CN117128893A - 一种石墨舟翘片检测装置及检测方法 - Google Patents
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- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 121
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 121
- 239000010439 graphite Substances 0.000 title claims abstract description 121
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 111
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims abstract description 13
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 7
- 241000258971 Brachiopoda Species 0.000 claims abstract description 6
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims abstract description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 22
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 22
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 22
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 17
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 8
- 239000000284 extract Substances 0.000 claims description 3
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000007774 longterm Effects 0.000 abstract description 3
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 8
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 4
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 4
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 3
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 description 3
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 3
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 229910021419 crystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 239000007888 film coating Substances 0.000 description 1
- 238000009501 film coating Methods 0.000 description 1
- 239000012634 fragment Substances 0.000 description 1
- 230000003760 hair shine Effects 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F21—LIGHTING
- F21V—FUNCTIONAL FEATURES OR DETAILS OF LIGHTING DEVICES OR SYSTEMS THEREOF; STRUCTURAL COMBINATIONS OF LIGHTING DEVICES WITH OTHER ARTICLES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- F21V29/50—Cooling arrangements
- F21V29/70—Cooling arrangements characterised by passive heat-dissipating elements, e.g. heat-sinks
- F21V29/74—Cooling arrangements characterised by passive heat-dissipating elements, e.g. heat-sinks with fins or blades
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F21—LIGHTING
- F21V—FUNCTIONAL FEATURES OR DETAILS OF LIGHTING DEVICES OR SYSTEMS THEREOF; STRUCTURAL COMBINATIONS OF LIGHTING DEVICES WITH OTHER ARTICLES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F21V29/00—Protecting lighting devices from thermal damage; Cooling or heating arrangements specially adapted for lighting devices or systems
- F21V29/50—Cooling arrangements
- F21V29/60—Cooling arrangements characterised by the use of a forced flow of gas, e.g. air
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F21—LIGHTING
- F21V—FUNCTIONAL FEATURES OR DETAILS OF LIGHTING DEVICES OR SYSTEMS THEREOF; STRUCTURAL COMBINATIONS OF LIGHTING DEVICES WITH OTHER ARTICLES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F21V29/00—Protecting lighting devices from thermal damage; Cooling or heating arrangements specially adapted for lighting devices or systems
- F21V29/50—Cooling arrangements
- F21V29/60—Cooling arrangements characterised by the use of a forced flow of gas, e.g. air
- F21V29/67—Cooling arrangements characterised by the use of a forced flow of gas, e.g. air characterised by the arrangement of fans
- F21V29/673—Cooling arrangements characterised by the use of a forced flow of gas, e.g. air characterised by the arrangement of fans the fans being used for intake
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
- G01B11/25—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object
- G01B11/254—Projection of a pattern, viewing through a pattern, e.g. moiré
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
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- Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract
本发明涉及一种石墨舟翘片检测装置及检测方法,解决了现有技术中的石墨舟检测装置中用于给石墨舟打光的条形光源在长期使用后不能及时散热而导致条形光源亮度降低,最终对翘片检测结果造成影响的技术问题。一种石墨舟翘片检测装置包括检测机架,检测机架顶部设有检测相机,底部设有条形光源,条形光源包括灯壳与安装在灯壳内的发光体与控制器;灯壳的其中一个壁面为透光面,发光体位于灯壳内靠近透光面的一侧,控制器位于灯壳内远离透光面的一侧;发光体用于朝向所述透光面打光以使光线穿过所述透光面照在石墨舟上;灯壳的外侧壁上设有多个散热片,散热片背离灯壳的一侧安装有散热风机,散热风机用于朝向散热片吹风或吸风以带走散热片处的热量。
Description
技术领域
本发明涉及光学检测技术领域,尤其涉及一种石墨舟翘片检测装置及检测方法。
背景技术
在目前晶体硅太阳能电池的制造过程中,通常采用石墨舟作为载具,将硅片放置在石墨舟内,并通过管式PECVD的方式在硅片上生长出氧化铝或氮化硅薄膜。硅片与石墨舟一般采用立式卡点的接触方式放置在石墨舟中,硅片与石墨舟片的贴合状态会影响镀膜过程中射频状态,若出现翘片、缺片、叠片等情况,会导致电极导通,出现高频报警,从而影响硅片的成膜质量。在卸片过程中,若石墨舟内的硅片与石墨舟片贴合异常,会导致碎片及划伤等异常,在上下片过程中漏吸漏插会导致硅片工艺异常,导致返工处理。
因此,在进行镀膜工序之前,需要对石墨舟中的硅片进行翘片检测,现有技术中,通常先使用光源对石墨舟进行打光,之后使用检测相机对石墨舟表面进行拍摄,之后将采集的结果传输至分析软件中进行检测,识别石墨舟内的插片情况。如授权公告号为CN114111620B的发明专利公开的一种晶硅电池石墨舟体光学检测方法中所提供的舟内翘片检测子系统便是一种用于检测舟内电池插片状态的系统,其包括具有舟内翘片检测工位的舟内翘片检测机架、固定于所述舟内翘片检测机架的左排线扫相机、右排线扫相机、左排条形光源及右排条形光源。该发明的技术方案中,使用位于周内翘片检测机架左右两侧的条形光源对石墨舟进行打光,之后左排线扫相机和右排线扫相机对石墨舟进行扫描并将扫描结果传输至检测系统进行检测,从而判断石墨舟内是否有翘片现象。
但在该技术方案中,扫描过程中条形光源需要不断的发出强光,连续检测了一定数量的石墨舟之后,条形光源中的发光件及控制器会产生大量的热量,若热量不能及时散出,条形光源处的温度会不断升高,若条形光源长期处于高温环境下其发光效率会降低,亮度会逐渐变暗,这将导致检测相机拍摄的石墨舟表面图像不够清晰,检测系统无法准确判断石墨舟内的硅片的状态,影响翘片检测结果。
发明内容
本发明提供一种石墨舟翘片检测装置及检测方法,以解决现有技术中的石墨舟检测装置中用于给石墨舟打光的条形光源在长期使用后不能及时散热而导致条形光源亮度降低,最终对翘片检测结果造成影响的技术问题。
为解决上述问题,本发明提供的一种石墨舟翘片检测装置及检测方法采用如下技术方案:
一种石墨舟翘片检测装置,包括:
检测机架,定义检测机架的长度方向为前后方向,宽度方向为左右方向,检测机架顶部的左右两侧各设有一排检测相机,检测机架底部的左右两侧各设有一排条形光源;
所述检测机架的下方设有沿左右方向延伸的输送轨道,所述输送轨道上沿左右方向滑动装配有安装框,所述安装框内放置有石墨舟,所述条形光源用于朝向石墨舟的表面打光,所述拍摄相机用于拍摄石墨舟表面的图像并将图像传输至检测系统;
其特征在于,
所述条形光源包括灯壳与安装在灯壳内的发光体与控制器;
所述灯壳的其中一个壁面为透光面,所述透光面位于靠近石墨舟的一侧,所述发光体位于灯壳内靠近透光面的一侧,所述控制器位于灯壳内远离透光面的一侧;所述发光体用于朝向所述透光面打光以使光线穿过所述透光面照在石墨舟上;
所述灯壳的外侧壁上设有多个散热片,所述的多个散热片背离所述灯壳的一侧安装有多个散热风机,所述的多个散热风机用于朝向所述散热片吹风或吸风以带走散热片处的热量。
上述技术方案的有益效果是:在条形光源的灯壳外侧壁上设置散热片,增大散热面积,有利于提高散热速度,在散热片一侧设置散热风机,进一步提高了散热速度,使条形光源在使用过程中能够得到及时散热,避免条形光源长期处于高温环境下而导致发光效率降低,光源变暗,保证条形光源照射在石墨舟上的光足够亮,使检测相机拍摄的石墨舟表面的图片足够清晰,保证翘片检测结果准确。
进一步的,所述的多个散热片沿前后方向延伸且沿灯壳上对应侧壁的宽度方向等间隔分布,所述的多个散热风机的风口正对于所述散热片,所述的多个散热风机沿前后方向间隔分布。
进一步的,位于外侧的两散热片的外表面上设有沿前后方向延伸的安装滑槽,所述安装滑槽处连接有风机支架,所述风机支架呈倒U字形,其包括水平安装板以及连接在水平安装板的两端的竖直连接板,竖直连接板的底部设有朝向风机支架的内侧弯折的插接板,所述插接板插设在对应的安装滑槽内,以使所述风机支架滑动装配在所述安装滑槽上;所述水平安装板上设有上下贯穿的安装口,所述散热风机安装在所述安装口内;所述竖直连接板上设有螺纹穿孔,连接螺栓穿过所述螺纹穿孔以使所述风机支架固定在所述散热片上。
上述技术方案的有益效果是:风机支架滑动装配在安装滑槽上,只需推动风机支架,便能调整风机的安装位置,调节更方便,便于根据现场安装情况来调整风机的安装位置,通过连接螺栓将风机支架固定在安装滑槽上,固定方式简单,便于安装与拆卸。
进一步的,所述检测机架的左右两侧分别设有多根沿上下方向延伸的连接柱,所述条形光源位置可调的安装在所述连接柱的底部。
上述技术方案的有益效果是:条形光源位置可调,便于根据石墨舟的尺寸和形状合理调整条形光源的高度与角度,调整打光位置,保证检测相机能够拍到最清晰的图像。
进一步的,所述连接柱的底部设有连接板,连接板在上下方向上位置可调的安装在所述连接柱上;所述灯壳的侧壁上连接有调节板,所述调节板角度可调的安装在所述连接板的底部。
上述技术方案的有益效果是:连接柱与条形光源之间通过连接板连接,通过调整连接板在连接柱上的上下位置,可以改变条形光源的高度,通过调整调节板与连接板之间的角度,可以改变条形光源的角度,实现条形光源在上下方向上的位置及角度均可调。
进一步的,所述连接柱及连接板上均设有多个沿上下方向等间隔分布的穿孔,连接螺栓穿过连接板及连接柱上相互对应的穿孔以将所述连接板固定在所述连接柱上;所述调节板铰接在所述连接板的底部,所述连接板和所述调节板的其中一块板上设有以铰接轴为中心轴线的弧形长条孔,另一块板上设有以铰接轴为中心轴线沿圆周方向等间隔分布的多个连接孔,连接螺栓穿过弧形长条孔及对应的连接孔将所述调节板固定在所述连接板上。
上述技术方案的有益效果是:通过使不同的穿孔相互对应,可以调节连接板在连接柱上的上下位置,通过旋转调节板使弧形长条孔与不同的连接孔相配合,可以调整条形光源的角度,调节方式简便。
进一步的,所述条形光源的前后两侧均设有呈L形的手柄杆,所述手柄杆背离条形光源的一端设有接头,所述手柄杆内穿设有接线,所述接线一端与接头连接,另一端与所述控制器及发光体连接,以在所述接头插入电源时为所述控制器及所述发光体供电。
上述技术方案的有益效果是:在需要调节条形光源的角度时,可以持握手柄杆,对条形光源进行旋转调整,同时接线穿设在手柄杆内,手柄杆将接线隐藏,避免接线外漏影响美观性。
进一步的,所述检测机架包括位于其顶部的左右两侧且沿前后方向延伸的支撑横梁,所述支撑横梁的顶部设有多个沿前后方向间隔分布的固定板,固定板上安装有支撑架,所述检测相机位置可调的安装在所述支撑架上。
上述技术方案的有益效果是:检测相机位置可调,便于调整出最合适的拍摄角度。
本发明还提供一种检测方法,该方法应用上述的石墨舟检测装置来完成,其包括如下步骤:
S1、对检测相机的拍摄角度及条形光源的打光角度进行调整,定义检测相机的镜头中垂线与石墨舟表面的交点为交点A,条形光源发出的光线在石墨舟表面的照射区域为区域B,将检测相机及条形光源调整至交点A不落在区域B内,且各检测相机能拍摄到对应区域处的石墨舟上的各个石墨舟片及硅片的状态;
S2、将石墨舟置于安装框内,石墨舟沿输送轨道输送至检测机架下方;开启散热风机,使散热风机朝向散热片吸风;
S3、定义石墨舟位于其移动方向上的前侧的一端为石墨舟的首端,石墨舟位于其移动方向上的后侧的一端为石墨舟的尾端,石墨舟的首端沿输送轨道移动至区域B,开启条形光源与检测相机,石墨舟继续沿输送轨道向前输送,检测相机对石墨舟进行扫描拍摄,石墨舟的尾端离开区域B时,关闭条形光源与检测相机;
S4、检测相机将拍摄的石墨舟图片上传至AOI系统,AOI系统获取图像信息,对图像进行二值化处理,以使图像呈现出只有黑与白的视觉效果;
S5、提取出石墨舟中的硅片及石墨舟片所在区域的外形轮廓;
S6、将硅片所在区域的轮廓用彩色线条示出,定义该线条为线条c,将石墨舟片靠近硅片一侧的棱边用另外一种颜色的彩色线条示出,定义该线条为线条d,提取线条c与线条d的位置数据;
S7、系统选取线条c上的点C,同时选取线条d上与点C对应的点D,通过计算得到点C与点D之间的距离,系统沿线条c与线条d分别抽取多个点C和点D,计算得到多个点C与点D之间的距离数据形成数据集合E,设定点C与点D之间的合格距离值为a,设定最大误差量为n,将数据集合E中的各距离数据与a对比,当大于a的距离数据的数量超过n个时,系统判断出发生翘片,当大于a的距离数据的数量不超过n个时,系统判断出未发生翘片。
上述技术方案的有益效果是:检测相机镜头中垂线与石墨舟表面的交点A不落在条形光源的打光区域B内,检测相机不直视石墨舟表面上的反光区,避免拍摄的图像产生过曝现象而影响图像清晰度。
附图说明
通过参考附图阅读下文的详细描述,本发明示例性实施方式的上述以及其他目的、特征和优点将变得易于理解。在附图中,以示例性而非限制性的方式示出了本发明的若干实施方式,并且相同或对应的标号表示相同或对应的部分,其中:
图1为本发明提供的一种石墨舟翘片检测装置的结构示意图;
图2为本发明提供的一种石墨舟翘片检测装置的正视图;
图3为本发明提供的一种石墨舟翘片检测装置的左视图;
图4为本发明提供的一种石墨舟翘片检测装置的俯视图。
附图标记说明:
1、检测机架;2、检测相机;3、条形光源;4、手柄杆;5、接头;6、连接柱;7、连接板;8、调节板;9、支撑横梁;10、风机支架;11、散热风机;12、散热片;13、弧形长条孔;14、水平安装板;15、竖直连接板;16、插接板。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,本领域技术人员应知,下面所描述的实施例是本公开一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
如图1、图2、图3和图4所示,一种石墨舟翘片检测装置,包括检测机架1,检测机架1由铝型材制成,定义检测机架1的长度方向为前后方向,宽度方向为左右方向,检测机架1包括位于其顶部的左右两侧的四根沿前后方向延伸的支撑横梁9,检测机架1顶部的左右两侧各设有两根沿前后方向间隔分布的支撑横梁9,每根支撑横梁9上均设有沿前后方向间隔分布的两块固定板,每块固定板上均安装有支撑架,支撑架上安装有检测相机2,检测相机2角度可调的安装在支撑架上。支撑架包括两个相互平行的竖向支撑板,两竖向支撑板之间铰接有转动板,转动板上开设有弧形调节孔,检测相机2上连接有相机固定板,连接螺栓穿过弧形调节孔及相机固定板以将检测相机2连接在转动板上。通过转动转动板可以调整检测相机2在其中一个方位上的拍摄角度,通过转动相机固定板并将连接螺栓固定在弧形调节孔上的不同位置处可以调整检测相机2在另一方位上的拍摄角度。检测相机2采用具有25mm高分辨率镜头的4k黑白线扫相机,检测相机2用于拍摄石墨舟的表面图像并将图像传输至AOI系统,AOI系统为自动光学检测系统,AOI系统为现有技术,此处不再详细描述。
检测机架1的左右两侧均设有两根沿上下方向延伸的连接柱6,连接柱6的底部设有连接板7,连接板7及连接柱6上均设有多个沿上下方向等间隔分布且相互对应的穿孔,连接螺栓穿过连接板7及连接柱6上相互对应的穿孔将连接板7固定在连接柱6上,通过使不同的穿孔相互对应,可以调整连接板7在连接柱6上的上下位置。每块连接板7的底部均设有沿前后方向延伸的条形光源3,条形光源3包括灯壳以及安装在灯壳内的发光体和控制器,灯壳包括透光板,透光板的外侧壁面为透光面,透光面位于靠近石墨舟的一侧,发光体安装在灯壳内靠近透光板的一侧,控制器安装在灯壳内远离透光板的一侧。灯壳上与透光板相邻的侧壁上连接有调节板8,调节板8连接在连接板7的底部。
连接板7的底部设有第一铰接孔,第一铰接孔的四周设有绕第一铰接孔的轴线呈圆周分布的多个连接孔,调节板8上设有与第一铰接孔对应的第二铰接孔,连接销轴穿过连接板7上的第一铰接孔与调节板8上的第二铰接孔使连接板7与调节板8铰接连接。调节板8上设有以第二铰接孔的轴线为中心轴线的弧形长条孔13,连接螺栓穿过弧形长条孔13与对应的连接孔将调节板8固定连接在连接板7的底部。通过使弧形长条孔13与不同的连接孔对接,可以调整条形光源3的角度。
灯壳上靠近控制器一侧的外侧壁上设有沿前后方向延伸并沿灯壳上对应侧壁的宽度方向等间隔分布的多个散热片12,位于外侧的两散热片12的外表面上设有沿前后方向延伸的安装滑槽,安装滑槽上滑动装配有风机支架10。风机支架10呈倒U字形,包括水平安装板14和连接在水平安装板14两端的竖直连接板15,竖直连接板15的底部设有朝向风机支架10的内侧弯折的插接板16,插接板16插设在对应的安装滑槽内。水平安装板14上设有安装口,安装口内安装有散热风机11,散热风机11用于朝向散热片12吸风,以将散热片12处的热量排至空气中起到加速散热的效果。
灯壳的前后两端连接有L形的手柄杆4,手柄杆4背离条形光源3的一端设有接头5,手柄杆4内穿设有接线,接线的一端与接头5连接,另一端伸入灯壳内与发光体及控制器连接,以在接头5接入电源时对发光体和控制器进行供电。
检测机架1的下方设有沿左右方向延伸的输送轨道,输送轨道上滑动装配有安装框,待检测的石墨舟放置于安装框内,安装框带动待检测的石墨舟沿左右方向通过检测机架1的下方以完成翘片检测。
本发明还提供一种检测方法,其应用上述的石墨舟翘片检测装置来完成,包括如下步骤:
S1、对检测相机的拍摄角度及条形光源的打光角度进行调整,定义检测相机的镜头中垂线与石墨舟表面的交点为交点A,条形光源发出的光线在石墨舟表面的照射区域为区域B,将检测相机及条形光源调整至交点A不落在区域B内,且各检测相机能拍摄到对应区域处的石墨舟上的各个石墨舟片及硅片的状态;
S2、将石墨舟置于安装框内,石墨舟沿输送轨道输送至检测机架下方;开启散热风机,使散热风机朝向散热片吸风;
S3、定义石墨舟位于其移动方向上的前侧的一端为石墨舟的首端,石墨舟位于其移动方向上的后侧的一端为石墨舟的尾端,石墨舟的首端沿输送轨道移动至区域B,开启条形光源与检测相机,石墨舟继续沿输送轨道向前输送,检测相机对石墨舟进行扫描拍摄,石墨舟的尾端离开区域B时,关闭条形光源与检测相机;
S4、检测相机将拍摄的石墨舟图片上传至AOI系统,AOI系统获取图像信息,对图像进行二值化处理,以使图像呈现出只有黑与白的视觉效果;
S5、提取出石墨舟中的硅片及石墨舟片所在区域的外形轮廓;
S6、将硅片所在区域的轮廓用彩色线条示出,定义该线条为线条c,将石墨舟片靠近硅片一侧的棱边用另外一种颜色的彩色线条示出,定义该线条为线条d,提取线条c与线条d的位置数据;
S7、系统选取线条c上的点C,同时选取线条d上与点C对应的点D,通过计算得到点C与点D之间的距离,系统沿线条c与线条d分别抽取多个点C和点D,计算得到多个点C与点D之间的距离数据形成数据集合E,设定点C与点D之间的合格距离值为a,设定最大误差量为n,将数据集合E中的各距离数据与a对比,当大于a的距离数据的数量超过n个时,系统判断出发生翘片,当大于a的距离数据的数量不超过n个时,系统判断出未发生翘片。
本发明通过在条形光源的灯壳外侧壁上设置散热片与散热风机,加快了条形光源的散热速度,避免条形光源处出现长期处于高温环境中而导致亮度衰减的问题,保证条形光源足够明亮,以使检测相机拍摄到清晰的石墨舟图像,保证翘片检测结果的准确性。
根据本说明书的上述描述,本领域技术人员还可以理解如下使用的术语,例如“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“宽度”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”(这部分文字需要根据个案所采用的文字进行调整替换)等指示方位或位置关系的术语是基于本说明书的附图所示的方位或位置关系的,其仅是为了便于阐述本发明的方案和简化描述的目的,而不是明示或暗示所涉及的装置或元件必须要具有所述特定的方位、以特定的方位来构造和进行操作,因此上述的方位或位置关系术语不能被理解或解释为对本发明方案的限制。
另外,在本说明书的描述中,“多个”的含义是至少两个,例如两个,三个或更多个等,除非另有明确具体地限定。
Claims (9)
1.一种石墨舟翘片检测装置,包括:
检测机架,定义检测机架的长度方向为前后方向,宽度方向为左右方向,检测机架顶部的左右两侧各设有一排检测相机,检测机架底部的左右两侧各设有一排条形光源;
所述检测机架的下方设有沿左右方向延伸的输送轨道,所述输送轨道上沿左右方向滑动装配有安装框,所述安装框内放置有石墨舟,所述条形光源用于朝向石墨舟的表面打光,所述拍摄相机用于拍摄石墨舟表面的图像并将图像传输至检测系统;
其特征在于,
所述条形光源包括灯壳与安装在灯壳内的发光体与控制器;
所述灯壳的其中一个壁面为透光面,所述透光面位于靠近石墨舟的一侧,所述发光体位于灯壳内靠近透光面的一侧,所述控制器位于灯壳内远离透光面的一侧;所述发光体用于朝向所述透光面打光以使光线穿过所述透光面照在石墨舟上;
所述灯壳的外侧壁上设有多个散热片,所述的多个散热片背离所述灯壳的一侧安装有多个散热风机,所述的多个散热风机用于朝向所述散热片吹风或吸风以带走散热片处的热量。
2.根据权利要求1所述的一种石墨舟翘片检测装置,其特征在于,所述的多个散热片沿前后方向延伸且沿灯壳上对应侧壁的宽度方向等间隔分布,所述的多个散热风机的风口正对于所述散热片,所述的多个散热风机沿前后方向间隔分布。
3.根据权利要求2所述的一种石墨舟翘片检测装置,其特征在于,位于外侧的两散热片的外表面上设有沿前后方向延伸的安装滑槽,所述安装滑槽处连接有风机支架,所述风机支架呈倒U字形,其包括水平安装板以及连接在水平安装板的两端的竖直连接板,竖直连接板的底部设有朝向风机支架的内侧弯折的插接板,所述插接板插设在对应的安装滑槽内,以使所述风机支架滑动装配在所述安装滑槽上;所述水平安装板上设有上下贯穿的安装口,所述散热风机安装在所述安装口内;所述竖直连接板上设有螺纹穿孔,连接螺栓穿过所述螺纹穿孔以使所述风机支架固定在所述散热片上。
4.根据权利要求1-3中任一项所述的一种石墨舟翘片检测装置,其特征在于,所述检测机架的左右两侧分别设有多根沿上下方向延伸的连接柱,所述条形光源位置可调的安装在所述连接柱的底部。
5.根据权利要求4所述的一种石墨舟翘片检测装置,其特征在于,所述连接柱的底部设有连接板,连接板在上下方向上位置可调的安装在所述连接柱上;所述灯壳的侧壁上连接有调节板,所述调节板角度可调的安装在所述连接板的底部。
6.根据权利要求5所述的一种石墨舟翘片检测装置,其特征在于,所述连接柱及连接板上均设有多个沿上下方向等间隔分布的穿孔,连接螺栓穿过连接板及连接柱上相互对应的穿孔以将所述连接板固定在所述连接柱上;所述调节板铰接在所述连接板的底部,所述连接板和所述调节板的其中一块板上设有以铰接轴为中心轴线的弧形长条孔,另一块板上设有以铰接轴为中心轴线沿圆周方向等间隔分布的多个连接孔,连接螺栓穿过弧形长条孔及对应的连接孔将所述调节板固定在所述连接板上。
7.根据权利要求6所述的一种石墨舟翘片检测装置,其特征在于,所述条形光源的前后两侧均设有呈L形的手柄杆,所述手柄杆背离条形光源的一端设有接头,所述手柄杆内穿设有接线,所述接线一端与接头连接,另一端与所述控制器及发光体连接,以在所述接头插入电源时为所述控制器及所述发光体供电。
8.根据权利要求1-3中任一项所述的一种石墨舟翘片检测装置,其特征在于,所述检测机架包括位于其顶部的左右两侧且沿前后方向延伸的支撑横梁,所述支撑横梁的顶部设有多个沿前后方向间隔分布的固定板,固定板上安装有支撑架,所述检测相机位置可调的安装在所述支撑架上。
9.一种检测方法,应用如权利要求1-8中任一项所述的石墨舟翘片检测装置,其包括如下步骤:
S1、对检测相机的拍摄角度及条形光源的打光角度进行调整,定义检测相机的镜头中垂线与石墨舟表面的交点为交点A,条形光源发出的光线在石墨舟表面的照射区域为区域B,将检测相机及条形光源调整至交点A不落在区域B内,且各检测相机能拍摄到对应区域处的石墨舟上的各个石墨舟片及硅片的状态;
S2、将石墨舟置于安装框内,石墨舟沿输送轨道输送至检测机架下方;开启散热风机,使散热风机朝向散热片吸风;
S3、定义石墨舟位于其移动方向上的前侧的一端为石墨舟的首端,石墨舟位于其移动方向上的后侧的一端为石墨舟的尾端,石墨舟的首端沿输送轨道移动至区域B,开启条形光源与检测相机,石墨舟继续沿输送轨道向前输送,检测相机对石墨舟进行扫描拍摄,石墨舟的尾端离开区域B时,关闭条形光源与检测相机;
S4、检测相机将拍摄的石墨舟图片上传至AO I系统,AO I系统获取图像信息,对图像进行二值化处理,以使图像呈现出只有黑与白的视觉效果;
S5、提取出石墨舟中的硅片及石墨舟片所在区域的外形轮廓;
S6、将硅片所在区域的轮廓用彩色线条示出,定义该线条为线条c,将石墨舟片靠近硅片一侧的棱边用另外一种颜色的彩色线条示出,定义该线条为线条d,提取线条c与线条d的位置数据;
S7、系统选取线条c上的点C,同时选取线条d上与点C对应的点D,通过计算得到点C与点D之间的距离,系统沿线条c与线条d分别抽取多个点C和点D,计算得到多个点C与点D之间的距离数据形成数据集合E,设定点C与点D之间的合格距离值为a,设定最大误差量为n,将数据集合E中的各距离数据与a对比,当大于a的距离数据的数量超过n个时,系统判断出发生翘片,当大于a的距离数据的数量不超过n个时,系统判断出未发生翘片。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202311027444.XA CN117128893A (zh) | 2023-08-15 | 2023-08-15 | 一种石墨舟翘片检测装置及检测方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202311027444.XA CN117128893A (zh) | 2023-08-15 | 2023-08-15 | 一种石墨舟翘片检测装置及检测方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN117128893A true CN117128893A (zh) | 2023-11-28 |
Family
ID=88862090
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202311027444.XA Pending CN117128893A (zh) | 2023-08-15 | 2023-08-15 | 一种石墨舟翘片检测装置及检测方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN117128893A (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN117420152A (zh) * | 2023-12-19 | 2024-01-19 | 聚时科技(深圳)有限公司 | 视觉检测方法、装置、计算机设备及计算机可读存储介质 |
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2023
- 2023-08-15 CN CN202311027444.XA patent/CN117128893A/zh active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN117420152A (zh) * | 2023-12-19 | 2024-01-19 | 聚时科技(深圳)有限公司 | 视觉检测方法、装置、计算机设备及计算机可读存储介质 |
CN117420152B (zh) * | 2023-12-19 | 2024-03-19 | 聚时科技(深圳)有限公司 | 视觉检测方法、装置、计算机设备及计算机可读存储介质 |
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