CN117074276A - 用于尘埃粒子计数器的校准系统和方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种用于尘埃粒子计数器的校准系统（10）和方法（30），具有：气溶胶发生单元（11），用于产生标准粒子气溶胶，标准粒子气溶胶至少通过一采样流路的出气口采样至待校准的尘埃粒子计数器（20）中以被其检测粒子数；标准器模块（12），其串联在气溶胶发生单元（11）与尘埃粒子计数器（20）之间的采样流路中，用于检测流经标准粒子气溶胶的粒子数；通过对比尘埃粒子计数器（20）和标准器模块（12）检测的粒子数示数，以确定针对尘埃粒子计数器（20）的校准。本发明将标准器模块（12）串联在采样流路中，其所得到的粒子数数据即为采样流路中实时的粒子数数据，减小了在校准过程中的粒子数损失和错误计数概率，提高检测数据的准确性。

Description

用于尘埃粒子计数器的校准系统和方法

技术领域

本发明涉及尘埃粒子计数器校准领域，特别是涉及是一种用于尘埃粒子计数器的校准系统和方法。

背景技术

尘埃粒子计数器是一种利用光散射原理对空气中的尘埃悬浮粒子数量盒粒径进行计量的一种检测仪器，主要应用于评定洁净室洁净程度等级和检测过滤器过滤效率的检测和鉴定，大量应用于医药、电子、精密机械、半导体、微生物检测等行业。

目前商业化的尘埃粒子计数器已趋于成熟稳定，但是由于不用仪器制造商制造技术的差异、使用中仪器光学系统及检测系统的变化，尘埃粒子计数器的测量结果不尽相同，甚至存在较大的偏差。因此，为实现上述领域内颗粒计数测量的准确、可靠、一致，尘埃粒子计数器量值溯源装置和校准方法的开发变得尤为重要。

目前商用的尘埃粒子计数器校准装置多为外置标准粒子气溶胶发生器，在发生不同粒径的标准气溶胶时，需要更换外置气溶胶发生器的发雾器，耗时较长，无法做到实时切换标准粒子气溶胶。同时标准器模块多与被校准仪器进行并联采样，例如当采样流量为 50或 100L/min 时，采样阻力高，补气量大，采样流量不稳定。

发明内容

为了提高采样流量的稳定性，本发明其中一方面提供一种用于尘埃粒子计数器的校准系统，具有：气溶胶发生单元，用于产生标准粒子气溶胶，其中所述标准粒子气溶胶至少通过一采样流路的出气口采样至待校准的尘埃粒子计数器中以被其检测粒子数；标准器模块，其串联在所述气溶胶发生单元与尘埃粒子计数器之间的所述采样流路中，用于检测流经标准粒子气溶胶的粒子数；其中，通过对比所述尘埃粒子计数器和标准器模块检测的粒子数示数，以确定针对所述尘埃粒子计数器的校准。

在一个示例性实施例中，校准系统具有：补气单元，其设置在采样流路连接的补气流路中，用于在所述尘埃粒子计数器的当前采样流量为第一阈值时，对所述尘埃粒子计数器的采样流量进行补气。

在一个示例性实施例中，所述补气单元具有：采样风机，用于提供所述尘埃粒子计数的补充采样动力；第一流量计，与所述采用风机连接，用于检测补气流量大小；以及第一过滤器，与所述第一流量计连接，用于确保所述补气风机补气流量大小和洁净度要求。

在一个示例性实施例中，校准系统具有：第一限流孔，其设置在所述采样流路中靠近出气口的位置，用于控制补气流量和采样流量。

在一个示例性实施例中，校准系统具有：限流单元，其设置在所述采样流路连接的限流流路中，用于在所述尘埃粒子计数器的当前采样流量为第二阈值时，对所述尘埃粒子计数器的采样流量进行限流。

在一个示例性实施例中，所述限流单元具有：第二过滤器，用于调节采样流量；以及第二限流孔，与所述第二过滤器连接，用于限流所排除的气体通过第二过滤器所排气体洁净。

在一个示例性实施例中，校准系统具有：采样歧管，其设置在所述采样流路中并且与所述限流单元连接，其中所述出气口设置在所述采样歧管的一端，所述采样歧管用于确保在不同采样流量下，流经标准器模块的标准粒子气溶胶与所述尘埃粒子计数器的采样气溶胶流速一致。

在一个示例性实施例中，所述气溶胶发生单元具有：正压泵，用于产生高压气源；第二流量计，与所述正压泵连接，用于检测高压气源流量；第三过滤器，与所述第二流量计连接，用于过滤高压气源；多个发雾器，用于分别提供不同粒径的标准粒子气溶胶在各自通道内的发生；多通道切换阀，一端与所述第三过滤器连接，另一端与分别连接所述多个发雾器，用于控制高压气源在多个通道之间的切换；加热管，分别与所述多个发雾器连接，用于干燥从任意一通道输出的标准粒子气溶胶；以及干燥箱，一端与所述加热管连接，另一端与所述标准器模块连接，用于混匀稀释从所述加热管输出的标准粒子气溶胶。

在一个示例性实施例中，校准系统具有：由第四过滤器与自净电磁阀构成的管路自净单元，设置在所述多个发雾器与加热管之间的流路中，用于至少对所述标准器模块、加热管及干燥箱进行自净。

本发明其中一方面提供一种用于尘埃粒子计数器的校准方法，该校准方法具有以下步骤：控制气溶胶发生单元产生标准粒子气溶胶；控制串联在采样流路中的标准器模块对流经的所述标准粒子气溶胶粒子数进行检测；控制尘埃粒子计数器通过所述采样流路的出气口对所述标准粒子气溶胶进行采样以进行粒子数检测；以及通过对比所述尘埃粒子计数器和标准器模块检测的粒子数示数，以确定针对所述尘埃粒子计数器的校准。

本发明其中一方面提供一种用于尘埃粒子计数器的校准方法，该校准方法具有以下步骤：在确定所述尘埃粒子计数器的当前采样流量为第一阈值时，控制所述补气单元启动以对所述尘埃粒子计数器的采样流量进行补气；其中，所述第一阈值为50L/min 或100L/min。

本发明其中一方面提供一种用于尘埃粒子计数器的校准方法，该校准方法具有以下步骤：在确定所述尘埃粒子计数器的当前采样流量为第二阈值时，控制所述限流单元启动以对所述尘埃粒子计数器的采样流量进行限流；其中，所述第二阈值为2.83L/min。

基于以上内容，本发明的主要有益效果如下：

1.本发明将标准粒子气溶胶发生，干燥，气溶胶粒子数检测，标准器模快自净及在大流量采样工况下的补气装置集成设计，根据校准规范实时切换，提高校准效率。

2. 本发明将标准器模块串联在采样流路中，标准器模块所得到的粒子数数据即为采样流路中实时的粒子数数据，减小了在校准过程中的粒子数损失和错误计数概率，提高检测数据的准确性。

3. 本发明将标准器模块自净流路在加热管前端接入，在进行标准器模块自净时，加热管及干燥箱同时进行自净，避免了因上一次测试残留的气溶胶对下一次实验数据的干扰。

4. 本发明中设置有补气过滤器及采样歧管，保证了在不同流量段尤其是大流量段下的气流流量，同时保证了标准器模块与后端被校准仪器的采样气流流速相同，提高数据准确性。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。

图1示出了根据本发明其中一实施例的校准系统的框图；

图2示出了根据本发明其中一实施例的校准系统的原理图；

图3示出了根据本发明其中一实施例的校准方法的流程图。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

图1示出了根据本发明其中一实施例的校准系统的框图，图2示出了根据本发明其中一实施例的校准系统的原理图。

参考图1、2所示，在本发明的一些实施例中，所提供的校准系统10具有气溶胶发生单元11与标准器模块12。在校准系统10中，气溶胶发生单元11用于生成具有已知粒径和粒子数的标准粒子气溶胶, 标准粒子气溶胶从气溶胶发生单元11产生后，经过一个采样流路，从该采样流路的出气口171连接到待校准的尘埃粒子计数器20，以促使尘埃粒子计数器20对采样的气溶胶进行粒子数检测。标准器模块12被串联在气溶胶发生单元11和尘埃粒子计数器20之间的采样流路中，标准器模块12具体例如是激光粒子传感器，用于测量流经标准粒子气溶胶的粒子数，以提供一个对标准粒子气溶胶粒子数相对应的标准化检测示数。

在得到尘埃粒子计数器20和标准器模块12检测的粒子数示数后，将尘埃粒子计数器20测量得到的值与标准器模块12的测量值进行比较，如果尘埃粒子计数器20测量值与标准器模块12测量值不一致，或者超过误差值，则认为尘埃粒子计数器20可能出现故障，需要送厂检修以进行校准。

与现有的并联方式相比，本发明将标准器模块12串联在采样流路中，由此标准器模块12所得到的粒子数数据即为采样流路中实时的粒子数数据，减小了在校准过程中的粒子数损失和错误计数概率，提高检测数据的准确性。通过将标准器模块12串联在采样流路中，不再需要额外的补气操作，有效降低了在校准高流量段时补气量的需求，这有助于减小采样阻力，进而提高整体采样流量的稳定性，另外相较于现有的并联方式，串联方式在校准过程中更好地控制了流动特性，减少了可能引起不稳定性的因素，这样计数数据的准确性得到了进一步提升。

在一个可能的实施例中，在将标准器模块12测得的标准值与尘埃粒子计数器20测得的值进行比较时，计算出一个校准系数或校准曲线，用于将尘埃粒子计数器20的测量结果进行修正，一旦校准系数或校准曲线确定，它将被用于将尘埃粒子计数器20测量的未校准值转换为校准后的准确值，这样，在实际应用中，尘埃粒子计数器20的测量结果就可以更可靠地用于评定洁净室洁净程度等级、检测过滤器过滤效率等。通过这种校准，尘埃粒子计数器20的测量结果可以更加准确、可靠，从而提高测量数据的一致性和可比性。

参考图2所示，在本发明的一些实施例中，气溶胶发生单元11由正压泵111、第二流量计112、第三过滤器113、发雾器114a、114b、114c、114d、多通道切换阀115、加热管116以及干燥箱117等部件构成。

具体地，正压泵111用于生成高压气源，为气溶胶发生提供必要的压力，这个高压气源将在后续用于雾化液体溶液，产生标准粒子气溶胶；第二流量计112连接到正压泵111，用于检测高压气源的流量，以确保气溶胶发生过程中所使用的气体流量是准确的；第三过滤器113连接到第二流量计112，用于过滤高压气源，以确保高压气源中不含有杂质和颗粒，避免对气溶胶产生干扰；发雾器114a、114b、114c、114d对应多个通道，每个通道对应于不同粒径的标准粒子气溶胶的产生，通过这些发雾器，液体溶液会在高压气源的作用下被雾化，生成不同粒径的标准粒子气溶胶；多通道切换阀115一端连接到第三过滤器113，另一端分别连接到不同的发雾器114a、114b、114c、114d，该多通道切换阀115的作用是控制高压气源在不同通道之间的切换，以便生成不同粒径的标准粒子气溶胶；加热管116与发雾器114a、114b、114c、114d分别连接，用于干燥从各通道输出的标准粒子气溶胶，确保气溶胶中不含有过多的湿气；干燥箱117一端连接到加热管116，另一端连接到标准器模块12，干燥箱117的作用是混匀和稀释从加热管116输出的标准粒子气溶胶，以获得一个均匀的混合气溶胶样本，供标准器模块12测量。

通过这些组件的协调工作，气溶胶发生单元11能够产生不同粒径的标准粒子气溶胶，并将其引导至标准器模块12以及尘埃粒子计数器20进行测量，也即本发明通过将能够发生标准粒子气溶胶的气溶胶发生单元11集成在校准系统10中，可实时切换不同粒径的标准粒子气溶胶，增加校准流程的实效性和准确性。

参考图2所示，在本发明的一些实施例中，校准系统10具有补气单元14，其设置在采样流路连接的补气流路中，用于在尘埃粒子计数器20的当前采样流量为第一阈值时，对尘埃粒子计数器20的采样流量进行补气。

尘埃粒子计数器20自身具有多个采样流量，在一个示例中，其采样流量分别为2.83 L/min 、28.3 L/min 、50 L/min 、100L/min，所描述的第一阈值为50 L/min 或100L/min。

而标准器模块12的采样流量为固定值，示例性的为28.3 L/min。

需要说明的是，所描述的对尘埃粒子计数器20的采样流量进行补气，是指对采样流路进行补气，使其能够达到尘埃粒子计数器20的采样流量。

在校准系统10中，补气单元14被设置在与尘埃粒子计数器20的采样流路相连接的旁路，即补气流路中，用于将额外的气体引入尘埃粒子计数器20的采样流路中；补气单元14所处的补气流路是一个平行于尘埃粒子计数器20采样流路的通道，该流路在特定条件下向尘埃粒子计数器20的采样流路注入补充气体，以调整采样流量。

在本实施例中，当尘埃粒子计数器20的采样流量为50 L/min或100 L/min时，高于标准器模块12的采样流量28.3 L/min，则需要对采样流路进行补气，进而触发补气单元14的操作，即当尘埃粒子计数器20的采样流量为设定的第一阈值（50 L/min或100 L/min）时，系统将自动启动补气单元14，通过补充气体来调整所需的采样流量；补气单元14被触发时，其将向尘埃粒子计数器20的采样流路中引入适量的气体，以使采样流量保持在设定值内，这有助于消除采样过程中可能出现的流量波动；通过将补气单元14纳入校准系统10，校准过程更进一步地考虑了采样流量的稳定性，在保持测量准确性的同时，有效降低了流量变化对尘埃粒子计数器20测量的影响。

在一个示例实施例中，补气单元14由采样风机141、第一流量计142以及第一过滤器143等部件构成，采样风机141提供额外的动力，以向尘埃粒子计数器20的采样流路中输送补充采样气流，第一流量计142与采样风机141相连接，用于监测补气流量的大小，通过测量补气风机141所产生气流的体积以提供一个精确的补气流量测量值；第一过滤器143与第一流量计142连接，补气风机141所产生的气流需要经过第一过滤器141，以确保补气流量的洁净度满足要求；第一过滤器141能够有效地去除气流中的杂质和颗粒，以防止它们进入尘埃粒子计数器20，从而保持采样过程的可靠性。

具体地，当尘埃粒子计数器20的采样流量达到第一阈值（例如50 L/min或100 L/min）时，采样风机141被启动，开始产生额外的气流；随着采样风机141的运行，第一流量计142开始监测补气流量的大小，其提供的数据会反映出补气风机141产生的气流体积；补气流量通过第一过滤器143以确保补气流量的洁净度，从而有效地阻止杂质和颗粒进入补气流路，保持气流的纯净性；通过这一实施例，校准系统10可以在需要时通过补气单元14来调整采样流路中的采样流量，这种补气机制有助于优化校准过程，尤其在采样流量变化较大时，能够维持尘埃粒子计数器20的稳定工作状态。

参考图2所示，在本发明的一些实施例中，校准系统10具有限流单元16，其设置在采样流路连接的限流流路中，用于在尘埃粒子计数器20的当前采样流量为第二阈值时，对尘埃粒子计数器20的采样流量进行限流。示例性的，所描述的第二阈值为2.83L/min。

在校准系统10中，限流单元16被设置在与尘埃粒子计数器20的采样流路相连接的旁路，即限流流路中，用于实现对采样流量的限制操作。限流流路是一个平行于尘埃粒子计数器20采样流路的通道，其目的是在满足特定条件时，引入适量的流阻或阻尼，以降低采样流路的采样流量，例如，当尘埃粒子计数器20的采样流量为2.83 L/min时，低于标准器模块12的采样流量28.3 L/min，将触发限流操作，即当确定尘埃粒子计数器20的采样流量为2.83 L/min时，系统将自动启动限流单元16，通过限制气流的流通来降低采用流路中的采样流量；当限流单元16被触发时，它会引入适量的流阻或阻尼，以限制采样流路的采样流量，使其达到与尘埃粒子计数器20的采样流量一致。

在一个示例实施例中，限流单元16由第二过滤器161与第二限流孔162构成，第二过滤器161的作用是对通过限流单元16的气体进行过滤和调节，通过控制气体流动以实现对采样流量的限制操作；第二限流孔162与第二过滤器161连接，其作用是将被限流所排除的气体排放出来，并且通过连接的第二过滤器161来实现气体的洁净排放。

进一步地，当尘埃粒子计数器20的采样流量为28.3 L/min时，等于标准器模块12的采样流量28.3 L/min，则无需对采样流路进行补气和限流。

参考图2所示，在本发明的一些实施例中，校准系统10具有第一限流孔15，其设置在采样流路中靠近出气口171的位置，用于控制补气流量和采样流量。

在校准系统10中，第一限流孔15被设置在采样流路中，距离出气口171较近的位置，该位置的选择是为了在气流进入尘埃粒子计数器之前，通过第一限流孔进行控制和调整；第一限流孔15的主要功能是同时控制补气流量和尘埃粒子计数器20的采样流量；当补气单元14被触发时，通过第一限流孔15的调节，可以控制补气流量的大小；第一限流孔15的位置靠近出气口171，可以在一定程度上影响气流的流通，通过对孔的设计和大小进行调整，可以实现对采样流量的控制，以满足校准的需求。

参考图2所示，在本发明的一些实施例中，校准系统10具有：采样歧管17，其设置在采样流路中并且与限流单元16连接，其中出气口171设置在采样歧管17的一端，采样歧管17用于确保在不同采样流量下，尤其是大流量段下的气流流量，流经标准器模块12的标准粒子气溶胶与尘埃粒子计数器20的采样气溶胶流速一致。

采样歧管17的主要功能之一是确保标准粒子气溶胶和采样气溶胶在流经标准器模块12和尘埃粒子计数器20时的流速保持一致，这对于准确校准和比较测量结果至关重要；通过采样歧管17，限流单元16对采样流量进行调整，并确保标准粒子气溶胶和采样气溶胶在流经各自的测量设备时，以相似的流速进行流动，这有助于减小由于流速差异而引起的测量误差。通过采样歧管17的设置，校准系统10实现了在不同采样流量下，标准粒子气溶胶和采样气溶胶的流速一致性，采样歧管的存在有助于保持流路的稳定，从而提高了测量的准确性和可靠性。

参考图2所示，在本发明的一些实施例中，校准系统10具有：由第四过滤器181与自净电磁阀182构成的管路自净单元18，设置在发雾器114a、114b、114c、114d与加热管116之间的流路中，用于至少对标准器模块12、加热管116及干燥箱117进行自净，避免因上一次测试残留的气溶胶对下一次实验数据的干扰。

校准系统10的管路自净单元18由两个主要组件构成，分别是第四过滤器181和自净电磁阀182，这些组件的协同作用使得自净操作得以实现；通过将管路自净单元18被设置在发雾器114a、114b、114c、114d与加热管116之间的流路中，以确保气溶胶自净操作覆盖了从发雾器114a、114b、114c、114d到加热管116的整个流程；在实验过程中，气溶胶可能残留在流路中，可能对下一次实验的数据产生干扰，为了消除这种干扰，管路自净单元18的操作会被触发。

示例性的，管路自净单元18的触发过程为：自净电磁阀182会被激活，使气流在流路中形成闭合回路，当气流被闭合回路中，其会通过第四过滤器181，该过滤器能够去除气流中的杂质和颗粒，确保气流是洁净的，即经过第四过滤器181后的气流会冲洗流路中的残留气溶胶，从而减少上一次实验的影响；自净操作完成后，自净电磁阀182关闭，正常操作可以继续进行。

图3示出了根据本发明其中一实施例的校准方法的流程图。参考图3所示，在本发明的一些实施例中，提供一种校准方法30，该方法30至少由S31-S34等步骤构成。

S31.控制气溶胶发生单元11产生标准粒子气溶胶；

S32.控制串联在采样流路中的标准器模块12对流经的标准粒子气溶胶粒子数进行检测；

S33.控制尘埃粒子计数器20通过采样流路的出气口171对标准粒子气溶胶进行采样以进行粒子数检测；以及

S34.通过对比尘埃粒子计数器20和标准器模块12检测的粒子数示数，以确定针对尘埃粒子计数器20的校准。

该方法30通过结合尘埃粒子计数器20和标准器模块12对准粒子气溶胶粒子数的测量结果，为尘埃粒子计数器20提供了一个准确的校准参考，以确保其在实际使用中产生可靠和精确的测量结果。

在一个实施例的校准方法30中，在确定尘埃粒子计数器20的当前采样流量为第一阈值时，控制补气单元14启动以对尘埃粒子计数器20的采样流量进行补气；其中，第一阈值为50L/min 或100L/min。

在一个实施例的校准方法30中，在确定尘埃粒子计数器20的当前采样流量为第二阈值时，控制限流单元16启动以对尘埃粒子计数器20的采样流量进行限流；其中，第二阈值为2.83L/min。

应理解的是，该方法30的详细实施过程在前文中已进行相应的描述，在此不再赘述。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本发明的限制，本领域的普通技术人员在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。

附图标记列表

11 气溶胶发生单元

111 正压泵

112 第二流量计

113 第三过滤器

114a、114b、114c、114d 发雾器

115 多通道切换阀

116 加热管

117 干燥箱

12 标准器模块

14 补气单元

141 采样风机

142 第一流量计

143 第一过滤器

15 第一限流孔

16 限流单元

161 第二过滤器

162 第二限流孔

17 采样歧管

171 出气口

18 管路自净单元

181 第四过滤器

182 自净电磁阀

20 尘埃粒子计数器。

Claims (12)

1.一种用于尘埃粒子计数器的校准系统（10），具有：

气溶胶发生单元（11），用于产生标准粒子气溶胶，其中所述标准粒子气溶胶至少通过一采样流路的出气口（171）采样至待校准的尘埃粒子计数器（20）中以被其检测粒子数；

标准器模块（12），其串联在所述气溶胶发生单元（11）与尘埃粒子计数器（20）之间的所述采样流路中，用于检测流经标准粒子气溶胶的粒子数；

其中，通过对比所述尘埃粒子计数器（20）和标准器模块（12）检测的粒子数示数，以确定针对所述尘埃粒子计数器（20）的校准。

2.根据权利要求1所述的校准系统，其特征在于，具有：

补气单元（14），其设置在所述采样流路连接的补气流路中，用于在所述尘埃粒子计数器（20）的当前采样流量为第一阈值时，对所述尘埃粒子计数器（20）的采样流量进行补气。

3.根据权利要求2所述的校准系统（10），其特征在于，

所述补气单元（14）具有：

采样风机（141），用于提供所述尘埃粒子计数器（20）的补充采样动力；

第一流量计（142），与所述采用风机（141）连接，用于检测补气流量大小；以及

第一过滤器（143），与所述第一流量计（142）连接，用于确保所述补气风机补气流量大小和洁净度要求。

4.根据权利要求2所述的校准系统（10），其特征在于，具有：

第一限流孔（15），其设置在所述采样流路中靠近出气口（171）的位置，用于控制补气流量和采样流量。

5.根据权利要求1所述的校准系统（10），其特征在于，具有：

限流单元（16），其设置在所述采样流路连接的限流流路中，用于在所述尘埃粒子计数器（20）的当前采样流量为第二阈值时，对所述尘埃粒子计数器（20）的采样流量进行限流。

6.根据权利要求5所述的校准系统（10），其特征在于，

所述限流单元（16）具有：

第二过滤器（161），用于调节采样流量；以及

第二限流孔（162），与所述第二过滤器（161）连接，用于限流所排除的气体通过第二过滤器（161）所排气体洁净。

7.根据权利要求5所述的校准系统（10），其特征在于，具有：

采样歧管（17），其设置在所述采样流路中并且与所述限流单元（16）连接，其中所述出气口（171）设置在所述采样歧管（17）的一端，所述采样歧管（17）用于确保在不同采样流量下，流经标准器模块（12）的标准粒子气溶胶与所述尘埃粒子计数器（20）的采样气溶胶流速一致。

8.根据权利要求1所述的校准系统（10），其特征在于，

所述气溶胶发生单元（11）具有：

正压泵（111），用于产生高压气源；

第二流量计（112），与所述正压泵（111）连接，用于检测高压气源流量；

第三过滤器（113），与所述第二流量计（112）连接，用于过滤高压气源；

多个发雾器（114a、114b、114c、114d），用于分别提供不同粒径的标准粒子气溶胶在各自通道内的发生；

多通道切换阀（115），一端与所述第三过滤器（113）连接，另一端与分别连接所述多个发雾器（114a、114b、114c、114d），用于控制高压气源在多个通道之间的切换；

加热管（116），分别与所述多个发雾器（114a、114b、114c、114d）连接，用于干燥从任意一通道输出的标准粒子气溶胶；以及

干燥箱（117），一端与所述加热管（116）连接，另一端与所述标准器模块（12）连接，用于混匀稀释从所述加热管（116）输出的标准粒子气溶胶。

9.根据权利要求8所述的校准系统（10），其特征在于，具有：

由第四过滤器（181）与自净电磁阀（182）构成的管路自净单元（18），设置在所述多个发雾器（114a、114b、114c、114d）与加热管（116）之间的流路中，用于至少对所述标准器模块（12）、加热管（116）及干燥箱（117）进行自净。

10.一种用于尘埃粒子计数器的校准方法（30），使用权利要求1所述的校准系统（10），其中，所述校准方法（30）具有以下步骤：

控制气溶胶发生单元（11）产生标准粒子气溶胶；

控制串联在采样流路中的标准器模块（12）对流经的所述标准粒子气溶胶粒子数进行检测；

控制尘埃粒子计数器（20）通过所述采样流路的出气口（171）对所述标准粒子气溶胶进行采样以进行粒子数检测；以及

通过对比所述尘埃粒子计数器（20）和标准器模块（12）检测的粒子数示数，以确定针对所述尘埃粒子计数器（20）的校准。

11.一种用于尘埃粒子计数器的校准方法（30），使用权利要求2所述的校准系统（10），其中，所述校准方法（30）具有以下步骤：

在确定所述尘埃粒子计数器（20）的当前采样流量为第一阈值时，控制所述补气单元（14）启动以对所述尘埃粒子计数器（20）的采样流量进行补气；

其中，所述第一阈值为50L/min 或100L/min。

12.一种用于尘埃粒子计数器的校准方法（30），使用权利要求2所述的校准系统（10），其中，所述校准方法（30）具有以下步骤：

在确定所述尘埃粒子计数器（20）的当前采样流量为第二阈值时，控制所述限流单元（16）启动以对所述尘埃粒子计数器（20）的采样流量进行限流；

其中，所述第二阈值为2.83L/min。