CN117146764A - 一种光学镜片表面平整度检测设备 - Google Patents
一种光学镜片表面平整度检测设备 Download PDFInfo
- Publication number
- CN117146764A CN117146764A CN202311406926.6A CN202311406926A CN117146764A CN 117146764 A CN117146764 A CN 117146764A CN 202311406926 A CN202311406926 A CN 202311406926A CN 117146764 A CN117146764 A CN 117146764A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- block
- optical lens
- fixedly connected
- annular
- pulling
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 108
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 64
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 70
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims abstract description 52
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 11
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims description 11
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 abstract description 5
- 239000010408 film Substances 0.000 description 75
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 23
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 7
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 4
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 3
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 3
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000011326 mechanical measurement Methods 0.000 description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 230000037303 wrinkles Effects 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000007888 film coating Substances 0.000 description 1
- 238000009501 film coating Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
- G01B21/30—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring roughness or irregularity of surfaces
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
本发明涉及镜片检测设备技术领域，尤其涉及一种光学镜片表面平整度检测设备，包括：底座；所述安装块上设置有横向移动机构，所述安装块下方设置有检测机构；所述底座上设置有覆膜机构；所述覆膜机构在所述固定块上的光学镜片表面覆盖一层薄膜，在不影响检测机构对光学镜片进行检测的情况下，隔绝检测机构与光学镜片接触；本发明通过在固定块四侧设置伸缩电动推杆、支撑块和支撑柱，使得支撑柱拉住隔绝膜四角的连接块，从而使得隔绝膜覆盖在固定块上光学镜片的上方，将光学镜片与检测机构隔开，从而检测机构在对光学镜片进行平整度检测过程中，不会在光学镜片的表面留下印迹，影响光学镜片的质量。
Description
技术领域
本发明涉及镜片检测设备技术领域，尤其涉及一种光学镜片表面平整度检测设备。
背景技术
光学镜片在生产出来后需要经过检测设备检测光学镜片的平整度，从而确保光学镜片表面的平整度符合规定的要求，排除光学镜片表面的缺陷，以确定光学镜片的质量和可靠性，确保光学镜片在使用过程中不会产生光学畸变或影响成像质量；
光学镜片平整度检测常采用光学方法和机械测量法，光学测量方法利用光的折射反射特性，观察成像图案检测光学镜片的平整度；使用机械测量法进行测量时，通过测高仪、测微计等仪器设备与光学镜片接触，来测量评估光学镜片表面的平整度；
在使用机械测量法对光学镜片进行平整度检测时，由于检测设备需要与光学镜片表面接触，并且需要与光学镜片之间相对移动，从而检测设备极易刮花光学镜片表面，在光学镜片表面留下印迹，影响光学镜片的质量，从而造成局限性。
为此，我们提出一种光学镜片表面平整度检测设备。
发明内容
针对现有技术的不足，本发明提供了一种光学镜片表面平整度检测设备，克服了现有技术的不足，旨在解决背景技术中的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种光学镜片表面平整度检测设备，包括：
底座；所述底座上固连有上下移动机构；所述上下移动机构上固连有安装块；所述安装块上设置有横向移动机构，所述安装块下方设置有检测机构；所述横向移动机构带动所述检测机构移动；
所述底座上固连有固定块；光学镜片放置在所述固定块上；
所述底座上设置有覆膜机构；所述覆膜机构在所述固定块上的光学镜片表面覆盖一层薄膜，在不影响检测机构对光学镜片进行检测的情况下，隔绝检测机构与光学镜片接触。
优选的，所述覆膜机构包括支撑柱、隔绝膜和连接块；底座上固连有伸缩电动推杆；所述伸缩电动推杆的输出端固连有支撑块；所述支撑柱安装在所述支撑块上；所述支撑柱设置在所述固定块的四周；所述连接块固连在所述隔绝膜的四周，所述连接块上开设有孔洞。
优选的，所述支撑块上开设有拉伸槽；所述拉伸槽内滑动连接有拉伸电动推杆；所述拉伸电动推杆的输出端与所述支撑柱固连；所述支撑柱上端大，下端小。
通过在固定块四侧设置伸缩电动推杆、支撑块和支撑柱，使得支撑柱拉住隔绝膜四角的连接块，从而使得隔绝膜覆盖在固定块上光学镜片的上方，将光学镜片与检测机构隔开，从而检测机构在对光学镜片进行平整度检测过程中，不会在光学镜片的表面留下印迹，影响光学镜片的质量。
优选的，所述底座上固连有存放框；所述存放框底部固连有顶动弹簧，所述存放框内滑动连接有顶板；所述隔绝膜与所述连接块上下堆叠，存放在所述存放框内；
所述底座上固连有滑动块；所述滑动块上开设有滑动槽；所述滑动槽内滑动连接有更换块；所述滑动块上固连有更换电机；所述更换电机的输出端固连有与所述更换块螺纹螺杆配合的丝杆；所述更换块上固连有电磁铁块；所述连接块由金属制成。
优选的，所述存放框内与最上方的所述连接块接触的内壁上均匀地球铰接有滚珠；所述滚珠与最上方的所述连接块接触。
优选的，所述底座上开设有环形槽；所述环形槽内滑动连接有环形块，所述环形槽内固连有输出端与所述环形块固连的升起电动推杆；所述更换块上同样设置有所述环形槽、所述环形块和所述升起电动推杆；所述底座上固连有阀门和喷出管；所述喷出管与装有特殊气体的储存罐相连通，特殊气体经过所述阀门和所述喷出管进入底座上方；所述更换块上固连有与特殊气体对应的气体检测仪。
通过两个环形块夹持在隔绝膜的上下两侧，喷出管在下侧喷出特殊气体，上侧更换块上的气体检测仪根据是否检测到特殊气体，来检测隔绝膜是否破损，以更换隔绝膜，即能够使得隔绝膜多次使用至破损，又能够自动更换隔绝膜，提升本发明对光学镜片的检测效率。
优选的，所述固定块上开设有拉动槽；所述拉动槽为环形，所述拉动槽内固连有拉动电动推杆，所述拉动槽内滑动连接有环形拉动块；所述拉动电动推杆的输出端与所述环形拉动块固连；所述更换块上同样设置有所述拉动槽、所述拉动电动推杆；所述更换块上的所述拉动电动推杆的输出端固连有卡合块；所述卡合块上连接有环形拉动块。
优选的，所述更换块上的所述环形拉动块上开设有卡合槽；所述卡合槽两侧固连有卡合弹簧，所述卡合槽两侧滑动连接有尖形块；所述卡合块的形状为梯形，所述卡合块能够伸入所述卡合槽内，与所述尖形块相卡合。
优选的，所述固定块上的所述环形拉动块内固连有环形磁铁块；所述环形拉动块由金属制成。
通过在固定块和更换块上设置环形拉动块，使得两个环形拉动块向下拉动隔绝膜，使得隔绝膜与球面光学镜片接触的表面被拉伸变形，完全与球面光学镜片的表面贴合，从而不会出现隔绝膜与球面光学镜片的表面接触时，由于隔绝膜与球面光学镜片的球形曲面不贴合，隔绝膜出现凸起褶皱，影响检测机构对球面光学镜片的平整度检测。
本发明的有益效果：
1.本发明通过在固定块四侧设置伸缩电动推杆、支撑块和支撑柱，使得支撑柱拉住隔绝膜四角的连接块，从而使得隔绝膜覆盖在固定块上光学镜片的上方，将光学镜片与检测机构隔开，从而检测机构在对光学镜片进行平整度检测过程中，不会在光学镜片的表面留下印迹，影响光学镜片的质量。
2.本发明通过两个环形块夹持在隔绝膜的上下两侧，喷出管在下侧喷出特殊气体，上侧更换块上的气体检测仪根据是否检测到特殊气体，来检测隔绝膜是否破损，以更换隔绝膜，即能够使得隔绝膜多次使用至破损，又能够自动更换隔绝膜，提升本发明对光学镜片的检测效率。
3.本发明通过在固定块和更换块上设置环形拉动块，使得两个环形拉动块向下拉动隔绝膜，使得隔绝膜与球面光学镜片接触的表面被拉伸变形，完全与球面光学镜片的表面贴合，从而不会出现隔绝膜与球面光学镜片的表面接触时，由于隔绝膜与球面光学镜片的球形曲面不贴合，隔绝膜出现凸起褶皱，影响检测机构对球面光学镜片的平整度检测。
附图说明
图1为本发明的的结构示意图；
图2为图1中A处的放大图；
图3为图1中B处的放大图；
图4为图2中C-C处剖视视角下底座、更换块、固定块、环形块和环形拉动块的剖视图；
图5为图4中D处的放大图；
图6为图4中E处的放大图；
图7为本发明中存放框的剖视图。
图中：1、底座；11、上下移动机构；12、安装块；13、横向移动机构；14、检测机构；2、固定块；31、支撑柱；32、隔绝膜；33、连接块；34、伸缩电动推杆；35、支撑块；36、孔洞；37、拉伸槽；38、拉伸电动推杆；4、存放框；41、顶动弹簧；42、顶板；43、滑动块；44、滑动槽；45、更换块；46、更换电机；47、电磁铁块；5、环形槽；51、环形块；52、升起电动推杆；53、阀门；54、喷出管；55、气体检测仪；6、拉动槽；61、拉动电动推杆；62、环形拉动块；63、卡合块；64、卡合槽；65、卡合弹簧；66、尖形块；67、环形磁铁块；68、滚珠。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例一：参照说明书附图1，一种光学镜片表面平整度检测设备，包括：
底座1；底座1上固连有上下移动机构11；上下移动机构11上固连有安装块12；安装块12上设置有横向移动机构13，安装块12下方设置有检测机构14；横向移动机构13带动检测机构14移动；
底座1上固连有固定块2；光学镜片放置在固定块2上；
底座1上设置有覆膜机构；覆膜机构在固定块2上的光学镜片表面覆盖一层薄膜，在不影响检测机构14对光学镜片进行检测的情况下，隔绝检测机构14与光学镜片接触。
参照说明书附图2，本发明中，覆膜机构包括支撑柱31、隔绝膜32和连接块33；底座1上固连有伸缩电动推杆34；伸缩电动推杆34的输出端固连有支撑块35；支撑柱31安装在支撑块35上；支撑柱31设置在固定块2的四周；连接块33固连在隔绝膜32的四周，连接块33上开设有孔洞36。
本发明中，支撑块35上开设有拉伸槽37；拉伸槽37内滑动连接有拉伸电动推杆38；拉伸电动推杆38的输出端与支撑柱31固连；支撑柱31上端大，下端小。
本发明中，在对光学镜片进行平整度检测时，工作人员将光学镜片放置在固定块2上，接着将连接块33套在支撑柱31上，随后拉伸电动推杆38往远离固定块2的方向拉动支撑柱31，所有的支撑柱31通过连接块33共同固定住隔绝膜32，使得隔绝膜32绷直，并且隔绝膜32位于光学镜片的上方，随后控制器控制伸缩电动推杆34带动支撑块35、支撑柱31、连接块33和隔绝膜32向下移动，使得隔绝膜32覆盖在光学镜片的表面，从而完成将隔绝膜32膜覆盖在光学镜片的表面，代替光学镜片与检测机构14接触；
上下移动机构11带动安装块12和检测机构14向下移动，横向移动机构13调整检测机构14的位置，使得检测机构14位于光学镜片的正上方，并且检测机构14与隔绝膜32接触，接着控制器控制横向移动机构13带动检测机构14移动，使得检测机构14划过隔绝膜32的表面，从而检测机构14对光学镜片的平整度进行检测，由于隔绝膜32具有薄膜的特性，能够变形，因此检测机构14在经过光学镜片上凹陷、凸起等缺陷部位时，隔绝膜32能够与该部位贴合，从而不会影响到检测机构14的检测；
本发明通过在固定块2四侧设置伸缩电动推杆34、支撑块35和支撑柱31，使得支撑柱31拉住隔绝膜32四角的连接块33，从而使得隔绝膜32覆盖在固定块2上光学镜片的上方，将光学镜片与检测机构14隔开，从而检测机构14在对光学镜片进行平整度检测过程中，不会在光学镜片的表面留下印迹，影响光学镜片的质量。
参照说明书附图1和3，本发明中，底座1上固连有存放框4；存放框4底部固连有顶动弹簧41，存放框4内滑动连接有顶板42；隔绝膜32与连接块33上下堆叠，存放在存放框4内；
底座1上固连有滑动块43；滑动块43上开设有滑动槽44；滑动槽44内滑动连接有更换块45；滑动块43上固连有更换电机46；更换电机46的输出端固连有与更换块45螺纹螺杆配合的丝杆；更换块45上固连有电磁铁块47；连接块33由金属制成。
参照说明书附图7，本发明中，存放框4内与最上方的连接块33接触的内壁上均匀地球铰接有滚珠68；滚珠68与最上方的连接块33接触。
参照说明书附图4，本发明中，底座1上开设有环形槽5；环形槽5内滑动连接有环形块51，环形槽5内固连有输出端与环形块51固连的升起电动推杆52；更换块45上同样设置有环形槽5、环形块51和升起电动推杆52；底座1上固连有阀门53和喷出管54；喷出管54与装有特殊气体的储存罐相连通，特殊气体经过阀门53和喷出管54进入底座1上方；更换块45上固连有与特殊气体对应的气体检测仪55。
本发明中特殊气体选用为氦气，气体检测仪55为氦气检测仪，更换电机46带动丝杆转动，使得更换块45在滑动块43上移动；本发明中，在检测机构14对光学镜片平整度检测完成后，控制器控制更换块45移动至固定块2上方，随后更换块45和底座1上的升起电动推杆52同时推动对应的环形块51，使得上下两个环形块51夹持住隔绝膜32，此时底座1上环形块51内的空间被隔绝膜32封堵，控制器控制阀门53打开，从而特殊气体通过喷出管54进入底座1上环形块51内的空间；当隔绝膜32因检测机构14在平整度检测过程中因移动而造成破损时，氦气会通过隔绝膜32上破损的部位进入上方更换块45上环形块51内的空间，从而更换块45上的气体检测仪55能够检测出泄漏，从而检测出隔绝膜32破损；
在检测出隔绝膜32破损后，环形块51收入环形槽5内，拉伸电动推杆38带动支撑柱31往靠近固定块2的方向移动，控制器往电磁铁块47内通入电流使得连接块33被吸引带着隔绝膜32往上移动，固定在更换块45上，随后更换块45往前移动，断开电磁铁块47内的电流，从而破损的隔绝膜32以及连接块33从更换块45上脱离；控制器再控制更换电机46带动更换块45移动至存放框4上方，随后往更换块45内的电磁铁块47内通入电流，使得电磁铁块47吸住存放框4内最上方的连接块33，再带着往前移动，最上方的连接块33和隔绝膜32从存放框4内滑出，并且连接块33吸附在更换块45上，更换块45再带着连接块33和隔绝膜32往前移动至固定块2上方，电磁铁断电，新的连接块33和隔绝膜32向下移动，连接块33套在支撑柱31上，随后支撑柱31再朝着远离固定块2的方向移动，使得隔绝膜32被拉平，从而完成隔绝膜32的更换；
本发明中，在存放框4内设置滚珠68，从而最上方的连接块33与存放框4之间的摩擦力减小，以防止出现存放框4与连接块33之间的摩擦力影响连接块33往前移动的情况，影响存放框4的使用效果；
本发明通过两个环形块51夹持在隔绝膜32的上下两侧，喷出管54在下侧喷出特殊气体，上侧更换块45上的气体检测仪55根据是否检测到特殊气体，来检测隔绝膜32是否破损，以更换隔绝膜32，即能够使得隔绝膜32多次使用至破损，又能够自动更换隔绝膜32，提升本发明对光学镜片的检测效率。
实施例二：在实施例一的基础上，参照说明书附图4、5和6，本发明中，固定块2上开设有拉动槽6；拉动槽6为环形，拉动槽6内固连有拉动电动推杆61，拉动槽6内滑动连接有环形拉动块62；拉动电动推杆61的输出端与环形拉动块62固连；更换块45上同样设置有拉动槽6、拉动电动推杆61；更换块45上的拉动电动推杆61的输出端固连有卡合块63；卡合块63上连接有环形拉动块62。
本发明中，更换块45上的环形拉动块62上开设有卡合槽64；卡合槽64两侧固连有卡合弹簧65，卡合槽64两侧滑动连接有尖形块66；卡合块63的形状为梯形，卡合块63能够伸入卡合槽64内，与尖形块66相卡合。
本发明中，固定块2上的环形拉动块62内固连有环形磁铁块67；环形拉动块62由金属制成。
在对球面光学镜片进行平整度检测时，由于球面光学镜片的面为曲面，因此隔绝膜32覆盖在球面光学镜片表面时，隔绝膜32无法完全覆盖在球面光学镜片的表面而形成凸起的褶皱，进而影响到检测机构14对球面光学镜片的平整度检测；本发明中，在对球面光学镜片进行平整度检测时，在隔绝膜32覆盖在球面光学镜片上后，更换块45和固定块2上的拉动电动推杆61推动对应的环形拉动块62，使得两个环形拉动块62夹持住球面光学镜片周围的隔绝膜32，随后两个环形拉动块62向下移动，往下拉伸隔绝膜32，使得隔绝膜32与球面光学镜片接触的部分被拉伸变形，从而与球面光学镜片的球面相贴合，随后控制器往固定块2上的环形拉动块62内的环形磁铁块67内通入电流，从而固定块2上的环形拉动块62吸住更换块45上的环形拉动块62，随后更换块45上的拉动电动推杆61输出端缩回，卡合块63从卡合槽64内脱离，两个环形拉动块62固定住隔绝膜32变形部分，检测机构14再对球面光学镜片进行平整度检测；检测完成后，更换块45上的拉动电动推杆61向下推动卡合块63，使得卡合块63插入卡合槽64内并且被尖形块66卡合，随后环形磁铁块67断开电流，两个拉动电动推杆61带着相对应的环形拉动块62回到原位；
本发明通过在固定块2和更换块45上设置环形拉动块62，使得两个环形拉动块62向下拉动隔绝膜32，使得隔绝膜32与球面光学镜片接触的表面被拉伸变形，完全与球面光学镜片的表面贴合，从而不会出现隔绝膜32与球面光学镜片的表面接触时，由于隔绝膜32与球面光学镜片的球形曲面不贴合，隔绝膜32出现凸起褶皱，影响检测机构14对球面光学镜片的平整度检测。
以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内；本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (8)
1.一种光学镜片表面平整度检测设备，包括：
底座（1）；所述底座（1）上固连有上下移动机构（11）；所述上下移动机构（11）上固连有安装块（12）；所述安装块（12）上设置有横向移动机构（13），所述安装块（12）下方设置有检测机构（14）；所述横向移动机构（13）带动所述检测机构（14）移动；
所述底座（1）上固连有固定块（2）；光学镜片放置在所述固定块（2）上；
其特征在于：所述底座（1）上设置有覆膜机构；所述覆膜机构在所述固定块（2）上的光学镜片表面覆盖一层薄膜，在不影响检测机构（14）对光学镜片进行检测的情况下，隔绝检测机构（14）与光学镜片接触；
所述覆膜机构包括支撑柱（31）、隔绝膜（32）和连接块（33）；底座（1）上固连有伸缩电动推杆（34）；所述伸缩电动推杆（34）的输出端固连有支撑块（35）；所述支撑柱（31）安装在所述支撑块（35）上；所述支撑柱（31）设置在所述固定块（2）的四周；所述连接块（33）固连在所述隔绝膜（32）的四周，所述连接块（33）上开设有孔洞（36）。
2.根据权利要求1所述的一种光学镜片表面平整度检测设备，其特征在于：所述支撑块（35）上开设有拉伸槽（37）；所述拉伸槽（37）内滑动连接有拉伸电动推杆（38）；所述拉伸电动推杆（38）的输出端与所述支撑柱（31）固连；所述支撑柱（31）上端大，下端小。
3.根据权利要求2所述的一种光学镜片表面平整度检测设备，其特征在于：所述底座（1）上固连有存放框（4）；所述存放框（4）底部固连有顶动弹簧（41），所述存放框（4）内滑动连接有顶板（42）；所述隔绝膜（32）与所述连接块（33）上下堆叠，存放在所述存放框（4）内；
所述底座（1）上固连有滑动块（43）；所述滑动块（43）上开设有滑动槽（44）；所述滑动槽（44）内滑动连接有更换块（45）；所述滑动块（43）上固连有更换电机（46）；所述更换电机（46）的输出端固连有与所述更换块（45）螺纹螺杆配合的丝杆；所述更换块（45）上固连有电磁铁块（47）；所述连接块（33）由金属制成。
4.根据权利要求3所述的一种光学镜片表面平整度检测设备，其特征在于：所述存放框（4）内与最上方的所述连接块（33）接触的内壁上均匀地球铰接有滚珠（68）；所述滚珠（68）与最上方的所述连接块（33）接触。
5.根据权利要求4所述的一种光学镜片表面平整度检测设备，其特征在于：所述底座（1）上开设有环形槽（5）；所述环形槽（5）内滑动连接有环形块（51），所述环形槽（5）内固连有输出端与所述环形块（51）固连的升起电动推杆（52）；所述更换块（45）上同样设置有所述环形槽（5）、所述环形块（51）和所述升起电动推杆（52）；所述底座（1）上固连有阀门（53）和喷出管（54）；所述喷出管（54）与装有特殊气体的储存罐相连通，特殊气体经过所述阀门（53）和所述喷出管（54）进入底座（1）上方；所述更换块（45）上固连有与特殊气体对应的气体检测仪（55）。
6.根据权利要求5所述的一种光学镜片表面平整度检测设备，其特征在于：所述固定块（2）上开设有拉动槽（6）；所述拉动槽（6）为环形，所述拉动槽（6）内固连有拉动电动推杆（61），所述拉动槽（6）内滑动连接有环形拉动块（62）；所述拉动电动推杆（61）的输出端与所述环形拉动块（62）固连；所述更换块（45）上同样设置有所述拉动槽（6）、所述拉动电动推杆（61）；所述更换块（45）上的所述拉动电动推杆（61）的输出端固连有卡合块（63）；所述卡合块（63）上连接有环形拉动块（62）。
7.根据权利要求6所述的一种光学镜片表面平整度检测设备，其特征在于：所述更换块（45）上的所述环形拉动块（62）上开设有卡合槽（64）；所述卡合槽（64）两侧固连有卡合弹簧（65），所述卡合槽（64）两侧滑动连接有尖形块（66）；所述卡合块（63）的形状为梯形，所述卡合块（63）能够伸入所述卡合槽（64）内，与所述尖形块（66）相卡合。
8.根据权利要求7所述的一种光学镜片表面平整度检测设备，其特征在于：所述固定块（2）上的所述环形拉动块（62）内固连有环形磁铁块（67）；所述环形拉动块（62）由金属制成。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202311406926.6A CN117146764B (zh) | 2023-10-27 | 2023-10-27 | 一种光学镜片表面平整度检测设备 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202311406926.6A CN117146764B (zh) | 2023-10-27 | 2023-10-27 | 一种光学镜片表面平整度检测设备 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN117146764A true CN117146764A (zh) | 2023-12-01 |
| CN117146764B CN117146764B (zh) | 2024-01-05 |
Family
ID=88902937
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202311406926.6A Active CN117146764B (zh) | 2023-10-27 | 2023-10-27 | 一种光学镜片表面平整度检测设备 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN117146764B (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN118067071A (zh) * | 2024-04-25 | 2024-05-24 | 江苏南晶红外光学仪器有限公司 | 一种光学玻璃表面粗糙度检测装置 |
Citations (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0578899A1 (en) * | 1992-07-15 | 1994-01-19 | STMicroelectronics S.r.l. | Process for measuring the planarity degree of a dielectric layer in an integrated circuit and integrated circuit including means for performing said process |
| JPH10221007A (ja) * | 1997-02-04 | 1998-08-21 | Nikon Corp | 波面絶対校正法および波面絶対校正装置 |
| JP2000263391A (ja) * | 1999-03-18 | 2000-09-26 | Nikon Corp | 表面形状評価方法およびこれを用いた高精度平滑研磨方法 |
| JP2003254741A (ja) * | 2002-02-28 | 2003-09-10 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 半導体エピタキシャルウェーハの測定方法、半導体エピタキシャルウェーハの測定装置、半導体エピタキシャルウェーハの製造方法及びコンピュータプログラム |
| TW200817844A (en) * | 2006-09-14 | 2008-04-16 | Canon Kk | Anti-vibration apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method |
| CN101424519A (zh) * | 2007-10-30 | 2009-05-06 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 平整度的检测装置及检测方法 |
| CN102506773A (zh) * | 2011-09-28 | 2012-06-20 | 上海宏力半导体制造有限公司 | 检测晶圆表面粗糙度的方法 |
| CN103308010A (zh) * | 2013-05-13 | 2013-09-18 | 广东生益科技股份有限公司 | 一种板面粗糙度检验方法及装置 |
| CN104296698A (zh) * | 2014-10-27 | 2015-01-21 | 广州飞拓优视光电科技有限公司 | 一种超高精度的光学表面平整度测量方法 |
| CN108489421A (zh) * | 2018-03-12 | 2018-09-04 | 四川大学 | 一种条纹投影检测平面元件面形方法及装置 |
| TWI680276B (zh) * | 2018-09-03 | 2019-12-21 | 綠點高新科技股份有限公司 | 用於3d掃描的結構光影像產生方法及系統、數位程式產品及數位計算設備 |
| CN111806764A (zh) * | 2020-07-13 | 2020-10-23 | 博众精工科技股份有限公司 | 一种覆膜装置 |
| CN112525138A (zh) * | 2020-12-07 | 2021-03-19 | 王凯 | 一种冲压工件表面粘连毛刺检测方法 |
| CN215921265U (zh) * | 2021-07-28 | 2022-03-01 | 江门市江海区乾源电子有限公司 | 铝基板覆膜整平生产线 |
| CN216348524U (zh) * | 2021-10-19 | 2022-04-19 | 苏州德聚春田材料科技有限公司 | 一种pc薄板平整度自动检测装置 |
| CN115371971A (zh) * | 2022-09-15 | 2022-11-22 | 上义光学科技(上饶)有限公司 | 一种光学镜片的位移调整结构 |
| CN218723954U (zh) * | 2022-12-18 | 2023-03-24 | 南通米谷光电子科技有限公司 | 一种光学镜片平整度检测装置 |
-
2023
- 2023-10-27 CN CN202311406926.6A patent/CN117146764B/zh active Active
Patent Citations (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0578899A1 (en) * | 1992-07-15 | 1994-01-19 | STMicroelectronics S.r.l. | Process for measuring the planarity degree of a dielectric layer in an integrated circuit and integrated circuit including means for performing said process |
| JPH10221007A (ja) * | 1997-02-04 | 1998-08-21 | Nikon Corp | 波面絶対校正法および波面絶対校正装置 |
| JP2000263391A (ja) * | 1999-03-18 | 2000-09-26 | Nikon Corp | 表面形状評価方法およびこれを用いた高精度平滑研磨方法 |
| JP2003254741A (ja) * | 2002-02-28 | 2003-09-10 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 半導体エピタキシャルウェーハの測定方法、半導体エピタキシャルウェーハの測定装置、半導体エピタキシャルウェーハの製造方法及びコンピュータプログラム |
| TW200817844A (en) * | 2006-09-14 | 2008-04-16 | Canon Kk | Anti-vibration apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method |
| CN101424519A (zh) * | 2007-10-30 | 2009-05-06 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 平整度的检测装置及检测方法 |
| CN102506773A (zh) * | 2011-09-28 | 2012-06-20 | 上海宏力半导体制造有限公司 | 检测晶圆表面粗糙度的方法 |
| CN103308010A (zh) * | 2013-05-13 | 2013-09-18 | 广东生益科技股份有限公司 | 一种板面粗糙度检验方法及装置 |
| CN104296698A (zh) * | 2014-10-27 | 2015-01-21 | 广州飞拓优视光电科技有限公司 | 一种超高精度的光学表面平整度测量方法 |
| CN108489421A (zh) * | 2018-03-12 | 2018-09-04 | 四川大学 | 一种条纹投影检测平面元件面形方法及装置 |
| TWI680276B (zh) * | 2018-09-03 | 2019-12-21 | 綠點高新科技股份有限公司 | 用於3d掃描的結構光影像產生方法及系統、數位程式產品及數位計算設備 |
| CN111806764A (zh) * | 2020-07-13 | 2020-10-23 | 博众精工科技股份有限公司 | 一种覆膜装置 |
| CN112525138A (zh) * | 2020-12-07 | 2021-03-19 | 王凯 | 一种冲压工件表面粘连毛刺检测方法 |
| CN215921265U (zh) * | 2021-07-28 | 2022-03-01 | 江门市江海区乾源电子有限公司 | 铝基板覆膜整平生产线 |
| CN216348524U (zh) * | 2021-10-19 | 2022-04-19 | 苏州德聚春田材料科技有限公司 | 一种pc薄板平整度自动检测装置 |
| CN115371971A (zh) * | 2022-09-15 | 2022-11-22 | 上义光学科技(上饶)有限公司 | 一种光学镜片的位移调整结构 |
| CN218723954U (zh) * | 2022-12-18 | 2023-03-24 | 南通米谷光电子科技有限公司 | 一种光学镜片平整度检测装置 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 吴杰;姚亚;时维昌;: "大面积透水混凝土铺装跳仓法施工工艺", 建筑技术开发, no. 06 * |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN118067071A (zh) * | 2024-04-25 | 2024-05-24 | 江苏南晶红外光学仪器有限公司 | 一种光学玻璃表面粗糙度检测装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN117146764B (zh) | 2024-01-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN117146764B (zh) | 一种光学镜片表面平整度检测设备 | |
| US20140332166A1 (en) | Peeling device, peeling system, and peeling method | |
| KR102375977B1 (ko) | 자동 및 반자동 보호필름 부착장치 | |
| US10657858B2 (en) | Backlight detection apparatus and backlight detection method thereof | |
| CN107745187B (zh) | 压膜治具和激光切膜系统 | |
| CN101026116A (zh) | 一种晶片检测装置和晶片检测方法 | |
| CN108759728B (zh) | Pcb电路板平整度检测用光线照射检测系统及其检测方法 | |
| JP6316705B2 (ja) | 粘着テープ剥離方法および粘着テープ剥離装置 | |
| JP2008122307A (ja) | 基準位置校正治具、外形測定装置、外観検査装置、測定対象物保持装置、基準位置校正方法、外形測定方法、及び外観検査方法 | |
| US10483138B2 (en) | Wafer clamp and a method of clamping a wafer | |
| CN218211718U (zh) | 一种芯轴弹簧弹力测试装置 | |
| CN217605637U (zh) | 一种自适应实际物距的晶圆检测装置 | |
| JP4063639B2 (ja) | 表面検査装置 | |
| KR100306302B1 (ko) | 엘씨디 패널 얼라이너의 위치결정장치 | |
| KR101057217B1 (ko) | 웨이퍼 결함 검사 장치 | |
| KR101564688B1 (ko) | 필터 검사방법 및 필터 검사장치 | |
| CN104576496A (zh) | 半导体晶片的托起装置 | |
| KR20230020655A (ko) | 미소 전자부품 실장기의 이젝터 핀 교체 알림시스템 | |
| CN210923515U (zh) | 一种探测芯片分层的测试结构 | |
| CN109579773B (zh) | 一种玻璃变形量测量方法 | |
| JPH1068620A (ja) | 薄板の平坦度測定方法および装置 | |
| JP5878821B2 (ja) | パターン形成装置 | |
| CN207487612U (zh) | 缸孔网纹角度测量装置 | |
| CN110543065A (zh) | 一种用于半导体设备化学机械研磨头维修再生的设备 | |
| CN110926404A (zh) | 显示屏偏光片平整度检测设备 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |