CN117161033A - 一种晶圆盒注塑后的喷淋清洗装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种晶圆盒注塑后的喷淋清洗装置，具体涉及清洗装置技术领域，包括工作台，所述工作台上端中部开设有开口，所述工作台下端中部固定安装有用于对晶圆盒进行清洗的清洗机构，所述清洗机构上侧设有用于对晶圆盒进行存放的存放机构，所述清洗机构内腔中部设有用于对清洗机构内腔进行清理的除杂机构，所述清洗机构右端下侧设有用于控制除杂机构的传动机构。本发明所述的一种晶圆盒注塑后的喷淋清洗装置，清洗机构配合存放机构，能够让晶圆盒通过浸泡和冲洗两种方式进行清洗，可以较好的将晶圆盒表面的杂质进行清理，提高了装置的清洗效果，清洗时也不会对晶圆盒造成伤害，且其中水资源可以循环使用，减少了水资源的浪费。

Description

一种晶圆盒注塑后的喷淋清洗装置

技术领域

本发明涉及清洗装置技术领域，特别涉及一种晶圆盒注塑后的喷淋清洗装置。

背景技术

在晶圆的加工制造过程中，对于污染物的管控尤其重要，通常需将晶圆放置于晶圆盒中以进行存储或运输，需进一步避免晶圆盒的内部产生颗粒物而对晶圆造成影响，所以在晶圆盒注塑后，需要对其进行彻底的清洗。

中国专利文献CN217912033U公开了一种晶圆盒注塑后的喷淋清洗装置，包括机架，机架上安装有辊轮输送机，辊轮输送机上沿着其输送方向依次设有第一清洗区以及第二清洗区，第一清洗区设有防溅罩，第一清洗区内相邻两根辊轮之间设有若干第一喷头，第一喷头朝上设置；

该专利在日常使用中，虽然通过多次冲洗能够较好的对晶圆盒进行清洗，但是直接对着晶圆盒冲洗，容易对晶圆盒造成伤害，使其无法充分密封，影响到后续的正常使用，且直接采用冲洗的方式，晶圆盒需要提前进行摆放，才能够进行清洗工作，使得装置使用起来较为麻烦，直接对晶圆盒进行冲洗，无法让水资源重复利用，增加了水资源的消耗。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种晶圆盒注塑后的喷淋清洗装置，可以有效解决容易对晶圆盒造成伤害以及无法让水资源重复利用的问题。

为实现上述目的，本发明采取的技术方案为：

一种晶圆盒注塑后的喷淋清洗装置，包括工作台，所述工作台上端中部开设有开口，所述工作台下端中部固定安装有用于对晶圆盒进行清洗的清洗机构，所述清洗机构上侧设有用于对晶圆盒进行存放的存放机构，所述清洗机构内腔中部设有用于对清洗机构内腔进行清理的除杂机构，所述清洗机构右端下侧设有用于控制除杂机构的传动机构；

所述清洗机构包括蓄水池，所述蓄水池内腔对称设有两个抽水架，两个所述抽水架相互靠近的一端上侧均设有若干喷洒头，两个所述抽水架下端中部均设有若干抽水管，两个所述喷洒头下端相互靠近的一侧均固定安装有挡料板。

优选的，所述抽水管包括支撑管，所述支撑管内腔滑动安装有活动管，所述活动管弧形外表面下侧固定安装有配重块，所述活动管下端固定安装有过滤管。

优选的，所述存放机构包括两个气泵，两个所述气泵分别设于所述蓄水池左右两端，两个所述气泵前侧均设有支撑架，两个所述支撑架均滑动安装于所述蓄水池端面，两个所述气泵输出端分别与两个所述支撑架相互连接，两个所述支撑架之间转动安装有存料框，位于右侧的所述支撑架右端下侧设有电机，位于右侧的所述支撑架内腔中设有两个皮带组，两个所述皮带组之间设有连接轴。

优选的，通过所述连接轴将两个所述皮带组相互连接，且所述电机输出端与位于右侧的所述皮带组相互连接。

优选的，所述除杂机构包括两个往复螺杆一，所述蓄水池内腔左侧设有一个活动块一，所述活动块一下端转动安装有推料板，所述蓄水池右侧内壁下部固定安装有矩形板，所述矩形板上侧设有往复螺杆二，所述矩形板上端前侧设有活动块二，所述矩形板前侧设有集料管，所述往复螺杆二后端设有两个相互啮合的锥形齿轮。

优选的，两个所述往复螺杆一均贯穿所述活动块一。

优选的，所述传动机构包括升降架，所述升降架与位于右侧的所述支撑架相互连接，所述升降架下端设有齿条，所述齿条后侧下部设有两个齿轮一，所述齿条前侧下部设有两个齿轮二，位于左侧的所述齿轮二前侧啮合有两个齿轮三，所述升降架下侧设有伸缩杆，所述伸缩杆与所述齿条相互连接。

优选的，位于右侧的所述齿轮一与位于上侧的所述齿轮三采用皮带连接，位于左侧的所述齿轮一与位于右侧的所述齿轮二采用皮带连接。

优选的，位于右侧的所述齿轮一与位于右侧的所述锥形齿轮采用皮带连接，位于右侧的所述齿轮二与位于前侧的所述往复螺杆一采用皮带连接。

与现有技术相比，本发明具有如下有益效果：

1、本发明设置的清洗机构，配合存放机构进行使用，能够让晶圆盒通过浸泡和冲洗两种方式进行清理，可以较好的将晶圆盒表面的杂质进行清洗，提高了装置的清洗效果，且在清洗时不会对晶圆盒造成伤害，通过抽取浸泡的水进行冲洗，在冲洗完成后还会流动到蓄水池内，使得水资源可以循环使用，减少了水资源的浪费。

2、本发明设置的工作台，通过存放机构的移动，对晶圆盒进行清洗，在清洗结束后，能够让工作人员直接在工作台上，对晶圆盒进行密封工作，减少了后续运输时造成污染的可能性，且在清洗前，只需要将晶圆盒放置在存料框内，就可以进行清洗，减少了工作人员的劳动强度，也使得装置使用起来较为方便。

3、本发明设置的除杂机构，通过存放机构以及传动机构的控制，在不影响晶圆盒清洗的同时，能够对蓄水池中的杂质进行收集，且在装置不工作时，活动块二能够将集料管堵塞，使得其中的杂质不会进入水中，影响到后续的清洗工作，进一步提高了装置的清洗效果。

附图说明

图1为本发明的整体结构示意图；

图2为本发明的整体内部结构示意图；

图3为本发明的清洗机构内部结构示意图；

图4为本发明的抽水管内部结构示意图；

图5为本发明的存放机构位置结构示意图；

图6为本发明的除杂机构位置结构示意图；

图7为本发明的传动机构结构示意图；

图8为本发明的图7中的A处放大图；

图9为本发明的传动机构部分结构示意图；

图10为本发明的除杂机构在清洗时的工作状态图。

图中：1、工作台；2、清洗机构；3、存放机构；4、除杂机构；5、传动机构；21、蓄水池；22、抽水架；23、喷洒头；24、抽水管；25、挡料板；241、支撑管；242、活动管；243、配重块；244、过滤管；31、气泵；32、支撑架；33、存料框；34、电机；35、皮带组；36、连接轴；41、往复螺杆一；42、活动块一；43、推料板；44、矩形板；45、往复螺杆二；46、活动块二；47、集料管；48、锥形齿轮；51、升降架；52、齿条；53、齿轮一；54、齿轮二；55、齿轮三；56、伸缩杆。

具体实施方式

为使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。

实施例一

如图1和图2所示，一种晶圆盒注塑后的喷淋清洗装置，包括工作台1，工作台1上端中部开设有开口，通过本装置对晶圆盒进行清洗后，可以在工作台1上，对晶圆盒进行组装，方便后续进行使用，也可以配合烘干装置，对清洗完后的晶圆盒进行烘干处理，工作台1下端中部固定安装有用于对晶圆盒进行清洗的清洗机构2，清洗机构2通过浸泡和冲洗两种方式进行清理，能够较好的将晶圆盒表面的杂质进行清理，且通过抽取浸泡的水进行冲洗，在冲洗完成后还会流动到清洗机构2内，使得水资源可以循环使用；

然后，清洗机构2上侧设有用于对晶圆盒进行存放的存放机构3，将需要进行清洗的晶圆盒放置在存放机构3上，能够带动晶圆盒上下移动，以达到浸泡的目的，且在浸泡过程中能够带动晶圆盒进行转动，较好的对金源和表面的灰尘进行清洗，清洗机构2内腔中部设有用于对清洗机构2内腔进行清理的除杂机构4，晶圆盒在清洗机构2中进行清洗时，其中附着的杂质会掉落在水中，且杂质都为塑料材质，在水面平静时会漂浮在水面上，通过除杂机构4对漂浮着的杂质进行收集，防止杂质影响到后续的清洗工作；

再然后，清洗机构2右端下侧设有用于控制除杂机构4的传动机构5，通过传动机构5将存放机构3和除杂机构4相连接，通过存放机构3上下移动的作用力，带动除杂机构4对清洗机构2内漂浮着的杂质进行收集。

进一步说明，为了对晶圆盒表面进行较好的清洗，如图3所示，清洗机构2包括蓄水池21，在蓄水池21对晶圆盒进行清洗，使得更换水较为方便，在清洗时也不会有水溅出，配合工作台1进行使用，方便工作人员进行后续的处理，蓄水池21内腔对称设有两个抽水架22，抽水架22中设置有水泵，能够将蓄水池21内的水向上抽取，两个抽水架22相互靠近的一端上侧均设有若干喷洒头23，晶圆盒在水中浸泡后，会被存放机构3带动着向上移动，在移动时水中的杂质会重新附着在金源河表面，再通过喷洒头23对其表面进行冲洗，就能够较好的清洗晶圆盒中的杂质；

另外，两个抽水架22下端中部均设有若干抽水管24，抽水架22中的水泵会通过抽水管24抽取蓄水池21中的水，抽水管24的进水口会沉在水中，不会抽取到水面附近的水，使得水泵通过抽水管24不会抽取到水中的杂质，不会造成水泵的堵塞，增加了整个装置的使用寿命，两个喷洒头23下端相互靠近的一侧均固定安装有挡料板25，通过挡料板25进行阻挡，能够减少杂质到两侧的可能性，同时配合除杂机构4进行使用，也方便对杂质进行收集。

再进一步说明，为了让抽水架22以及喷洒头23内不会出现杂质，如图4所示，抽水管24包括支撑管241，支撑管241内腔滑动安装有活动管242，支撑管241配合活动管242进行使用，使得吸水的管道能够伸缩调节，使得抽水管24能够适应不同的水面高度，活动管242弧形外表面下侧固定安装有配重块243，整个活动管242的重量较低，使得抽水架22在水的浮力的作用下，会自动向上移动，呈现收缩状态，通过配重块243能够拉动抽水架22的进水口始终在水中，不会抽取到杂质，活动管242下端固定安装有过滤管244，且过滤管244还有一层过滤层，进一步降低了水泵受到堵塞的可能性。

进一步说明，为了能够带动晶圆盒上下移动，如图5所示，存放机构3包括两个气泵31，两个气泵31分别设于蓄水池21左右两端，两个气泵31具有伸长收缩的功能，且两个气泵31会同时伸长收缩，使得晶圆盒能够保持稳定，两个气泵31前侧均设有支撑架32，两个支撑架32均滑动安装于蓄水池21端面，两个气泵31输出端分别与两个支撑架32相互连接，支撑架32为直角U型，使得气泵31能够带动支撑架32上下移动，且其中的电器部件不与水接触，增加了装置使用时的安全性；

然后，两个支撑架32之间转动安装有存料框33，存料框33为一个网格盒子，可以将晶圆盒放置在存料框33中，且使用卡扣能够保证存料框33在水中转动时，不会将晶圆盒甩出，也能够保证杂质可以从网格中清洗掉，位于右侧的支撑架32右端下侧设有电机34，位于右侧的支撑架32内腔中设有两个皮带组35，皮带组35为两个皮带轮连接皮带，能够进行传动，两个皮带组35之间设有连接轴36，通过连接轴36将两个皮带组35相互连接，电机34输出端与位于右侧的皮带组35相互连接，当启动电机34时，能够带动存料框33进行转动，且皮带组35设于支撑架32内腔中，不会被水浸泡；

具体的，将需要进行清洗的晶圆盒放置在存料框33中，启动两个气泵31，拉动支撑架32以及存料框33向下移动，等到存料框33进行水中，让晶圆盒受到浸泡时，可以启动电机34，使其通过两个皮带组35以及连接轴36的传动，带动存料框33进行转动，就能够对晶圆盒进行清洗，等到浸泡完成后，可以启动气泵31推动存料框33向上移动，通过喷洒头23进行冲洗，提高了装置的清洗效果。

再进一步说明，为了对蓄水池21内腔中漂浮的杂质进行收集，如图6所示，除杂机构4包括两个往复螺杆一41，两个往复螺杆一41采用链条相互连接，能够同时进行转动，蓄水池21内腔左侧设有一个活动块一42，两个往复螺杆一41均贯穿活动块一42，活动块一42通过滚珠与往复螺杆一41滑动连接，当往复螺杆一41转动时滚轴会带动活动块一42进行移动，活动块一42下端转动安装有推料板43，推料板43只能够水平转动一百八十度，且在自然状态下保持竖直，通过推料板43对水面的杂质进行聚集，方便后续进行收集；

然后，蓄水池21右侧内壁下部固定安装有矩形板44，配合推料板43进行使用，当活动块一42带动推料板43移动到矩形板44处，推料板43在矩形板44的推动下会转动九十度，与矩形板44形成一个密封的腔体，将杂质都推动到其中，方便进行收集，矩形板44上侧设有往复螺杆二45，矩形板44上端前侧设有活动块二46，当往复螺杆二45转动时，会带动活动块二46进行移动，活动块二46移动时就会将腔体中的杂质进行收集，矩形板44前侧设有集料管47，杂质会进入到集料管47中，且在装置不工作时，活动块二46会始终贴合集料管47，使其中的杂质无法泄露，往复螺杆二45后端设有两个相互啮合的锥形齿轮48；

具体的，当往复螺杆一41转动时，会带动活动块一42以及推料板43进行移动，当活动块一42以及推料板43向右移动时，就会推动水面上的杂质，等到与矩形板44相互接触时，推料板43与矩形板44会形成一个密封的腔体，将杂质收集在其中；

当往复螺杆二45转动时，会带动活动块二46进行移动，活动块二46向前移动的过程中，会将腔体中的杂质推动到集料管47内，进行收集，在存料框33向下移动时，活动块二46首先向后移动，然后推料板43再向右移动，等到存料框33向上移动时，活动块二46先向前移动，然后推料板43再向左移动，更好的对杂质进行收集。

需要说明的是，当推料板43向左移动时，水面上会漂浮清洗留下的杂质但是推料板43与活动块一42为转动连接，在与两个抽水管24表面的摩擦力作用下，会进行转动，使得杂质会从推料板43的下方滑走，在推料板43向右移动时，也会发生转动，但九十度的特殊形式，使得推料板43稍微倾斜的状态下，也不会影响到推动杂质的功能。

本实施例的具体实施方式为：将需要进行清洗的晶圆盒放置在存料框33中，启动两个气泵31，拉动支撑架32以及存料框33向下移动，等到存料框33进行水中，让晶圆盒受到浸泡时，可以启动电机34，使其带动存料框33进行转动，就能够对晶圆盒进行清洗；

在存料框33向下移动时，往复螺杆二45会进行转动，带动活动块二46向后移动，然后往复螺杆一41再进行转动，往复螺杆一41会带动活动块一42以及推料板43进行移动，当活动块一42以及推料板43向右移动时，就会推动水面上的杂质，等到与矩形板44相互接触时，推料板43与矩形板44会形成一个密封的腔体，将杂质收集在其中；

等到晶圆盒清洗完后，存料框33向上移动时，还是往复螺杆二45先进行转动，推料板43会带动活动块二46向前移动，活动块二46向前移动的过程中，会将腔体中的杂质推动到集料管47内进行收集，然后往复螺杆一41再进行转动，让活动块一42以及推料板43复位。

实施例二

本实施例为实施例一的基础上对除杂机构4的进一步改进，使得装置中的存料框33无论是向上还是向下移动，都会让矩形板44先进行转动然后往复螺杆一41再转动的目的。

进一步说明，为了让矩形板44先转动再让往复螺杆一41转动，如图7、图8以及图9所示，传动机构5包括升降架51，升降架51与位于右侧的支撑架32相互连接，当支撑架32移动时，能够带动升降架51进行移动，升降架51下端设有齿条52，齿条52后侧下部设有两个齿轮一53，齿条52前侧下部设有两个齿轮二54，齿条52能够依次与齿轮一53和齿轮二54分别啮合，且齿轮一53与齿轮二54均与蓄水池21端面转动连接；

然后，位于左侧的齿轮二54前侧啮合有两个齿轮三55，位于上侧的齿轮三55与位于左侧的齿轮二54转动方向相同，升降架51下侧设有伸缩杆56，伸缩杆56与齿条52相互连接，配合升降架51进行使用，能够带动齿条52左右移动，当齿条52在右侧时，就能够与右侧的齿轮一53和齿轮二54进行啮合，当齿条52在左侧时，只能够与左侧的齿轮一53和齿轮二54进行啮合；

具体的，当升降架51以及伸缩杆56推动齿条52移动到右侧时，齿条52能够和右侧的齿轮一53和齿轮二54进行啮合，此时会先带动位于右侧的齿轮一53转动，然后再带动位于右侧齿轮二54转动；

当升降架51以及伸缩杆56推动齿条52移动到左侧时，齿条52能够和左侧的齿轮一53和齿轮二54进行啮合，此时会先带动位于左侧的齿轮二54转动，然后再带动位于左侧齿轮一53转动。

需要说明的是，升降架51中设置有电缸，在升降架51带动齿条52向下移动，会推动齿条52移动到右侧，当升降架51带动齿条52向上移动时，会推动齿条52移动到左侧，且伸缩杆56与齿条52滑动连接，不会影响到齿条52上下移动。

再进一步说明，位于右侧的齿轮一53与位于上侧的齿轮三55采用皮带连接，位于左侧的齿轮一53与位于右侧的齿轮二54采用皮带连接，位于右侧的齿轮一53与位于右侧的锥形齿轮48采用皮带连接，位于右侧的齿轮二54与位于前侧的往复螺杆一41采用皮带连接；

具体的，当位于右侧的齿轮一53转动时，就会带动锥形齿轮48进行转动，使得往复螺杆二45带动活动块二46移动，当位于右侧的齿轮二54转动时，会带动两个往复螺杆一41转动，使得往复螺杆一41带动活动块一42以及推料板43移动。

本实施例的具体实施方式为：在升降架51带动齿条52向下移动时，会推动齿条52移动到右侧，齿条52会依次与右侧的齿轮一53以及齿轮二54进行啮合，就会先带动位于右侧的齿轮一53转动，位于右侧的齿轮一53就会带动锥形齿轮48进行转动，使得往复螺杆二45带动活动块二46移动，然后在带动位于右侧的齿轮二54转动，位于右侧的齿轮二54会带动两个往复螺杆一41转动，使得往复螺杆一41带动活动块一42以及推料板43移动；

当升降架51带动齿条52向上移动时，会推动齿条52移动到左侧，齿条52会依次与左侧的齿轮一53以及齿轮二54进行啮合，且会先带动位于左侧的齿轮二54转动，齿轮二54会带动两个齿轮三55转动，齿轮三55就能够带动位于右侧的齿轮一53转动，然后再带动位于左侧的齿轮一53转动，齿轮一53会带动位于右侧的齿轮二54进行转动；

使得存料框33无论是向上移动还是向下移动，都会先让活动块二46移动，再让推料板43移动，能够较好的对蓄水池21内腔中的杂质进行收集。

需要说明的是，本发明中抽水架22、喷洒头23、气泵31以及电机34的具体安装方法方式、电路连接方式以及控制方法均属常规设计，本发明不作详细阐述。

以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (9)

1.一种晶圆盒注塑后的喷淋清洗装置，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)上端中部开设有开口，所述工作台(1)下端中部固定安装有用于对晶圆盒进行清洗的清洗机构(2)，所述清洗机构(2)上侧设有用于对晶圆盒进行存放的存放机构(3)，所述清洗机构(2)内腔中部设有用于对清洗机构(2)内腔进行清理的除杂机构(4)，所述清洗机构(2)右端下侧设有用于控制除杂机构(4)的传动机构(5)；

所述清洗机构(2)包括蓄水池(21)，所述蓄水池(21)内腔对称设有两个抽水架(22)，两个所述抽水架(22)相互靠近的一端上侧均设有若干喷洒头(23)，两个所述抽水架(22)下端中部均设有若干抽水管(24)，两个所述喷洒头(23)下端相互靠近的一侧均固定安装有挡料板(25)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆盒注塑后的喷淋清洗装置，其特征在于：所述抽水管(24)包括支撑管(241)，所述支撑管(241)内腔滑动安装有活动管(242)，所述活动管(242)弧形外表面下侧固定安装有配重块(243)，所述活动管(242)下端固定安装有过滤管(244)。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆盒注塑后的喷淋清洗装置，其特征在于：所述存放机构(3)包括两个气泵(31)，两个所述气泵(31)分别设于所述蓄水池(21)左右两端，两个所述气泵(31)前侧均设有支撑架(32)，两个所述支撑架(32)均滑动安装于所述蓄水池(21)端面，两个所述气泵(31)输出端分别与两个所述支撑架(32)相互连接，两个所述支撑架(32)之间转动安装有存料框(33)，位于右侧的所述支撑架(32)右端下侧设有电机(34)，位于右侧的所述支撑架(32)内腔中设有两个皮带组(35)，两个所述皮带组(35)之间设有连接轴(36)。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆盒注塑后的喷淋清洗装置，其特征在于：通过所述连接轴(36)将两个所述皮带组(35)相互连接，且所述电机(34)输出端与位于右侧的所述皮带组(35)相互连接。

5.根据权利要求3所述的一种晶圆盒注塑后的喷淋清洗装置，其特征在于：所述除杂机构(4)包括两个往复螺杆一(41)，所述蓄水池(21)内腔左侧设有一个活动块一(42)，所述活动块一(42)下端转动安装有推料板(43)，所述蓄水池(21)右侧内壁下部固定安装有矩形板(44)，所述矩形板(44)上侧设有往复螺杆二(45)，所述矩形板(44)上端前侧设有活动块二(46)，所述矩形板(44)前侧设有集料管(47)，所述往复螺杆二(45)后端设有两个相互啮合的锥形齿轮(48)。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆盒注塑后的喷淋清洗装置，其特征在于：两个所述往复螺杆一(41)均贯穿所述活动块一(42)。

7.根据权利要求5所述的一种晶圆盒注塑后的喷淋清洗装置，其特征在于：所述传动机构(5)包括升降架(51)，所述升降架(51)与位于右侧的所述支撑架(32)相互连接，所述升降架(51)下端设有齿条(52)，所述齿条(52)后侧下部设有两个齿轮一(53)，所述齿条(52)前侧下部设有两个齿轮二(54)，位于左侧的所述齿轮二(54)前侧啮合有两个齿轮三(55)，所述升降架(51)下侧设有伸缩杆(56)，所述伸缩杆(56)与所述齿条(52)相互连接。

8.根据权利要求7所述的一种晶圆盒注塑后的喷淋清洗装置，其特征在于：位于右侧的所述齿轮一(53)与位于上侧的所述齿轮三(55)采用皮带连接，位于左侧的所述齿轮一(53)与位于右侧的所述齿轮二(54)采用皮带连接。

9.根据权利要求7所述的一种晶圆盒注塑后的喷淋清洗装置，其特征在于：位于右侧的所述齿轮一(53)与位于右侧的所述锥形齿轮(48)采用皮带连接，位于右侧的所述齿轮二(54)与位于前侧的所述往复螺杆一(41)采用皮带连接。