值为GP[j]，第二端点坐标对应的补偿值为GP[j+1]，由于F Array[k]介于第一端点坐标以及第二端点坐标之间，那么该坐标点的补偿值应该介于GP[j]以及GP[j+1]之间，相当于该补偿区间中的每个点均应当按照线性规律分担一部分的补偿，那么根据该第一坐标点F Array[k]处于第j个补偿区间的位置，可以确定对应的补偿比例，比如，计算第一坐标点F Array[k]距离第一端点坐标的差值Left remainder，可以通过公式：Leftremainder = (F Array[k]-PC[7]) % interval计算得到，其中，%为取余数函数，那么计算第一坐标点F Array[k]在该补偿区间所占比例Proportion，可以通过公式：Proportion =Left remainder / interval，由此，计算需要分担的补偿New error，可以通过公式：Newerror = (GP[j+1]-GP[j]) ×Proportion计算得到，可选的，在补偿单位为计数脉冲counts的情况下，需要对该补偿New error进行取整，则最终需要分担的补偿为Compensate= rnd(New error)，其中rnd为取整函数，那么对应的坐标补偿值为GP[j]+ Compensate。

步骤S1023、根据每个第一坐标点对应的坐标补偿值，对第一坐标序列进行补偿得到第二坐标序列，第二坐标序列为激光状态切换的目标位置序列。

示例的，通过前述计算过程确定坐标补偿值可以计算坐标补偿值F Array'[k]，可以通过公式：F Array'[k]=F Array[k]-(GP[j]+Compensate)计算得到。由此，可以对第一坐标序列的所有第一坐标点进行补偿得到第二坐标序列，第二坐标序列为真正触发激光器进行激光状态切换的目标位置序列。

由此，通过将第一坐标点与补偿区间位置进行比对，可以确定第一坐标点对应的补偿区间，进而基于该补偿区间的参考补偿信息来确定第一坐标点的坐标补偿值，该参考补偿信息可以是补偿区间端点对应设置的补偿值，也可以是补偿区间对应的补偿映射关系。通过坐标补偿的方式可以有效提高激光器动作点位的准确性，保障激光切割效果，提高工艺良率。

步骤S103、根据第二坐标序列以及获取到的实时切割位置信息控制激光器进行周期切割作业。

其中，实时切割位置信息可以是编码器或光栅尺对于目标轴的位置反馈信息，激光驱动器可以基于第二坐标序列对应的位置信息进行脉冲发送，来触发激光器的开、关光操作。

上述，通过接收到上位机输出的点位关联信息时，在点位关联信息中的当前工作模式为周期触发模式的情况下，基于点位关联信息中的起始开光坐标、边界点坐标以及周期分段信息确定第一坐标序列；基于预设补偿规则对第一坐标序列进行坐标补偿得到第二坐标序列，以作为激光状态切换的目标位置序列；根据第二坐标序列以及获取到的实时切割位置信息控制激光器进行周期切割作业。实现了在激光驱动器内部实现开关光点位的计算过程，降低上位机与激光驱动器的数据传输量，减少数据传输所消耗的时间，有利于提高激光切割效率，同时降低开关光点位的数据丢失风险。

在一个实施例中，工作模式还包括两点触发模式，在接收到上位机输出的点位关联信息之后，确定点位关联信息中的当前工作模式为两点触发模式的情况下，将点位关联信息中的起始边界坐标确定为起始开光坐标，以及结束边界坐标确定为结束关光坐标；根据起始开光坐标、结束关光坐标以及获取到的实时切割位置信息控制激光器进行两点切割作业。

由此，本申请实施例提供的激光切割控制方法可以同时支持两点触发模式以及周期触发模式，满足不同切割工艺的需求，适应于不同的产品加工场景。

在一个实施例中，激光驱动器内部完成点位计算后，可以向上位机反馈完成标志信息。具体的，在基于预设补偿规则对第一坐标序列进行坐标补偿得到第二坐标序列之后，还包括：

基于当前工作模式设置完成标志信息，并将完成标志信息输出至上位机。

由此，上位机可以基于该激光驱动器反馈的完成标志信息，进行驱动器的计算时间统计以及计算结果确认等，进而确定激光驱动器的计算效率以及运行状态等，为后续改良保障激光驱动器提供数据参考。

图8为本申请实施例提供的一种激光切割控制装置的结构框图，该装置配置为执行上述实施例提供的激光切割控制方法，具备执行方法相应的功能模块和有益效果。如图8所示，该装置具体包括：

点位确定单元101，配置为接收到上位机输出的点位关联信息时，在点位关联信息中的当前工作模式为周期触发模式的情况下，基于点位关联信息中的起始开光坐标、边界点坐标以及周期分段信息确定第一坐标序列；

点位补偿单元102，配置为基于预设补偿规则对第一坐标序列进行坐标补偿得到第二坐标序列，以作为激光状态切换的目标位置序列；

周期切割单元103，配置为根据第二坐标序列以及获取到的实时切割位置信息控制激光器进行周期切割作业。

在一个可能的实施例中，边界点坐标包括起始边界坐标以及结束边界坐标，周期分段信息包括单位周期段数以及段距信息；

点位确定单元101，包括：

分段序列确定单元，配置为根据单位周期段数以及段距信息，确定单位周期内的分段序列；

点位推算模块，配置为将起始开光坐标作为计算基准点，并结合分段序列进行指向起始边界坐标以及结束边界坐标的坐标推算，得到第一坐标序列。

在一个可能的实施例中，点位推算模块，还具体配置为

将起始开光坐标作为计算基准点按照倒序减去分段序列中的每一个元素值，并将每次计算结果添加至反推坐标序列，循环直至最近的计算结果小于起始边界坐标；

根据反推坐标序列的元素个数的奇偶性以及起始边界坐标，确定反推坐标序列的末端元素值；

将起始开光坐标作为计算基准点按照正序加上分段序列中的每一个元素值，并将每次计算结果添加至正推坐标序列，循环直至最近的计算结果大于结束边界坐标；

根据正推坐标序列的元素个数的奇偶性以及结束边界坐标，确定正推坐标序列的末端元素值；

将反推坐标序列以及正推坐标序列进行按序组合得到第一坐标序列。

在一个可能的实施例中，点位补偿单元102，包括：

补偿区间确定模块，配置为基于第一坐标序列中每个第一坐标点的坐标位置、设置的补偿起点以及补偿间隔，确定每个第一坐标点对应的补偿区间；

坐标补偿确定模块，配置为根据每个第一坐标点对应的补偿区间以及设置的参考补偿信息，确定每个第一坐标点对应的坐标补偿值；

序列补偿模块，配置为根据每个第一坐标点对应的坐标补偿值，对第一坐标序列进行补偿得到第二坐标序列，第二坐标序列为激光状态切换的目标位置序列。

在一个可能的实施例中，坐标补偿确定模块，还具体配置为：

确定每个第一坐标点对应的补偿区间的第一端点坐标以及第二端点坐标，第二端点坐标大于第一端点坐标；

从设置的参考补偿信息中提取与每个第一坐标点对应的第一端点坐标以及第二端点坐标对应的第一补偿值以及第二补偿值；

根据每个第一坐标点位于对应的补偿区间的位置确定补偿比例；

基于每个第一坐标点对应的第一补偿值和第二补偿值的差值结果以及补偿比例，确定每个第一坐标点对应的坐标补偿值。

在一个可能的实施例中，工作模式包括两点触发模式；

激光切割控制装置，还包括：

两点确定单元，配置为在点位关联信息中的当前工作模式为两点触发模式的情况下，将点位关联信息中的起始边界坐标确定为起始开光坐标，以及结束边界坐标确定为结束关光坐标；

两点切割单元，配置为根据起始开光坐标、结束关光坐标以及获取到的实时切割位置信息控制激光器进行两点切割作业。

在一个可能的实施例中，激光切割控制装置，还包括：

完成信息输出单元，配置为基于当前工作模式设置完成标志信息，并将完成标志信息输出至上位机。

图9为本申请实施例提供的一种激光切割控制设备的结构示意图，如图9所示，该设备包括处理器201、存储器202、输入装置203和输出装置204；设备中处理器201的数量可以是一个或多个，图9中以一个处理器201为例；设备中的处理器201、存储器202、输入装置203和输出装置204可以通过总线或其他方式连接，图9中以通过总线连接为例。存储器202作为一种计算机可读存储介质，可配置为存储软件程序、计算机可执行程序以及模块，如本申请实施例中的激光切割控制方法对应的程序指令/模块。处理器201通过运行存储在存储器202中的软件程序、指令以及模块，从而执行设备的各种功能应用以及数据处理，即实现上述的激光切割控制方法。输入装置203可配置为接收输入的数字或字符信息，以及产生与设备的用户设置以及功能控制有关的键信号输入。输出装置204可包括显示屏等显示设备。

上述提供的激光切割控制设备可用于执行上述任一实施例提供的激光切割控制方法，具备相应的功能和有益效果。

本申请实施例还提供一种包含计算机可执行指令的非易失性存储介质，所述计算机可执行指令在由计算机处理器执行时配置为执行一种上述实施例描述的激光切割控制方法，其中，包括：接收到上位机输出的点位关联信息时，在所述点位关联信息中的当前工作模式为周期触发模式的情况下，基于所述点位关联信息中的起始开光坐标、边界点坐标以及周期分段信息确定第一坐标序列；基于预设补偿规则对所述第一坐标序列进行坐标补偿得到第二坐标序列，以作为激光状态切换的目标位置序列；根据所述第二坐标序列以及获取到的实时切割位置信息控制激光器进行周期切割作业。

存储介质——任何的各种类型的存储器设备或存储设备。术语“存储介质”旨在包括：安装介质，例如CD-ROM、软盘或磁带装置；计算机系统存储器或随机存取存储器，诸如DRAM、DDR RAM、SRAM、EDO RAM，兰巴斯(Rambus)RAM等；非易失性存储器，诸如闪存、磁介质以及光存储；寄存器或其它相似类型的存储器元件等。存储介质可以还包括其它类型的存储器或其组合。另外，存储介质可以位于程序在其中被执行的第一计算机系统中，或者可以位于不同的第二计算机系统中，第二计算机系统通过网络(诸如因特网)连接到第一计算机系统。第二计算机系统可以提供程序指令给第一计算机用于执行。术语“存储介质”可以包括驻留在不同位置中(例如在通过网络连接的不同计算机系统中)的两个或更多存储介质。存储介质可以存储可由一个或多个处理器执行的程序指令(例如具体实现为计算机程序)。

当然，本申请实施例所提供的一种包含计算机可执行指令的存储介质，其计算机可执行指令不限于如上所述的激光切割控制方法，还可以执行本申请任意实施例所提供的激光切割控制方法中的相关操作。

值得注意的是，上述激光切割控制装系统的实施例中，所包括的各个单元和模块只是按照功能逻辑进行划分的，但并不局限于上述的划分，只要能够实现相应的功能即可；另外，各功能单元的具体名称也只是为了便于相互区分，并不配置为限制本申请实施例的保护范围。

需要说明的是，本方案中对各步骤的编号仅用于描述本方案的整体设计框架，不表示步骤之间的必然先后关系。在整体实现过程符合本方案整体设计框架的基础上，均属于本方案的保护范围，描述时文字形式上的先后顺序不是对本方案具体实现过程的排他限定。本领域内的技术人员应明白，本申请的实施例可提供为方法、系统、或计算机程序产品。在一个典型的配置中，计算设备包括一个或多个处理器(CPU)、输入/输出接口、网络接口和内存。存储器可能包括计算机可读介质中的非永久性存储器，随机存取存储器(RAM)和/或非易失性内存等形式，如只读存储器(ROM)或闪存(flash RAM)。存储器是计算机可读介质的示例。

还需要说明的是，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、商品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、商品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括要素的过程、方法、商品或者设备中还存在另外的相同要素。

注意，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims (10)

1.激光切割控制方法，其特征在于，应用于激光驱动器，所述激光驱动器设置的工作模式包括周期触发模式；

所述激光切割控制方法包括：

接收到上位机输出的点位关联信息时，在所述点位关联信息中的当前工作模式为周期触发模式的情况下，基于所述点位关联信息中的起始开光坐标、边界点坐标以及周期分段信息确定第一坐标序列；

基于预设补偿规则对所述第一坐标序列进行坐标补偿得到第二坐标序列，以作为激光状态切换的目标位置序列；

根据所述第二坐标序列以及获取到的实时切割位置信息控制激光器进行周期切割作业。

2.根据权利要求1所述的激光切割控制方法，其特征在于，所述边界点坐标包括起始边界坐标以及结束边界坐标，所述周期分段信息包括单位周期段数以及段距信息；

所述基于所述点位关联信息中的起始开光坐标、边界点坐标以及周期分段信息确定第一坐标序列，包括：

根据单位周期段数以及段距信息，确定单位周期内的分段序列；

将起始开光坐标作为计算基准点，并结合所述分段序列进行指向所述起始边界坐标以及结束边界坐标的坐标推算，得到第一坐标序列。

3.根据权利要求2所述的激光切割控制方法，其特征在于，所述将起始开光坐标作为计算基准点，并结合所述分段序列进行指向所述起始边界坐标以及结束边界坐标的坐标推算，得到第一坐标序列，包括：

将起始开光坐标作为计算基准点按照倒序减去所述分段序列中的每一个元素值，并将每次计算结果添加至反推坐标序列，循环直至最近的计算结果小于所述起始边界坐标；

根据所述反推坐标序列的元素个数的奇偶性以及所述起始边界坐标，确定所述反推坐标序列的末端元素值；

将起始开光坐标作为计算基准点按照正序加上所述分段序列中的每一个元素值，并将每次计算结果添加至正推坐标序列，循环直至最近的计算结果大于所述结束边界坐标；

根据所述正推坐标序列的元素个数的奇偶性以及所述结束边界坐标，确定所述正推坐标序列的末端元素值；

将所述反推坐标序列以及正推坐标序列进行按序组合得到所述第一坐标序列。

4.根据权利要求1所述的激光切割控制方法，其特征在于，所述基于预设补偿规则对所述第一坐标序列进行坐标补偿得到第二坐标序列，包括：

基于所述第一坐标序列中每个第一坐标点的坐标位置、设置的补偿起点以及补偿间隔，确定每个所述第一坐标点对应的补偿区间；

根据每个所述第一坐标点对应的补偿区间以及设置的参考补偿信息，确定每个所述第一坐标点对应的坐标补偿值；

根据每个所述第一坐标点对应的坐标补偿值，对所述第一坐标序列进行补偿得到第二坐标序列，所述第二坐标序列为激光状态切换的目标位置序列。

5.根据权利要求4所述的激光切割控制方法，其特征在于，所述根据每个所述第一坐标点对应的补偿区间以及设置的参考补偿信息，确定每个所述第一坐标点对应的坐标补偿值，包括：

确定每个所述第一坐标点对应的补偿区间的第一端点坐标以及第二端点坐标，所述第二端点坐标大于所述第一端点坐标；

从设置的参考补偿信息中提取与每个所述第一坐标点对应的第一端点坐标以及第二端点坐标对应的第一补偿值以及第二补偿值；

根据每个所述第一坐标点位于对应的补偿区间的位置确定补偿比例；

基于每个所述第一坐标点对应的第一补偿值和第二补偿值的差值结果以及所述补偿比例，确定每个所述第一坐标点对应的坐标补偿值。

6.根据权利要求1所述的激光切割控制方法，其特征在于，所述工作模式包括两点触发模式；

在所述接收到上位机输出的点位关联信息之后，还包括：

在所述点位关联信息中的当前工作模式为两点触发模式的情况下，将所述点位关联信息中的起始边界坐标确定为起始开光坐标，以及结束边界坐标确定为结束关光坐标；

根据所述起始开光坐标、结束关光坐标以及获取到的实时切割位置信息控制激光器进行两点切割作业。

7.根据权利要求1所述的激光切割控制方法，其特征在于，在基于预设补偿规则对所述第一坐标序列进行坐标补偿得到第二坐标序列之后，还包括：

基于所述当前工作模式设置完成标志信息，并将所述完成标志信息输出至所述上位机。

8.激光切割控制装置，其特征在于，应用于激光驱动器，所述激光驱动器设置的工作模式包括两点触发模式以及周期触发模式；

所述激光切割控制装置包括：

点位确定单元，配置为接收到上位机输出的点位关联信息时，在所述点位关联信息中的当前工作模式为周期触发模式的情况下，基于所述点位关联信息中的起始开光坐标、边界点坐标以及周期分段信息确定第一坐标序列；

点位补偿单元，配置为基于预设补偿规则对所述第一坐标序列进行坐标补偿得到第二坐标序列，以作为激光状态切换的目标位置序列；

切割控制单元，配置为根据所述第二坐标序列以及获取到的实时切割位置信息控制激光器进行周期切割作业。

9.一种激光切割控制设备，所述设备包括：一个或多个处理器；存储装置，配置为存储一个或多个程序，当所述一个或多个程序被所述一个或多个处理器执行，使得所述一个或多个处理器实现权利要求1-7中任一项所述的激光切割控制方法。

10.一种存储计算机可执行指令的非易失性存储介质，所述计算机可执行指令在由计算机处理器执行时配置为执行权利要求1-7中任一项所述的激光切割控制方法。