CN117097293A - 声表面波谐振装置及其形成方法、滤波器、双工器 - Google Patents

声表面波谐振装置及其形成方法、滤波器、双工器 Download PDF

Info

Publication number
CN117097293A
CN117097293A CN202311074978.8A CN202311074978A CN117097293A CN 117097293 A CN117097293 A CN 117097293A CN 202311074978 A CN202311074978 A CN 202311074978A CN 117097293 A CN117097293 A CN 117097293A
Authority
CN
China
Prior art keywords
line portion
main line
electrode
electrode bar
electrode strip
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202311074978.8A
Other languages
English (en)
Inventor
郭荣
邹雅丽
杨新宇
汤正杰
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Changzhou Chengxin Semiconductor Co Ltd
Original Assignee
Changzhou Chengxin Semiconductor Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Changzhou Chengxin Semiconductor Co Ltd filed Critical Changzhou Chengxin Semiconductor Co Ltd
Priority to CN202311074978.8A priority Critical patent/CN117097293A/zh
Publication of CN117097293A publication Critical patent/CN117097293A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/25—Constructional features of resonators using surface acoustic waves
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
    • H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
    • H03H3/08—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of resonators or networks using surface acoustic waves
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
    • H03H9/02543—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
    • H03H9/02637—Details concerning reflective or coupling arrays
    • H03H9/02685—Grating lines having particular arrangements
    • H03H9/02724—Comb like grating lines
    • H03H9/02732—Bilateral comb like grating lines
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
    • H03H9/02818—Means for compensation or elimination of undesirable effects
    • H03H9/02834—Means for compensation or elimination of undesirable effects of temperature influence
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
    • H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/46—Filters
    • H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
    • H03H9/6489—Compensation of undesirable effects
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/70—Multiple-port networks for connecting several sources or loads, working on different frequencies or frequency bands, to a common load or source
    • H03H9/72—Networks using surface acoustic waves
    • H03H9/725—Duplexers

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)

Abstract

一种声表面波谐振装置及其形成方法、滤波器、双工器，其中装置包括：压电层；位于压电层上的电极结构，电极结构包括第一总线和第二总线，第一总线连接若干沿第二方向排布的第一电极条，第二总线连接若干沿第二方向排布的第二电极条；第一电极条和第二电极条分别包括若干主线部、以及至少一个折线部，折线部包括第一端和第二端，主线部与折线部的第一端或第二端连接，且主线部和折线部之间具有连接夹角，沿第二方向，若干折线部的中心呈周期性排布。通过折线部改变声波能量在沿第一方向传播中的边界条件，从而使其传播路径发生改变，进而有效抑制声波能量由重合区至第一间隔区或第二间隔区所产生的横向寄生模态。

Description

声表面波谐振装置及其形成方法、滤波器、双工器
技术领域
本发明涉及半导体技术领域，具体而言，本发明涉及一种声表面波谐振装置及其形成方法、滤波器、双工器。
背景技术
无线通信设备的射频(Radio Frequency，RF)前端芯片包括功率放大器、天线开关、射频滤波器、多工器和低噪声放大器等。其中，射频滤波器包括压电声表面波(SurfaceAcoustic Wave，SAW)滤波器、压电体声波(Bulk Acoustic Wave，BAW)滤波器、微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System，MEMS)滤波器、集成无源装置(IntegratedPassiveDevices，IPD)滤波器等。
SAW谐振器的品质因数(Q值)较高，由SAW谐振器制作成低插入损耗(insertionloss)、高带外抑制(out-band rejection)的RF滤波器，即SAW滤波器，是目前手机、基站等无线通信设备使用的主流RF滤波器。SAW谐振器具有负的频率温度系数(TemperatureCoefficient of Frequency，TCF)，即温度升高时，谐振器的谐振频率(resonantfrequency)降低，温度降低时，谐振频率升高。降低了SAW滤波器的可靠性和稳定性。为了改善SAW谐振器的谐振频率随工作温度漂移的特性，会在压电层上增加温度补偿层，温度补偿层具有于压电层相反的频率温度系数。两者结合使谐振器整体的频率温度系数趋向于零，提高滤波器的可靠性和稳定性。这种包含温度补偿层的SAW谐振器称为温度补偿SAW(Temperature Compensated SAW，TC-SAW)谐振器，由TC-SAW谐振器组成的滤波器称为TC-SAW滤波器。
然而，声表面波谐振装置仍存在诸多问题。
发明内容
本发明解决的问题是提供一种声表面波谐振装置及其形成方法、滤波器、双工器，以抑制横向寄生模态。
为解决上述问题，本发明技术方案提供一种声表面波谐振装置，包括：压电层；位于所述压电层上的电极结构，所述电极结构包括沿第一方向平行排布的第一总线和第二总线，所述第一总线连接若干沿第二方向排布的第一电极条，所述第二总线连接若干沿所述第二方向排布的第二电极条，所述第一方向与所述第二方向垂直，所述第一电极条和所述第二电极条交错放置；所述第一电极条和所述第二电极条分别包括若干主线部、以及至少一个折线部，所述折线部包括相对的第一端和第二端，所述主线部与所述折线部的第一端或第二端连接，且所述主线部和所述折线部之间具有连接夹角，沿所述第二方向，若干所述折线部呈周期性排布；所述第一总线和所述第二总线之间具有沿所述第一方向排布的第一间隔区、重合区和第二间隔区，所述重合区位于所述第一间隔区和所述第二间隔区之间，位于所述重合区的所述第一电极条和所述第二电极条沿所述第二方向重合。
可选的，沿所述第二方向，若干所述折线部的中心呈线性排布。
可选的，沿所述第二方向，若干所述折线部的中心呈非线性排布。
可选的，所述连接夹角的范围为：1°～179°。
可选的，若干所述主线部包括：第一主线部和第二主线部；至少一个所述折线部包括：第一折线部；所述第一电极条的所述第一主线部与所述第一电极条的所述第一折线部的第一端连接，所述第一电极条的所述第二主线部与所述第一电极条的所述第一折线部的第二端连接；所述第二电极条的所述第一主线部与所述第二电极条的所述第一折线部的第二端连接，所述第二电极条的所述第二主线部与所述第二电极条的所述第一折线部的第一端连接；其中，所述第一电极条的所述第一主线部与所述第一总线连接，所述第二电极条的所述第一主线部与所述第二总线连接。
可选的，所述第一电极条的所述第一主线部与沿所述第二方向在先相邻的所述第二电极条的所述第一主线部沿所述第一方向对应，所述第一电极条的所述第一主线部与沿所述第二方向在先相邻的所述第二电极条的所述第一主线部之间具有第一间隙；所述第一电极条的所述第二主线部与沿所述第二方向在后相邻的所述第二电极条的所述第二主线部沿所述第一方向对应，所述第一电极条的所述第二主线部与沿所述第二方向在后相邻的所述第二电极条的所述第二主线部之间具有第二间隙。
可选的，若干所述主线部包括：第一主线部、第二主线部和第三主线部；至少一个所述折线部包括：第一折线部和第二折线部；所述第一主线部与所述第一折线部的第一端连接，所述第二主线部分别与所述第一折线部和所述第二折线部的第二端连接，所述第三主线部与所述第二折线部的第一端连接；其中，所述第一电极条的所述第一主线部与所述第一总线连接，所述第二电极条的所述第一主线部与所述第二总线连接。
可选的，所述第一电极条的所述第一主线部与沿所述第二方向在先相邻的所述第二电极条的所述第二主线部沿所述第一方向对应，所述第一电极条的所述第一主线部与沿所述第二方向在先相邻的所述第二电极条的所述第二主线部之间具有第一间隙；所述第一电极条的所述第三主线部与沿所述第二方向在先相邻的所述第二电极条的所述第二主线部沿所述第一方向对应，所述第一电极条的所述第三主线部与沿所述第二方向在先相邻的所述第二电极条的所述第二主线部之间具有第二间隙；所述第一电极条的所述第二主线部与沿所述第二方向在后相邻的所述第二电极条的所述第一主线部沿所述第一方向对应，所述第一电极条的所述第二主线部与沿所述第二方向在后相邻的所述第二电极条的所述第一主线部之间具有第三间隙；所述第一电极条的所述第二主线部与沿所述第二方向在后相邻的所述第二电极条的所述第三主线部沿所述第一方向对应，所述第一电极条的所述第二主线部与沿所述第二方向在后相邻的所述第二电极条的所述第三主线部之间具有第四间隙。
可选的，所述电极结构还包括：若干第一过渡电极条，所述第一过渡电极条与所述第一总线连接，所述第一过渡电极条平行于所述第一方向直线延伸；若干第二过渡电极条，所述第二过渡电极条与所述第二总线连接，所述第二过渡电极条平行于所述第一方向直线延伸；所述第一过渡电极条和所述第二过渡电极条交错放置。
可选的，所述第一总线和所述第二总线之间具有沿所述第二方向排布的若干第一区和若干第二区，所述第一区和所述第二区间隔排布；其中，所述第一电极条和所述第二电极条位于所述第二区，所述第一过渡电极条和所述第二过渡电极条位于所述第一区。
可选的，若干所述主线部包括：第一主线部和第二主线部；至少一个所述折线部包括：第一折线部；其中，位于所述第一区一侧的所述第二区中所述第一电极条的所述第一主线部与所述第一电极条的所述第一折线部的第一端连接，所述第一电极条的所述第二主线部与所述第一电极条的所述第一折线部的第二端连接，所述第二电极条的所述第一主线部与所述第二电极条的所述第一折线部的第二端连接，所述第二电极条的所述第二主线部与所述第二电极条的所述第一折线部的第一端连接；位于所述第一区另一侧的所述第二区中所述第一电极条的所述第一主线部与所述第一电极条的所述第一折线部的第二端连接，所述第一电极条的所述第二主线部与所述第一电极条的所述第一折线部的第一端连接，所述第二电极条的所述第一主线部与所述第二电极条的所述第一折线部的第一端连接，所述第二电极条的所述第二主线部与所述第二电极条的所述第一折线部的第二端连接；所述第一电极条的所述第一主线部与所述第一总线连接，所述第二电极条的所述第一主线部与所述第二总线连接。
可选的，位于所述第一区一侧的所述第二区中所述第一电极条的所述第一主线部与沿所述第二方向在先相邻的所述第二电极条的所述第一主线部沿所述第一方向对应，所述第一电极条的所述第一主线部与沿所述第二方向在先相邻的所述第二电极条的所述第一主线部之间具有第一间隙；所述第一电极条的所述第二主线部与沿所述第二方向在后相邻的所述第二电极条的所述第二主线部沿所述第一方向对应，所述第一电极条的所述第二主线部与沿所述第二方向在后相邻的所述第二电极条的所述第二主线部之间具有第二间隙；位于所述第一区另一侧的所述第二区中所述第一电极条的所述第一主线部与沿所述第二方向在后相邻的所述第二电极条的所述第一主线部沿所述第一方向对应，所述第一电极条的所述第一主线部与沿所述第二方向在后相邻的所述第二电极条的所述第一主线部之间具有第三间隙；所述第一电极条的所述第二主线部与沿所述第二方向在先相邻的所述第二电极条的所述第二主线部沿所述第一方向对应，所述第一电极条的所述第二主线部与沿所述第二方向在先相邻的所述第二电极条的所述第二主线部之间具有第四间隙。
可选的，若干所述主线部包括：第一主线部、第二主线部和第三主线部；至少一个所述折线部包括：第一折线部和第二折线部；其中，位于所述第一区一侧的所述第二区的所述第一主线部与所述第一折线部的第一端连接，所述第二主线部分别与所述第一折线部与所述第二折线部的第二端连接，所述第三主线部与所述第二折线部的第一端连接；位于所述第一区另一侧的所述第二区的所述第一主线部与所述第一折线部的第二端连接，所述第二主线部分别与所述第一折线部和所述第二折线部的第一端连接，所述第三主线部与所述第二折线部的第二端连接；其中，所述第一电极条的所述第一主线部与所述第一总线连接，所述第二电极条的所述第一主线部与所述第二总线连接。
可选的，位于所述第一区一侧的所述第二区中所述第一电极条的所述第一主线部与沿所述第二方向在先相邻的所述第二电极条的所述第二主线部沿所述第一方向对应，所述第一电极条的所述第一主线部与沿所述第二方向在先相邻的所述第二电极条的所述第二主线部之间具有第一间隙；所述第一电极条的所述第三主线部与沿所述第二方向在先相邻的所述第二电极条的所述第二主线部沿所述第一方向对应，所述第一电极条的所述第三主线部与沿所述第二方向在先相邻的所述第二电极条的所述第二主线部之间具有第二间隙；所述第一电极条的所述第二主线部与沿所述第二方向在后相邻的所述第二电极条的所述第一主线部沿所述第一方向对应，所述第一电极条的所述第二主线部与沿所述第二方向在后相邻的所述第二电极条的所述第一主线部之间具有第三间隙；所述第一电极条的所述第二主线部与沿所述第二方向在后相邻的所述第二电极条的所述第三主线部沿所述第一方向对应，所述第一电极条的所述第二主线部与沿所述第二方向在后相邻的所述第二电极条的所述第三主线部之间具有第四间隙；位于所述第一区另一侧的所述第二区中所述第一电极条的所述第一主线部与沿所述第二方向在后相邻的所述第二电极条的所述第二主线部沿所述第一方向对应，所述第一电极条的所述第一主线部与沿所述第二方向在后相邻的所述第二电极条的所述第二主线部之间具有第五间隙；所述第一电极条的所述第三主线部与沿所述第二方向在后相邻的所述第二电极条的所述第二主线部沿所述第一方向对应，所述第一电极条的所述第三主线部与沿所述第二方向在后相邻的所述第二电极条的所述第二主线部之间具有第六间隙；所述第一电极条的所述第二主线部与沿所述第二方向在先相邻的所述第二电极条的所述第一主线部沿所述第一方向对应，所述第一电极条的所述第二主线部与沿所述第二方向在先相邻的所述第二电极条的所述第一主线部之间具有第七间隙；所述第一电极条的所述第二主线部与沿所述第二方向在先相邻的所述第二电极条的所述第三主线部沿所述第一方向对应，所述第一电极条的所述第二主线部与沿所述第二方向在先相邻的所述第二电极条的所述第三主线部之间具有第八间隙。
相应的，本发明技术方案中还提供一种声表面波谐振装置的形成方法，包括：提供压电层；在所述压电层上形成电极结构；其中，形成所述电极结构包括：形成沿第一方向平行排布的第一总线和第二总线，所述第一总线和所述第二总线之间具有沿所述第一方向排布的第一间隔区、重合区和第二间隔区，所述重合区形成于所述第一间隔区和所述第二间隔区之间；形成若干沿第二方向平行排布的第一电极条，所述第一总线连接若干所述第一电极条，所述第一方向与所述第二方向垂直；形成若干沿所述第二方向平行排布的第二电极条，所述第二总线连接若干所述第二电极条，所述第一电极条和所述第二电极条交错放置，位于所述重合区的所述第一电极条和所述第二电极条沿所述第二方向重合；其中，形成所述第一电极条和形成所述第二电极条分别包括：形成若干主线部、以及至少一个折线部，所述折线部包括相对的第一端和第二端，所述主线部与所述折线部的第一端或第二端连接，且所述主线部和所述折线部之间具有连接夹角，沿所述第二方向，若干所述折线部呈周期性排布。
可选的，沿所述第二方向，若干所述折线部的中心呈线性排布。
可选的，沿所述第二方向，若干所述折线部的中心呈非线性排布。
可选的，所述连接夹角的范围为：1°～179°。
可选的，形成若干所述主线部包括：形成第一主线部和第二主线部；形成至少一个所述折线部包括：形成第一折线部；所述第一电极条的所述第一主线部与所述第一电极条的所述第一折线部的第一端连接，所述第一电极条的所述第二主线部与所述第一电极条的所述第一折线部的第二端连接；所述第二电极条的所述第一主线部与所述第二电极条的所述第一折线部的第二端连接，所述第二电极条的所述第二主线部与所述第二电极条的所述第一折线部的第一端连接；其中，所述第一电极条的所述第一主线部与所述第一总线连接，所述第二电极条的所述第一主线部与所述第二总线连接。
可选的，形成若干所述主线部包括：形成第一主线部、第二主线部和第三主线部；形成至少一个所述折线部包括：形成第一折线部和第二折线部；所述第一主线部与所述第一折线部的第一端连接，所述第二主线部分别与所述第一折线部和所述第二折线部的第二端连接，所述第三主线部与所述第二折线部的第一端连接；其中，所述第一电极条的所述第一主线部与所述第一总线连接，所述第二电极条的所述第一主线部与所述第二总线连接。
可选的，形成所述电极结构还包括：形成若干第一过渡电极条，所述第一过渡电极条与所述第一总线连接，所述第一过渡电极条平行于所述第一方向直线延伸；形成若干第二过渡电极条，所述第二过渡电极条与所述第二总线连接，所述第二过渡电极条平行于所述第一方向直线延伸；所述第一过渡电极条和所述第二过渡电极条交错放置。
可选的，所述第一总线和所述第二总线之间具有沿所述第二方向排布的若干第一区和若干第二区，所述第一区和所述第二区间隔排布；其中，所述第一电极条和所述第二电极条形成于所述第二区，所述第一过渡电极条和所述第二过渡电极条形成于所述第一区。
可选的，形成若干所述主线部包括：形成第一主线部和第二主线部；形成至少一个所述折线部包括：形成第一折线部；其中，形成于所述第一区一侧的所述第二区中所述第一电极条的所述第一主线部与所述第一电极条的所述第一折线部的第一端连接，所述第一电极条的所述第二主线部与所述第一电极条的所述第一折线部的第二端连接，所述第二电极条的所述第一主线部与所述第二电极条的所述第一折线部的第二端连接，所述第二电极条的所述第二主线部与所述第二电极条的所述第一折线部的第一端连接；形成于所述第一区另一侧的所述第二区中所述第一电极条的所述第一主线部与所述第一电极条的所述第一折线部的第二端连接，所述第一电极条的所述第二主线部与所述第一电极条的所述第一折线部的第一端连接，所述第二电极条的所述第一主线部与所述第二电极条的所述第一折线部的第一端连接，所述第二电极条的所述第二主线部与所述第二电极条的所述第一折线部的第二端连接；其中，所述第一电极条的所述第一主线部与所述第一总线连接，所述第二电极条的所述第一主线部与所述第二总线连接。
可选的，形成若干所述主线部包括：第一主线部、第二主线部和第三主线部；形成至少一个所述折线部包括：形成第一折线部和第二折线部；其中，形成于所述第一区一侧的所述第二区的所述第一主线部与所述第一折线部的第一端连接，所述第二主线部分别与所述第一折线部与所述第二折线部的第二端连接，所述第三主线部与所述第二折线部的第一端连接；形成于所述第一区另一侧的所述第二区的所述第一主线部与所述第一折线部的第二端连接，所述第二主线部分别与所述第一折线部和所述第二折线部的第一端连接，所述第三主线部与所述第二折线部的第二端连接；其中，所述第一电极条的所述第一主线部与所述第一总线连接，所述第二电极条的所述第一主线部与所述第二总线连接。
相应的，本发明技术方案中还提供一种滤波器，包括：如上述任一项技术方案所述的声表面波谐振装置。
相应的，本发明技术方案中还提供一种双工器，包括：如上述技术方案所述的滤波器。
与现有技术相比，本发明的技术方案具有以下优点：
在本发明技术方案的声表面波谐振装置中，所述第一电极条和所述第二电极条分别包括若干主线部、以及至少一个折线部，且所述主线部和所述折线部之间具有连接夹角，沿所述第二方向，若干所述折线部呈周期性排布。由于相邻所述第一电极条和所述第二电极条的所述折线部在所述第一方向上的位置并不相同，当声波沿着所述第一方向传播，遇到所述折线部发生反射时，其横向反射波的相位角并不相同，不会产生叠加效应。因此，通过所述折线部改变声波能量在沿所述第一方向传播中的边界条件，从而使其传播路径发生改变，进而有效抑制由所述重合区向所述第一间隔区或所述第二间隔区传播的横向寄生模态。
在本发明技术方案的声表面波谐振装置形成方法中，形成所述第一电极条和形成所述第二电极条分别包括：形成若干主线部、以及至少一个折线部，且所述主线部和所述折线部之间具有连接夹角，沿所述第二方向，若干所述折线部呈周期性排布。由于相邻所述第一电极条和所述第二电极条的所述折线部在所述第一方向上的位置并不相同，当声波沿着所述第一方向传播，遇到所述折线部发生反射时，其横向反射波的相位角并不相同，不会产生叠加效应。因此，通过所述折线部改变声波能量在沿所述第一方向传播中的边界条件，从而使其传播路径发生改变，进而有效抑制由所述重合区向所述第一间隔区或所述第二间隔区传播的横向寄生模态。
附图说明
图1和图2是一种声表面波谐振装置的结构示意图；
图3至图4是本发明实施例中声表面波谐振装置的形成方法各步骤的结构示意图；
图5是本发明另一实施例中声表面波谐振装置的形成方法各步骤的结构示意图；
图6是本发明又一实施例中声表面波谐振装置的形成方法各步骤的结构示意图；
图7是本发明又一实施例中声表面波谐振装置的形成方法各步骤的结构示意图；
图8是本发明另一实施例中声表面波谐振装置的结构示意图。
具体实施方式
正如背景技术所述，声表面波谐振装置仍存在诸多问题。以下将结合附图进行具体说明。
图1和图2是一种声表面波谐振装置的结构示意图。
请参考图1和图2，图2是图1中沿A-A线截面声速示意图，压电层100；位于所述压电层100上的电极结构，所述电极结构包括沿第一方向X平行排布的第一总线101和第二总线102，所述第一总线101连接若干沿第二方向Y平行排布的第一电极条103，所述第二总线102连接若干沿所述第二方向Y平行排布的第二电极条104，所述第一方向X与所述第二方向Y垂直，所述第一电极条103和所述第二电极条104交错放置，所述第一电极条103包括沿所述第一方向X连接的第一部1031和第二部1032，所述第二电极条104包括沿所述第一方向X连接的第三部1041和第四部1042，所述第二部1032和所述第三部1041在所述第二方向Y上重合，所述第一总线101和所述第二总线102之间具有沿所述第一方向X排布的第一间隔区A1、重合区B1和第二间隔区A2，所述重合区B1位于所述第一间隔区A1和所述第二间隔区A2之间，所述第二部1032和所述第三部1041位于所述重合区B1，所述第一部1031位于所述第一间隔区A1，所述第四部1042位于所述第二间隔区A2。
需要说明的是，在本实施例中，还包括：位于所述压电层100上的温度补偿层(未图示)，所述温度补偿层覆盖所述电极结构，所述温度补偿层与压电层100具有相反的温度频移特性，可以减小频率温度系数(TemperatureCoefficient of Frequency，TCF)，趋向于0ppm/℃，从而改善了声表面波谐振装置工作频率随工作温度漂移的特性，具备了更高的频率-温度稳定性。包括温度补偿层的声表面波谐振装置称为温度补偿声表面波谐振装置(即，TC-SAW谐振器)。
在本实施例中，由于所述重合区B1上的所述第一电极条103和所述第二电极条104的排布密度较大，因此所述重合区B1上的波速小于所述第一间隔区A1和所述第二间隔区A2上的波速，因此利用所述重合区B1分别与所述第一间隔区A1和第二间隔区A2的波速差，将谐振装置的主频能量束缚在所述重合区B1，形成驻波。
请继续参考图2，所述重合区B1的声速小于所述第一间隔区A1的声速，所述重合区B1的声速还小于所述第二间隔区A2的声速，所述第一间隔区A1的声速与所述第二间隔区A2的声速相等或相近，其中，所述重合区B1中存在高阶声波能量，出现横向寄生谐振(spurious resonance)，进而影响谐振装置的性能。
在此基础上，本发明提供一种声表面波谐振装置及其形成方法、滤波器、双工器，通过所述折线部改变声波能量在沿所述第一方向传播中的边界条件，从而使其传播路径发生改变，进而有效抑制声波由所述重合区向所述第一间隔区或所述第二间隔区传播的横向寄生模态。
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。
在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明，但是本发明还可以采用其他不同于在此描述的其它方式来实施，因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。
图3至图4是本发明实施例中声表面波谐振装置的形成方法各步骤的结构示意图；图8是本发明另一实施例中声表面波谐振装置的结构示意图。
请参考图3，提供压电层200。
所述压电层200的材料包括：钽酸锂、铌酸锂、锆钛酸铅、铌镁酸铅—钛酸铅、氮化铝、氮化铝合金、氮化镓或氧化锌。在本实施例中，所述压电层200的材料采用铌酸锂。
请参考图4，在所述压电层200上形成电极结构。
在本实施例中，形成所述电极结构包括：形成沿第一方向X平行排布的第一总线201和第二总线202，所述第一总线201和所述第二总线202之间具有沿所述第一方向X排布的第一间隔区A1、重合区B1和第二间隔区A2，所述重合区B1形成于所述第一间隔区A1和所述第二间隔区A2之间；形成若干沿第二方向Y平行排布的第一电极条203，所述第一总线201连接若干所述第一电极条203，所述第一方向X与所述第二方向Y垂直；形成若干沿所述第二方向Y平行排布的第二电极条204，所述第二总线202连接若干所述第二电极条204，所述第一电极条203和所述第二电极条204交错放置，位于所述重合区B1的所述第一电极条203和所述第二电极条204沿所述第二方向Y重合；其中，形成所述第一电极条203和形成所述第二电极条204分别包括：形成若干主线部、以及至少一个折线部，所述折线部包括相对的第一端和第二端，所述主线部与所述折线部的第一端或第二端连接，且所述主线部和所述折线部之间具有连接夹角α，沿所述第二方向Y，若干所述折线部呈周期性排布；其中，形成于所述重合区B1的所述第一电极条203和所述第二电极条204沿所述第二方向Y重合。
在本实施例中，由于相邻所述第一电极条203和所述第二电极条204的所述折线部在所述第一方向X上的位置并不相同，当声波沿着所述第一方向X传播，遇到所述折线部发生反射时，其横向反射波的相位角并不相同，不会产生叠加效应。因此，通过所述折线部改变声波能量在沿所述第一方向X传播中的边界条件，从而使其传播路径发生改变，进而抑制声波由所述重合区B1向所述第一间隔区A1或所述第二间隔区A2传播的横向寄生模态。
所述连接夹角α的范围为：1°～179°。
在本实施例中，图4示出了所述连接夹角α为90°。
在其他实施例中，图8示出了所述所述连接夹角α为45°。
请继续参考图4，在本实施例中，形成若干所述主线部包括：形成第一主线部205和第二主线部206；形成至少一个所述折线部包括：形成第一折线部207；所述第一电极条203的所述第一主线部205与所述第一电极条203的所述第一折线部207的第一端207a连接，所述第一电极条203的所述第二主线部206与所述第一电极条203的所述第一折线部207的第二端207b连接；所述第二电极条204的所述第一主线部205与所述第二电极条204的所述第一折线部207的第二端207b连接，所述第二电极条204的所述第二主线部206与所述第二电极条204的所述第一折线部207的第一端207a连接。
在本实施例中，所述第一电极条203的所述第一主线部205与所述第一总线201连接，所述第二电极条204的所述第一主线部205与所述第二总线202连接。
在本实施例中，所述第一电极条203的所述第一主线部205与沿所述第二方向Y在先相邻的所述第二电极条204的所述第一主线部205沿所述第一方向X对应，所述第一电极条203的所述第一主线部205与沿所述第二方向Y在先相邻的所述第二电极条204的所述第一主线205部之间具有第一间隙；所述第一电极条203的所述第二主线部206与沿所述第二方向Y在后相邻的所述第二电极条204的所述第二主线部206沿所述第一方向X对应，所述第一电极条203的所述第二主线部206与沿所述第二方向Y在后相邻的所述第二电极条204的所述第二主线部206之间具有第二间隙。
在本实施例中，沿所述第二方向Y，若干所述第一折线部207的中心呈线性排布。
在其他实施例中，沿所述第二方向Y，若干所述第一折线部的中心还可以呈周期性的非线性排布。
在本实施例中，周期的循环数量为2个～5个。
相应的，本发明实施例中还提供一种声表面波谐振装置，请继续参考图4，包括：压电层200；位于所述压电层200上的电极结构，所述电极结构包括沿第一方向X平行排布的第一总线201和第二总线202，所述第一总线201连接若干沿第二方向Y排布的第一电极条203，所述第二总线202连接若干沿所述第二方向Y排布的第二电极条204，所述第一方向X与所述第二方向Y垂直，所述第一电极条203和所述第二电极条204交错放置；所述第一电极条203和所述第二电极204条分别包括若干主线部、以及至少一个折线部，所述折线部包括相对的第一端和第二端，所述主线部与所述折线部的第一端或第二端连接，且所述主线部和所述折线部之间具有连接夹角α，沿所述第二方向Y，若干所述折线部呈周期性排布；所述第一总线201和所述第二总线202之间具有沿所述第一方向X排布的第一间隔区A1、重合区B1和第二间隔区A2，所述重合区B1位于所述第一间隔区A1和所述第二间隔区A2之间，位于所述重合区B1的所述第一电极条203和所述第二电极条204沿所述第二方向Y重合。
在本实施例中，通过所述折线部改变声波能量在沿所述第一方向X传播中的边界条件，从而使其传播路径发生改变，进而有效抑制声波由所述重合区B1向所述第一间隔区A1或所述第二间隔区A2传播的横向寄生模态。
所述连接夹角α的范围为：1°～179°。
在本实施例中，图4示出了所述连接夹角α为90°。
在其他实施例中，图8示出了所述所述连接夹角α为45°。
在本实施例中，若干所述主线部包括：第一主线部205和第二主线部206；至少一个所述折线部包括：第一折线部207；所述第一电极条203的所述第一主线部205与所述第一电极条203的所述第一折线部207的第一端207a连接，所述第一电极条203的所述第二主线部206与所述第一电极条203的所述第一折线部207的第二端207b连接；所述第二电极条204的所述第一主线部205与所述第二电极条204的所述第一折线部207的第二端207b连接，所述第二电极条204的所述第二主线部206与所述第二电极条204的所述第一折线部207的第一端207a连接。
在本实施例中，所述第一电极条203的所述第一主线部205与所述第一总线201连接，所述第二电极条204的所述第一主线部205与所述第二总线202连接。
在本实施例中，所述第一电极条203的所述第一主线部205与沿所述第二方向Y在先相邻的所述第二电极条204的所述第一主线部205沿所述第一方向X对应，所述第一电极条203的所述第一主线部205与沿所述第二方向Y在先相邻的所述第二电极条204的所述第一主线205部之间具有第一间隙；所述第一电极条203的所述第二主线部206与沿所述第二方向Y在后相邻的所述第二电极条204的所述第二主线部206沿所述第一方向X对应，所述第一电极条203的所述第二主线部206与沿所述第二方向Y在后相邻的所述第二电极条204的所述第二主线部206之间具有第二间隙。
在本实施例中，沿所述第二方向Y，若干所述第一折线部207的中心呈线性排布。
在其他实施例中，沿所述第二方向Y，若干所述第一折线部的中心还可以呈非线性排布。
在本实施例中，周期的循环数量为2个～5个。
图5是本发明另一实施例中声表面波谐振装置的形成方法各步骤的结构示意图。
本实施例中是在上述实施例(图4)的基础上对声表面波谐振装置的形成方法继续进行说明，与上述实施例中的不同之处在于：至少一个折线部包括第一折线部和第二折线部。以下将结合附图对其进行具体说明。
请参考图5，形成若干所述主线部包括：形成第一主线部301、第二主线部302和第三主线部303；形成至少一个所述折线部包括：形成第一折线部304和第二折线部305；所述第一主线部301与所述第一折线部304的第一端304a连接，所述第二主线部302分别与所述第一折线部304的第二端304b和所述第二折线部305的第二端305b连接，所述第三主线部303与所述第二折线部305的第一端305a连接。
在本实施例中，所述第一电极条203的所述第一主线部301与所述第一总线201连接，所述第二电极条204的所述第一主线部301与所述第二总线202连接。
在本实施例中，所述第一电极条203的所述第一主线部301与沿所述第二方向Y在先相邻的所述第二电极条204的所述第二主线部302沿所述第一方向X对应，所述第一电极条203的所述第一主线部301与沿所述第二方向Y在先相邻的所述第二电极条204的所述第二主线部302之间具有第一间隙；所述第一电极条203的所述第三主线部303与沿所述第二方向Y在先相邻的所述第二电极条204的所述第二主线部302沿所述第一方向X对应，所述第一电极条203的所述第三主线部303与沿所述第二方向Y在先相邻的所述第二电极条204的所述第二主线部302之间具有第二间隙；所述第一电极条203的所述第二主线部302与沿所述第二方向Y在后相邻的所述第二电极条204的所述第一主线部301沿所述第一方向X对应，所述第一电极条203的所述第二主线部302与沿所述第二方向Y在后相邻的所述第二电极条204的所述第一主线部301之间具有第三间隙；所述第一电极条203的所述第二主线部302与沿所述第二方向Y在后相邻的所述第二电极条204的所述第三主线部303沿所述第一方向X对应，所述第一电极条203的所述第二主线部302与沿所述第二方向Y在后相邻的所述第二电极条204的所述第三主线部303之间具有第四间隙。
在本实施例中，沿所述第二方向Y，若干所述第一电极条203的所述第一折线部304的中心与若干所述第二电极条204的所述第二折线部305的中心呈线性排布；以及若干所述第一电极条的所述第二折线部305的中心与若干所述第二电极条的所述第一折线部304的中心呈线性排布。
在其他本实施例中，沿所述第二方向Y，若干所述第一电极条的所述第一折线部的中心与若干所述第二电极条的所述第二折线部的中心还可以呈非线性排布；以及若干所述第一电极条的所述第二折线部的中心与若干所述第二电极条的所述第一折线部的中心还可以呈非线性排布。
相应的，本发明实施例中还提供了一种声表面波谐振装置，请继续参考图5，其余结构均与上述实施例(图4)中记载的所述声表面波谐振装置相同，不同之处在于：若干所述主线部包括：第一主线部301、第二主线部302和第三主线部303；至少一个所述折线部包括：第一折线部304和第二折线部305；所述第一主线部301与所述第一折线部304的第一端304a连接，所述第二主线部302分别与所述第一折线部304的第二端304b和所述第二折线部305的第二端305b连接，所述第三主线部303与所述第二折线部305的第一端305a连接。
在本实施例中，所述第一电极条203的所述第一主线部301与所述第一总线201连接，所述第二电极条204的所述第一主线部301与所述第二总线202连接。
在本实施例中，所述第一电极条203的所述第一主线部301与沿所述第二方向Y在先相邻的所述第二电极条204的所述第二主线部302沿所述第一方向X对应，所述第一电极条203的所述第一主线部301与沿所述第二方向Y在先相邻的所述第二电极条204的所述第二主线部302之间具有第一间隙；所述第一电极条203的所述第三主线部303与沿所述第二方向Y在先相邻的所述第二电极条204的所述第二主线部302沿所述第一方向X对应，所述第一电极条203的所述第三主线部303与沿所述第二方向Y在先相邻的所述第二电极条204的所述第二主线部302之间具有第二间隙；所述第一电极条203的所述第二主线部302与沿所述第二方向Y在后相邻的所述第二电极条204的所述第一主线部301沿所述第一方向X对应，所述第一电极条203的所述第二主线部302与沿所述第二方向Y在后相邻的所述第二电极条204的所述第一主线部301之间具有第三间隙；所述第一电极条203的所述第二主线部302与沿所述第二方向Y在后相邻的所述第二电极条204的所述第三主线部303沿所述第一方向X对应，所述第一电极条203的所述第二主线部302与沿所述第二方向Y在后相邻的所述第二电极条204的所述第三主线部303之间具有第四间隙。
在本实施例中，沿所述第二方向Y，若干所述第一电极条203的所述第一折线部304的中心与若干所述第二电极条204的所述第二折线部305的中心呈线性排布；以及若干所述第一电极条的所述第二折线部305的中心与若干所述第二电极条的所述第一折线部304的中心呈线性排布。
在其他本实施例中，沿所述第二方向Y，若干所述第一电极条的所述第一折线部的中心与若干所述第二电极条的所述第二折线部的中心还可以呈非线性排布；以及若干所述第一电极条的所述第二折线部的中心与若干所述第二电极条的所述第一折线部的中心还可以呈非线性排布。
图6是本发明又一实施例中声表面波谐振装置的形成方法各步骤的结构示意图。
本实施例中是在上述实施例(图4)的基础上对声表面波谐振装置的形成方法继续进行说明，与上述实施例中的不同之处在于：所述第一总线和所述第二总线之间具有沿所述第二方向排布的若干第一区和若干第二区。以下将结合附图对其进行具体说明。
请参考图6，形成所述电极结构还包括：形成若干第一过渡电极条401，所述第一过渡电极条401与所述第一总线201连接，所述第一过渡电极条401平行于所述第一方向X直线延伸；形成若干第二过渡电极条402，所述第二过渡电极条402与所述第二总线202连接，所述第二过渡电极条402平行于所述第一方向X直线延伸；所述第一过渡电极条401与所述第二过渡电极条401交错放置。
请继续参考图6，在本实施例中，所述第一总线201和所述第二总线202之间具有沿所述第二方向Y排布的若干第一区I和若干第二区II，所述第一区I和所述第二区II间隔排布；其中，所述第一电极条203和所述第二电极条204形成于所述第二区II，所述第一过渡电极条401和所述第二过渡电极条402形成于所述第一区I。
请继续参考图6，在本实施例中，形成若干所述主线部包括：形成第一主线部403和第二主线部404；形成至少一个所述折线部包括：形成第一折线部405；其中，形成于所述第一区I一侧的所述第二区II中所述第一电极条204的所述第一主线部403与所述第一电极条203的所述第一折线部405的第一端405a连接，所述第一电极条203的所述第二主线部404与所述第一电极条203的所述第一折线部405的第二端405b连接，所述第二电极条204的所述第一主线部403与所述第二电极条204的所述第一折线部405的第二端405b连接，所述第二电极条204的所述第二主线部404与所述第二电极条204的所述第一折线部405的第一端405a连接；形成于所述第一区I另一侧的所述第二区II中所述第一电极条203的所述第一主线部403与所述第一电极条203的所述第一折线部405的第二端405b连接，所述第一电极条203的所述第二主线部404与所述第一电极条203的所述第一折线部405的第一端405a连接，所述第二电极条204的所述第一主线部403与所述第二电极条204的所述第一折线部405的第一端405a连接，所述第二电极条204的所述第二主线部404与所述第二电极条204的所述第一折线部405的第二端405b连接；所述第一电极条203的所述第一主线部403与所述第一总线201连接，所述第二电极条204的所述第一主线部403与所述第二总线202连接。
在本实施例中，位于所述第一区I一侧的所述第二区II中所述第一电极条203的所述第一主线部403与沿所述第二方向Y在先相邻的所述第二电极条204的所述第一主线部403沿所述第一方向X对应，所述第一电极条203的所述第一主线部403与沿所述第二方向Y在先相邻的所述第二电极条204的所述第一主线部403之间具有第一间隙；所述第一电极条203的所述第二主线部404与沿所述第二方向Y在后相邻的所述第二电极条204的所述第二主线部404沿所述第一方向X对应，所述第一电极条203的所述第二主线部404与沿所述第二方向Y在后相邻的所述第二电极条204的所述第二主线部404之间具有第二间隙；位于所述第一区I另一侧的所述第二区II中所述第一电极条203的所述第一主线部403与沿所述第二方向Y在后相邻的所述第二电极条204的所述第一主线部403沿所述第一方向X对应，所述第一电极条203的所述第一主线部403与沿所述第二方向Y在后相邻的所述第二电极条204的所述第一主线部403之间具有第三间隙；所述第一电极条203的所述第二主线部404与沿所述第二方向Y在先相邻的所述第二电极条204的所述第二主线部404沿所述第一方向X对应，所述第一电极条203的所述第二主线部404与沿所述第二方向Y在先相邻的所述第二电极条204的所述第二主线部404之间具有第四间隙。
在本实施例中，沿所述第二方向Y，若干所述第一折线部405的中心呈非线性排布。
在本实施例中，所述非线性排布包括：正弦排布或余弦排布。
在其他实施例中，沿所述第二方向Y，若干所述第一折线部的中心还可以呈线性排布。
相应的，本发明实施例中还提供了一种声表面波谐振装置，请继续参考图6，其余结构均与上述实施例中记载的所述声表面波谐振装置相同，不同之处在于：所述电极结构还包括：若干第一过渡电极条401，所述第一过渡电极条401与所述第一总线201连接，所述第一过渡电极条401沿直线延伸；若干第二过渡电极条402，所述第二过渡电极条402与所述第二总线202连接，所述第二过渡电极条402沿直线延伸；所述第一过渡电极条401和所述第二过渡电极条402交错放置。
在本实施例中，所述第一总线201和所述第二总线202之间具有沿所述第二方向Y排布的若干第一区I和若干第二区II，所述第一区I和所述第二区II间隔排布；其中，所述第一电极条203和所述第二电极条204位于所述第二区II，所述第一过渡电极条401和所述第二过渡电极条402位于所述第一区I。
在本实施例中，若干所述主线部包括：第一主线部403和第二主线部404；至少一个所述折线部包括：第一折线部405；其中，位于所述第一区I一侧的所述第二区II中所述第一电极条204的所述第一主线部403与所述第一电极条203的所述第一折线部405的第一端405a连接，所述第一电极条203的所述第二主线部404与所述第一电极条203的所述第一折线部405的第二端405b连接，所述第二电极条204的所述第一主线部403与所述第二电极条204的所述第一折线部405的第二端405b连接，所述第二电极条204的所述第二主线部404与所述第二电极条204的所述第一折线部405的第一端405a连接；位于所述第一区I另一侧的所述第二区II中所述第一电极条203的所述第一主线部403与所述第一电极条203的所述第一折线部405的第二端405b连接，所述第一电极条203的所述第二主线部404与所述第一电极条203的所述第一折线部405的第一端405a连接，所述第二电极条204的所述第一主线部403与所述第二电极条204的所述第一折线部405的第一端405a连接，所述第二电极条204的所述第二主线部404与所述第二电极条204的所述第一折线部405的第二端405b连接；所述第一电极条203的所述第一主线部403与所述第一总线201连接，所述第二电极条204的所述第一主线部403与所述第二总线202连接。
在本实施例中，位于所述第一区I一侧的所述第二区II中所述第一电极条203的所述第一主线部403与沿所述第二方向Y在先相邻的所述第二电极条204的所述第一主线部403沿所述第一方向X对应，所述第一电极条203的所述第一主线部403与沿所述第二方向Y在先相邻的所述第二电极条204的所述第一主线部403之间具有第一间隙；所述第一电极条203的所述第二主线部404与沿所述第二方向Y在后相邻的所述第二电极条204的所述第二主线部404沿所述第一方向X对应，所述第一电极条203的所述第二主线部404与沿所述第二方向Y在后相邻的所述第二电极条204的所述第二主线部404之间具有第二间隙；位于所述第一区I另一侧的所述第二区II中所述第一电极条203的所述第一主线部403与沿所述第二方向Y在后相邻的所述第二电极条204的所述第一主线部403沿所述第一方向X对应，所述第一电极条203的所述第一主线部403与沿所述第二方向Y在后相邻的所述第二电极条204的所述第一主线部403之间具有第三间隙；所述第一电极条203的所述第二主线部404与沿所述第二方向Y在先相邻的所述第二电极条204的所述第二主线部404沿所述第一方向X对应，所述第一电极条203的所述第二主线部404与沿所述第二方向Y在先相邻的所述第二电极条204的所述第二主线部404之间具有第四间隙。
在本实施例中，沿所述第二方向Y，若干所述第一折线部405的中心呈非线性排布。
在其他实施例中，沿所述第二方向Y，若干所述第一折线部的中心还可以呈线性排布。
图7是本发明又一实施例中声表面波谐振装置的形成方法各步骤的结构示意图。
本实施例中是在上述实施例(图5)的基础上对声表面波谐振装置的形成方法继续进行说明，与上述实施例中的不同之处在于：所述第一总线和所述第二总线之间具有沿所述第二方向排布的若干第一区和若干第二区。以下将结合附图对其进行具体说明。
请参考图7，形成所述电极结构还包括：形成若干第一过渡电极条501，所述第一过渡电极条501与所述第一总线201连接，所述第一过渡电极条501平行于第一方向X直线延伸；形成若干第二过渡电极条502，所述第二过渡电极条502与所述第二总线202连接，所述第二过渡电极条502平行于第一方向X直线延伸；所述第一过渡电极条501和所述第二过渡电极条502交错放置。
请继续参考图7，在本实施例中，所述第一总线201和所述第二总线202之间具有沿所述第二方向Y排布的若干第一区I和若干第二区II，所述第一区I和所述第二区II间隔排布；其中，所述第一电极条203和所述第二电极条204形成于所述第二区II，所述第一过渡电极条501和所述第二过渡电极条502形成于所述第一区I。
请继续参考图7，在本实施例中，形成若干所述主线部包括：第一主线部503、第二主线部504和第三主线部505；形成至少一个所述折线部包括：形成第一折线部506和第二折线部507；其中，形成于所述第一区I一侧的所述第二区II的所述第一主线部503与所述第一折线部506的第一端506a连接，所述第二主线部504分别与所述第一折线部506的第二端506b与所述第二折线部507的第二端507b连接，所述第三主线部505与所述第二折线部507的第一端507a连接；形成于所述第一区I另一侧的所述第二区II的所述第一主线部503与所述第一折线部506的第二端506b连接，所述第二主线部504分别与所述第一折线部506的第一端506a和所述第二折线部507的第一端507a连接，所述第三主线部505与所述第二折线部507的第二端507b连接，所述第一电极条203的所述第一主线部503与所述第一总线201连接，所述第二电极条204的所述第一主线部503与所述第二总线202连接。
在本实施例中，位于所述第一区I一侧的所述第二区II中所述第一电极条203的所述第一主线部503与沿所述第二方向Y在先相邻的所述第二电极条204的所述第二主线部504沿所述第一方向对应，所述第一电极条203的所述第一主线部503与沿所述第二方向Y在先相邻的所述第二电极条204的所述第二主线部504之间具有第一间隙；所述第一电极条203的所述第三主线部505与沿所述第二方向Y在先相邻的所述第二电极条204的所述第二主线部204沿所述第一方向X对应，所述第一电极条203的所述第三主线部505与沿所述第二方向Y在先相邻的所述第二电极条204的所述第二主线部504之间具有第二间隙；所述第一电极条203的所述第二主线部504与沿所述第二方向Y在后相邻的所述第二电极条203的所述第一主线部503沿所述第一方向X对应，所述第一电极条203的所述第二主线部504与沿所述第二方向Y在后相邻的所述第二电极条204的所述第一主线部503之间具有第三间隙；所述第一电极条203的所述第二主线部504与沿所述第二方向Y在后相邻的所述第二电极条204的所述第三主线部505沿所述第一方向X对应，所述第一电极条203的所述第二主线部504与沿所述第二方向Y在后相邻的所述第二电极条204的所述第三主线部505之间具有第四间隙。
在本实施例中，位于所述第一区I另一侧的所述第二区II中所述第一电极条203的所述第一主线部503与沿所述第二方向Y在后相邻的所述第二电极条204的所述第二主线部504沿所述第一方向X对应，所述第一电极条203的所述第一主线部503与沿所述第二方向Y在后相邻的所述第二电极条204的所述第二主线部504之间具有第五间隙；所述第一电极条203的所述第三主线部505与沿所述第二方向Y在后相邻的所述第二电极条204的所述第二主线部504沿所述第一方向X对应，所述第一电极条203的所述第三主线部505与沿所述第二方向Y在后相邻的所述第二电极条204的所述第二主线部504之间具有第六间隙；所述第一电极条203的所述第二主线部504与沿所述第二方向Y在先相邻的所述第二电极条204的所述第一主线部503沿所述第一方向X对应，所述第一电极条203的所述第二主线部504与沿所述第二方向Y在先相邻的所述第二电极条204的所述第一主线部503之间具有第七间隙；所述第一电极条203的所述第二主线部504与沿所述第二方向Y在先相邻的所述第二电极条204的所述第三主线部505沿所述第一方向X对应，所述第一电极条203的所述第二主线部504与沿所述第二方向Y在先相邻的所述第二电极条204的所述第三主线部505之间具有第八间隙。
在本实施例中，沿所述第二方向Y，若干所述第一电极条203的所述第一折线部506的中心与若干所述第二电极条204的所述第二折线部507的中心呈非线性排布；以及若干所述第一电极条的所述第二折线部507的中心与若干所述第二电极条的所述第一折线部506的中心呈线非性排布。
在其他本实施例中，沿所述第二方向Y，若干所述第一电极条的所述第一折线部的中心与若干所述第二电极条的所述第二折线部的中心还可以呈线性排布；以及若干所述第一电极条的所述第二折线部的中心与若干所述第二电极条的所述第一折线部的中心还可以呈线性排布。
在本实施例中，所述非线性排布包括：正弦排布或余弦排布。
相应的，本发明实施例中还提供了一种声表面波谐振装置，请继续参考图7，其余结构均与上述实施例中记载的所述声表面波谐振装置相同，不同之处在于：所述电极结构还包括：若干第一过渡电极条501，所述第一过渡电极条501与所述第一总线201连接，所述第一过渡电极条501平行于第一方向X直线延伸；若干第二过渡电极条502，所述第二过渡电极条502与所述第二总线202连接，所述第二过渡电极条502平行于第一方向X直线延伸；所述第一过渡电极条501和所述第二过渡电极条502交错放置。
在本实施例中，所述第一总线201和所述第二总线202之间具有沿所述第二方向Y排布的若干第一区I和若干第二区II，所述第一区I和所述第二区II间隔排布；其中，所述第一电极条203和所述第二电极条204位于所述第二区II，所述第一过渡电极条501和所述第二过渡电极条502位于所述第一区I。
在本实施例中，若干所述主线部包括：第一主线部503、第二主线部504和第三主线部505；至少一个所述折线部包括：第一折线部506和第二折线部507；其中，位于所述第一区I一侧的所述第二区II的所述第一主线部503与所述第一折线部506的第一端506a连接，所述第二主线部504分别与所述第一折线部506的第二端506b与所述第二折线部507的第二端507b连接，所述第三主线部505与所述第二折线部507的第一端507a连接；位于所述第一区I另一侧的所述第二区II的所述第一主线部503与所述第一折线部506的第二端506b连接，所述第二主线部504分别与所述第一折线部506的第一端506a和所述第二折线部507的第一端507a连接，所述第三主线部505与所述第二折线部507的第二端507b连接，所述第一电极条203的所述第一主线部503与所述第一总线201连接，所述第二电极条204的所述第一主线部503与所述第二总线202连接。
在本实施例中，位于所述第一区I一侧的所述第二区II中所述第一电极条203的所述第一主线部503与沿所述第二方向Y在先相邻的所述第二电极条204的所述第二主线部504沿所述第一方向对应，所述第一电极条203的所述第一主线部503与沿所述第二方向Y在先相邻的所述第二电极条204的所述第二主线部504之间具有第一间隙；所述第一电极条203的所述第三主线部505与沿所述第二方向Y在先相邻的所述第二电极条204的所述第二主线部204沿所述第一方向X对应，所述第一电极条203的所述第三主线部505与沿所述第二方向Y在先相邻的所述第二电极条204的所述第二主线部504之间具有第二间隙；所述第一电极条203的所述第二主线部504与沿所述第二方向Y在后相邻的所述第二电极条203的所述第一主线部503沿所述第一方向X对应，所述第一电极条203的所述第二主线部504与沿所述第二方向Y在后相邻的所述第二电极条204的所述第一主线部503之间具有第三间隙；所述第一电极条203的所述第二主线部504与沿所述第二方向Y在后相邻的所述第二电极条204的所述第三主线部505沿所述第一方向X对应，所述第一电极条203的所述第二主线部504与沿所述第二方向Y在后相邻的所述第二电极条204的所述第三主线部505之间具有第四间隙。
在本实施例中，位于所述第一区I另一侧的所述第二区II中所述第一电极条203的所述第一主线部503与沿所述第二方向Y在后相邻的所述第二电极条204的所述第二主线部504沿所述第一方向X对应，所述第一电极条203的所述第一主线部503与沿所述第二方向Y在后相邻的所述第二电极条204的所述第二主线部504之间具有第五间隙；所述第一电极条203的所述第三主线部505与沿所述第二方向Y在后相邻的所述第二电极条204的所述第二主线部504沿所述第一方向X对应，所述第一电极条203的所述第三主线部505与沿所述第二方向Y在后相邻的所述第二电极条204的所述第二主线部504之间具有第六间隙；所述第一电极条203的所述第二主线部504与沿所述第二方向Y在先相邻的所述第二电极条204的所述第一主线部503沿所述第一方向X对应，所述第一电极条203的所述第二主线部504与沿所述第二方向Y在先相邻的所述第二电极条204的所述第一主线部503之间具有第七间隙；所述第一电极条203的所述第二主线部504与沿所述第二方向Y在先相邻的所述第二电极条204的所述第三主线部505沿所述第一方向X对应，所述第一电极条203的所述第二主线部504与沿所述第二方向Y在先相邻的所述第二电极条204的所述第三主线部505之间具有第八间隙。
在本实施例中，沿所述第二方向Y，若干所述第一电极条203的所述第一折线部506的中心与若干所述第二电极条204的所述第二折线部507的中心呈非线性排布；以及若干所述第一电极条的所述第二折线部507的中心与若干所述第二电极条的所述第一折线部506的中心呈线非性排布。
在其他本实施例中，沿所述第二方向Y，若干所述第一电极条的所述第一折线部的中心与若干所述第二电极条的所述第二折线部的中心还可以呈线性排布；以及若干所述第一电极条的所述第二折线部的中心与若干所述第二电极条的所述第一折线部的中心还可以呈线性排布。
在本实施例中，所述非线性排布包括：正弦排布或余弦排布。
相应的，本发明实施例中还提供一种滤波器，包括：如上述任一项实施例所述的声表面波谐振装置。
相应的，本发明实施例中还提供一种双工器，包括：如上述实施例所述的滤波器。
应该理解，此处的例子和实施例仅是示例性的，本领域技术人员可以在不背离本申请和所附权利要求所限定的本发明的精神和范围的情况下，做出各种修改和更正。

Claims (26)

1.一种声表面波谐振装置，其特征在于，包括：
压电层；
位于所述压电层上的电极结构，所述电极结构包括沿第一方向平行排布的第一总线和第二总线，所述第一总线连接若干沿第二方向排布的第一电极条，所述第二总线连接若干沿所述第二方向排布的第二电极条，所述第一方向与所述第二方向垂直，所述第一电极条和所述第二电极条交错放置；所述第一电极条和所述第二电极条分别包括若干主线部、以及至少一个折线部，所述折线部包括相对的第一端和第二端，所述主线部与所述折线部的第一端或第二端连接，且所述主线部和所述折线部之间具有连接夹角，沿所述第二方向，若干所述折线部呈周期性排布；
所述第一总线和所述第二总线之间具有沿所述第一方向排布的第一间隔区、重合区和第二间隔区，所述重合区位于所述第一间隔区和所述第二间隔区之间，位于所述重合区的所述第一电极条和所述第二电极条沿所述第二方向重合。
2.如权利要求1所述的声表面波谐振装置，其特征在于，沿所述第二方向，若干所述折线部的中心呈线性排布。
3.如权利要求1所述的声表面波谐振装置，其特征在于，沿所述第二方向，若干所述折线部的中心呈非线性排布。
4.如权利要求1所述的声表面波谐振装置，其特征在于，所述连接夹角的范围为：1°～179°。
5.如权利要求1所述的声表面波谐振装置，其特征在于，若干所述主线部包括：第一主线部和第二主线部；至少一个所述折线部包括：第一折线部；所述第一电极条的所述第一主线部与所述第一电极条的所述第一折线部的第一端连接，所述第一电极条的所述第二主线部与所述第一电极条的所述第一折线部的第二端连接；所述第二电极条的所述第一主线部与所述第二电极条的所述第一折线部的第二端连接，所述第二电极条的所述第二主线部与所述第二电极条的所述第一折线部的第一端连接；其中，所述第一电极条的所述第一主线部与所述第一总线连接，所述第二电极条的所述第一主线部与所述第二总线连接。
6.如权利要求5所述的声表面波谐振装置，其特征在于，所述第一电极条的所述第一主线部与沿所述第二方向在先相邻的所述第二电极条的所述第一主线部沿所述第一方向对应，所述第一电极条的所述第一主线部与沿所述第二方向在先相邻的所述第二电极条的所述第一主线部之间具有第一间隙；所述第一电极条的所述第二主线部与沿所述第二方向在后相邻的所述第二电极条的所述第二主线部沿所述第一方向对应，所述第一电极条的所述第二主线部与沿所述第二方向在后相邻的所述第二电极条的所述第二主线部之间具有第二间隙。
7.如权利要求1所述的声表面波谐振装置，其特征在于，若干所述主线部包括：第一主线部、第二主线部和第三主线部；至少一个所述折线部包括：第一折线部和第二折线部；所述第一主线部与所述第一折线部的第一端连接，所述第二主线部分别与所述第一折线部和所述第二折线部的第二端连接，所述第三主线部与所述第二折线部的第一端连接；其中，所述第一电极条的所述第一主线部与所述第一总线连接，所述第二电极条的所述第一主线部与所述第二总线连接。
8.如权利要求7所述的声表面波谐振装置，其特征在于，所述第一电极条的所述第一主线部与沿所述第二方向在先相邻的所述第二电极条的所述第二主线部沿所述第一方向对应，所述第一电极条的所述第一主线部与沿所述第二方向在先相邻的所述第二电极条的所述第二主线部之间具有第一间隙；所述第一电极条的所述第三主线部与沿所述第二方向在先相邻的所述第二电极条的所述第二主线部沿所述第一方向对应，所述第一电极条的所述第三主线部与沿所述第二方向在先相邻的所述第二电极条的所述第二主线部之间具有第二间隙；
所述第一电极条的所述第二主线部与沿所述第二方向在后相邻的所述第二电极条的所述第一主线部沿所述第一方向对应，所述第一电极条的所述第二主线部与沿所述第二方向在后相邻的所述第二电极条的所述第一主线部之间具有第三间隙；所述第一电极条的所述第二主线部与沿所述第二方向在后相邻的所述第二电极条的所述第三主线部沿所述第一方向对应，所述第一电极条的所述第二主线部与沿所述第二方向在后相邻的所述第二电极条的所述第三主线部之间具有第四间隙。
9.如权利要求1所述的声表面波谐振装置，其特征在于，所述电极结构还包括：若干第一过渡电极条，所述第一过渡电极条与所述第一总线连接，所述第一过渡电极条平行于所述第一方向直线延伸；若干第二过渡电极条，所述第二过渡电极条与所述第二总线连接，所述第二过渡电极条平行于所述第一方向直线延伸；所述第一过渡电极条和所述第二过渡电极条交错放置。
10.如权利要求9所述的声表面波谐振装置，其特征在于，所述第一总线和所述第二总线之间具有沿所述第二方向排布的若干第一区和若干第二区，所述第一区和所述第二区间隔排布；其中，所述第一电极条和所述第二电极条位于所述第二区，所述第一过渡电极条和所述第二过渡电极条位于所述第一区。
11.如权利要求10所述的声表面波谐振装置，其特征在于，若干所述主线部包括：第一主线部和第二主线部；至少一个所述折线部包括：第一折线部；其中，位于所述第一区一侧的所述第二区中所述第一电极条的所述第一主线部与所述第一电极条的所述第一折线部的第一端连接，所述第一电极条的所述第二主线部与所述第一电极条的所述第一折线部的第二端连接，所述第二电极条的所述第一主线部与所述第二电极条的所述第一折线部的第二端连接，所述第二电极条的所述第二主线部与所述第二电极条的所述第一折线部的第一端连接；位于所述第一区另一侧的所述第二区中所述第一电极条的所述第一主线部与所述第一电极条的所述第一折线部的第二端连接，所述第一电极条的所述第二主线部与所述第一电极条的所述第一折线部的第一端连接，所述第二电极条的所述第一主线部与所述第二电极条的所述第一折线部的第一端连接，所述第二电极条的所述第二主线部与所述第二电极条的所述第一折线部的第二端连接；所述第一电极条的所述第一主线部与所述第一总线连接，所述第二电极条的所述第一主线部与所述第二总线连接。
12.如权利要求11所述的声表面波谐振装置，其特征在于，位于所述第一区一侧的所述第二区中所述第一电极条的所述第一主线部与沿所述第二方向在先相邻的所述第二电极条的所述第一主线部沿所述第一方向对应，所述第一电极条的所述第一主线部与沿所述第二方向在先相邻的所述第二电极条的所述第一主线部之间具有第一间隙；所述第一电极条的所述第二主线部与沿所述第二方向在后相邻的所述第二电极条的所述第二主线部沿所述第一方向对应，所述第一电极条的所述第二主线部与沿所述第二方向在后相邻的所述第二电极条的所述第二主线部之间具有第二间隙；
位于所述第一区另一侧的所述第二区中所述第一电极条的所述第一主线部与沿所述第二方向在后相邻的所述第二电极条的所述第一主线部沿所述第一方向对应，所述第一电极条的所述第一主线部与沿所述第二方向在后相邻的所述第二电极条的所述第一主线部之间具有第三间隙；所述第一电极条的所述第二主线部与沿所述第二方向在先相邻的所述第二电极条的所述第二主线部沿所述第一方向对应，所述第一电极条的所述第二主线部与沿所述第二方向在先相邻的所述第二电极条的所述第二主线部之间具有第四间隙。
13.如权利要求10所述的声表面波谐振装置，其特征在于，若干所述主线部包括：第一主线部、第二主线部和第三主线部；至少一个所述折线部包括：第一折线部和第二折线部；其中，位于所述第一区一侧的所述第二区的所述第一主线部与所述第一折线部的第一端连接，所述第二主线部分别与所述第一折线部与所述第二折线部的第二端连接，所述第三主线部与所述第二折线部的第一端连接；位于所述第一区另一侧的所述第二区的所述第一主线部与所述第一折线部的第二端连接，所述第二主线部分别与所述第一折线部和所述第二折线部的第一端连接，所述第三主线部与所述第二折线部的第二端连接；其中，所述第一电极条的所述第一主线部与所述第一总线连接，所述第二电极条的所述第一主线部与所述第二总线连接。
14.如权利要求13所述的声表面波谐振装置，其特征在于，位于所述第一区一侧的所述第二区中所述第一电极条的所述第一主线部与沿所述第二方向在先相邻的所述第二电极条的所述第二主线部沿所述第一方向对应，所述第一电极条的所述第一主线部与沿所述第二方向在先相邻的所述第二电极条的所述第二主线部之间具有第一间隙；所述第一电极条的所述第三主线部与沿所述第二方向在先相邻的所述第二电极条的所述第二主线部沿所述第一方向对应，所述第一电极条的所述第三主线部与沿所述第二方向在先相邻的所述第二电极条的所述第二主线部之间具有第二间隙；
所述第一电极条的所述第二主线部与沿所述第二方向在后相邻的所述第二电极条的所述第一主线部沿所述第一方向对应，所述第一电极条的所述第二主线部与沿所述第二方向在后相邻的所述第二电极条的所述第一主线部之间具有第三间隙；所述第一电极条的所述第二主线部与沿所述第二方向在后相邻的所述第二电极条的所述第三主线部沿所述第一方向对应，所述第一电极条的所述第二主线部与沿所述第二方向在后相邻的所述第二电极条的所述第三主线部之间具有第四间隙；
位于所述第一区另一侧的所述第二区中所述第一电极条的所述第一主线部与沿所述第二方向在后相邻的所述第二电极条的所述第二主线部沿所述第一方向对应，所述第一电极条的所述第一主线部与沿所述第二方向在后相邻的所述第二电极条的所述第二主线部之间具有第五间隙；所述第一电极条的所述第三主线部与沿所述第二方向在后相邻的所述第二电极条的所述第二主线部沿所述第一方向对应，所述第一电极条的所述第三主线部与沿所述第二方向在后相邻的所述第二电极条的所述第二主线部之间具有第六间隙；
所述第一电极条的所述第二主线部与沿所述第二方向在先相邻的所述第二电极条的所述第一主线部沿所述第一方向对应，所述第一电极条的所述第二主线部与沿所述第二方向在先相邻的所述第二电极条的所述第一主线部之间具有第七间隙；所述第一电极条的所述第二主线部与沿所述第二方向在先相邻的所述第二电极条的所述第三主线部沿所述第一方向对应，所述第一电极条的所述第二主线部与沿所述第二方向在先相邻的所述第二电极条的所述第三主线部之间具有第八间隙。
15.一种声表面波谐振装置的形成方法，其特征在于，包括：
提供压电层；
在所述压电层上形成电极结构；其中，
形成所述电极结构包括：
形成沿第一方向平行排布的第一总线和第二总线，所述第一总线和所述第二总线之间具有沿所述第一方向排布的第一间隔区、重合区和第二间隔区，所述重合区形成于所述第一间隔区和所述第二间隔区之间；
形成若干沿第二方向平行排布的第一电极条，所述第一总线连接若干所述第一电极条，所述第一方向与所述第二方向垂直；
形成若干沿所述第二方向平行排布的第二电极条，所述第二总线连接若干所述第二电极条，所述第一电极条和所述第二电极条交错放置，位于所述重合区的所述第一电极条和所述第二电极条沿所述第二方向重合；其中，形成所述第一电极条和形成所述第二电极条分别包括：
形成若干主线部、以及至少一个折线部，所述折线部包括相对的第一端和第二端，所述主线部与所述折线部的第一端或第二端连接，且所述主线部和所述折线部之间具有连接夹角，沿所述第二方向，若干所述折线部呈周期性排布。
16.如权利要求15所述的声表面波谐振装置的形成方法，其特征在于，沿所述第二方向，若干所述折线部的中心呈线性排布。
17.如权利要求15所述的声表面波谐振装置的形成方法，其特征在于，沿所述第二方向，若干所述折线部的中心呈非线性排布。
18.如权利要求15所述的声表面波谐振装置的形成方法，其特征在于，所述连接夹角的范围为：1°～179°。
19.如权利要求15所述的声表面波谐振装置的形成方法，其特征在于，形成若干所述主线部包括：形成第一主线部和第二主线部；形成至少一个所述折线部包括：形成第一折线部；所述第一电极条的所述第一主线部与所述第一电极条的所述第一折线部的第一端连接，所述第一电极条的所述第二主线部与所述第一电极条的所述第一折线部的第二端连接；所述第二电极条的所述第一主线部与所述第二电极条的所述第一折线部的第二端连接，所述第二电极条的所述第二主线部与所述第二电极条的所述第一折线部的第一端连接；其中，所述第一电极条的所述第一主线部与所述第一总线连接，所述第二电极条的所述第一主线部与所述第二总线连接。
20.如权利要求15所述的声表面波谐振装置的形成方法，其特征在于，形成若干所述主线部包括：形成第一主线部、第二主线部和第三主线部；形成至少一个所述折线部包括：形成第一折线部和第二折线部；所述第一主线部与所述第一折线部的第一端连接，所述第二主线部分别与所述第一折线部和所述第二折线部的第二端连接，所述第三主线部与所述第二折线部的第一端连接；其中，所述第一电极条的所述第一主线部与所述第一总线连接，所述第二电极条的所述第一主线部与所述第二总线连接。
21.如权利要求15所述的声表面波谐振装置的形成方法，其特征在于，形成所述电极结构还包括：形成若干第一过渡电极条，所述第一过渡电极条与所述第一总线连接，所述第一过渡电极条平行于所述第一方向直线延伸；形成若干第二过渡电极条，所述第二过渡电极条与所述第二总线连接，所述第二过渡电极条平行于所述第一方向直线延伸；所述第一过渡电极条和所述第二过渡电极条交错放置。
22.如权利要求21所述的声表面波谐振装置的形成方法，其特征在于，所述第一总线和所述第二总线之间具有沿所述第二方向排布的若干第一区和若干第二区，所述第一区和所述第二区间隔排布；其中，所述第一电极条和所述第二电极条形成于所述第二区，所述第一过渡电极条和所述第二过渡电极条形成于所述第一区。
23.如权利要求22所述的声表面波谐振装置的形成方法，其特征在于，形成若干所述主线部包括：形成第一主线部和第二主线部；形成至少一个所述折线部包括：形成第一折线部；其中，形成于所述第一区一侧的所述第二区中所述第一电极条的所述第一主线部与所述第一电极条的所述第一折线部的第一端连接，所述第一电极条的所述第二主线部与所述第一电极条的所述第一折线部的第二端连接，所述第二电极条的所述第一主线部与所述第二电极条的所述第一折线部的第二端连接，所述第二电极条的所述第二主线部与所述第二电极条的所述第一折线部的第一端连接；形成于所述第一区另一侧的所述第二区中所述第一电极条的所述第一主线部与所述第一电极条的所述第一折线部的第二端连接，所述第一电极条的所述第二主线部与所述第一电极条的所述第一折线部的第一端连接，所述第二电极条的所述第一主线部与所述第二电极条的所述第一折线部的第一端连接，所述第二电极条的所述第二主线部与所述第二电极条的所述第一折线部的第二端连接；其中，所述第一电极条的所述第一主线部与所述第一总线连接，所述第二电极条的所述第一主线部与所述第二总线连接。
24.如权利要求22所述的声表面波谐振装置的形成方法，其特征在于，形成若干所述主线部包括：第一主线部、第二主线部和第三主线部；形成至少一个所述折线部包括：形成第一折线部和第二折线部；其中，形成于所述第一区一侧的所述第二区的所述第一主线部与所述第一折线部的第一端连接，所述第二主线部分别与所述第一折线部与所述第二折线部的第二端连接，所述第三主线部与所述第二折线部的第一端连接；形成于所述第一区另一侧的所述第二区的所述第一主线部与所述第一折线部的第二端连接，所述第二主线部分别与所述第一折线部和所述第二折线部的第一端连接，所述第三主线部与所述第二折线部的第二端连接；其中，所述第一电极条的所述第一主线部与所述第一总线连接，所述第二电极条的所述第一主线部与所述第二总线连接。
25.一种滤波器，其特征在于，包括：如权利要求1～14任一项所述的声表面波谐振装置。
26.一种双工器，其特征在于，包括：如权利要求25所述的滤波器。
CN202311074978.8A 2023-08-24 2023-08-24 声表面波谐振装置及其形成方法、滤波器、双工器 Pending CN117097293A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202311074978.8A CN117097293A (zh) 2023-08-24 2023-08-24 声表面波谐振装置及其形成方法、滤波器、双工器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202311074978.8A CN117097293A (zh) 2023-08-24 2023-08-24 声表面波谐振装置及其形成方法、滤波器、双工器

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN117097293A true CN117097293A (zh) 2023-11-21

Family

ID=88778185

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202311074978.8A Pending CN117097293A (zh) 2023-08-24 2023-08-24 声表面波谐振装置及其形成方法、滤波器、双工器

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN117097293A (zh)

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006229754A (ja) * 2005-02-18 2006-08-31 Seiko Epson Corp 弾性表面波フィルタ
WO2008035525A1 (fr) * 2006-09-22 2008-03-27 Murata Manufacturing Co., Ltd. Dispositif de filtre d'ondes acoustiques de surface de type à résonateur à couplage longitudinal
US20080079512A1 (en) * 2006-09-29 2008-04-03 Tdk Corporation Surface acoustic wave filter and surface acoustic wave resonator
CN114039573A (zh) * 2022-01-07 2022-02-11 深圳新声半导体有限公司 声表面波谐振器、滤波器及其制作方法和通讯装置
CN114337589A (zh) * 2022-03-01 2022-04-12 常州承芯半导体有限公司 声表面波谐振装置及形成方法、滤波装置和射频前端装置
CN115642891A (zh) * 2021-07-20 2023-01-24 中电科技德清华莹电子有限公司 一种声表面波谐振器
WO2023045732A1 (zh) * 2021-09-27 2023-03-30 江苏卓胜微电子股份有限公司 一种声表面波谐振器和射频滤波器

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006229754A (ja) * 2005-02-18 2006-08-31 Seiko Epson Corp 弾性表面波フィルタ
WO2008035525A1 (fr) * 2006-09-22 2008-03-27 Murata Manufacturing Co., Ltd. Dispositif de filtre d'ondes acoustiques de surface de type à résonateur à couplage longitudinal
US20080079512A1 (en) * 2006-09-29 2008-04-03 Tdk Corporation Surface acoustic wave filter and surface acoustic wave resonator
CN115642891A (zh) * 2021-07-20 2023-01-24 中电科技德清华莹电子有限公司 一种声表面波谐振器
WO2023045732A1 (zh) * 2021-09-27 2023-03-30 江苏卓胜微电子股份有限公司 一种声表面波谐振器和射频滤波器
CN114039573A (zh) * 2022-01-07 2022-02-11 深圳新声半导体有限公司 声表面波谐振器、滤波器及其制作方法和通讯装置
CN114337589A (zh) * 2022-03-01 2022-04-12 常州承芯半导体有限公司 声表面波谐振装置及形成方法、滤波装置和射频前端装置

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
张武, 赵勇, 陈建军, 杨骊先, 郭鼎康, 唐锦春, 于浩: "摄动热电机三参量有限元对DSAW声波力学的研究", 压电与声光, no. 03, 28 June 2003 (2003-06-28) *
王文;何世堂;: "新型驻波模式的声表面波MEMS-IDT陀螺仪", 仪表技术与传感器, no. 1, 15 October 2009 (2009-10-15) *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20220014172A1 (en) Elastic wave device, splitter, and communication apparatus
US7688161B2 (en) Acoustic wave device and filter using the same
EP1455448B1 (en) Filter circuitry
EP1732216B1 (en) Surface acoustic device
US20220069803A1 (en) Elastic wave device, splitter, and communication apparatus
US20080067891A1 (en) Acoustic wave device and filter
US10958241B2 (en) Extractor
CN111937305A (zh) 弹性波元件、弹性波滤波器、分波器以及通信装置
CN113206653B (zh) 弹性波滤波器
CN114614794A (zh) 一种具有不同倾角汇流条的声表面波谐振器
CN110710106A (zh) 弹性波装置、分波器及通信装置
CN115037274A (zh) 声表面波谐振装置及其形成方法
WO2020137263A1 (ja) フィルタ装置
JP6832737B2 (ja) 弾性表面波共振子、分波器および通信装置
US20100289379A1 (en) Surface acoustic wave (saw) device
CN111245392B (zh) 声波装置、滤波器和多路复用器
JP2003243966A (ja) フィルタ回路
CN117097293A (zh) 声表面波谐振装置及其形成方法、滤波器、双工器
JP2017011442A (ja) 弾性表面波デバイス及びフィルタ
US6731044B1 (en) Surface acoustic wave device having an interdigital transducer provided on a main region of a piezoelectric substrate
CN115549639A (zh) 一种声波滤波器
CN112823473B (zh) 弹性波装置
CN117040473A (zh) 声表面波谐振装置及其形成方法、滤波器、双工器
CN117040471A (zh) 声表面波谐振装置及其形成方法、滤波器、双工器
CN112929004B (zh) 声波谐振器、滤波器、多路复用器和晶片

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination